JP2021097096A - 窒化アルミニウム配線基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態は、このような課題を解決するものであり、配線層を窒化アルミニウム基材と同時焼成して形成した窒化アルミニウム配線基板およびその製造方法について、表面回路と内部回路の導体層と窒化アルミニウム基材との収縮差を抑制した生産性の高い窒化アルミニウム配線基板を提供することである。
図1に窒化アルミニウム配線基板の断面図の一例を示す。1は窒化アルミニウム配線基板(断面図)、2は窒化アルミニウム基板、3は表面導体層、4は内部導体層(ビア)、5は裏面導体層である。図2では、窒化アルミニウム配線基板の表面図(平面図)を示したものである。実施形態は、このような形に限定されるものではなく、他の配線回路やビアの形状があっても良いものとする。また、多層配線やキャリビテイ部分が形成されても良いものとする。図3では、窒化アルミニウム多層配線基板の断面図の一例を示す。
前記窒化アルミニウム粉末は、焼結性のために平均一次粒径が0.03〜3.5μm、より好ましくは平均一次粒径が0.1〜1.5μm、不純物酸素量が0.2〜3.5wt%、より好ましくは不純物酸素量が0.3〜3wt%の粉末を用いることが望ましい。前記窒化アルミニウム粉末の平均一次粒径を0.03μm未満にすると、シート化が非常に困難になり、また最終的に得られる窒化アルミニウムを主成分とする絶縁層において不純物酸素量が多くなり、高い熱伝導率を得られない恐れがある。また、成形時のシート密度が低下するために焼結時の収縮率が大きくなり、シート表面における導体層の位置制御が困難になる傾向にある。さらに、導体層との収縮率をマッチングさせることが困難となり、導体層と窒化アルミニウムを主成分とする絶縁層との間に空隙ができるなどの問題が発生する。一方、前記窒化アルミニウム粉末の平均粒径が3.5μmを越えると焼結性が著しく低下し、十分に緻密な焼結体からなる絶縁層を形成することが困難になる。また、不純物酸素量を0.2wt%未満にすると、焼結性が低下し、十分に緻密な窒化アルミニウムを主成分とする絶縁層を形成できなくなる恐れがある。
一方、前記導電金属粉末において平均粒径が前記範囲の上限値を越えると形成された導体層の緻密化が不十分になり抵抗が高くなる恐れがある。また、この導体金属粉末を含む導体ペーストを前記成形体と共に同時焼結すると、その収縮率が過度に小さくなるため、窒化アルミニウム絶縁層との間で収縮率のマッチングが取れず、最終的に得られたセラミックス回路基板にクラック、膨れなどが生じる恐れがある。
このような量のシート粉末の配合は、窒化アルミニウムシートの収縮率と導体層の収縮率をよりマッチングさせることが可能になる。
同時焼成された窒化アルミニウム基板は導体表面にめっきなどを行うことにより、ろう付けやはんだ付けなど他の部品との接合が可能となる。
以上の窒化アルミニウム回路基板の製造方法によれば、窒化アルミニウムと導体回路の品位を向上することにより歩留まりを大幅に改善することができる。
平均粒径1.0μmの窒化アルミニウム粉末に、表1に示す焼結助剤を添加して原料粉末を調整し、ボールミルにて解砕および混合を行った。この原料粉末に有機バインダおよび有機溶剤(エタノール)を添加した後、混合してスラリー化した。このスラリーをドクターブレード法によりシート状に成形し、縦50mm×横50mm×厚さ0.4mmであるグリーンシートを作製した。グリーンシートには図1、図2のように10mm間隔でΦ0.2mmのビア用の穴を形成した。また、グリーンシートの一部を窒素雰囲気中、700℃で3時間脱脂処理後に粉砕しペースト添加用の粉砕シート粉末とした。
次に、表1に示すように平均粒径1.0μmのタングステン粉末または平均粒径1.5μmのモリブデン粉末に粉砕シート粉末を加えて樹脂バインダおよび分散剤を混合して表面回路用およびビア用ペースト作製した。グリーンシートビア部分にビア用ペーストを注入した後で、グリーンシートの両面に表面回路用ペーストを印刷した。
上記ペーストを印刷した窒化アルミニウム基板を窒素雰囲気中、700℃で3時間脱脂処理を行った。
窒化アルミニウムセッター(焼結板)上に、脱脂処理した窒化アルミニウム基板を配置し、窒素雰囲気中、0.8MPaの加圧下、1750℃で4時間同時焼成を行い、窒化アルミニウム同時焼成基板を得た。得られた窒化アルミニウム同時焼成基板にニッケルめっきを2μm施して窒化アルミニウム配線基板を得た。
2…窒化アルミニウム基板
3…表面配線層
4…内部導体層(ビア)
5…裏面配線層
6…窒化アルミニウム配線基板(平面図)
7…窒化アルミニウム多層配線基板(断面図)
8…内部配線層
Claims (4)
- 窒化アルミニウムに焼結助剤を加えて焼結をした絶縁体と、タングステンおよびモリブデンの少なくとも1種を主とする金属成分に上記絶縁体と同成分の添加剤を加えた導体層からなる同時焼結窒化アルミニウム配線基板において、少なくとも一方の面に形成された導体回路と厚さ方向のビアを具備し、導体回路の導体層に含まれる添加剤の比率が、1〜10wt%であり、ビア部分の導体層に含まれる添加剤の比率が10〜30wt%であることを特徴とする窒化アルミニウム配線基板。
- 前記窒化アルミニウムの焼結助剤が、希土類元素、アルカリ土類元素であることを特徴とする請求項1記載の窒化アルミニウム配線基板。
- 窒化アルミニウム粉末および焼結助剤に有機溶剤と有機バインダを加えて成形体を作製する工程と、成型体を脱脂し粉砕してペースト用添加剤を作製する工程と、タングステンまたはモリブデンからなる高融点金属粉末に上記ペースト用添加剤を1〜10wt%含む導体ペーストにより成型体の少なくとも一面に導体ペースト層を形成する工程と、タングステンまたはモリブデンからなる高融点金属にペースト用添加剤を10〜30wt%含む導体ペーストにより成型体の厚さ方向にビア部分を形成する工程と、前記導体ペーストを有する成型体を還元雰囲気中で焼成することにより導通回路部を形成する工程を具備したことを特徴とする窒化アルミニウム配線基板の製造方法。
- 上記の窒化アルミニウム配線基板の製造方法であって、前記焼結助剤が希土類元素、アルカリ土類元素であることを特徴とする請求項3に記載の窒化アルミニウム配線基板の製造方法。
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