JP2021092750A - 光学装置 - Google Patents
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Abstract
Description
この例では、カラーフィルターの上に配置された中実導波路(solid waveguide)部材を有する従来の画像センサ装置が提供される。カラーフィルターの上に配置された中空導波路部材を有する本画像センサ装置(図1に示すように)も提供される。これらの2つの画像センサ装置の表面回折(つまり、0次回折と1次回折)の程度が評価される。ゼロ次回折はゴースト画像を形成する。一次回折はフレアを形成する。従来の画像センサ装置では、ゼロ次回折と1次回折の両方が100%のエネルギーに達するため、非常に明白なゴースト画像とフレアが現れる。従来の画像センサ装置の回折シミュレーション画像は図8に示される。図8では、中央領域の光点aは、ゴースト画像の強度を表している。周辺領域の光点(b、c、d、およびe)は、フレアの強度を表している。図8では、中央領域と周辺領域に位置する光点(a、b、c、d、およびe)が非常に明るいため、従来のイメージセンサー装置で発生した非常に明らかなゴースト画像とフレアがあることを示している。しかしながら、本画像センサ装置では、ゼロ次回折のエネルギーは約92.1%に低下する(約8%低下)。また、一次回折のエネルギーは、特定の中空導波路部材によって引き起こされる表面回折の程度が大幅に低下するために、約30.6%(約70%低下)に低下する。本画像センサ装置の回折シミュレーション画像は図9に示される。図9では、中央領域の光点a’は、ゴースト画像の強度を表している。周辺領域の光点(b ’、c’、d’、およびe’)は、フレアの強度を表している。図9では、中央および周辺領域に位置する光点(a、b、c、dおよびe)が暗いため、本画像センサ装置で発生したごくわずかなゴースト画像とフレアがあることを示している。従って、図8および図9に示された回折シミュレーション画像によれば、従来の画像センサ装置と比較し、本画像センサ装置では、ゴースト画像およびフレアは著しく改善されている。
この例では、カラーフィルターの上に配置された中実導波路部材を有する従来の画像センサ装置が提供される。カラーフィルターの上に配置された中空導波路部材を有する本画像センサ装置(図1に示すように)も提供される。これらの2つの画像センサ装置の基板の中央領域内のQEスペクトル(R/G/B画素)が評価される。図10に示すように、曲線「A」は、従来の画像センサ装置のQEスペクトル(R/G/B画素)を示している。曲線「B」は、本画像センサ装置のQEスペクトル(R/G/B画素)を示している。従来の画像センサ装置によって構築されたQEスペクトル(曲線「A」)と比較して、本画像センサ装置によって構築されたQEスペクトル(曲線「B」)では、R画素は100%から100.6%に引き上げられ、G画素は100%から102.5%に引き上げられ、B画素は100%から105.2%に引き上げられる。
この例では、カラーフィルターの上に配置された中実導波路部材を有する従来の画像センサ装置が提供される。カラーフィルターの上に配置された中空導波路部材を有する本画像センサ装置(図1に示すように)も提供される。これらの2つの画像センサ装置の基板の縁部領域内のQEスペクトル(R/G/B画素)が評価される。図11に示すように、曲線「A」は、従来の画像センサ装置のQEスペクトル(R/G/B画素)を示している。曲線「B」は、本画像センサ装置のQEスペクトル(R/G/B画素)を示している。従来の画像センサ装置によって構築されたQEスペクトル(曲線「A」)と比較して、本画像センサ装置によって構築されたQEスペクトル(曲線「B」)では、R/G/B画素は、同等のQEおよびクロストーク現象を維持する。
この例では、カラーフィルターの上に配置された中実導波路部材を有する従来の画像センサ装置が提供される。カラーフィルターの上に配置された中空導波路部材を有する本画像センサ装置(図1に示すように)も提供される。これらの2つの画像センサ装置の基板の縁部領域内のチャネル差(R/G/B画素)が評価される。チャネル差は、画素の最大感度と最小感度の差として定義される。従来の画像センサ装置では、Gr画素(R画素に隣接するG画素)のチャネル差は1.6%、Gb画素(B画素に隣接するG画素)は2.0%であり、R画素は4.2%であり、且つB画素は1.5%である。本画像センサ装置では、Gr画素(R画素に隣接するG画素)のチャネル差は2.9%、Gb画素(B画素に隣接するG画素)は2.1%であり、R画素は3.9%であり、且つB画素は1.4%である。評価結果によれば、従来の画像センサ装置と比較して、本画像センサ装置では、Gr/Gb/R/B画素は同等のチャネル差を維持している。
この例では、カラーフィルターの上に配置された中実導波路部材を有する従来の画像センサ装置が提供される。カラーフィルターの上に配置された中空導波路部材を有する本画像センサ装置(図1に示すように)も提供される。これらの2つの画像センサ装置の導波路部材に光エネルギーを捕捉する能力が評価される。図12は、従来の光学装置の中実導波路部材50(高屈折率材料を有する)における光エネルギー分布プロファイルを示している。図13は、本光学装置の中空導波路部材(低屈折率材料層40を囲む(高屈折率材料を有する)連続壁構造36により構成された)内の光エネルギー分布プロファイルを示している。図12に示されるように、光エネルギーの一部のみが高屈折率材料を有する中実導波路部材50に捕捉され、残りの光エネルギーは外側に広がる。しかしながら、図13によれば、光エネルギーのほとんどは、連続壁構造36で囲まれた低屈折率材料層40に捕捉され、光エネルギーはほとんど拡散しない。本光学装置では、低屈折率材料層40の適切な寸法により、光エネルギーが高屈折率材料を有する連続壁構造36を透過したとき、連続壁構造36の隣接するエネルギー波の漏洩モードが結合し、これにより低屈折率材料層40の光エネルギーが大幅に増加する。従って、光エネルギーを捕捉する能力は、本光学装置に配置された特定の中空導波路部材によって改善される。
12 基板
12a 基板の中心
12b 基板の縁部
14 中央領域
16 第1の領域
18 第2の領域
20a、20b、20c、20d 中央のカラーフィルター
22a、22b、22c、22d 第1のカラーフィルター
24a、24b、24c、24d 第2のカラーフィルター
26a、26b、26c、26d 中央の中空部材
28a、28b、28c、28d 第1の中空部材
30a、30b、30c、30d 第2の中空部材
20Pc 中央のカラーフィルターの中心点
22Pc 第1のカラーフィルターの中心点
24Pc 第2のカラーフィルターの中心点
26Pc 中央の中空部材の中心点
28Pc 第1の中空部材の中心点
30Pc 第2の中空部材の中心点
32 金属グリッド
34 パターン化された有機層
36 連続壁構造
37、37a、37b 入射光
38 空間
40 低屈折率材料層
D1 第1の距離
D2 第1の距離
H 連続壁構造の高さ
DM 金属グリッド間の距離
42 保護層
36’ 連続壁構造の上部
44 ハードマスク層
46 第1の周期構造
48 第2の周期構造
WC 連続壁構造の幅
WS 空間の幅(直径)
a 中央領域の光点
b、c、d、e 周辺領域の光点
a’ 中央領域の光点
b’、c’、d’、e’ 周辺領域の光点
A 従来の画像センサ装置のQEスペクトル(R/G/B画素)
B 本画像センサ装置のQEスペクトル(R/G/B画素)
50 中実導波路部材
Claims (10)
- 中心および縁部を有する基板と、
前記基板の前記中心から前記縁部の前記基板上に順次に配置された中央のカラーフィルター、第1のカラーフィルター、および第2のカラーフィルターと、
前記中央のカラーフィルター、前記第1のカラーフィルター、および前記第2のカラーフィルター上にそれぞれ配置された中央の中空部材、第1の中空部材、および第2の中空部材とを含み、
前記中央のカラーフィルターの中心線と前記中央の中空部材の中心線が同一線であり、前記第1のカラーフィルターの中心と前記第1の中空部材の中心との間は第1の距離があり、前記第2のカラーフィルターの中心と前記第2の中空部材の中心との間は第2の距離があり、前記第1の距離はゼロより大きく、前記第2の距離は前記第1の距離より大きい光学装置。 - 前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材のそれぞれは、空間を囲む連続壁構造を含む請求項1に記載の光学装置。
- 前記連続壁構造は、テーパー断面、長方形、円形、または三角形の形状に形成され、
前記連続壁構造の高さは約0.1μmから約0.7μmの範囲である請求項2に記載の光学装置。 - 前記基板の上に配置された複数の金属グリッドをさらに含み、前記空間は、隣接する前記金属グリッド間の距離の3分の1未満の幅を有し、前記連続壁構造は長方形の形状をしている請求項3に記載の光学装置。
- 前記基板の上に配置された複数の金属グリッドをさらに含み、前記空間は、隣接する前記金属グリッド間の距離の3分の1未満の直径を有し、前記連続壁構造は円形の形状をしている請求項3に記載の光学装置。
- 前記中央のカラーフィルター、前記第1のカラーフィルター、および前記第2のカラーフィルターと、前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材の前記連続壁構造とを覆い、且つ前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材の前記空間に充填された低屈折率材料層をさらに含み、前記低屈折率材料層は、約1.2から約1.5の範囲にある屈折率を有する請求項2に記載の光学装置。
- 前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材の前記連続壁構造は、前記低屈折率材料層の屈折率よりも大きく、且つ前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材の前記連続壁構造のそれぞれ下の前記中央のカラーフィルター、前記第1のカラーフィルター、および前記第2のカラーフィルターの屈折率よりも大きい屈折率を有し、前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材の連続壁構造の屈折率は約1.6から約1.9の範囲内にある請求項6に記載の光学装置。
- 前記中央のカラーフィルター、前記第1のカラーフィルター、および前記第2のカラーフィルターと、前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材との間に配置された保護層をさらに含む請求項1に記載の光学装置。
- 前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材の前記連続壁構造の上部に配置されたハードマスク層をさらに含む請求項2に記載の光学装置。
- 前記基板は、前記基板の前記中心から前記縁部に順次に中央領域、第1の領域、および第2の領域を含み、
前記中央領域内に前記中央の中空部材で構成された複数の前記中央のカラーフィルターがあり、
前記第1の領域内に前記第1の中空部材で構成された複数の前記第1のカラーフィルターがあり、
前記第2の領域内に前記第2の中空部材で構成された複数の前記第2のカラーフィルターがあり、
前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材の前記連続壁構造は、第1の周期構造を構成し、
前記中央の中空部材、前記第1の中空部材、および前記第2の中空部材の前記空間は、第2の周期構造を構成する請求項2に記載の光学装置。
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