JP2021092605A - カバーガラス - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るカバーガラスの模式的断面図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係るカバーガラスの拡大模式的断面図である。
図5は、本発明の第2の実施形態に係るカバーガラスの模式的正面断面図である。図5に示すように、カバーガラス21は、第1の反射防止膜24Aを備える。第1の反射防止膜24Aは、第1の実施形態における反射防止膜4と同様の膜である。本実施形態は、第2の反射防止膜24Bを備える点において第1の実施形態と異なる。なお、遮光膜23の構成も第1の実施形態と異なる。
図8は、本発明の第3の実施形態に係るカバーガラスの模式的正面断面図である。図8に示すように、カバーガラス31は、第1の遮光膜33Aを備える。第1の遮光膜33Aは、第1の実施形態における遮光膜3と同様の膜である。本実施形態は、第2の遮光膜33Bと、第3の反射防止膜34Bとを備える点において第1の実施形態と異なる。
以下に示す実施例1及び比較例1〜5のカバーガラスを用意し、遮光部における反射率を比較した。さらに、実施例2及び実施例3のガラスカバーの反射率を評価した。
図1に示した構成を有する、実施例1のカバーガラスを作製した。まず、ガラス基板の第1の主面上に、リフトオフ法によって、枠状の遮光膜を形成した。具体的には、ガラス基板の第1の主面上にレジストパターンを形成した。次に、レジストパターンを覆うように、第1の主面上に、クロム(Cr)層、窒化クロム(CrN)層及び酸窒化クロム(CrON)層をこの順序で、スパッタリング法により積層した。その後、レジストパターンを剥離することにより、遮光膜を形成した。Cr層の厚みは150nmとし、CrN層の厚みは50.6nmとし、CrON層の厚みは31.4nmとした。
遮光膜をCr層のみとし、反射防止膜を設けなかったこと以外は、実施例1と同様にしてカバーガラスを得た。
遮光膜をCr層のみとしたこと以外は、実施例1と同様にしてカバーガラスを得た。
遮光膜をCr層及びCrON層のみとして、遮光膜においてCrN層を設けず、さらに反射防止膜を設けなかったこと以外は、実施例1と同様にしてカバーガラスを得た。
遮光膜をCr層及びCrON層のみとして、遮光膜においてCrN層を設けなかったこと以外は、実施例1と同様にしてカバーガラスを得た。
反射防止膜を設けなかったこと以外は、実施例1と同様にしてカバーガラスを得た。
実施例1及び比較例の遮光部における反射率を比較した。なお、遮光部における反射率は、日立ハイテクノロジーズ社製の分光光度計U−4100を用い、入射角5°で測定した。
図5に示した構成を有する、実施例2のカバーガラスを作製した。ガラス基板の第1の主面上に、リフトオフ法によって、枠状の遮光膜を形成した。具体的には、ガラス基板の第1の主面上にレジストパターンを形成した。次に、レジストパターンを覆うように、第1の主面上に、酸窒化クロム(CrON)層、窒化クロム(CrN)層、クロム(Cr)層、窒化クロム(CrN)層及び酸窒化クロム(CrON)層をこの順序で、スパッタリング法により積層した。その後、レジストパターンを剥離することにより、遮光膜を形成した。CrON層の厚みは、ガラス基板側から30.4nm及び31.4nmとした。CrN層の厚みは、ガラス基板側から41.7nm及び50.6nmとした。Cr層の厚みは150nmとした。
第1の反射防止膜及び第2の反射防止膜の層の構成を異ならせたこと以外は、実施例2と同様にしてカバーガラスを得た。
実施例2及び実施例3のカバーガラスの反射率を、実施例1と同様にして測定した。ここで、カバーガラスを、ガラス基板2の第1の主面側から見たときの遮光部及び透光部における反射率並びに、第2の主面側から見たときの遮光部及び透光部における反射率を測定した。
1A…遮光部
1B…透光部
2…ガラス基板
2A…第1の領域
2B…第2の領域
2a…第1の主面
2b…第2の主面
3…遮光膜
3c…クロム層
3d…窒化クロム層
3e…酸窒化クロム層
4…反射防止膜
4a…高屈折率層
4b…低屈折率層
5…筐体
5a…底部
5b…側壁
6…イメージセンサ
10…撮像装置
20…撮像装置
21…カバーガラス
23…遮光膜
23a…酸窒化クロム層
23b…窒化クロム層
23c…クロム層
23d…窒化クロム層
23e…酸窒化クロム層
24A…第1の反射防止膜
24B…第2の反射防止膜
26…鏡筒
27…レンズ
31…カバーガラス
33A…第1の遮光膜
33B…第2の遮光膜
34B…第3の反射防止膜
100…撮像装置
101…カバーガラス
103…遮光膜
Claims (9)
- 撮像装置に用いられ、かつ遮光部及び透光部を有するカバーガラスであって、
対向し合う第1の主面及び第2の主面を有するガラス基板と、
前記遮光部において、前記ガラス基板の前記第1の主面上に設けられている遮光膜と、
前記遮光膜上に設けられている反射防止膜と、
を備え、
前記遮光膜がクロム層と、窒化クロム層とを含み、
前記クロム層と前記反射防止膜との間に前記窒化クロム層が設けられている、カバーガラス。 - 前記遮光膜が、前記窒化クロム層と前記反射防止膜との間に設けられている酸窒化クロム層をさらに含む、請求項1に記載のカバーガラス。
- 前記窒化クロム層が第1の窒化クロム層であり、
前記遮光膜が、前記第1の窒化クロム層とは別の第2の窒化クロム層をさらに含み、
前記第2の窒化クロム層が、前記クロム層と前記ガラス基板との間に設けられている、請求項1又は2に記載のカバーガラス。 - 前記反射防止膜が、前記透光部における前記ガラス基板の前記第1の主面上にも設けられている、請求項1〜3のいずれか一項に記載のカバーガラス。
- 前記反射防止膜が第1の反射防止膜であり、
前記遮光部及び前記透光部において、前記ガラス基板の前記第2の主面上に設けられている、第2の反射防止膜をさらに備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載のカバーガラス。 - 前記遮光膜が第1の遮光膜であり、前記反射防止膜が第1の反射防止膜であり、
前記遮光部において、前記ガラス基板の前記第2の主面上に設けられている第2の遮光膜と、
前記ガラス基板の前記第2の遮光膜上に設けられている第2の反射防止膜と、
をさらに備え、
前記第2の遮光膜がクロム層と、窒化クロム層とを含み、
前記第2の遮光膜の前記クロム層と前記第2の反射防止膜との間に前記第2の遮光膜の前記窒化クロム層が設けられている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のカバーガラス。 - 前記第2の遮光膜が、前記窒化クロム層と前記反射防止膜との間に設けられている酸窒化クロム層をさらに含む、請求項6に記載のカバーガラス。
- 前記第2の反射防止膜が、前記透光部において、前記ガラス基板の前記第2の主面上にも設けられている、請求項6又は7に記載のカバーガラス。
- 表示素子を含むファインダを有する撮像装置における、前記表示素子に用いられる、請求項1〜8のいずれか一項に記載のカバーガラス。
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