JP2021092155A - 真空排気装置及びこれに用いられる真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
回転することによって被排気室の内部を排気するロータと、吸気口を有するケーシングとを備えた真空ポンプと、
前記真空ポンプの前記吸気口と前記被排気室の排気口の間に配置されたバルブと、
前記被排気室の内部の圧力を目標値と一致するように制御する制御装置とを備えた真空排気装置であって、
前記制御装置は、前記目標値と前記圧力の差の絶対値が所定値より大きいときには、前記バルブの開度を調整し、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記ロータの回転速度を調整することにより、前記圧力を制御することを特徴とする。
前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、前記ロータの回転速度が一定となるように、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記バルブの開度が一定となるように制御するようにしてもよい。
前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、下記式(1)で表される伝達関数GVのゲインを大きくし、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、下記式(2)で表される伝達関数GMのゲインを大きくするようにしてもよい。
GV=OV/δP ・・・(1)
GM=ΩM/δP ・・・(2)
ただし、上記式(1)において、OVは、前記バルブの開度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(2)において、ΩMは、前記ロータの回転速度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(1)および(2)において、δPは、前記差の初期値を0としたラプラス変換である。
前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、前記伝達関数GMのゲインを小さくし、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記伝達関数GVのゲインを小さくするようにしてもよい。
前記真空ポンプは前記ロータを浮上支持する磁気軸受を備え、
前記制御装置は、前記圧力が前記目標値と一致するときに、前記ロータの回転速度が前記ロータの変位の固有振動数に一致する場合、もしくは該回転速度と該固有振動数の差の絶対値が所定値以下である場合には、前記バルブの開度を変更し、再度、前記圧力が前記目標値と一致するように、前記ロータの回転速度を制御するようにしてもよい。
前記所定値は、前記ロータの回転中に、前記バルブの開度、前記被排気室の内部に導入され前記真空ポンプによって排気されるガスの種類および量のいずれか少なくとも一つに応じて、変更されるようにしてもよい。
バルブと、
被排気室の内部の圧力を目標値と一致するように制御する制御装置とを備えた真空排気装置に用いられる真空ポンプであって、
回転することによって前記被排気室の内部を排気するロータと、前記バルブを前記被排気室の排気口との間に配置させる吸気口を有するケーシングとを備え、
前記制御装置は、前記目標値と前記圧力の差の絶対値が所定値より大きいときには、前記バルブの開度を調整し、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記ロータの回転速度を調整することにより、前記圧力を制御することを特徴とする。
前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、前記ロータの回転速度が一定となるように、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記バルブの開度が一定となるように制御するようにしてもよい。
前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、下記式(1)で表される伝達関数GVのゲインを大きくし、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、下記式(2)で表される伝達関数GMのゲインを大きくするようにしてもよい。
GV=OV/δP ・・・(1)
GM=ΩM/δP ・・・(2)
ただし、上記式(1)において、OVは、前記バルブの開度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(2)において、ΩMは、前記ロータの回転速度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(1)および(2)において、δPは、前記差の初期値を0としたラプラス変換である。
前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、前記伝達関数GMのゲインを小さくし、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記伝達関数GVのゲインを小さくするようにしてもよい。
前記ロータを浮上支持する磁気軸受を備え、
前記制御装置は、前記圧力が前記目標値と一致するときに、前記ロータの回転速度が前記ロータの変位の固有振動数に一致する場合、もしくは該回転速度と該固有振動数の差の絶対値が所定値以下である場合には、前記バルブの開度を変更し、再度、前記圧力が前記目標値と一致するように、前記ロータの回転速度を制御するようにしてもよい。
前記所定値は、前記ロータの回転中に、前記バルブの開度、前記被排気室の内部に導入され前記真空ポンプによって排気されるガスの種類および量のいずれか少なくとも一つに応じて、変更されるようにしてもよい。
が増加するにつれて、固有振動数ω1は減少し、固有振動数ω2は増加していく。回転周波数Ωzが増加するにつれて、固有振動数ω2は、回転周波数Ωzに近づいていき、回転周波数Ωzと一致した後、回転周波数Ωzから遠ざかっていく。
GV=OV/δP ・・・(1)
GM=ΩM/δP ・・・(2)
ただし、上記式(1)において、OVは、バルブ2の開度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(2)において、ΩMは、ロータ20の回転速度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(1)および(2)において、δPは、圧力目標値と圧力測定値の差の初期値を0としたラプラス変換である。
また、この所定値は、ロータ20の回転中に、バルブ2の開度や、被排気室4の内部に導入され真空ポンプ1が排気するプロセスガスの種類や量などに応じて、適宜変更しても良い。この場合には、制御装置3の記憶部に、予め複数の所定値を記憶させておき、これらに応じて、適宜、所定値を選択したり、演算したりして所定値を変更しても良い。
1 真空ポンプ
1a 回転速度検出器
11a 吸気口
13 ケーシング
32 ポンプ用モータ
33 半径方向磁気軸受
34 軸方向磁気軸受
20 ロータ
2 バルブ
2c 弁体
2d バルブ用モータ
2e 開口部
2f 開度検出器
3 制御装置
4 被排気室
5 圧力計
D 真空装置
Claims (12)
- 回転することによって被排気室の内部を排気するロータと、吸気口を有するケーシングとを備えた真空ポンプと、
前記真空ポンプの前記吸気口と前記被排気室の排気口の間に配置されたバルブと、
前記被排気室の内部の圧力を目標値と一致するように制御する制御装置とを備えた真空排気装置であって、
前記制御装置は、前記目標値と前記圧力の差の絶対値が所定値より大きいときには、前記バルブの開度を調整し、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記ロータの回転速度を調整することにより、前記圧力を制御することを特徴とする真空排気装置。 - 前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、前記ロータの回転速度が一定となるように、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記バルブの開度が一定となるように制御する請求項1に記載の真空排気装置。
- 前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、下記式(1)で表される伝達関数GVのゲインを大きくし、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、下記式(2)で表される伝達関数GMのゲインを大きくすることを特徴とする請求項1に記載の真空排気装置。
GV=OV/δP ・・・(1)
GM=ΩM/δP ・・・(2)
ただし、上記式(1)において、OVは、前記バルブの開度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(2)において、ΩMは、前記ロータの回転速度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(1)および(2)において、δPは、前記差の初期値を0としたラプラス変換である。 - 前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、前記伝達関数GMのゲインを小さくし、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記伝達関数GVのゲインを小さくすることを特徴とする請求項3に記載の真空排気装置。
- 前記真空ポンプは前記ロータを浮上支持する磁気軸受を備え、
前記制御装置は、前記圧力が前記目標値と一致するときに、前記ロータの回転速度が前記ロータの変位の固有振動数に一致する場合、もしくは該回転速度と該固有振動数の差の絶対値が所定値以下である場合には、前記バルブの開度を変更し、再度、前記圧力が前記目標値と一致するように、前記ロータの回転速度を制御することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の真空排気装置。 - 前記所定値は、前記ロータの回転中に、前記バルブの開度、前記被排気室の内部に導入され前記真空ポンプによって排気されるガスの種類および量のいずれか少なくとも一つに応じて、変更されることを特徴とする請求項1に記載の真空排気装置。
- バルブと、
被排気室の内部の圧力を目標値と一致するように制御する制御装置とを備えた真空排気装置に用いられる真空ポンプであって、
回転することによって前記被排気室の内部を排気するロータと、前記バルブを前記被排気室の排気口との間に配置させる吸気口を有するケーシングとを備え、
前記制御装置は、前記目標値と前記圧力の差の絶対値が所定値より大きいときには、前記バルブの開度を調整し、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記ロータの回転速度を調整することにより、前記圧力を制御することを特徴とする真空ポンプ。 - 前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、前記ロータの回転速度が一定となるように、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記バルブの開度が一定となるように制御する請求項7に記載の真空ポンプ。
- 前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、下記式(1)で表される伝達関数GVのゲインを大きくし、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、下記式(2)で表される伝達関数GMのゲインを大きくすることを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。
GV=OV/δP ・・・(1)
GM=ΩM/δP ・・・(2)
ただし、上記式(1)において、OVは、前記バルブの開度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(2)において、ΩMは、前記ロータの回転速度の初期値を0としたラプラス変換であり、上記式(1)および(2)において、δPは、前記差の初期値を0としたラプラス変換である。 - 前記制御装置は、前記差の絶対値が前記所定値より大きいときには、前記伝達関数GMのゲインを小さくし、前記差の絶対値が前記所定値より小さいときには、前記伝達関数GVのゲインを小さくすることを特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ。
- 前記ロータを浮上支持する磁気軸受を備え、
前記制御装置は、前記圧力が前記目標値と一致するときに、前記ロータの回転速度が前記ロータの変位の固有振動数に一致する場合、もしくは該回転速度と該固有振動数の差の絶対値が所定値以下である場合には、前記バルブの開度を変更し、再度、前記圧力が前記目標値と一致するように、前記ロータの回転速度を制御することを特徴とする請求項7から10のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記所定値は、前記ロータの回転中に、前記バルブの開度、前記被排気室の内部に導入され前記真空ポンプによって排気されるガスの種類および量のいずれか少なくとも一つに応じて、変更されることを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。
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