JP2021082614A - Light-emitting device - Google Patents

Light-emitting device Download PDF

Info

Publication number
JP2021082614A
JP2021082614A JP2021036578A JP2021036578A JP2021082614A JP 2021082614 A JP2021082614 A JP 2021082614A JP 2021036578 A JP2021036578 A JP 2021036578A JP 2021036578 A JP2021036578 A JP 2021036578A JP 2021082614 A JP2021082614 A JP 2021082614A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating layer
lead
sealing film
layer
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021036578A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
修一 関
Shuichi Seki
修一 関
田中 信介
Shinsuke Tanaka
信介 田中
金内 一浩
Kazuhiro Kaneuchi
一浩 金内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tohoku Pioneer Corp
Pioneer Corp
Original Assignee
Tohoku Pioneer Corp
Pioneer Electronic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tohoku Pioneer Corp, Pioneer Electronic Corp filed Critical Tohoku Pioneer Corp
Priority to JP2021036578A priority Critical patent/JP2021082614A/en
Publication of JP2021082614A publication Critical patent/JP2021082614A/en
Priority to JP2022137569A priority patent/JP7373625B2/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

To make electric charge hard to be stacked on a sealing film when sealing an organic EL element by the sealing film.SOLUTION: A part of a second insulating layer 150 is one example of a structure. A light-emitting unit 140 is formed on a substrate 100, and includes an organic layer 120. A first lead-out wiring 114 is formed on the substrate 100, and electrically connected to the light-emitting unit 140. A part of the second insulating layer 150 is located on the first lead-out wiring 114. A first insulating layer 156 is composed of an inorganic insulation material, and covers a portion located on the first lead-out wiring 114 among edges of the second insulating layer 150. A sealing film 160 is formed on the substrate 100, and covers the second insulating layer 150, the first insulating layer 156, and the light-emitting unit 140. The second insulating layer 150 or the first insulating layer 156 is located between the sealing film 160 and the first lead-out wiring 114.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、発光装置に関する。 The present invention relates to a light emitting device.

近年は、発光素子として有機EL(Organic Electroluminescence)素子を有する発光装置の開発が進んでいる。有機EL素子は、有機層を、第1電極と、第2電極とで挟んだ構成を有している。有機層は水分や酸素に弱いため、有機EL素子は封止される必要がある。有機EL素子を封止する方法の一つに、封止膜を用いる方法がある。例えば特許文献1及び2には、封止膜として複数の封止層を積層した積層膜を用いることが記載されている。 In recent years, the development of a light emitting device having an organic EL (Organic Electroluminescence) element as a light emitting element has been progressing. The organic EL element has a structure in which an organic layer is sandwiched between a first electrode and a second electrode. Since the organic layer is sensitive to moisture and oxygen, the organic EL element needs to be sealed. One of the methods for sealing an organic EL element is a method using a sealing film. For example, Patent Documents 1 and 2 describe that a laminated film in which a plurality of sealing layers are laminated is used as the sealing film.

例えば特許文献1には、下側の封止層の材料に、酸化カルシウム、アルミナ、シリカ、チタニア、酸化インジウム、酸化スズ、酸化シリコン、窒化シリコン、又は窒化アルミニウムを用いること、及び、上側の封止層に有機層を用いることが記載されている。 For example, in Patent Document 1, calcium oxide, alumina, silica, titania, indium oxide, tin oxide, silicon oxide, silicon nitride, or aluminum nitride is used as the material of the lower sealing layer, and the upper sealing It is described that an organic layer is used as the stop layer.

また特許文献2には、封止膜を4層構造にすることが記載されている。そして最も下の封止層の材料にSiN,SiON、又はSiOを用い、その上の封止層にアモルファスシリコン、SiO、又はSiOを用い、その上の封止層に有機物を用い、一番上の封止層にSiN,SiON、又はSiOを用いることが記載されている。 Further, Patent Document 2 describes that the sealing film has a four-layer structure. Then, SiN, SiON, or SION is used as the material of the lowermost sealing layer, amorphous silicon, SiO 2 , or SiO is used as the sealing layer above it, and an organic substance is used as the sealing layer above it. It is described that SiN, SiON, or SiO is used for the upper sealing layer.

特開2012−238611号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-238611 特開2014−179278号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-179278

封止膜を用いて有機EL素子を封止する場合、この封止膜は第1電極と第2電極の双方に接する。本発明者が検討した結果、封止膜を、導電性膜と絶縁性膜との積層構造にした場合(特にこの積層構造を繰り返し積層した場合)、この封止膜が抵抗性を持つ容量素子として機能することが判明した。このような容量素子が存在すると、発光装置の発光品質や発光装置の検査に影響がでる。ここで有機EL素子を動作させるために第1電極及び第2電極の間に電圧を印加した場合、封止膜に電荷が蓄積されることにより有機EL素子が発光するタイミングが遅れてしまう。そして有機EL素子を停止させるため第1電極及び第2電極の間に電圧を印加しなくなった場合、封止膜に蓄積された電荷が有機EL素子に向けて流れ、有機EL素子の発光が停止するタイミングが遅れてしまう。 When the organic EL element is sealed using the sealing film, the sealing film is in contact with both the first electrode and the second electrode. As a result of the study by the present inventor, when the sealing film has a laminated structure of a conductive film and an insulating film (particularly when this laminated structure is repeatedly laminated), the capacitive element having resistance to the sealing film. Turned out to work as. The presence of such a capacitive element affects the light emission quality of the light emitting device and the inspection of the light emitting device. Here, when a voltage is applied between the first electrode and the second electrode in order to operate the organic EL element, the timing at which the organic EL element emits light is delayed due to the accumulation of electric charges in the sealing film. When the voltage is no longer applied between the first electrode and the second electrode in order to stop the organic EL element, the electric charge accumulated in the sealing film flows toward the organic EL element, and the light emission of the organic EL element is stopped. The timing to do it will be delayed.

本発明が解決しようとする課題としては、有機EL素子を封止膜で封止した場合において、封止膜に電荷が蓄積されにくくすることが一例として挙げられる。 As an example of the problem to be solved by the present invention, when an organic EL element is sealed with a sealing film, it is difficult for electric charges to be accumulated in the sealing film.

請求項1に記載の発明は、基板と、
前記基板の上に形成され、有機層を有する発光部と、
前記基板の上の前記発光部が形成される領域以外に形成され、前記発光部に電気的に接続する配線と、
前記配線の少なくとも一部の上に形成された絶縁性の構造物と、
前記構造物の縁のうち前記配線の上に位置する部分を覆い、無機絶縁材料からなる第1絶縁層と、
前記基板の上に形成され、前記構造物、前記第1絶縁層の少なくとも一部、及び前記発光部を覆う封止膜と、
を備え、
前記封止膜と前記配線の間には、前記構造物又は前記第1絶縁層が位置している発光装置である。
The invention according to claim 1 includes a substrate and
A light emitting portion formed on the substrate and having an organic layer,
Wiring formed on the substrate other than the region where the light emitting portion is formed and electrically connected to the light emitting portion, and
An insulating structure formed on at least a part of the wiring and
A first insulating layer made of an inorganic insulating material, which covers a portion of the edge of the structure located above the wiring,
A sealing film formed on the substrate and covering the structure, at least a part of the first insulating layer, and the light emitting portion.
With
A light emitting device in which the structure or the first insulating layer is located between the sealing film and the wiring.

第1の実施形態に係る発光装置の平面図である。It is a top view of the light emitting device which concerns on 1st Embodiment. 図1から隔壁、第2電極、有機層、第1絶縁層、及び第2絶縁層を取り除いた図である。It is the figure which removed the partition wall, the 2nd electrode, the organic layer, the 1st insulating layer, and the 2nd insulating layer from FIG. 図1のA−A断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 図1のB−B断面図である。It is a cross-sectional view of BB of FIG. 図1のC−C断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along the line CC of FIG. 図3の点線αで囲んだ領域を拡大した図である。It is an enlarged view of the area surrounded by the dotted line α of FIG. 封止膜が第1引出配線と第2引出配線に接している場合の発光装置の等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram of the light emitting device when the sealing film is in contact with the 1st lead wire and the 2nd lead wire. 変形例に係る発光装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the light emitting device which concerns on the modification. 第2の実施形態に係る発光装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the light emitting device which concerns on 2nd Embodiment. 図9から第2電極を取り除いた図である。It is the figure which removed the 2nd electrode from FIG. 図から有機層、第2絶縁層、及び第1絶縁層を取り除いた図である。It is the figure which removed the organic layer, the 2nd insulating layer, and the 1st insulating layer from the figure. 図9のD−D断面図である。9 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all drawings, similar components are designated by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.

(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る発光装置10の平面図である。図2は、図1から隔壁170、第2電極130、有機層120、第1絶縁層156、及び第2絶縁層150を取り除いた図である。図3は図1のA−A断面図であり、図4は図1のB−B断面図であり、図5は図1のC−C断面図である。図1及び図2において、説明のため封止膜160は点線で示されている。
(First Embodiment)
FIG. 1 is a plan view of the light emitting device 10 according to the first embodiment. FIG. 2 is a diagram in which the partition wall 170, the second electrode 130, the organic layer 120, the first insulating layer 156, and the second insulating layer 150 are removed from FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1, FIG. 4 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 1, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line CC of FIG. In FIGS. 1 and 2, the sealing film 160 is shown by a dotted line for explanation.

実施形態に係る発光装置10は、基板100、発光部140、第1引出配線(配線)114、第2絶縁層150、第1絶縁層156、及び封止膜160を有している。第2絶縁層150の一部は、構造物の一例である。発光部140は基板100に形成されており、有機層120を有している。第1引出配線114は基板100のうち発光部140が形成されている領域以外に形成されており、発光部140に電気的に接続する。第2絶縁層150の一部は第1引出配線114の上に位置している。第1絶縁層156は無機絶縁材料からなり、第2絶縁層150の縁のうち第1引出配線114の上に位置する部分を覆う。封止膜160は、基板100に形成されており、第2絶縁層150、第1絶縁層156の少なくとも一部、及び発光部140を覆っている。そして、封止膜160と第1引出配線114の間には、第2絶縁層150又は第1絶縁層156が位置している。以下、詳細に説明する。 The light emitting device 10 according to the embodiment includes a substrate 100, a light emitting unit 140, a first lead-out wiring (wiring) 114, a second insulating layer 150, a first insulating layer 156, and a sealing film 160. A part of the second insulating layer 150 is an example of a structure. The light emitting unit 140 is formed on the substrate 100 and has an organic layer 120. The first lead-out wiring 114 is formed in a region other than the region of the substrate 100 where the light emitting portion 140 is formed, and is electrically connected to the light emitting portion 140. A part of the second insulating layer 150 is located above the first lead-out wiring 114. The first insulating layer 156 is made of an inorganic insulating material and covers a portion of the edge of the second insulating layer 150 located above the first lead wiring 114. The sealing film 160 is formed on the substrate 100 and covers at least a part of the second insulating layer 150 and the first insulating layer 156, and the light emitting portion 140. A second insulating layer 150 or a first insulating layer 156 is located between the sealing film 160 and the first lead-out wiring 114. Hereinafter, a detailed description will be given.

本図に示す例において、発光装置10は表示装置であり、基板100、第1電極110、複数の第1端子112(端子)、複数の第2端子132(端子)、発光部140、第2絶縁層150、複数の開口152、複数の開口154、第1絶縁層156、複数の第1引出配線114(配線)、有機層120、第2電極130、複数の第2引出配線134(配線)、及び複数の隔壁170を有している。 In the example shown in this figure, the light emitting device 10 is a display device, and is a substrate 100, a first electrode 110, a plurality of first terminals 112 (terminals), a plurality of second terminals 132 (terminals), a light emitting unit 140, and a second. Insulation layer 150, a plurality of openings 152, a plurality of openings 154, a first insulation layer 156, a plurality of first lead-out wires 114 (wiring), an organic layer 120, a second electrode 130, a plurality of second lead-out wires 134 (wiring). , And a plurality of partition walls 170.

発光装置10が後述のボトムエミッション型である場合、基板100は、例えばガラスや透光性の樹脂などの透光性の材料で形成されている。ただし、発光装置10が後述のトップエミッション型である場合、基板100は透光性を有さない材料で形成されていてもよい。基板100は、例えば矩形などの多角形である。基板100は可撓性を有していてもよい。基板100が可撓性を有している場合、基板100の厚さは、例えば10μm以上1000μm以下である。特に基板100がガラスである場合、基板100の厚さは、例えば200μm以下である。基板100が樹脂である場合、基板100は、例えばPEN(ポリエチレンナフタレート)、PES(ポリエーテルサルホン)、PET(ポリエチレンテレフタラート)、又はポリイミドを用いて形成されている。また、基板100が樹脂である場合、水分が基板100を透過することを抑制するために、基板100の少なくとも一面(好ましくは両面)に、SiNやSiONなどの無機バリア膜が形成されている。 When the light emitting device 10 is a bottom emission type described later, the substrate 100 is formed of a translucent material such as glass or a translucent resin. However, when the light emitting device 10 is a top emission type described later, the substrate 100 may be made of a material having no translucency. The substrate 100 is a polygon such as a rectangle. The substrate 100 may have flexibility. When the substrate 100 has flexibility, the thickness of the substrate 100 is, for example, 10 μm or more and 1000 μm or less. In particular, when the substrate 100 is glass, the thickness of the substrate 100 is, for example, 200 μm or less. When the substrate 100 is a resin, the substrate 100 is formed by using, for example, PEN (polyethylene naphthalate), PES (polyether sulphon), PET (polyethylene terephthalate), or polyimide. Further, when the substrate 100 is a resin, an inorganic barrier film such as SiN x or SiON is formed on at least one surface (preferably both sides) of the substrate 100 in order to prevent moisture from permeating through the substrate 100. ..

発光部140は有機EL素子を有している。この有機EL素子は、第1電極110、有機層120、及び第2電極130をこの順に積層させた構成を有している。発光部140は、表示装置の画素ごとに設けられている。 The light emitting unit 140 has an organic EL element. This organic EL element has a configuration in which the first electrode 110, the organic layer 120, and the second electrode 130 are laminated in this order. The light emitting unit 140 is provided for each pixel of the display device.

第1電極110は、光透過性を有する透明電極である。透明電極を構成する透明導電材料は、金属を含む材料、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、IWZO(Indium Tungsten Zinc Oxide)、ZnO(Zinc Oxide)等の金属酸化物である。第1電極110の厚さは、例えば10nm以上500nm以下である。第1電極110は、例えばスパッタリング法又は蒸着法を用いて形成される。なお、第1電極110は、カーボンナノチューブ、又はPEDOT/PSSなどの導電性有機材料であってもよい。 The first electrode 110 is a transparent electrode having light transmittance. The transparent conductive material constituting the transparent electrode is a material containing a metal, for example, a metal oxide such as ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), IWZO (Indium Tungsten Zinc Oxide), ZnO (Zinc Oxide). is there. The thickness of the first electrode 110 is, for example, 10 nm or more and 500 nm or less. The first electrode 110 is formed by using, for example, a sputtering method or a vapor deposition method. The first electrode 110 may be a carbon nanotube or a conductive organic material such as PEDOT / PSS.

有機層120は発光層を有している。有機層120は、例えば、正孔注入層、発光層、及び電子注入層を積層させた構成を有している。正孔注入層と発光層との間には正孔輸送層が形成されていてもよい。また、発光層と電子注入層との間には電子輸送層が形成されていてもよい。有機層120は蒸着法で形成されてもよい。また、有機層120のうち少なくとも一つの層、例えば第1電極110と接触する層は、インクジェット法、印刷法、又はスプレー法などの塗布法によって形成されてもよい。なお、この場合、有機層120の残りの層は、蒸着法によって形成されている。また、有機層120のすべての層が、塗布法を用いて形成されていてもよい。 The organic layer 120 has a light emitting layer. The organic layer 120 has, for example, a structure in which a hole injection layer, a light emitting layer, and an electron injection layer are laminated. A hole transport layer may be formed between the hole injection layer and the light emitting layer. Further, an electron transport layer may be formed between the light emitting layer and the electron injection layer. The organic layer 120 may be formed by a vapor deposition method. Further, at least one layer of the organic layer 120, for example, a layer in contact with the first electrode 110 may be formed by a coating method such as an inkjet method, a printing method, or a spray method. In this case, the remaining layer of the organic layer 120 is formed by a thin-film deposition method. Further, all the layers of the organic layer 120 may be formed by using a coating method.

第2電極130は、例えば、Al、Au、Ag、Pt、Mg、Sn、Zn、及びInからなる第1群の中から選択される金属、又はこの第1群から選択される金属の合金からなる金属層を含んでいる。この場合、第2電極130は遮光性を有している。第2電極130の厚さは、例えば10nm以上500nm以下である。ただし、第2電極130は、第1電極110の材料として例示した材料を用いて形成されていてもよい。第2電極130は、例えばスパッタリング法又は蒸着法を用いて形成される。 The second electrode 130 is made of, for example, a metal selected from the first group consisting of Al, Au, Ag, Pt, Mg, Sn, Zn, and In, or an alloy of the metal selected from the first group. Contains a metal layer. In this case, the second electrode 130 has a light-shielding property. The thickness of the second electrode 130 is, for example, 10 nm or more and 500 nm or less. However, the second electrode 130 may be formed by using the material exemplified as the material of the first electrode 110. The second electrode 130 is formed by using, for example, a sputtering method or a vapor deposition method.

なお、上記した第1電極110及び第2電極130の材料は、基板100を光が透過する場合(例えば発光装置10におけるボトムエミッション型)の例である。一方で、基板100とは逆側を光が透過する場合(例えば発光装置10におけるトップエミッション型)もある。このトップエミッション型には、逆積型と、順積型との2種類の積層構造がある。逆積型では、第1電極110の材料と第2電極130の材料はボトムエミッション型と逆になる。すなわち第1電極110の材料には上記した第2電極130の材料が用いられ、第2電極130の材料には上記した第1電極110の材料が用いられる。他方の順積型では、上記した第2電極130の材料の上に第1電極110の材料を形成し、更にその上に有機層120、さらにその上に薄く成膜した第2電極130を形成することで、基板100とは逆側から光を取出す構造である。本実施形態にかかる発光装置10は、ボトムエミッション型、及び上記した2種類のトップエミッション型のいずれの構造であってもよい。 The materials of the first electrode 110 and the second electrode 130 described above are examples of a case where light is transmitted through the substrate 100 (for example, a bottom emission type in the light emitting device 10). On the other hand, there is a case where light is transmitted on the side opposite to the substrate 100 (for example, the top emission type in the light emitting device 10). This top emission type has two types of laminated structures, a reverse product type and a forward product type. In the reverse product type, the material of the first electrode 110 and the material of the second electrode 130 are opposite to those of the bottom emission type. That is, the material of the second electrode 130 described above is used as the material of the first electrode 110, and the material of the first electrode 110 described above is used as the material of the second electrode 130. In the other forward product type, the material of the first electrode 110 is formed on the material of the second electrode 130 described above, the organic layer 120 is further formed on the material, and the second electrode 130 is formed thinly on the organic layer 120. By doing so, the structure is such that light is taken out from the side opposite to the substrate 100. The light emitting device 10 according to the present embodiment may have either a bottom emission type structure or the above-mentioned two types of top emission type structures.

また、第1電極110は、第1方向(図1におけるY方向)にライン状に延在している。そして第1電極110の端部は、第1引出配線114に接続している。第1引出配線114は、第1電極110と同様の材料からなる導電層を有している。この導電層は、第1電極110と一体になっている。本図に示す例において、第1引出配線114の端部が第1端子112になっている。また、第1端子112は複数設けられているため、第1引出配線114も複数設けられている。 Further, the first electrode 110 extends in a line shape in the first direction (Y direction in FIG. 1). The end of the first electrode 110 is connected to the first lead-out wiring 114. The first lead-out wiring 114 has a conductive layer made of the same material as the first electrode 110. This conductive layer is integrated with the first electrode 110. In the example shown in this figure, the end of the first lead-out wiring 114 is the first terminal 112. Further, since a plurality of first terminals 112 are provided, a plurality of first lead-out wirings 114 are also provided.

第1引出配線114の上には、導体層180が形成されてもよい。導体層180は、第1引出配線114よりも低抵抗な材料、例えば金属によって形成されている。導体層180は単層構造を有していてもよいし、多層構造を有していてもよい。導体層180が単層構造を有している場合、導体層180は、例えばAl又はAl合金を用いて形成されている。導体層180が多層構造を有している場合、導体層180は、例えば、Mo又はMo合金などの金属層である第1導電層、Al又はAl合金などの金属層である第2導電層、及び、Mo又はMo合金などの金属層である第3導電層をこの順に積層した構成を有している。第2導電層の厚さは、例えば50nm以上1000nm以下である。好ましくは100nm以下である。また第1導電層及び第3導電層は、第2導電層よりも薄く、例えば30nm以下、好ましくは25nm以下である。なお、導体層180は第1端子112を覆っていてもよいし、覆っていなくてもよい。 A conductor layer 180 may be formed on the first lead-out wiring 114. The conductor layer 180 is made of a material having a lower resistance than that of the first lead-out wiring 114, for example, metal. The conductor layer 180 may have a single-layer structure or a multi-layer structure. When the conductor layer 180 has a single layer structure, the conductor layer 180 is formed by using, for example, Al or an Al alloy. When the conductor layer 180 has a multilayer structure, the conductor layer 180 is, for example, a first conductive layer which is a metal layer such as Mo or Mo alloy, or a second conductive layer which is a metal layer such as Al or Al alloy. In addition, it has a structure in which a third conductive layer, which is a metal layer such as Mo or Mo alloy, is laminated in this order. The thickness of the second conductive layer is, for example, 50 nm or more and 1000 nm or less. It is preferably 100 nm or less. The first conductive layer and the third conductive layer are thinner than the second conductive layer, for example, 30 nm or less, preferably 25 nm or less. The conductor layer 180 may or may not cover the first terminal 112.

第2絶縁層150は、例えばポリイミド、エポキシ、アクリルやノボラック系の樹脂材料(有機材料)によって形成されており、可視光に対して透光性を有する。第2絶縁層150は、例えば、第2絶縁層150となる樹脂材料に感光性の材料を混入させ、この樹脂材料を塗布し、さらにこの樹脂材料を露光及び現像することにより、形成される。また、第2絶縁層150は、インクジェット法やスクリーン印刷法を用いて形成されてもよい。第2絶縁層150には、複数の開口152及び複数の開口154が形成されている。複数の第2電極130は、第1電極110と交差する方向(例えば直交する方向:図1におけるX方向)に互いに平行に延在している。そして、複数の第2電極130の間には、詳細を後述する隔壁170が延在している。開口152は、平面視で第1電極110と第2電極130の交点に位置している。具体的には、複数の開口152は、第1電極110が延在する方向(図1におけるY方向)に並んでいる。また、複数の開口152は、第2電極130の延在方向(図1におけるX方向)にも並んでいる。このため、複数の開口152はマトリクスを構成するように配置されていることになる。 The second insulating layer 150 is formed of, for example, a polyimide, epoxy, acrylic or novolak resin material (organic material) and has translucency with respect to visible light. The second insulating layer 150 is formed, for example, by mixing a photosensitive material with a resin material to be the second insulating layer 150, applying the resin material, and further exposing and developing the resin material. Further, the second insulating layer 150 may be formed by using an inkjet method or a screen printing method. A plurality of openings 152 and a plurality of openings 154 are formed in the second insulating layer 150. The plurality of second electrodes 130 extend parallel to each other in a direction intersecting with the first electrode 110 (for example, a direction orthogonal to each other: the X direction in FIG. 1). A partition wall 170, which will be described in detail later, extends between the plurality of second electrodes 130. The opening 152 is located at the intersection of the first electrode 110 and the second electrode 130 in a plan view. Specifically, the plurality of openings 152 are arranged in the direction in which the first electrode 110 extends (Y direction in FIG. 1). Further, the plurality of openings 152 are also arranged in the extending direction (X direction in FIG. 1) of the second electrode 130. Therefore, the plurality of openings 152 are arranged so as to form a matrix.

開口154は、平面視で複数の第2電極130のそれぞれの一端側と重なる領域に位置している。また開口154は、開口152が構成するマトリクスの一辺に沿って配置されている。そしてこの一辺に沿う方向(例えば図1におけるY方向、すなわち第1電極110に沿う方向)で見た場合、開口154は、所定の間隔で配置されている。開口154からは、第2引出配線134の一部分が露出している。そして、第2引出配線134は、開口154を介して第2電極130に接続している。 The opening 154 is located in a region overlapping the one end side of each of the plurality of second electrodes 130 in a plan view. Further, the openings 154 are arranged along one side of the matrix formed by the openings 152. When viewed in the direction along this one side (for example, the Y direction in FIG. 1, that is, the direction along the first electrode 110), the openings 154 are arranged at predetermined intervals. A part of the second lead-out wiring 134 is exposed from the opening 154. The second lead-out wiring 134 is connected to the second electrode 130 via the opening 154.

第2引出配線134は、第2電極130を第2端子132に接続する配線であり、第1電極110と同一の材料からなる導電層を有している。この導電層は第1電極110から分離している。第2引出配線134の一端側は開口154の下に位置しており、第2引出配線134の他端側は、第2絶縁層150の外部に引き出されている。そして本図に示す例では、第2引出配線134の他端側は第2端子132となっている。そして第2引出配線134の上には、導体層180が形成されてもよい。導体層180は第2端子132を覆っていてもよいし、覆っていなくてもよい。なお、本図に示す例において、第2端子132は複数設けられている。このため、第2引出配線134も複数設けられている。 The second lead-out wiring 134 is a wiring that connects the second electrode 130 to the second terminal 132, and has a conductive layer made of the same material as the first electrode 110. This conductive layer is separated from the first electrode 110. One end side of the second lead-out wiring 134 is located below the opening 154, and the other end side of the second lead-out wiring 134 is drawn out to the outside of the second insulating layer 150. In the example shown in this figure, the other end side of the second lead-out wiring 134 is the second terminal 132. Then, the conductor layer 180 may be formed on the second lead-out wiring 134. The conductor layer 180 may or may not cover the second terminal 132. In the example shown in this figure, a plurality of second terminals 132 are provided. Therefore, a plurality of second lead-out wirings 134 are also provided.

開口152と重なる領域には、有機層120が形成されている。有機層120の正孔輸送層は第1電極110に接しており、有機層120の電子輸送層は第2電極130に接している。このため、発光部140は、開口152と重なる領域それぞれに位置していることになる。 An organic layer 120 is formed in a region overlapping the opening 152. The hole transport layer of the organic layer 120 is in contact with the first electrode 110, and the electron transport layer of the organic layer 120 is in contact with the second electrode 130. Therefore, the light emitting unit 140 is located in each region overlapping the opening 152.

なお、図3及び図4に示す例では、有機層120を構成する各層は、いずれも開口152の外側まではみ出している場合を示している。そして図1に示すように、有機層120は、隔壁170が延在する方向において、隣り合う開口152の間にも連続して形成されていてもよいし、連続して形成していなくてもよい。ただし、図5に示すように、有機層120は、開口154には形成されていない。 In the examples shown in FIGS. 3 and 4, each layer constituting the organic layer 120 shows a case where each layer protrudes to the outside of the opening 152. Then, as shown in FIG. 1, the organic layer 120 may or may not be continuously formed between adjacent openings 152 in the direction in which the partition wall 170 extends. Good. However, as shown in FIG. 5, the organic layer 120 is not formed in the opening 154.

第2電極130は、図1〜図4に示すように、第1方向と交わる第2方向(図1におけるX方向)に延在している。そして隣り合う第2電極130の間には、隔壁170が形成されている。隔壁170は、第2電極130と平行すなわち第2方向に延在している。隔壁170の下地は、例えば第2絶縁層150である。隔壁170は、例えばポリイミド系樹脂などの感光性の樹脂であり、露光及び現像されることによって、所望のパターンに形成されている。なお、隔壁170はポリイミド系樹脂以外の樹脂、例えばエポキシ系樹脂やアクリル系樹脂、二酸化珪素等の無機材料で構成されていても良い。 As shown in FIGS. 1 to 4, the second electrode 130 extends in the second direction (X direction in FIG. 1) intersecting the first direction. A partition wall 170 is formed between the adjacent second electrodes 130. The partition wall 170 extends parallel to the second electrode 130, that is, in the second direction. The base of the partition wall 170 is, for example, a second insulating layer 150. The partition wall 170 is a photosensitive resin such as a polyimide resin, and is formed into a desired pattern by exposure and development. The partition wall 170 may be made of a resin other than the polyimide resin, for example, an inorganic material such as an epoxy resin, an acrylic resin, or silicon dioxide.

隔壁170は、断面が台形の上下を逆にした形状(逆台形)になっている。すなわち隔壁170の上面の幅は、隔壁170の下面の幅よりも大きい。このため、隔壁170を第2電極130より前に形成しておくと、蒸着法やスパッタリング法を用いて、第2電極130を基板100の一面側に形成することで、複数の第2電極130を一括で形成することができる。また、隔壁170は、有機層120を分断する機能も有している。 The partition wall 170 has a trapezoidal cross section upside down (inverted trapezoidal shape). That is, the width of the upper surface of the partition wall 170 is larger than the width of the lower surface of the partition wall 170. Therefore, if the partition wall 170 is formed before the second electrode 130, the second electrode 130 is formed on one surface side of the substrate 100 by using a vapor deposition method or a sputtering method, so that the plurality of second electrodes 130 Can be formed collectively. The partition wall 170 also has a function of dividing the organic layer 120.

また、第1端子112及び第2端子132には、FPC(Flexible Printed Circuit)などの導通部材が接続される。本図に示す例では、第1端子112及び第2端子132は基板100の同一の辺(第1辺)に沿って配置されている。このため、導通部材としてFPCを用いた場合、第1端子112及び第2端子132を、一つのFPCに接続することができる。 Further, a conductive member such as an FPC (Flexible Printed Circuit) is connected to the first terminal 112 and the second terminal 132. In the example shown in this figure, the first terminal 112 and the second terminal 132 are arranged along the same side (first side) of the substrate 100. Therefore, when the FPC is used as the conductive member, the first terminal 112 and the second terminal 132 can be connected to one FPC.

また、基板100には第1絶縁層156が形成されている。第1絶縁層156は、無機絶縁材料を用いて形成されており、少なくとも一部の第1引出配線114の少なくとも一部を覆っている。具体的には、第2絶縁層150及び第1絶縁層156を一つの絶縁層157とみなした場合、絶縁層157は、好ましくはすべての第1引出配線114を覆っているのが好ましい。また図1及び図2に示す例では、絶縁層157は、第2引出配線134も覆っている。ただし、絶縁層157は、複数の第1引出配線114及び複数の第2引出配線134からなる配線群のうち、一部の配線を覆っていなくてもよい。例えば、絶縁層157は、複数の第1引出配線114を覆っていなくてもよいし、複数の第2引出配線134を覆っていなくてもよい。また、絶縁層157は、一部の第1引出配線114及び一部の第2引出配線134を覆っていなくてもよい。ただし、いずれの場合においても、第1絶縁層156は、第2絶縁層150の縁(端面)のうち第1引出配線114の上に位置する部分を覆っている。 Further, the first insulating layer 156 is formed on the substrate 100. The first insulating layer 156 is formed by using an inorganic insulating material and covers at least a part of the first lead wiring 114. Specifically, when the second insulating layer 150 and the first insulating layer 156 are regarded as one insulating layer 157, the insulating layer 157 preferably covers all the first lead-out wirings 114. Further, in the examples shown in FIGS. 1 and 2, the insulating layer 157 also covers the second lead-out wiring 134. However, the insulating layer 157 does not have to cover a part of the wiring group including the plurality of first leader wirings 114 and the plurality of second leader wirings 134. For example, the insulating layer 157 may not cover the plurality of first lead-out wirings 114, or may not cover the plurality of second lead-out wirings 134. Further, the insulating layer 157 does not have to cover a part of the first lead-out wiring 114 and a part of the second lead-out wiring 134. However, in any case, the first insulating layer 156 covers the portion of the edge (end face) of the second insulating layer 150 that is located above the first lead-out wiring 114.

さらに絶縁層157は、第1引出配線114及び第2引出配線134の少なくとも一方の端部を覆っていなくてもよい。例えば本図に示す例では、絶縁層157は、第1引出配線114のうち第1電極110とは逆側の端部(すなわち第1端子112)を覆っていない。また、絶縁層157は、第2引出配線134のうち第2電極130とは逆側の端部(すなわち第2端子132)を覆っていない。 Further, the insulating layer 157 does not have to cover at least one end of the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wiring 134. For example, in the example shown in this figure, the insulating layer 157 does not cover the end of the first lead-out wiring 114 opposite to the first electrode 110 (that is, the first terminal 112). Further, the insulating layer 157 does not cover the end portion (that is, the second terminal 132) of the second lead-out wiring 134 on the opposite side to the second electrode 130.

発光装置10は、さらに封止膜160を有している。封止膜160は発光部140を封止するために設けられている。封止膜160は、基板100のうち発光部140が形成されている面に形成されており、発光部140を覆っている。封止膜160は、例えば絶縁材料、さらに具体的には無機材料によって形成されている。また、封止膜160の厚さは、好ましくは300nm以下である。また封止膜160の厚さは、例えば50nm以上である。封止膜160は、ALD(Atomic Layer Deposition)法やCVD(Chemical Vapor Deposition)法を用いて形成されている。特にALD法を用いることにより、封止膜160の段差被覆性は高くなる。そして第1引出配線114及び封止膜160の間、及び第2引出配線134と封止膜160の間の少なくとも一方(好ましくは双方)には、第2絶縁層150及び第1絶縁層156の少なくとも一方が位置している。 The light emitting device 10 further has a sealing film 160. The sealing film 160 is provided to seal the light emitting portion 140. The sealing film 160 is formed on the surface of the substrate 100 on which the light emitting portion 140 is formed, and covers the light emitting portion 140. The sealing film 160 is formed of, for example, an insulating material, more specifically, an inorganic material. The thickness of the sealing film 160 is preferably 300 nm or less. The thickness of the sealing film 160 is, for example, 50 nm or more. The sealing film 160 is formed by using an ALD (Atomic Layer Deposition) method or a CVD (Chemical Vapor Deposition) method. In particular, by using the ALD method, the step coverage of the sealing film 160 is increased. A second insulating layer 150 and a first insulating layer 156 are placed between the first lead-out wiring 114 and the sealing film 160, and at least one (preferably both) between the second drawer wiring 134 and the sealing film 160. At least one is located.

第1端子112及び第2端子132は、封止膜160から露出している。このため、封止膜160の縁の一部は、第1引出配線114及び第2引出配線134と重なっている。 The first terminal 112 and the second terminal 132 are exposed from the sealing film 160. Therefore, a part of the edge of the sealing film 160 overlaps with the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wiring 134.

図1に示す例において、封止膜160の縁のうち第1引出配線114と重なる部分及び第2引出配線134と重なる部分は、いずれも第1絶縁層156の上に位置している。そして、第1引出配線114及び第2引出配線134は、いずれも封止膜160と直接接していない。このことにより、封止膜160を介して第1引出配線114どうし、第2引出配線134どうし、また、第1引出配線114と第2引出配線134間の導通を回避できる。 In the example shown in FIG. 1, the portion of the edge of the sealing film 160 that overlaps with the first lead-out wiring 114 and the portion that overlaps with the second lead-out wiring 134 are both located on the first insulating layer 156. Neither the first lead-out wiring 114 nor the second lead-out wiring 134 is in direct contact with the sealing film 160. As a result, it is possible to avoid conduction between the first lead wiring 114, the second lead wiring 134, and between the first lead wiring 114 and the second lead wiring 134 via the sealing film 160.

なお、封止膜160は発光部140となる領域及びその周囲を被覆している。このため、発光部140、第1絶縁層156、及び第2絶縁層150の面積の和は、基板100のうち封止膜160によって覆われている領域の面積の100%以上110%以下になっている。 The sealing film 160 covers the region to be the light emitting portion 140 and its surroundings. Therefore, the sum of the areas of the light emitting portion 140, the first insulating layer 156, and the second insulating layer 150 is 100% or more and 110% or less of the area of the region of the substrate 100 covered by the sealing film 160. ing.

図6は、図3の点線αで囲んだ領域を拡大した図である。本図に示すように、封止膜160は複数の膜を積層した積層構造を有している。このようにすることで、一つの膜で封止膜160を形成する場合と比較して、封止膜160に生じる膜応力を小さくすることができる。なお、封止膜160を構成するいずれの膜も、無機膜で形成されている。そしてこれら無機膜は、例えばALD法やCVD法を用いて形成される。 FIG. 6 is an enlarged view of the area surrounded by the dotted line α in FIG. As shown in this figure, the sealing film 160 has a laminated structure in which a plurality of films are laminated. By doing so, the film stress generated in the sealing film 160 can be reduced as compared with the case where the sealing film 160 is formed by one film. All of the films constituting the sealing film 160 are made of an inorganic film. Then, these inorganic films are formed by using, for example, an ALD method or a CVD method.

封止膜160は、少なくとも3つの膜を積層した構成を有している。これらの膜の厚さは、いずれも例えば3nm以上10nm以下である。なお、図6に示した例において、封止膜160を構成する封止層の層数は、4つである。ただし封止膜160を構成する封止層の層数は、これ以上(例えば10層以上)であってもよい。 The sealing film 160 has a structure in which at least three films are laminated. The thickness of each of these films is, for example, 3 nm or more and 10 nm or less. In the example shown in FIG. 6, the number of sealing layers constituting the sealing film 160 is four. However, the number of sealing layers constituting the sealing film 160 may be more than this (for example, 10 layers or more).

本図に示す例において、封止膜160は、第1の材料からなる第1封止膜162と、第2の材料からなる第2封止膜164とをこの順に繰り返し積層した構成を有している。第1の材料は絶縁材料である。第2の材料も絶縁材料であるのが好ましい。第1の材料は、例えば酸化アルミニウムであり、第2の材料は、例えば酸化チタンである。酸化チタンは室温の状態で絶縁性を有するが、例えば、薄膜形成することで導電性を有することが知られている。発光部140に接する封止層を酸化アルミニウムで形成することにより、封止膜160の常温における防湿性を高めることができる。また、第1封止膜162を覆う第2封止膜164を酸化チタンで形成することにより、封止膜160の高温での防湿性を高めることができる。 In the example shown in this figure, the sealing film 160 has a structure in which a first sealing film 162 made of a first material and a second sealing film 164 made of a second material are repeatedly laminated in this order. ing. The first material is an insulating material. The second material is also preferably an insulating material. The first material is, for example, aluminum oxide, and the second material is, for example, titanium oxide. Titanium oxide has insulating properties at room temperature, but is known to have conductivity by forming a thin film, for example. By forming the sealing layer in contact with the light emitting portion 140 with aluminum oxide, the moisture resistance of the sealing film 160 at room temperature can be enhanced. Further, by forming the second sealing film 164 covering the first sealing film 162 with titanium oxide, the moisture resistance of the sealing film 160 at a high temperature can be enhanced.

そして、図1〜3に示した第1絶縁層156は、第1封止膜162及び第2封止膜164の一方と同じ材料(特に好ましくは封止膜160の最下層と同一の材料)を用いて、かつこれらと同様の方法を用いて形成してもよい。ただし、第1絶縁層156は、封止膜160とは別の膜として形成されている。第1絶縁層156の膜厚は、例えば50nm以上200nm以下であり、例えば0.3μm以上1.5μm以下で形成される第2絶縁層150の膜厚よりも薄い。なお、第1絶縁層156の膜厚は、第1封止膜162の膜厚及び第2封止膜164の膜厚よりも厚くてもよい。 The first insulating layer 156 shown in FIGS. 1 to 3 is made of the same material as one of the first sealing film 162 and the second sealing film 164 (particularly preferably the same material as the bottom layer of the sealing film 160). And may be formed by the same method as these. However, the first insulating layer 156 is formed as a film different from the sealing film 160. The film thickness of the first insulating layer 156 is, for example, 50 nm or more and 200 nm or less, and is thinner than the film thickness of the second insulating layer 150 formed, for example, 0.3 μm or more and 1.5 μm or less. The film thickness of the first insulating layer 156 may be thicker than the film thickness of the first sealing film 162 and the film thickness of the second sealing film 164.

次に、本実施形態における発光装置10の製造方法を説明する。まず、基板100上に第1電極110、第1端子112、第2端子132、第1引出配線114、及び第2引出配線134を形成する。 Next, a method of manufacturing the light emitting device 10 in the present embodiment will be described. First, the first electrode 110, the first terminal 112, the second terminal 132, the first lead-out wiring 114, and the second lead-out wiring 134 are formed on the substrate 100.

次いで、第1引出配線114上及び第2引出配線134上を含む領域に、導体層180となる導電膜を形成する。次いで、この導電膜を、例えばフォトリソグラフィー法を利用して所定のパターンにする。これにより、導体層180が形成される。 Next, a conductive film to be the conductor layer 180 is formed in a region including the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wire 134. The conductive film is then made into a predetermined pattern using, for example, a photolithography method. As a result, the conductor layer 180 is formed.

次いで、第1電極110上に、第2絶縁層150となる感光性の絶縁層を形成し、この絶縁層を露光及び現像する。これにより、第2絶縁層150、及び開口152,154が形成される。次いで、第1絶縁層156を、例えば、CVD法、ALD法を用いて形成する。この際、第1絶縁層156を形成すべきでない領域には、シャドーマスク法、フォトリソグラフィー法、リフトオフ法などで、形成された第1絶縁層156を除去する。リフトオフ法では、第1絶縁層の形成前に予めリフトオフ層が形成される。そして、リフトオフ法を用いて、第1絶縁層156のうち不要な部分は除去される。 Next, a photosensitive insulating layer to be the second insulating layer 150 is formed on the first electrode 110, and the insulating layer is exposed and developed. As a result, the second insulating layer 150 and the openings 152 and 154 are formed. Next, the first insulating layer 156 is formed by using, for example, a CVD method or an ALD method. At this time, the formed first insulating layer 156 is removed from the region where the first insulating layer 156 should not be formed by a shadow mask method, a photolithography method, a lift-off method, or the like. In the lift-off method, the lift-off layer is formed in advance before the formation of the first insulating layer. Then, an unnecessary portion of the first insulating layer 156 is removed by using the lift-off method.

次いで、第2絶縁層150の上に隔壁170を形成する。隔壁170の形成方法も、第2絶縁層150の形成方法と同様である。次いで、有機層120及び第2電極130を形成する。 Next, the partition wall 170 is formed on the second insulating layer 150. The method of forming the partition wall 170 is the same as the method of forming the second insulating layer 150. Next, the organic layer 120 and the second electrode 130 are formed.

次いで、例えばALD法を用いて、第1封止膜162及び第2封止膜164を、この順に繰り返し形成する。これにより、封止膜160が形成される。その後、封止膜160のうち、第1端子112上に位置する部分及び第2端子132上に位置する部分を除去する。封止膜160の除去は、例えばリフトオフ法を用いて行われる。この場合、封止膜160を形成する前に、封止膜160を除去すべき領域にはリフトオフ層が形成される。 Then, for example, using the ALD method, the first sealing film 162 and the second sealing film 164 are repeatedly formed in this order. As a result, the sealing film 160 is formed. After that, the portion of the sealing film 160 located on the first terminal 112 and the portion located on the second terminal 132 are removed. Removal of the sealing film 160 is performed, for example, by using a lift-off method. In this case, before forming the sealing film 160, a lift-off layer is formed in the region where the sealing film 160 should be removed.

図7は、封止膜160が第1引出配線114と第2引出配線134に接している場合の発光装置10の等価回路図である。発光装置10の発光部140を発光させるとき、第1引出配線114と第2引出配線134の間には電圧が印加される。一方、封止膜160は絶縁膜により形成されているが、薄い封止層を多数積層した構成を有している。このため、図7に示した等価回路において、封止膜160は、第1引出配線114と第2引出配線134の間に、容量と抵抗とを直列に接続した構成となる。このため、封止膜160が第1引出配線114と第2引出配線134に接している場合、封止膜160にある程度電流が流れ、その結果、発光部140が発光するときに封止膜160に電荷が蓄積されてしまう。この電荷は、第1引出配線114と第2引出配線134の間に電圧が印加されなくなったとき、発光部140に流れる。これにより、発光部140のオフにするときの応答速度は低下してしまう。また、発光部140を点灯させるとき、電流の一部は封止膜160に流れてしまう。このため、発光部140を点灯させるときの応答速度も低下してしまう。 FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of the light emitting device 10 when the sealing film 160 is in contact with the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wiring 134. When the light emitting unit 140 of the light emitting device 10 emits light, a voltage is applied between the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wiring 134. On the other hand, although the sealing film 160 is formed of an insulating film, it has a structure in which a large number of thin sealing layers are laminated. Therefore, in the equivalent circuit shown in FIG. 7, the sealing film 160 has a configuration in which a capacitance and a resistor are connected in series between the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wiring 134. Therefore, when the sealing film 160 is in contact with the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wiring 134, a certain amount of current flows through the sealing film 160, and as a result, the sealing film 160 emits light when the light emitting portion 140 emits light. Charges are accumulated in the. This charge flows to the light emitting unit 140 when no voltage is applied between the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wiring 134. As a result, the response speed when the light emitting unit 140 is turned off is reduced. Further, when the light emitting unit 140 is turned on, a part of the current flows through the sealing film 160. Therefore, the response speed when the light emitting unit 140 is turned on is also reduced.

これに対して本実施形態によれば、第1引出配線114及び第2引出配線134の少なくとも一方と封止膜160の間には、第2絶縁層150又は第1絶縁層156が形成されている。このため、図7の等価回路図における抵抗の大きさは、大きくなる。従って、封止膜160に電流は流れにくくなり、その結果、発光部140の応答速度は低下しにくくなる。 On the other hand, according to the present embodiment, the second insulating layer 150 or the first insulating layer 156 is formed between at least one of the first leader wiring 114 and the second drawer wiring 134 and the sealing film 160. There is. Therefore, the magnitude of the resistance in the equivalent circuit diagram of FIG. 7 becomes large. Therefore, it becomes difficult for the current to flow through the sealing film 160, and as a result, the response speed of the light emitting unit 140 becomes difficult to decrease.

(変形例)
図8は、変形例に係る発光装置10の構成を示す平面図であり、実施形態における図1に対応している。本変形例に示す発光装置10は、第2絶縁層150のレイアウト及び第1絶縁層156のレイアウトを除いて、実施形態に係る発光装置10と同様の構成である。
(Modification example)
FIG. 8 is a plan view showing the configuration of the light emitting device 10 according to the modified example, and corresponds to FIG. 1 in the embodiment. The light emitting device 10 shown in this modification has the same configuration as the light emitting device 10 according to the embodiment, except for the layout of the second insulating layer 150 and the layout of the first insulating layer 156.

具体的には、図1と比較して、第2絶縁層150のうち第1引出配線114及び第2引出配線134を覆っている部分の面積は広くなり、その代わりに第1絶縁層156の面積は小さくなっている。その結果、第1引出配線114のうち第2絶縁層150によって覆われている部分の面積は、第1引出配線114のうち第1絶縁層156によって覆われている部分の面積よりも大きい。同様に、第2引出配線134のうち第2絶縁層150によって覆われている部分の面積は、第2引出配線134のうち第1絶縁層156によって覆われている部分の面積よりも大きい。 Specifically, as compared with FIG. 1, the area of the portion of the second insulating layer 150 that covers the first lead-out wiring 114 and the second lead-out wiring 134 is larger, and instead, the area of the first insulating layer 156 is increased. The area is getting smaller. As a result, the area of the portion of the first lead-out wiring 114 covered by the second insulating layer 150 is larger than the area of the portion of the first lead-out wiring 114 covered by the first insulating layer 156. Similarly, the area of the portion of the second lead-out wiring 134 covered by the second insulating layer 150 is larger than the area of the portion of the second drawer wiring 134 covered by the first insulating layer 156.

本変形例によっても、実施形態と同様に、封止膜160に電流は流れにくくなり、その結果、発光部140の応答速度は低下しにくくなる。 Also in this modification, as in the embodiment, the current is less likely to flow through the sealing film 160, and as a result, the response speed of the light emitting unit 140 is less likely to decrease.

(第2の実施形態)
図9は、第2の実施形態に係る発光装置10の構成を示す平面図である。図10は、図9から第2電極130を取り除いた図である。図11は、図10から有機層120、第2絶縁層150、及び第1絶縁層156を取り除いた図である。図12は図9のD−D断面図である。本図に示す発光装置10は照明装置である。このため、発光部140は基板100の縁を除いた領域に形成されている。
(Second embodiment)
FIG. 9 is a plan view showing the configuration of the light emitting device 10 according to the second embodiment. FIG. 10 is a diagram in which the second electrode 130 is removed from FIG. FIG. 11 is a diagram in which the organic layer 120, the second insulating layer 150, and the first insulating layer 156 are removed from FIG. FIG. 12 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. The light emitting device 10 shown in this figure is a lighting device. Therefore, the light emitting portion 140 is formed in a region excluding the edge of the substrate 100.

詳細には、第1電極110は基板100のほぼ全面に形成されている。第2絶縁層150は第1電極110の縁を覆っている。第2絶縁層150は、第1電極110の縁において第1電極110と第2電極130が短絡することを防止している。また、有機層120は、第1電極110のうち第2絶縁層150で囲まれた領域の中に形成されている。言い換えると、第2絶縁層150は発光部140を画定している。なお、第1電極110の上には複数の補助電極が形成されていてもよい。 Specifically, the first electrode 110 is formed on almost the entire surface of the substrate 100. The second insulating layer 150 covers the edge of the first electrode 110. The second insulating layer 150 prevents the first electrode 110 and the second electrode 130 from being short-circuited at the edge of the first electrode 110. Further, the organic layer 120 is formed in a region of the first electrode 110 surrounded by the second insulating layer 150. In other words, the second insulating layer 150 defines the light emitting unit 140. A plurality of auxiliary electrodes may be formed on the first electrode 110.

また、第1端子112と第1電極110の間には第1引出配線114が形成されており、第2端子132のうち第1電極110側の端部には、第2引出配線134が形成されている。第1端子112及び第1引出配線114は第1電極110と一体になっており、第2引出配線134は第2端子132と一体になっている。ただし、第2端子132及び第2引出配線134は第1電極110から分離している。 Further, a first lead-out wiring 114 is formed between the first terminal 112 and the first electrode 110, and a second lead-out wire 134 is formed at the end of the second terminal 132 on the first electrode 110 side. Has been done. The first terminal 112 and the first lead-out wiring 114 are integrated with the first electrode 110, and the second lead-out wiring 134 is integrated with the second terminal 132. However, the second terminal 132 and the second lead-out wiring 134 are separated from the first electrode 110.

そして、第1引出配線114のうち第1端子112側の端部は第1絶縁層156によって覆われており、第2引出配線134は、第2電極130との接続部分(例えば、第2引出配線134のうち第1電極110側の端部)を除いて、第1絶縁層156によって覆われている。本実施形態においても、封止膜160の縁のうち第1引出配線114と重なる部分は第1絶縁層156の上に位置しており、封止膜160の縁のうち第2引出配線134と重なる部分も第1絶縁層156の上に位置している。言い換えると、第1引出配線114及び第2引出配線134は、いずれも封止膜160と直接接していない。 The end of the first lead-out wiring 114 on the first terminal 112 side is covered with the first insulating layer 156, and the second lead-out wiring 134 is connected to the second electrode 130 (for example, the second lead-out). Except for the end of the wiring 134 on the side of the first electrode 110), it is covered with the first insulating layer 156. Also in the present embodiment, the portion of the edge of the sealing film 160 that overlaps with the first lead-out wiring 114 is located on the first insulating layer 156, and the edge of the sealing film 160 with the second lead-out wiring 134. The overlapping portion is also located on the first insulating layer 156. In other words, neither the first lead-out wiring 114 nor the second lead-out wiring 134 is in direct contact with the sealing film 160.

本実施形態においても、第1引出配線114と封止膜160の間、及び第2引出配線134と封止膜160の間には、いずれも第1絶縁層156が位置している。このため、第1の実施形態と同様に、封止膜160に電流は流れにくくなり、その結果、発光部140の応答速度は低下しにくくなる。 Also in this embodiment, the first insulating layer 156 is located between the first lead-out wiring 114 and the sealing film 160, and between the second drawer wiring 134 and the sealing film 160. Therefore, as in the first embodiment, it becomes difficult for the current to flow through the sealing film 160, and as a result, the response speed of the light emitting unit 140 becomes difficult to decrease.

以上、図面を参照して実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 Although the embodiments and examples have been described above with reference to the drawings, these are examples of the present invention, and various configurations other than the above can be adopted.

10 発光装置
100 基板
110 第1電極
112 第1端子(端子)
114 第1引出配線(配線)
120 有機層
130 第2電極
132 第2端子(端子)
134 第2引出配線(配線)
140 発光部
150 第2絶縁層(構造物)
156 第1絶縁層
157 絶縁層
160 封止膜
10 Light emitting device 100 Substrate 110 First electrode 112 First terminal (terminal)
114 1st lead-out wiring (wiring)
120 Organic layer 130 Second electrode 132 Second terminal (terminal)
134 Second lead-out wiring (wiring)
140 Light emitting part 150 Second insulating layer (structure)
156 First Insulation Layer 157 Insulation Layer 160 Encapsulating Membrane

Claims (1)

基板と、
前記基板の上に形成され、有機層を有する発光部と、
前記基板の上の前記発光部が形成される領域以外に形成され、前記発光部に電気的に接続する配線と、
前記配線の少なくとも一部の上に形成された絶縁性の構造物と、
前記構造物の縁のうち前記配線の上に位置する部分を覆い、無機絶縁材料からなる第1絶縁層と、
前記基板の上に形成され、前記構造物、前記第1絶縁層の少なくとも一部、及び前記発光部を覆う封止膜と、
を備え、
前記封止膜と前記配線の間には、前記構造物又は前記第1絶縁層が位置している発光装置。
With the board
A light emitting portion formed on the substrate and having an organic layer,
Wiring formed on the substrate other than the region where the light emitting portion is formed and electrically connected to the light emitting portion, and
An insulating structure formed on at least a part of the wiring and
A first insulating layer made of an inorganic insulating material, which covers a portion of the edge of the structure located above the wiring,
A sealing film formed on the substrate and covering the structure, at least a part of the first insulating layer, and the light emitting portion.
With
A light emitting device in which the structure or the first insulating layer is located between the sealing film and the wiring.
JP2021036578A 2021-03-08 2021-03-08 Light-emitting device Pending JP2021082614A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021036578A JP2021082614A (en) 2021-03-08 2021-03-08 Light-emitting device
JP2022137569A JP7373625B2 (en) 2021-03-08 2022-08-31 light emitting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021036578A JP2021082614A (en) 2021-03-08 2021-03-08 Light-emitting device

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019148339A Division JP2019192662A (en) 2019-08-13 2019-08-13 Light-emitting device

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022137569A Division JP7373625B2 (en) 2021-03-08 2022-08-31 light emitting device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021082614A true JP2021082614A (en) 2021-05-27

Family

ID=75966075

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021036578A Pending JP2021082614A (en) 2021-03-08 2021-03-08 Light-emitting device
JP2022137569A Active JP7373625B2 (en) 2021-03-08 2022-08-31 light emitting device

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022137569A Active JP7373625B2 (en) 2021-03-08 2022-08-31 light emitting device

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP2021082614A (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007157374A (en) * 2005-12-01 2007-06-21 Seiko Epson Corp Light-emitting device and electronic equipment
JP2010027500A (en) * 2008-07-23 2010-02-04 Tdk Corp Organic el display, and manufacturing method thereof
JP2011034996A (en) * 2009-07-29 2011-02-17 Tdk Corp Transmission type organic el display device
JP2011233543A (en) * 2011-08-22 2011-11-17 Seiko Epson Corp Light emitting device and electronic equipment

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI241148B (en) 2003-05-21 2005-10-01 Pioneer Corp Organic electroluminescence display panel

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007157374A (en) * 2005-12-01 2007-06-21 Seiko Epson Corp Light-emitting device and electronic equipment
JP2010027500A (en) * 2008-07-23 2010-02-04 Tdk Corp Organic el display, and manufacturing method thereof
JP2011034996A (en) * 2009-07-29 2011-02-17 Tdk Corp Transmission type organic el display device
JP2011233543A (en) * 2011-08-22 2011-11-17 Seiko Epson Corp Light emitting device and electronic equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP7373625B2 (en) 2023-11-02
JP2022164806A (en) 2022-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6595066B2 (en) Light emitting device manufacturing method and light emitting device
US20190189952A1 (en) Light-emitting device
JP6785354B2 (en) Light emitting device
JP6404361B2 (en) Light emitting device
JP7373625B2 (en) light emitting device
JP2021007113A (en) Light-emitting device
JP2019192662A (en) Light-emitting device
JP6580336B2 (en) Light emitting device
JP6499876B2 (en) Light emitting device
JP6661373B2 (en) Light emitting device
JP7408854B2 (en) light emitting device
JP2023181383A (en) Light-emitting device
JP7390508B2 (en) Light-emitting device and method for manufacturing the light-emitting device
JP6953151B2 (en) Light emitting device
JP2016149226A (en) Light-emitting device
JP7288536B2 (en) light emitting device
JP2019195001A (en) Light emission device
JP6700309B2 (en) Light emitting device
JP2019117808A (en) Light-emitting device
JP2021128946A (en) Manufacturing method for light-emitting device
WO2016129114A1 (en) Light-emitting device and method for producing light-emitting device
JP2016157645A (en) Light emission device
WO2016132461A1 (en) Light-emitting device
JP2016152132A (en) Light emission device
JP2016149318A (en) Light-emitting device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210308

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211130

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220531