JP2021076817A - 投影レンズ - Google Patents

Abstract

【課題】ある程度の広い画角を投影することが出来、歪曲が無く、可視光全域で画面周辺部でも鮮鋭な画像となる投影レンズを提供することを目的とする。【解決手段】物体側から順に、全体として負屈折力の第１レンズ群Ｇ１と、全体として正屈折力の第２レンズ群Ｇ２と、前記物体側に最も近いレンズ面が、前記物体側に凹面である第３レンズ群Ｇ３と、前記物体側から最も離れたレンズ面が、前記物体側に凸面である第４レンズ群Ｇ４と、全体として正屈折力の第５レンズ群Ｇ５と、全体として負屈折力の第６レンズ群Ｇ６と、を含み、少なくとも、前記第３レンズ群Ｇ３中又は前記第４レンズ群Ｇ４中に、正屈折力の第１正レンズＬＰ１及び負屈折力の第１負レンズＬＮ１からなる貼り合わせ負レンズＬＮを含み、０．２≦（Ｌ３＋Ｌ４）／Ｌａｌｌ≦０．７、｜ｎ１−ｎ２｜≦０．１５及び１≦ν１−ν２≦１０の各条件を満足することを特徴とする投影レンズを提供する。【選択図】図１

Description

本発明は、物体を撮像素子上に投影するための投影レンズに関する。特に、有限距離で検査撮影を行うための投影レンズに関する。

投影レンズに関し、例えば、下記の特許文献１及び２に記載されたものが知られている。

特開平１１−１８３７９７ 特開平１１−２０２１９７

しかし、従来の投影レンズでは、ある程度の広い画角を投影することは出来るが、画面周辺部で、像がボケていたり、色が滲んでいたりした。また、像の歪みも発生していた。

本発明は、上記問題点に鑑み、ある程度の広い画角を投影することが出来、歪曲が無く、可視光全域で画面周辺部でも鮮鋭な画像となる投影レンズを提供することを目的とする。

物体側から順に、全体として負屈折力の第１レンズ群Ｇ１と、全体として正屈折力の第２レンズ群Ｇ２と、前記物体側に最も近いレンズ面が、前記物体側に凹面である第３レンズ群Ｇ３と、前記物体側から最も離れたレンズ面が、前記物体側に凸面である第４レンズ群Ｇ４と、全体として正屈折力の第５レンズ群Ｇ５と、全体として負屈折力の第６レンズ群Ｇ６と、を含み、少なくとも、前記第３レンズ群Ｇ３中又は前記第４レンズ群Ｇ４中に、正屈折力の第１正レンズＬＰ１及び負屈折力の第１負レンズＬＮ１からなる貼り合わせ負レンズＬＮを含み、レンズ全長をＬａｌｌとし、前記第３レンズ群Ｇ３を構成する全てのレンズの光軸上の総厚をＬ３とし、前記第４レンズ群Ｇ４を構成する全てのレンズの光軸上の総厚をＬ４とし、前記第１負レンズＬＮ１の硝材の屈折率をｎ１とし、アッベ数をν１とし、前記第１正レンズＬＰ１の硝材の屈折率をｎ２とし、アッベ数をν２とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影レンズを提供する。

本発明により、ある程度の広い画角を投影することが出来、歪曲が無く、可視光全域で画面周辺部でも鮮鋭な画像となる投影レンズを提供することが可能になる。

図１は、第１実施例の投影レンズの断面図である。 図２は、第１実施例の投影レンズの諸収差図である。 図３は、第２実施例の投影レンズの断面図である。 図４は、第２実施例の投影レンズの諸収差図である。 図５は、第３実施例の投影レンズの断面図である。 図６は、第３実施例の投影レンズの諸収差図である。 図７は、第４実施例の投影レンズの断面図である。 図８は、第４実施例の投影レンズの諸収差図である。

本発明では、物体側から順に、全体として負屈折力の第１レンズ群Ｇ１と、全体として正屈折力の第２レンズ群Ｇ２と、前記物体側に最も近いレンズ面が、前記物体側に凹面である第３レンズ群Ｇ３と、前記物体側から最も離れたレンズ面が、前記物体側に凸面である第４レンズ群Ｇ４と、全体として正屈折力の第５レンズ群Ｇ５と、全体として負屈折力の第６レンズ群Ｇ６と、を含む構成にすることで、特に、コマ収差、像面湾曲、非点収差及び歪曲収差を良好に補正している。

また、少なくとも、前記第３レンズ群Ｇ３中又は前記第４レンズ群Ｇ４中に、正屈折力の第１正レンズＬＰ１及び負屈折力の第１負レンズＬＮ１からなる貼り合わせ負レンズＬＮを含むようにする。これにより、色収差を広範囲にわたり良好に補正している。特に、各波長で非点収差の収差曲線の形状が大きく変化することを抑制している。

条件（１）は、諸収差を良好に補正しつつ、更に色収差を良好に補正するための条件である。条件（１）の上限を上回ると、レンズ全長が長くなり過ぎ、好ましくない。条件（１）の下限を下回ると、特に色収差を含む諸収差を良好に補正することが難しくなるため、好ましくない。

尚、条件（１）の下限を０．２５とし、上限を０．６５とすれば、更に良い結果が得られる。

条件（２）及び（３）は、色収差を広波長領域で良好に補正するための条件である。特に、各波長で非点収差の収差曲線の形状が大きく変化することを抑制するための条件である。

条件（２）の上限を上回ると、色収差を広波長領域で良好に補正することが難しくなるため、好ましくない。条件（２）の上限を０．１０とすれば、更に良い結果が得られる。

条件（３）の上限を上回ると、色収差を広波長領域で良好に補正することが難しくなるため、好ましくない。条件（３）の下限を下回ると、レンズの製造が難しくなるため、好ましくない。尚、条件（３）の下限を１．３とし、上限を８．５とすれば、更に良い結果が得られる。

前記貼り合わせ負レンズＬＮの貼り合わせ面の曲率半径をｒｃ１とし、前記第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２としたとき、以下の条件（４）を満足することが好ましい。

条件（４）は、色収差を広波長領域で良好に補正するための条件である。条件（４）の上限を上回ると、色収差を広波長領域で良好に補正することが難しくなるため、好ましくない。条件（４）の下限を下回ると、製造が困難になるため、好ましくない。

尚、条件（４）の下限を０．１０とし、上限を０．５とすれば、更に良い結果が得られる。

前記第３レンズ群Ｇ３には少なくとも１枚の正屈折力の第２正レンズＬＰ２が配置され、前記第４レンズ群Ｇ４には少なくとも１枚の正屈折力の第３正レンズＬＰ３が配置され、前記第２正レンズＬＰ２の屈折率は１．５５以上で且つアッベ数は６２以上で、前記第３正レンズＬＰ３の屈折率は１．５５以上で且つアッベ数は６２以上であることが好ましい。

これら屈折率及びアッベ数の限定は、色収差を広波長領域で良好に補正しつつ、特に、球面収差と非点収差とを同時に良好に補正するためである。これら屈折率及びアッベ数の値を下回ると、特に、球面収差と非点収差とが悪化するため、好ましくない。

尚、第２正レンズＬＰ２の屈折率及び第３正レンズＬＰ３の屈折率を１．５７以上とすれば、更に良い結果が得られる。また、第２正レンズＬＰ２のアッベ数及び第３正レンズＬＰ３のアッベ数を６５以上とすれば、更に良い結果が得られる。

前記第１レンズ群Ｇ１は、前記物体側から順に、前記物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬＰＭ１と、前記物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬＮＭ１と、を含み、前記第１レンズ群Ｇ１中の前記正メニスカスレンズＬＰＭ１の屈折率をｎ３とし、前記第１レンズ群Ｇ１中の前記負メニスカスレンズＬＮＭ１の屈折率をｎ４とするとき、以下の条件（５）及び（６）を満足することが好ましい。

これら条件（５）及び（６）は、特に、歪曲収差と非点収差とを良好に補正するための条件である。条件（５）の下限を下回ったり、条件（６）の上限を上回ったりすると、歪曲収差と非点収差とを良好に補正することが難しくなるため、好ましくない。

尚、条件（５）の下限を１．７５とすれば、更に良い結果が得られる。また、条件（６）の上限を１．６５とすれば、更に良い結果が得られる。

前記第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも１枚の屈折率１．６５以上で且つアッベ数５０以上の第４正レンズＬＰ４を含み、前記第５レンズ群Ｇ５は、少なくとも１枚の屈折率１．６５以上で且つアッベ数５０以上の第５正レンズＬＰ５を含むことをが好ましい。これらを満たすことで、特に、コマ収差を良好に補正することが出来るようになる。

前記第１レンズ群Ｇ１を構成するレンズの最大直径をφ１とし、前記第６レンズ群Ｇ６を構成するレンズの最大直径をφ２とするとき、以下の条件（７）及び（８）を満足することが好ましい。

条件（７）及び条件（８）は、良好な性能と適切な大きさとを同時に保つための条件である。条件（７）の上限を上回ったり、条件（８）の上限を上回ったりすると、光学系全体が大きくなってしまい、製造上不利になるので、好ましくない。また、条件（７）の下限を下回ったり、条件（８）の下限を下回ったりすると、良好な性能を得られなくなるので、好ましくない。

尚、条件（７）の下限を０．３とし、上限を０．６とすれば、更に良い結果が得られる。また、条件（８）の下限を０．１８とし、上限を０．５とすれば、更に良い結果が得られる。

前記高解像レンズ全体の焦点距離をｆａｌｌとし、前記第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３とし、前記第４レンズ群Ｇ４の焦点距離をｆ４としたとき、以下の条件（９）及び（１０）を満足することが好ましい。

これら条件（９）及び（１０）は、色収差を良好に補正しつつ各ザイデル五収差とを同時に良好に補正するための条件である。条件（９）の上限を上回ったり、条件（１０）の上限を上回ったりすると、特に、球面収差やコマ収差が大きくなってしまうため、好ましくない。

尚、条件（９）の上限を０．５５とすれば、更に良い結果が得られる。また、条件（１０）の上限を０．５とすれば、更に良い結果が得られる。

前記高解像レンズ全体の焦点距離をｆａｌｌとし、前記第１レンズ群Ｇ１の焦点距離をｆ１としたとき、以下の条件（１１）を満足することが好ましい。

条件（１１）は、特に、歪曲収差及び非点収差を良好に補正するための条件である。条件（１１）の上限を上回ると、歪曲収差及び非点収差を良好に補正することが出来なくなり、好ましくない。条件（１１）の下限を下回ると、レンズの製造が困難になるため、好ましくない。

尚、条件（１１）の下限を−０．６とし、上限を−０．１５とすれば、更に良い結果が得られる。

前記高解像レンズ全体の焦点距離をｆａｌｌとし、前記第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２としたとき、以下の条件（１２）を満足することが好ましい。

条件（１２）は、特に、コマ収差を良好に補正するための条件である。条件（１２）の上限を上回ったり、下限を下回ったりすると、コマ収差の補正が難しくなり、好ましくない。

尚、条件（１２）の下限を０．３とし、上限を０．８とすれば、更に良い結果が得られる。

前記高解像レンズ全体の焦点距離をｆａｌｌとし、前記第６レンズ群Ｇ６の焦点距離をｆ６としたとき、以下の条件（１３）を満足することが好ましい。

条件（１３）は、歪曲収差及び非点収差を良好に補正するための条件である。条件（１３）の上限を上回ると、歪曲収差及び非点収差を良好に補正することが出来なくなり、好ましくない。条件（１３）の下限を下回ると、レンズの製造が困難になるため、好ましくない。

尚、条件（１３）の下限を−１．３とし、上限を−０．６とすれば、更に良い結果が得られる。

前記高解像レンズ全体の焦点距離をｆａｌｌとし、前記第５レンズ群Ｇ５の焦点距離をｆ５としたとき、以下の条件（１４）を満足することが好ましい。

条件（１４）は、コマ収差を良好に補正するための条件である。条件（１４）の上限を上回ったり、下限を下回ったりすると、コマ収差の補正が難しくなり、好ましくない。

尚、条件（１４）の下限を０．７とし、上限を１．３とすれば、更に良い結果が得られる。

前記物体から前記第１レンズ群Ｇ１までの距離が変化するとき、前記第１レンズ群Ｇ１から前記第６レンズ群Ｇ６までのうち、少なくとも１つのレンズ群が光軸上に移動することが好ましい。この様な補正を行うことで、どの様な投影距離でも、良好な画像を得ることが出来るようになる。

前記第１レンズ群Ｇ１は、前記物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬＰＭ１と、前記物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬＮＭ１と、を含み、前記正メニスカスレンズＬＰＭ１の前記物体側に近い面の曲率半径をｒ１Ｐとし、前記正メニスカスレンズＬＰＭ１の前記物体側から遠い面の曲率半径をｒ２Ｐとし、前記負メニスカスレンズＬＮＭ１の前記物体側に近い面の曲率半径をｒ１Ｎとし、前記負メニスカスレンズＬＮＭ１の前記物体側から遠い面の曲率半径をｒ２Ｎとするとき、以下の条件（１５）及び（１６）を満足することが好ましい。

条件（１５）及び（１６）は、諸収差、特に、像面湾曲を良好に補正しながら適切な形状とするための条件である。条件（１５）の上限を上回ったり、条件（１６）の下限を下回ったりすると、諸収差を良好に補正することが困難になるため、好ましくない。また、条件（１５）の下限を下回ったり、条件（１６）の上限を上回ったりすると、製造が困難になるため、好ましくない。

尚、条件（１５）の下限を−０．５とし、上限を０．０８とすれば、更に良い結果が得られる。また、条件（１６）の下限を０．３とし、上限を０．９とすれば、更に良い結果が得られる。

前記第６レンズ群Ｇ６は、前記物体側に凹面を向けた第２負メニスカスレンズＬＮＭ２を含み、該第２負メニスカスレンズＬＮＭ２の前記物体側に近い面の曲率半径をｒ３Ｎとし、前記第２負メニスカスレンズＬＮＭ２の前記物体側から遠い面の曲率半径をｒ４Ｎとするとき、以下の条件（１７）を満足することが好ましい。

条件（１７）は、諸収差、特に像面湾曲を良好に補正しながら適切な形状とするための条件である。条件（１７）の下限を下回ると、諸収差を良好に補正することが困難になるため、好ましくない。また、条件（１７）の上限を上回ると、製造が困難になるため、好ましくない。

尚、条件（１７）の下限を−１．０とし、上限を−０．３とすれば、更に良い結果が得られる。

前記第６レンズ群Ｇ６中の前記物体から最も離れたレンズ面から像面までの距離をＬｂｆとしたとき、以下の条件（１８）を満足することが好ましい。

この条件（１８）は、良好な投影レンズ全体の形状を決定する条件である。条件（１８）の下限を下回ると、形状全体が大きくなり過ぎ、好ましくない。条件（１８）の上限を上回ると、屈折力配置が偏るため、特に歪曲収差の補正が困難になり、好ましくない。条件（１８）の下限を０．１５とし、上限を０．８にすると更に良い結果が得られる。

画角に関しては、半画角が１５°以上、つまり、全画角が３０°以上であることが好ましい。

また、絞りＳは、前記第３レンズ群Ｇ３と前記第４レンズ群Ｇ４との間に配置されることが好ましい。この様な構成とすることで、特に、歪曲収差の補正を容易にすることが出来る。

以下の条件（１９）及び（２０）を満足することが好ましい。

条件（１９）及び（２０）は、諸収差を良好に補正しつつ、更に色収差を良好に補正するための条件である。条件（１９）の上限を上回ったり、条件（２０）の上限を上回ると、レンズ全長が長くなり過ぎ、好ましくない。条件（１９）の下限を下回ったり、条件（２０）の下限を下回ると、特に色収差を含む諸収差を良好に補正することが難しくなるため、好ましくない。

尚、条件（１９）の下限を０．０５とし、上限を０．４０とすれば、更に良い結果が得られる。尚、条件（２０）の下限を０．１５とし、上限を０．４０とすれば、更に良い結果が得られる。

以下に、各実施例を説明する。

各実施例の広角レンズは、物体Ｏ側から順に、第１レンズ群Ｇ１と、第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、絞りＳと、第４レンズ群Ｇ４と、第５レンズ群Ｇ５と、第６レンズ群Ｇ６とから構成されている。

図１、図３、図５及び図７は、各実施例の断面図である。

図２、図４、図６及び図８は、各実施例の諸収差図である。各収差を示す図は、左側から順に、（ａ）球面収差図、（ｂ）非点収差図、（ｃ）歪曲収差図である。

球面収差図は、縦軸に相対的な入射高を示し、横軸に収差量を示している。図中、ｇはｇ線（波長４３６ｎｍ）を示し、ＦはＦ線（波長４８６ｎｍ）を示し、ｄはｄ線（波長５８８ｎｍ）を示し、ＣはＣ線（波長６５６ｎｍ）を示している。

非点収差図は、縦軸に物体側からの主光線の入射角（半画角）を示し、横軸に収差量を示している。また、実線はメリディオナル像面Ｍを示し、点線はサジタル像面Ｓを示している。

歪曲収差図は、縦軸に物体側からの主光線の入射角（半画角）を示し、横軸にパーセント表示の収差量を示している。

また、各実施の基本データの表は、左側から順に、面番号、曲率半径ｒ、面間隔ｄ、ｄ線屈折率ｎｄ、アッベ数νｄを示している。

各実施例の長さの単位はｍｍ（ミリメートル）である。しかし、光学系は比例拡大または比例縮小しても同様の光学性能が得られるため、単位はｍｍに限られるものではない。

（第１実施例）
第１実施例を、図１を参照しながら、説明する。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と、から構成される。第２レンズ群Ｇ２は、両凸レンズＬ２１から構成される。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹レンズＬ３１と、両凸レンズＬ３２と両凹レンズＬ３３との貼り合わせレンズと、両凸レンズＬ３４と、から構成される。第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に、両凸レンズＬ４１と、両凹レンズＬ４２と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ４３との貼り合わせレンズと、から構成される。第５レンズ群Ｇ５は、両凸レンズＬ５１から構成される。第６レンズ群Ｇ６は、物体側から順に、物体Ｏ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ６１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ６２と、から構成される。

物体から第１レンズ面までの距離は５００．１０であり、像高は３３．５である。また、絞りＳの直径は１５．９である。

（基本データ）

（条件対応値）
Ｌ３＝４４．３、Ｌ４＝３７．４、ｆ１＝−１５０．４８、ｆ２＝１３８．９４、ｆ３＝１１７．０９、ｆ４＝４４９．０９、ｆ５＝６４．５３、ｆ６＝−６６．９４、ｆａｌｌ＝６３．７８、ｒｃ１＝１７．４７、Ｌａｌｌ＝１３４．７５、φ１＝５５．３７、φ２＝３６．５７、Ｌｂｆ＝３２．１９、ｎ３＝１．８８３００、ｎ４＝１．４８７４９、
（Ｌ３＋Ｌ４）／Ｌａｌｌ＝０．６０６、Ｌ３／Ｌａｌｌ＝０．３２９、Ｌ４／Ｌａｌｌ＝０．２７８、｜ｎ１−ｎ２｜＝０．０４１１、ν１−ν２＝２．６８、｜ｒｃ１／ｆ２｜＝０．１２６、φ１／Ｌａｌｌ＝０．４１１、φ２／Ｌａｌｌ＝０．２７１、ｆａｌｌ／ｆ１＝−０．４２４、ｆａｌｌ／ｆ２＝０．４５９、ｆａｌｌ／ｆ３＝０．５４５、ｆａｌｌ／ｆ４＝０．１４２、ｆａｌｌ／ｆ５＝０．９８８、ｆａｌｌ／ｆ６＝−０．９５３、（ｒ１Ｐ−ｒ２Ｐ）／（ｒ１Ｐ＋ｒ２Ｐ）＝−０．１４８、（ｒ１Ｎ−ｒ２Ｎ）／（ｒ１Ｎ＋ｒ２Ｎ）＝０．７５０、（ｒ３Ｎ−ｒ４Ｎ）／（ｒ３Ｎ＋ｒ４Ｎ）＝−０．８３６、Ｌｂｆ／ｆａｌｌ＝０．５０５、

尚、上記ｎ１、ｎ２、ν１、ν２及びｒｃ１は、第４レンズ群Ｇ４中の貼り合わせ負レンズＬＮのデータを採用したが、第３レンズ群Ｇ３中にも貼り合わせ負レンズがある。第３レンズ群Ｇ３中の貼り合わせ負レンズのデータを採用した場合は、｜ｎ１−ｎ２｜＝０．０１７９、ν１−ν２＝５．０３、｜ｒｃ１／ｆ２｜＝０．２２９となる。

図２に示す通り、本実施例の投影レンズは、諸収差が良好に補正されている。特に、非点収差図で、各波長の収差曲線の形状が酷似している。

（第２実施例）
第２実施例を、図３を参照しながら、説明する。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と、から構成される。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２１から構成される。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ３１と両凹レンズＬ３２との貼り合わせレンズと、両凸レンズＬ３３と、から構成される。第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に、両凸レンズＬ４１と、両凹レンズＬ４２と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ４３との貼り合わせレンズと、から構成される。第５レンズ群Ｇ５は、両凸レンズＬ５１から構成される。第６レンズ群Ｇ６は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ６１と、両凸レンズＬ６２と、から構成される。

物体から第１レンズ面までの距離は、７７８．４４であり、像高は３３．５である。また、絞りＳの直径は１３．５である。

（基本データ）

（条件対応値）
Ｌ３＝１９．６、Ｌ４＝３１．２、ｆ１＝−２１３．９２、ｆ２＝１１２．３９、ｆ３＝８４６．０９、ｆ４＝１５８．２１、ｆ５＝６１．８３、ｆ６＝−６１．５９、ｆａｌｌ＝６８．４５、ｒｃ１＝３７．２７、Ｌａｌｌ＝１４４．８、φ１＝６６．５０、φ２＝４７．６８、Ｌｂｆ＝２０．０８、ｎ３＝１．８８３００、ｎ４＝１．５１６００、
（Ｌ３＋Ｌ４）／Ｌａｌｌ＝０．３５１、Ｌ３／Ｌａｌｌ＝０．１３５、Ｌ４／Ｌａｌｌ＝０．２１６、｜ｎ１−ｎ２｜＝０．０００４７、ν１−ν２＝７．３２、｜ｒｃ１／ｆ２｜＝０．３３２、φ１／Ｌａｌｌ＝０．４５９、φ２／Ｌａｌｌ＝０．３２９、ｆａｌｌ／ｆ１＝−０．３２０、ｆａｌｌ／ｆ２＝０．６０９、ｆａｌｌ／ｆ３＝０．０８１、ｆａｌｌ／ｆ４＝０．４３３、ｆａｌｌ／ｆ５＝１．１０７、ｆａｌｌ／ｆ６＝−１．１１１、（ｒ１Ｐ−ｒ２Ｐ）／（ｒ１Ｐ＋ｒ２Ｐ）＝−０．２３６、（ｒ１Ｎ−ｒ２Ｎ）／（ｒ１Ｎ＋ｒ２Ｎ）＝０．５７２、（ｒ３Ｎ−ｒ４Ｎ）／（ｒ３Ｎ＋ｒ４Ｎ）＝−０．７６７、Ｌｂｆ／ｆａｌｌ＝０．２９３、

尚、上記ｎ１、ｎ２、ν１、ν２及びｒｃ１は、第４レンズ群Ｇ４中の貼り合わせ負レンズＬＮのデータを採用したが、第３レンズ群Ｇ３中にも貼り合わせ負レンズがある。第３レンズ群Ｇ３中の貼り合わせ負レンズのデータを採用した場合は、｜ｎ１−ｎ２｜＝０．０１７９、ν１−ν２＝５．０３、｜ｒｃ１／ｆ２｜＝０．２４１となる。

図４に示す通り、本実施例の投影レンズは、諸収差が良好に補正されている。特に、非点収差図で、各波長の収差曲線の形状が酷似している。

（第３実施例）
第３実施例を、図５を参照しながら、説明する。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と、から構成される。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２１から構成される。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ３１と両凹レンズＬ３２との貼り合わせレンズと、両凸レンズＬ３３と、から構成される。第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に、両凸レンズＬ４１と、両凹レンズＬ４２と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ４３との貼り合わせレンズと、から構成される。第５レンズ群Ｇ５は、両凸レンズＬ５１から構成される。第６レンズ群Ｇ６は、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ６１から構成される。

物体から第１レンズ面までの距離は、９４１．１３であり、像高は３３．５である。また、絞りＳの直径は１５．６である。

（基本データ）

（条件対応値）
Ｌ３＝２８．１、Ｌ４＝４１．９、ｆ１＝−２６２．４０、ｆ２＝１２３．３２、ｆ３＝５３７．３９、ｆ４＝２０２．２３、ｆ５＝６９．１３、ｆ６＝−７３．５６、ｆａｌｌ＝７６．７４、ｒｃ１＝２４．３３、Ｌａｌｌ＝１３７．２、φ１＝６０．７３、φ２＝３７．８３、Ｌｂｆ＝３２．９４、ｎ３＝１．８３４８１、ｎ４＝１．５１７４２、
（Ｌ３＋Ｌ４）／Ｌａｌｌ＝０．５１０、Ｌ３／Ｌａｌｌ＝０．２０５、Ｌ４／Ｌａｌｌ＝０．３０５、｜ｎ１−ｎ２｜＝０．０５６３、ν１−ν２＝１．６６、｜ｒｃ１／ｆ２｜＝０．１９７、φ１／Ｌａｌｌ＝０．４４３、φ２／Ｌａｌｌ＝０．２７６、ｆａｌｌ／ｆ１＝−０．２９１、ｆａｌｌ／ｆ２＝０．６２２、ｆａｌｌ／ｆ３＝０．１４３、ｆａｌｌ／ｆ４＝０．３８０、ｆａｌｌ／ｆ５＝１．１１０、ｆａｌｌ／ｆ６＝−１．０４３、（ｒ１Ｐ−ｒ２Ｐ）／（ｒ１Ｐ＋ｒ２Ｐ）＝−０．３３６、（ｒ１Ｎ−ｒ２Ｎ）／（ｒ１Ｎ＋ｒ２Ｎ）＝０．６８４、（ｒ３Ｎ−ｒ４Ｎ）／（ｒ３Ｎ＋ｒ４Ｎ）＝−０．６６８、Ｌｂｆ／ｆａｌｌ＝０．４２９、

尚、上記ｎ１、ｎ２、ν１、ν２及びｒｃ１は、第４レンズ群Ｇ４中の貼り合わせ負レンズＬＮのデータを採用したが、第３レンズ群Ｇ３中にも貼り合わせ負レンズがある。第３レンズ群Ｇ３中の貼り合わせ負レンズのデータを採用した場合は、｜ｎ１−ｎ２｜＝０．０１７９、ν１−ν２＝５．０３、｜ｒｃ１／ｆ２｜＝０．１９４となる。

図６に示す通り、本実施例の投影レンズは、諸収差が良好に補正されている。特に、非点収差図で、各波長の収差曲線の形状が酷似している。

（第４実施例）
第４実施例を、図７を参照しながら、説明する。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と、から構成される。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２１から構成される。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹レンズＬ３１と、両凸レンズＬ３２と、から構成される。第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に、両凸レンズＬ４１と、両凹レンズＬ４２と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ４３との貼り合わせレンズと、から構成される。第５レンズ群Ｇ５は、両凸レンズＬ５１から構成される。第６レンズ群Ｇ６は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ６１と、両凸レンズＬ６２と、から構成される。

物体から第１レンズ面までの距離は、８０３．４４であり、像高は３３．５である。また、絞りＳの直径は１５．１である。

（基本データ）

（条件対応値）
Ｌ３＝１０．５、Ｌ４＝３３．１、ｆ１＝−１７４．７７、ｆ２＝１１２．３０、ｆ３＝４１４．８５、ｆ４＝２９０．３６、ｆ５＝７０．２２、ｆ６＝−７７．６８、ｆａｌｌ＝６７．１７、ｒｃ１＝２５．６５、Ｌａｌｌ＝１３１．７、φ１＝５９．８４、φ２＝４４．６３、Ｌｂｆ＝２７．４２、ｎ３＝１．８８３００、ｎ４＝１．５１８６０、
（Ｌ３＋Ｌ４）／Ｌａｌｌ＝０．３３１、Ｌ３／Ｌａｌｌ＝０．０８０、Ｌ４／Ｌａｌｌ＝０．２５１、｜ｎ１−ｎ２｜＝０．０００４７、ν１−ν２＝７．３２、｜ｒｃ１／Ｌａｌｌ｜＝０．１９５、φ１／Ｌａｌｌ＝０．４５４、φ２／Ｌａｌｌ＝０．３３９、ｆａｌｌ／ｆ１＝−０．３８４、ｆａｌｌ／ｆ２＝０．５９８、ｆａｌｌ／ｆ３＝０．１６２、ｆａｌｌ／ｆ４＝０．２３１、ｆａｌｌ／ｆ５＝０．９５７、ｆａｌｌ／ｆ６＝−０．８６５、（ｒ１Ｐ−ｒ２Ｐ）／（ｒ１Ｐ＋ｒ２Ｐ）＝−０．２６０、（ｒ１Ｎ−ｒ２Ｎ）／（ｒ１Ｎ＋ｒ２Ｎ）＝０．５４４、（ｒ３Ｎ−ｒ４Ｎ）／（ｒ３Ｎ＋ｒ４Ｎ）＝−０．５４４、Ｌｂｆ／ｆａｌｌ＝０．４０８、

図８に示す通り、本実施例の投影レンズは、諸収差が良好に補正されている。特に、非点収差図で、各波長の収差曲線の形状が酷似している。

Ｇ１：第１レンズ群
Ｇ２：第２レンズ群
Ｇ３：第３レンズ群
Ｇ４：第４レンズ群
Ｇ５：第５レンズ群
Ｇ６：第６レンズ群
Ｓ ：絞り

Claims (11)

1. 物体側から順に、
   全体として負屈折力の第１レンズ群と、
   全体として正屈折力の第２レンズ群と、
   前記物体側に最も近いレンズ面が、前記物体側に凹面である第３レンズ群と、
   前記物体側から最も離れたレンズ面が、前記物体側に凸面である第４レンズ群と、
   全体として正屈折力の第５レンズ群と、
   全体として負屈折力の第６レンズ群と、を含み、
   少なくとも、前記第３レンズ群中又は前記第４レンズ群中に、正屈折力の第１正レンズ及び負屈折力の第１負レンズから構成される貼り合わせ負レンズを含み、
   レンズ全長をＬａｌｌとし、
   前記第３レンズ群を構成する全てのレンズの光軸上の総厚をＬ３とし、
   前記第４レンズ群を構成する全てのレンズの光軸上の総厚をＬ４とし、
   前記第１負レンズの硝材の屈折率をｎ１とし、アッベ数をν１とし、
   前記第１正レンズの硝材の屈折率をｎ２とし、アッベ数をν２とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影レンズ。
   

   
2. 前記貼り合わせ負レンズの貼り合わせ面の曲率半径をｒｃ１とし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影レンズ。
   

   
3. 前記第３レンズ群には少なくとも１枚の正屈折力の第２正レンズレンズが配置され、
   また、前記第４レンズ群には少なくとも１枚の正屈折力の第３正レンズレンズが配置され、
   前記第２正レンズの屈折率は１．５５以上で、且つアッベ数は６２以上で、
   前記第３正レンズの屈折率は１．５５以上で、且つアッベ数は６２以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の投影レンズ。
4. 前記第１レンズ群は、前記物体側から順に、前記物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、前記物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと、を含み、
   前記第１レンズ群中の前記正メニスカスレンズの屈折率をｎ３とし、前記第１レンズ群中の前記負メニスカスレンズの屈折率をｎ４とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至３記載の投影レンズ。
   

   
5. 前記第２レンズ群は、少なくとも１枚の屈折率１．６５以上で且つアッベ数５０以上の第４正レンズを含み、
   前記第５レンズ群は、少なくとも１枚の屈折率１．６５以上で且つアッベ数５０以上の第５正レンズを含むことを特徴とする請求項１乃至４記載の投影レンズ。
6. 前記高解像レンズ全体の焦点距離をｆａｌｌとし、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３とし、前記第４レンズ群の焦点距離をｆ４としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至５記載の投影レンズ。
   

   
7. 前記高解像レンズ全体の焦点距離をｆａｌｌとし、前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至６記載の投影レンズ。
   

   
8. 前記高解像レンズ全体の焦点距離をｆａｌｌとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至７記載の投影レンズ。
   

   
9. 前記物体から前記第１レンズ群までの距離が変化するとき、前記第１レンズ群から前記第６レンズ群までのうち、少なくとも１つのレンズ群が光軸上に移動することを特徴とする請求項１乃至８記載の投影レンズ。
10. 前記第１レンズ群は、前記物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、前記物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと、を含み、
    前記正メニスカスレンズの前記物体側に近い面の曲率半径をｒ１Ｐとし、前記正メニスカスレンズの前記物体側から遠い面の曲率半径をｒ２Ｐとし、前記負メニスカスレンズの前記物体側に近い面の曲率半径をｒ１Ｎとし、前記負メニスカスレンズの前記物体側から遠い面の曲率半径をｒ２Ｎとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至９記載の投影レンズ。
    

    
11. 前記第６レンズ群は、前記物体側に凹面を向けた第２負メニスカスレンズを含み、
    前記第２負メニスカスレンズの前記物体側に近い面の曲率半径をｒ３Ｎとし、前記第２負メニスカスレンズの前記物体側から遠い面の曲率半径をｒ４Ｎとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至１０記載の投影レンズ。
    

    

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