JP2021070197A - 流路部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】グリーンシートの厚みに依存しない深さの流路を形成することができる流路部材の製造方法を提供する。【解決手段】流路部材の製造方法は、複数のセラミックグリーンシートを準備する工程と、複数のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成する工程と、積層体を切削して溝部を形成する工程と、別のセラミックグリーンシートを準備する工程と、溝部を覆うように別のセラミックグリーンシートを積層体に積層して、内部に流路を有する積層構造体を形成する工程と、積層構造体を焼成する工程と、を含む。【選択図】図４

Description

開示の実施形態は、流路部材の製造方法に関する。

従来、基体の内部に流路が形成された流路部材を用いて、かかる流路に低温または高温の流体を流し、基体と熱交換対象物とを接触させることにより、熱交換対象物の温度調整を行う技術が知られている。この流路部材は、長期間の使用に耐えることが求められることから、機械的特性に優れたセラミックスで基体を構成した流路部材が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１４−４６３２６号公報

しかしながら、従来の技術では、セラミックス製の流路部材を形成する手法として、流路となる部位が打ち抜かれた複数のセラミックグリーンシート（以下、「グリーンシート」とも呼称する。）を積層し、この積層構造体を焼成する手法が用いられていたことから、流路の深さがグリーンシートの厚みに依存していた。すなわち、従来の技術では、グリーンシートの厚みに依存しない深さの流路を形成することが困難であった。

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、グリーンシートの厚みに依存しない深さの流路を形成することができる流路部材の製造方法を提供することを目的とする。

実施形態の一態様に係る流路部材の製造方法は、複数のセラミックグリーンシートを準備する工程と、前記複数のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成する工程と、前記積層体を切削して溝部を形成する工程と、別のセラミックグリーンシートを準備する工程と、前記溝部を覆うように前記別のセラミックグリーンシートを前記積層体に積層して、内部に流路を有する積層構造体を形成する工程と、前記積層構造体を焼成する工程と、を含む。

実施形態の一態様によれば、グリーンシートの厚みに依存しない深さの流路を形成することができる流路部材の製造方法が提供可能となる。

図１は、実施形態に係る流路部材の斜視図である。 図２は、図１に示すＡ−Ａ線の矢視断面図である。 図３は、図１に示すＢ−Ｂ線の矢視断面図である。 図４は、実施形態に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図５は、実施形態に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図６は、実施形態に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図７は、実施形態に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図８は、実施形態の変形例１に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図９は、実施形態の変形例２に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図１０は、実施形態の変形例３に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図１１は、実施形態の変形例４に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図１２は、実施形態の変形例５に係る流路部材の製造工程を説明するための図である。 図１３は、実施形態に係る流路部材の製造工程の手順を示すフローチャートである。

以下、添付図面を参照して、本願の開示する流路部材の製造方法の実施形態について説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

従来、基体の内部に流路が形成された流路部材を用いて、かかる流路に低温または高温の流体を流し、基体と熱交換対象物とを接触させることにより、熱交換対象物の温度調整を行う技術が知られている。たとえば、熱交換対象物が高温ガスである場合、かかる高温ガスに接触するように基体を配置し、流路に低温の液体を流すことにより、高温ガスを冷却することができる。

そして、上述したような流路部材は、長期間の使用に耐えることが求められることから、機械的特性に優れたセラミックスで基体を構成した流路部材が提案されている。

しかしながら、従来の技術では、セラミックス製の流路部材を形成する手法として、流路となる部位が打ち抜かれた複数のセラミックグリーンシート（以下、「グリーンシート」とも呼称する。）を積層し、この積層構造体を焼成する手法が用いられていたことから、流路の深さがグリーンシートの厚みに依存していた。

換言すると、従来の技術では、同じ厚みのグリーンシートを用いて積層構造体を形成した場合、流路の深さをグリーンシートの厚みの整数倍にすることしかできなかった。すなわち、従来の技術では、セラミックグリーンシートの厚みに依存しない深さの流路を形成することが困難であった。

そこで、上述の問題点を克服し、グリーンシートの厚みに依存しない深さの流路を形成することができる流路部材の製造方法の実現が期待されている。

＜流路部材の構成＞
最初に、実施形態に係る流路部材１の構成について、図１〜図３を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る流路部材１の斜視図であり、図２は、図１に示すＡ−Ａ線の矢視断面図であり、図３は、図１に示すＢ−Ｂ線の矢視断面図である。

なお以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする。

図１などに示すように、実施形態に係る流路部材１は、基体２で構成される。かかる基体２は、セラミックスにより一体に形成され、たとえば板状である。

基体２を構成するセラミックスとしては、流路部材１の内部を通流させる流体の特性に合わせて適宜選択すればよい。基体２を構成するセラミックスとしては、たとえば、アルミナ質セラミックスやコージェライト質セラミックスなどの酸化物セラミックス、窒化珪素質セラミックスや窒化アルミニウム質セラミックス、炭化珪素質セラミックスなどの非酸化物セラミックスを用いることができる。

たとえば、基体２を非酸化物セラミックス（炭化珪素など）で構成した場合、高い熱伝導率によって流路部材１の熱交換効率を高めることができる。また、基体２を酸化物セラミックス（アルミナなど）で構成した場合、原料代が安くかつ加工もしやすいことから、流路部材１の製造コストを低減することができる。

基体２の側部には、流入口３および流出口４が形成される。たとえば、流入口３が形成される側部とは反対側の側部に、流出口４が形成される。また、基体２の内部には、深さＤを有し、流入口３と流出口４との間を接続する流路５が形成される。換言すると、流入口３および流出口４は、流路５と外部とを繋いでいる。

図１などに示すように、実施形態に係る流路部材１は、流入口３および流出口４の断面積が流路５の断面積よりも小さい。このように、流出口４の断面積を流路５の断面積よりも小さくすることにより、流体を流路５内に長く留まらせることができるとともに、流路５内に乱流を生じさせることができる。

一方で、流出口４の断面積を流路５の断面積よりも小さくすることにより、流出口４で流体が跳ね返って流路５に流体が逆流する恐れがあるが、この場合、流入口３の断面積を流路５の断面積よりも小さくすることにより、流路５から流入口３への流体の逆流を抑制することができる。さらに、流入口３の断面積を流路５の断面積よりも小さくすることにより、流路５内に乱流を生じさせることができる。

＜流路部材の製造工程＞
つづいて、実施形態に係る流路部材１の製造工程の詳細について、図４〜図７を参照しながら説明する。なお、図４の（ａ）〜（ｃ）、図５の（ａ）〜（ｃ）および図６の（ａ）、（ｂ）は図３に対応する断面図であり、図４の（ｄ）、図５の（ｄ）および図７は図２に対応する断面図である。

最初に、図４の（ａ）に示すように、所定の平面形状を有し、厚みがＴ１のセラミックグリーンシートである第１グリーンシート１０を準備する。第１グリーンシート１０の厚みＴ１は、たとえば、０．１ｍｍ〜１．５ｍｍである。なお、第１グリーンシート１０は、複数準備される。

このセラミックグリーンシートを形成する工程としては、たとえば、主成分原料（炭化珪素やアルミナなど）の粉末に、焼結助剤、バインダ、溶媒および分散剤等を適宜添加し混合してスラリーを作製する。そして、このスラリーを用いて、ドクターブレード法によりセラミックグリーンシートを形成する。

なお、セラミックグリーンシートを形成する他の方法としては、スラリーを噴霧乾燥造粒法（スプレードライ法）により噴霧乾燥して造粒することによって顆粒を作製し、得られた顆粒をロールコンパクションにより成形する方法がある。また、顆粒を用いて、メカプレス法や冷間静水圧加圧成形（ＣＩＰ）法、または、スラリーの代わりに坏土を作製して、押出成形法によってセラミックグリーンシートを得てもよい。

次に、図４の（ｂ）に示すように、複数（図では３枚）の第１グリーンシート１０を積層して、第１積層体１１を形成する。第１積層体１１は、積層体の一例である。

そして、図４の（ｃ）に示すように、第１積層体１１の主面１１ａを切削工具１００で切削加工して、主面１１ａに所定の形状（たとえば、深さＤ１）を有する第１溝部１２を形成する。第１溝部１２は、溝部の一例である。また、第１積層体１１は、第１溝部１２の角部１２ａがＲ形状となるように切削工具１００で切削加工される。

また、図４の（ｄ）に示すように、第１積層体１１の主面１１ａを切削工具１００で切削加工して、主面１１ａに所定の形状を有する第１溝部１３および第１溝部１４を形成する。なお、図４の（ｄ）に示す工程は、図４の（ｃ）に示した工程と同じタイミングで行われるとよい。すなわち、第１溝部１２〜１４は、どのような順序で形成されてもよい。

また、図４に示した工程と並行して、図５に示す工程が実施される。最初に、図５の（ａ）に示すように、所定の平面形状を有し、厚みがＴ２のセラミックグリーンシートである第２グリーンシート２０を準備する。

第２グリーンシート２０の厚みＴ２は、たとえば、０．１ｍｍ〜１．５ｍｍである。なお、第２グリーンシート２０は、複数準備される。また、かかる第２グリーンシート２０は、図４に示した第１グリーンシート１０と同じ厚みのセラミックグリーンシートを用いてもよい（すなわち、Ｔ２＝Ｔ１）。

次に、図５の（ｂ）に示すように、複数（図では３枚）の第２グリーンシート２０を積層して、第２積層体２１を形成する。第２積層体２１は、別のセラミックグリーンシートの一例である。

そして、図５の（ｃ）に示すように、第２積層体２１の主面２１ａを切削工具１００で切削加工して、主面２１ａに所定の形状（たとえば、深さＤ２）を有する第２溝部２２を形成する。第２溝部２２は、別の溝部の一例である。また、第２積層体２１は、第２溝部２２の角部２２ａがＲ形状となるように切削工具１００で切削加工される。

また、図５の（ｄ）に示すように、第２積層体２１の主面２１ａを切削工具１００で切削加工して、主面２１ａに所定の形状を有する第２溝部２３および第２溝部２４を形成する。なお、図５の（ｄ）に示す工程は、図５の（ｃ）に示した工程と同じタイミングで行われるとよい。すなわち、第２溝部２２〜２４は、どのような順序で形成されてもよい。

次に、図６の（ａ）に示すように、第１溝部１２を覆うように第２積層体２１を第１積層体１１に積層する。この際、第１積層体１１の主面１１ａと第２積層体２１の主面２１ａとが互いに向かい合うように配置され、第１溝部１２と第２溝部２２とが一体となるように第２積層体２１を第１積層体１１に積層する。

これにより、図６の（ｂ）に示すように、内部に流路３１を有する積層構造体３０が形成される。かかる流路３１は、図１に示した流路部材１の流路５に対応する部位であり、第１溝部１２と第２溝部２２とが一体となって形成される。すなわち、流路３１の深さＤ１＋Ｄ２は、流路５の深さＤと略等しい。

また、図７に示すように、第１積層体１１および第２積層体２１で構成される積層構造体３０では、流路３１と外部とを繋ぐ流入口３２および流出口３３が形成される。

かかる流入口３２は、図１に示した流路部材１の流入口３に対応する部位であり、第１溝部１３と第２溝部２３とが一体となって形成される。また、流出口３３は、流路部材１の流出口４に対応する部位であり、第１溝部１４と第２溝部２４とが一体となって形成される。

そして、製造工程の最後に、図６の（ｂ）および図７のように形成された積層構造体３０を所定の高温で焼成して、流路部材１が完成する。

ここまで説明したように、実施形態に係る流路部材１の製造工程では、第１積層体１１の主面１１ａに切削加工を施すとともに、第２積層体２１の主面２１ａに切削加工を施すことにより、流路部材１の内部に流路５を形成する。

これにより、第１グリーンシート１０の厚みＴ１に依存しない第１溝部１２の深さＤ１と、第２グリーンシート２０の厚みＴ２に依存しない第２溝部２２の深さＤ２とを足し合わせた深さＤの流路５を形成することができる。

したがって、実施形態によれば、第１グリーンシート１０の厚みＴ１および第２グリーンシート２０の厚みＴ２に依存しない深さＤの流路５を形成することができる。

また、実施形態では、第１積層体１１および第２積層体２１を切削加工して流路５を形成することにより、流路５の側面に凹凸が生じることを抑制することができる。

従来の技術では、それぞれ貫通孔が形成された複数のグリーンシートを位置合わせしながら流路を形成しているが、この位置合わせがずれた場合、流路の側面には凹凸が形成されてしまう。そして、かかる側面の凹凸に起因して、グリーンシート同士がはがれてしまう恐れがある。

しかしながら、実施形態では、第１グリーンシート１０（または第２グリーンシート２０）を積層した後に切削加工して流路５を形成していることから、かかる位置合わせに起因する凹凸が生じる恐れが少ない。

したがって、実施形態によれば、側面の凹凸に起因して、グリーンシート同士がはがれてしまうことを抑制することができる。

また、実施形態では、第１積層体１１と第２積層体２１とのいずれにも溝部を切削加工して流路５を形成することにより、さまざまな深さＤを有する流路５を形成することができる。

また、実施形態では、流路５となる第１溝部１２の形成工程と同じ工程で、流入口３となる第１溝部１３、および流出口４となる第１溝部１４を形成するとよい。同様に、実施形態では、流路５となる第２溝部２２の形成工程と同じ工程で、流入口３となる第２溝部２３、および流出口４となる第２溝部２４を形成するとよい。

これにより、流入口３および流出口４を形成する工程を別途追加する必要がなくなることから、流路部材１の製造工程を簡略化することができる。したがって、実施形態によれば、流路部材１の製造コストを低減することができる。

また、実施形態では、第１溝部１２および第２溝部２２を切削加工で形成することから、角部１２ａおよび角部２２ａをＲ形状にすることができる。これにより、外部から流路部材１に応力が加わった場合に、かかる応力が角部１２ａ、２２ａに集中して、角部１２ａ、２２ａから破損が生じることを抑制することができる。

さらに、実施形態では、角部１２ａおよび角部２２ａをＲ形状にすることにより、流路５を流れる流体が角部１２ａ、２２ａで滞留することを抑制することができる。

＜各種変形例＞
つづいては、実施形態の各種変形例について、図８〜図１１を参照しながら説明する。なお、以下の各種変形例では、実施形態と同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。

上記の実施形態では、第１積層体１１と第２積層体２１とのいずれにも切削加工して流路５を形成する場合について示したが、いずれか一方には必ずしも切削加工しなくともよい。図８は、実施形態の変形例１に係る流路部材１の製造工程を説明するための図である。なお、図８は、図３に対応する断面図である。

図８に示すように、変形例１では、第１溝部１２が形成された第１積層体１１の主面１１ａに、３枚の第２グリーンシート２０（図５参照）で構成される第２積層体２１が積層された例について示している。

この変形例１では、第２積層体２１に第２溝部２２を切削加工する工程を省略することができることから、流路部材１の製造コストを低減することができる。

また、上記の実施形態では、流入口３および流出口４を流路５と同じ工程の切削加工で形成した例について示したが、流入口３および流出口４を流路５と異なる工程で形成してもよい。図９は、実施形態の変形例２に係る流路部材１の製造工程を説明するための図である。なお、図９の（ａ）〜（ｄ）は、図２に対応する断面図である。

図９の（ａ）に示すように、変形例２では、最初に、所定の平面形状を有し、厚みがＴ１のセラミックグリーンシートである第１グリーンシート１０を準備する。なお、かかる第１グリーンシート１０は複数準備される。

次に、図９の（ｂ）に示すように、所定の第１グリーンシート１０に対して、レーザや治具などを用いて打ち抜き加工を施し、流入口３および流出口４に対応する位置に孔部１３Ａおよび孔部１４Ａを形成する。

次に、図９の（ｃ）に示すように、打ち抜き加工された第１グリーンシート１０を含めて、複数（図では３枚）の第１グリーンシート１０を積層し、第１積層体１１を形成する。

次に、図９の（ｄ）に示すように、第１積層体１１の主面１１ａを切削工具１００で切削加工して、主面１１ａに所定の形状を有する第１溝部１２を形成する。かかる第１溝部１２は、孔部１３Ａと孔部１４Ａとを接続するように形成される。

そして、上記実施形態や変形例１に示したように、この第１積層体１１の主面１１ａに第２積層体２１を積層することにより、流路３１（図７参照）、流入口３２（図７参照）および流出口３３（図７参照）が形成された積層構造体３０を形成することができる。

ここまで説明したように、第１グリーンシート１０の準備工程において流入口３および流出口４に対応する部位（孔部１３Ａ、１４Ａ）を形成することにより、第１積層体１１の切削加工時間を短縮することができる。したがって、実施形態によれば、流路部材１の製造時間を短縮することができる。

なお、変形例２では、第２グリーンシート２０の準備工程において流入口３および流出口４に対応する部位を形成してもよく、第１グリーンシート１０および第２グリーンシート２０の両方の準備工程において流入口３および流出口４に対応する部位を形成してもよい。

また、流入口３および流出口４に対応する部位は、第１積層体１１および第２積層体２１の切削加工の後に別途形成してもよい。たとえば、流路３１のみが形成された積層構造体３０を形成した後に、流入口３２および流出口３３を形成してもよい。また、流路３１のみが形成された積層構造体３０を焼成した後に、流入口３および流出口４を形成してもよい。

図１０は、実施形態の変形例３に係る流路部材１の製造工程を説明するための図であり、図３に対応する断面図である。図１０に示すように、第１溝部１２を形成する工程において、第１溝部１２の深さＤ１を調整することにより、積層構造体３０の底部３４において流路３１に接する部位の厚みＴ３を、第１グリーンシート１０の厚みＴ１よりも小さくする。

これにより、流路部材１の底部３４に熱交換対象物が接する場合に、かかる熱交換対象物と流路５を流れる流体との間の熱交換効率をさらに高めることができる。

同様に、第２溝部２２を形成する工程において、第２溝部２２の深さＤ２を調整することにより、積層構造体３０の上部３５において流路３１に接する部位の厚みＴ４を、第２グリーンシート２０の厚みＴ２よりも小さくする。

これにより、流路部材１の上部３５に熱交換対象物が接する場合に、かかる熱交換対象物と流路５を流れる流体との間の熱交換効率をさらに高めることができる。

図１１は、実施形態の変形例４に係る流路部材１の製造工程を説明するための図である。図１１に示すように、変形例４に係る流路部材１は、流入口３および流出口４の断面積が流路５の断面積と略等しい。

これにより、多量の流体を流路５に流すことができることから、熱交換対象物と流路５を流れる流体との間の熱交換効率をさらに高めることができる。

ここまで説明した実施形態および変形例では、第１溝部１２が形成された第１積層体１１に複数の第２グリーンシート２０で構成される部材（第２積層体２１）を積層して積層構造体３０を形成する例について示した。一方で、第１積層体１１に積層される部材は、複数の第２グリーンシート２０で構成される部材（第２積層体２１）に限られない。

たとえば、図１２に示すように、第１溝部１２が形成された第１積層体１１に、１枚の第２グリーンシート２０を積層して、積層構造体３０を形成してもよい。図１２は、実施形態の変形例５に係る流路部材１の製造工程を説明するための図であり、図３に対応する断面図である。

また、図１２に示すように、１枚の第２グリーンシート２０に第２溝部２２を形成し、かかる第２溝部２２と第１積層体１１の第１溝部１２とを一体化して、流路３１を形成してもよい。

＜製造工程の手順＞
つづいて、実施形態に係る流路部材１の製造工程の手順について、図１３を参照しながら説明する。図１３は、実施形態に係る流路部材１の製造工程の手順を示すフローチャートである。

最初に、複数の第１グリーンシート１０を準備する（ステップＳ１０１）。次に、準備された複数の第１グリーンシート１０を積層し、第１積層体１１を形成する（ステップＳ１０２）。

そして、第１積層体１１の主面１１ａを切削加工して、主面１１ａに所定の形状を有する第１溝部１２、１３、１４を形成する（ステップＳ１０３）。

また、ステップＳ１０１〜Ｓ１０３の工程と並行して、複数の第２グリーンシート２０を準備する（ステップＳ１０４）。次に、準備された複数の第２グリーンシート２０を積層し、第２積層体２１を形成する（ステップＳ１０５）。

そして、第２積層体２１の主面２１ａを切削加工して、主面２１ａに所定の形状を有する第２溝部２２、２３、２４を形成する（ステップＳ１０６）。

次に、第１溝部１２、１３、１４を覆うように第２積層体２１を第１積層体１１に積層して、内部に流路３１、流入口３２および流出口３３を有する積層構造体３０を形成する（ステップＳ１０７）。

最後に、積層構造体３０を所定の高温で焼成して（ステップＳ１０８）、流路部材１の製造工程が完了する。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。上記の実施形態では、基体２の内部で流路５が一方向に沿って形成される流路部材１について示したが、流路５の向きは一方向に限られず、たとえば、基体２の内部で流路５がＵ字状に形成されていてもよい。

また、上記の実施形態では、流路５に低温または高温の流体を流し、基体２と熱交換対象物とを接触させることにより、熱交換対象物の温度調整を行う流路部材１について示したが、流路部材１の用途は熱交換対象物の温度調整に限られない。

たとえば、流路５内に液体を流し、流路５の外部から熱を供給することで、流路５内を流れる液体の化学反応を促進させる化学反応容器として流路部材１を用いてもよい。これにより、液体の化学反応を効率よく促進させることができる。

また、上記の実施形態において、流路５内に、流れ方向に直交する隔壁が位置してもよい。かかる隔壁を流路５内に設けることにより、流体を流路５内に長く留まらせることができるとともに、流路５内に乱流を生じさせることができる。

以上のように、実施形態に係る流路部材１の製造方法は、複数のセラミックグリーンシート（第１グリーンシート１０）を準備する工程と、複数のセラミックグリーンシート（第１グリーンシート１０）を積層して積層体（第１積層体１１）を形成する工程と、積層体（第１積層体１１）を切削して溝部（第１溝部１２）を形成する工程と、別のセラミックグリーンシート（第２積層体２１）を準備する工程と、溝部（第１溝部１２）を覆うように別のセラミックグリーンシート（第２積層体２１）を積層体（第１積層体１１）に積層して、内部に流路３１を有する積層構造体３０を形成する工程と、積層構造体３０を焼成する工程と、を含む。これにより、第１グリーンシート１０の厚みＴ１に依存しない深さＤの流路５を形成することができる。

また、実施形態に係る流路部材１の製造方法において、溝部（第１溝部１２）は、角部１２ａにＲ形状を有する。これにより、外部から流路部材１に応力が加わった場合に、かかる応力が角部１２ａ、２２ａに集中して、角部１２ａ、２２ａから破損が生じることを抑制することができる。

また、実施形態に係る流路部材１の製造方法において、別のセラミックグリーンシート（第２積層体２１）を準備する工程は、複数のセラミックグリーンシート（第２グリーンシート２０）を準備する工程と、複数のセラミックグリーンシート（第２グリーンシート２０）を積層して別の積層体（第２積層体２１）を形成する工程と、別の積層体（第２積層体２１）を切削して別の溝部（第２溝部２２）を形成する工程と、を含む。また、積層構造体３０を形成する工程は、溝部（第１溝部１２）と別の溝部（第２溝部２２）とが一体の流路３１となるように、積層体（第１積層体１１）に別の積層体（第２積層体２１）を積層する。これにより、さまざまな深さＤを有する流路５を形成することができる。

また、実施形態に係る流路部材１の製造方法は、流路３１と外部とを繋ぐ流入口３２および流出口３３を形成する工程をさらに含む。そして、流入口３２および流出口３３を形成する工程は、溝部（第１溝部１２）を形成する工程と同じ工程で行われる。これにより、流入口３および流出口４を形成する工程を別途追加する必要がなくなることから、流路部材１の製造工程を簡略化することができる。

また、実施形態に係る流路部材１の製造方法は、流路３１と外部とを繋ぐ流入口３２および流出口３３を形成する工程をさらに含む。そして、流入口３２および流出口３３を形成する工程は、積層体（第１積層体１１）を形成する工程の前に行われる。これにより、第１積層体１１の切削加工時間を短縮することができる。

また、実施形態に係る流路部材１の製造方法において、流入口３および流出口４の断面積は、流路５の断面積よりも小さい。これにより、流体を流路５内に長く留まらせることができるとともに、流路５内に乱流を生じさせることができる。また、流路５から流入口３への流体の逆流を抑制することができる。

また、実施形態に係る流路部材１の製造方法において、流入口３および流出口４の断面積は、流路５の断面積と略等しい。これにより、熱交換対象物と流路５を流れる流体との間の熱交換効率をさらに高めることができる。

さらなる効果や他の態様は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１ 流路部材
２ 基体
３ 流入口
４ 流出口
５ 流路
１０ 第１グリーンシート（セラミックグリーンシートの一例）
１１ 第１積層体（積層体の一例）
１２ 第１溝部（溝部の一例）
１２ａ 角部
２０ 第２グリーンシート（セラミックグリーンシートの一例）
２１ 第２積層体（別のセラミックグリーンシートの一例）
２２ 第２溝部（別の溝部の一例）
２２ａ 角部
３０ 積層構造体
３１ 流路
３２ 流入口
３３ 流出口
１００ 切削工具

Claims (7)

1. 複数のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
   前記複数のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成する工程と、
   前記積層体を切削して溝部を形成する工程と、
   別のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
   前記溝部を覆うように前記別のセラミックグリーンシートを前記積層体に積層して、内部に流路を有する積層構造体を形成する工程と、
   前記積層構造体を焼成する工程と、
   を含む流路部材の製造方法。
2. 前記溝部は、角部にＲ形状を有する
   請求項１に記載の流路部材の製造方法。
3. 前記別のセラミックグリーンシートを準備する工程は、
   複数のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
   前記複数のセラミックグリーンシートを積層して別の積層体を形成する工程と、
   前記別の積層体を切削して別の溝部を形成する工程と、
   を含み、
   前記積層構造体を形成する工程は、
   前記溝部と前記別の溝部とが一体の流路となるように、前記積層体に前記別の積層体を積層する
   請求項１または２に記載の流路部材の製造方法。
4. 前記流路と外部とを繋ぐ流入口および流出口を形成する工程をさらに含み、
   前記流入口および流出口を形成する工程は、前記溝部を形成する工程と同じ工程で行われる
   請求項１〜３のいずれか一つに記載の流路部材の製造方法。
5. 前記流路と外部とを繋ぐ流入口および流出口を形成する工程をさらに含み、
   前記流入口および流出口を形成する工程は、前記積層体を形成する工程の前に行われる
   請求項１〜３のいずれか一つに記載の流路部材の製造方法。
6. 前記流入口および前記流出口の断面積は、前記流路の断面積よりも小さい
   請求項４または５に記載の流路部材の製造方法。
7. 前記流入口および前記流出口の断面積は、前記流路の断面積と略等しい
   請求項４または５に記載の流路部材の製造方法。

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