JP2021064463A - X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法及び構造物製造システム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第二の態様によれば、X線装置は、第一の態様に記載のX線発生装置と、出射部から出射されるX線が照射される測定物を保持するステージと、測定物に照射されて透過したX線を検出する検出器とを有する。
本発明の第三の態様によれば、構造物の製造方法は、構造物の形状に関する設計情報を作製する設計工程と、 設計情報に基づいて構造物を作成する成形工程と、 作製された構造物の形状を第二の態様に記載のX線装置を用いて計測する工程と、 計測工程で得られた形状情報と設計情報とを比較する検査工程と、を有する。
本発明の第四の態様によれば、構造物製造システムは、構造物の形状に関する設計情報を作製する設計装置と、 設計情報に基づいて構造物を作製する成形装置と、作製された構造物の形状を測定する第二の態様に記載のX線装置と、X線装置によって得られた構造物の形状に関する形状情報と設計情報とを比較する検査装置と、を含む。
ている。測定装置1は、X線XLを射出するX線発生装置2と、X線の少なくとも一部を遮蔽する遮蔽装置3と、測定物Sを保持して移動可能なステージ装置4と、X線源2から射出され、ステージ装置4に保持された測定物Sを透過した透過X線を検出する検出器5とを備えている。
また、例えば、軽元素部材80は、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)などの軽金属系の材料、炭化ケイ素(SiC;Silicon Carbide)などのセラミックス系の材料、パイログラファイト等のカーボン系の材料でも構わない。なお、パイログラファイトは、炭化水素ガスを黒鉛や炭素繊維の基材に沈積させることにより製造する炭素材料である。熱分解黒鉛やパイロカーバイトとも呼ばれる。
また、例えば、軽元素部材80は、アルミニウム合金やチタン合金であってもよい。また、進路中の部材の少なくとも一部は、上記材料(アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、炭化ケイ素、パイログラファイトなど)で構成される場合に限られず、上記材料又は上記材料を少なくも一部に含む材料で被覆されてもよい。
また、後述する二次X線の発生を抑制による測定不良を抑制できれば、軽元素部材80にX線放出部材が含まれていても構わない。例えば、X線放出部材がタングステンである場合に、軽元素部材80にタングステンが含まれていても構わない。例えば、タングステンと、タングステンに対する軽元素のアルミ二ウムとを含む合金を用いる場合に、タングステンが重量比で10%含まれていてもかまない。重量比はこれに限られず、5%でも20%でも構わない。測定不良を抑制すべき程度に応じてタングステンや他の物質が含まれていても、構わない。
2 X線発生装置
5 検出器
50 筐体
50B 出射部
52 電子放出部
54 収納部
56 X線放出部
54C 空間
70 入射経路
72 出射経路
80 軽元素部材(部材)
82 第1軽元素部材
82A 管部
82B 壁部
84 第2軽元素部材
86 第3軽元素部材
100 検査装置
E 電子線
S 測定物
XL X線
Claims (15)
- 電子を放出する電子放出部と、
前記電子放出部からの電子が照射されてX線を放出するX線放出部と、
前記X線放出部からのX線が出射される出射部を有する筐体と、
前記X線放出部からのX線が前記出射部に至る出射経路に配置される部材と、を備え、
前記部材は、前記X線放出部より原子番号が小さい元素を少なくとも一部に含む、X線発生装置。 - さらに、前記X線放出部を収納する収納部を備え、
前記収納部内に前記出射経路が形成され、前記出射経路に前記部材が配置される、請求項1に記載のX線発生装置。 - 前記部材は、前記出射経路の内周面に配置される、請求項2に記載のX線発生装置。
- 前記出射経路は、前記出射部に向かうに従って内径が大きくなる、請求項2又は3に記載のX線発生装置。
- 前記収納部内に、前記X線放出部からの電子が前記X線放出部に至る入射経路が形成され、
前記部材は前記入射経路と前記出射経路との間に設けられる、請求項2〜4のいずれか一項に記載のX線発生装置。 - 前記入射経路と前記出射経路とが交差する部分に、前記部材が配置される、請求項5に記載のX線発生装置。
- 前記入射経路と前記出射経路とは交差しており、
前記部材は前記入射経路の延在方向に沿って配置される、請求項5に記載のX線発生装置。 - 前記入射経路に前記部材が配置される、請求項5〜7のいずれか一項に記載のX線発生装置。
- 前記部材は、導電性を有する部材である、請求項1〜8のいずれか一項に記載のX線発生装置。
- 前記筐体は、内部を減圧または真空に保持する、請求項1〜9のいずれか一項に記載のX線発生装置。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載のX線発生装置と、
前記出射部から出射されるX線が照射される測定物を保持するステージと、
前記測定物に照射されて透過したX線を検出する検出器とを有する、X線装置。 - 構造物の形状に関する設計情報を作製する設計工程と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作成する成形工程と、
作製された前記構造物の形状を請求項11に記載のX線装置を用いて計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた形状情報と前記設計情報とを比較する検査工程と、を有する、構造物の製造方法。 - 前記検査工程の比較結果に基づいて実行され、前記構造物の再加工を実施するリペア工程を有する、請求項12に記載の構造物の製造方法。
- 前記リペア工程は、前記成形工程を再実行する工程である、請求項13に記載の構造物の製造方法。
- 構造物の形状に関する設計情報を作製する設計装置と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形装置と、
作製された前記構造物の形状を測定する請求項11に記載のX線装置と、
前記X線装置によって得られた前記構造物の形状に関する形状情報と前記設計情報とを比較する検査装置と、を含む、構造物製造システム。
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