JP2021060466A - 光学装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2.比較例の光学装置の説明
2.1 構成
2.2 動作
2.3 課題
3.実施形態1の光学装置の説明
3.1 構成
3.2 動作
3.3 作用・効果
4.実施形態2の光学装置の説明
4.1 構成
4.2 作用・効果
5.実施形態3の光学装置の説明
5.1 構成
5.2 作用・効果
以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
本開示の実施形態は、図示しないレーザ装置と図示しない増幅モジュールもしくは極端紫外光生成装置との間に配置される光学装置に関するものである。レーザ装置は、レーザ光を出射する。光学装置は、レーザ装置からのレーザ光を増幅モジュールもしくは極端紫外光生成装置に向けて出射する。増幅モジュールは、光学装置からのレーザ光を増幅する。増幅モジュールは、増幅したレーザ光を極端紫外光生成装置に向けて出射してもよい。極端紫外光生成装置は、光学装置もしくは増幅モジュールからのレーザ光から極端紫外(EUV)と呼ばれる波長の光を生成する。
2.1 構成
比較例の光学装置10について説明する。図1は、本例の光学装置10の全体の概略構成例を示す図である。光学装置10は、正面が開口する筐体21と、複数の光学ユニット40とを備える。図1では、図示の明瞭化のため、光学ユニット40を簡略化して図示している。
次に、比較例における光学ユニット40の位置決め動作について説明する。
比較例の光学装置10では、光学ユニット40が筐体21の内部空間において位置決めされる度に、ピン91へのVブロック81及び平ブロック83の当接が必要となる。Vブロック81と平ブロック83とピン91との後方に配置される光学機器41及びベースプレート43によって視界が遮られるため、当接が適切に実施されているか目視での確認は容易ではない。このため、ガイドレーザ等によって光学装置10における光学ユニット40の位置の再現性が確認されるが、確認のために手間がかかることがある。従って、位置決め状態を容易に確認することが望まれている。
次に、実施形態1の光学装置10の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。
図4は、本実施形態において筐体21の内部空間に位置決めされる光学ユニット40の上面図である。図5は、図4に示す光学ユニット40の側面図である。本実施形態の光学装置10では、ベースプレート43と位置決め部80と比較例の固定部材110に相当する第1,2固定部材110a,110bとの構成が、比較例のそれとは異なる。
次に、本実施形態における光学ユニット40の位置決め動作について説明する。
本実施形態では、第1凸部60及び第2凸部70はベースプレート43の基端面に配置され、第2凸部70はX軸方向において第1凸部60とは異なる位置に配置される。また、Vブロック181及び平ブロック183は筐体21の内部空間において光学ユニット40よりも後方に配置され、Vブロック181は第1凸部60と2か所で当接し、平ブロック183は第2凸部70と1か所で当接する。光学ユニット40は、第1凸部60及びVブロック181の当接と、第2凸部70及び平ブロック183の当接とによって、筐体21の内部空間において位置決めされる。
次に、実施形態2の光学装置10の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。
図8は、図4に示すA−A線における本実施形態の断面図である。図9は、図4に示すB−B線における本実施形態の断面図である。本実施形態では、第1凸部60と第2凸部70との構成が、実施形態1のそれとは異なる。
本実施形態では、第1凸部60は第1本体部63と第1ピン65とを含み、第1ピン65は半球面61aを含む。
次に、実施形態3の光学装置10の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。
図10は、図4に示すA−A線における本実施形態の断面図である。図11は、図4に示すB−B線における本実施形態の断面図である。本実施形態では、第1固定部材110a及び第1ピン65の位置と、第2固定部材110b及び第2ピン75の位置とが、実施形態2のそれとは異なる。
第1固定部材110aは、第1ピン65よりも上方に配置される。このため、第1固定部材110aが第1ピン65よりも上方に配置されていない場合に比べて、第1固定部材110aは第1本体部63に容易に螺合させ易くなり得、第1固定部材110aと第1本体部63との螺合状態はVブロック181の上方から目視にて容易に確認され得る。
本明細書及び特許請求の範囲全体で使用される用語は、明記が無い限り「限定的でない」用語と解釈されるべきである。たとえば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、不定冠詞「1つの」は、「少なくとも1つ」又は「1又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。また、「A、B及びCの少なくとも1つ」という用語は、「A」「B」「C」「A+B」「A+C」「B+C」又は「A+B+C」と解釈されるべきである。さらに、それらと「A」「B」「C」以外のものとの組み合わせも含むと解釈されるべきである。
Claims (16)
- 正面が開口する筐体と、
光学機器及び当該光学機器が固定されるベースプレートを含み、前記筐体の前記正面から前記筐体の内部空間に出し入れ自在な光学ユニットと、
前記光学ユニットの出し入れ方向において前記光学ユニットの引き出し側を後方としたときに前記筐体の前記内部空間において前記光学ユニットよりも後方に配置される位置決め部と、
を備え、
前記ベースプレートは、
後方における前記ベースプレートの基端面に配置される第1凸部と、
前記ベースプレートの前記基端面に配置される第2凸部と、
を含み、
前記第2凸部は、前記出し入れ方向に直交する前記ベースプレートの幅方向において前記第1凸部とは異なる位置に配置され、
前記位置決め部は、
前記第1凸部と当接する部分の水平断面形状がV溝形状であり、前記第1凸部と2か所で当接するVブロックと、
前記第2凸部と当接する部分の水平断面形状が平面形状である平ブロックと、
を含み、
前記光学ユニットは、前記第1凸部及び前記Vブロックの当接と、前記第2凸部及び前記平ブロックの当接とによって、前記筐体の前記内部空間に位置決めされる
光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置であって、
前記第1凸部は柱状であり、前記Vブロックと当接する前記第1凸部の基端の水平断面形状は円弧状である。 - 請求項1に記載の光学装置であって、
前記Vブロックを貫通して前記第1凸部に螺合し、前記第1凸部を前記Vブロックに向けて引き込む第1固定部材をさらに備える。 - 請求項3に記載の光学装置であって、
前記第1固定部材は、前記第1凸部の中心と同軸上に配置される。 - 請求項1に記載の光学装置であって、
前記第1凸部は、
前記ベースプレートの前記基端面に配置される第1本体部と、
後方に向かって突出するように前記第1本体部に嵌合する第1ピンと、
を含み、
前記第1ピンは、前記Vブロックと前記2か所で点当接する半球面を含む。 - 請求項5に記載の光学装置であって、
前記Vブロックを貫通して前記第1本体部に螺合し、前記第1ピンを前記Vブロックに向けて引き込む第1固定部材をさらに備える。 - 請求項6に記載の光学装置であって、
前記第1固定部材は、前記出し入れ方向に直交する前記筐体の高さ方向において前記第1ピンよりも下方の位置にて前記第1本体部に螺合する。 - 請求項6に記載の光学装置であって、
前記第1固定部材は、前記出し入れ方向に直交する前記筐体の高さ方向において前記第1ピンよりも上方の位置にて前記第1本体部に螺合する。 - 請求項1に記載の光学装置であって、
前記第2凸部は柱状であり、前記平ブロックと当接する前記第2凸部の基端の水平断面形状は円弧状である。 - 請求項1に記載の光学装置であって、
前記平ブロックを貫通して前記第2凸部に螺合し、前記第2凸部を前記平ブロックに向けて引き込む第2固定部材をさらに備える。 - 請求項10に記載の光学装置であって、
前記第2固定部材は、前記第2凸部の中心と同軸上に配置される。 - 請求項1に記載の光学装置であって、
前記第2凸部は、
前記ベースプレートの前記基端面に配置される第2本体部と、
後方に向かって突出するように前記第2本体部に嵌合する第2ピンと、
を含み、
前記第2ピンは、前記平ブロックと1か所で当接する半球面を含む。 - 請求項12に記載の光学装置であって、
前記平ブロックを貫通して前記第2本体部に螺合し、前記第2ピンを前記平ブロックに向けて引き込む第2固定部材をさらに備える。 - 請求項13に記載の光学装置であって、
前記第2固定部材は、前記出し入れ方向に直交する前記筐体の高さ方向において前記第2ピンよりも下方の位置にて前記第2本体部に螺合する。 - 請求項13に記載の光学装置であって、
前記第2固定部材は、前記出し入れ方向に直交する前記筐体の高さ方向において前記第2ピンよりも上方の位置にて前記第2本体部に螺合する。 - 請求項1に記載の光学装置であって、
前記光学ユニットの押し込み後に後方に配置される前記位置決め部に向かって前記光学ユニットが引き戻されることによって、前記第1凸部及び前記Vブロックは当接し、さらに、前記第2凸部及び前記平ブロックは当接する。
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