JP2021053565A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】照射効率を向上させる。【解決手段】実施形態の紫外線照射装置は、複数の基板と、冷却ブロックとを具備する。基板は、複数の発光素子が前面に配列する。冷却ブロックは、基板の背面に配置され、内部に流体が流通する流路を有する。複数の基板は、被照射体の被照射面と複数の発光素子の配列方向に交差する基板の幅方向とのなす角度θ１［°］が６０［°］以下であり、かつ被照射体と複数の発光素子との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、紫外線照射装置に関する。

従来、複数の発光素子を点灯させて紫外線を照射する紫外線照射装置が知られている。紫外線照射装置は、液晶パネルの製造や、インクや接着材の硬化などさまざまな産業分野で使用される。

特開２００９−６１７０２号公報

上記のような紫外線照射装置においては、照射効率のさらなる向上が望まれていた。

本発明が解決しようとする課題は、照射効率を向上させることができる紫外線照射装置を提供することである。

実施形態の紫外線照射装置は、複数の基板と、冷却ブロックとを具備する。基板は、複数の発光素子が前面に配列する。冷却ブロックは、基板の背面に配置され、内部に流体が流通する流路を有する。複数の基板は、被照射体の被照射面と複数の発光素子の配列方向に交差する基板の幅方向とのなす角度θ１［°］が６０［°］以下であり、かつ被照射体と複数の発光素子との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている。

本発明によれば、照射効率を向上させることができる。

第１の実施形態に係る紫外線照射装置を示す正面図である。 紫外線照射ユニットを示す正面図である。 図２に示す紫外線照射ユニットの側面図である。 発光素子の配列を説明するための図である。 設置半径ｒ［ｍｍ］、照射距離ｄ［ｍｍ］、幅Ｗ［ｍｍ］、角度θ１、θ２と設置角度θｐ［°］との関係を示す図である。 第２の実施形態に係る紫外線照射装置を示す正面図である。

以下に説明する実施形態に係る紫外線照射装置１００，１００Ａは、複数の基板１１，１１Ａと、冷却ブロック１０，１０Ａとを具備する。基板１１，１１Ａは、複数の発光素子１２が前面１１ａに配列する。冷却ブロック１０は、基板１１，１１Ａの背面１１ｂに配置され、内部に流体が流通する流路１４，１４Ａを有する。複数の基板１１，１１Ａは、被照射体６０の被照射面６０ａと複数の発光素子１２の配列方向に交差する基板１１，１１Ａの幅方向とのなす角度θ１が６０［°］以下であり、かつ被照射体６０と複数の発光素子１２との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている。

また、以下に説明する実施形態に係る紫外線照射装置１００，１００Ａは、複数の基板１１，１１Ａと、冷却ブロック１０，１０Ａとを具備し、被照射体６０に対して紫外線を照射する。基板１１，１１Ａは、複数の発光素子１２が前面１１ａに配列する。冷却ブロック１０は、基板１１，１１Ａの背面１１ｂに配置され、内部に流体が流通する流路１４，１４Ａを有する。紫外線照射装置１００，１００Ａは、被照射体６０の被照射面６０ａから垂直に紫外線照射装置１００側に伸ばした垂線Ｈと、被照射体６０の被照射面６０ａから最外の基板１１，１１Ａに配列された発光素子１２に伸ばした線とのなす角度θ２が６０［°］以下であり、かつ被照射体６０と複数の発光素子１２との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている。

また、以下に説明する実施形態に係る冷却ブロック１０，１０Ａは、冷却ブロック１０，１０Ａの前面１０ａとは反対側の背面１０ｄに連通する流入流路および排出流路を有する。

また、以下に説明する実施形態に係る基板１１の端部に位置する発光素子１２の端部から冷却ブロック１０の端部１０ｂまでの寸法Ｂ［ｍｍ］は、隣り合う発光素子１２同士の間隔をＡ［ｍｍ］としたとき、Ａ／２≦Ｂ≦６である。

以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下に示す実施形態は、本発明が開示する技術を限定するものではない。

［第１の実施形態］
図１は、第１の実施形態に係る紫外線照射装置を示す正面図である。図１に示す紫外線照射装置１００は、複数の照射ユニット１−１〜１−６を備える。照射ユニット１−１〜１−６は、紫外線照射ユニットであり、点灯により紫外線を発する複数の発光素子１２をそれぞれ有する。このように複数の照射ユニット１−１〜１−６を用いることにより、被照射体６０に照射される紫外線の光量を高めることができる。

なお、説明を分かりやすくするために、図１には、照射方向（図１に示す矢印方向）を正方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、後出の説明に用いる図５、図６でも同様に図示している。

また、照射ユニット１−１〜１−６がそれぞれ有する発光素子１２は、被照射体６０の被照射面６０ａを中心とする仮想上の円弧（二点鎖線で図示）と一致している。すなわち、照射ユニット１−１〜１−６は、照射対象である被照射体６０の被照射面６０ａと発光素子１２との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている。これにより、被照射体６０の全体にわたり、照射される紫外線の光量を均等にすることができる。なお、ここでいう「被照射体の被照射面と複数の発光素子との距離」とは、Ｘ軸が伸びる方向に垂直な断面で見たときに、被照射体６０の被照射面６０ａ上で複数の照射ユニット１−１〜１−６の光軸、より具体的には、照射ユニット１−１〜１−６に搭載された発光素子１２の中心から被照射体６０に向かって設けられる複数の仮想線が被照射面６０ａ上で交わる箇所を中心とした点を基準に、複数の発光素子１２、具体的には複数の発光素子１２が搭載された基板１１の複数の発光素子１２が実装される側の面（前面）までの距離のことである。また、「被照射体と複数の発光素子との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置」とは、被照射体６０と複数の発光素子１２との距離が完全に一致して等しいもののみでなく、被照射体６０と複数の発光素子１２との距離の平均値を基準に±５［ｍｍ］まで許容される。また、「被照射体の被照射面から垂直に紫外線照射装置側に伸ばした垂線」とは、被照射体６０の被照射面６０ａ上で複数の照射ユニット１−１〜１−６の光軸、より具体的には、照射ユニット１−１〜１−６に搭載された発光素子１２の中心から被照射体６０に向かって設けられる複数の仮想線が被照射面６０ａ上で交わる箇所から被照射面６０ａに垂直に、紫外線照射装置１００側に伸ばした垂線である。また、「最外の照射ユニットの発光素子に伸ばした線」とは、複数の照射ユニット１−１〜１−６のうち、最も外側に位置する照射ユニット１−１、１−６の光軸、より具体的には、照射ユニット１−１、１−６に搭載された発光素子１２の中心に伸ばした線のことである。

ここで、紫外線照射装置１００を構成する照射ユニット１−１〜１−６について、図２、図３を用いてさらに説明する。図２は、紫外線照射ユニットを示す正面図である。図３は、図２に示す紫外線照射ユニットの側面図である。

図２、図３に示す紫外線照射ユニット１は、光源部１３と、冷却ブロック１０とを有する。紫外線照射ユニット１は、図１に示す照射ユニット１−１〜１−６として使用することができる。なお、図２、図３では、図１に示す一部の部材の図示を省略している。

光源部１３は、基板１１と、複数の発光素子１２とを有する。基板１１は、例えば、セラミックスによって形成された長尺状の基材に、例えば銀等によって所望のパターン状に形成された図示しないプリント配線が設けられたものである。基板１１の前面１１ａには、複数の発光素子１２が、プリント配線と電気的に接続されて設けられている。複数の発光素子１２は、基板１１の長手方向（図１のＸ軸方向）に沿って一列に配列されている。

また、図示しないが、基板１１は、発光素子１２が接続される接続端子と、電源装置から電力が供給される電源端子とを除く領域が、絶縁性を確保し、腐食を防ぐために、被覆膜によって覆われている。被覆膜は、例えば、ガラス材等を主成分とする無機材料によって形成されている。なお、必要に応じて、基板１１は、発光素子１２が発する光を反射する反射性を高めるために、比較的高い反射率を有する白色のアルミナによって形成されてもよい。また、基板１１は、熱伝導性を高く確保するために、比較的高い熱伝導性を有する窒化アルミニウムによって形成されてもよい。

発光素子１２には、紫外線を発する発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）や半導体レーザ（ＬＤ：Laser Diode）が用いられる。発光素子１２は、例えば、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍ程度を主波長とし、かつ、ピーク波長が３６５ｎｍの紫外線を発する。

なお、実施形態でいう「紫外線」とは、波長４５０ｎｍ以下の波長の光であり、具体的には発光素子１２が発する波長３６５ｎｍの光であるが、その他の波長の光も許容される。また、発光素子１２は、波長４５０ｎｍ以下の光を放射するＬＥＤやＬＤに限定されるものではなく、例えば波長４５０ｎｍ以下の光を放射するのみでなく、波長４５０ｎｍよりも長波長側の光を放射するＬＥＤやＬＤであってもよい。すなわち、波長４５０ｎｍ以下の光を放射するＬＥＤやＬＤであれば、その発光様式は限定されない。

冷却ブロック１０は、略直方体状に形成されており、基板１１の背面１１ｂに配置されている。冷却ブロック１０には、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼等が用いられる。

冷却ブロック１０は、流路１４〜１６を有する。冷却ブロック１０は、流路１４〜１６に流体を流通させることにより、いわゆる液冷ブロックとして機能し、基板１１を介して発光素子１２から伝わった熱を速やかに放熱させることができる。なお、流体は、例えば水である。また、流体として、例えば液体窒素や不凍液などの液体や、乾燥空気や窒素などの気体を使用してもよい。

流路１４は、冷却ブロック１０を図１のＸ軸方向に貫通する貫通孔である。流路１４は、基板１１の背面１１ｂ側に配置されており、平面視で発光素子１２の配列と重なるように位置する。また、流路１５、１６は、一端が冷却ブロック１０の前面１０ａとは反対側の背面１０ｄに開口し、他端が流路１４に連通するように形成されている。流路１５は、冷却ブロック１０の図１のＸ軸負方向寄りに配置され、流路１６は、冷却ブロック１０の図１のＸ軸正方向寄りに配置されている。

また、流路１４の両端には封止部材１８、１９が挿入されており、流路１４の両端への流体の漏出を封止する。これにより、流路１５、１６のうち、一方が流路１４に流体を流入させる流入流路、他方が流路１４を流通した流体を冷却ブロック１０の外部に排出する排出流路として、流路１５、１４、１６が順に連通する一連の流路が形成される。このように流路１４〜１６を配設することにより、複数の紫外線照射ユニット１を近接させて配置することが容易となる。なお、冷却ブロック１０の背面１０ｄに開口する流路１５、１６に、ここでは図示しない配管と流路１５、１６との接続を容易にするための接続部材１７ａ、１７ｂを設けてもよい。また、流路１４、１５、１６を設ける際の形態は、例えば冷却ブロック１０の流路１４の両端から切削加工により冷却ブロック１０を貫通するように流路１４を設けたあと、封止部材１８、１９で封止するように構成されるが、これに限定されない。例えば、切削加工により流路１４、１５、１６が連続して一体の配管で構成された流路ブロックの半体を合体させて構成してもよいし、流路１４、１５、１６が連続して一体の配管としても流路１４を構成する配管に基板１１が配置できるような構成であってもよい。

なお、図示しないが、紫外線照射装置１００は、被照射体６０側に、窓材を有していてもよい。窓材は、紫外線照射装置１００が被照射体６０に紫外線を照射したときに、被照射体６０が発する不純ガスや汚染物質などの副生成物が照射ユニット１−１〜１−６の光学部材３０や発光素子１２に付着することを抑制する。窓材は、例えば、照射ユニット１−１〜１−６の発光素子１２が発する紫外線を透過する物質である。窓材は、例えば、石英ガラスである。なお、窓材は石英ガラスに限定されず、例えば硬質ガラスや紫外線透過樹脂など、発光素子１２が発する紫外線を透過するものであればいかなるものであってもよい。

次に、図３に示す紫外線照射ユニット１を部分的に拡大した図４を用いて、冷却ブロック１０に対する発光素子１２の配列について説明する。図４は、発光素子の配列を説明するための図である。基板１１の端部に位置する発光素子１２の端部から冷却ブロック１０の端部１０ｂまでの寸法Ｂ［ｍｍ］は、隣り合う発光素子１２同士の間隔をＡ［ｍｍ］としたとき、Ａ／２≦Ｂ≦６である。このように発光素子１２を配列させることにより、例えば紫外線照射ユニット１の隣に別の紫外線照射ユニット１を並べて配置した際の各紫外線照射ユニット１間の照度低下を最低限に抑えることができ、長手方向の光量均斉度を所定値以下、例えば１５［％］以下に抑えることができる。

図１の説明に戻り、さらに説明する。照射ユニット１−１〜１−６は、被照射体６０と基板１１の幅方向とのなす角度θ１が６０［°］以下となるようにそれぞれ配置されている。ここで、「被照射体６０と基板１１の幅方向とのなす角度」とは、基板１１の前面１１ａに沿う方向が、被照射体６０の被照射面６０ａに対してどの程度傾斜しているかを示すものである。被照射面６０ａと前面１１ａとが平行になるように被照射体６０と複数の発光素子１２とが対向している場合、角度θ１は０［°］となる。なお、被照射体６０と基板１１の幅方向とのなす角度θ１が６０［°］超となるように配置すると好ましくない理由は、以下のとおりである。すなわち、光量は角度θに依存し、角度θ＝０［°］のときの被照射体６０の被照射面６０ａに照射される紫外線の光量を１とすると、ある角度θにおける光量はランベルトの余弦則によりｃｏｓθで表される。このことから、角度θが６０［°］のとき、被照射体６０の被照射面６０ａに対して照射される紫外線の光量は、ｃｏｓ６０°＝０．５となり、角度θが０［°］のときの光量に比べて半分となる。よって、角度θが６０［°］超となると、角度θが０［°］のときの光量に比べて半分未満となるため、照射ユニットを数多く設けても、被照射体６０に対する光量は増加しにくくなるため、好ましくない。以上のことから、照射ユニット１−１〜１−６は、被照射体６０と基板１１の幅方向とのなす角度θ１が６０［°］以下となるようにすることが好ましい。

また、被照射体６０の被照射面６０ａから垂直に紫外線照射装置１００側に伸ばした垂線Ｈと、被照射体６０の被照射面６０ａから照射ユニット１−６の発光素子１２に伸ばした線とのなす角度を示す角度θ２［°］に関しても、角度θ１［°］と同様の理由により、６０［°］以下となるようにすることが望ましい。

複数の照射ユニット１−１〜１−６が配置された紫外線照射装置１００を用いることにより、被照射体６０に照射される紫外線の光量を高めることができる。また、被照射体６０に対する複数の照射ユニット１−１〜１−６の角度θ１を６０［°］以下とした紫外線照射装置１００を用いることにより、最外の照射ユニット１−１、１−６から照射される紫外線を効率よく被照射体６０の被照射面６０ａに対して照射することができる。なお、紫外線照射装置１００が有する紫外線照射ユニット１の数は、図示したものに限らず、２〜５、または７以上であってもよい。

また、照射ユニット１−１〜１−６は、保持部材３１に保持された光学部材３０をさらに有してもよい。光学部材３０は、照射ユニット１−１〜１−６が有する複数の発光素子１２に対して間隔を設けて基板１１の前面１１ａ（図２、図３参照）側に配置される。光学部材３０には、例えばアクリル樹脂やシリコーン樹脂、石英ガラス等の紫外線透過性材料が用いられる。光学部材３０は、例えば入射側および出射側がともに凸の両凸のシリンドリカルレンズであり、発光素子１２から放射された紫外線を集光して被照射体６０に向けて出射する。なお、光学部材３０の数は複数であってもよい。また、光学部材３０の形状は、出射される紫外線の用途に応じたものとすることができ、例えば平凸レンズであってもよい。また、光学部材３０は、シリンドリカルレンズに限定されず、例えば、照射ユニット１−１〜１−６がそれぞれ有する複数の発光素子１２の個々の光軸に対応して形成されたフライアイレンズであってもよい。

図５は、設置半径ｒ［ｍｍ］、照射距離ｄ［ｍｍ］、幅Ｗ［ｍｍ］、角度θ１［°］、角度θ２［°］と設置角度θｐ［°］との関係を示す図である。図５では、照射ユニット１−１〜１−６として、冷却ブロック１０と、基板１１および発光素子１２を有する光源部１３のみを図示し、その他の構成は省略している。ここで、設置半径ｒ［ｍｍ］とは、複数の照射ユニット１−１〜１−６の光軸、より具体的には、照射ユニット１−１〜１−６に搭載された発光素子１２の中心から被照射体６０に向かって設けられる複数の仮想線が被照射面６０ａ上で交わる箇所を中心とした点を基準に、被照射体６０の被照射面６０ａと発光素子１２とが実装される側の面（前面）までの距離であり、本実施形態ではｒ＝１００［ｍｍ］である。また、照射距離ｄ［ｍｍ］は紫外線照射装置１００の発光素子１２が設けられる側と被照射体６０の被照射面６０ａとが向かい合う位置に設けられる窓材１１０との距離であり、本実施形態ではｄ＝３０［ｍｍ］である。また、幅Ｗ［ｍｍ］は、照射ユニット１−１〜１−６が有する冷却ブロック１０の、図１におけるＸ軸方向に垂直な断面における幅のことであり、本実施形態ではＷ＝４０［ｍｍ］である。なお、幅Ｗ［ｍｍ］は、光源部１３が有する基板１１の、図１におけるＸ軸方向に垂直な断面における幅とほぼ一致する。また、設置角度θｐ［°］は、照射ユニット１−１〜１−６のうち、隣り合う照射ユニット同士がなす角度のことであり、本実施形態ではθｐ＝２４［°］である。なお、被照射体６０の被照射面６０ａから垂直に紫外線照射装置１００側に伸ばした垂線Ｈと、被照射体６０の被照射面６０ａから照射ユニット１−６の発光素子１２に伸ばした線とのなす角度が、θ２［°］となる。

上記のように、設置半径ｒ＝１００［ｍｍ］、照射距離ｄ＝３０［ｍｍ］、幅Ｗ＝４０［ｍｍ］の条件で紫外線照射ユニット１を複数配置すると、角度θ１＝６０［°］以下で照射ユニット１−１〜１−６を６つ配置することができる。また、設置半径ｒ＝１００［ｍｍ］、照射距離ｄ＝３０［ｍｍ］、幅Ｗ＝４０［ｍｍ］の条件で紫外線照射ユニット１を複数配置すると、角度θ２＝６０［°］で照射ユニット１−１〜１−６を６つ配置することができる。このような構成とすることで、照射距離ｄ＝３０［ｍｍ］を確保することができる。照射距離ｄ＝３０［ｍｍ］とすることで、紫外線照射装置１００の被照射体６０側の面で搬送移動させる被照射体６０が搬送により変形して、窓材１１０と被照射体６０とが接近したとしても、窓材１１０へ被照射体６０に塗布された、紫外線照射対象であるインキなどの付着を抑制することができる。また、照射距離ｄ＝３０［ｍｍ］とすることで、被照射体６０が厚みのあるシートや、立体物の場合でも、紫外線照射装置１００が被照射体６０に対して紫外線を照射することができる。また、照射距離ｄ＝３０［ｍｍ］とすることで、紫外線照射装置１００が被照射体６０に対して近接配置ができない、すなわち、被照射体６０の被照射面６０ａの近傍に搬送機構などが設けられている場合でも、紫外線照射装置１００を離間した場所へ設置することで被照射体６０に対して紫外線を照射することができる。

［第２の実施形態］
図６は、第２の実施形態に係る紫外線照射装置を示す正面図である。図６に示す紫外線照射装置１００Ａは、図１に示す照射ユニット１−１〜１−６が一体化された構成を有している。

すなわち、紫外線照射装置１００Ａは、複数の発光素子１２を実装する基板１１Ａの背面側に、図１に示す冷却ブロック１０が一体化された構成に対応する冷却ブロック１０Ａを備える。冷却ブロック１０Ａは、複数の発光素子１２が配列する位置に対応する複数の流路１４Ａを備える。また、流路１４Ａはそれぞれ、長さ方向の両端から発光素子１２とは反対側の冷却ブロック１０Ａの背面側に延び、接続部材１７Ａａ、１７Ａｂを介して外部と連通する図示しない流入流路および排出流路を有している。流路１４Ａおよび接続部材１７Ａａ、１７Ａｂは、第１の実施形態に係る流路１４および接続部材１７ａ、１７ｂにそれぞれ対応する。また、基板１１Ａの前面側には、図１に示す複数の光学部材３０を一体化した構成を有する光学部材３０Ａが設けられている。

このように照射ユニット１−１〜１−６が一体化された紫外線照射装置１００Ａを有することにより、複数の照射ユニット１−１〜１−６を個別に配置する場合に比べて発光素子１２の取り付け精度が向上し、被照射体６０の被照射面６０ａの全体にわたり、照射される紫外線の光量を均等にすることができ、照度値や照度分布のばらつきを抑制することができる。

また、紫外線照射装置１００Ａでは、照射ユニット１−１〜１−６が一体化されているため、複数の照射ユニット１−１〜１−６を有する紫外線照射装置１００を用いて規定した角度θ２は、次のように一般化することができる。すなわち、角度θ２［°］は、被照射体６０の被照射面６０ａから垂直に紫外線照射装置１００Ａ側に伸ばした垂線Ｈと、被照射体６０の被照射面６０ａから最外の基板１１Ａに配列された発光素子１２に伸ばした線とのなす角度である。

上述したように、実施形態に係る紫外線照射装置１００，１００Ａは、複数の基板１１，１１Ａと、冷却ブロック１０，１０Ａとを具備する。基板１１，１１Ａは、複数の発光素子１２が前面１１ａに配列する。冷却ブロック１０は、基板１１，１１Ａの背面１１ｂに配置され、内部に流体が流通する流路１４，１４Ａを有する。複数の基板１１，１１Ａは、被照射体６０の被照射面６０ａと複数の発光素子１２の配列方向に交差する基板１１，１１Ａの幅方向とのなす角度θ１が６０［°］以下であり、かつ被照射体６０と複数の発光素子１２との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている。これにより、照射効率を向上させることができる。

また、実施形態に係る紫外線照射装置１００，１００Ａは、複数の基板１１，１１Ａと、冷却ブロック１０，１０Ａとを具備し、被照射体６０に対して紫外線を照射する。基板１１，１１Ａは、複数の発光素子１２が前面１１ａに配列する。冷却ブロック１０は、基板１１，１１Ａの背面１１ｂに配置され、内部に流体が流通する流路１４，１４Ａを有する。紫外線照射装置１００，１００Ａは、被照射体６０の被照射面６０ａから垂直に紫外線照射装置１００側に伸ばした垂線Ｈと、被照射体６０の被照射面６０ａから最外の基板１１，１１Ａに配列された発光素子１２に伸ばした線とのなす角度θ２が６０［°］以下であり、かつ被照射体６０と複数の発光素子１２との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている。これにより、照射効率を向上させることができる。

また、実施形態に係る冷却ブロック１０，１０Ａは、冷却ブロック１０，１０Ａの前面１０ａとは反対側の背面１０ｄに連通する流入流路および排出流路を有する。これにより、複数の紫外線照射ユニット１を近接させて配置することが容易となる。

また、実施形態に係る基板１１の端部に位置する発光素子１２の端部から冷却ブロック１０の端部１０ｂまでの寸法Ｂ［ｍｍ］は、隣り合う発光素子１２同士の間隔をＡ［ｍｍ］としたとき、Ａ／２≦Ｂ≦６である。これにより、複数の紫外線照射ユニットを並べて配置した際の各紫外線照射ユニット間の照度低下を最低限に抑えることができる。これにより、複数の紫外線照射ユニット１を並べて配置した際の各紫外線照射ユニット１間の照度低下を最低限に抑えることができる。

なお、上記した各実施形態では、発光素子１２は、基板１１の長手方向に沿って一列に配列されるとして説明したが、これに限らず、例えば、配列方向に沿って、配列方向と交差する方向へ位置が交互にずらされた、いわゆる千鳥配列にされてもよい。

また、上記した第２の実施形態に係る紫外線照射装置１００Ａでは、基板１１Ａは、複数の発光素子１２の列に対応するようにそれぞれ個別に配置されているが、これに限らず、複数の発光素子１２の複数列に対応する１または複数の基板１１Ａを冷却ブロック１０Ａに配置させてもよい。かかる場合、角度θ１の基準となる基板１１Ａの幅方向は、複数の発光素子１２が実装された位置において、発光素子１２の配列方向に交差する基板１１Ａの前面に沿う方向として規定することができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１ 紫外線照射ユニット
１０、１０Ａ 冷却ブロック
１１、１１Ａ 基板
１２ 発光素子
１３ 光源部
３０ 光学部材
１００、１００Ａ 紫外線照射装置

Claims (4)

1. 複数の発光素子が前面に配列する複数の基板と；
   前記基板の背面に配置され、内部に流体が流通する流路を有する冷却ブロックと；
   を具備し、
   前記複数の基板は、被照射体の被照射面と前記複数の発光素子の配列方向に交差する前記基板の幅方向とのなす角度θ１［°］が６０［°］以下であり、かつ前記被照射体と前記複数の発光素子との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている、紫外線照射装置。
2. 複数の発光素子が前面に配列する複数の基板と；
   前記基板の背面に配置され、内部に流体が流通する流路を有する冷却ブロックと；
   を具備し、被照射体に対して紫外線を照射する紫外線照射装置であって、
   前記被照射体の被照射面から垂直に前記紫外線照射装置側に伸ばした垂線と、前記被照射体の前記被照射面から最外の前記基板に配列された前記発光素子に伸ばした線とのなす角度θ２［°］が６０［°］以下であり、かつ前記被照射体と前記複数の発光素子との距離が略等しくなるようにそれぞれ配置されている、紫外線照射装置。
3. 前記冷却ブロックは、前記冷却ブロックの前面とは反対側の背面に連通する流入流路および排出流路を有する、請求項１または２に記載の紫外線照射装置。
4. 前記基板の端部に位置する前記発光素子の端部から前記冷却ブロックの端部までの前記複数の発光素子の配列方向の寸法Ｂ［ｍｍ］は、隣り合う発光素子同士の間隔をＡ［ｍｍ］としたとき、
   Ａ／２≦Ｂ≦６である、請求項１〜３のいずれか１つに記載の紫外線照射装置。

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