JP2021049589A - Wire saw and workpiece carrying-in/out method of wire saw - Google Patents

Wire saw and workpiece carrying-in/out method of wire saw Download PDF

Info

Publication number
JP2021049589A
JP2021049589A JP2019172352A JP2019172352A JP2021049589A JP 2021049589 A JP2021049589 A JP 2021049589A JP 2019172352 A JP2019172352 A JP 2019172352A JP 2019172352 A JP2019172352 A JP 2019172352A JP 2021049589 A JP2021049589 A JP 2021049589A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
wire saw
slider
processing chamber
unloading
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019172352A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7372097B2 (en
Inventor
中村　哲也
Tetsuya Nakamura
哲也 中村
河津　知之
Tomoyuki Kawazu
知之 河津
靖夫 長谷川
Yasuo Hasegawa
靖夫 長谷川
克彦 阿部
Katsuhiko Abe
克彦 阿部
高橋　正明
Masaaki Takahashi
正明 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu NTC Ltd
Original Assignee
Komatsu NTC Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu NTC Ltd filed Critical Komatsu NTC Ltd
Priority to JP2019172352A priority Critical patent/JP7372097B2/en
Priority to CN202010971650.6A priority patent/CN112536476B/en
Publication of JP2021049589A publication Critical patent/JP2021049589A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7372097B2 publication Critical patent/JP7372097B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0046—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for feeding, conveying or clamping work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

To provide a wire saw which enables improvement of productivity.SOLUTION: A wire saw 1 is a cutting device which cuts a workpiece W with a wire 53. The wire saw 1 includes: temporary placing tables 11, 12 for supporting the workpiece W; a transfer device 4 which includes a slider 45 for supporting the workpiece W and carries the workpiece W into a processing chamber R/out from the processing chamber R; a processing device 5 which is disposed at the processing chamber R and processes the workpiece W; a clamp device 2 which is disposed at the processing chamber R and clamps the workpiece W; and a lifting device 3 which moves up or down the clamp device 2. The transfer device 4 transfers the workpiece W from the temporary placing tables 11, 12 to the processing chamber R.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法に関する。 The present invention relates to a wire saw and a method for loading and unloading a wire saw workpiece.

一般に、半導体材料や磁性材料などのワークをワイヤによって切断するワイヤソーは、ワーク送りが、通常、垂直方向にしか駆動しない構造になっている。このため、ワイヤソーでは、ワイヤソー外にワークを出し入れする際に、例えば、特許文献１に記載されているように、ワーク受け渡し装置等の付帯装置によって行われている。 Generally, a wire saw for cutting a work such as a semiconductor material or a magnetic material with a wire has a structure in which the work feed is usually driven only in the vertical direction. For this reason, in the wire saw, when the work is taken in and out of the wire saw, for example, as described in Patent Document 1, an incidental device such as a work delivery device is used.

特許文献１に記載のワイヤソーシステムでは、ワークを搬送する際に、ワイヤソーとは別体に形成されたワーク運搬用台車と、ワーク受け渡し装置と、を作業員によって手動的に移動させてワークの搬送を行っている。 In the wire saw system described in Patent Document 1, when the work is transported, the work transporting trolley formed separately from the wire saw and the work delivery device are manually moved by an operator to transport the work. It is carried out.

特開２０１０−１４９２４８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-149248

しかし、特許文献１に記載のワイヤソーシステムでは、ワーク受け渡し装置でワークの交換を行っている際、ワイヤソーを稼働させることができない。このため、ワーク受け渡し装置でワークを交換している場合は、ワイヤソーを停止して中断している時間が非加工時間となるので、生産性が低下するという問題点があった。 However, in the wire saw system described in Patent Document 1, the wire saw cannot be operated when the work is exchanged by the work delivery device. For this reason, when the work is exchanged by the work delivery device, the time when the wire saw is stopped and interrupted becomes the non-machining time, which causes a problem that the productivity is lowered.

本発明は、前記した問題点を解決して、生産性を向上させることができるワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を提供することを課題とする。 An object of the present invention is to provide a wire saw and a method for carrying in and out a wire saw work that can solve the above-mentioned problems and improve productivity.

前記課題を解決するため、本発明に係るワイヤソーは、ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、前記ワークを支持する仮置台と、前記ワークを支持するスライダを含み、前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、前記加工室に配置され、前記ワークを加工する加工装置と、前記加工室に配置され、前記ワークをクランプするクランプ装置と、前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、前記移送装置は、前記仮置台から前記加工室へ前記ワークを搬送することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the wire saw according to the present invention is a wire saw for cutting a work by a wire, which includes a temporary stand for supporting the work and a slider for supporting the work, and carries the work into a processing chamber and the above-mentioned. A transfer device to be carried out from the processing chamber, a processing device arranged in the processing chamber to process the work, a clamp device arranged in the processing chamber to clamp the work, and an elevating device for raising and lowering the clamping device. The transfer device is characterized in that the work is transferred from the temporary stand to the processing chamber.

また、本発明は、ワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、加工完了のワークをスライダにてアンロード用の仮置台に搬出する搬出工程と、ロード用の仮置台の未加工のワークを前記スライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、前記スライダを加工室内に退避させる退避工程と、前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で前記アンロード用の仮置台に載置された前記加工完了のワークを前記アンロード用の仮置台から取り外すと共に、未加工のワークをロード用の仮置台に載置する取外載置工程と、を有することを特徴とする。 Further, the present invention is a method of loading and unloading a work of a wire saw using a wire saw to carry in and out the work, and a unloading process of loading and unloading the work completed by a slider to a temporary unloading table and loading. A carry-in step of carrying the raw work of the temporary stand for use into the processing chamber by the slider, a clamping process of clamping the raw work carried into the machining chamber by a clamping device, and a clamping step of clamping the slider into the machining chamber. The evacuation step of retracting the unprocessed work, the processing step of processing the unprocessed work by the processing device by raising and lowering it by the elevating device, and the temporary unloading table in the unloading process while the unprocessed work is being processed. It is characterized by having an external mounting step of removing the machined work placed on the unloading from the temporary unloading table and mounting the unprocessed work on the temporary loading table. ..

本発明は、生産性を向上させることができるワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を提供することができる。 The present invention can provide a wire saw and a method for loading and unloading a wire saw workpiece that can improve productivity.

本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the wire saw which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワイヤソーの概略正面図である。It is a schematic front view of the wire saw which concerns on embodiment of this invention. 図２の要部拡大概略図である。It is an enlarged schematic view of the main part of FIG. ワークに取り付けられたワーク治具と、ワーク治具を支持するスライダとの配置状態を示す要部拡大概略斜視図である。It is an enlarged schematic perspective view of the main part which shows the arrangement state of the work jig attached to the work, and the slider which supports a work jig. 未加工のワークを加工室に搬入したときの状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state when the unprocessed work is carried into a processing room. スライダを退避位置に退避させたときの状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state when the slider is retracted to the retracting position. 加工後のワークをスライダで支持したときの状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state when the work after processing is supported by a slider. 加工後のワークを加工室から搬出させたときの状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state when the work after processing is carried out from a processing room. 未加工のワークをロード用の仮置台に支持させ、加工装置で加工したワークを昇降装置で上昇させたときの状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state when the unprocessed work is supported by the temporary stand for loading, and the work processed by the processing apparatus is raised by the elevating apparatus. 移送装置をロード側に移動した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which moved the transfer device to the load side. 移送装置をアンロード側に移動した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which moved the transfer device to the unload side. 移送装置を退避位置に移動した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which moved the transfer device to the evacuation position. ワークを昇降装置で下降させて加工しているときの状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state at the time of processing by lowering a work with an elevating device. ワーク加工中に加工後のワークをアンロード用の仮置台から取外し、未加工のワークをロード用の仮置台に載置したときの状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state when the work after machining is removed from the temporary stand for unloading during work machining, and the unprocessed work is placed on the temporary stand for loading. 本発明の実施形態に係るワイヤソーのワークの搬入出方法を示す工程図である。It is a process drawing which shows the loading / unloading method of the work of the wire saw which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワイヤソーの第１変形例を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the 1st modification of the wire saw which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワイヤソーの第２変形例を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the 2nd modification of the wire saw which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワイヤソーの第２変形例を示す図で、（ａ）はスライダがロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図、（ｂ）はスライダがアンロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図である。It is a figure which shows the 2nd modification of the wire saw which concerns on embodiment of this invention. It is an enlarged schematic side view of the main part which shows the state at a certain time.

本発明の実施形態に係るワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を図１〜図１５を参照して説明する。
なお、図１に示す仮置台１１がある位置をロード位置Ｌｏ（ロード側）、仮置台１２がある位置をアンロード位置Ｕｎ（アンロード側）として説明する。また、図１に示す仮置台１１がある方向を前（Ｆ）、仮置台１２がある方向を後（Ｂ）、鉛直上方側を上（Ｕ）、鉛直下方側を下（Ｄ）、図２に示すモータＭがある方向を左（Ｌ）、モータＭがある左（Ｌ）側と対向する方向を右（Ｒ）として適宜説明する。 The wire saw and the method of loading and unloading the wire saw workpiece according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 15.
The position where the temporary stand 11 shown in FIG. 1 is located will be referred to as the load position Lo (load side), and the position where the temporary stand 12 is located will be referred to as the unload position Un (unload side). Further, the direction in which the temporary stand 11 is located is front (F), the direction in which the temporary stand 12 is located is rear (B), the vertically upper side is upper (U), the vertically lower side is lower (D), and FIG. The direction in which the motor M is located is referred to as the left (L), and the direction facing the left (L) side in which the motor M is located is referred to as the right (R).

＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置５のワイヤ５３に押し当てることで切削して切断される。 <Work>
As shown in FIG. 1, the work W is made of a hard and brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, and a ceramic. The work W is cut by pressing against the wire 53 of the processing apparatus 5 arranged on the wire saw 1.

＜ワイヤソー＞
図１に示すワイヤソー１は、加工装置５のワイヤ５３によってワークＷを切断する切断装置である。ワイヤソー１は、仮置台１１，１２と、クランプ装置２と、昇降装置３と、移送装置４と、加工装置５と、を備えて構成されている。 <Wire saw>
The wire saw 1 shown in FIG. 1 is a cutting device that cuts the work W by the wire 53 of the processing device 5. The wire saw 1 includes temporary standing tables 11 and 12, a clamp device 2, an elevating device 3, a transfer device 4, and a processing device 5.

＜仮置台＞
仮置台１１，１２は、ワークＷを支持するための載置台である。仮置台１１，１２は、ワイヤソー１の加工室Ｒ外の前後にそれぞれ配置されている。ロード位置Ｌｏ側（前側）の仮置台１１（ロード用の仮置台）は、未加工のワークＷをロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入する際に、ワークＷを載置するのに使用される。
アンロード位置Ｕｎ側（後側）の仮置台１２（アンロード用の仮置台）は、加工室Ｒから移送装置４によってアンロード位置Ｕｎに搬出された加工完了後のワークＷを載置するのに使用される。 <Temporary stand>
Temporary stands 11 and 12 are mounting stands for supporting the work W. Temporary stands 11 and 12 are arranged in front of and behind the processing chamber R of the wire saw 1, respectively. The temporary stand 11 (temporary stand for loading) on the load position Lo side (front side) is used to place the work W when the unprocessed work W is carried into the processing chamber R from the load position Lo side. To.
The temporary stand 12 (temporary stand for unloading) on the unload position Un side (rear side) mounts the work W after processing completed carried out from the processing chamber R to the unload position Un by the transfer device 4. Used for.

＜クランプ装置＞
クランプ装置２は、加工装置５でワークＷを加工する際に、加工室Ｒに搬入された未加工のワークＷをクランプするための保持機構である。つまり、クランプ装置２は、ロード位置Ｌｏから加工室Ｒに搬入された未加工のワークＷを、ワーク治具２３を介在して間接的にクランプしてから、そのワークＷを加工装置５のワイヤ５３に押し当てて加工して、加工完了後のワークＷを移送装置４上に置くまで保持してアンクランプする。クランプ装置２からアンクランプされたワークＷは、移送装置４上に載せてからアンロード位置Ｕｎに搬出される。図２に示すように、クランプ装置２は、複数（例えば、４つ）のクランプ部材２６と、複数のクランプ部材２６を保持したワーク保持部材２５と、を備えている。 <Clamp device>
The clamp device 2 is a holding mechanism for clamping the unprocessed work W carried into the processing chamber R when the work W is processed by the processing device 5. That is, the clamping device 2 indirectly clamps the unprocessed work W carried into the processing chamber R from the load position Lo via the work jig 23, and then clamps the work W to the wire of the processing device 5. It is pressed against 53 for processing, and the work W after processing is held and unclamped until it is placed on the transfer device 4. The work W unclamped from the clamp device 2 is placed on the transfer device 4 and then carried out to the unload position Un. As shown in FIG. 2, the clamp device 2 includes a plurality of (for example, four) clamp members 26 and a work holding member 25 that holds the plurality of clamp members 26.

ワークＷの上面には、ガラスプレート２１、金属プレート２２を介在して金属製のワーク治具２３が着脱可能に装着されている。ワーク治具２３の上面には、複数の被クランプ部材２４が設けられている。 A metal work jig 23 is detachably attached to the upper surface of the work W via a glass plate 21 and a metal plate 22. A plurality of clamped members 24 are provided on the upper surface of the work jig 23.

ワーク保持部材２５は、加工用ローラ５１，５２間に掛装されたワイヤ５３の上方において、昇降装置３の下端にボルト締めされて、昇降装置３によって昇降可能に配置されている。ワーク保持部材２５の下面には、被クランプ部材２４に係合及び離間可能な複数のクランプ部材２６が取り付けられている。 The work holding member 25 is bolted to the lower end of the elevating device 3 above the wire 53 hung between the processing rollers 51 and 52, and is arranged so as to be elevated by the elevating device 3. A plurality of clamp members 26 that can be engaged with and separated from the clamped member 24 are attached to the lower surface of the work holding member 25.

＜昇降装置＞
昇降装置３は、下端部にワーク治具２３等を介在してワークＷを保持するクランプ装置２を備えて、ワークＷを昇降させるための装置である。昇降装置３は、ワークＷをスライダ４５上から上昇させたり、ワークＷを加工装置５のワイヤ５３に押し付けて加工したり、加工完了後のワークＷを下降させてスライダ４５上に載置させたりする。
昇降装置３は、クランプ装置２を上下させるボールねじ等の移動機構（図示省略）と、その移動機構を作動させるサーボモータ等の移動用駆動モータ（図示省略）等と、を備えて構成されている。 <Elevating device>
The elevating device 3 is a device for elevating and lowering the work W by providing a clamp device 2 for holding the work W with a work jig 23 or the like interposed at the lower end portion. The elevating device 3 raises the work W from above the slider 45, presses the work W against the wire 53 of the processing device 5 for processing, lowers the work W after processing is completed, and places the work W on the slider 45. To do.
The elevating device 3 includes a moving mechanism (not shown) such as a ball screw that moves the clamp device 2 up and down, and a moving drive motor (not shown) such as a servomotor that operates the moving mechanism. There is.

＜移送装置＞
図１に示すように、移送装置４は、ロード位置Ｌｏ側の仮置台１１に載置したワークＷを加工室Ｒに搬入したり、加工装置５によって加工された加工完了後のワークＷを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出させたりするための搬送装置である。換言すると、移送装置４は、図１に示すように、ロード位置Ｌｏ側の仮置台１１に載置した未加工のワークＷに取り付けたワーク治具２３の掛止部２３ａを、スライダ４５の支持部４５ｃで支持して、図５に示すようにワークＷを加工室Ｒに搬入する。加工室Ｒに搬入後、図６に示すように、空状態のスライダ４５の支持部４５ｃ，４５ｄを退避位置に退避させる。また、移送装置４は、図７に示すように、アンロード位置Ｕｎ側の空状態のスライダ４５の支持部４５ｄを加工室Ｒに移動させる。その後、移送装置４は、図８に示すように、加工完了後のワークＷを支持した支持部４５ｄを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出させる。 <Transfer device>
As shown in FIG. 1, the transfer device 4 carries the work W placed on the temporary stand 11 on the load position Lo side into the processing chamber R, or processes the work W after the processing completed by the processing device 5. It is a transport device for carrying out from the chamber R to the unload position Un. In other words, as shown in FIG. 1, the transfer device 4 supports the hooking portion 23a of the work jig 23 attached to the unprocessed work W placed on the temporary stand 11 on the load position Lo side by supporting the slider 45. The work W is carried into the processing chamber R as shown in FIG. 5, supported by the portion 45c. After being carried into the processing chamber R, as shown in FIG. 6, the support portions 45c and 45d of the empty slider 45 are retracted to the retracted position. Further, as shown in FIG. 7, the transfer device 4 moves the support portion 45d of the empty slider 45 on the unload position Un side to the processing chamber R. After that, as shown in FIG. 8, the transfer device 4 carries out the support portion 45d supporting the work W after the machining is completed from the machining chamber R to the unload position Un.

移送装置４は、スライダ連結部４１，４２と、モータＭと、駆動歯車４３と、変換歯車４４と、スライダ４５と、ガイド４６と、ブラケット４７と、仮置台１１，１２と、を備えて構成されている。 The transfer device 4 includes slider connecting portions 41 and 42, a motor M, a drive gear 43, a conversion gear 44, a slider 45, a guide 46, a bracket 47, and temporary stands 11 and 12. Has been done.

図４に示すように、スライダ連結部４１，４２は、左右のスライダ４５の前端部及び後端部をそれぞれ連結するための部材である。スライダ連結部４１，４２は、ワイヤソー１の左右側に配置されているスライダ４５の前端部及び後端部に架設された正面視して略逆ハット形状（略凹形状）の板状部材から成る。このため、スライダ連結部４１，４２は、スライダ４５が前後方向に移動することによって、ロード位置Ｌｏと加工室Ｒとの間と、アンロード位置Ｕｎと加工室Ｒとの間と、をそれぞれ一体に往復移動する。 As shown in FIG. 4, the slider connecting portions 41 and 42 are members for connecting the front end portion and the rear end portion of the left and right sliders 45, respectively. The slider connecting portions 41 and 42 are composed of plate-shaped members having a substantially inverted hat shape (substantially concave shape) erected on the front end portion and the rear end portion of the slider 45 arranged on the left and right sides of the wire saw 1. .. Therefore, the slider connecting portions 41 and 42 integrally integrate the load position Lo and the processing chamber R and the unload position Un and the processing chamber R by moving the slider 45 in the front-rear direction. Move back and forth to.

図１〜図３に示すように、モータＭは、駆動歯車４３を回転駆動させるための動力源である。モータＭは、例えば、加工室カバー６外の左側に配置されている。
駆動歯車４３は、モータＭの回転を変換歯車４４に伝達するための歯車である。駆動歯車４３は、図１及び図２に示すように、ワイヤソー１の左右の前後方向中央部にそれぞれ配置されている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the motor M is a power source for rotationally driving the drive gear 43. The motor M is arranged on the left side outside the processing chamber cover 6, for example.
The drive gear 43 is a gear for transmitting the rotation of the motor M to the conversion gear 44. As shown in FIGS. 1 and 2, the drive gear 43 is arranged at the center of the wire saw 1 in the front-rear direction.

図５に示すように、変換歯車４４は、駆動歯車４３の回転を直線運動に変換させる歯車である。変換歯車４４は、前後方向に延設された平板状の棒状部材に、歯形部を歯切形成したラックから成る。つまり、ラックである変換歯車４４は、ピニオンである駆動歯車４３に回転力が加えられると、変換歯車４４が水平方向に動くように構成されている。 As shown in FIG. 5, the conversion gear 44 is a gear that converts the rotation of the drive gear 43 into a linear motion. The conversion gear 44 is composed of a rack in which a tooth profile portion is cut into a flat plate-shaped rod-shaped member extending in the front-rear direction. That is, the conversion gear 44, which is a rack, is configured so that the conversion gear 44 moves in the horizontal direction when a rotational force is applied to the drive gear 43, which is a pinion.

スライダ４５は、変換歯車４４によって前後方向に水平に進退（往復移動）される左右一対の移動体である（図４参照）。スライダ４５は、変換歯車４４の上側に設置されて、変換歯車４４に沿って平行に前後方向に伸びたレール状の部材から成る。スライダ４５の前端部には、支持部４５ｃが形成され、スライダ４５の後端部には、支持部４５ｄが形成されている。図３に示すように、スライダ４５は、ガイド溝４５ａと、ストッパ４５ｂと、支持部４５ｃ，４５ｄと、有している。 The slider 45 is a pair of left and right moving bodies that are horizontally moved back and forth (reciprocating) by the conversion gear 44 (see FIG. 4). The slider 45 is installed above the conversion gear 44 and is composed of a rail-shaped member extending parallel to the conversion gear 44 in the front-rear direction. A support portion 45c is formed at the front end portion of the slider 45, and a support portion 45d is formed at the rear end portion of the slider 45. As shown in FIG. 3, the slider 45 has a guide groove 45a, a stopper 45b, and support portions 45c and 45d.

図４に示すように、左右のスライダ４５の左右外側には、複数のガイド４６が摺動自在に係合された縦断面視して凹部形状のガイド溝４５ａが、前端から後端に亘って延設されている。左右のスライダ４５の左右上端部には、ワークＷを、正面視して略凹形状のスライダ連結部４１，４２に係合するときに、ワーク治具２３の左右端部の位置を規制して位置決めするためのストッパ４５ｂが突出形成されている。 As shown in FIG. 4, on the left and right outer sides of the left and right sliders 45, recess-shaped guide grooves 45a in a vertical cross-sectional view in which a plurality of guides 46 are slidably engaged are formed from the front end to the rear end. It has been extended. On the left and right upper ends of the left and right sliders 45, the positions of the left and right ends of the work jig 23 are restricted when the work W is engaged with the substantially concave slider connecting portions 41 and 42 when viewed from the front. A stopper 45b for positioning is formed so as to project.

左右のスライダ４５の左右内側の前後両端部には、ワーク治具２３の左右端部に突出形成された掛止部２３ａが支持（載置）される支持部４５ｃ，４５ｄが突設されている。このため、ワーク治具２３に固定されたワークＷは、掛止部２３ａを支持部４５ｃ，４５ｃに支持されることによって、スライダ４５上に載置可能になっている。 Support portions 45c and 45d on which the hooking portions 23a projecting from the left and right ends of the work jig 23 are supported (placed) are projected from the front and rear ends on the left and right inside of the left and right sliders 45. .. Therefore, the work W fixed to the work jig 23 can be placed on the slider 45 by supporting the hooking portion 23a by the support portions 45c and 45c.

前側の支持部４５ｃは、図１及び図５に示すように、未加工のワークＷをロード位置Ｌｏから加工室Ｒに搬入する際に、ワークＷに取り付けられたワーク治具２３の掛止部２３ａが支持される部位である。
後側の支持部４５ｄは、図７及び図８に示すように、加工完了後のワークＷを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出する際に、ワークＷに取り付けられたワーク治具２３の掛止部２３ａが支持される部位である。支持部４５ｃ，４５ｄは、左右のスライダ４５の前後端部に形成されている。 As shown in FIGS. 1 and 5, the support portion 45c on the front side is a hooking portion of the work jig 23 attached to the work W when the unprocessed work W is carried into the processing chamber R from the load position Lo. This is the part where 23a is supported.
As shown in FIGS. 7 and 8, the rear support portion 45d is a work jig 23 attached to the work W when the work W after processing is carried out from the processing chamber R to the unload position Un. This is a portion where the hook portion 23a is supported. The support portions 45c and 45d are formed at the front and rear ends of the left and right sliders 45.

ワークＷは、図４に二点鎖線で示すように、左右のスライダ４５間において、前側の支持部４５ｃと、後側の支持部４５ｄとの間では、掛止部２３ａがスライダ４５から離間しているので、上下方向に昇降可能に配置される。このため、ワークＷは、掛止部２３ａをスライダ４５の前後端部の支持部４５ｃ，４５ｄ間に配置することで、昇降装置３によって加工装置５のワイヤ５３がある加工位置まで下降可能となる。 In the work W, as shown by the alternate long and short dash line in FIG. 4, the hooking portion 23a is separated from the slider 45 between the front support portion 45c and the rear support portion 45d between the left and right sliders 45. Therefore, it is arranged so that it can be raised and lowered in the vertical direction. Therefore, the work W can be lowered to a machining position where the wire 53 of the machining device 5 is located by the elevating device 3 by arranging the hooking portion 23a between the support portions 45c and 45d at the front and rear ends of the slider 45. ..

図５に示すように、ガイド４６は、スライダ４５を前後方向に進退自在に支持するガイド部材である。ガイド４６は、ブラケット４７の上部に前後方向に適宜な間隔で複数配置された略円筒状の回転体から成る。ガイド４６は、ブラケット４７の上部右側にボルトによって回転自在に取り付けられている（図３参照）。 As shown in FIG. 5, the guide 46 is a guide member that supports the slider 45 so as to be able to move forward and backward in the front-rear direction. The guide 46 is composed of a plurality of substantially cylindrical rotating bodies arranged on the upper portion of the bracket 47 at appropriate intervals in the front-rear direction. The guide 46 is rotatably attached to the upper right side of the bracket 47 by a bolt (see FIG. 3).

ブラケット４７は、駆動歯車４３を回転自在に軸支して、前後方向に延設された平板部材である。ブラケット４７は、ガイド４６、スライダ４５を介在してスライダ連結部４１，４２に取り付けられている。 The bracket 47 is a flat plate member that rotatably supports the drive gear 43 and extends in the front-rear direction. The bracket 47 is attached to the slider connecting portions 41 and 42 via the guide 46 and the slider 45.

＜加工装置＞
図１に示すように、加工装置５は、クランプ装置２にクランプされた未加工のワークＷを加工する切削機構である。加工装置５は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ５１，５２と、加工用ローラ５１と加工用ローラ５２とに巻き掛けられたワイヤ５３と、加工用ローラ５１，５２を回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、を備えて構成されている。加工装置５は、基台１３上のコラム１４に設けられている。 <Processing equipment>
As shown in FIG. 1, the processing device 5 is a cutting mechanism for processing the unprocessed work W clamped by the clamping device 2. The processing apparatus 5 includes a pair of processing rollers 51 and 52 arranged horizontally opposed to each other at appropriate intervals, a wire 53 wound around the processing roller 51 and the processing roller 52, and a processing roller 51. It is configured to include a drive motor (not shown) for rotationally driving the 52. The processing apparatus 5 is provided on the column 14 on the base 13.

加工装置５の上方において、コラム１４には、ワークＷを支持するクランプ装置２が昇降装置３によって昇降可能に配置されている。そして、ワイヤソー１の運転時には、ワイヤ５３が加工用ローラ５１，５２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、昇降装置３によって加工装置５に向かって下降されてワイヤ５３に押し付けられることで切断される。 Above the processing device 5, a clamp device 2 for supporting the work W is arranged on the column 14 so as to be able to move up and down by the lifting device 3. Then, when the wire saw 1 is operated, the wire 53 is traveled between the processing rollers 51 and 52, and the work W held by the clamp device 2 is lowered toward the processing device 5 by the elevating device 3 to the wire 53. It is cut by being pressed.

加工用ローラ５２，５２は、駆動モータ（図示省略）によって回転されることで、ワイヤ５３を加工用ローラ５２，５３間だけ走行させるように構成されている。加工用ローラ５２，５３は、少なくとも一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。 The processing rollers 52 and 52 are configured to travel the wire 53 only between the processing rollers 52 and 53 by being rotated by a drive motor (not shown). The number of processing rollers 52 and 53 may be at least one pair, and may be three or more as long as they are arranged in parallel with mutual spacing.

ワイヤ５３は、例えば、１本の線材によって構成された加工用ワイヤである。ワイヤ５３は、加工用ローラ５２，５３によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。 The wire 53 is, for example, a processing wire composed of one wire rod. The wire 53 is driven by the processing rollers 52 and 53 so as to repeatedly advance by a certain amount and retract by a certain amount to advance stepwise as a whole or to advance continuously in one direction.

＜加工室カバー＞
図１及び図２に示すように、加工室カバー６は、加工装置５における加工領域を覆って加工室Ｒを形成するカバー部材である。加工室カバー６は、ワークＷの加工領域に供給されたクーラントが飛散しないように設けられる箱状部材から成る。加工室カバー６は、加工室Ｒ内のワークＷの着脱作業等の際に、開閉する扉（図示省略）を備えている。 <Processing room cover>
As shown in FIGS. 1 and 2, the processing chamber cover 6 is a cover member that covers the processing region in the processing apparatus 5 to form the processing chamber R. The processing chamber cover 6 is made of a box-shaped member provided so that the coolant supplied to the processing region of the work W does not scatter. The processing chamber cover 6 is provided with a door (not shown) that opens and closes when the work W in the processing chamber R is attached / detached.

［作用］
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー１及びワイヤソー１のワークＷの搬入出方法の作用を、図１５を主に図１〜図１５を参照しながら作業工程順に説明する。 [Action]
Next, the operation of the wire saw 1 and the method of loading and unloading the work W of the wire saw 1 according to the embodiment of the present invention will be described in the order of working steps with reference to FIGS. 15 and 15.

図９に示すように、加工の完了したワークＷを昇降装置３でワーククランプアンクランプ位置まで上昇させ、加工室カバー６（図１参照）を開き、図１０に示すように移送装置４のスライダ４５をロード位置Ｌｏ側に移動し、加工後のワークＷに取り付けたワーク治具２３をスライダ４５の支持部４５ｄで支持する。このとき、仮置台１１に載置された未加工のワークＷのワーク治具２３が、スライダ４５の支持部４５ｃに支持される。続いて、クランプ装置２にクランプされている加工後のワークＷをアンクランプし、クランプ装置２を退避位置まで上昇させて、図１１に示すように、加工後のワークＷを移送装置４によってアンロード位置Ｕｎに搬出し、移送装置４のスライダ４５の支持部４５ｄから加工後のワークＷをアンロード位置Ｕｎの仮置台１２に載置し（搬出工程Ｓ１）、このとき、ロード位置Ｌｏの仮置台１１に載置された未加工のワークＷに取り付けたワーク治具２３の掛止部２３ａをスライダ４５の支持部４５ｃに支持して、移送装置４によって加工室Ｒ内に搬入する（搬入工程Ｓ２）。 As shown in FIG. 9, the processed work W is raised to the work clamp unclamp position by the lifting device 3, the processing chamber cover 6 (see FIG. 1) is opened, and the slider of the transfer device 4 is opened as shown in FIG. The 45 is moved to the load position Lo side, and the work jig 23 attached to the processed work W is supported by the support portion 45d of the slider 45. At this time, the work jig 23 of the unprocessed work W placed on the temporary stand 11 is supported by the support portion 45c of the slider 45. Subsequently, the processed work W clamped by the clamp device 2 is unclamped, the clamp device 2 is raised to the retracted position, and the processed work W is unclamped by the transfer device 4 as shown in FIG. The work W is carried out to the load position Un, and the processed work W is placed on the temporary stand 12 at the unload position Un from the support portion 45d of the slider 45 of the transfer device 4 (unloading step S1). The clamp portion 23a of the work jig 23 attached to the unprocessed work W placed on the pedestal 11 is supported by the support portion 45c of the slider 45, and is carried into the processing chamber R by the transfer device 4 (carry-in step). S2).

次に、昇降装置３をワーククランプアンクランプ位置まで下降して、加工室Ｒ内に搬入された未加工のワークＷに固定したワーク治具２３をクランプ装置２でクランプする（クランプ工程Ｓ３）。 Next, the elevating device 3 is lowered to the work clamp unclamping position, and the work jig 23 fixed to the unprocessed work W carried into the processing chamber R is clamped by the clamping device 2 (clamping step S3).

次に、図１２に示すように、移送装置４のスライダ４５に何も載置していない状態で、ワークＷがスライダ４５の前後方向の中央部に位置するように退避させる（退避工程Ｓ４）。続いて、加工室カバー６（図１参照）を閉めて、図１３に示すように、クランプ装置２でクランプした未加工のワークＷに取り付けたワーク治具２３を昇降装置３で昇降させることによって、加工装置５のワイヤ５３に押し当ててワークＷを切削加工する（加工工程Ｓ５）。 Next, as shown in FIG. 12, in a state where nothing is placed on the slider 45 of the transfer device 4, the work W is retracted so as to be located at the center of the slider 45 in the front-rear direction (evacuation step S4). .. Subsequently, the processing chamber cover 6 (see FIG. 1) is closed, and as shown in FIG. 13, the work jig 23 attached to the unprocessed work W clamped by the clamp device 2 is moved up and down by the elevating device 3. , The work W is machined by pressing against the wire 53 of the machining apparatus 5 (machining step S5).

そして、図１４に示すように、未加工のワークＷを加工中に、搬出工程Ｓ１でアンロード位置Ｕｎに搬出されて仮置台１２に支持される加工後のワークＷをワイヤソー１外に運び出す。このとき、未加工のワークＷを仮置台１１に載置する（取外載置工程Ｓ６）。 Then, as shown in FIG. 14, while the unprocessed work W is being processed, the processed work W that is carried out to the unload position Un in the unloading step S1 and supported by the temporary stand 12 is carried out of the wire saw 1. At this time, the unprocessed work W is placed on the temporary mounting table 11 (removal mounting step S6).

こうすることで、加工済みのワークＷの加工室Ｒからの搬出と、未加工のワークＷの加工室Ｒへの搬入と、が同時に行うことができるため、ワークＷの搬送を効率よく行いながらワイヤソー１による切削加工を行うことができる。
以上の搬出工程Ｓ１から取外載置工程Ｓ６を繰り返して、ワークＷを順次に加工して生産する。 By doing so, it is possible to carry out the processed work W from the processing chamber R and carry in the unprocessed work W into the processing chamber R at the same time, so that the work W can be efficiently transported. Cutting with the wire saw 1 can be performed.
The work W is sequentially processed and produced by repeating the above-mentioned carrying-out step S1 to removing / mounting step S6.

このように、本発明は、図１に示すように、ワイヤ５３によってワークＷを切断するワイヤソー１において、ワークＷを支持する仮置台１１，１２と、ワークＷを支持するスライダ４５を含み、ワークＷを加工室Ｒに搬入及び加工室Ｒから搬出させる移送装置４と、加工室Ｒに配置され、ワークＷを加工する加工装置５と、加工室Ｒに搬入され、ワークＷをクランプするクランプ装置２と、クランプ装置２を昇降させる昇降装置３と、を備え、移送装置４は、仮置台１１，１２から加工室ＲへワークＷを搬送する。 As described above, as shown in FIG. 1, the present invention includes temporary standing tables 11 and 12 for supporting the work W and a slider 45 for supporting the work W in the wire saw 1 for cutting the work W by the wire 53. A transfer device 4 that carries W into the processing chamber R and carries it out from the processing chamber R, a processing device 5 that is arranged in the processing chamber R to process the work W, and a clamping device that is carried into the processing chamber R and clamps the work W. 2 and an elevating device 3 for elevating and lowering the clamp device 2 are provided, and the transfer device 4 transfers the work W from the temporary standing tables 11 and 12 to the processing chamber R.

これにより、ワイヤソー１は、未加工のワークＷを加工室Ｒに搬入し、加工後のワークＷを加工室Ｒから搬出させる移送装置４を備えていることで、ワイヤソー１の停止及び中断している時間を削減してワイヤソー１の稼働率を向上させることができる。このため、ワークＷを生産する生産時間を短縮させて生産性を向上させることができる。また、移送装置４は、従来使用していたワークリフタ等の付帯装置を不要とするため、ワイヤソー１の構造を簡素化して、コストダウンを図ることができる。 As a result, the wire saw 1 is provided with a transfer device 4 for carrying the unprocessed work W into the processing chamber R and carrying out the processed work W from the processing chamber R, so that the wire saw 1 is stopped and interrupted. It is possible to reduce the time spent and improve the operating rate of the wire saw 1. Therefore, the production time for producing the work W can be shortened and the productivity can be improved. Further, since the transfer device 4 eliminates the need for ancillary devices such as a work lifter that have been conventionally used, the structure of the wire saw 1 can be simplified and the cost can be reduced.

また、移送装置４は、モータＭと、モータＭによって回転する駆動歯車４３と、駆動歯車４３の回転を直線運動に変換させる変換歯車４４と、変換歯車４４によって進退されるスライダ４５と、スライダ４５を進退自在に支持するガイド４６と、スライダ４５に設けられた支持部４５ｃ，４５ｄと、を備えている。 Further, the transfer device 4 includes a motor M, a drive gear 43 rotated by the motor M, a conversion gear 44 that converts the rotation of the drive gear 43 into linear motion, a slider 45 that is advanced and retreated by the conversion gear 44, and a slider 45. It is provided with a guide 46 for freely advancing and retreating, and support portions 45c and 45d provided on the slider 45.

移送装置４は、ワークＷを支持し、スライダ４５に連動して移動する支持部４５ｃ，４５ｄを備えていることで、ワークＷの交換を自動化して容易にすることができる。その結果、ワークＷを生産する際の作業性を向上させて省力化を図ることができる。 Since the transfer device 4 includes support portions 45c and 45d that support the work W and move in conjunction with the slider 45, the replacement of the work W can be automated and facilitated. As a result, workability when producing the work W can be improved and labor can be saved.

また、図１、図２及び図４に示すように、ワークＷは、当該ワークＷを保持するワーク治具２３を有し、スライダ４５は、互いに平行に配置された一対の部材から成ると共に、ワーク治具２３の側面両側にそれぞれ突設された掛止部２３ａが支持される支持部４５ｃを有し、ワーク治具２３は、ワークＷを搬送する際に、掛止部２３ａが、一対のスライダ４５の支持部４５ｃに支持され、ワークＷを加工する際に、掛止部２３ａが、一対のスライダ４５の支持部４５ｃから離間されて一対のスライダ４５間を昇降装置３によって下降させる。 Further, as shown in FIGS. 1, 2 and 4, the work W has a work jig 23 for holding the work W, and the slider 45 is composed of a pair of members arranged in parallel with each other and is composed of a pair of members. The work jig 23 has a support portion 45c for supporting the hooking portions 23a projecting from both sides of the side surface of the work jig 23, and the work jig 23 has a pair of hooking portions 23a when the work W is conveyed. When the work W is processed by being supported by the support portion 45c of the slider 45, the hook portion 23a is separated from the support portion 45c of the pair of sliders 45 and lowered between the pair of sliders 45 by the elevating device 3.

これにより、ワーク治具２３は、ワークＷを搬送する際に、一対のスライダ４５の掛止部２３ａに掛止されるので、スライダ４５を移動させることによって、ワークＷを搬送させることができる。また、ワーク治具２３は、ワークＷを加工する際に、一対のスライダ４５の掛止部２３ａから支持部４５ｃを離間させて一対のスライダ４５間を昇降装置３によって下降させることで、下方に配置された加工装置５のワイヤ５３にワークＷを押し当てて切断することが可能となる。 As a result, the work jig 23 is hooked on the hooking portions 23a of the pair of sliders 45 when the work W is conveyed, so that the work W can be conveyed by moving the sliders 45. Further, when the work W is machined, the work jig 23 is moved downward by the elevating device 3 by separating the support portion 45c from the hooking portion 23a of the pair of sliders 45 and lowering the space between the pair of sliders 45. The work W can be pressed against the wire 53 of the arranged processing apparatus 5 to cut the work W.

また、図１に示すように、仮置台１１，１２は、ロード側に配置されるロード用の仮置台１１と、アンロード側に配置されるアンロード用の仮置台１２を有し、スライダ４５は、ロード側に配置されるロード用の支持部４５ｃと、アンロード側に配置されるアンロード用の支持部４５ｄを有し、移送装置４は、ロード用の支持部４５ｃをロード用の仮置台１１から加工室Ｒに搬入すると共に、アンロード用の支持部４５ｄを加工室Ｒからアンロード用の仮置台１２へ搬出させる。 Further, as shown in FIG. 1, the temporary stand 11 and 12 have a temporary stand 11 for loading arranged on the load side and a temporary stand 12 for unloading arranged on the unload side, and the slider 45. Has a load support 45c arranged on the load side and an unload support 45d arranged on the unload side, and the transfer device 4 temporarily loads the load support 45c. It is carried in from the pedestal 11 to the processing chamber R, and the unloading support portion 45d is carried out from the processing chamber R to the temporary unloading pedestal 12.

これにより、移送装置４は、ロード用の仮置台１１に載置した未加工のワークＷをロード用の支持部４５ｃで支持して加工室Ｒに搬入し、加工完了後のワークＷを支持したアンロード用の支持部４５ｄをアンロード用の仮置台１２に搬出することで、未加工のワークＷと、加工済のワークＷと、を相違する方向に搬送することができる。このため、未加工のワークＷと、加工済のワークＷとのワークＷ同士が対向する方向に移動するのを解消して、未加工のワークＷと加工済のワークＷを同時に搬送させることが可能になる。その結果、ワークＷの搬送時間を短縮させて、効率よくワークＷを搬送させることができるので、ワークＷの生産性を向上させることができる。 As a result, the transfer device 4 supports the unprocessed work W placed on the temporary loading table 11 by the support portion 45c for loading and carries it into the processing chamber R to support the work W after the processing is completed. By carrying out the unloading support portion 45d to the unloading temporary stand 12, the unprocessed work W and the processed work W can be conveyed in different directions. Therefore, it is possible to eliminate the movement of the unprocessed work W and the processed work W in the opposite directions, and to simultaneously convey the unprocessed work W and the processed work W. It will be possible. As a result, the transport time of the work W can be shortened and the work W can be efficiently transported, so that the productivity of the work W can be improved.

また、図１または図１５に示すように、本発明は、ワイヤソー１を使用してワークＷを搬入及び搬出するワイヤソー１のワークＷの搬入出方法であって、加工完了のワークＷをスライダ４５にてアンロード用の仮置台１２に搬出する搬出工程Ｓ１と、ロード用の仮置台１１の未加工のワークＷをスライダ４５にて加工室Ｒ内に搬入する搬入工程Ｓ２と、加工室Ｒ内に搬入された未加工のワークＷをクランプ装置２によってクランプするクランプ工程Ｓ３と、スライダ４５を加工室Ｒ内に退避させる退避工程Ｓ４と、未加工のワークＷを昇降装置３によって昇降させることによって加工装置５で加工する加工工程Ｓ５と、未加工のワークＷを加工中に、搬出工程Ｓ１でアンロード用の仮置台１２に載置された加工完了のワークＷをアンロード用の仮置台１２から取り外すと共に、未加工のワークＷをロード用の仮置台１１に載置する取外載置工程Ｓ６と、を有する。 Further, as shown in FIG. 1 or FIG. 15, the present invention is a method of loading and unloading the work W of the wire saw 1 in which the work W is carried in and out using the wire saw 1, and the workpiece W having been machined is set to the slider 45. The unloading process S1 for unloading to the temporary unloading table 12 and the loading process S2 for loading the unprocessed work W of the unloading temporary pedestal 11 into the processing chamber R by the slider 45, and the inside of the processing chamber R. A clamping step S3 for clamping the raw work W carried into the machine W by the clamping device 2, a retracting step S4 for retracting the slider 45 into the processing chamber R, and a lifting device 3 for raising and lowering the raw work W. While the machining process S5 to be machined by the machining apparatus 5 and the unprocessed work W are being machined, the machine W placed on the temporary unloading table 12 in the unloading process S1 is placed on the temporary unloading table 12 for unloading. It has a removal / mounting step S6 in which the unprocessed work W is mounted on the temporary loading table 11 while being removed from the surface.

これにより、ワイヤソー１のワークＷの搬入出方法は、移送装置４のスライダ４５によって未加工のワークＷの加工室Ｒへの搬入し、加工後のワークＷを加工室Ｒから搬出を容易に行うことができるので、ワークＷを搬入出させるためのワイヤソー１のダウンタイムを削減して、ワークＷの生産性を向上させることができる。 As a result, the work W of the wire saw 1 is carried in and out by the slider 45 of the transfer device 4 to carry the unprocessed work W into the processing chamber R, and the processed work W is easily carried out from the processing chamber R. Therefore, the downtime of the wire saw 1 for loading and unloading the work W can be reduced, and the productivity of the work W can be improved.

［第１変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。 [First modification]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and modifications can be made within the scope of the technical idea thereof, and the present invention may extend to these modified and modified inventions. Of course.

次に、図１６を参照して、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第１変形例を説明する。なお、既に説明した構成は同じ符号を付してその説明を省略する。
図１６は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第１変形例を示す概略側面図である。 Next, a first modification of the wire saw according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The configurations already described are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
FIG. 16 is a schematic side view showing a first modification of the wire saw according to the embodiment of the present invention.

例えば、本発明のワイヤソー１における移送装置４は、図１に示すように、１つのモータＭと、１つのスライダ４５と、を使用してロード位置ＬｏのワークＷを加工室Ｒに搬入したり、加工後のワークＷをアンロード位置Ｕｎ側に搬出したりするものに限定されるものではない。 For example, as shown in FIG. 1, the transfer device 4 in the wire saw 1 of the present invention uses one motor M and one slider 45 to carry the work W at the load position Lo into the processing chamber R. The work W after processing is not limited to the one that is carried out to the unload position Un side.

図１６に示すように、ワイヤソー１Ａにおける移送装置４Ａは、二つのモータＭ１，Ｍ２と、二つのモータＭ１，Ｍ２によってそれぞれ回転する駆動歯車４３Ａ１，４３Ａ２と、駆動歯車４３Ａ１，４３Ａ２の回転をそれぞれ直線運動に変換させる変換歯車４４Ａ１，４４Ａ２と、変換歯車４４Ａ１，４４Ａ２によってそれぞれ進退されるスライダ４５Ａ１，４５Ａ２と、スライダ４５Ａ１，４５Ａ２をそれぞれ進退自在に支持するガイド４６Ａ１，４６Ａ２と、スライダ４５Ａ１，４５Ａ２にそれぞれ連結された仮置台１１，１２と、を備えているものであってもよい。 As shown in FIG. 16, the transfer device 4A in the wire saw 1A linearly rotates the two motors M1 and M2, the drive gears 43A1 and 43A2 rotated by the two motors M1 and M2, and the drive gears 43A1 and 43A2, respectively. The conversion gears 44A1, 44A2 that convert to motion, the sliders 45A1, 45A2 that are advanced and retreated by the conversion gears 44A1, 44A2, the guides 46A1, 46A2 that freely advance and retreat the sliders 45A1, 45A2, and the sliders 45A1, 45A2, respectively. It may be provided with the temporarily placed tables 11 and 12 connected to each other.

つまり、移送装置４Ａは、搬入装置４Ａ１と、搬出装置４Ａ２との二つの装置で構成してもよい。 That is, the transfer device 4A may be composed of two devices, a carry-in device 4A1 and a carry-out device 4A2.

このように構成された第１変形例のワイヤソー１Ａは、搬入専用の搬入装置４Ａ１と、搬出専用の搬出装置４Ａ２と、を備えた移送装置４Ａがワイヤソー１Ａに一体的に設けられていることで、未加工のワークＷの搬入と、加工後のワークＷの搬出を効率よく行うことができる。 In the wire saw 1A of the first modification configured in this way, a transfer device 4A including a carry-in device 4A1 dedicated to carry-in and a carry-out device 4A2 dedicated to carry-out is integrally provided on the wire saw 1A. , The unprocessed work W can be carried in and the processed work W can be carried out efficiently.

［第２変形例］
図１７は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第２変形例を示す概略側面図である。図１８は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第２変形例を示す図で、（ａ）はスライダがロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図、（ｂ）はスライダがアンロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図である。 [Second modification]
FIG. 17 is a schematic side view showing a second modification of the wire saw according to the embodiment of the present invention. 18A and 18B are views showing a second modification of the wire saw according to the embodiment of the present invention, in which FIG. 18A is an enlarged schematic side view of a main part showing a state when the slider is in the load position, and FIG. It is an enlarged schematic side view of the main part which shows the state when it is in an unload position.

また、前記実施形態及び第１変形例では、移送装置４，４Ａで未加工のワークＷをロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入して、加工後のワークＷを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎ側に搬出する場合を説明したが、図１７及び図１８（ａ）、（ｂ）に示す移送装置４Ｂのように、同じ位置方向から搬入して、搬入して来た方向に搬出してもよい。 Further, in the above-described embodiment and the first modification, the unprocessed work W is carried into the processing chamber R from the load position Lo side by the transfer devices 4 and 4A, and the processed work W is unloaded from the processing chamber R. The case of carrying out to the Un side has been described, but as in the transfer device 4B shown in FIGS. 17 and 18 (a) and 18 (b), the case is carried in from the same position direction and carried out in the direction in which the carry-in is carried out. May be good.

つまり、ワイヤソー１Ｂは、仮置台１１Ｂを移送装置４Ｂによってロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入し、加工後のワークＷを同じ仮置台１１を使用して、ロード位置Ｌｏと同じ位置にあるアンロード位置Ｕｎ側に戻すように、往復移動させてもよい。 That is, the wire saw 1B carries the temporary stand 11B into the processing chamber R from the load position Lo side by the transfer device 4B, and uses the same temporary stand 11 to carry the processed work W into the processing chamber R at the same position as the load position Lo. It may be reciprocated so as to return to the load position Un side.

１，１Ａ，１Ｂ ワイヤソー
２ クランプ装置
３ 昇降装置
４，４Ａ，４Ｂ 移送装置
５ 加工装置
１１，１１Ｂ 仮置台（ロード用の仮置台）
１２ 仮置台（アンロード用の仮置台）
２３ ワーク治具
２３ａ 掛止部
４１，４１Ａ，４２，４２Ａ スライダ連結部
４３，４３Ａ１，４３Ａ２ 駆動歯車
４４，４４Ａ１，４４Ａ２ 変換歯車
４５，４５Ａ１，４５Ａ２ スライダ
４５ｃ 支持部（ロード用の支持部）
４５ｄ 支持部（アンロード用の支持部）
４６，４６Ａ１，４６Ａ２ ガイド
５３ ワイヤ
Ｌｏ ロード位置（ロード）
Ｕｎ アンロード位置（アンロード）
Ｍ，Ｍ１，Ｍ２ モータ
Ｒ 加工室
Ｓ１ 搬出工程
Ｓ２ 搬入工程
Ｓ３ クランプ工程
Ｓ４ 退避工程
Ｓ５ 加工工程
Ｓ６ 取外載置工程
Ｗ ワーク 1,1A, 1B Wire saw 2 Clamping device 3 Lifting device 4,4A, 4B Transfer device 5 Processing device 11,11B Temporary stand (temporary stand for road)
12 Temporary stand (temporary stand for unloading)
23 Work jig 23a Hooking part 41, 41A, 42, 42A Slider connecting part 43, 43A 1, 43A2 Drive gear 44, 44A 1, 44A2 Conversion gear 45, 45A 1, 45A2 Slider 45c Support part (load support part)
45d support (support for unloading)
46, 46A1, 46A2 Guide 53 Wire Lo Load position (load)
Un unload position (unload)
M, M1, M2 Motor R Machining process room S1 Carry-out process S2 Carry-in process S3 Clamping process S4 Evacuation process S5 Machining process S6 Removal and mounting process W work

Claims (5)

ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記ワークを支持する仮置台と、
前記ワークを支持するスライダを含み、前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、
前記加工室に配置され、前記ワークを加工する加工装置と、
前記加工室に配置され、前記ワークをクランプするクランプ装置と、
前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、
前記移送装置は、前記仮置台から前記加工室へ前記ワークを搬送する
ことを特徴とするワイヤソー。 In a wire saw that cuts a workpiece with a wire
A temporary stand that supports the work and
A transfer device including a slider for supporting the work, and a transfer device for carrying the work into and out of the processing chamber.
A processing device arranged in the processing chamber and processing the work,
A clamping device arranged in the processing chamber and clamping the workpiece,
A lifting device for raising and lowering the clamp device is provided.
The transfer device is a wire saw characterized by transporting the work from the temporary stand to the processing chamber. 前記移送装置は、モータと、
前記モータによって回転する駆動歯車と、
前記駆動歯車の回転を直線運動に変換させる変換歯車と、
前記変換歯車によって進退されるスライダと、
前記スライダを進退自在に支持するガイドと、
前記スライダに設けられた前記支持部と、を備えている
ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。 The transfer device includes a motor and
The drive gear rotated by the motor and
A conversion gear that converts the rotation of the drive gear into linear motion,
A slider that is advanced and retreated by the conversion gear,
A guide that freely supports the slider and
The wire saw according to claim 1, further comprising the support portion provided on the slider. 前記ワークは、当該ワークを保持するワーク治具を有し、
前記スライダは、互いに平行に配置された一対の部材から成ると共に、前記ワーク治具の側面両側にそれぞれ突設された掛止部が支持される前記支持部を有し、
前記ワーク治具は、前記ワークを搬送する際に、前記掛止部が、前記一対のスライダの前記支持部に支持され、前記ワークを加工する際に、前記掛止部が、前記一対のスライダの前記支持部から離間されて前記一対のスライダ間を前記昇降装置によって下降させる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤソー。 The work has a work jig for holding the work, and has a work jig.
The slider is composed of a pair of members arranged in parallel with each other, and has the support portion on which the hooking portions projecting from both sides of the side surface of the work jig are supported.
In the work jig, when the work is conveyed, the hooking portion is supported by the supporting portion of the pair of sliders, and when the work is processed, the hooking portion is supported by the pair of sliders. The wire saw according to claim 1 or 2, wherein the pair of sliders is lowered by the elevating device so as to be separated from the support portion. 前記仮置台は、ロード側に配置されるロード用の仮置台と、アンロード側に配置されるアンロード用の仮置台を有し、
前記スライダは、ロード側に配置されるロード用の支持部と、アンロード側に配置されるアンロード用の支持部を有し、
前記移送装置は、前記ロード用の支持部を前記ロード用の仮置台から前記加工室に搬入すると共に、前記アンロード用の支持部を前記加工室から前記アンロード用の仮置台へ搬出させる
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかの請求項に記載のワイヤソー。 The temporary stand has a temporary stand for loading arranged on the load side and a temporary stand for unloading arranged on the unload side.
The slider has a load support portion arranged on the load side and an unload support portion arranged on the unload side.
The transfer device carries the load support portion from the load temporary stand into the processing chamber, and carries the unload support portion from the processing chamber to the unload temporary stand. The wire saw according to any one of claims 1 to 3, wherein the wire saw is characterized. ワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、
加工完了のワークをスライダにてアンロード用の仮置台に搬出する搬出工程と、
ロード用の仮置台の未加工のワークを前記スライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、
前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、
前記スライダを加工室内に退避させる退避工程と、
前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、
前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で前記アンロード用の仮置台に載置された前記加工完了のワークを前記アンロード用の仮置台から取り外すと共に、未加工のワークをロード用の仮置台に載置する取外載置工程と、
を有する
ことを特徴とするワイヤソーのワークの搬入出方法。 It is a method of loading and unloading the work of the wire saw, in which the workpiece is loaded and unloaded using the wire saw.
The unloading process of transporting the machined work to the temporary unloading table with a slider, and the unloading process.
The loading process of loading the unprocessed workpiece of the temporary loading platform into the processing chamber with the slider, and the loading process.
A clamping process in which the raw workpiece carried into the processing chamber is clamped by a clamping device, and
The evacuation process of retracting the slider into the processing chamber and
The processing process of processing the unprocessed work with the processing device by raising and lowering it with the elevating device,
While the raw work is being machined, the machined work that has been machined and placed on the unloading temporary stand in the unloading process is removed from the unloading temporary stand, and the unprocessed work is loaded. The external mounting process to be mounted on the temporary stand and
A method of loading and unloading a wire saw work, which is characterized by having.
JP2019172352A 2019-09-20 2019-09-20 How to load and unload wire saws and wire saw workpieces Active JP7372097B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019172352A JP7372097B2 (en) 2019-09-20 2019-09-20 How to load and unload wire saws and wire saw workpieces
CN202010971650.6A CN112536476B (en) 2019-09-20 2020-09-16 Wire saw and method for feeding and discharging work piece by wire saw

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019172352A JP7372097B2 (en) 2019-09-20 2019-09-20 How to load and unload wire saws and wire saw workpieces

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021049589A true JP2021049589A (en) 2021-04-01
JP7372097B2 JP7372097B2 (en) 2023-10-31

Family

ID=75013859

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019172352A Active JP7372097B2 (en) 2019-09-20 2019-09-20 How to load and unload wire saws and wire saw workpieces

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7372097B2 (en)
CN (1) CN112536476B (en)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03149153A (en) * 1989-11-01 1991-06-25 Tsudakoma Corp Automatic pallet exchanger
JPH10128736A (en) * 1996-10-25 1998-05-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wire saw
JPH11188600A (en) * 1997-12-26 1999-07-13 Nippei Toyama Corp Wire saw and work input/output method
JPH11291152A (en) * 1998-02-10 1999-10-26 Mitsubishi Materials Corp Cutting method of ingot and device therefor
JPH11291154A (en) * 1998-04-07 1999-10-26 Takatori Corp Wire driver in wire saw
JP2000218499A (en) * 1999-01-28 2000-08-08 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wire saw
JP2009196851A (en) * 2008-02-21 2009-09-03 Bando Kiko Co Ltd Machine for processing glass plate
WO2012031900A1 (en) * 2010-09-06 2012-03-15 Meyer Burger Ag Method and transfer appliance for loading and unloading a wire saw cutting machine

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101501775B1 (en) * 2008-12-04 2015-03-11 두산인프라코어 주식회사 Automatic workpiece loading and unloading device for machine tool
JP4825867B2 (en) * 2008-12-25 2011-11-30 コマツＮｔｃ株式会社 Wire saw system
JP5830605B2 (en) * 2012-05-25 2015-12-09 本田技研工業株式会社 Machine tool and processing method
JP5791642B2 (en) * 2013-01-10 2015-10-07 信越半導体株式会社 How to resume wire saw operation
JP6304118B2 (en) * 2015-05-01 2018-04-04 信越半導体株式会社 Wire saw equipment
CN108161715A (en) * 2017-11-16 2018-06-15 盐城盈信通科技有限公司 A kind of chip full-automatic mechanical processing unit (plant)

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03149153A (en) * 1989-11-01 1991-06-25 Tsudakoma Corp Automatic pallet exchanger
JPH10128736A (en) * 1996-10-25 1998-05-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wire saw
JPH11188600A (en) * 1997-12-26 1999-07-13 Nippei Toyama Corp Wire saw and work input/output method
JPH11291152A (en) * 1998-02-10 1999-10-26 Mitsubishi Materials Corp Cutting method of ingot and device therefor
JPH11291154A (en) * 1998-04-07 1999-10-26 Takatori Corp Wire driver in wire saw
JP2000218499A (en) * 1999-01-28 2000-08-08 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wire saw
JP2009196851A (en) * 2008-02-21 2009-09-03 Bando Kiko Co Ltd Machine for processing glass plate
WO2012031900A1 (en) * 2010-09-06 2012-03-15 Meyer Burger Ag Method and transfer appliance for loading and unloading a wire saw cutting machine

Also Published As

Publication number Publication date
CN112536476B (en) 2024-07-30
JP7372097B2 (en) 2023-10-31
CN112536476A (en) 2021-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102729100B (en) Double main axle machine tools and loading and discharging method
CN105364650B (en) Bent axle automatically grinding descaling machine
JP4939262B2 (en) Processing system
CN111015225B (en) Automatic saw cutting and end milling equipment
CN105458724A (en) Automated subsequent processing system of die-casting gear
JP2021049589A (en) Wire saw and workpiece carrying-in/out method of wire saw
JP2001205485A (en) Automatic machining device
JP7372098B2 (en) How to load and unload wire saws and wire saw workpieces
JP2001105182A (en) Plate material carrying in/out device in thermal cutting machine
CN211728445U (en) Vertical double-head processing machine tool
CN210755536U (en) High-efficiency circular sawing machine
CN109789475B (en) Method and machine tool for machining plate-shaped workpieces, in particular plates
JP7233154B2 (en) wire saw
JP3137999B2 (en) Work loading / unloading device for processing machine
CN111015240A (en) Full-automatic processing assembly line
CN214055279U (en) Mechanical workpiece automatic feeding manipulator
CN219853131U (en) Processing Equipment
CN220806569U (en) Blade grinding machine
JP3810388B2 (en) Double-sided milling machine
CN217666816U (en) Automatic feeding and positioning device for cutting and processing section bar
CN210878096U (en) Forward welding and side welding laser welding machine
JP2843130B2 (en) Turret punch press with ATC device
CN117067416A (en) Feeding and discharging device of multi-wire sawing machine
CN113714821A (en) Full-automatic machining system for brake shell
CN116765829A (en) Processing Equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220817

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230331

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230509

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230704

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20231017

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231019

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7372097

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150