JP2021043131A - 距離測定装置及び該装置における測距機構のずれ調整方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】測距機構の経時変化等に起因する集光領域と電荷蓄積領域のずれを解消させる。【解決手段】本技術は、光源からの光を対象エリアに対して走査しながら照射する照射部と、前記対象エリアにおける観測光を受光し、電気信号を出力する複数の受光素子を含む受光部と、前記複数の受光素子により受光された前記観測光に含まれる前記照射部により前記光が照射された物体からの反射光に応じて蓄積された電荷に基づく前記電気信号の値に基づいて、前記物体までの距離を算出する測距処理部と、前記照射部により照射された前記光に対応する前記反射光の集光領域と前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群による電荷蓄積領域とを備える。前記制御部は、前記制御部は、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との間のずれ量を算出し、算出した前記ずれ量が小さくなるように、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との位置的な関係を調整するずれ調整部を備える。【選択図】図1

Description

本開示に係る技術は、距離測定装置及び該装置における測距機構のずれ調整方法に関する。
物体(対象物)までの距離をToF(Time of Flight)に基づいて計測する距離測定装置(測距センサと称されることもある。)が知られている。TOFには、一般に、直接TOF(dTOF)と間接TOF(iTOF)とがある。直接ToFは、発光素子からパルス光を発射し、パルス光が照射された物体からの反射光をSPAD(Single Photon Avalanche Diode)と呼ばれる受光素子で受けてフォトンを検出し、これにより発生したキャリアを、アバランシェ増倍を用いて電気信号パルスに変換し、これをTDC(Time to Digital Converter)に入力することで反射光の到来時刻を計測し、物体までの距離を算出する技術である。一方、間接ToFは、発光素子からパルス光を発射し、パルス光が照射された物体からの反射光を受光素子で受光することにより発生した電荷を検出し、その蓄積量が光の到来タイミングに依存して変化する半導体素子構造を利用して、光の飛行時間を計測する。
例えば、下記特許文献1は、対象物に輝度変調した走査光を照射する光源と、該対象物からの反射光を電気信号に変換し、該輝度変調に同期して感度変調する画素アレイと、該走査光に走査に同期して、該画素アレイを駆動し及び信号の読み出しを行う画素駆動回路とを有する距離画像入力装置を開示する。
特開2002−39716号公報
上記のような特許文献1に示される装置では、より精確な距離画像を得るために、光源から照射される光の照射タイミングと画素アレイからの信号の電荷の蓄積及び読出しタイミング(例えば、集光される領域と電荷が蓄積される領域)とを一致させた測距データを取得する必要がある。しかしながら、装置内の測距機構等の経時的変化や、外部環境(例えば温度)の変化、製造ばらつきなどに起因して上記タイミング間にずれが生じ、正しい測距データを取得できないという課題があった。
そこで、上記事情に鑑み、本開示では、測距機構の経時変化等に起因する測距処理タイミングのずれを解消し得る距離測定装置及び該装置における測距機構のずれ調整方法が提供される。
上記課題を解決するための本技術は、以下に示す特定事項乃至は技術的特徴を含んで構成される。
すなわち、ある観点に従う本技術は、光源からの光を、所定の照射タイミングで対象エリアに対して走査しながら照射する照射部と、前記対象エリアにおける観測光を受光し、電気信号を出力する複数の受光素子を含む受光部と、前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群により受光された前記観測光に含まれる前記照射部により前記光が照射された物体からの反射光に応じて蓄積された電荷に基づく前記電気信号の値に基づいて、前記物体までの距離を算出するための測距処理を行う測距処理部と、前記照射部により照射された前記光に対応する前記反射光の集光領域と前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群による電荷蓄積領域とを制御する制御部とを備える距離測定装置である。そして、前記制御部は、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との間のずれ量を算出し、算出した前記ずれ量が小さくなるように、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との位置的な関係を調整するずれ調整部を備える。
また、ある観点に従う本開示に係る技術は、距離測定装置における測距機構のずれ調整方法である。測距機構は、照射部及び受光部を含み構成され得る。該ずれ調整方法は、光源からの光を、所定の照射タイミングで対象エリアに対して、照射部により走査しながら照射することと、前記対象エリアにおける観測光を、受光部における複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群により受光することと、前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群から前記観測光に含まれる前記照射部により前記光が照射された物体からの反射光に応じて蓄積された電荷に基づく前記電気信号を読み出すことと、読み出した前記電気信号の値に基づいて、前記物体までの距離を算出するための測距処理を行うことと、前記照射部により照射された前記光に対応する前記反射光の集光領域と前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群による電荷蓄積領域とを制御すること、を含む。そして、前記制御することは、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との間のずれ量を算出し、算出した前記ずれ量が小さくなるように、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との関係を調整することを含む。
なお、本明細書等において、手段とは、単に物理的手段を意味するものではなく、その手段が有する機能をソフトウェアによって実現する場合も含む。また、1つの手段が有する機能が2つ以上の物理的手段により実現されても、2つ以上の手段の機能が1つの物理的手段により実現されてもよい。
また、「システム」とは、複数の装置(又は特定の機能を実現する機能モジュール)が論理的に集合した物のことを言い、各装置や機能モジュールが単一の筐体内にあるか否かは特に問わない。
本技術の他の技術的特徴、目的、及び作用効果乃至は利点は、添付した図面を参照して説明される以下の実施形態により明らかにされる。本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また他の効果があってもよい。
本技術の一実施形態における距離測定装置の構成の一例を示すブロックダイアグラムである。 本技術の一実施形態における距離測定装置における受光部の構成の一例を示すブロックダイアグラムである。 本技術の一実施形態に係る距離測定装置における受光部の動作を説明するタイミングチャートの一例を示す。 本技術の一実施形態に係る距離測定装置における集光領域と電荷蓄積領域との関係を説明するための図である。 本技術の一実施形態における距離測定装置における電荷蓄積と電荷読出しとの関係を説明するためのシーケンス図である。 本技術の一実施形態における距離測定装置における電荷蓄積と電荷読出しとの関係を説明するためのシーケンス図である。 本技術の一実施形態における距離測定装置における測距機構のずれ調整処理を説明するためのフローチャートである。 本技術の一実施形態に係る距離測定装置における照射光に対応する集光領域と電荷蓄積領域との関係を説明するための図である。 本技術の一実施形態における距離測定装置における測距機構のずれ調整処理を説明するためのフローチャートである。
以下、図面を参照して本開示に係る技術の実施の形態を説明する。ただし、以下に説明する実施形態は、あくまでも例示であり、以下に明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。本技術は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形(例えば各実施形態を組み合わせる等)して実施することができる。また、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付して表している。図面は模式的なものであり、必ずしも実際の寸法や比率等とは一致しない。図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることがある。
[第1の実施形態]
本実施形態に係る距離測定装置及び該装置における測距機構のタイミング調整方法は、光源を含む照射部から照射されるパルス光に対する反射光が集光される受光部の領域(集光領域)と、パルス光の照射に応答して電荷が蓄積され読み出される受光部の領域(電荷蓄積)との間に位置的なずれが生じた場合に、該集光領域が該電荷蓄積に含まれるように(照射タイミングに対して電荷蓄積タイミングが合うように)、該電荷蓄積に対する集光領域を調整可能にしたことを特徴とする。一例として、集光領域の調整は、照射部によるパルス光の走査角度を制御することにより、調整される。
図1は、本技術の一実施形態に係る距離測定装置の構成の一例を示すブロックダイアグラムである。距離測定装置1は、光源からパルス光を出射し、パルス光が照射された物体OBJからの反射光を受光素子で受けることにより得られる電気信号に基づいて、物体OBJ(対象物ないしは被写体)までの距離を測定するいわゆる間接TOF型測距センサである。本開示では、間接TOF型測距センサを例にして説明されるが、直接TOF型測距センサや光切断法等を用いた各種のセンサに対しても同様に適用され得る。
すなわち、同図に示すように、距離測定装置1は、例えば、制御部10と、ドライバ部20と、照射部30と、受光部40と、記憶部50と、測距処理部60といったコンポーネントを含み構成される。これらのコンポーネントは、例えば、CMOS LSIのようなシステム・オン・チップ(SoC)として一体的に構成され得るが、例えば、照射部30や受光部40といった幾つかのコンポーネントが別体のLSIとして構成されても良い。距離測定装置1はまた、測距処理部60により算出された距離に係るデータ(測距データ)を外部に配置されたホストIC(図示せず)に出力するための通信インタフェース部(通信IF部)70を含み得る。また、距離測定装置1は、動作環境、例えば温度等の変化を検出するための温度センサ80が設けられても良い。制御部10は、例えば、温度センサ80によって検出された温度に基づいて、本開示で説明される、距離測定装置1における測距機構のタイミング調整処理を実行する。
制御部10は、距離測定装置1の動作を統括的に制御するコンポーネントである。制御部10は、例えば、制御信号生成部12と、ずれ調整部14とを含み構成される。図示されていないが、制御部10は、距離測定装置1の動作を司るクロックを生成するクロック生成部を含み得る。クロック生成部は、生成したクロックを例えば制御信号生成部12に出力する。
制御信号生成部12は、与えられたクロックに従って、ドライバ部20及び受光部40のそれぞれに対する制御信号を生成し、出力する。具体的には、制御信号生成部12は、所定の照射タイミングで照射部30が光を照射し走査するための照射制御信号をドライバ部20に出力するとともに、該照射タイミングに対応した読出しタイミングで受光部40の特定の受光素子群から電気信号を読み出すための受光制御信号を受光部40に出力する。
ずれ調整部14は、光源を含む照射部から物体OBJに向けて照射されるレーザパルス光(以下「パルス光」という。)に対応する反射光が集光される受光部の領域(集光領域)と、パルス光の照射に応答して電荷が蓄積される受光部の領域(電荷蓄積領域)との間の位置関係を調整する。例えば、ずれ調整部14は、集光領域と電荷蓄積領域との位置的ないしはプロファイル的なずれをなくすために、集光領域の範囲を調整するためのパラメータを決定する。より具体的には、集光領域と電荷蓄積領域との位置的な関係は、後述するように、照射されるパルス光の走査角度を調整することにより調整される。このため、ずれ調整部14は、走査ミラーに対する駆動電圧を制御するためのパラメータを制御信号生成部12に与える。他の例として、パルス光の照射タイミングに対して、電荷を蓄積する受光素子群の動作タイミングを制御することにより、集光領域と電荷蓄積領域との位置的な関係が調整される。
ドライバ部20は、制御信号生成部12から与えられる照射制御信号に基づいて、照射部30を駆動する。例えば、ドライバ部20は、照射制御信号に基づいて、パルス光が出射されるように光源を駆動するとともに、出射したパルス光を所定の方向に走査するために照射部30の照射光学系(図示せず)を駆動する。
照射部30は、対象エリアに対して、TOF測距のためのパルス光を出射しながら走査するコンポーネントである。このような測距に用いるためのパルス光は、アクティブ光と称されることもある。照射部30は、例えば、光源と照射光学系とを含み構成され得る。光源は、例えば、垂直共振器面発光レーザ(VCSELレーザ)であり得る。照射部30は、例えば10〜200MHzの周波数で高速駆動され、また、数〜数十nsのパルス幅を有し得るが、これに限られない。照射光学系は、例えば、走査ミラー及びシリンドリカルレンズ等を含み構成される。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーは、走査ミラーの一例である。照射部30は、例えば、ドライバ部20の制御の下、光源から出射した一の方向(例えば水平方向)に沿ったライン状の光を、ドライバ部20により駆動される走査ミラー等を用いて、該一の方向に直交する他の方向(例えば垂直方向)に段階的に走査することにより、対象エリアに対して光を空間的に照射する。走査ミラーの走査角度は、例えば、ドライバ部20から印加される駆動電圧の大きさに比例する。本例では、ライン状の光を出射する光源が用いられるが、これに限られず、点光源を用いても良く、この場合は、2次元走査により面照射が実現される。本例では、光源は、LSIチップの外に設けられているものとするが、これに限られるものではなく、onチップにより構成されても良い。
受光部40は、対象エリアから入射する光に反応して、制御部10の制御の下、電荷を蓄積し、これに応じた電気信号を出力するセンサである。図示されていないが、典型的には、受光部40の受光面の前方には、光を効率よく受光することができるように、集光レンズ等の受光光学系が設けられる。受光部40は、典型的には、2次元アレイ状に配置された複数の受光素子を含み構成されたCMOSイメージセンサであるが。これに限られず、例えば、CCDイメージセンサであっても良い。受光部40の特定の受光素子群は、制御部10の制御の下、例えば所定の照射タイミングに同期した所定の受光タイミングで動作し、受信した観測光に応じた電荷を蓄積する。例えば、受光部40の特定の受光素子群は、上述したパルス駆動の周波数(10〜200MHz)と同じ周波数(10〜200MHz)に変調された電圧で印加され駆動される。これにより、パルス光の照射タイミングと受光素子群の蓄積タイミングとを整合させる。受光部40は、後述する各ゾーン(電荷蓄積領域)について、例えば4回のパルス光の出射に対応して4回の電荷蓄積及び出力(読出し)を行う。受光部40から読み出された電荷(電気信号)は、記憶部50に転送される。
記憶部50は、受光部40から読み出された電気信号を一時的に保持するメモリである。記憶部50は、揮発性メモリであっても良いし、不揮発性メモリであっても良い。本例では、記憶部50は、受光部40から読み出される1フレーム分の電気信号パルスを保持するように構成されるが、これに限られない。代替例として、記憶部50は、照射部30による数ライン分のパルス光の照射に対応する観測光に基づく電気信号を保持し得る。
測距処理部60は、照射部30により出射したパルス光と受光部40により受光した観測光とに基づいて、物体OBJまでの距離を算出する(測距する)コンポーネントである。測距処理部60は、典型的には、信号処理プロセッサにより構成される。本開示では、測距処理部60は、照射部30により出射された異なる位相を持つパルス光(多相のパルス光)に対応して、受光部40により各位相について受光され蓄積された電荷に基づいて、距離を算出するように構成される。
図2は、本技術の一実施形態に係る距離測定装置における受光部の構成の一例を示すブロックダイアグラムである。同図に示すように、受光部40は、受光素子アレイ42と、垂直走査回路44と、水平走査回路46とを含み構成される。
受光素子アレイは、複数の受光素子が2次元アレイ状に配置されたCMOSイメージセンサである。受光素子は、例えばロックインピクセル構造を有する埋め込みフォトダイオードである。1つの受光素子は、例えば1画素に対応するが、これに限られない。なお、2次元アレイとは、行及び列方向に沿って受光素子群が配置される構成を含むほか、例えば、受光素子群が千鳥配列された構成を含み得る。
垂直走査回路44は、制御信号生成部12からの制御信号に従って行選択信号を生成し、これにより、行方向に配列された受光素子群を順次に有効化する回路である。垂直走査回路44は、例えばシフトレジスタ(図示せず)を含み構成される。垂直走査回路44は、一の行選択信号により、例えば、照射部30により照射されるパルス光の走査に対応する集光領域及びこれに外接する領域(すなわち電荷蓄積領域)における複数行の受光素子群を有効化する。
水平走査回路46は、制御信号生成部12からの制御信号に従って、有効化された受光素子群によって生成された電荷に基づく電気信号を読み出す回路である。水平走査回路46は、例えばシフトレジスタ(図示せず)を含み構成される。水平走査回路46は、受光素子群からパラレルに読み出した電気信号をシリアルの電気信号に変換しながら記憶部50に書き込む。
なお、距離測定装置1は、照射部30によるパルス光の照射タイミングに対応して、例えば垂直走査回路44により垂直方向の受光素子群を選択し、その電荷蓄積と読出しのタイミングを調整するように構成されても良い。
図3は、本技術の一実施形態に係る距離測定装置における受光部の動作を説明するタイミングチャートの一例を示す。すなわち、同図に示すように、照射部30により出射されたパルス幅T0を有するパルス光は物体OBJに照射され、遅延時間Td後に、受光部40において反射光として観測される。観測される反射光は、受光部40の特定の受光素子群(該照射されるパルス光の走査に対応する受光素子群)により受光される。
各受光素子は、一対のゲートを有し、該一対のゲートのそれぞれに交互にパルス信号を与えることによって交互にゲートを開き、該受光素子で発生した電荷Q1及びQ2を各電荷蓄積部(図示せず)に転送する。各受光素子の各電荷蓄積部に蓄積された電荷Q1及びQ2は、電圧の変化量に変換され、電気信号として外部に読み出される。
以上のように構成された受光部40は、制御部10の制御の下、制御信号生成部12からの制御信号に従った垂直走査回路44及び水平走査回路46の協調動作により、複数行の受光素子群が順次に有効化され、蓄積した電荷が受光素子群から電気信号として読み出され出力される。
なお、本開示では、後述するように、距離測定装置1は、受光素子群から読み出される電荷Q1とQ2との差の絶対値に基づいて、集光領域と電荷蓄積領域との間の位置的なずれを算出するように構成されているが、これに限られず、例えば、電荷Q1又はQ2のいずれかに基づいて該ずれを算出するように構成されても良いし、電荷Q1とQ2との和の絶対値に基づいて該ずれを算出するように構成されても良い。
上述したように、距離測定装置1は、4回のパルス光に対応して、4回の電荷蓄積及び電荷読出しを行う。すなわち、照射部30は、制御部10の制御の下、各ゾーンについて、0度、90度、180度、及び270度というように位相が異なるパルス光(多相パルス光)を出射する。受光部40は、制御部10の制御の下、このように位相がずれて出射されたパルス光に対する反射光を集光し、各位相についての受光量に応じた電荷を蓄積する。本開示では、多相パルス光を用いた距離Dの算出は、例えば、以下のようにして行われる。
まず、照射部20の光源から物体OBJまでの距離Dは、以下の式で算出される。
D=(1/2)×c×Δt …式1
ただし、cは光速である。
また、照射部20が出力するパルス光の位相と受光部40が受光したパルス光に対応する観測光の位相との差を位相差φとすると、Δtは、以下の式によって算出される。
Δt=(1/f)×(φ/2π) …式2
したがって、照射部20から物体OBJまでの距離Dは、
D=cφ/(4πf) …式3
となる。
光源から物体までの距離Dを算出するために必要な位相差φは、照射部20からのパルス光の位相と受光部40での観測光の位相との差であり、次の式に基づいて算出される。
φ=Arctan((Q90−Q270)/(Q180−Q)) …式4
ただし、Q、Q90、Q270、及びQ180は各位相における電荷量である。
以上より、距離Dは、算出された位相差φを式3に代入することにより算出される。
図4は、本技術の一実施形態に係る距離測定装置における集光領域と電荷蓄積領域との関係を説明するための図である。図中、集光領域Aは、ある照射タイミングで照射部30がパルス光を照射・走査した場合の、受光素子アレイ42上の該パルス光に対応する反射光が集光すると想定される領域を示しており、電荷蓄積領域Bは、該照射・走査に対して受光素子アレイ42の受光素子群により実際に電荷が蓄積され、電気信号として読み出される領域を示している。
同図(a)は、一般的な距離測定装置において、測距機構の経時的変化等により、集光領域Aにおけるライン方向に沿った仮想中心線L1に対して、電荷蓄積領域Bにおけるライン方向に延伸した仮想中心線L2がδだけずれている状態を示している。つまり、同図(a)では、ある照射タイミングで照射されたパルス光に対応して動作する(電荷を蓄積する)受光素子群は、本来の集光領域Aにおける受光素子群と一致していない。このような場合、パルス光の照射・走査に対して、正しい電気信号が読み出されず、より精確な距離画像を得ることができない。
同図(b)は、本技術に係る距離測定装置1における集光領域Aと電荷蓄積領域Bとの関係を示している。すなわち、同図に示すように、電荷蓄積領域Bは、集光領域Aの外側の領域(外接する領域)を含むように設定される。したがって、本技術に係る距離測定装置1によれば、測距機構の経時的変化等により、集光領域Aに対して、電荷蓄積領域Bがプロファイル的にずれた場合であっても、マージンmの分だけ余裕があるため、正しい電気信号を読み出すことができ、さらに、後述するように、集光領域Aに対する電荷蓄積領域Bのずれを調整することにより、集光領域Aにおける有効化され電荷を蓄積した受光素子群から電気信号が正しく読み出されることになる。なお、本例では、マージンmの幅は、上下同じに設定されているが、これに限られず、上下異なる幅であっても良い。
図5は、本技術の一実施形態に係る距離測定装置における受光素子アレイを説明するための図である。同図は、本開示における測距機構のずれ調整に関する用語を説明するために用いられる。同図に示すように、本例の受光素子アレイ42は、M×Nの画素P(受光素子)群から構成されるものとする。
同図に示す受光素子アレイ42において、一の方向(図中、水平方向)に沿って配列されたN個の受光素子群を「ライン」(Line)と称するものとする。したがって、受光素子アレイ42は、M個のラインから構成される。また、ある画素Pの位置は、P(i,j)で示されるものとする。
また、本開示において、「ゾーン」(Zone)とは、あるラインを中心にした電荷を蓄積する受光素子群である(図4における電荷蓄積領域Bに対応する。)。ゾーンiは、ラインiを中心にした電荷蓄積領域を示す。本例では、1つのゾーンは、3〜5ラインで構成される。ライン総数がMとすると、ゾーンは以下のようになる。
ゾーン1:ライン1〜3
ゾーン2:ライン1〜4
ゾーン3:ライン1〜5
ゾーン4:ライン2〜6
ゾーン5:ライン3〜7
(中略)
ゾーンi:ラインi−2〜i+2
(中略) ゾーンM:ラインM−2〜M
図6は、本技術の一実施形態における距離測定装置における電荷蓄積と電荷読出しとの関係を説明するためのシーケンス図である。
同図に示すように、ある時刻tにおいて、制御信号生成部12は、制御部10の制御の下、垂直同期信号Vsyncを出力すると、その立ち下がりエッジのタイミングで、照射部30は、ドライバ20によって駆動され、ゾーン1への集光が期待される多相パルス光を出射する。また、これに同期するように、制御信号生成部12は、走査同期信号Ssyncを出力する。これにより、ドライバ部20は、走査同期信号Ssyncに従って、走査ミラーに対する駆動電圧をV1からVMまで順次に降下させることで、照射部30の走査ミラーを該電圧に応じた走査角度になるように制御する。つまり、走査ミラーの走査角度は、該駆動電圧に比例しており、電圧Viを印加した場合に、パルス光に対応する集光領域Aの仮想中心線L1(図4参照)が、ゾーンiの中心、すなわち、ラインiに一致するように調整されている。なお、ゾーン(電荷蓄積領域B)は、ライン方向について数画素ないしは配列画素数の数%分、走査方向については略3画素分だけマージンmが設けられている。
例えば、ゾーンiにおいて、パルス光に対応する集光領域Aの仮想中心線L1がラインi+dであったとする(dはずれ量)。また、走査ミラーに対する駆動電圧Vdだけ変化させると、1ライン分だけ仮想中心線L1がシフトするものとする。この場合、走査ミラーに対する駆動電圧Vi’は、
Vi’=Vi−d×Vd …式5
となる。
ずれ調整部14は、算出されるずれ量dに応じて、走査ミラーに対する駆動電圧を制御するための動作パラメータを決定し、制御信号生成部12に出力する。
また、制御信号生成部12による垂直同期信号VSyncに対応して、受光部40の各受光素子は電荷蓄積部に電荷Q1及びQ2を蓄積し、蓄積された電荷Q1及びQ2は電荷Qとして読み出される(すなわち、電荷Qは電荷Q1と電荷Q2との絶対値の差を示す電気信号である。)。つまり、上述したように例えばゾーン1は、ライン1〜3により構成されていることから、照射部30は、パルス光に対応する集光領域Aにおける仮想中心線L1がライン1に一致するパルス光を出射し、受光部40は、ライン1〜3の受光素子群により電荷Q1及びQ2を蓄積し、これらを読み出す。本例では、垂直同期信号Vsyncによってトリガされたタイミングから、各ゾーンについて、パルス光の出射に対応した電荷蓄積及び電荷読出しが、時間Tzの間に4回に行われている。そして、4回の電荷蓄積の時間と3回の電荷読出しの時間を合わせた時間T1から、遷移時間T2の経過後、次のゾーンの電荷蓄積及び電荷読出しが開始される。
すなわち、照射部30は、4回の電荷蓄積及び3回の電荷読出しに要する時間T1から所定の遷移時間T2経過後、次のゾーン、すなわちゾーン2に対する集光のためにパルス光を出射し、これに対応するように、受光部40は、ライン1〜4の受光素子群により電荷Q1及びQ2を蓄積し、蓄積された電荷Q1及びQ2が電荷Qとして読み出される。以降、同様にして、電荷蓄積及び電荷読出しがゾーンMまで繰り返された後、再び、ゾーン1に戻って、電荷蓄積及び電荷読出しがゾーンMまで繰り返される。ずれ調整処理においては、このようなゾーン1からMまでの電荷の蓄積及び電荷の読出しが、誤差の平準化のため、例えば、1000回繰り返される。
図7は、本技術の一実施形態における距離測定装置における測距機構のずれ調整処理を説明するためのフローチャートである。このようなずれ調整処理は、例えば、距離測定装置の起動時に実行される。或いは、距離測定装置1の動作環境が急激に変化した場合や、ユーザ等による外部からの指示に従って、実行されても良い。
同図に示すように、距離測定装置1の制御部10は、まず、パルス光の照射位置及びこれに対応する電荷蓄積領域B(ゾーン)の初期設定を行う(S701)。本例では、対象とするゾーンとして、ゾーンi=1に初期設定される。
続いて、照射部30は、制御部10の制御の下、対象としているゾーンに対して、所定の照射タイミングでライン状のパルス光を照射・走査し(本例では4回のパルス光)、受光部40は、その反射光を受光素子により受光することにより、電荷蓄積部に電荷Q1及びQ2を蓄積し、蓄積された電荷Q1及びQ2を電荷Qとして読み出す(S702)。読み出された電荷Qは、記憶部50に一時的に保持される。すなわち、記憶部50には、パルス光に対応する水平方向のラインと走査方向の各ライン(本例では最大5ラインとなる。)とによって形成される電荷蓄積領域Bにおける受光素子群からの電荷Qが保持される。なお、本開示では、上述したように、4回の電荷蓄積及び電荷読出しが行われるが、ここでいう電荷Qは、1回の電荷蓄積及び電荷読出しに対応するものであっても良いし、4回分の電荷量の合計であっても良い。
次に、ずれ調整部14は、制御部10の制御の下、記憶部50に保持された電荷Qについて、ラインごとの電荷総量Qsumを算出する(S703)。例えば、画素P(i,j)の電荷Qを「Q(i,j)」と表すとすると、ラインごとの電荷総量Qsum(i)は、

sum(i)=Σ Q(i,j) …式6
j=1
となる。
ずれ調整部14は、続いて、対象としているゾーンにおいて、算出した電荷総量Qsum(i)が所定のしきい値以上になっているラインの番号を特定するとともに、その数nをカウントアップする(S704)。なお、所定のしきい値は、対象物からの反射光を受光しないラインにおいても、ノイズ等により電荷Qが0にならないことから、ノイズ等の影響を除去するために設けられている。
次に、ずれ調整部14は、カウントしたライン数nに基づいて、ゾーンにおける重心位置Gを算出する(S705)。例えば、重心位置Gは、以下の式により算出される。
G=(ΣLn)/n …式7
ただし、Lnは電荷総量Qsumが所定のしきい値以上であるラインの番号であり、nは電荷総量Qsumが所定のしきい値以上であるラインの数である。例えば、ゾーン5において、ライン3〜7のうち、ライン4,5,6の電荷総量Qsumがしきい値以上であった場合、重心位置Gは、
G=(4+5+6)/3=5
となる。
ずれ調整部14は、次に、算出した重心位置Gと集光領域における参照位置LRefとの差分値(ずれ量)dを算出し、これを記録する(S706)。ずれ調整部14は、上記の処理を所定回数(例えば1000回等)繰り返したか否かを判断し(S707)、所定回数繰り返していないと判断する場合には(S707のNo)、S702の処理に戻る。一方、ずれ調整部14は、所定回数繰り返したと判断する場合には(S707のYes)、記録しておいた差分値dに基づいて、その平均値dAveを算出する(S708)。
ずれ調整部14は、続いて、算出した差分平均値dAveが所定の範囲内に収まっているか否かを判断する(S709)。つまり、算出した差分平均値dAveが所定の範囲内に収まっていれば、集光領域Aと電荷蓄積領域Bとのずれは許容範囲であると判断され、ずれ調整は実行されない。ずれ調整部14は、算出した平均値dAveが所定の範囲内に収まっていないと判断する場合(S709のNo)、集光領域Aと電荷蓄積領域Bとの位置的な関係を調整するために、走査ミラーに対する駆動電圧が例えば1段階変更されるように動作パラメータを変更し(S710)、S702の処理に戻る。動作パラメータの変更により、制御信号生成部12は、変更された動作パラメータに基づく制御信号をドライバ20に送信し、ドライバ20は、該制御信号に基づく駆動電圧で走査ミラーを駆動するようになる。ずれ調整部14は、対象としているゾーンについて、上記の処理を、差分平均値dAveが所定の範囲内に収まるまで繰り返す。これにより、対象としているゾーンにおいて、集光領域Aと電荷蓄積領域Bとの位置的な関係が徐々に調整され、ずれが解消されていくことになる。
例えば、ゾーンiについて電荷を蓄積しているタイミングで、重心位置Gからのずれが3画素分あったとする。このような状態では、電荷蓄積領域Bの外側の受光素子によってパルス光に対する反射光を観測していることになるため、本来の測距データを取得できず、高精度な測距が不可能となる。したがって、ゾーンiで電荷を蓄積して読み出しているタイミングでは、パルス光に対応する反射光の仮想中心線L1がラインiに位置するように、走査ミラーの走査角度を調整するために、その駆動電圧を制御する動作パラメータが調整される。なお、本開示では、ずれ調整部14は、走査ミラーに対する駆動電圧を調整するための動作パラメータを決定しているが、これに限られず、例えば、受光素子からの読出しタイミングを調整するようにしても良い。
ずれ調整部14は、対象としているゾーンについて、集光領域Aと電荷蓄積領域Bとの位置的な関係を調整すると、全てのゾーンについて、このような位置的な関係のずれを調整したか否かを判断する(S711)。ずれ調整部14は、全てのゾーンについて、このような位置的な関係のずれを調整していないと判断する場合(S711のNo)、対象とするゾーンを1つシフトし(S712)、上記の処理を繰り返す。このようにして、位置ずれ調整は、最終ゾーンMまで繰り返されることになる。
なお、本開示では、距離測定装置1は、走査ミラーに対する駆動電圧を制御することにより走査ミラーの走査角度を調整するように構成されたが、これに限られない。代替例として、他の実施形態に示されるように、距離測定装置1は、照射部30によるパルス光の照射タイミングに対して、例えば、電荷が蓄積され、垂直走査回路44により電気信号を読み出すべき走査方向の受光素子群の数(ライン数)を制御することによりずれを調整するように構成されても良い。
以上のように、本技術によれば、測距機構の経時変化等に起因する測距処理のタイミングのずれを解消させる距離測定装置及び該装置における測距動作のずれ調整方法が提供される。したがって、パルス光の照射・走査に対して正しい電気信号を読み出すことができ、より精確な距離画像を得ることができるようになる。
[第2の実施形態]
本実施形態は、光源から照射されたライン状のパルス光に対応する反射光の仮想中心線が、受光面において例えば所定の角度θだけ回転した場合の、集光領域Aと電荷蓄積領域Bとの位置的な関係を調整する距離測定装置及び該装置における測距機構のずれ調整方法である。
図8は、本技術の一実施形態に係る距離測定装置における照射光に対応する集光領域と電荷蓄積領域との関係を説明するための図である。図中、集光領域Aは、ある照射タイミングで照射部30がパルス光を照射・走査した場合の、受光素子アレイ42上の該パルス光が本来集光すると想定される領域を示しており、電荷蓄積領域Bは、該照射・走査に対して受光素子アレイ42上の実際に電気信号を読み出す領域を示している。
同図に示すように、電荷蓄積領域Bは、本来の集光領域Aの外側の領域(外接する領域)を含むように設定される。しかしながら、距離測定装置1内の測距機構等の経時的変化や、外部環境(例えば温度)の変化、製造ばらつきなどに起因して、パルス光のライン方向の軸が角度θだけ回転し、その結果、集光領域A’として、正しく集光されなくなってしまうということが想定される。したがって、本実施形態に係る距離測定装置1では、測距機構の経時的変化等により、電荷蓄積領域Bに対して集光領域A’が角度θだけずれた場合、そのずれ量に応じて電荷蓄積領域Bを走査方向に拡大することによって、集光領域Aと電荷蓄積領域Bとの正常な位置的な関係に較正し、パルス光の出射に対して適切な受光素子群から電気信号を読み出すようにしている。
図9は、本技術の一実施形態における距離測定装置における測距機構のずれ調整処理を説明するためのフローチャートである。
同図を参照し、上述したように、距離測定装置1の制御部10は、まず、パルス光の照射位置及びこれに対応する電荷蓄積領域B(ゾーン)の初期設定を行う(S901)。本例では、対象とするゾーンとして、ゾーンi=1に初期設定される。
続いて、照射部30は、制御部10の制御の下、対象としているゾーンに対する集光のために、所定の照射タイミングでライン状のパルス光を照射・走査し、これに応じて、受光部40は、その反射光を受光素子により受光することにより、電荷蓄積部に電荷Q1及びQ2を蓄積し、蓄積された電荷Q1及びQ2を電荷Qとして読み出す(S902)。これにより、記憶部50には、ゾーンにおける受光素子群のそれぞれから読み出された電荷Qが一時的に保持される。
次に、ずれ調整部14は、ノイズ等を除去することを目的として電荷Qと所定のしきい値とを比較し、ゾーンにおける受光素子(画素)群のうち、電荷Qが所定のしきい値以上になっている画素を特定し、その数nをカウントする(S903)。続いて、ずれ調整部14は、例えば以下の式に従って、重心位置Gを算出する(S904)。
G(xg,yg)=(ΣPi/n,ΣPj/n) …式8
ただし、Piは、電荷Qが所定のしきい値以上である画素のx座標(x方向は走査方向に対応する。)であり、Pjは、電荷Qが所定のしきい値以上である画素のy座標(y方向はライン方向に対応する。)である。また、nは、電荷Qが所定のしきい値以上である画素の数である。
次に、ずれ調整部14は、集光領域Aの仮想中心線L1の傾きθを算出する(S906)。具体的には、ずれ調整部14は、x方向に関して、電荷Qが所定のしきい値以上であり、画素座標Piが重心位置Gのx座標xgよりも大きい(Pi>xg)画素について、ベクトルV1(u1,v1)を算出する。
V1(u1,v1)=(ΣPi/n,ΣPj/n,) …式9
同様に、ずれ調整部14は、x方向に関して、電荷Qが所定のしきい値以上であり、画素座標Piが重心位置Gのx座標xgよりも小さい(Pi<xg)画素について、ベクトルV2(u2,v2)を算出する。
V2(u2,v2)=(−ΣPi/n,−ΣPj/n,) …式5
これより、ずれ調整部14は、ベクトルV(u,v)を算出する。
V(u,v)=V1(u1,v1)+V2(u2,v2)
=V(u1+u2,v1+v2) …式10
そして、ずれ調整部14は、電荷蓄積領域Bに対する集光領域Aの傾きθ(図8参照)を以下の式に従って算出する。
sinθ=|u|/(√(u^2+v^2)) …式11
ただし、|u|はベクトルVの成分uの絶対値である。
続いて、ずれ調整部14は、算出した傾きθに基づいて、以下の式に従って傾き相当画素数G_tiltを算出し、これを記録する(S906)。傾き相当画素数G_tiltは、電荷蓄積領域Bの端部において集光領域Aの端部が走査方向に何画素分ずれているかを示す。
G_tilt=(N/2)*sinθ …式12
ただし、Nはしきい値を超えた画素数である。
ずれ調整部14は、上記の処理を所定回数(例えば一千回等)繰り返したか否かを判断し(S907)、所定回数繰り返していないと判断する場合には(S907のNo)、S902の処理に戻る。一方、ずれ調整部14は、所定回数繰り返したと判断する場合には(S907のYes)、記録しておいた傾き相当画素数G_tiltに基づいて、その傾き相当画素数の平均値G_tilt_aveを算出する(S908)。
ずれ調整部14は、続いて、算出した傾き相当画素数の平均値G_tilt_aveが所定の範囲内に収まっているか否かを判断する(S909)。例えば、ずれ調整部14は、傾き相当画素数の平均値G_tilt_aveがマージンmに対して、以下の式を満たすか否かを判断する。
G_tilt_ave<m/2 …式13
ずれ調整部14は、式13が満たされる(真である)と判断する場合(S909のYes)、仮想中心線の傾きθによる集光領域Aと電荷蓄積領域Bとのずれは、距離測定装置1の動作上、許容範囲であると判断し、ゾーンを構成するライン数の調整(増減)を行わない。
一方、ずれ調整部14は、算出した傾き相当画素数の平均値G_tilt_aveが所定の範囲内に収まっていないと判断する場合(S909のNo)、式13が満たされない(偽である)と判断する場合、ゾーンに含まれるライン数が増加するように、受光部40を制御する制御信号に対するパラメータを調整する(S910)。すなわち、ずれ調整部14は、パルス光の照射タイミングに対して、受光素子アレイ42において電荷蓄積のために有効化される受光素子群をライン単位で増加させて、電荷蓄積領域Bを拡大する。ずれ調整部14は、ゾーン内のライン数を調整した後、S902の処理に戻る。
ずれ調整部14は、対象としているゾーンについて、上記の処理を、傾き相当画素数の平均G_tilt_aveが所定の範囲内に収まるまで繰り返す。これにより、対象としているゾーンにおいて、集光領域Aと電荷蓄積領域Bとの関係が徐々に調整され、電荷蓄積領域Bに対する集光領域Aの傾きによるずれがあった場合であっても、集光領域Aの全領域が電荷蓄積領域Bに含まれるように調整され、この結果、電荷蓄積領域Bの測距データの欠落を防止し、測距を精確に行うことができるようになる。
[第3の実施形態]
本実施形態は、オペレータによる外部からのコマンドに応じて、上述したずれ調整処理を実行する距離測定装置及び該装置における測距機構のタイミング調整方法である。なお、本実施形態では、距離測定装置1の前方には、例えば、受光部40の全画角を覆うほどの大きさの反射板が設置されるものとするが、これに限られない。反射板は、例えば、全面白色のものが採用され得る。
すなわち、オペレータは、例えば、外部入力を介して、距離測定装置1に対してタイミング調整処理を実行するように指示をする。距離測定装置1の制御部10は、該オペレータの指示に基づく調整開始信号を受け取ると、前方に設置された反射板に向けてパルス光を照射し、その反射光を受光することにより、ずれ調整部14は、上記の実施形態で示したようなタイミング調整処理を実行する。また、反射板を利用している場合、ずれ調整部14は、上述したゾーン単位ではなく、受光素子アレイ42全体で反射光を受光し、これに基づいて、ずれを算出しても良い。また、その繰り返し回数も、反射板がない場合に比べて、数回〜数十回と少なくすることもできる。
上記各実施形態は、本技術を説明するための例示であり、本技術をこれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。本技術は、その要旨を逸脱しない限り、さまざまな形態で実施することができる。
例えば、本明細書に開示される方法においては、その結果に矛盾が生じない限り、ステップ、動作又は機能を並行して又は異なる順に実施しても良い。説明されたステップ、動作及び機能は、単なる例として提供されており、ステップ、動作及び機能のうちのいくつかは、発明の要旨を逸脱しない範囲で、省略でき、また、互いに結合させることで一つのものとしてもよく、また、他のステップ、動作又は機能を追加してもよい。
また、本明細書では、さまざまな実施形態が開示されているが、一の実施形態における特定のフィーチャ(技術的事項)を、適宜改良しながら、他の実施形態に追加し、又は該他の実施形態における特定のフィーチャと置換することができ、そのような形態も本発明の要旨に含まれる。
なお、本技術は、以下のような構成を採用することもできる。
(1)
光源からの光を、所定の照射タイミングで対象エリアに対して走査しながら照射する照射部と、
前記対象エリアにおける観測光を受光し、電気信号を出力する複数の受光素子を含む受光部と、
前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群により受光された前記観測光に含まれる前記照射部により前記光が照射された物体からの反射光に応じて蓄積された電荷に基づく前記電気信号の値に基づいて、前記物体までの距離を算出するための測距処理を行う測距処理部と、
前記照射部により照射された前記光に対応する前記反射光の集光領域と前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群による電荷蓄積領域とを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との間のずれ量を算出し、算出した前記ずれ量が小さくなるように、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との位置的な関係を調整するずれ調整部を備える、
距離測定装置。
(2)
前記ずれ調整部は、前記電荷蓄積領域における前記複数の受光素子のうちの第1の受光素子群から読み出される第1の電気信号の値に基づく重心位置と、前記集光領域における参照位置とに基づいて、前記ずれ量を算出する、
前記(1)に記載の距離測定装置。
(3)
前記制御部は、前記所定の照射タイミングで前記照射部による前記光の照射を繰り返すように制御し、
前記ずれ調整部は、該照射の繰り返しに応じて前記第1の受光素子群により蓄積される電荷に基づく第1の電気信号の値に基づく前記重心位置の平均値を算出し、前記平均値に基づいて前記ずれ量を算出する、
前記(2)に記載の距離測定装置。
(4)
前記ずれ調整部は、前記第1の電気信号の値が所定のしきい値以上である場合に、前記重心位置を算出する、
前記(2)又は(3)に記載の距離測定装置。
(5)
前記ずれ調整部は、前記ずれ量が所定の許容値以上である場合に、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との位置的な関係を調整する、
前記(1)から(4)のいずれか一つに記載の距離測定装置。
(6)
前記照射部は、前記所定の照射タイミングに従って一の方向に沿ったライン状の前記光を前記一の方向に直交する方向に所定の走査角度で順次に走査しながら照射し、
前記制御部は、前記電荷蓄積領域における前記複数の受光素子のうちの第1の受光素子群に蓄積された電荷に基づく第1の電気信号を前記第1の受光素子群から読み出すように制御する、
前記(1)から(5)のいずれか一つに記載の距離測定装置。
(7)
前記ずれ調整部は、前記ずれ量に応じて前記所定の走査角度が調整されるように制御する、
前記(6)に記載の距離測定装置。
(8)
前記照射部は、駆動電圧に応じて前記光を所定の走査角度で順次に走査するための走査ミラーを備え、
前記ずれ調整部は、前記走査ミラーに対する駆動電圧を制御することにより前記所定の走査角度が調整されるように制御する、
前記(7)に記載の距離測定装置。
(9)
前記ずれ調整部は、前記ずれ量に応じて前記電荷蓄積領域が拡大されるように、前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群の動作を制御する、
請求項8に記載の距離測定装置。
(10)
前記ずれ調整部は、前記電荷蓄積領域に対する前記集光領域の傾きを算出し、該算出した傾きに基づいて、前記電荷蓄積領域が拡大されるように、前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群の動作を制御する、
前記(9)に記載の距離測定装置。
(11)
前記ずれ調整部は、前記照射タイミングに対して、前記電荷を蓄積する受光素子群の動作タイミングを調整するように制御する、
前記(1)から(10)のいずれか一つに請求項1に記載の距離測定装置。
(12)
前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群から読み出される前記電気信号の値を保持するメモリを更に備える、
前記(1)から(11)のいずれか一つに請求項1に記載の距離測定装置。
(13)
前記制御部は、外部から与えられる調整開始指示信号に従って、前記ずれ調整部を動作させる、
前記(1)から(12)のいずれか一つに記載の距離測定装置。
(14)
前記第1の受光素子群は、前記集光領域における前記複数の受光素子のうちの受光素子群と該領域に外接する領域の受光素子群とを含む、
前記(2)から(13)のいずれか一つに記載の距離測定装置。
(15)
距離測定装置における測距機構のずれ調整方法であって、
光源からの光を、所定の照射タイミングで対象エリアに対して、照射部により走査しながら照射することと、
前記対象エリアにおける観測光を、受光部における複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群により受光することと、
前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群から前記観測光に含まれる前記照射部により前記光が照射された物体からの反射光に応じて蓄積された電荷に基づく電気信号を読み出すことと、
読み出した前記電気信号の値に基づいて、前記物体までの距離を算出するための測距処理を行うことと、
前記照射部により照射された前記光に対応する前記反射光の集光領域と前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群による電荷蓄積領域とを制御すること、を含み、
前記制御することは、
前記集光領域と前記電荷蓄積領域との間のずれ量を算出し、算出した前記ずれ量が小さくなるように、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との関係を調整することを含む、
測距機構のずれ調整方法。
(16)
前記調整することは、
前記電荷蓄積領域における前記複数の受光素子のうちの第1の受光素子群から読み出される第1の電気信号の値に基づいて、重心位置を算出することと、
前記算出した重心位置と前記電荷蓄積領域における参照位置とに基づいて、前記ずれ量を算出することと、を含む、
前記(15)に記載の測距機構のずれ調整方法。
1…距離測定装置
10…制御部
12…制御信号生成部
14…ずれ調整部
20…ドライバ部
30…照射部
40…受光部
42…受光素子アレイ
44…垂直走査回路
46…水平走査回路
50…記憶部
60…測距処理部
70…通信インタフェース部
80…温度センサ

Claims (16)

  1. 光源からの光を、所定の照射タイミングで対象エリアに対して走査しながら照射する照射部と、
    前記対象エリアにおける観測光を受光し、電気信号を出力する複数の受光素子を含む受光部と、
    前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群により受光された前記観測光に含まれる前記照射部により前記光が照射された物体からの反射光に応じて蓄積された電荷に基づく前記電気信号の値に基づいて、前記物体までの距離を算出するための測距処理を行う測距処理部と、
    前記照射部により照射された前記光に対応する前記反射光の集光領域と前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群による電荷蓄積領域とを制御する制御部と、を備え、
    前記制御部は、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との間のずれ量を算出し、算出した前記ずれ量が小さくなるように、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との位置的な関係を調整するずれ調整部を備える、
    距離測定装置。
  2. 前記ずれ調整部は、前記電荷蓄積領域における前記複数の受光素子のうちの第1の受光素子群から読み出される第1の電気信号の値に基づく重心位置と、前記集光領域における参照位置とに基づいて、前記ずれ量を算出する、
    請求項1に記載の距離測定装置。
  3. 前記制御部は、前記所定の照射タイミングで前記照射部による前記光の照射を繰り返すように制御し、
    前記ずれ調整部は、該照射の繰り返しに応じて前記第1の受光素子群により蓄積される電荷に基づく第1の電気信号の値に基づく前記重心位置の平均値を算出し、前記平均値に基づいて前記ずれ量を算出する、
    請求項2に記載の距離測定装置。
  4. 前記ずれ調整部は、前記第1の電気信号の値が所定のしきい値以上である場合に、前記重心位置を算出する、請求項2に記載の距離測定装置。
  5. 前記ずれ調整部は、前記ずれ量が所定の許容値以上である場合に、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との位置的な関係を調整する、
    請求項1に記載の距離測定装置。
  6. 前記照射部は、前記所定の照射タイミングに従って一の方向に沿ったライン状の前記光を前記一の方向に直交する方向に所定の走査角度で順次に走査しながら照射し、
    前記制御部は、前記電荷蓄積領域における前記複数の受光素子のうちの第1の受光素子群に蓄積された電荷に基づく第1の電気信号を前記第1の受光素子群から読み出すように制御する、
    請求項1に記載の距離測定装置。
  7. 前記ずれ調整部は、前記ずれ量に応じて前記所定の走査角度が調整されるように制御する、
    請求項6に記載の距離測定装置。
  8. 前記照射部は、駆動電圧に応じて前記光を所定の走査角度で順次に走査するための走査ミラーを備え、
    前記ずれ調整部は、前記走査ミラーに対する駆動電圧を制御することにより前記所定の走査角度が調整されるように制御する、
    請求項7に記載の距離測定装置。
  9. 前記ずれ調整部は、前記ずれ量に応じて前記電荷蓄積領域が拡大されるように、前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群の動作を制御する、
    請求項8に記載の距離測定装置。
  10. 前記ずれ調整部は、前記電荷蓄積領域に対する前記集光領域の傾きを算出し、該算出した傾きに基づいて、前記電荷蓄積領域が拡大されるように、前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群の動作を制御する、
    請求項1に記載の距離測定装置。
  11. 前記ずれ調整部は、前記照射タイミングに対して、前記電荷を蓄積する受光素子群の動作タイミングを調整するように制御する、
    請求項1に記載の距離測定装置。
  12. 前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群から読み出される前記電気信号の値を保持するメモリを更に備える、
    請求項1に記載の距離測定装置。
  13. 前記制御部は、外部から与えられる調整開始指示信号に従って、前記ずれ調整部を動作させる、
    請求項1に記載の距離測定装置。
  14. 前記第1の受光素子群は、前記集光領域における前記複数の受光素子のうちの受光素子群と該集光領域に外接する領域の受光素子群とを含む、
    請求項2に記載の距離測定装置。
  15. 距離測定装置における測距機構のずれ調整方法であって、
    光源からの光を、所定の照射タイミングで対象エリアに対して、照射部により走査しながら照射することと、
    前記対象エリアにおける観測光を、受光部における複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群により受光することと、
    前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群から前記観測光に含まれる前記照射部により前記光が照射された物体からの反射光に応じて蓄積された電荷に基づく電気信号を読み出すことと、
    読み出した前記電気信号の値に基づいて、前記物体までの距離を算出するための測距処理を行うことと、
    前記照射部により照射された前記光に対応する前記反射光の集光領域と前記複数の受光素子のうちの幾つかの受光素子群による電荷蓄積領域とを制御すること、を含み、
    前記制御することは、
    前記集光領域と前記電荷蓄積領域との間のずれ量を算出し、算出した前記ずれ量が小さくなるように、前記集光領域と前記電荷蓄積領域との関係を調整することを含む、
    測距機構のずれ調整方法。
  16. 前記調整することは、
    前記電荷蓄積領域における前記複数の受光素子のうちの第1の受光素子群から読み出される第1の電気信号の値に基づいて、重心位置を算出することと、
    前記算出した重心位置と前記電荷蓄積領域における参照位置とに基づいて、前記ずれ量を算出することと、を含む、
    請求項15に記載の測距機構のずれ調整方法。
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