JP2021039084A - 検査方法、検査装置、検査システム及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
(第1実施形態)
まず、第1実施形態について説明する。本実施形態に係る検査装置は、電力機器を覆う樹脂に対してパルス波を照射することにより当該樹脂の内部を非破壊で検査するとともに、当該樹脂内に混入している異物の種別を判別するために用いられる。なお、本実施形態においては、樹脂内に混入している異物の種別として、例えば金属、気泡及び樹脂バリ等を想定している。
次に、第2実施形態について説明する。なお、前述した第1実施形態においては電力機器を覆う樹脂に照射されるパルス波として例えば0.05〜10THzの周波数帯のテラヘルツ波を利用するものとして主に説明したが、本実施形態においては、当該パルス波として異物の種別に応じた周波数帯のテラヘルツ波を用いる点で、前述した第1実施形態とは異なる。
また、異物の混入を検知することができるテラヘルツ波の周波数帯は検査対象樹脂の厚み(樹脂厚)によっても変化する場合がある。これは、エポキシ樹脂に対するテラヘルツ波の特徴として、樹脂が厚くなるほど、かつ高周波数帯ほど減衰が大きくなるためである。具体的には、検査対象樹脂の厚みが小さい場合には、周波数帯を大きく(例えば、0.3THz帯)することで、金属と樹脂バリとの差が顕著になる。このため、検査対象樹脂の厚みに応じて第1〜第3周波数帯を決定する構成とすることも可能である。なお、検査対象樹脂の厚みは電力機器(検査対象となる製品)によって特定することができる。
Claims (17)
- 電力機器を覆う樹脂に照射されたパルス波の当該樹脂内に混入している異物の界面からの反射波に応じた反射波信号を取得するステップと、
前記取得された反射波信号を解析することによって得られる異物の種別に応じて値が異なる指標に基づいて、前記樹脂内に混入している異物の種別を判別するステップと
を具備する検査方法。 - 前記取得された反射波信号に基づいて前記樹脂内に混入している異物の深さを算出するステップを更に具備し、
前記判別するステップは、前記算出された異物の深さと前記取得された反射波信号から抽出される反射強度との関係性を前記指標として当該異物の種別を判別するステップを含む
請求項1記載の検査方法。 - 前記取得された反射信号に基づいて前記樹脂内に混入している異物の深さを算出するステップと、
前記取得された反射波信号に基づいて前記樹脂内に混入している異物を含む平面画像を生成するステップと
を更に具備し、
前記判別するステップは、前記算出された異物の深さと前記生成された平面画像における前記異物の面積との関係性を前記指標として当該異物の種別を判別するステップを含む
請求項1記載の検査方法。 - 前記取得された反射信号に基づいて前記樹脂内に混入している異物の深さを算出するステップと、
前記取得された反射波信号に基づいて反射波形を生成するステップと
を更に具備し、
前記判別するステップは、前記算出された異物の深さと前記生成された反射波形の形状的な特徴との関係性を前記指標として前記異物の種別を判別するステップを含む
請求項1記載の検査方法。 - 前記取得された反射波信号に基づいて前記樹脂内に混入している異物の深さを算出するステップを具備し、
前記パルス波は、複数の周波数帯の電磁波を含み、
前記判別するステップは、前記算出された異物の深さと前記取得された反射波信号から抽出される前記複数の周波数帯の各々に対応する反射波信号との関係性を指標として当該異物の種別を判別するステップを含む
請求項1記載の検査方法。 - 前記取得された反射波信号に基づいて前記樹脂内に混入している異物の深さを算出するステップと、
前記取得された反射波信号に基づいて前記樹脂に混入している異物を含む平面画像を生成するステップと、
前記取得された反射波信号に基づいて反射波形を生成するステップと
を更に具備し、
前記パルス波は、複数の周波数帯の電磁波を含み、
前記判別するステップは、前記算出された異物の深さと前記取得された反射波信号から抽出される反射強度の関係性を含む第1指標、前記樹脂内に混入している異物の深さと前記生成された平面画像における前記異物の面積との関係性を含む第2指標、前記算出された異物の深さと前記生成された反射波形の形状的な特徴との関係性を含む第3指標、及び前記算出された異物の深さと前記取得された反射波信号から抽出される前記複数の周波数帯の各々に対応する反射波信号との関係性を含む第4指標のうちの少なくとも2つの指標を組み合わせて前記異物の種別を判別するステップを含む
請求項1記載の検査方法。 - 前記判別するステップは、前記指標に対して異物の種別に応じて設定された閾値を用いて前記樹脂内に混入している異物の種別を判別するステップを含み、
前記閾値は、前記異物が混入しているサンプル樹脂に対してパルス波を照射することによって得られる実験値または当該実験値を統計的に解析することによって得られる解析値に基づいて決定される
請求項1記載の検査方法。 - 前記パルス波は、少なくとも0.1テラヘルツ帯のテラヘルツ波を含む請求項1〜7のいずれか一項に記載の検査方法。
- 電力機器を覆う樹脂に照射されたパルス波の当該樹脂内に混入している異物の界面からの反射波に応じた反射波信号を取得するステップと、
前記取得された反射波信号に基づいて前記樹脂内に異物が混入していることを検知するステップと
を具備し、
前記パルス波は、前記異物の種別に応じた周波数帯のテラヘルツ波である
検査方法。 - 前記異物は、樹脂バリを含み、
前記異物として樹脂バリが混入していることを検知する場合、前記パルス波は、少なくとも0.1テラヘルツ帯のテラヘルツ波を含む
請求項9記載の検査方法。 - 前記異物は、金属を含み、
前記異物として金属が混入していることを検知する場合、前記パルス波は、少なくとも0.05〜0.15テラヘルツのうちの一部の周波数帯のテラヘルツ波を含む
請求項9または10に記載の検査方法。 - 前記異物は、気泡を含み、
前記異物として気泡が混入していることを検知する場合、前記パルス波は、少なくとも0.05〜0.1テラヘルツのうちの一部の周波数帯のテラヘルツ波を含む
請求項9〜11のいずれか一項に記載の検査方法。 - 前記異物の種別に応じた周波数帯のうち、前記電力機器を覆う樹脂内に異物が混入していることが検知されたテラヘルツ波の周波数帯に基づいて当該異物の種別を判別するステップを更に具備する請求項9〜12のいずれか一項に記載の検査方法。
- 前記電力機器及び当該電力機器を覆う樹脂を含む電力装置の製造工程のうち、前記判別された種別の異物が当該樹脂内に混入する可能性がある工程を出力するステップを更に具備する請求項13のいずれか一項に記載の検査方法。
- 電力機器を覆う樹脂に照射されたパルス波の当該樹脂内に混入している異物の界面からの反射波に応じた反射波信号を取得する取得手段と、
前記取得された反射波信号を解析することによって得られる異物の種別に応じて値が異なる指標に基づいて、前記樹脂内に混入している異物の種別を判別する判別手段と
を具備する検査装置。 - 電力機器を覆う樹脂に対してパルス波を照射する照射装置と、前記パルス波の当該樹脂内に混入している異物の界面からの反射波を検波する検波装置と、検査装置とを備える検査システムにおいて、
前記検査装置は、
前記検波装置によって検波された反射波に応じた反射波信号を取得する取得手段と、
前記取得された反射波信号を解析することによって得られる異物の種別に応じて異なる指標に基づいて、前記樹脂内に混入している異物の種別を判別する判別手段と
を含む
検査システム。 - 検査装置のコンピュータが実行するプログラムであって、
前記コンピュータに、
電力機器を覆う樹脂に照射されたパルス波の当該樹脂内に混入している異物の界面からの反射波に応じた反射波信号を取得するステップと、
前記取得された反射波信号を解析することによって得られる異物の種別に応じて値が異なる指標に基づいて、前記樹脂内に混入している異物の種別を判別するステップと
を実行させるプログラム。
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WO2012108306A1 (ja) * | 2011-02-10 | 2012-08-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 異物検出装置及び異物検出方法 |
JP2013167499A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Daicel Corp | 異物検出装置 |
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李 大治ら: "テラヘルツ波による絶縁材料非破壊診断", レーザー技術総合研究所, vol. 2015年報, JPN7023003221, 2015, pages 1 - 4, ISSN: 0005138441 * |
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