JP2021030400A - Measurement jig and water pressure distribution measuring method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、測定治具と水圧分布の測定方法に関する。 The present invention relates to a measuring jig and a method for measuring a water pressure distribution.
切削ブレードを用いて被加工物を切削する切削装置においては、切削水ノズルから、切削ブレードが被加工物に切り込む加工点に向けて切削水を供給している。また、このような切削加工では、切削ブレードに対して被加工物を切削送り方向に移動させて直線状の切削溝(カーフ)を形成している。切削水は、切削送り方向の上流側から切削ブレードに供給される。 In a cutting device that cuts a work piece using a cutting blade, cutting water is supplied from a cutting water nozzle toward a machining point where the cutting blade cuts into the work piece. Further, in such a cutting process, the workpiece is moved with respect to the cutting blade in the cutting feed direction to form a linear cutting groove (calf). The cutting water is supplied to the cutting blade from the upstream side in the cutting feed direction.
チッピングが少なく、蛇行していない直線状のきれいなカーフを形成するためには、切削水を、切削ブレードの左右に均等に分かれさせるとよい。そのため、特許文献1及び特許文献2に開示のように、圧力シートを用いて圧力分布を測定するという発明がある。 In order to form a straight and clean calf with less chipping and no meandering, it is advisable to divide the cutting water evenly on the left and right sides of the cutting blade. Therefore, as disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, there is an invention of measuring a pressure distribution using a pressure sheet.
しかし、上記の圧力シートには複数の圧力センサが等間隔に配置されているため、圧力センサが配置される間隔毎にしか圧力分布を測定することができないという問題がある。したがって、被加工物の上面にかかる切削水の水圧分布の測定においては、加工点の周囲の小さな領域毎の水圧を示した水圧分布を測定するという課題がある。 However, since a plurality of pressure sensors are arranged at equal intervals on the pressure sheet, there is a problem that the pressure distribution can be measured only at intervals at which the pressure sensors are arranged. Therefore, in measuring the water pressure distribution of the cutting water applied to the upper surface of the workpiece, there is a problem of measuring the water pressure distribution showing the water pressure in each small region around the processing point.
本発明は、切削水ノズルから切削水を噴出させて、回転する切削ブレードを用いて基台に装着されたチャックテーブルに保持されている被加工物を切削する切削装置において、該チャックテーブルの代わりに該基台に装着され、該切削水ノズルから噴出された該切削水が該被加工物の上面に当たった際の水圧を測定する測定治具であって、該基台に装着される装着面を有する下台と、該下台の上面から立設する側部と、該下台の中央に配設される振動検知部と、該振動検知部から立設する伝達針と、該伝達針の先端を露出させる開口を有し、該側部との間に防振材を介在させ該下台に平行に配置される上板と、を備え、該切削水ノズルから噴出される該切削水が当たって振動する該伝達針の振幅を該振動検知部において測定する、測定治具である。
本発明は、切削水ノズルから切削水を噴出させて、回転する切削ブレードを用いて基台に装着されたチャックテーブルに保持されている被加工物を切削する切削装置において、該チャックテーブルの代わりに該基台に装着され、該切削水ノズルから噴出された該切削水が該被加工物の上面に当たった際の水圧を測定する測定治具であって、該切削装置は、該基台の内部における中央に、該振動検知部を備えており、該基台に装着される下台と、該下台の中心から立設される伝達針と、該基台の上面に装着され、該下台を囲繞する側部と、該伝達針の先端を露出させる開口を有し、該側部との間に防振材を介在させ該基台の上面に平行に配設される上板と、を備え、該切削水ノズルから噴出される該切削水が当たって振動する該伝達針の振幅を該振動検知部において測定する、測定治具である。
本発明は、上記の測定治具を用いて、切削ブレードが被加工物を切削する加工点の周囲における切削水ノズルから噴出された切削水の水圧分布を測定する水圧分布の測定方法であって、該チャックテーブルが取り外された該基台に該測定治具を装着する治具装着工程と、該切削水ノズルから噴出された切削水が該伝達針の先端に当たり該振動検知部が検知した振幅と、該チャックテーブルの上面のXY座標と、を対応付けて記憶部に記憶させる記憶工程と、該切削水ノズルと該伝達針とを水平方向に相対的に所定のピッチで移動させる位置変更工程と、該記憶工程と該位置変更工程とを繰り返して、該振動検知部が検知した振幅と、XY座標とからXY座標毎の水圧分布を描く水圧分布形成工程と、を備える水圧分布の測定方法である。
The present invention is a cutting device that ejects cutting water from a cutting water nozzle and uses a rotating cutting blade to cut a workpiece held on a chuck table mounted on a base, instead of the chuck table. A measuring jig that is mounted on the base and measures the water pressure when the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits the upper surface of the work piece, and is mounted on the base. A lower table having a surface, a side portion erected from the upper surface of the lower table, a vibration detection unit arranged in the center of the lower table, a transmission needle erected from the vibration detection unit, and a tip of the transmission needle. It has an opening to be exposed, has an upper plate arranged in parallel with the lower base with a vibration isolator interposed between the side portion, and is vibrated by being hit by the cutting water ejected from the cutting water nozzle. It is a measuring jig that measures the amplitude of the transmitting needle in the vibration detecting unit.
The present invention is a cutting device that ejects cutting water from a cutting water nozzle and uses a rotating cutting blade to cut a workpiece held on a chuck table mounted on a base, instead of the chuck table. It is a measuring jig that is mounted on the base and measures the water pressure when the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits the upper surface of the work piece, and the cutting device is the base. The vibration detection unit is provided in the center of the inside of the base, and the lower base mounted on the base, the transmission needle erected from the center of the base, and the lower base mounted on the upper surface of the base. It is provided with a surrounding side portion and an upper plate having an opening for exposing the tip of the transmission needle and having a vibration isolator interposed between the side portion and being arranged parallel to the upper surface of the base. A measuring jig that measures the amplitude of the transmission needle that vibrates when the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits the cutting water detection unit.
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is a method for measuring a water pressure distribution for measuring the water pressure distribution of cutting water ejected from a cutting water nozzle around a processing point where a cutting blade cuts an workpiece by using the above-mentioned measuring jig. The jig mounting process of mounting the measuring jig on the base from which the chuck table has been removed, and the amplitude detected by the vibration detection unit when the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits the tip of the transmission needle. A storage step of associating the XY coordinates of the upper surface of the chuck table with the XY coordinates of the upper surface of the chuck table and storing them in the storage unit, and a position changing step of moving the cutting water nozzle and the transmission needle relatively at a predetermined pitch in the horizontal direction. A method for measuring a water pressure distribution, comprising a water pressure distribution forming step of drawing the water pressure distribution for each XY coordinate from the amplitude detected by the vibration detection unit and the XY coordinates by repeating the storage step and the position changing step. Is.
本測定方法では、記憶工程と位置変更工程とを繰り返し行い、記憶された振幅の値と対応するチャックテーブルの上面におけるXY座標とをプロットして水圧分布を描くことにより、切削水ノズルから切削水を噴射させた際の、加工点及びその周囲に作用する切削水の水圧分布を得ることができる。そして、測定された水圧分布を用いて、ノズル位置調整、ノズル形状変更、ブレードカバー変更、さらにはフランジ外径変更等を行うことによって、切削ブレードの左右に均等に切削水を供給することができるようになる。
また、本測定治具は、チャックテーブルの代わりに切削装置の基台に装着するだけで切削水の水圧を測定することができるため、上記測定方法の実施に好適である。
In this measurement method, the storage process and the position change process are repeated, and the stored amplitude value and the corresponding XY coordinates on the upper surface of the chuck table are plotted to draw a water pressure distribution, thereby drawing the cutting water from the cutting water nozzle. It is possible to obtain the hydraulic pressure distribution of the cutting water acting on the processing point and its surroundings when the injection is performed. Then, by using the measured water pressure distribution to adjust the nozzle position, change the nozzle shape, change the blade cover, change the outer diameter of the flange, etc., the cutting water can be evenly supplied to the left and right sides of the cutting blade. Will be.
Further, since this measuring jig can measure the water pressure of the cutting water only by mounting it on the base of the cutting device instead of the chuck table, it is suitable for carrying out the above measuring method.
1 加工装置
図1に示す切削装置1は、チャックテーブル2の上面20aに保持された被加工物Wを、第1切削手段3aと第2切削手段3bとを用いて切削加工する切削装置である。例えば、被加工物Wは、円板形状の半導体ウェーハ等である。被加工物Wの上面Waには、交差する複数の分割予定ラインSが形成されており、分割予定ラインSにより区画された各領域にはデバイスチップCが配設されている。以下、切削装置1について説明する。
1 Machining device The cutting device 1 shown in FIG. 1 is a cutting device that cuts a workpiece W held on the upper surface 20a of the chuck table 2 by using the first cutting means 3a and the second cutting means 3b. .. For example, the workpiece W is a disk-shaped semiconductor wafer or the like. A plurality of intersecting scheduled division lines S are formed on the upper surface Wa of the workpiece W, and a device chip C is arranged in each region partitioned by the scheduled division lines S. Hereinafter, the cutting device 1 will be described.
切削装置1は、直方体形状を有するベース10を備えている。
ベース10の上には、チャックテーブル2をX軸方向に移動させるX軸移動手段7が配設されている。X軸移動手段7は、X軸方向の回転軸75を有するボールネジ70と、回転軸75を軸にしてボールネジ70を回転させるX軸モータ72と、ボールネジ70に平行に配設された一対のガイドレール71と、底部のナットがボールネジ70に螺合してガイドレール71に沿ってX軸方向に移動可能な可動板73と、を備えている。
可動板73の上には、円筒形状を有するケーシング26が配設されており、ケーシング26の内部には、例えば図示しない回転手段等が配設されている。図1においては、ケーシング26の上方にチャックテーブル2が配設されている状態が示されている。
X軸モータ72を用いてボールネジ70を駆動して、回転軸75を軸にしてボールネジ70を回転させることによって、可動板73がガイドレール71に案内されながらX軸方向に移動するとともに、可動板73に支持されているチャックテーブル2がX軸方向に移動することとなる。また、チャックテーブル2は、図示しない回転手段等により回転可能である。
The cutting device 1 includes a base 10 having a rectangular parallelepiped shape.
An X-axis moving means 7 for moving the chuck table 2 in the X-axis direction is arranged on the base 10. The X-axis moving means 7 includes a ball screw 70 having a rotating shaft 75 in the X-axis direction, an X-axis motor 72 that rotates the ball screw 70 around the rotating shaft 75, and a pair of guides arranged in parallel with the ball screw 70. A rail 71 and a movable plate 73 in which a nut at the bottom is screwed into a ball screw 70 and can move in the X-axis direction along the guide rail 71 are provided.
A casing 26 having a cylindrical shape is disposed on the movable plate 73, and for example, a rotating means (not shown) is disposed inside the casing 26. FIG. 1 shows a state in which the chuck table 2 is arranged above the casing 26.
By driving the ball screw 70 using the X-axis motor 72 and rotating the ball screw 70 around the rotating shaft 75, the movable plate 73 moves in the X-axis direction while being guided by the guide rail 71, and the movable plate The chuck table 2 supported by 73 moves in the X-axis direction. Further, the chuck table 2 can be rotated by a rotating means (not shown) or the like.
チャックテーブル2は、円板形状の吸引部20と吸引部20を支持する枠体21とを備えている。吸引部20の上面20aは被加工物Wが保持される保持面となっている。 The chuck table 2 includes a disk-shaped suction portion 20 and a frame body 21 that supports the suction portion 20. The upper surface 20a of the suction portion 20 is a holding surface on which the workpiece W is held.
チャックテーブル2に保持される被加工物Wは、環状のフレームFに囲繞された状態で被加工物Wの下面Wb側からフレームFとともにテープTに貼着されることによって、フレームFにテープTを介して支持されている。 The workpiece W held on the chuck table 2 is attached to the tape T together with the frame F from the lower surface Wb side of the workpiece W in a state of being surrounded by the annular frame F, so that the tape T is attached to the frame F. Is supported through.
チャックテーブル2の上面20aの周囲には、複数(図1においては4つ)のクランプ27が配設されている。テープTを介してフレームFに支持されている状態の被加工物Wをチャックテーブル2の上面20aに載置して、クランプ27を用いてフレームFを掴むことにより、被加工物Wをチャックテーブル2の上面20aの上に固定することができる。 A plurality of (four in FIG. 1) clamps 27 are arranged around the upper surface 20a of the chuck table 2. The workpiece W supported by the frame F via the tape T is placed on the upper surface 20a of the chuck table 2, and the workpiece W is gripped by the clamp 27 to grip the workpiece W on the chuck table. It can be fixed on the upper surface 20a of 2.
ベース10の−X方向側には、門型コラム11が配設されている。門型コラム11は、ベース10の上にX軸移動手段7を介して着脱可能に配設されるチャックテーブル2の移動経路(X軸方向)の両側に立設された第1柱部12、並びに第2柱部13、及び第1柱部12と第2柱部13との上部の間にY軸方向に架設された架設部14を備えている。 A portal column 11 is arranged on the −X direction side of the base 10. The portal column 11 is a first pillar portion 12 erected on both sides of a movement path (X-axis direction) of a chuck table 2 which is detachably arranged on a base 10 via an X-axis moving means 7. Further, the second pillar portion 13 and the erection portion 14 erected in the Y-axis direction between the upper part of the first pillar portion 12 and the second pillar portion 13 are provided.
第1柱部12の+X方向側の側面には、第1切削手段3aをY軸方向に移動させる第1Y軸移動手段4aが配設されており、第2柱部13の+X方向側の側面には、第2切削手段3bをY軸方向に移動させる第2Y軸移動手段4bが配設されている。 A first Y-axis moving means 4a for moving the first cutting means 3a in the Y-axis direction is disposed on the side surface of the first pillar portion 12 on the + X direction side, and the side surface of the second pillar portion 13 on the + X direction side. Is provided with a second Y-axis moving means 4b that moves the second cutting means 3b in the Y-axis direction.
第1Y軸移動手段4aは、Y軸方向の回転軸45を有するボールネジ40と、ボールネジ40に対して平行に配設された一対のガイドレール41と、ボールネジ40の一端に連結されたY軸モータ42と、内部のナットがボールネジ40に螺合して側部がガイドレール41に摺接する移動基台43とを備えている。
移動基台43には、第1切削手段3aをZ軸方向に移動させる第1Z軸移動手段5aが配設されており、移動基台43は、第1Z軸移動手段5aを介して、第1切削手段3aを支持している。
Y軸モータ42を用いてボールネジ40を駆動して、回転軸45を軸にしてボールネジ40を回転させることにより、移動基台43がガイドレール41に案内されながらY軸方向に移動するとともに、第1Z軸移動手段5a及び第1切削手段3aがY軸方向に移動することとなる。
第2Y軸移動手段4bは、第1Y軸移動手段4aと同様の構成を有しており、共通の符号を付してその説明を省略する。
The first Y-axis moving means 4a includes a ball screw 40 having a rotating shaft 45 in the Y-axis direction, a pair of guide rails 41 arranged parallel to the ball screw 40, and a Y-axis motor connected to one end of the ball screw 40. It includes a 42 and a moving base 43 in which an internal nut is screwed into a ball screw 40 and a side portion is in sliding contact with a guide rail 41.
The moving base 43 is provided with a first Z-axis moving means 5a for moving the first cutting means 3a in the Z-axis direction, and the moving base 43 is provided with a first Z-axis moving means 5a via the first Z-axis moving means 5a. It supports the cutting means 3a.
By driving the ball screw 40 using the Y-axis motor 42 and rotating the ball screw 40 around the rotation shaft 45, the moving base 43 moves in the Y-axis direction while being guided by the guide rail 41, and the first The 1Z-axis moving means 5a and the first cutting means 3a move in the Y-axis direction.
The second Y-axis moving means 4b has the same configuration as the first Y-axis moving means 4a, and the description thereof will be omitted with a common reference numeral.
第1Z軸移動手段5aは、Z軸方向の回転軸55を有するボールネジ50と、ボールネジ50に対して平行に配設された一対のガイドレール51と、ボールネジ50の一端に連結され、回転軸55を軸にしてボールネジ50を回転させるZ軸モータ52と、内部のナットがボールネジ50に螺合して側部がガイドレール51に摺接する昇降板53とを備えている。昇降板53は、第1切削手段3aを支持している。
Z軸モータ52を用いてボールネジ50を駆動すると、回転軸55を軸にしてボールネジ50が回転する。これに伴って、ガイドレール51に案内されながら昇降板53がZ軸方向に移動するとともに、第1切削手段3aがZ軸方向に昇降移動することとなる。
第2Z軸移動手段5bは、第1Z軸移動手段5aと同様の構成を有しており、共通の符号を付してその説明を省略する。
The first Z-axis moving means 5a is connected to a ball screw 50 having a rotating shaft 55 in the Z-axis direction, a pair of guide rails 51 arranged parallel to the ball screw 50, and one end of the ball screw 50, and is connected to the rotating shaft 55. A Z-axis motor 52 that rotates the ball screw 50 with the ball screw 50 as an axis, and an elevating plate 53 in which an internal nut is screwed into the ball screw 50 and a side portion slides into a guide rail 51. The elevating plate 53 supports the first cutting means 3a.
When the ball screw 50 is driven by using the Z-axis motor 52, the ball screw 50 rotates around the rotation shaft 55. Along with this, the elevating plate 53 moves in the Z-axis direction while being guided by the guide rail 51, and the first cutting means 3a moves up and down in the Z-axis direction.
The second Z-axis moving means 5b has the same configuration as the first Z-axis moving means 5a, and the description thereof will be omitted with a common reference numeral.
第1切削手段3a及び第2切削手段3bに隣接する位置には、それぞれ、切削すべき分割予定ラインSを検出するアライメント手段34が配設されている。アライメント手段34は、撮像カメラ340等を有しており、例えば、アライメント手段34の下方に被加工物Wが位置付けられている状態で、撮像カメラ340を用いて被加工物Wに形成されている分割予定ラインSを撮像することによって、撮像された画像に基づいて分割予定ラインSを検出することができる。 Alignment means 34 for detecting the planned division line S to be cut are arranged at positions adjacent to the first cutting means 3a and the second cutting means 3b, respectively. The alignment means 34 has an image pickup camera 340 and the like, and is formed on the work piece W by using the image pickup camera 340 in a state where the work piece W is positioned below the alignment means 34, for example. By imaging the scheduled division line S, the scheduled division line S can be detected based on the captured image.
第1切削手段3a及び第2切削手段3bには、ハウジング36をそれぞれ備えており、ハウジング36の内部には図示しないモータ等が収容されている。 The first cutting means 3a and the second cutting means 3b each include a housing 36, and a motor or the like (not shown) is housed inside the housing 36.
図2に示すように、第1切削手段3a及び第2切削手段3bは、切削ブレード30と切削ブレード30を保護するブレードカバー31とを備えている。切削ブレード30は、フランジ300と切り刃301とを備えている。切削ブレード30の切り刃301の下端の点Dは、例えば被加工物Wに切削ブレード30を切り込ませた際に被加工物Wに対して最も深く切り込む点であり、以下、加工点Dと称する。
例えば、ハウジング36の内部に収容されている図示しないモータ等により駆動されて回転している状態の切り刃301を被加工物Wに切り込ませることによって、被加工物Wを切削加工することができる。
第2切削手段3bは、第1切削手段3aと同様に構成されており、共通の符号を付してその説明を省略する。
As shown in FIG. 2, the first cutting means 3a and the second cutting means 3b include a cutting blade 30 and a blade cover 31 that protects the cutting blade 30. The cutting blade 30 includes a flange 300 and a cutting blade 301. The point D at the lower end of the cutting blade 301 of the cutting blade 30 is, for example, the point where the cutting blade 30 is cut into the workpiece W and is cut deepest into the workpiece W. Refer to.
For example, the workpiece W can be cut by cutting the cutting edge 301 in a state of being driven and rotating by a motor or the like (not shown) housed inside the housing 36 into the workpiece W. it can.
The second cutting means 3b is configured in the same manner as the first cutting means 3a, and the description thereof will be omitted with a common reference numeral.
切削ブレード30の前方(+X方向側)には、切削ブレード30の外周側から切削ブレード30に向けて切削水を供給する切削水ノズル32が配設されている。
切削水ノズル32の上部には、図示しない水源に接続された切削水ホース320が連結されている。切削水ノズル32の下端には、切削水を噴出する切削水噴出口321が形成されている。切削水噴出口321には、切削水の噴射方向を調整する方向調整部材322が取り付けられている。
切削水ホース320を通じて該水源から切削水ノズル32に供給された切削水は、方向調整部材322によってその噴射方向が調整されて、切削水噴出口321から切削ブレード30に向けて噴出されることとなる。
A cutting water nozzle 32 that supplies cutting water from the outer peripheral side of the cutting blade 30 toward the cutting blade 30 is arranged in front of the cutting blade 30 (on the + X direction side).
A cutting water hose 320 connected to a water source (not shown) is connected to the upper part of the cutting water nozzle 32. A cutting water outlet 321 for ejecting cutting water is formed at the lower end of the cutting water nozzle 32. A direction adjusting member 322 for adjusting the injection direction of the cutting water is attached to the cutting water outlet 321.
The injection direction of the cutting water supplied from the water source to the cutting water nozzle 32 through the cutting water hose 320 is adjusted by the direction adjusting member 322, and the cutting water is ejected from the cutting water ejection port 321 toward the cutting blade 30. Become.
第1切削手段3aの側方(Y軸方向側)には、切削ブレード30を冷却するために切削ブレード30に向けて冷却水を供給するパイプ状の一対の冷却水ノズル33(図2紙面奥側の冷却水ノズル33は不図示)が、切削ブレード30の切り刃301の表面301a及び裏面301bを両側から挟むように配設されている。
冷却水ノズル33の上部には、図示しない水源に接続された冷却水ホース330が連結されている。
図2に示す冷却水ノズル33における切削ブレード30の表面301aに対面している部分(図示しない紙面奥側の冷却水ノズル33においては、切削ブレード30の裏面301bに対面している部分)には、複数の冷却水噴出口331が形成されている。冷却水ホース330を通じて該水源から供給された冷却水は、冷却水ノズル33の冷却水噴出口331から切削ブレード30の表面301a(及び裏面301b)に向けて噴出されることとなる。
On the side (Y-axis direction side) of the first cutting means 3a, a pair of pipe-shaped cooling water nozzles 33 (in the back of the paper in FIG. 2) that supply cooling water toward the cutting blade 30 to cool the cutting blade 30. The cooling water nozzle 33 on the side (not shown) is arranged so as to sandwich the front surface 301a and the back surface 301b of the cutting blade 301 of the cutting blade 30 from both sides.
A cooling water hose 330 connected to a water source (not shown) is connected to the upper part of the cooling water nozzle 33.
The portion of the cooling water nozzle 33 shown in FIG. 2 facing the front surface 301a of the cutting blade 30 (in the cooling water nozzle 33 on the back side of the paper surface, which is not shown, the portion facing the back surface 301b of the cutting blade 30) , A plurality of cooling water outlets 331 are formed. The cooling water supplied from the water source through the cooling water hose 330 is ejected from the cooling water ejection port 331 of the cooling water nozzle 33 toward the front surface 301a (and the back surface 301b) of the cutting blade 30.
なお、第2切削手段3bの前方及び側方にも、上記と同様の構成を有する切削水ノズル32及び一対の冷却水ノズル33が、それぞれ配設されている。第2切削手段3bは、X軸方向の向きが第1切削手段3aとは反対向きになり、切削ブレード30の−X方向側に切削水ノズル32が位置する。 A cutting water nozzle 32 and a pair of cooling water nozzles 33 having the same configuration as described above are also arranged in front of and to the side of the second cutting means 3b, respectively. The direction of the second cutting means 3b in the X-axis direction is opposite to that of the first cutting means 3a, and the cutting water nozzle 32 is located on the −X direction side of the cutting blade 30.
図3に示すように、X軸移動手段7の上には基台22が配設されている。図3においては、基台22の上面22aにチャックテーブル2が装着されている。基台22の内部及びチャックテーブル2の枠体21の内部には、吸引路24が配設されている。
例えば、被加工物Wがチャックテーブルの上面20aに載置された状態で、吸引源23が吸引力を発揮すると、生み出された吸引力が吸引路24を通じて上面20aに伝達されて、被加工物Wの下面Wbが吸引される。これにより、被加工物Wをチャックテーブル2の上面20aに吸引保持することができる。
As shown in FIG. 3, a base 22 is arranged on the X-axis moving means 7. In FIG. 3, the chuck table 2 is mounted on the upper surface 22a of the base 22. A suction path 24 is provided inside the base 22 and inside the frame 21 of the chuck table 2.
For example, when the suction source 23 exerts a suction force while the workpiece W is placed on the upper surface 20a of the chuck table, the generated suction force is transmitted to the upper surface 20a through the suction path 24, and the workpiece is processed. The lower surface Wb of W is sucked. As a result, the workpiece W can be sucked and held on the upper surface 20a of the chuck table 2.
切削装置1には、切削装置1の各種の機構を制御する制御手段9が備えられている。
制御手段9は、例えば位置変更手段90を備えている。位置変更手段90は、X軸移動手段7、及び第1Y軸移動手段4a、並びに第2Y軸移動手段4bを制御する機能を有する。位置変更手段90を用いて第1Y軸移動手段4a及び第2Y軸移動手段4bを制御することにより、第1切削手段3a及び第2切削手段3bにそれぞれ備える切削水ノズル32をY軸方向に移動させることができる。また、位置変更手段90を用いてX軸移動手段7を制御することによって、基台22をX軸方向に移動させることができる。
さらに、制御手段9は、メモリ等の記憶素子からなる記憶部91を備えている。
The cutting device 1 is provided with control means 9 for controlling various mechanisms of the cutting device 1.
The control means 9 includes, for example, a position changing means 90. The position changing means 90 has a function of controlling the X-axis moving means 7, the first Y-axis moving means 4a, and the second Y-axis moving means 4b. By controlling the first Y-axis moving means 4a and the second Y-axis moving means 4b using the position changing means 90, the cutting water nozzles 32 provided in the first cutting means 3a and the second cutting means 3b are moved in the Y-axis direction, respectively. Can be made to. Further, by controlling the X-axis moving means 7 using the position changing means 90, the base 22 can be moved in the X-axis direction.
Further, the control means 9 includes a storage unit 91 composed of a storage element such as a memory.
被加工物Wを切削加工する際には、基台22にチャックテーブル2が装着されている状態において、まず、図1に示すように、テープTを介してフレームFに支持されている被加工物Wをチャックテーブル2の上面20aに吸引保持する。そして、X軸移動手段7を用いてチャックテーブル2をX軸方向に移動させて、チャックテーブル2に保持されている被加工物Wを第1切削手段3a及び第2切削手段3bの下方に位置付ける。 When cutting the workpiece W, first, as shown in FIG. 1, the workpiece W is supported by the frame F via the tape T in a state where the chuck table 2 is mounted on the base 22. The object W is sucked and held on the upper surface 20a of the chuck table 2. Then, the chuck table 2 is moved in the X-axis direction by using the X-axis moving means 7, and the workpiece W held by the chuck table 2 is positioned below the first cutting means 3a and the second cutting means 3b. ..
次いで、アライメント手段34に備える撮像カメラ340を用いて分割予定ラインSの撮像等を行い、撮像された分割予定ラインSの画像に基づいて、第1Y軸移動手段4aや第2Y軸移動手段4bを用いて第1切削手段3aや第2切削手段3bをY軸方向に適宜移動させて、分割予定ラインSに対する第1切削手段3aや第2切削手段3bのY軸方向の位置合わせを行う。 Next, the imaging camera 340 provided in the alignment means 34 is used to image the scheduled division line S, and the first Y-axis moving means 4a and the second Y-axis moving means 4b are moved based on the captured image of the scheduled division line S. The first cutting means 3a and the second cutting means 3b are appropriately moved in the Y-axis direction to align the first cutting means 3a and the second cutting means 3b with respect to the planned division line S in the Y-axis direction.
その後、ハウジング36の内部に収容されている図示しないモータ等を用いて第1切削手段3a及び第2切削手段3bに備える切削ブレード30をそれぞれ回転させる。
そして、図3に示すように、第1Z軸移動手段5a及び第2Z軸移動手段5bを用いて第1切削手段3aを−Z方向に移動させて、回転する各々の切削ブレード30の切り刃301を被加工物Wの分割予定ラインSに当接させるとともに、X軸移動手段7を用いてチャックテーブル2に保持されている被加工物WをX軸方向に移動させる。これにより、被加工物Wと切削ブレード30とがX軸方向に相対移動して、分割予定ラインSに沿って被加工物Wが切削される。
1つの分割予定ラインSの切削を行った後、例えば、隣り合う分割予定ラインSの間隔の分だけ第1Y軸移動手段4a及び第2Y軸移動手段4bを用いて第1切削手段3a及び第2切削手段3bをY軸方向に移動させて、同様に分割予定ラインSに対して切削ブレード30を切り込ませることにより、隣り合う分割予定ラインSを切削加工することができる。
このようにして、被加工物Wに形成されている同一方向の分割予定ラインSを全て切削した後に、例えば、図示しない回転手段等を用いてチャックテーブル2を例えば90度回転させてから、同様に切削加工を行うことによって、被加工物Wの全ての分割予定ラインSに対して切削加工を行うことができる。
After that, the cutting blades 30 provided in the first cutting means 3a and the second cutting means 3b are rotated by using a motor or the like (not shown) housed inside the housing 36.
Then, as shown in FIG. 3, the first cutting means 3a is moved in the −Z direction by using the first Z-axis moving means 5a and the second Z-axis moving means 5b, and the cutting blade 301 of each rotating cutting blade 30 is rotated. Is brought into contact with the scheduled division line S of the workpiece W, and the workpiece W held on the chuck table 2 is moved in the X-axis direction by using the X-axis moving means 7. As a result, the workpiece W and the cutting blade 30 move relative to each other in the X-axis direction, and the workpiece W is cut along the scheduled division line S.
After cutting one scheduled division line S, for example, the first cutting means 3a and the second cutting means 3a and the second using the first Y-axis moving means 4a and the second Y-axis moving means 4b by the distance between adjacent scheduled dividing lines S. By moving the cutting means 3b in the Y-axis direction and similarly cutting the cutting blade 30 into the scheduled division line S, the adjacent scheduled division lines S can be cut.
In this way, after cutting all the scheduled division lines S in the same direction formed on the workpiece W, for example, the chuck table 2 is rotated by, for example, 90 degrees by using a rotating means (not shown), and so on. By cutting the work piece W, the cutting work can be performed on all the scheduled division lines S of the workpiece W.
2 測定治具
(第1実施形態)
図4においては、基台22の上面22aの上に、チャックテーブル2の代わりに、第1測定治具8が装着されている。
第1測定治具8は、切削水ノズル32から噴出された切削水が被加工物Wの上面Waに当たった際の被加工物Wの上面Waにかかる水圧を測定する測定治具である。
2 Measuring jig (first embodiment)
In FIG. 4, the first measuring jig 8 is mounted on the upper surface 22a of the base 22 instead of the chuck table 2.
The first measuring jig 8 is a measuring jig for measuring the water pressure applied to the upper surface Wa of the workpiece W when the cutting water ejected from the cutting water nozzle 32 hits the upper surface Wa of the workpiece W.
第1測定治具8は、基台22に装着される下台80を備えている。下台80の下面は、下台80が基台22に装着される際に基台22の上面22aに当接する装着面80bとなっている。第1測定治具8が、第1測定治具8の装着面80bと基台22の上面22aとが当接するようにして基台22に載置されている状態で、例えば吸引源23によって生み出された吸引力が吸引路24を通じて基台22の上面22aに伝達されることにより、第1測定治具8は、基台22に下から吸引されて、基台22の上面22aにおいて固定されることとなる。 The first measuring jig 8 includes a lower base 80 mounted on the base 22. The lower surface of the lower base 80 is a mounting surface 80b that comes into contact with the upper surface 22a of the base 22 when the lower base 80 is mounted on the base 22. The first measuring jig 8 is placed on the base 22 so that the mounting surface 80b of the first measuring jig 8 and the upper surface 22a of the base 22 are in contact with each other, and is produced by, for example, a suction source 23. The suction force is transmitted to the upper surface 22a of the base 22 through the suction path 24, so that the first measuring jig 8 is sucked from below by the base 22 and fixed on the upper surface 22a of the base 22. It will be.
下台80の上面80aにおける中央には、振動検知部82が配設されている。振動検知部82は、例えば、AEセンサ等を有している。
振動検知部82の上には伝達針83が立設されている。
A vibration detection unit 82 is arranged at the center of the upper surface 80a of the lower base 80. The vibration detection unit 82 has, for example, an AE sensor or the like.
A transmission needle 83 is erected on the vibration detection unit 82.
切削水ノズル32から噴出された切削水が伝達針83に当たって伝達針83が振動すると、伝達針83の振動が振動検知部82に伝達される。これにより、振動検知部82において伝達針83の振幅を測定することができる。振動検知部82が検知した振幅の値は、検知時のチャックテーブル2の上面20aのXY座標と対応付けられて、記憶部91に記憶される。 When the cutting water ejected from the cutting water nozzle 32 hits the transmission needle 83 and the transmission needle 83 vibrates, the vibration of the transmission needle 83 is transmitted to the vibration detection unit 82. As a result, the vibration detection unit 82 can measure the amplitude of the transmission needle 83. The amplitude value detected by the vibration detection unit 82 is associated with the XY coordinates of the upper surface 20a of the chuck table 2 at the time of detection, and is stored in the storage unit 91.
下台80の上面80aにおける外周には、例えば円環形状の側部81が立設されている。 For example, a ring-shaped side portion 81 is erected on the outer circumference of the upper surface 80a of the lower base 80.
側部81の上には、上板84が、防振材841を介して、下台80に対して平行に配設されている。上板84は開口840を有しており、開口840から伝達針83の先端が露出している。上板84と側部81との間に介在している防振材841は、例えばスポンジ等であり、切削水の噴出等により上板84に生じた振動が側部81に伝達されるのを防ぐ機能を有している。 On the side portion 81, an upper plate 84 is arranged parallel to the lower base 80 via a vibration isolator 841. The upper plate 84 has an opening 840, and the tip of the transmission needle 83 is exposed from the opening 840. The anti-vibration material 841 interposed between the upper plate 84 and the side portion 81 is, for example, a sponge or the like, and the vibration generated in the upper plate 84 due to the ejection of cutting water or the like is transmitted to the side portion 81. It has a function to prevent it.
(第2実施形態)
図5に示す第2測定治具8Aにおいては、基台22の内部に振動検知部82Aが配設されている。基台22の上面22aの略中央には、第1下台88Aが装着されており、第1下台88Aの中心には伝達針83Aが立設されている。
また、基台22の上面22aの外周には、第1下台88Aを囲繞する円環形状の側部81Aが装着されている。
第1下台88A及び側部81Aが基台22の上面22aに装着されている状態で、吸引源23が吸引力を発揮することによって、生み出された吸引力が吸引路24を通じて基台22の上面22aに伝達される。これにより、第1下台88A及び側部81Aを基台22の上面22aに固定することができる。
側部81Aの上には、上板84Aが、第1防振材841Aを介して、基台22の上面22aに対して平行に配設されている。上板84Aは第1開口840Aを有しており、第1開口840Aから伝達針83Aの先端が露出している。上板84Aと側部81Aとの間に介在している第1防振材841Aは、例えばスポンジ等であり、切削水の噴出等により上板84Aに生じた振動が側部81Aに伝達されるのを防ぐ機能を有している。
(Second Embodiment)
In the second measuring jig 8A shown in FIG. 5, a vibration detecting unit 82A is arranged inside the base 22. The first lower base 88A is mounted substantially at the center of the upper surface 22a of the base 22, and the transmission needle 83A is erected at the center of the first lower base 88A.
Further, a ring-shaped side portion 81A surrounding the first lower base 88A is mounted on the outer circumference of the upper surface 22a of the base 22.
With the first lower base 88A and the side portion 81A mounted on the upper surface 22a of the base 22, the suction source 23 exerts a suction force, and the suction force generated is transmitted to the upper surface of the base 22 through the suction path 24. It is transmitted to 22a. As a result, the first lower base 88A and the side portion 81A can be fixed to the upper surface 22a of the base 22.
On the side portion 81A, the upper plate 84A is arranged parallel to the upper surface 22a of the base 22 via the first vibration isolator 841A. The upper plate 84A has a first opening 840A, and the tip of the transmission needle 83A is exposed from the first opening 840A. The first vibration-proof material 841A interposed between the upper plate 84A and the side portion 81A is, for example, a sponge or the like, and the vibration generated in the upper plate 84A due to the ejection of cutting water or the like is transmitted to the side portion 81A. It has a function to prevent.
図6に示すように、第2測定治具8Aにおいては、例えば、基台22の上面22aの略中央に配設されている第1下台88Aを囲繞するように第2下台88Bが配設されていてもよい。第2下台88Bは、その内側において第2防振材881Aを介して第1下台88Aに連結され、かつ、その外側において側部81Aに連結されている。第2下台88Bには、第1下台88Aの中心に立設されている伝達針83Aが上板84Aに向かって突出することを可能にする第2開口880Bが形成されている。かかる第2測定治具8Aにあっては、第2測定治具8Aの部材が一体的に構成されており、例えば第2測定治具8Aを基台22に着脱する際に持ち運びを容易に行うことが可能である。 As shown in FIG. 6, in the second measuring jig 8A, for example, the second lower base 88B is arranged so as to surround the first lower base 88A arranged substantially in the center of the upper surface 22a of the base 22. You may be. The second lower base 88B is connected to the first lower base 88A via the second anti-vibration material 881A on the inner side thereof, and is connected to the side portion 81A on the outer side thereof. The second lower base 88B is formed with a second opening 880B that allows the transmission needle 83A erected at the center of the first lower base 88A to project toward the upper plate 84A. In the second measuring jig 8A, the members of the second measuring jig 8A are integrally formed, and for example, the second measuring jig 8A can be easily carried when the second measuring jig 8A is attached to or detached from the base 22. It is possible.
3 水圧分布の測定方法
上記の第1測定治具8(図4参照)や第2測定治具8A(図5及び図6参照)を用いて、切削水ノズル32から噴出されて被加工物Wの上面Waに当たる切削水の水圧分布の測定を行うことができる。以下、水圧分布の測定方法について説明する。
3 Measuring method of hydraulic pressure distribution Using the above-mentioned first measuring jig 8 (see FIG. 4) and second measuring jig 8A (see FIGS. 5 and 6), the workpiece W is ejected from the cutting water nozzle 32. It is possible to measure the hydraulic pressure distribution of the cutting water corresponding to the upper surface Wa of the above. Hereinafter, a method for measuring the water pressure distribution will be described.
[治具装着工程]
まず、図4に示すように、チャックテーブル2が取り外されている状態の基台22の上面22aに第1測定治具8を装着する。そして、吸引源23を作動させて吸引源23に吸引力を発揮させることにより、生み出された吸引力が吸引路24を通じて、基台22の上面22aに伝達される。これにより、第1測定治具8の下台80の装着面80bが基台22の上面22aに吸引されて、第1測定治具8が基台22の上に固定される。
[Jig mounting process]
First, as shown in FIG. 4, the first measuring jig 8 is mounted on the upper surface 22a of the base 22 in a state where the chuck table 2 is removed. Then, by operating the suction source 23 and causing the suction source 23 to exert a suction force, the generated suction force is transmitted to the upper surface 22a of the base 22 through the suction path 24. As a result, the mounting surface 80b of the lower base 80 of the first measuring jig 8 is attracted to the upper surface 22a of the base 22, and the first measuring jig 8 is fixed on the base 22.
[水圧分布形成工程]
(記憶工程)
いま、基台22に装着された第1測定治具8と切削ブレード30とは、例えば、図7(a)に示すように、伝達針83の真上に加工点Dが位置付けられた位置関係となっており、切削ブレード30の加工点Dと伝達針83の先端とが水平方向(XY方向)において一致しているものとする。図7(a)においては、切削ブレード30の下端である加工点Dと伝達針83の先端とが水平方向において一致するXY座標を原点(X,Y)=(0,0)とする。このXY座標は、例えば、X軸移動手段7及び第1Y軸移動手段4a又は第2Y軸移動手段4bが認識する制御上の座標である。
切削ブレード30の加工点Dと伝達針83の先端とが水平方向において一致している状態で、第1切削手段3aに備える切削水ノズル32から切削水を噴出する。切削水ノズル32から噴出する切削水の流量は、例えば、1.0L/minとする。切削水ノズル32から噴出された切削水が伝達針83の先端に当たると伝達針83が振動して、伝達針83の振動の振幅が振動検知部82により検知される。
[Hydropressure distribution formation process]
(Memory process)
Now, the first measuring jig 8 mounted on the base 22 and the cutting blade 30 have a positional relationship in which the machining point D is positioned directly above the transmission needle 83, for example, as shown in FIG. 7A. It is assumed that the machining point D of the cutting blade 30 and the tip of the transmission needle 83 coincide with each other in the horizontal direction (XY direction). In FIG. 7A, the origin (X, Y) = (0,0) is defined as the XY coordinates where the machining point D, which is the lower end of the cutting blade 30, and the tip of the transmission needle 83 coincide with each other in the horizontal direction. The XY coordinates are, for example, control coordinates recognized by the X-axis moving means 7 and the first Y-axis moving means 4a or the second Y-axis moving means 4b.
Cutting water is ejected from the cutting water nozzle 32 provided in the first cutting means 3a in a state where the processing point D of the cutting blade 30 and the tip of the transmission needle 83 coincide with each other in the horizontal direction. The flow rate of the cutting water ejected from the cutting water nozzle 32 is, for example, 1.0 L / min. When the cutting water ejected from the cutting water nozzle 32 hits the tip of the transmission needle 83, the transmission needle 83 vibrates, and the vibration amplitude of the transmission needle 83 is detected by the vibration detection unit 82.
そして、検知された伝達針83の振動の振幅と、チャックテーブル2の上面20aのXY座標、すなわちこの場合は原点(0,0)とを対応付けて記憶部91に記憶する。
図7(b)においては、例えば、チャックテーブル2の上面20aに、被加工物Wが、互いの中心が一致するように保持されて、さらに、被加工物Wの上面Waの中心に向けて切削水が噴出されるように切削水ノズル32が位置付けられている状態が想定されている。
検知された伝達針83の振動の振幅と、チャックテーブル2の上面20aのXY座標とを対応付けて記憶部91に記憶する際、具体的には、例えば図7(b)に示すように、加工点Dの水平位置をチャックテーブル2の上面20aの中心(X,Y)=(0,0)とみなして、チャックテーブル2の上面20aの中心(0,0)と、検知された伝達針83の振動の振幅と、を対応付けて記憶部91に記憶する。
Then, the detected vibration amplitude of the transmission needle 83 and the XY coordinates of the upper surface 20a of the chuck table 2, that is, the origin (0, 0) in this case, are stored in the storage unit 91 in association with each other.
In FIG. 7B, for example, the workpieces W are held on the upper surface 20a of the chuck table 2 so that their centers are aligned with each other, and further toward the center of the upper surface Wa of the workpiece W. It is assumed that the cutting water nozzle 32 is positioned so that the cutting water is ejected.
When the detected vibration amplitude of the transmission needle 83 is stored in the storage unit 91 in association with the XY coordinates of the upper surface 20a of the chuck table 2, specifically, as shown in FIG. 7B, for example. The horizontal position of the machining point D is regarded as the center (X, Y) = (0,0) of the upper surface 20a of the chuck table 2, and the center (0,0) of the upper surface 20a of the chuck table 2 and the detected transmission needle. The amplitude of the vibration of 83 is stored in the storage unit 91 in association with each other.
(位置変更工程)
次いで、切削水ノズル32と伝達針83とを相対的に所定のピッチ(間隔)だけ、X軸方向及びY軸方向に移動させる。切削水ノズル32と伝達針83とを相対的にX軸方向及びY軸方向に移動させる際には、位置変更手段90を用いて、例えば図1に示した第1Y軸移動手段4aを制御して、第1切削手段3aに備える切削水ノズル32をY軸方向に移動させるとともに、位置変更手段90を用いて、X軸移動手段7を制御して基台22をX軸方向に移動させて、基台22の上に配設されている第1測定治具8の伝達針83をX軸方向に移動させる。
(Position change process)
Next, the cutting water nozzle 32 and the transmission needle 83 are relatively moved by a predetermined pitch (interval) in the X-axis direction and the Y-axis direction. When the cutting water nozzle 32 and the transmission needle 83 are relatively moved in the X-axis direction and the Y-axis direction, the position changing means 90 is used to control, for example, the first Y-axis moving means 4a shown in FIG. The cutting water nozzle 32 provided in the first cutting means 3a is moved in the Y-axis direction, and the position changing means 90 is used to control the X-axis moving means 7 to move the base 22 in the X-axis direction. , The transmission needle 83 of the first measuring jig 8 arranged on the base 22 is moved in the X-axis direction.
図7(c)においては、上記のように、X軸方向及びY軸方向に切削水ノズル32と伝達針83とが相対的に移動して、例えば、XY座標が座標P(X1,Y1)となる位置に切削水が噴出されるように切削水ノズル32が位置付けられている様子が示されている。 In FIG. 7C, as described above, the cutting water nozzle 32 and the transmission needle 83 move relatively in the X-axis direction and the Y-axis direction, and for example, the XY coordinates are the coordinates P (X1, Y1). It is shown that the cutting water nozzle 32 is positioned so that the cutting water is ejected at the position.
座標P(X1,Y1)に切削水ノズル32から切削水が噴出される状態において、再び切削水ノズル32から上記の流量と同じ流量の切削水を噴出する。すると、その切削水が、原点(0,0)に位置している伝達針83の先端に当たって伝達針83が振動する。伝達針83の振動の振幅は振動検知部82により検知される。 In a state where the cutting water is ejected from the cutting water nozzle 32 at the coordinates P (X1, Y1), the cutting water having the same flow rate as the above flow rate is ejected from the cutting water nozzle 32 again. Then, the cutting water hits the tip of the transmission needle 83 located at the origin (0,0), and the transmission needle 83 vibrates. The amplitude of the vibration of the transmission needle 83 is detected by the vibration detection unit 82.
図7(c)に示す座標P(X1,Y1)に噴出されて原点(0,0)に位置する伝達針83に切削水が当たることによって振動検知部82により検知された振動の振幅の値は、図7(b)に示すように、例えば被加工物Wの切削加工時に被加工物Wの上面Waに位置付けられている切削水ノズル32から噴出された切削水のうち、チャックテーブル2の上面20aにおける原点(0,0)に対して座標P(X1,Y1)に点対称な座標Q(−X1,−Y1)に作用する切削水の水圧の値と考えることができる。 The value of the vibration amplitude detected by the vibration detection unit 82 when the cutting water hits the transmission needle 83, which is ejected at the coordinates P (X1, Y1) shown in FIG. 7 (c) and is located at the origin (0, 0). As shown in FIG. 7B, for example, among the cutting water ejected from the cutting water nozzle 32 located on the upper surface Wa of the workpiece W during the cutting of the workpiece W, the chuck table 2 It can be considered as the value of the water pressure of the cutting water acting on the coordinates Q (−X1, −Y1) point-symmetrical to the coordinates P (X1, Y1) with respect to the origin (0,0) on the upper surface 20a.
そこで、振動検知部82により検知された伝達針83の振動の振幅と、チャックテーブル2の上面20aにおける原点(0,0)に対して座標P(X1,Y1)に点対称な座標Q(−X1,−Y1)とを対応付けて記憶部91に記憶する。 Therefore, the amplitude of the vibration of the transmission needle 83 detected by the vibration detection unit 82 and the coordinate Q (-) that is point-symmetric with respect to the coordinates P (X1, Y1) with respect to the origin (0,0) on the upper surface 20a of the chuck table 2. X1, −Y1) are associated with each other and stored in the storage unit 91.
上記の記憶工程と位置変更工程とを繰り返し行い、記憶された振幅の値と対応するチャックテーブル2の上面20aにおけるXY座標とをプロットして水圧分布を描くことにより、例えば図8(a)に示すような、切削水ノズル32から切削水を噴射させた際の、加工点D及びその周囲に作用する切削水の水圧分布を得ることができる。 By repeating the above storage step and the position change step and plotting the stored amplitude value and the corresponding XY coordinates on the upper surface 20a of the chuck table 2 to draw a water pressure distribution, for example, FIG. 8 (a) shows. As shown, it is possible to obtain the water pressure distribution of the cutting water acting on the machining point D and its surroundings when the cutting water is injected from the cutting water nozzle 32.
なお、上記の水圧分布の測定に際して、記憶工程と位置変更工程とを繰り返し行うにあたり、記憶工程においては、切削水ノズル32から、毎度同じ流量(例えば本実施形態では1.0L/min)の切削水を噴出することによって、正しく水圧分布を測定することができる。 In the measurement of the water pressure distribution described above, when the storage step and the position change step are repeatedly performed, in the storage step, cutting at the same flow rate (for example, 1.0 L / min in this embodiment) is performed from the cutting water nozzle 32 each time. By ejecting water, the water pressure distribution can be measured correctly.
水圧分布の測定においては、例えば、切削水ノズル32と伝達針83との相対移動のピッチを小さくして、切削水ノズル32と伝達針83との相対位置を細かく変えながら、切削水ノズル32から切削水を噴出させて伝達針83の振動の振幅を測定することによって、加工点Dの周囲におけるより多くの箇所の水圧を測定することができる。これによって加工点Dの周囲の水圧をより細かくプロットすることができ、より詳しい水圧分布がわかるようになる。 In the measurement of the water pressure distribution, for example, the relative movement pitch between the cutting water nozzle 32 and the transmission needle 83 is reduced, and the relative position between the cutting water nozzle 32 and the transmission needle 83 is finely changed from the cutting water nozzle 32. By ejecting cutting water and measuring the vibration amplitude of the transmission needle 83, it is possible to measure the water pressure at more points around the machining point D. As a result, the water pressure around the processing point D can be plotted in more detail, and a more detailed water pressure distribution can be known.
図8(a)は、マス目に対して色付けされている部分のうち、その部分の色が濃い程、その部分に作用する水圧が大きいことを示している。いま、図8(a)においては、そのマス目の色の濃淡の配置が切削ブレード30の中心線(図8におけるX軸)に対して対称ではなく、従って、切削水ノズル32から噴出された切削水が加工点Dの周囲において切削ブレード30の左右に対して均等に供給されていない。 FIG. 8A shows that the darker the color of the portion colored with respect to the squares, the greater the water pressure acting on that portion. Now, in FIG. 8A, the arrangement of the shades of color of the squares is not symmetrical with respect to the center line of the cutting blade 30 (X-axis in FIG. 8), and is therefore ejected from the cutting water nozzle 32. The cutting water is not evenly supplied to the left and right sides of the cutting blade 30 around the machining point D.
そこで、図8(a)の水圧分布を基にして、例えば、図2に示した切削水ノズル32の噴出方向の変更等の調整を行う。これにより、切削ブレード30の左右に均等に切削水を供給することができるようになる。 Therefore, based on the water pressure distribution shown in FIG. 8A, for example, adjustments such as changing the ejection direction of the cutting water nozzle 32 shown in FIG. 2 are performed. As a result, the cutting water can be evenly supplied to the left and right sides of the cutting blade 30.
なお、図8(b)は、例えば上記の調整を行った後に再び、水圧分布の測定を行った際に得られた切削水の水圧の分布を示している。図8(b)においては、マス目の色の濃淡の配置が、切削ブレード30の中心線(X軸)に対して対称になっており、切削水ノズル32から噴出された切削水が加工点Dの周囲において切削ブレード30の左右に均等に供給されているといえる。 Note that FIG. 8B shows the distribution of the water pressure of the cutting water obtained when, for example, the above adjustment is performed and then the water pressure distribution is measured again. In FIG. 8B, the arrangement of the shades of color of the squares is symmetrical with respect to the center line (X-axis) of the cutting blade 30, and the cutting water ejected from the cutting water nozzle 32 is the processing point. It can be said that the cutting blade 30 is evenly supplied to the left and right around D.
図5及び図6に示した第2測定治具8Aにおいても、上記の第1測定治具8と同様に用いることによって、切削水の水圧分布を測定することができる。
また、第1切削手段3aに備える切削ブレード30や切削水ノズル32にかえて、第2切削手段3bに備える切削水ノズル32を用いて水圧分布の測定を行うこともできる。かかる場合においても、同様に、得られた水圧分布に基づいてブレードカバー31の形状の変更や切削水ノズル32の噴出方向の変更等の調整を行って、切削ブレード30の左右に均等に切削水を供給することができる。
The second measuring jig 8A shown in FIGS. 5 and 6 can also measure the water pressure distribution of the cutting water by using it in the same manner as the first measuring jig 8 described above.
Further, instead of the cutting blade 30 and the cutting water nozzle 32 provided in the first cutting means 3a, the water pressure distribution can be measured by using the cutting water nozzle 32 provided in the second cutting means 3b. Similarly, even in such a case, the shape of the blade cover 31 is changed and the ejection direction of the cutting water nozzle 32 is changed based on the obtained water pressure distribution to adjust the cutting water evenly on the left and right sides of the cutting blade 30. Can be supplied.
1:切削装置 10:ベース 11:門型コラム 12:第1柱部 13:第2柱部
14:架設部 2:チャックテーブル 20:吸引部 20a:上面 21:枠体
22:基台 22a:基台の上面 23:吸引源
24:吸引路 26:ケーシング 27:クランプ
3a:第1切削手段 3b:第2切削手段 30:切削ブレード 300:フランジ
301:切り刃 表面:301a 301b:裏面
31:ブレードカバー 32:切削水ノズル 320:切削水ホース
321:切削水噴出口 322:方向調整部材
33:冷却水ノズル 330:冷却水ホース 331:冷却水噴出口
34:アライメント手段 36:ハウジング
4a:第1Y軸移動手段 4b:第2Y軸移動手段 40:ボールネジ
41:ガイドレール 42:Y軸モータ 43:移動基台 45:回転軸
5a:第1Z軸移動手段 5b:第2Z軸移動手段 50:ボールネジ
51:ガイドレール 52:Z軸モータ 53:昇降板 55:回転軸
7:X軸移動手段 70:ボールネジ 71:ガイドレール 72:X軸モータ
73:可動板 75:回転軸
8:第1測定治具 80:下台 80a:上面 80b:装着面 81:側部
82:振動検知部 83:伝達針 84:上板 840:開口 841:防振材
8A:第2測定治具 81A:側部 82A:振動検知部
83A:伝達針 84A:上板 840A:開口 841A:第1防振材
88A:第1下台 88B:第2下台 880B:第2開口 881B:第2防振材
9:制御手段 90:位置変更手段 91:記憶部
W:被加工物 Wa:被加工物の上面 Wb:被加工物の下面
S:分割予定ライン C:デバイスチップ D:加工点 F:フレーム
1: Cutting device 10: Base 11: Gate type column 12: First pillar part 13: Second pillar part 14: Elevation part 2: Chuck table 20: Suction part 20a: Top surface 21: Frame body 22: Base 22a: Base Top surface of table 23: Suction source 24: Suction path 26: Casing 27: Clamp 3a: First cutting means 3b: Second cutting means 30: Cutting blade 300: Flange 301: Cutting edge Surface: 301a 301b: Back surface 31: Blade cover 32: Cutting water nozzle 320: Cutting water hose 321: Cutting water spout 322: Direction adjusting member 33: Cooling water nozzle 330: Cooling water hose 331: Cooling water spout 34: Alignment means 36: Housing 4a: First Y-axis movement Means 4b: 2nd Y-axis moving means 40: Ball screw 41: Guide rail 42: Y-axis motor 43: Moving base 45: Rotating shaft 5a: 1st Z-axis moving means 5b: 2nd Z-axis moving means 50: Ball screw 51: Guide rail 52: Z-axis motor 53: Elevating plate 55: Rotating shaft 7: X-axis moving means 70: Ball screw 71: Guide rail 72: X-axis motor 73: Movable plate 75: Rotating shaft 8: First measuring jig 80: Lower stand 80a : Top surface 80b: Mounting surface 81: Side part 82: Vibration detection part 83: Transmission needle 84: Top plate 840: Opening 841: Anti-vibration material 8A: Second measuring jig 81A: Side part 82A: Vibration detection part 83A: Transmission Needle 84A: Upper plate 840A: Opening 841A: First vibration isolator 88A: First lower stand 88B: Second lower stand 880B: Second opening 881B: Second vibration isolator 9: Control means 90: Position changing means 91: Storage unit W: Work piece Wa: Top surface of work piece Wb: Bottom surface of work piece S: Scheduled division line C: Device chip D: Machining point F: Frame
Claims (3)
該基台に装着される装着面を有する下台と、
該下台の上面から立設する側部と、
該下台の中央に配設される振動検知部と、
該振動検知部から立設する伝達針と、
該伝達針の先端を露出させる開口を有し、該側部との間に防振材を介在させ該下台に平行に配置される上板と、を備え、
該切削水ノズルから噴出される該切削水が当たって振動する該伝達針の振幅を該振動検知部において測定する、
測定治具。 In a cutting device that ejects cutting water from a cutting water nozzle and uses a rotating cutting blade to cut a workpiece held on a chuck table mounted on a base, the base is used instead of the chuck table. It is a measuring jig that measures the water pressure when the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits the upper surface of the work piece.
A lower base having a mounting surface to be mounted on the base, and
The side part that stands up from the upper surface of the lower stand and
A vibration detection unit arranged in the center of the lower platform,
A transmission needle erected from the vibration detection unit and
It has an opening for exposing the tip of the transmission needle, and has an upper plate arranged in parallel with the lower base with a vibration isolator interposed between the transmission needle and the side portion.
The vibration detection unit measures the amplitude of the transmission needle that vibrates when the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits it.
Measurement jig.
該切削装置は、該基台の内部における中央に、該振動検知部を備えており、
該基台に装着される下台と、
該下台の中心から立設される伝達針と、
該基台の上面に装着され、該下台を囲繞する側部と、
該伝達針の先端を露出させる開口を有し、該側部との間に防振材を介在させ該基台の上面に平行に配設される上板と、を備え、
該切削水ノズルから噴出される該切削水が当たって振動する該伝達針の振幅を該振動検知部において測定する、測定治具。 In a cutting device that ejects cutting water from a cutting water nozzle and uses a rotating cutting blade to cut a workpiece held on a chuck table mounted on a base, the base is used instead of the chuck table. It is a measuring jig that measures the water pressure when the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits the upper surface of the work piece.
The cutting device is provided with the vibration detection unit in the center inside the base.
The lower base attached to the base and the base
A transmission needle erected from the center of the lower platform,
A side portion that is mounted on the upper surface of the base and surrounds the lower base, and
It is provided with an opening for exposing the tip of the transmission needle, an upper plate having an anti-vibration material interposed between the transmission needle and the side portion, and an upper plate arranged parallel to the upper surface of the base.
A measuring jig that measures the amplitude of the transmission needle that vibrates when the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits the cutting water nozzle at the vibration detection unit.
該チャックテーブルが取り外された該基台に該測定治具を装着する治具装着工程と、
該切削水ノズルから噴出された切削水が該伝達針の先端に当たり該振動検知部が検知した振幅と、該チャックテーブルの上面のXY座標と、を対応付けて記憶部に記憶させる記憶工程と、
該切削水ノズルと該伝達針とを水平方向に相対的に所定のピッチで移動させる位置変更工程と、
該記憶工程と該位置変更工程とを繰り返して、該振動検知部が検知した振幅と、XY座標とからXY座標毎の水圧分布を描く水圧分布形成工程と、を備える水圧分布の測定方法。 A method for measuring the hydraulic pressure distribution, which measures the hydraulic pressure distribution of the cutting water ejected from the cutting water nozzle around the machining point where the cutting blade cuts the workpiece by using the measuring jig according to the first or second aspect. And
A jig mounting process for mounting the measuring jig on the base from which the chuck table has been removed, and a jig mounting process.
A storage step in which the cutting water ejected from the cutting water nozzle hits the tip of the transmission needle and the amplitude detected by the vibration detection unit and the XY coordinates of the upper surface of the chuck table are associated and stored in the storage unit.
A position changing step of moving the cutting water nozzle and the transmission needle relatively at a predetermined pitch in the horizontal direction, and
A method for measuring a water pressure distribution, comprising repeating the storage step and the position changing step, and drawing a water pressure distribution for each XY coordinate from the amplitude detected by the vibration detection unit and the XY coordinates.
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