JP2021024040A - Belt conveyance type polishing device - Google Patents

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Yusuke Okuno
祐介 奥野
博明 奥野
Hiroaki Okuno
博明 奥野
達徳 大西
Tatsunori Onishi
達徳 大西
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Abstract

To stabilize tension applied to a belt.SOLUTION: A belt conveyance type polishing device (1) includes: a belt (2) which rotates in a predetermined direction and conveys substrates (S); a first polishing head (7a) and a second polishing head (7b) which polish a surface of each substrate (S) conveyed by the belt (2); a driving roller (3) which is located at a downstream side end part with respect to a conveyance direction of the substrates (S) on an inner peripheral surface of the belt (2) and rotationally drives the belt (2); a driving motor (4) which rotates the driving roller (3); a driven roller (5) which is located at an upstream side end part with respect to the conveyance direction of the substrate (S) on the inner peripheral surface of the belt (2) and rotates following the belt (2); and a brake motor (6) which applies torque to the driven roller (5) in a direction opposite to a rotation direction in which the driven roller (5) follows the belt (2).SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ベルト搬送式研磨装置に関する。 The present invention relates to a belt transport type polishing apparatus.

カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタを作成するために、ガラス基板上にブラックマトリクス等の各種皮膜を形成する技術が従来技術として知られている。ここで、上記皮膜の膜厚が不均一である場合、カラーフィルタの表面に段差が生じることがある。 In order to create a color filter used in a color liquid crystal display device, a technique of forming various films such as a black matrix on a glass substrate is known as a conventional technique. Here, if the film thickness of the film is not uniform, a step may occur on the surface of the color filter.

このような段差を除去するために、カラーフィルタを搬送しつつ研磨ヘッドを移動させることによって表面を研磨するベルト搬送式研磨装置が用いられている。ベルト搬送式研磨装置では、ベルトにかかるテンションを安定させることが重要である。 In order to remove such a step, a belt transport type polishing device that polishes the surface by moving the polishing head while transporting the color filter is used. In a belt transport type polishing device, it is important to stabilize the tension applied to the belt.

例えば、特許文献１に記載の技術では、用紙を搬送する搬送コンベアにおいて、搬送方向の上流側に搬送ベルトを回転させる駆動ローラを備え、搬送方向の下流側に搬送ベルトに従動する従動ローラを備えている。そして、従動ローラに回転抵抗を付与することによりベルトにかかるテンションを設定している。 For example, in the technique described in Patent Document 1, in a transport conveyor that transports paper, a drive roller that rotates a transport belt is provided on the upstream side in the transport direction, and a driven roller that follows the transport belt is provided on the downstream side in the transport direction. ing. Then, the tension applied to the belt is set by applying a rotational resistance to the driven roller.

特開２０１１−２５３３７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-25337

ここで、一般的なベルト搬送式研磨装置では、研磨を行う研磨ヘッドが移動する方向は一方向ではない。例えば、研磨ヘッドは、カラーフィルタの表面に対して平行な面において円を描くように移動する。ベルト搬送式研磨装置がカラーフィルタを搬送する方向に対して反対方向に移動するとき、つまり研磨ヘッドによってベルトが引っ張られるとき、ベルトにかかるテンションが変動するため、ベルトにたわみが生じることがある。このようなたわみが生じた場合、カラーフィルタに不要の力が印加されるため、カラーフィルタが正常に搬送されなくなる、またはカラーフィルタが破損する可能性があるという問題がある。 Here, in a general belt transport type polishing device, the direction in which the polishing head for polishing moves is not one direction. For example, the polishing head moves in a circular motion on a plane parallel to the surface of the color filter. When the belt transfer type polishing device moves in the direction opposite to the direction in which the color filter is conveyed, that is, when the belt is pulled by the polishing head, the tension applied to the belt fluctuates, which may cause the belt to bend. When such deflection occurs, an unnecessary force is applied to the color filter, so that there is a problem that the color filter may not be conveyed normally or the color filter may be damaged.

特許文献１の記載の搬送コンベアは、搬送方向の上流側に駆動ローラが備えられているため、印字を行うための用紙等軽いものであれば問題なく搬送できるが、カラーフィルタを搬送する場合、カラーフィルタの重量によってベルトにたわみが生じる。そのため、ベルトにかかるテンションを安定させることができない。 Since the transport conveyor described in Patent Document 1 is provided with a drive roller on the upstream side in the transport direction, any light material such as paper for printing can be transported without any problem, but when transporting a color filter, The weight of the color filter causes the belt to bend. Therefore, the tension applied to the belt cannot be stabilized.

本発明の一態様は、ベルトにかかるテンションを安定させることができるベルト搬送式研磨装置を実現することを目的とする。 One aspect of the present invention is to realize a belt transport type polishing apparatus capable of stabilizing the tension applied to the belt.

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るベルト搬送式研磨装置は、所定の方向に回転し、基板を搬送する搬送ベルトと、前記搬送ベルトによって搬送されている前記基板の表面を研磨する研磨部と、前記搬送ベルトの内周面において前記基板の搬送方向に対して下流側の端部に位置し、回転することにより前記搬送ベルトを回転駆動させる駆動ローラと、前記駆動ローラを回転させる駆動部と、前記搬送ベルトの内周面において前記基板の搬送方向に対して上流側の端部に位置し、前記搬送ベルトに従動して回転する従動ローラと、前記従動ローラに対して、前記搬送ベルトに従動する回転方向とは逆向きにトルクを印加するトルク印加部と、を備える。 In order to solve the above problems, the belt transport type polishing apparatus according to one aspect of the present invention has a transport belt that rotates in a predetermined direction to transport the substrate and a surface of the substrate that is conveyed by the transport belt. A polishing portion for polishing the conveyor belt, a drive roller located at an end on the inner peripheral surface of the conveyor belt on the downstream side with respect to the transport direction of the substrate, and a drive roller for rotationally driving the conveyor belt by rotation, and the drive roller. With respect to the drive unit for rotating the conveyor belt, the driven roller located at the end on the inner peripheral surface of the conveyor belt on the upstream side with respect to the transport direction of the substrate, and rotating in accordance with the conveyor belt, and the driven roller. The belt is provided with a torque applying portion that applies torque in the direction opposite to the direction of rotation that follows the conveyor belt.

本発明の一態様によれば、ベルトにかかるテンションを安定させることができる。 According to one aspect of the present invention, the tension applied to the belt can be stabilized.

本発明の実施形態１に係るベルト搬送式研磨装置の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the belt transport type polishing apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図１に示すベルト搬送式研磨装置のＡ−Ａ´線矢視断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line AA'of the belt transport type polishing apparatus shown in FIG. 符号１００１が示すグラフは、時間と、第１研磨ヘッドが基板に対して垂直方向に印加する力との関係を示すグラフである。符号１００２が示すグラフは、時間と、駆動モータが駆動ローラに印加するトルクとの関係を示すグラフである。符号１００３が示すグラフは、時間と、ブレーキモータが従動ローラに印加するトルクとの関係を示すグラフである。The graph indicated by reference numeral 1001 is a graph showing the relationship between time and the force applied by the first polishing head in the direction perpendicular to the substrate. The graph indicated by reference numeral 1002 is a graph showing the relationship between time and the torque applied to the drive roller by the drive motor. The graph indicated by reference numeral 1003 is a graph showing the relationship between time and the torque applied to the driven roller by the brake motor. ベルト搬送式研磨装置が備える第１研磨ヘッドの変形例である研磨ヘッドの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the polishing head which is a modification of the 1st polishing head provided in the belt transport type polishing apparatus.

〔実施形態１〕
＜ベルト搬送式研磨装置１の構成＞
以下、本発明の一実施形態について、図１および図２を用いて詳細に説明する。図１は、本実施形態に係るベルト搬送式研磨装置１の構成を示す概略図である。なお、図１は、ベルト搬送式研磨装置１を鉛直上方向（図１に示す＋Ｚ軸方向）から見た図である。図２は、図１に示すベルト搬送式研磨装置１のＡ−Ａ´線矢視断面図である。図１および図２に示すように、ベルト搬送式研磨装置１は、ベルト２（搬送ベルト）、駆動ローラ３、駆動モータ４（駆動部）、従動ローラ５、ブレーキモータ６（トルク印加部）、第１研磨ヘッド７ａ（研磨部）および第２研磨ヘッド７ｂ（研磨部）を備える。ベルト搬送式研磨装置１は、駆動ローラ３の回転によりベルト２上に載置された基板を図１において矢印５０で示す方向に搬送し、第１研磨ヘッド７ａ（または第２研磨ヘッド７ｂ）によって研磨する装置である。基板とは、ガラス基板上に各種皮膜を形成したカラーフィルタ等である。以下、ベルト２が基板を搬送する方向を搬送方向と称する。 [Embodiment 1]
<Structure of belt transport type polishing device 1>
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a schematic view showing the configuration of the belt transport type polishing apparatus 1 according to the present embodiment. Note that FIG. 1 is a view of the belt transport type polishing device 1 as viewed from the vertically upward direction (+ Z axis direction shown in FIG. 1). FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA'of the belt transport type polishing apparatus 1 shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the belt transport type polishing device 1 includes a belt 2 (conveyor belt), a drive roller 3, a drive motor 4 (drive unit), a driven roller 5, a brake motor 6 (torque application unit), and the like. A first polishing head 7a (polishing portion) and a second polishing head 7b (polishing portion) are provided. The belt transport type polishing device 1 transports the substrate mounted on the belt 2 by the rotation of the drive roller 3 in the direction indicated by the arrow 50 in FIG. 1, and is driven by the first polishing head 7a (or the second polishing head 7b). It is a device for polishing. The substrate is a color filter or the like in which various films are formed on a glass substrate. Hereinafter, the direction in which the belt 2 conveys the substrate is referred to as a conveying direction.

ベルト２は、基板を搬送するための環状のベルトであり、駆動ローラ３および従動ローラ５によって張架されている。ベルト２は、駆動ローラ３が回転することにより、所定の方向（図２における反時計回り）に回転することで基板Ｓを搬送する。ベルト２は、例えばシームレスベルトであってもよいし、シームドベルトであってもよい。 The belt 2 is an annular belt for transporting a substrate, and is stretched by a driving roller 3 and a driven roller 5. The belt 2 conveys the substrate S by rotating in a predetermined direction (counterclockwise in FIG. 2) by rotating the drive roller 3. The belt 2 may be, for example, a seamless belt or a seamed belt.

駆動ローラ３は、ベルト２の内周面において搬送方向に対して下流側の端部に設けられているローラであり、駆動モータ４によって図２における反時計回り（以下、回転方向）にトルクを印加されることにより所定の方向（図２における反時計回り）に回転する。駆動ローラ３とベルト２とが接触する面にはゴムが備えられており、駆動ローラ３が空回りすることを防止している。 The drive roller 3 is a roller provided at an end on the inner peripheral surface of the belt 2 on the downstream side with respect to the transport direction, and the drive motor 4 applies torque counterclockwise (hereinafter, rotational direction) in FIG. When applied, it rotates in a predetermined direction (counterclockwise in FIG. 2). Rubber is provided on the surface where the drive roller 3 and the belt 2 come into contact with each other to prevent the drive roller 3 from idling.

駆動モータ４は、回転方向トルクを印加することで駆動ローラ３を所定の方向に回転させるためのモータである。駆動モータ４では、第１研磨ヘッド７ａまたは第２研磨ヘッド７ｂの動きに同期するように印加するトルクが変動する（詳細は後述する）。また、駆動モータ４と駆動ローラ３との間には、減速機１０が設けられており、駆動ローラ３は駆動モータ４および減速機１０によって、外力に拘わらず所望の回転速度（例えば、一定の速度）で回転することができる。なお、前記外力とは、例えば、第１研磨ヘッド７ａまたは第２研磨ヘッド７ｂによるベルト２に対する押圧力を意味する。 The drive motor 4 is a motor for rotating the drive roller 3 in a predetermined direction by applying torque in the rotation direction. In the drive motor 4, the torque applied in synchronization with the movement of the first polishing head 7a or the second polishing head 7b fluctuates (details will be described later). Further, a speed reducer 10 is provided between the drive motor 4 and the drive roller 3, and the drive roller 3 is subjected to a desired rotation speed (for example, a constant speed) by the drive motor 4 and the speed reducer 10 regardless of an external force. It can rotate at speed). The external force means, for example, a pressing force on the belt 2 by the first polishing head 7a or the second polishing head 7b.

従動ローラ５は、ベルト２の内周面において搬送方向に対して上流側の端部に設けられているローラである。従動ローラ５は、駆動ローラ３が回転することによるベルト２の回転に伴い駆動ローラ３と同じ方向に回転する。すなわち、従動ローラ５は、ベルト２に従動して回転する。一方、従動ローラ５はブレーキモータ６により回転方向とは逆方向（以下、逆回転方向）にトルクを印加されるため、ベルト２に搬送方向と反対方向のテンションを印加する。 The driven roller 5 is a roller provided at an end portion on the inner peripheral surface of the belt 2 on the upstream side with respect to the transport direction. The driven roller 5 rotates in the same direction as the drive roller 3 as the belt 2 rotates due to the rotation of the drive roller 3. That is, the driven roller 5 is driven by the belt 2 to rotate. On the other hand, since the driven roller 5 applies torque in the direction opposite to the rotation direction (hereinafter, the reverse rotation direction) by the brake motor 6, tension is applied to the belt 2 in the direction opposite to the transport direction.

ブレーキモータ６は、従動ローラ５に対して従動ローラ５がベルト２に従動回転する方向とは逆向きにトルクを印加するための従動モータである。ブレーキモータ６は、前記外力に拘わらず常に一定の大きさのトルクを従動ローラ５に印加することで、従動ローラ５を駆動させる、または制動することができる。また、従動ローラ５とブレーキモータ６との間には、減速機１１が設けられており、従動ローラ５はブレーキモータ６および減速機１１によって所望の回転速度で回転することができる。ブレーキモータ６としては、例えばサーボモータを用いることができる。 The brake motor 6 is a driven motor for applying torque to the driven roller 5 in the direction opposite to the direction in which the driven roller 5 is driven to rotate the belt 2. The brake motor 6 can drive or brake the driven roller 5 by constantly applying a torque of a constant magnitude to the driven roller 5 regardless of the external force. Further, a speed reducer 11 is provided between the driven roller 5 and the brake motor 6, and the driven roller 5 can be rotated at a desired rotation speed by the brake motor 6 and the speed reducer 11. As the brake motor 6, for example, a servo motor can be used.

図１および図２に示すように、ベルト搬送式研磨装置１は、第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂを備えている。第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂは、同一の部材であるため、以下第１研磨ヘッド７ａについてのみ説明する。第１研磨ヘッド７ａは、不図示の砥石および圧力チューブを備えている。ベルト２によって基板Ｓが搬送され、基板Ｓの端部が第１研磨ヘッド７ａの直下に差し掛かったとき、第１研磨ヘッド７ａは圧力チューブによって砥石に圧力を印加する。これにより、第１研磨ヘッド７ａは、基板Ｓを押圧する。このとき、基板Ｓは支持部８によって下方より支持されている。第１研磨ヘッド７ａは、基板Ｓを押圧しながら円を描くように稼働する（回動する）ことにより、基板Ｓの表面を研磨する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the belt transport type polishing device 1 includes a first polishing head 7a and a second polishing head 7b. Since the first polishing head 7a and the second polishing head 7b are the same member, only the first polishing head 7a will be described below. The first polishing head 7a includes a grindstone and a pressure tube (not shown). When the substrate S is conveyed by the belt 2 and the end portion of the substrate S approaches directly below the first polishing head 7a, the first polishing head 7a applies pressure to the grindstone by the pressure tube. As a result, the first polishing head 7a presses the substrate S. At this time, the substrate S is supported from below by the support portion 8. The first polishing head 7a polishes the surface of the substrate S by operating (rotating) in a circular motion while pressing the substrate S.

上述したように、本実施形態においてベルト搬送式研磨装置１は第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂを備えている。ベルト搬送式研磨装置１が湿式の研磨装置であり、複数の基板Ｓを連続して研磨する場合、第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂは、交互に使用される。具体的には、第１研磨ヘッド７ａは１枚目の基板Ｓを研磨した後、研削液等を落とすために洗浄される。このとき、第２研磨ヘッド７ｂは２枚目の基板Ｓを研磨する。第２研磨ヘッド７ｂが２枚目の基板Ｓを研磨した後洗浄されている間、第１研磨ヘッド７ａは３枚目の基板Ｓを研磨することができる。 As described above, in the present embodiment, the belt transfer type polishing device 1 includes a first polishing head 7a and a second polishing head 7b. When the belt transfer type polishing device 1 is a wet polishing device and continuously polishes a plurality of substrates S, the first polishing head 7a and the second polishing head 7b are used alternately. Specifically, the first polishing head 7a is cleaned to remove the grinding liquid and the like after polishing the first substrate S. At this time, the second polishing head 7b polishes the second substrate S. While the second polishing head 7b is cleaned after polishing the second substrate S, the first polishing head 7a can polish the third substrate S.

＜ベルト搬送式研磨装置１の動作の一例＞
以下、本実施形態に係るベルト搬送式研磨装置１の動作の一例について図３を用いて説明する。図３の符号１００１が示すグラフは、時間と、第１研磨ヘッド７ａが基板Ｓに対して垂直方向に印加する力との関係を示すグラフである。図３の符号１００２が示すグラフは、時間と、駆動モータ４が駆動ローラ３に印加するトルクとの関係を示すグラフである。図３の符号１００３が示すグラフは、時間と、ブレーキモータ６が従動ローラ５に印加するトルクとの関係を示すグラフである。 <Example of operation of belt transport type polishing device 1>
Hereinafter, an example of the operation of the belt transport type polishing apparatus 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. The graph indicated by reference numeral 1001 in FIG. 3 is a graph showing the relationship between time and the force applied by the first polishing head 7a in the direction perpendicular to the substrate S. The graph indicated by reference numeral 1002 in FIG. 3 is a graph showing the relationship between time and the torque applied to the drive roller 3 by the drive motor 4. The graph indicated by reference numeral 1003 in FIG. 3 is a graph showing the relationship between time and the torque applied to the driven roller 5 by the brake motor 6.

ベルト搬送式研磨装置１を用いた研磨では、まずベルト２上の第１研磨ヘッド７ａよりも搬送方向上流側に基板Ｓが載置される。次に、駆動モータ４が回転し、図３の符号１００２に示すように駆動ローラ３に対して回転方向にトルクを印加する。駆動ローラ３は回転方向にトルクを印加されることにより回転し、ベルト２を回転させる。ベルト２は回転することで基板Ｓを搬送方向に搬送する。また駆動モータ４が回転するのと同時にブレーキモータ６も駆動モータ４の逆方向に回転し、図３の符号１００３に示すように従動ローラ５に一定の大きさのトルクを印加する。従動ローラ５は、ベルト２の回転に従動して回転しつつ、ブレーキモータ６により印加されるトルクによりベルト２を搬送方向の逆方向に牽引する。すなわち、従動ローラ５によってベルト２にテンションがかかる。 In polishing using the belt transport type polishing device 1, the substrate S is first placed on the upstream side of the first polishing head 7a on the belt 2 in the transport direction. Next, the drive motor 4 rotates, and torque is applied to the drive roller 3 in the rotational direction as shown by reference numeral 1002 in FIG. The drive roller 3 rotates by applying torque in the rotation direction, and rotates the belt 2. The belt 2 rotates to convey the substrate S in the conveying direction. Further, at the same time as the drive motor 4 rotates, the brake motor 6 also rotates in the opposite direction of the drive motor 4, and a torque of a certain magnitude is applied to the driven roller 5 as shown by reference numeral 1003 in FIG. The driven roller 5 is driven by the rotation of the belt 2 to rotate, and pulls the belt 2 in the direction opposite to the transport direction by the torque applied by the brake motor 6. That is, tension is applied to the belt 2 by the driven roller 5.

基板Ｓの第１研磨ヘッド７ａに近い方の端部が第１研磨ヘッド７ａの直下に差し掛かった時（図３の符号３０に示す時間）、第１研磨ヘッド７ａは圧力チューブを用いて砥石に圧力を印加し、砥石は基板Ｓに接触する。すなわち、第１研磨ヘッド７ａは基板Ｓをベルト２に向けて押圧する。次に、第１研磨ヘッド７ａは、基板Ｓに接触した状態において回動を始める。ここで、図３の符号１００２に示すように、駆動モータ４は第１研磨ヘッド７ａの動きに同期するように印加するトルクを増減させる。具体的には、第１研磨ヘッド７ａが搬送方向上流側に移動するとき駆動モータ４が印加するトルクは増加し、第１研磨ヘッド７ａが搬送方向下流側に移動するとき駆動モータ４が印加するトルクは減少する。 When the end of the substrate S closer to the first polishing head 7a approaches directly below the first polishing head 7a (time shown by reference numeral 30 in FIG. 3), the first polishing head 7a is turned into a grindstone using a pressure tube. When pressure is applied, the grindstone comes into contact with the substrate S. That is, the first polishing head 7a presses the substrate S toward the belt 2. Next, the first polishing head 7a starts rotating in a state of being in contact with the substrate S. Here, as shown by reference numeral 1002 in FIG. 3, the drive motor 4 increases or decreases the torque applied so as to be synchronized with the movement of the first polishing head 7a. Specifically, the torque applied by the drive motor 4 increases when the first polishing head 7a moves upstream in the transport direction, and the drive motor 4 applies when the first polishing head 7a moves downstream in the transport direction. Torque is reduced.

第１研磨ヘッド７ａが回動することにより、ベルト２には搬送方向または搬送方向の反対方向に向けた力が印加される。図３の符号１００２に示すように、駆動モータ４は、ベルト２に搬送方向に向けた力が印加されるときには、印加するトルクを減少させる。一方、ベルト２に搬送方向の反対方向に向けた力が印加されるときには、駆動モータ４が印加するトルクを増加させる。この結果、第１研磨ヘッド７ａの回転で印加された力によらず、基板Ｓを一定速度で搬送することができる。これによって同一の精度で基板Ｓの全体を研磨することができる。 By rotating the first polishing head 7a, a force is applied to the belt 2 in the transport direction or in the direction opposite to the transport direction. As shown by reference numeral 1002 in FIG. 3, the drive motor 4 reduces the applied torque when a force in the transport direction is applied to the belt 2. On the other hand, when a force is applied to the belt 2 in the direction opposite to the transport direction, the torque applied by the drive motor 4 is increased. As a result, the substrate S can be conveyed at a constant speed regardless of the force applied by the rotation of the first polishing head 7a. As a result, the entire substrate S can be polished with the same accuracy.

基板Ｓ全体が研磨され終えた時（図３の符号４０に示す時間）、図３の符号１００１に示すように、第１研磨ヘッド７ａは砥石に対する圧力の印加を停止する。これにより、ベルト２に対して圧力が印加されなくなり、図３の符号１００２に示すように駆動モータ４が駆動ローラ３に印加するトルクが変動することはなくなる。以上のように、ベルト搬送式研磨装置１は基板Ｓを搬送しつつ基板Ｓの表面を研磨する。 When the entire substrate S has been polished (time indicated by reference numeral 40 in FIG. 3), the first polishing head 7a stops applying pressure to the grindstone, as shown by reference numeral 1001 in FIG. As a result, the pressure is not applied to the belt 2, and the torque applied to the drive roller 3 by the drive motor 4 does not fluctuate as shown by reference numeral 1002 in FIG. As described above, the belt transfer type polishing device 1 polishes the surface of the substrate S while conveying the substrate S.

＜ベルト搬送式研磨装置１の効果＞
本実施形態におけるベルト搬送式研磨装置１は、所定の方向に回転し、基板Ｓを搬送するベルト２と、ベルト２によって搬送されている基板Ｓの表面を押圧しながら回動することにより、基板Ｓの表面を研磨する第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂと、ベルト２の内周面において基板Ｓの搬送方向に対して下流側の端部に位置し、回転することによりベルト２を回転駆動させる駆動ローラ３と、駆動ローラ３を回転させる駆動モータ４と、ベルト２の内周面において基板Ｓの搬送方向に対して上流側の端部に位置し、ベルト２に従動して回転する従動ローラ５と、従動ローラ５に対して、ベルト２に従動する回転方向とは逆方向にトルクを印加するブレーキモータ６と、を備える。 <Effect of belt transport type polishing device 1>
The belt transport type polishing device 1 in the present embodiment rotates in a predetermined direction and rotates while pressing the surfaces of the belt 2 that conveys the substrate S and the substrate S that is conveyed by the belt 2, thereby rotating the substrate. The first polishing head 7a and the second polishing head 7b for polishing the surface of S and the belt 2 are located at the end on the inner peripheral surface of the belt 2 on the downstream side with respect to the transport direction of the substrate S, and rotate to rotate the belt 2. The drive roller 3 for rotational drive, the drive motor 4 for rotating the drive roller 3, and the inner peripheral surface of the belt 2 are located at the end on the upstream side with respect to the transport direction of the substrate S, and rotate according to the belt 2. A driven roller 5 is provided, and a brake motor 6 that applies torque to the driven roller 5 in a direction opposite to the rotation direction driven by the belt 2.

ベルト搬送式研磨装置１は、上記構成を備えることにより、従動ローラ５によってベルト２に回転方向とは逆方向のトルクが印加されるので、基板Ｓと従動ローラ５との間の領域においてベルト２にたわみが生じることを抑制することができる。その結果、ベルト２にかかるテンションを安定させることができる。 Since the belt transport type polishing apparatus 1 is provided with the above configuration, a torque in a direction opposite to the rotation direction is applied to the belt 2 by the driven roller 5, so that the belt 2 is formed in the region between the substrate S and the driven roller 5. It is possible to suppress the occurrence of bending. As a result, the tension applied to the belt 2 can be stabilized.

また、本実施形態におけるブレーキモータ６は、従動ローラ５に対して一定の大きさのトルクを印加する。これにより、基板Ｓと従動ローラ５との間の領域においてベルト２にたわみが生じることをさらに抑制することができ、ベルト２にかかるテンションをさらに安定させることができる。 Further, the brake motor 6 in the present embodiment applies a certain amount of torque to the driven roller 5. As a result, it is possible to further suppress the occurrence of deflection of the belt 2 in the region between the substrate S and the driven roller 5, and it is possible to further stabilize the tension applied to the belt 2.

また、本実施形態におけるベルト搬送式研磨装置１は、第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂを備えている。第１研磨ヘッド７ａと第２研磨ヘッド７ｂとを交互に用いて研磨を行うことにより、ベルト搬送式研磨装置１の処理能力を向上させることができる。 Further, the belt transfer type polishing device 1 in the present embodiment includes a first polishing head 7a and a second polishing head 7b. By performing polishing by alternately using the first polishing head 7a and the second polishing head 7b, the processing capacity of the belt transport type polishing device 1 can be improved.

なお、本発明の一態様のベルト搬送式研磨装置では、第１研磨ヘッド７ａ（または第２研磨ヘッド７ｂ）のみを備える構成としてもよい。その場合、ベルト搬送式研磨装置１の構成を簡略化することができる。 The belt transport type polishing apparatus according to one aspect of the present invention may be configured to include only the first polishing head 7a (or the second polishing head 7b). In that case, the configuration of the belt transport type polishing device 1 can be simplified.

また、本実施形態のベルト搬送式研磨装置１は、駆動ローラ３を駆動させる駆動部（駆動モータ４）、および従動ローラ５に一定のトルクを印加する駆動部（ブレーキモータ６）として、モータを用いる構成であった。しかしながら、本発明のベルト搬送式研磨装置１はこれに限られず、上述の目的を達成することができるものであれば、上述の駆動部として他の駆動部を用いてもよい。 Further, the belt transport type polishing device 1 of the present embodiment uses a motor as a drive unit (drive motor 4) for driving the drive roller 3 and a drive unit (brake motor 6) for applying a constant torque to the driven roller 5. It was a configuration to be used. However, the belt transport type polishing apparatus 1 of the present invention is not limited to this, and another drive unit may be used as the drive unit as long as the above object can be achieved.

また、本実施形態のベルト搬送式研磨装置１では、第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂがベルト２によって搬送されている基板Ｓの表面を押圧しながら回動することにより、基板Ｓの表面を研磨する態様であったが、本発明はこれに限られない。本発明の一態様のベルト搬送式研磨装置では、第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂがベルト２によって搬送されている基板Ｓの表面を押圧しながら、基板Ｓの搬送方向に沿った方向において往復することにより基板Ｓの表面を研磨してもよい。この場合においても、従動ローラ５によってベルト２に回転方向とは逆方向のトルクが印加されるので、基板Ｓと従動ローラ５との間の領域においてベルト２にたわみが生じることを抑制することができる。 Further, in the belt transport type polishing apparatus 1 of the present embodiment, the first polishing head 7a and the second polishing head 7b rotate while pressing the surface of the substrate S transported by the belt 2, thereby causing the substrate S to rotate. Although it was an embodiment of polishing the surface, the present invention is not limited to this. In the belt transport type polishing apparatus according to one aspect of the present invention, the first polishing head 7a and the second polishing head 7b press the surface of the substrate S transported by the belt 2 in a direction along the transport direction of the substrate S. The surface of the substrate S may be polished by reciprocating in. Also in this case, since torque is applied to the belt 2 by the driven roller 5 in the direction opposite to the rotation direction, it is possible to suppress the occurrence of deflection of the belt 2 in the region between the substrate S and the driven roller 5. it can.

〔変形例〕
以下、第１研磨ヘッド７ａの変形例について図４を用いて説明する。図４は、ベルト搬送式研磨装置１が備える第１研磨ヘッド７ａの変形例としての研磨ヘッド２０（研磨部）の構成を示す断面図である。第１研磨ヘッド７ａの砥石は、基板Ｓを研磨する面（研磨面）に対して平行であることが重要である。砥石が研磨面に対して平行でない場合、基板Ｓの表面が研磨される量が位置によって異なり、研磨が不足している箇所または過剰に研磨してしまう箇所が発生する場合がある。 [Modification example]
Hereinafter, a modified example of the first polishing head 7a will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a configuration of a polishing head 20 (polishing portion) as a modification of the first polishing head 7a included in the belt transport type polishing device 1. It is important that the grindstone of the first polishing head 7a is parallel to the surface (polished surface) for polishing the substrate S. When the grindstone is not parallel to the polished surface, the amount of polishing of the surface of the substrate S varies depending on the position, and there may be a portion where polishing is insufficient or a portion where polishing is excessive.

このようなことを防ぐために、図４に示すように、研磨ヘッド２０は、砥石２１、複数の圧力チューブ２２、および複数の逆圧チューブ２３を備えている。砥石２１は、第１研磨ヘッド７ａおよび第２研磨ヘッド７ｂが備える砥石と同様のものであるため、説明を省略する。 In order to prevent such a situation, as shown in FIG. 4, the polishing head 20 includes a grindstone 21, a plurality of pressure tubes 22, and a plurality of reverse pressure tubes 23. Since the grindstone 21 is the same as the grindstone provided in the first polishing head 7a and the second polishing head 7b, the description thereof will be omitted.

複数の圧力チューブ２２は、砥石２１に圧力を印加することで砥石２１を図４に示す下方向に押し出すためのチューブである。複数の圧力チューブ２２は、それぞれ個別に印加する圧力を調節することが可能である。複数の圧力チューブ２２は、それぞれが適切に圧力を印加することで基板Ｓに対して砥石２１が接触する角度を調節することが可能である。 The plurality of pressure tubes 22 are tubes for pushing the grindstone 21 downward as shown in FIG. 4 by applying pressure to the grindstone 21. The pressure applied to each of the plurality of pressure tubes 22 can be adjusted individually. The angle at which the grindstone 21 contacts the substrate S can be adjusted by appropriately applying pressure to each of the plurality of pressure tubes 22.

複数の逆圧チューブ２３は、砥石２１に圧力チューブ２２が印加する方向とは逆方向の圧力を印加するチューブである。複数の逆圧チューブ２３は、それぞれ個別に印加する圧力を調節することが可能である。それぞれの逆圧チューブ２３が適切に圧力を印加することで、圧力チューブ２２のみによる調節よりも安定的に砥石２１が基板Ｓに接触する角度を調節することが可能である。 The plurality of reverse pressure tubes 23 are tubes that apply pressure to the grindstone 21 in a direction opposite to the direction in which the pressure tube 22 is applied. The pressure applied to each of the plurality of reverse pressure tubes 23 can be adjusted individually. By appropriately applying pressure to each of the back pressure tubes 23, it is possible to adjust the angle at which the grindstone 21 contacts the substrate S more stably than the adjustment by the pressure tube 22 alone.

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims, and the embodiments obtained by appropriately combining the technical means disclosed in the different embodiments. Is also included in the technical scope of the present invention.

１：ベルト式研磨装置
２：ベルト（搬送ベルト）
３：駆動ローラ
４：駆動モータ（駆動部）
５：従動ローラ
６：ブレーキモータ（トルク印加部）
７ａ：第１研磨ヘッド（研磨部）
７ｂ：第２研磨ヘッド（研磨部）
２０：研磨ヘッド（研磨部）
Ｓ：基板 1: Belt type polishing device 2: Belt (conveying belt)
3: Drive roller 4: Drive motor (drive unit)
5: Driven roller 6: Brake motor (torque application part)
7a: First polishing head (polishing part)
7b: Second polishing head (polishing part)
20: Polishing head (polishing part)
S: Substrate

Claims (2)

所定の方向に回転し、基板を搬送する搬送ベルトと、
前記搬送ベルトによって搬送されている前記基板の表面を研磨する研磨部と、
前記搬送ベルトの内周面において前記基板の搬送方向に対して下流側の端部に位置し、回転することにより前記搬送ベルトを回転駆動させる駆動ローラと、
前記駆動ローラを回転させる駆動部と、
前記搬送ベルトの内周面において前記基板の搬送方向に対して上流側の端部に位置し、前記搬送ベルトに従動して回転する従動ローラと、
前記従動ローラに対して、前記搬送ベルトに従動する回転方向とは逆向きにトルクを印加するトルク印加部と、を備えることを特徴とするベルト搬送式研磨装置。 A transport belt that rotates in a predetermined direction and transports the substrate,
A polishing part that polishes the surface of the substrate conveyed by the transfer belt, and
A drive roller located at an end on the inner peripheral surface of the transport belt on the downstream side with respect to the transport direction of the substrate and rotating to drive the transport belt.
The drive unit that rotates the drive roller and
A driven roller located at an end on the inner peripheral surface of the transport belt on the upstream side with respect to the transport direction of the substrate and rotating in accordance with the transport belt.
A belt transport type polishing apparatus comprising: a torque applying portion for applying torque to the driven roller in a direction opposite to the rotation direction driven by the conveyor belt. 前記トルク印加部は、一定の大きさのトルクを印加することを特徴とする請求項１に記載のベルト搬送式研磨装置。 The belt transport type polishing apparatus according to claim 1, wherein the torque applying portion applies a torque having a constant magnitude.
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