JP2021015186A - 光デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
(1)ドライバ基板30に接する辺に沿って形成される入力側ポリマーパターン
(2)入力側ポリマーパターンに接続され、各変調器11〜14の光導波路上に形成されるチャネルポリマーパターン
(3)各チャネルポリマーパターンに接続され、終端基板40に接する辺に沿って形成される出力側ポリマーパターン
図8は、本発明の実施形態に係わる光変調器の一例を示す。なお、光ICチップ10の形状は、図1に示すように、矩形(または、平行四辺形)である。光ICチップ10の表面に形成される光導波路は、図2および図8において実質的に同じである。光ICチップ10の表面に形成されるメタル配線(1、2a、2b等)は、図3および図8において実質的に同じである。ドライバ基板30および終端基板40は、図2〜図4および図8において実質的に同じである。光導波路、メタル配線およびポリマーパターンは、例えば、図5〜図7に示す手順で形成される。図8では、図3に示すワイヤは省略されている。
図9に示す構成では、流入路ポリマーパターン3は、終端辺に沿って形成され、さらに光ICチップ10の側辺に沿って伸びている。すなわち、流入路ポリマーパターン3は、チャネルポリマーパターン4a〜4dと平行な方向にも伸びている。そして、この流入路ポリマーパターン3の先端に、ポリマー流路終端が設けられている。ここで、側辺に沿って形成される流入路ポリマーパターン3の幅および長さは、各チャネルポリマーパターン4a〜4dとほぼ同じである。
上述したように、流入路ポリマーパターン3は、光ICチップ10のドライバ辺または終端辺のいずれか一方に沿って形成される。そして、チャネルポリマーパターン4a〜4dは、流入路ポリマーパターン3に接続している。このため、流入路ポリマーパターン3が形成されない辺の近傍領域には、空きスペースが存在する。
図12は、送受信モジュールを含む光デバイスの一例を示す。光デバイス100は、この実施例では、光源51、送受信パッケージ60、DSP71を備える。送受信パッケージ60は、受信部61、TIA回路62、ドライバ回路63、変調部64を備える。受信部61および変調部64は、例えば、図8または図9に示す光ICチップ10に実装される。変調部64は、例えば、図8または図9に示す構成により実現される。なお、光デバイス100は、図12に示していない要素を備えていてもよい。
3 流入路ポリマーパターン
4a〜4d チャネルポリマーパターン
10 光ICチップ
11〜14 変調器
30 ドライバ基板
40 終端基板
100 光デバイス
Claims (5)
- 矩形または平行四辺形の光ICチップ上に形成される光変調器を含む光デバイスであって、
前記光変調器は、
前記光ICチップの第1の辺から第2の辺に向かって形成される光導波路を含む干渉計と、
前記光導波路に平行に形成されるメタル配線と、
前記第1の辺または前記第2の辺に沿って形成される第1のポリマーと、
前記第1のポリマーに接続し、前記メタル配線に重なることなく前記光導波路上に形成される第2のポリマーと、を備える
ことを特徴とする光デバイス。 - 前記干渉計の入力端が前記第1の辺の近傍に配置され、
前記干渉計の出力端が前記第2の辺の近傍に配置され、
前記第1のポリマーは、前記第2の辺に沿って形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記メタル配線は、
前記光変調器の駆動信号が与えられる第1のメタル配線と、
グランドに接続される第2のメタル配線と、を含み、
前記第1のポリマーは、前記第2の辺に沿って形成され、
前記第1の辺の近傍に配置される、前記第1のメタル配線の先端に設けられるパッドと前記第2のメタル配線の先端に設けられるパッドとの間の間隔は、前記第2の辺の近傍に配置される、前記第1のメタル配線の先端に設けられるパッドと前記第2のメタル配線の先端に設けられるパッドとの間の間隔より狭い
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記メタル配線は、
前記光変調器の駆動信号が与えられる第1のメタル配線と、
グランドに接続される第2のメタル配線と、を含み、
前記第1のポリマーは、前記第2の辺に沿って形成され、
前記干渉計と前記第1の辺との間のフィード領域に形成される、前記第1のメタル配線と前記第2のメタル配線との間の間隔は、前記干渉計と前記第2の辺との間のフィード領域に形成される、前記第1のメタル配線と前記第2のメタル配線との間の間隔より狭い
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記光ICチップ上に光受信器がさらに形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。
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