JP2020532759A - メトロロジ方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2017年9月6日に出願された欧州特許出願第17189662.4号の優先権を主張するものであり、その全体を参照により本明細書に援用する。
A±d=Ksin(OVE±d) (1)
ここで、オーバーレイ誤差OVEは、ターゲットピッチPが角度2πラジアンに対応するようにスケール調整して表される。異なる既知のバイアス(例えば+d及び−d)を有する格子の2つの測定量を使用して、以下の式を用いてオーバーレイ誤差OVEを算出することができる。
A±d=K0+Ksin(OVE±d+φ) (3)
ΔI+=K(OV+d)+ΔIBG (4)
ΔI−=K(OV−d)+ΔIBG (5)
ここで、ΔI−(A−とも同義)及びΔI+(A+とも同義)は、測定された強度非対称性を表し、ΔIBGは、強度非対称性に対する構造的非対称性の寄与である。したがって、オーバーレイ誤差ΔOVは、ΔIBG/Kの関数とみなすことができる。
ΔI+=(K+ΔK)(OV+d) (6)
ΔI−=(K−ΔK)(OV−d) (7)
ここで、ΔKは、スタック差に起因するオーバーレイ感度の差を表す。したがって、オーバーレイ誤差ΔOVは、
1. 1つ又は複数の測定品質パラメータに対して、パターニングプロセスを使用して処理された基板のメトロロジターゲットの測定に関連する複数の偏光特性を評価すること、及び
上記測定品質パラメータの1つ又は複数に基づいて、上記複数の偏光特性から1つ又は複数の偏光特性を選択すること
を含む方法。
2. 上記偏光特性が、偏光角、及び/又は直交偏光成分間の位相差を含む、条項1に記載の方法。
3. 上記偏光角が、上記メトロロジターゲットの上記測定において上記メトロロジターゲットを照明する放射線の偏光角を含む、条項2に記載の方法。
4. 上記偏光角が、上記メトロロジターゲットの上記測定において上記メトロロジターゲットから反射した放射線を検出する検出器の偏光子の偏光角を含む、条項2又は3に記載の方法。
5. 上記偏光特性が、上記メトロロジターゲットの上記測定において上記メトロロジターゲットを照明する放射線の直交偏光間の位相差を含む、条項2〜4の何れか一項に記載の方法。
6. 上記偏光特性が、上記メトロロジターゲットの上記測定において上記メトロロジターゲットから反射した放射線を検出する検出器のリターダによって与えられる位相差を含む、条項2〜5の何れか一項に記載の方法。
7. 上記測定品質パラメータが、スタック感度、オーバーレイ感度、及び回折効率の1つ又は複数を含む、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
8. 上記選択ステップが、上記評価された複数の偏向特性の中から、上記測定品質パラメータの1つ又は複数を最大値又は最小値から特定の有限範囲内にする1つ又は複数の偏光特性を上記複数の偏光特性から選択することを含む、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
9. 上記選択ステップが、上記測定品質パラメータの1つ又は複数を閾値に到達させる上記複数の偏光特性から1つ又は複数の偏光特性を選択することを含む、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
10. 上記選択ステップが、上記測定品質パラメータの上記1つ又は複数を閾値に到達させる上記評価された複数の偏向特性の中から、上記測定品質パラメータの別の1つ又は複数を最大値又は最小値から特定の有限範囲内にする1つ又は複数の偏光特性を上記複数の偏光特性から選択することを含む、条項9に記載の方法。
11. 上記評価ステップが、シミュレーションによって行われる、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
12. 先行する条項の何れか一項に記載の方法で選択された上記1つ又は複数の偏光角に従って、基板でのメトロロジターゲットを測定することを含む測定方法。
13. リソグラフィプロセスのパラメータを測定するためのメトロロジ装置であって、先行する条項の何れか一項に記載の方法を行うように動作可能であるメトロロジ装置。
14. 条項1〜12の何れか一項に記載の方法をプロセッサに行わせるための機械可読命令を含む非一時的なコンピュータプログラム製品。
15. 基板上の2つの隣接する周期構造又は測定ターゲットに放射線のビームを提供し、上記ターゲットによって回折された放射線を検出して、パターニングプロセスのパラメータを決定するように構成された検査装置と、
条項14に記載の非一時的なコンピュータプログラム製品と
を備えるシステム。
16. パターニングデバイスを保持して放射線ビームを変調するように構成された支持構造と、上記変調された放射線ビームを放射線感受性基板に投影するように配置された投影光学システムとを備えるリソグラフィ装置をさらに備える、条項15に記載のシステム。
17. メトロロジ測定を最適化するための方法であって、
条項1〜12の何れか一項に記載の方法、並びに
上記測定品質パラメータの1つ又は複数を最大化するために、上記メトロロジターゲットのピッチ及び他の特徴を選択すること
を含む方法。
Claims (15)
- 1つ又は複数の測定品質パラメータに対して、パターニングプロセスを使用して処理された基板のメトロロジターゲットの測定に関連する複数の偏光特性を評価すること、及び
前記測定品質パラメータの1つ又は複数に基づいて、前記複数の偏光特性から1つ又は複数の偏光特性を選択すること
を含む方法。 - 前記偏光特性が、偏光角、及び/又は直交偏光成分間の位相差を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記偏光角が、前記メトロロジターゲットの前記測定において前記メトロロジターゲットを照明する放射線の偏光角を含む、請求項2に記載の方法。
- 前記偏光角が、前記メトロロジターゲットの前記測定において前記メトロロジターゲットから反射した放射線を検出する検出器の偏光子の偏光角を含む、請求項2又は3に記載の方法。
- 前記偏光特性が、前記メトロロジターゲットの前記測定において前記メトロロジターゲットを照明する放射線の直交偏光間の位相差を含む、請求項2〜4の何れか一項に記載の方法。
- 前記偏光特性が、前記メトロロジターゲットの前記測定において前記メトロロジターゲットから反射した放射線を検出する検出器のリターダによって与えられる位相差を含む、請求項2〜5の何れか一項に記載の方法。
- 前記測定品質パラメータが、スタック感度、オーバーレイ感度、及び回折効率の1つ又は複数を含む、請求項1〜6の何れか一項に記載の方法。
- 前記選択ステップが、前記評価された複数の偏向特性の中から、前記測定品質パラメータの1つ又は複数を最大値又は最小値から特定の有限範囲内にする1つ又は複数の偏光特性を前記複数の偏光特性から選択することを含む、請求項1〜7の何れか一項に記載の方法。
- 前記選択ステップが、前記測定品質パラメータの1つ又は複数を閾値に到達させる前記複数の偏光特性から1つ又は複数の偏光特性を選択することを含む、請求項1〜8の何れか一項に記載の方法。
- 前記選択ステップが、前記測定品質パラメータの前記1つ又は複数を閾値に到達させる前記評価された複数の偏向特性の中から、前記測定品質パラメータの別の1つ又は複数を最大値又は最小値から特定の有限範囲内にする1つ又は複数の偏光特性を前記複数の偏光特性から選択することを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記評価ステップが、シミュレーションによって行われる、請求項1〜10の何れか一項に記載の方法。
- 請求項1〜11の何れか一項に記載の方法で選択された前記1つ又は複数の偏光角に従って、基板でのメトロロジターゲットを測定することを含む測定方法。
- リソグラフィプロセスのパラメータを測定するためのメトロロジ装置であって、請求項1〜12の何れか一項に記載の方法を行うように動作可能であるメトロロジ装置。
- 請求項1〜12の何れか一項に記載の方法をプロセッサに実施させるための機械可読命令を含む、非一時的なコンピュータプログラム製品。
- システムであって、
基板上の2つの隣接する周期構造又は測定ターゲットに放射ビームを提供し、前記ターゲットによって回折された放射を検出してパターニングプロセスのパラメータを決定する検査装置と、
請求項14に記載の非一時的なコンピュータプログラム製品と
を備えるシステム。
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