JP2020514222A - 基材の分離方法 - Google Patents
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims abstract description 169
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 122
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 82
- 230000006378 damage Effects 0.000 claims abstract description 72
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 67
- 230000035882 stress Effects 0.000 claims description 159
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 72
- 230000003902 lesion Effects 0.000 claims description 39
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 28
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 claims description 17
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 claims description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 8
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims description 4
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 63
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 33
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 17
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 15
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 15
- 229910017493 Nd 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 15
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000006025 fining agent Substances 0.000 description 15
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 12
- 239000005352 borofloat Substances 0.000 description 11
- 239000002585 base Substances 0.000 description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 7
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 4
- 239000006018 Li-aluminosilicate Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 210000004436 artificial bacterial chromosome Anatomy 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- -1 epoxysilanes Chemical class 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000002493 microarray Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- 108091034117 Oligonucleotide Proteins 0.000 description 1
- 108010090804 Streptavidin Proteins 0.000 description 1
- JLCPHMBAVCMARE-UHFFFAOYSA-N [3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-hydroxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methyl [5-(6-aminopurin-9-yl)-2-(hydroxymethyl)oxolan-3-yl] hydrogen phosphate Polymers Cc1cn(C2CC(OP(O)(=O)OCC3OC(CC3OP(O)(=O)OCC3OC(CC3O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)C(COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3CO)n3cnc4c(N)ncnc34)n3ccc(N)nc3=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3ccc(N)nc3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)O2)c(=O)[nH]c1=O JLCPHMBAVCMARE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005358 alkali aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 239000002299 complementary DNA Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000017 hydrogel Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000847 optical profilometry Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical class [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 210000001519 tissue Anatomy 0.000 description 1
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03B33/0222—Scoring using a focussed radiation beam, e.g. laser
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/0006—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring taking account of the properties of the material involved
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
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- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
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- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
組成 (質量%)
SiO2 55〜69
Al2O3 18〜25
Li2O 3〜5
Na2O+K2O 0〜30
MgO+CaO+SrO+BaO 0〜5
ZnO 0〜4
TiO2 0〜5
ZrO2 0〜5
TiO2+ZrO2+SnO2 2〜6
P2O5 0〜8
F 0〜1
B2O3 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 57〜66
Al2O3 18〜23
Li2O 3〜5
Na2O+K2O 3〜25
MgO+CaO+SrO+BaO 1〜4
ZnO 0〜4
TiO2 0〜4
ZrO2 0〜5
TiO2+ZrO2+SnO2 2〜6
P2O5 0〜7
F 0〜1
B2O3 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 57〜63
Al2O3 18〜22
Li2O 3.5〜5
Na2O+K2O 5〜20
MgO+CaO+SrO+BaO 0〜5
ZnO 0〜3
TiO2 0〜3
ZrO2 0〜5
TiO2+ZrO2+SnO2 2〜5
P2O5 0〜5
F 0〜1
B2O3 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 40〜81
Al2O3 0〜6
B2O3 0〜5
Li2O+Na2O+K2O 5〜30
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5〜30
TiO2+ZrO2 0〜7
P2O5 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 50〜81
Al2O3 0〜5
B2O3 0〜5
Li2O+Na2O+K2O 5〜28
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5〜25
TiO2+ZrO2 0〜6
P2O5 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 55〜76
Al2O3 0〜5
B2O3 0〜5
Li2O+Na2O+K2O 5〜25
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5〜20
TiO2+ZrO2 0〜5
P2O5 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 60〜85
Al2O3 0〜10
B2O3 5〜20
Li2O+Na2O+K2O 2〜16
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0〜15
TiO2+ZrO2 0〜5
P2O5 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 63〜84
Al2O3 0〜8
B2O3 5〜18
Li2O+Na2O+K2O 3〜14
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0〜12
TiO2+ZrO2 0〜4
P2O5 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 63〜83
Al2O3 0〜7
B2O3 5〜18
Li2O+Na2O+K2O 4〜14
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0〜10
TiO2+ZrO2 0〜3
P2O5 0〜2
組成 (質量%)
SiO2 40〜75
Al2O3 10〜30
B2O3 0〜20
Li2O+Na2O+K2O 4〜30
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0〜15
TiO2+ZrO2 0〜15
P2O5 0〜10
組成 (質量%)
SiO2 50〜70
Al2O3 10〜27
B2O3 0〜18
Li2O+Na2O+K2O 5〜28
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0〜13
TiO2+ZrO2 0〜13
P2O5 0〜9
組成 (質量%)
SiO2 55〜68
Al2O3 10〜27
B2O3 0〜15
Li2O+Na2O+K2O 4〜27
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 0〜12
TiO2+ZrO2 0〜10
P2O5 0〜8
組成 (質量%)
SiO2 50〜75
Al2O3 7〜25
B2O3 0〜20
Li2O+Na2O+K2O 0〜4
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5〜25
TiO2+ZrO2 0〜10
P2O5 0〜5
組成 (質量%)
SiO2 52〜73
Al2O3 7〜23
B2O3 0〜18
Li2O+Na2O+K2O 0〜4
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5〜23
TiO2+ZrO2 0〜10
P2O5 0〜5
組成 (質量%)
SiO2 53〜71
Al2O3 7〜22
B2O3 0〜18
Li2O+Na2O+K2O 0〜4
MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO 5〜22
TiO2+ZrO2 0〜8
P2O5 0〜5
σth=0.5・α・E・(Tg−100℃)
と仮定することができる最大熱応力である。
2 エレメント
3,5,6 分離ライン
7 フィラメント状の損傷
8,9 1の部材片
10,11 1の側面
30,50 分離ラインの群
13,14,15,16 端面
18 ウェブ
20 1の端部
22 フレーム
24 支持体
Claims (26)
- 基材(1)、ことに脆性の硬質材料からなる、特別にガラス、ガラスセラミックおよび/またはシリコンからなる基材の分離方法において、
予定された分離ラインに沿って少なくとも一つのパルスレーザービームを用いて互いに離間した損傷を前記基材内に導入し、
隣接する損傷の間の平均間隔、ならびにそれぞれ一つの損傷を作製するためのレーザーパルスの数を、
a)前記分離ラインに沿って前記基材(1)を分離するための破断応力σBは、それぞれの基材に依存する第一の基準応力σR1よりも小さく、
b)前記分離後に得られる分離端部の端部強度σKは、それぞれの基材に依存する第二の基準応力σR2よりも大きく、かつ
c)前記基材は、前記損傷の導入後に、前記分離ラインに沿った応力の作用により分離可能である
ように選択する、基材(1)の分離方法。 - 前記第一の基準応力と前記第二の基準応力とは同じでありσR1=σR2、かつ前記基材の材料に依存する最大熱応力σthとして予め設定されていて、
前記最大熱応力σthは、ことに式
σth=0.5・α・E・(Tg−100℃)により決定可能であり、この場合、αは、前記基材の材料の熱膨張係数を表し、Eは、前記基材の材料の弾性率を表し、Tgは、前記基材の材料のガラス転移温度を表す、
請求項1記載の方法。 - 前記第一の基準応力については、σR1≦CR1・α・E・(Tg−100℃)が当てはまり、かつ前記第二の基準応力については、σR2≧CR2・α・E・(Tg−100℃)が当てはまり、この場合、CR1およびCR2は、CR1=0.5/kおよびCR2=0.5・kを有する基準応力係数であり、かつk=1.5、好ましくはk=2、特に好ましくはk=2.5であり、かつこの場合、αは、前記基材の材料の熱膨張係数を表し、Eは、前記基材の材料の弾性率を表し、Tgは、前記基材の材料のガラス転移温度を表す、請求項1記載の方法。
- ことに化学的に予め応力がかけられた基材を分離するための請求項1記載の方法において、
前記第一の基準応力と前記第二の基準応力とは同じでありσR1=σR2、かつ前記予め応力がかけられた基材の特性により定義される内部引張応力σCTとして予め設定されていて、
前記内部引張応力σCTは、式σCT=(σCS・dL)/(d−2dL)により決定可能であり、この場合、σCSは、前記予め応力がかけられた基材の表面圧縮応力を表し、dLは、予めかけられた応力の侵入深さを表し、dは、前記基材の厚みを表す、
請求項1記載の方法。 - ことに熱的に予め応力がかけられた基材を分離するための請求項1記載の方法において、
前記第一の基準応力と前記第二の基準応力とは同じでありσR1=σR2、かつ前記予め応力がかけられた基材の特性により定義される内部引張応力σCTとして予め設定されていて、
前記内部引張応力σCTは、式σCT=σCS/2により決定可能であり、この場合、σCSは、前記予め応力がかけられた基材の表面圧縮応力を表す、
請求項1記載の方法。 - 前記損傷の導入後に、前記分離ラインに沿った分離のために作用されるべき応力を生じさせるために、前記基材に対するレーザービームの、好ましくはCO2レーザーの衝突点を前記分離ラインに沿って移動する、請求項1から5までのいずれか1項記載の方法。
- 隣接する損傷の間の平均間隔は、範囲[1μm,10μm]から選択され、好ましくは範囲[3μm,8μm]から選択され、特に好ましくは範囲[5μm,7μm]から選択される、請求項1から6までのいずれか1項記載の方法。
- それぞれ一つの損傷を作製するためのレーザーパルスの数は、範囲[1,20]から選択され、好ましくは範囲[1,10]から選択され、特に好ましくは範囲[2,8]から選択される、請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。
- 前記基材の材料は、範囲[3・10-6K-1,4・10-6K-1]の熱膨張係数、範囲[69kN/mm2,76kN/mm2]の弾性率および/または範囲[700℃,800℃]のガラス転移温度を有し、かつ
隣接する損傷の間の平均間隔は、範囲[6μm,8μm]から選択され、かつそれぞれ一つの損傷を作製するためのレーザーパルスの数は、範囲[7,9]から選択される、
請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。 - 前記基材の材料は、範囲[7・10-6K-1,8・10-6K-1]の熱膨張係数、範囲[69kN/mm2,76kN/mm2]の弾性率および/または範囲[500℃,600℃]のガラス転移温度を有し、かつ
隣接する損傷の間の平均間隔は、範囲[6μm,8μm]から選択され、かつそれぞれ一つの損傷を作製するためのレーザーパルスの数は、範囲[1,3]から選択される、
請求項1から9までのいずれか1項記載の方法。 - 前記ガラスは、範囲[3・10-6K-1,4・10-6K-1]の熱膨張係数、範囲[60kN/mm2,68kN/mm2]の弾性率および/または範囲[500℃,600℃]のガラス転移温度を有し、かつ
隣接する損傷の間の平均間隔は、範囲[4μm,8μm]から選択され、かつそれぞれ一つの損傷を作製するためのレーザーパルスの数は、範囲[7,9]から選択されるか、または隣接する損傷の間の平均間隔は、範囲[6μm,8μm]から選択され、かつそれぞれ一つの損傷を作製するためのレーザーパルスの数は、範囲[3,5]から選択される、
請求項1から10までのいずれか1項記載の方法。 - 次の方法工程:
少なくとも一つの公知の材料特性値、ことに熱膨張係数、弾性率および/またはガラス転移温度、および/または少なくとも一つの公知の基材特性、ことに透過率、および/または基材表面の少なくとも一つの平均粗さを有する、少なくとも一つの基材を準備すること、
少なくとも一つの公知の材料特性値および/または少なくとも一つの公知の基材特性に依存して、少なくとも一つのプロセスパラメーター、ことに損傷間隔、レーザーパルス数および/またはバースト周波数を確定すること、および
少なくとも一つの確定されたプロセスパラメーターに応じて、前記基材内にレーザーのレーザーパルスを用いて予定された分離ラインに沿って互いに離間した損傷を導入すること
を含む、基材、ことに脆性の硬質材料からなる、特別にガラス、ガラスセラミックまたはシリコンからなる基材の分離方法。 - 分離ラインに沿って予め損傷されているワークピース、ことにガラス製品、ガラスセラミック製品および/またはシリコン製品において、
前記ワークピースは、前記分離ラインに沿って互いに離間した損傷を有し、かつ
前記分離ラインに沿って前記ワークピースを分離するための破断応力σBは、それぞれのワークピースに依存する第一の基準応力σR1よりも小さく、かつ
前記分離後に得られる分離端部の端部強度σKは、それぞれのワークピースに依存する第二の基準応力σR2よりも大きい
ことを特徴とする、ワークピース。 - 前記第一の基準応力と前記第二の基準応力とはσR1=σR2、前記ワークピースの材料に依存する最大熱応力σthとして予め設定されていて、
前記最大熱応力σthは、ことに式σth=0.5・α・E・(Tg−100℃)により決定可能であり、この場合、αは、前記ワークピースの材料の熱膨張係数を表し、Eは、前記ワークピースの材料の弾性率を表し、Tgは、前記ワークピースの材料のガラス転移温度を表す、
請求項13記載のワークピース。 - 前記第一の基準応力については、σR1≦CR1・α・E・(Tg−100℃)が当てはまり、かつ前記第二の基準応力については、σR2≧CR2・α・E・(Tg−100℃)が当てはまり、この場合、CR1およびCR2は、CR1=0.5/kおよびCR2=0.5*kを有する基準応力係数であり、かつk=1.5、好ましくはk=2、特に好ましくはk=2.5であり、かつこの場合、αは、前記ワークピースの材料の熱膨張係数を表し、Eは、前記ワークピースの材料の弾性率を表し、Tgは、前記ワークピースの材料のガラス転移温度を表す、請求項13記載のワークピース。
- 前記ワークピースは、ことに化学的に予め応力がかけられていて、
前記第一の基準応力と前記第二の基準応力とは同じでありσR1=σR2、かつ予め応力がかけられたワークピースの特性により定義される内部引張応力σCTとして予め設定されていて、
前記内部引張応力σCTは、式σCT=(σCS・dL)/(d−2dL)により決定可能であり、この場合、σCSは、前記予め応力がかけられたワークピースの表面圧縮応力を表し、dLは、予めかけられた応力の侵入深さを表し、dは、前記ワークピースの厚みを表す、
請求項13記載のワークピース。 - 前記ワークピースは、ことに熱的に予め応力がかけられていて、
前記第一の基準応力と前記第二の基準応力とは同じでありσR1=σR2、かつ予め応力がかけられたワークピースの特性により定義される内部引張応力σCTとして予め設定されていて、
前記内部引張応力σCTは、式σCT=σCS/2により決定可能であり、この場合、σCSは、前記予め応力がかけられたワークピースの表面圧縮応力を表す、
請求項13記載のワークピース。 - 前記ワークピースは、互いに離間する損傷(7)を有する少なくとも二つの互いに交差する分離ライン(3,5)を有することを特徴とする、請求項13から17までのいずれか1項記載のワークピース。
- 前記分離ラインで分割するための破断応力が、少なくとも3MPa、好ましくは少なくとも5MPa、特に好ましくは少なくとも10MPa異なる、請求項18記載のワークピース。
- 分離ライン(3)に沿って前記ワークピースを分離するための破断応力(σB1)は、それぞれのワークピースに依存する第一の基準応力(σR1)よりも小さく、分離後に得られる分離端部の端部強度(σK)は、それぞれのワークピースに依存する第二の基準応力(σR2)よりも大きく、前記第二の分離ライン(5)は、少なくともσB1+5MPa、好ましくはσB1+10MPa、好ましくはσB1+15MPaのより高い破断応力を有することを特徴とする、請求項19記載のワークピース。
- 前記フィラメント状の損傷(7)の間隔は異なり、前記分離ライン(3)の一方の間隔は、互いに交差する分離ライン(3,5)の他方よりも小さい、請求項19または20記載のワークピース。
- 二つより多くの互いに交差する分離ラインを有し、前記分離ラインの集合は、互いに並んで延びる分離ライン(3,5)の少なくとも二つの群(30,50)に区分けすることができ、一方の群の分離ラインの平均破断力は、他方の群の平均破断力とは少なくとも3MPa相違する、請求項19から21までのいずれか1項記載のワークピース。
- 前記群(50)の一方の分離ライン(5)は、前記ワークピース(1)の端部の一方の前で終端するので、前記分離ライン(5)の終端部と前記ワークピース(1)の端部(20)との間にウェブ(18)またはフレーム(22)が形成され、前記ワークピース(1)が、前記端部(20)の前で終端する前記分離ライン(5)で分割される場合であっても、前記ウェブまたはフレームに分離可能なエレメント(2)が固定されたままであることを特徴とする、請求項22記載のワークピース。
- 被覆された基材として形成され、好ましくはタンパク質分析またはDNA分析用の有機官能性被覆で被覆された、請求項13から23までのいずれか1項記載のワークピース(1)。
- 前記ワークピース(1)は、複数の互いに並んで延びる分離ライン(5,6)を有し、前記分離ライン(6)の少なくとも一つは、二つの隣接する分離ライン(5)の間に、好ましくは分離ライン(5)の二つの群の間に延び、かつ両方の前記隣接する分離ライン(5)の間に延びる前記分離ライン(6)は、前記隣接する分離ライン(5)よりも低い破断応力を有する、請求項13から24までのいずれか1項記載のワークピース(1)。
- 二つの対向する側面(10,11)、および端面(13,14,15,16)を有する板状のガラスエレメントまたはガラスセラミックエレメント(2)において、前記端面(13,14,15,16)の少なくとも二つが、フィラメント状の損傷(7)を有し、前記フィラメント状の損傷は、周期的間隔で、前記側面(10,11)の一方から前記側面の他方に向かう方向で、前記端面上に互いに並んで延び、前記端面(13,14,15,16)の少なくとも二つは、前記フィラメント状の損傷(7)の間隔の異なる周期を有する、板状のガラスエレメントまたはガラスセラミックエレメント(2)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017100015.1 | 2017-01-02 | ||
DE102017100015.1A DE102017100015A1 (de) | 2017-01-02 | 2017-01-02 | Verfahren zum Trennen von Substraten |
PCT/EP2017/084177 WO2018122112A1 (de) | 2017-01-02 | 2017-12-21 | Verfahren zum trennen von substraten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020514222A true JP2020514222A (ja) | 2020-05-21 |
JP7267920B2 JP7267920B2 (ja) | 2023-05-02 |
Family
ID=60937740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019536054A Active JP7267920B2 (ja) | 2017-01-02 | 2017-12-21 | 基材の分離方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11618707B2 (ja) |
EP (1) | EP3562790A1 (ja) |
JP (1) | JP7267920B2 (ja) |
KR (1) | KR102448768B1 (ja) |
CN (1) | CN110167892A (ja) |
DE (1) | DE102017100015A1 (ja) |
WO (1) | WO2018122112A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106935491B (zh) * | 2015-12-30 | 2021-10-12 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种激光退火装置及其退火方法 |
DE102017208290A1 (de) | 2017-05-17 | 2018-11-22 | Schott Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie |
WO2018210519A1 (de) | 2017-05-19 | 2018-11-22 | Schott Ag | Bauteil, umfassend glas oder glaskeramik, mit entlang einer vorgegebenen trennlinie angeordneten vorschädigungen, verfahren und vorrichtung zur herstellung des bauteils und dessen verwendung |
DE102018114973A1 (de) * | 2018-06-21 | 2019-12-24 | Schott Ag | Flachglas mit wenigstens einer Sollbruchstelle |
DE102019113635A1 (de) * | 2019-05-22 | 2020-11-26 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von Glaselementen |
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DE102020123928A1 (de) | 2020-09-15 | 2022-03-17 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Zuschneiden von Glasfolien |
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Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8051679B2 (en) * | 2008-09-29 | 2011-11-08 | Corning Incorporated | Laser separation of glass sheets |
DE102012110971A1 (de) | 2012-11-14 | 2014-05-15 | Schott Ag | Trennen von transparenten Werkstücken |
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KR101483746B1 (ko) * | 2013-05-24 | 2015-01-19 | (주)하드램 | 레이저 유리 커팅 시스템 및 이를 이용한 유리 커팅 방법 |
US9850160B2 (en) * | 2013-12-17 | 2017-12-26 | Corning Incorporated | Laser cutting of display glass compositions |
JP2017510535A (ja) | 2014-01-27 | 2017-04-13 | コーニング インコーポレイテッド | レーザ切断済みガラスを機械的に加工することによる縁部面取り |
CN106414352B (zh) | 2014-05-29 | 2020-07-07 | Agc株式会社 | 光学玻璃及玻璃基板的切断方法 |
DE102014110855B4 (de) | 2014-07-31 | 2017-08-03 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Bruchfestigkeit der Ränder dünner Bahnen sprödbrüchigen Materials |
-
2017
- 2017-01-02 DE DE102017100015.1A patent/DE102017100015A1/de active Pending
- 2017-12-21 EP EP17825853.9A patent/EP3562790A1/de active Pending
- 2017-12-21 CN CN201780081960.7A patent/CN110167892A/zh active Pending
- 2017-12-21 KR KR1020197021343A patent/KR102448768B1/ko active IP Right Grant
- 2017-12-21 WO PCT/EP2017/084177 patent/WO2018122112A1/de active Application Filing
- 2017-12-21 JP JP2019536054A patent/JP7267920B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-02 US US16/459,914 patent/US11618707B2/en active Active
-
2022
- 2022-05-06 US US17/738,530 patent/US20220267189A1/en active Pending
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US20160200621A1 (en) * | 2015-01-12 | 2016-07-14 | Corning Incorporated | Laser cutting of thermally tempered substrates |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110167892A (zh) | 2019-08-23 |
US20190322564A1 (en) | 2019-10-24 |
JP7267920B2 (ja) | 2023-05-02 |
DE102017100015A1 (de) | 2018-07-05 |
KR20190101404A (ko) | 2019-08-30 |
US20220267189A1 (en) | 2022-08-25 |
EP3562790A1 (de) | 2019-11-06 |
WO2018122112A1 (de) | 2018-07-05 |
US11618707B2 (en) | 2023-04-04 |
KR102448768B1 (ko) | 2022-09-28 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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