JP2020512599A - 加速度追跡による高速走査システム - Google Patents
加速度追跡による高速走査システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020512599A JP2020512599A JP2019568593A JP2019568593A JP2020512599A JP 2020512599 A JP2020512599 A JP 2020512599A JP 2019568593 A JP2019568593 A JP 2019568593A JP 2019568593 A JP2019568593 A JP 2019568593A JP 2020512599 A JP2020512599 A JP 2020512599A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- velocity
- scanning system
- stage
- optical scanning
- tracking mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims description 97
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 236
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 208
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 102
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 192
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 57
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 30
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 28
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 27
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 20
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 27
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 7
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000000799 fluorescence microscopy Methods 0.000 description 4
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 3
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 3
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 3
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 2
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001712 DNA sequencing Methods 0.000 description 1
- 108091005461 Nucleic proteins Proteins 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000012984 biological imaging Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000002073 fluorescence micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002493 microarray Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004557 single molecule detection Methods 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/64—Imaging systems using optical elements for stabilisation of the lateral and angular position of the image
- G02B27/644—Imaging systems using optical elements for stabilisation of the lateral and angular position of the image compensating for large deviations, e.g. maintaining a fixed line of sight while a vehicle on which the system is mounted changes course
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6452—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/60—Control of cameras or camera modules
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N3/00—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
- H04N3/02—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by optical-mechanical means only
- H04N3/08—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by optical-mechanical means only having a moving reflector
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/60—Control of cameras or camera modules
- H04N23/68—Control of cameras or camera modules for stable pick-up of the scene, e.g. compensating for camera body vibrations
- H04N23/682—Vibration or motion blur correction
- H04N23/685—Vibration or motion blur correction performed by mechanical compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Immunology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
Description
本出願は、2017年3月3日出願の米国仮出願第62/467,048号の利益を主張するものであり、当該文献の開示は全体として参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、光学システムにおいて継続的に動く基板の安定した画像を生成するための方法及び器機に関する。
本明細書には、基板が移動可能なステージ上で動く間に高感度での基板の一部又はフィールドのハイフレームレートの画像キャプチャのための、軽量でコスト効率のよいシステムが提供される。この光学走査システムは、高速の、単一分子の、単一蛍光の画像化が可能であり、これは現在までに、ステージ移動の正確な制御を必要とする重くて高価なシステムにより、或いはより遅い工程及び繰り返しの光学走査システムを介してのみ提供されている。本明細書で提供される光学走査システムは、(典型的には結果として少なくとも幾つかのピクセルの画像の不鮮明さをもたらす)1%〜10%変動するステージ速度を補償する走査光学系を使用することによって飛行中の画像のシステム(継続的に動くステージ)として使用され得る。この補償は、0.1%未満の変動又は+/−1ピクセル以下の画像のピクセルスミアを伴う、追跡された段階的な速度の画像相当物を結果としてもたらし得る。それ故、本明細書に開示される走査光学系は、ピクセルスミアを減らすように継続的に動く移動可能なステージの画像化中にカメラの安定した画像フィールドを提供するために、移動可能なステージ又は基板の局所的な加速度及び減速度などの速度エラー(即ち速度変動)を補償するためのシステムを提供する。
F(A,x,t)=A(x)*Err(x,t)
D(F,C,x,E)=F(A,x,t)y*C*x+E、
ここで、Cは倍率であり、x=ステージ位置であり、及びEはオフセットである。F(A,x,t)yは、本明細書に記載されるように、傾斜範囲=y、又は事前のフィールドにわたる、F(A,x,t)の平均値である。平滑な不連続性に対する関数も、加速度追跡ミラー駆動信号を生成するために使用可能である。
a.フィールドn−1にわたる基板の複数の位置を測定。
b.フィールドn−1に対する平均速度の判定。
c.フィールドn−1に対する速度変動、及びこの速度変動に基づく訂正事項の算出。
d.ドライバー又は増幅器に送信するべき動作プロファイル(例えば電気モーター波形)の訂正事項の適用。
e.フィールドnの画像キャプチャ中に追跡ミラーの移動を生成するために動き追跡ミラー又は加速度追跡ミラーに動作可能に結合された電気モーターの駆動信号を送信。
f.レーンにおける残りのフィールドに対してプロセスを反復。
当業者は、ただの慣例的な実験を使用して、本明細書に記載される発明に従う特定の実施形態に対する多くの同等物を認識し、或いはそれを確認することができる。本発明の範囲は、上述の記載に限定されるように意図されず、むしろ添付の請求項に記載のとおりである。
Claims (79)
- 動く基板を画像化するための光学走査システムであって、
a.軸に沿って移動可能であり、複数のフィールドを含む基板を保持するように構成される、ステージ;
b.対物レンズ;
c.対物レンズを介して前記複数のフィールドの1つの画像を獲得可能なカメラであって、前記画像は、前記画像の獲得中に前記複数のフィールドの1つから前記対物レンズを通って前記カメラへと画定された光学経路を介して獲得される、カメラ;
d.前記光学経路に沿って取り付けられる速度追跡ミラー;
e.前記光学経路におけるステージ移動の前記軸に沿って前記速度追跡ミラーの角度を調整するために、前記速度追跡ミラーに動作可能に連結された第1の電気モーター;
f.前記第1の電気モーターに第1の駆動信号を送信するために前記第1の電気モーターに動作可能に連結されたコントローラーモジュールであって、前記第1の駆動信号は前記軸に沿ったステージ移動の速度測定と関連して変化する、コントローラーモジュール;
g.前記光学経路に沿って取り付けられる加速度追跡ミラー;
h.前記光学経路におけるステージ移動の前記軸に沿って加速度追跡ミラーの角度を調整するために前記加速度追跡ミラーに動作可能に連結された第2の電気モーターであって、前記コントローラーモジュールは、前記第2の電気モーターに第2の駆動信号を送信するために前記第2の電気モーターに動作可能に連結され、前記第2の駆動信号は前記軸に沿ったステージ速度の変化と関連して変化する、第2の電気モーター
を含むことを特徴とする、光学走査システム。 - 前記第1の電気モーターは検流計である、ことを特徴とする請求項1に記載の光学走査システム。
- 前記第1又は第2の駆動信号は電気信号である、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学走査システム。
- 前記第1の駆動信号は非シヌソイド波形を含む、ことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記非シヌソイド波形はのこぎり波である、ことを特徴とする請求項4に記載の光学走査システム。
- 前記第2の電気モーターは圧電アクチュエーターである、ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記コントローラーモジュールに前記基板又は前記ステージの位置測定を含む信号を送信するために、前記コントローラーモジュールに動作可能に連結されたリニア変位センサーを更に含む、ことを特徴とする請求項1乃至6の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記第1の駆動信号は前記位置測定から判定された速度と関連して変化する、ことを特徴とする請求項7に記載の光学走査システム。
- 前記第2の駆動信号は、前記位置測定から判定された速度の変化と関連して変化する、ことを特徴とする請求項7に記載の光学走査システム。
- 前記リニア変位センサーはリニアエンコーダーである、ことを特徴とする請求項7乃至9の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記第1又は第2の駆動信号はフィールド走査周波数と関連して変化する波形を含む、ことを特徴とする請求項1乃至10の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記第1又は第2の駆動信号は画像化デューティーサイクルと関連して変化する波形を含む、ことを特徴とする請求項1乃至11の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記速度追跡ミラー及び前記加速度追跡ミラーの移動は、前記加速度追跡ミラーの移動がない状態と比較して、前記カメラによる前記フィールドのトラッキングエラーを減少する、ことを特徴とする請求項1乃至12の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記トラッキングエラーは0.1%未満に減少される、ことを特徴とする請求項13に記載の光学走査システム。
- 前記トラッキングエラーは1ピクセル未満に減少される、ことを特徴とする請求項13に記載の光学走査システム。
- 前記速度追跡ミラー及び前記加速度追跡ミラーは、光路に沿って隣接した構成部品である、ことを特徴とする請求項1乃至15の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 複数のカメラを含む、ことを特徴とする請求項1乃至16の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記光路に沿って取り付けられたビームスプリッターを更に含み、前記ビームスプリッターは、前記速度追跡ミラー及び前記加速度追跡ミラーの後、及び前記複数のカメラの前に前記光路に沿って取り付けられる、ことを特徴とする請求項17に記載の光学走査システム。
- 照射経路を更に含み、前記照射経路は、照射要素から前記複数のフィールドのうち1つへと伸長する、ことを特徴とする請求項1乃至18の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記照射要素は、前記フィールドに励起光を伝達するために動作可能に取り付けられた励起レーザー部を含み、前記光学経路は、前記フィールドから前記カメラへと発せられる蛍光を含む、ことを特徴とする請求項19に記載の光学走査システム。
- 前記励起光は前記カメラに伝達されない、ことを特徴とする請求項20に記載の光学走査システム。
- 前記照射要素は、前記フィールドに照射光を伝達するために動作可能に取り付けられた照射光部を含む、ことを特徴とする請求項19に記載の光学走査システム。
- 前記照射光部は、前記光学経路が、前記フィールドを通って前記カメラに伝達される光を含むように、前記フィールドの真下に取り付けられる、ことを特徴とする請求項22に記載の光学走査システム。
- 前記照射光部は、前記光学経路が、前記フィールドにより前記カメラに反射される光を含むように、前記フィールドの上に又はそれを横断して取り付けられる、ことを特徴とする請求項22に記載の光学走査システム。
- 前記光学経路に沿って前記対物レンズを動かし、それにより前記フィールドの焦点を維持するために、前記対物レンズに動作可能に取り付けられた第3の電気モーターを更に含む、ことを特徴とする請求項1乃至24の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記第3の電気モーターは、前記対物レンズが前記カメラによって前記フィールドの焦点を維持するために動かされるように、焦点面からの前記フィールドの移動と関連して変化する第3の駆動信号を受信するために前記コントローラーモジュールに動作可能に接続される、ことを特徴とする請求項25に記載の光学走査システム。
- 第2の速度追跡ミラーと第2の加速度追跡ミラーとを含む少なくとも1つの追加の対となるミラーを更に含み、前記対となるミラーは、異なる軸に沿って前記カメラにより前記フィールドのトラッキングエラーを減少するために前記装置に動作可能に取り付けられる、ことを特徴とする請求項1乃至26の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記第1の電気モーター又は前記第2の電気モーターは二軸モーターである、ことを特徴とする請求項1乃至27の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 動く基板上の複数のフィールドを画像化する方法であって、
a.光学走査システムを提供する工程であって、前記光学走査システムは、
i.複数のフィールドを含む基板を保持する移動可能なステージ、
ii.カメラ、
iii.対物レンズ、
iv.速度追跡ミラー、及び
v.加速度追跡ミラー
を含む、工程;
b.軸に沿って前記移動可能なステージを動かす工程であって、これにより、前記軸に沿って複数のフィールドを含む前記基板を動かす、工程;及び
c.前記移動と同時に、前記カメラを使用して前記対物レンズを通過する前記複数のフィールドのうち1つの画像をキャプチャする工程であって、前記フィールドの前記画像は、前記画像をキャプチャする間に、
i.前記軸に沿って前記移動可能なステージの速度に応じて前記速度追跡ミラーを回転させること、及び、
ii.前記軸に沿って前記移動可能なステージの速度の変化に応じて前記加速度追跡ミラーを回転させることによって、安定される、工程
を含むことを特徴とする、方法。 - 前記軸に沿って前記移動可能なステージ、前記基板、又は前記フィールドの速度の測定を得る工程、及び、前記速度に応じて前記第1の駆動信号を調整する工程を更に含む、ことを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 複数の速度測定から前記移動可能なステージの速度の変化を判定する工程、及び、前記速度の変化に応じて前記第2の駆動信号を調整する工程を更に含む、ことを特徴とする請求項29又は30に記載の方法。
- 前記速度追跡ミラー又は前記加速度追跡ミラーの回転は、測定された前記速度又は測定された前記速度の変化に基づいて行われる、ことを特徴とする請求項30又は31に記載の方法。
- 前記第1の駆動信号は前記ステージの予測された速度と関連して変化する、ことを特徴とする請求項29乃至32の何れか1つに記載の方法。
- 前記第2の駆動信号は前記ステージの速度の予測された変化と関連して変化する、ことを特徴とする請求項29乃至32の何れか1つに記載の方法。
- 前記速度追跡ミラーは第1の電気モーターに動作可能に連結される、ことを特徴とする請求項29乃至34の何れか1つに記載の方法。
- 前記第1の電気モーターは検流計である、ことを特徴とする請求項35に記載の方法。
- 前記光学走査システムはコントローラーモジュールを含み、前記第1の電気モーターは前記コントローラーモジュールに動作可能に連結される、ことを特徴とする請求項35又は36に記載の方法。
- 前記速度追跡ミラーを回転させる工程は、前記コントローラーモジュールから前記第1の電気モーターへ第1の駆動信号を送信する工程を含む、ことを特徴とする請求項37に記載の方法。
- 前記第1の駆動信号は、基板の測定された又は予め決められた速度と関連して変化する、ことを特徴とする請求項38に記載の方法。
- 前記加速度追跡ミラーは第2の電気モーターに動作可能に連結される、ことを特徴とする請求項29乃至39の何れか1つに記載の方法。
- 前記第2の電気モーターは圧電アクチュエーターである、ことを特徴とする請求項40に記載の方法。
- 前記第2の電気モーターは前記コントローラーモジュールに動作可能に連結される、ことを特徴とする請求項40又は41に記載の方法。
- 前記速度追跡加速度追跡ミラーを回転させる工程は、前記コントローラーモジュールから前記第2の電気モーターへ第2の駆動信号を送信する工程を含む、ことを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記第2の駆動信号は、基板の速度の測定された又は予め決められた変化と関連して変化する、ことを特徴とする請求項43に記載の方法。
- 前記第2の駆動信号は、前記第1の駆動信号を判定するために使用される速度からの前記速度の偏差と関連して変化する、ことを特徴とする請求項44に記載の方法。
- 前記速度追跡ミラー及び前記加速度追跡ミラーは隣接する、ことを特徴とする請求項29乃至45の何れか1つに記載の方法。
- 前記速度追跡ミラー及び前記加速度追跡ミラーの移動は、前記加速度追跡ミラーの移動がない状態と比較して、前記カメラによる前記フィールドのトラッキングエラーを減少する、ことを特徴とする請求項29乃至46の何れか1つに記載の方法。
- 前記トラッキングエラーは0.1%未満に減少される、ことを特徴とする請求項47に記載の方法。
- 前記トラッキングエラーは1ピクセル未満に減少される、ことを特徴とする請求項47に記載の方法。
- 前記画像キャプチャ中に前記フィールドの焦点を維持するために光学経路に沿って対物レンズの位置を調整する工程を更に含む、ことを特徴とする請求項29乃至49の何れか1つに記載の方法。
- 前記対物レンズの前記調節は、50%、60%、70%、80%、又は90%を超える前記画像の2つの隣接するピクセル間で強度の急上昇を維持する、ことを特徴とする請求項50に記載の方法。
- 前記光学走査システムは第2の速度追跡ミラー及び第2の加速度追跡ミラーを更に含み、前記移動可能なステージの前記移動及び前記複数のフィールドのうち1つの画像キャプチャと同時に:
a.第2の軸に沿って移動可能なステージの速度に応じて第2の速度追跡ミラーを回転させる工程、及び
b.前記第2の軸に沿って前記移動可能なステージの速度変動に応じて前記第2の加速度追跡ミラーを回転させる工程であって、それにより同時に少なくとも2つの軸に対して前記フィールドの画像化を安定させる、工程
を更に含む、ことを特徴とする請求項29乃至51の何れか1つに記載の方法。 - 対応する複数の別個の軸に対して画像を安定させるために複数の対となる速度追跡ミラー及び加速度追跡ミラーの各々を回転させる工程を更に含む、ことを特徴とする請求項29乃至52の何れか1つに記載の方法。
- 画像キャプチャの周波数は、少なくとも20Hz、40Hz、60Hz、80Hz、100Hz、120Hz、140Hz、160Hz、180Hz、又は200Hzである、ことを特徴とする請求項29乃至53の何れか1つに記載の方法。
- 画像キャプチャのデューティーサイクルは、少なくとも1%、2%、3%、4%、5%、6%、7%、8%、9%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、又は90%である、ことを特徴とする請求項29乃至54の何れか1つに記載の方法。
- 動くステージから得られた画像の位置決めエラーを減らす方法であって、
a.前記動くステージの速度を測定する工程;
b.前記ステージの測定された速度と前記ステージの予測された速度との間の差異に応じて前記測定された速度からのエラー訂正事項を判定する工程;
c.前記エラー訂正事項に応じて駆動信号を生成する工程;及び
d.前記駆動信号を電気モーターに送信する工程であって、前記電気モーターは追跡ミラーの回転を作動させるために前記追跡ミラーに動作可能に接続される、工程
を含むことを特徴とする方法。 - 前記モーターは検流計又は圧電アクチュエーターである、ことを特徴とする請求項55に記載の方法。
- 動く基板を画像化するための光学走査システムであって、
a.軸に沿って移動可能であり、複数のフィールドを含む基板を保持するように構成される、ステージ;
b.対物レンズ;
c.対物レンズを介して前記複数のフィールドの1つの画像を獲得可能なカメラであって、前記画像は、前記画像の獲得中に前記複数のフィールドの1つから前記対物レンズを通って前記カメラへと画定された光学経路を介して獲得される、カメラ;
d.光路に沿って取り付けられる動き追跡ミラー;
e.光学経路におけるステージ移動の前記軸に沿って前記動き追跡ミラーの角運動を作動させるために、前記動き追跡ミラーに動作可能に連結された電気モーター;及び
f.駆動信号を前記電気モーターに送信するために前記電気モーターに動作可能に連結されたコントローラーモジュールであって、前記コントローラーモジュールは、前記軸に沿った前記ステージ又は基板の動きの速度変動に応じて前記駆動信号を生成可能である、コントローラーモジュール
を含むことを特徴とする、光学走査システム。 - 前記装置は、コントローラーモジュールと電気通信状態にある速度センサーを含み、前記速度センサーは、基板又はステージの位置又は速度情報を検出し、且つ前記上情報をコントローラーモジュールに送信することができ、前記コントローラーモジュールは、前記速度センサーから受信した速度信号に応じて前記駆動信号を生成するように構成される、ことを特徴とする請求項58に記載の光学走査システム。
- 前記センサーはリニアエンコーダーである、ことを特徴とする請求項59に記載の光学走査システム。
- 前記リニアエンコーダーは非干渉式エンコーダーである、ことを特徴とする請求項60に記載の光学走査システム。
- 前記リニアエンコーダーは、光学性であり、磁気性であり、静電容量性であり、誘導性であり、又は渦電流を使用する、ことを特徴とする請求項60又は61に記載の光学走査システム。
- 前記センサーは、移動可能なステージにわたって速度フィードバックのために較正される、ことを特徴とする請求項59乃至62の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記駆動信号は、予め決められた速度及び測定された速度の両方と関連して変化する、ことを特徴とする請求項58乃至63の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記ステージは、軸に沿った前記ステージの動きを促進するように位置決めされた機械ベアリングを含む、ことを特徴とする請求項58乃至64の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 前記対物レンズは、5X、10X、20X、30X、40X、50X、60X、70X、80X、90X、又は100Xから成る群から選択される倍率を有している、ことを特徴とする請求項58乃至65の何れか1つに記載の光学走査システム。
- 動く基板上で複数のフィールドを画像化する方法であって、
a.光学走査システムを提供する工程であって、前記光学走査システムは、
i.複数のフィールドを含む基板を保持する移動可能なステージ、
ii.対物レンズ、
iii.カメラ、
iv.動き追跡ミラー、及び
v.前記動き追跡ミラーの動きを達成し、画像キャプチャ中に前記軸に沿って移動可能なステージの前記動きを追跡し、且つ前記画像キャプチャ後に前記動き追跡ミラーを初期位置に戻すために、前記動き追跡ミラーに動作可能に連結された電気モーターを含む、工程;
b.軸に沿って前記移動可能なステージを動かす工程であって、これにより、前記軸に沿って複数のフィールドを含む前記基板を動かす、工程;及び
c.前記軸に沿った前記移動可能なステージの動きの間に少なくともMの画像キャプチャサイクルを実行することを含む、前記基板のMのフィールドの各々に対して画像を生成する工程であって、各サイクルが、
i.前記軸に沿った前記移動可能なステージの速度を追跡するために前記追跡ミラーの動きを制御するために、サイクルMの電気信号を電気モーターに提供すること;
ii.前記追跡ミラーが前記動くステージを追跡している間に前記フィールドの画像をキャプチャすること;及び
iii.前記フィールドの平均速度を判定することであって、前記平均速度は、サイクルM+1中に前記電気モーターの動きを制御するためにサイクルM+1の駆動信号を生成するために使用される、判定することを含む、工程
を含むことを特徴とする方法。 - 画像キャプチャの周波数は、少なくとも20Hz、40Hz、60Hz、80Hz、100Hz、120Hz、140Hz、160Hz、180Hz、又は200Hzである、ことを特徴とする67に記載の方法。
- 画像キャプチャのデューティーサイクルは、少なくとも1%、2%、3%、4%、5%、6%、7%、8%、9%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、又は90%である、ことを特徴とする請求項67又は68に記載の方法。
- 前記フィールドの平均速度を判定するために初期サイクルを行う工程を更に含み、ここで画像キャプチャは行われない、ことを特徴とする請求項67乃至69の何れか1つに記載の方法。
- 前記M+1の駆動信号は、前記軸に沿った前記移動可能なステージの測定された速度と望ましい速度との間の差異と関連して変化する訂正事項を含む、ことを特徴とする請求項67乃至70の何れか1つに記載の方法。
- 前記フィールドの前記平均速度を判定する工程は、前記フィールドの1つ以上の位置をある時間で測定することを含む、ことを特徴とする請求項67乃至71の何れか1つに記載の方法。
- 前記フィールドの前記平均速度を判定する工程は、前記時間で前記フィールドの前記測定された位置を、別のフィールドの以前に測定された位置及び時間と比較することを含む、ことを特徴とする請求項72に記載の方法。
- フィールドMの位置測定から前記M+1の駆動信号の提供までの速度フィードバックループ持続時間は、100ms、90ms、80ms、70ms、60ms、50ms、40ms、30ms、20ms、15ms、10ms、5ms、又は2ms以下である、ことを特徴とする請求項67乃至73の何れか1つに記載の方法。
- 前記平均速度は、250kHz、200kHz、150kHz、100kHz、50kHz、20kHz、10kHz、5kHz、2kHz、1000Hz、500Hz、240Hz、120Hz、60Hz、又は30Hz以下の周波数で基板の位置に関する情報を収集することによって判定される、ことを特徴とする請求項67乃至74の何れか1つに記載の方法。
- 生成された前記画像は、+/−1ピクセル以下のピクセルスミアを有している、ことを特徴とする請求項67乃至75の何れか1つに記載の方法。
- 前記ピクセルは、前記基板上で約150nmの前記軸に沿った断面距離を含む、ことを特徴とする請求項76に記載の方法。
- 画像は、100jam/秒から1,000mm/秒の範囲の速度範囲で動く基板から生成される、ことを特徴とする請求項76又は77に記載の方法。
- 前記軸に沿った前記移動可能なステージの前記動きは、0.1%〜1%の平均速度の範囲での速度変動を含む、ことを特徴とする請求項67乃至78の何れか1つに記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022146662A JP2022173295A (ja) | 2017-03-03 | 2022-09-15 | 加速度追跡による高速走査システム |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762467048P | 2017-03-03 | 2017-03-03 | |
US62/467,048 | 2017-03-03 | ||
PCT/US2018/020737 WO2018161013A1 (en) | 2017-03-03 | 2018-03-02 | High speed scanning system with acceleration tracking |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022146662A Division JP2022173295A (ja) | 2017-03-03 | 2022-09-15 | 加速度追跡による高速走査システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020512599A true JP2020512599A (ja) | 2020-04-23 |
JP2020512599A5 JP2020512599A5 (ja) | 2021-04-08 |
JP7144457B2 JP7144457B2 (ja) | 2022-09-29 |
Family
ID=63355049
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019568593A Active JP7144457B2 (ja) | 2017-03-03 | 2018-03-02 | 加速度追跡による高速走査システム |
JP2022146662A Pending JP2022173295A (ja) | 2017-03-03 | 2022-09-15 | 加速度追跡による高速走査システム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022146662A Pending JP2022173295A (ja) | 2017-03-03 | 2022-09-15 | 加速度追跡による高速走査システム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US10585296B2 (ja) |
EP (2) | EP4296654A3 (ja) |
JP (2) | JP7144457B2 (ja) |
CN (2) | CN110582715B (ja) |
CA (1) | CA3055249A1 (ja) |
WO (1) | WO2018161013A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
HUE058723T2 (hu) | 2012-11-19 | 2022-09-28 | Apton Biosystems Inc | Molekuláris analitok digitális elemzése egyetlen molekula kimutatásával |
US10829816B2 (en) | 2012-11-19 | 2020-11-10 | Apton Biosystems, Inc. | Methods of analyte detection |
KR20220018622A (ko) | 2013-08-22 | 2022-02-15 | 앱톤 바이오시스템즈, 인코포레이티드 | 전기적 방법을 이용한 분자 분석물질의 디지털 분석 |
CN114921537A (zh) | 2017-03-17 | 2022-08-19 | 雅普顿生物系统公司 | 测序和高分辨率成像 |
US11095809B2 (en) * | 2018-03-30 | 2021-08-17 | Drs Network & Imaging Systems, Llc | Method and system for scanning of a focal plane array during earth observation imaging |
JP2022501026A (ja) | 2018-09-19 | 2022-01-06 | アプトン バイオシステムズ インコーポレイテッド | 高密度に詰め込まれた分析物の層および検出方法 |
US11421272B2 (en) * | 2018-12-26 | 2022-08-23 | Genemind Biosciences Company Limited | Positioning method, positioning apparatus and sequencing system |
CN110361827B (zh) * | 2019-06-14 | 2020-05-12 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种降低两轴快速反射镜中x轴和y轴耦合的控制方法 |
US20220317429A1 (en) * | 2019-09-02 | 2022-10-06 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Microscope and method for imaging an object using a microscope |
WO2021046378A1 (en) * | 2019-09-05 | 2021-03-11 | Apton Biosystems, Inc. | High speed scanning systems for super resolution imaging |
US11223756B1 (en) | 2019-12-03 | 2022-01-11 | Waymo Llc | Position sensor and hybrid substrate for camera focus management |
US11647287B1 (en) | 2019-12-03 | 2023-05-09 | Waymo Llc | Autofocus actuator |
WO2021150904A1 (en) * | 2020-01-24 | 2021-07-29 | Novanta Corporation | Systems and methods for improving accuracy in large area laser processing using position feedforward compensation |
CN111596456A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-08-28 | 山东大学 | 一种激光指向稳定控制系统 |
EP3913906A1 (en) * | 2020-05-18 | 2021-11-24 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Physical object processing system and method |
CN113253471B (zh) * | 2021-07-12 | 2022-04-29 | 清华大学 | 旋转式三维光激发装置 |
TW202336423A (zh) | 2021-10-01 | 2023-09-16 | 美商伊路米納有限公司 | 用於傳輸光之設備及方法 |
US11680786B2 (en) | 2021-11-05 | 2023-06-20 | Waymo Llc | Capacitive position sensing for camera focus management |
WO2024102889A1 (en) * | 2022-11-10 | 2024-05-16 | Ultima Genomics, Inc. | Methods and systems for counter scan area mode imaging |
CN116091341B (zh) * | 2022-12-15 | 2024-04-02 | 南京信息工程大学 | 一种低光图像的曝光差增强方法及装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4017549A1 (de) * | 1989-07-05 | 1991-01-17 | Jenoptik Jena Gmbh | Verfahren zur geometrieinvarianten bilderzeugung |
JP2000171719A (ja) * | 1998-12-09 | 2000-06-23 | Lasertec Corp | 撮像装置 |
WO2008081729A1 (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Nikon Corporation | レーザ走査共焦点顕微鏡 |
US20110292200A1 (en) * | 2008-12-15 | 2011-12-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Scanning microscope |
JP2015521750A (ja) * | 2012-06-07 | 2015-07-30 | コンプリート・ゲノミックス・インコーポレーテッド | 可動走査ミラーを伴う撮像システム |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09250912A (ja) * | 1996-03-14 | 1997-09-22 | Nikon Corp | パターン測定装置 |
EP1028456A4 (en) * | 1997-09-19 | 2003-03-05 | Nikon Corp | PLATINUM, SCANNING ALIGNMENT DEVICE, AND SCANNING EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURED THEREBY |
FR2784189B3 (fr) * | 1998-10-05 | 2000-11-03 | Commissariat Energie Atomique | Biopuce et dispositif de lecture d'une biopuce comportant une pluralite de zones de reconnaissance moleculaire |
JP3859459B2 (ja) * | 2000-04-26 | 2006-12-20 | 松下電器産業株式会社 | 撮像装置 |
JP2001332595A (ja) | 2000-05-25 | 2001-11-30 | Sony Corp | 焦点合わせ制御機構及びこれを用いた検査装置 |
US7561270B2 (en) * | 2000-08-24 | 2009-07-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby |
US6624894B2 (en) * | 2001-06-25 | 2003-09-23 | Veeco Instruments Inc. | Scanning interferometry with reference signal |
JP2006106378A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡 |
JP2007194779A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Pentax Corp | 三次元撮影装置 |
US8084706B2 (en) | 2006-07-20 | 2011-12-27 | Gsi Group Corporation | System and method for laser processing at non-constant velocities |
US8115170B2 (en) * | 2007-01-09 | 2012-02-14 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for creating time-resolved emission images of integrated circuits using a single-point single-photon detector and a scanning system |
US8089436B1 (en) * | 2007-02-21 | 2012-01-03 | Lockheed Martin Corporation | Image stability in liquid crystal displays |
WO2009158451A1 (en) * | 2008-06-25 | 2009-12-30 | Real-Time Genomics, Llc | Method and apparatus for melting curve analysis of nucleic acids in microarray format |
US7924422B2 (en) * | 2009-02-12 | 2011-04-12 | Tokyo Electron Limited | Calibration method for optical metrology |
JP5574792B2 (ja) * | 2010-04-13 | 2014-08-20 | キヤノン株式会社 | 撮影装置 |
US8428390B2 (en) * | 2010-06-14 | 2013-04-23 | Microsoft Corporation | Generating sharp images, panoramas, and videos from motion-blurred videos |
CN103765277B (zh) * | 2011-09-09 | 2016-11-09 | 文塔纳医疗系统公司 | 使用误差信号的聚焦和成像系统以及技术 |
US9488823B2 (en) | 2012-06-07 | 2016-11-08 | Complete Genomics, Inc. | Techniques for scanned illumination |
WO2014190027A1 (en) * | 2013-05-22 | 2014-11-27 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods, systems, and apparatus for imaging spectroscopy |
US10136063B2 (en) * | 2013-07-12 | 2018-11-20 | Hanwha Aerospace Co., Ltd | Image stabilizing method and apparatus |
US9581798B2 (en) * | 2013-07-22 | 2017-02-28 | Fundacio Institut De Ciencies Fotoniques | Light sheet-based imaging device with extended depth of field |
JP5729622B2 (ja) * | 2013-10-22 | 2015-06-03 | 国立大学法人 東京大学 | ブラーレス画像撮像システム |
US9581640B2 (en) * | 2014-10-08 | 2017-02-28 | Eastman Kodak Company | Vision-guided alignment method |
-
2018
- 2018-03-02 CN CN201880029286.2A patent/CN110582715B/zh active Active
- 2018-03-02 CN CN202210394627.4A patent/CN114967111A/zh active Pending
- 2018-03-02 US US15/910,778 patent/US10585296B2/en active Active
- 2018-03-02 EP EP23192806.0A patent/EP4296654A3/en active Pending
- 2018-03-02 CA CA3055249A patent/CA3055249A1/en active Pending
- 2018-03-02 WO PCT/US2018/020737 patent/WO2018161013A1/en active Application Filing
- 2018-03-02 JP JP2019568593A patent/JP7144457B2/ja active Active
- 2018-03-02 EP EP18761316.1A patent/EP3589998B1/en active Active
-
2020
- 2020-01-14 US US16/742,783 patent/US20200393691A1/en not_active Abandoned
-
2022
- 2022-01-13 US US17/575,242 patent/US20220214557A1/en not_active Abandoned
- 2022-09-15 JP JP2022146662A patent/JP2022173295A/ja active Pending
-
2023
- 2023-06-09 US US18/207,962 patent/US20230400701A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4017549A1 (de) * | 1989-07-05 | 1991-01-17 | Jenoptik Jena Gmbh | Verfahren zur geometrieinvarianten bilderzeugung |
JP2000171719A (ja) * | 1998-12-09 | 2000-06-23 | Lasertec Corp | 撮像装置 |
WO2008081729A1 (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Nikon Corporation | レーザ走査共焦点顕微鏡 |
US20110292200A1 (en) * | 2008-12-15 | 2011-12-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Scanning microscope |
JP2015521750A (ja) * | 2012-06-07 | 2015-07-30 | コンプリート・ゲノミックス・インコーポレーテッド | 可動走査ミラーを伴う撮像システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA3055249A1 (en) | 2018-09-07 |
EP3589998A4 (en) | 2020-12-16 |
JP2022173295A (ja) | 2022-11-18 |
EP4296654A2 (en) | 2023-12-27 |
US20180252936A1 (en) | 2018-09-06 |
US20200393691A1 (en) | 2020-12-17 |
CN110582715B (zh) | 2022-04-29 |
WO2018161013A1 (en) | 2018-09-07 |
US20220214557A1 (en) | 2022-07-07 |
EP3589998A1 (en) | 2020-01-08 |
CN110582715A (zh) | 2019-12-17 |
EP4296654A3 (en) | 2024-02-28 |
CN114967111A (zh) | 2022-08-30 |
US10585296B2 (en) | 2020-03-10 |
US20230400701A1 (en) | 2023-12-14 |
EP3589998B1 (en) | 2023-08-23 |
JP7144457B2 (ja) | 2022-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7144457B2 (ja) | 加速度追跡による高速走査システム | |
JP2022173295A5 (ja) | ||
JP2020512599A5 (ja) | ||
US7456377B2 (en) | System and method for creating magnified images of a microscope slide | |
JP6169580B2 (ja) | 顕微鏡、およびspim顕微鏡検査方法 | |
US8203608B2 (en) | Dynamic image recording system with superimposition movement during scanning movement for momentary image stopping and method | |
WO2013115134A1 (ja) | 距離計測装置、距離計測方法及び制御プログラム | |
US10598916B2 (en) | Image acquisition device and method and system for acquiring focusing information for specimen | |
US20220187583A1 (en) | High speed scanning systems for super resolution imaging | |
JP2014174014A (ja) | 形状測定装置 | |
US20170315341A1 (en) | Continuous-Scanning Image Acquisition In Automated Microscopy Using Reflective Autofocus | |
WO2014174919A1 (ja) | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 | |
JP2006308709A (ja) | 顕微鏡ステージ、および、焦点位置計測装置と共焦点顕微鏡システム | |
JP2009198525A (ja) | 創薬スクリーニング装置 | |
JPH11173821A (ja) | 光学式検査装置 | |
JP2013054102A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2010048621A (ja) | 観察装置および観察方法 | |
US12007545B2 (en) | Light sheet microscope and method for light sheet microscopy | |
JP7105006B1 (ja) | 走査型蛍光顕微鏡 | |
US20220342196A1 (en) | Control device and method for controlling a microscope, microscope and computer program product | |
JP2008151650A (ja) | 動的干渉計測装置および動的干渉計測方法 | |
WO2022212069A1 (en) | Modulation of scanning velocity during overlay metrology |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191016 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20191120 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20191122 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210301 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210301 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220202 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220427 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220817 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220915 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7144457 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |