JP2020504299A - 光子センサ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
及びTDC出力(TDC_output)波形に対応する。第8の波形はピクセルライト波形(PIX_WRITE)である。第9の波形はピクセルリセット波形(PIX_RESETn)である。ピクセルリセット信号はいくつかの他の制御信号、例えばPIX_WRITE、と一緒に(FPGAボードによって)外部から生成される。ピクセルリセット信号間の時間インターバルが露光時間を決定する(しかし、活性窓(即ち、図4(a)のWIN)内のSPADイベントのみは各露光サイクル内であるとみなされる)。
Claims (25)
- 光子検出用のセンサ装置であって、
複数のピクセルデバイスを備え、各ピクセルデバイスは、
各々が光子検出イベントに応答して光子検出信号を生成するように構成された複数の光子検出器と、
前記光子検出信号を処理して光子検出イベント信号を生成するように構成された処理リソースであって、各光子検出イベント信号がそれぞれの光子検出イベントが発生した光子検出時間を表す時間データを含む、処理リソースと、
ピクセルメモリと、
検出期間にわたる光子検出イベントを表す検出データを取得すべく前記光子検出イベント信号を処理するように構成された他の処理リソースと、
前記検出データを前記ピクセルデバイスから送信する通信リソースと、
を備え、
前記光子検出イベント信号の前記処理は、前記検出データの蓄積及び/又は送信が前記光子検出イベント信号を直接蓄積及び/又は送信する場合より少ない蓄積容量及び/又は通信容量を使用するという結果をもたらす、
センサ装置。 - 各光子検出器は単一光子アバランシェダイオード(SPAD)を備える、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記光子検出器により生成された前記光子検出信号の前記処理は時間−ディジタル変換プロセスを含む、請求項1又は2に記載のセンサ装置。
- 前記光子検出イベント信号の前記処理はヒストグラミングプロセスを含み、及び/又は前記検出データはヒストグラムデータを含む、請求項1−3の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記他の処理リソースは、前記検出期間を光子検出イベントの分布のピークの測定又は予想位置に基づいて選択するように構成されている、請求項1−4の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記光子検出イベント信号は前記検出期間中に得られ、前記光子検出イベント信号の前記処理は前記検出期間の一部分を選択し、前記検出期間の選択した部分の外部の光子検出イベント信号を排除する処理を含む、請求項1−5の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記検出データは前記センサ装置で時間の関数として検出された光子の分布を表す、請求項1−6の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記光子検出イベント信号の前記処理は、前記光子検出イベント信号を複数の時間ビンに割り当てる処理、及び必要に応じ、前記複数の時間ビンの各時間ビンに対してそれぞれのカウント値を表すカウントデータを得る処理を含む、請求項1−7の何れかに記載のセンサ装置。
- 各時間ビンは時間インターバルを表す幅を有し、前記他の処理リソースは前記時間ビンの少なくとも1つの幅を選択又は変更するように構成されている、請求項8に記載のセンサ装置。
- 前記他の処理リソースは、前記時間ビンの少なくとも1つの幅を自動的に又はユーザ入力に応答して、及び/又は、少なくとも1つの設定パラメータに基づいて選択又は変更するように構成されている、請求項9に記載のセンサ装置。
- 前記他の処理リソースは、前記光子検出イベント信号を前記検出期間又は前記検出期間の前記選択部分に対して一連の時間ビンに亘って割り当てるように構成されている、請求項8−10の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記他の処理リソースは、前記時間ビンの幅を選択又は変更するために及び/又は前記検出期間の一部分を選択するために前記時間データの一部分を変更及び/又は選択するように構成されている、請求項1−11の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記時間データの各項目は一連のビットを含み、前記時間データの変更は、前記時間データの前記項目の少なくともいくつかに対して、前記一連のビットの少なくともいくつかのビットを排除することを含む、請求項12に記載のセンサ装置。
- 各ピクセルデバイスは前記他の処理リソースをリセットし、前記他の処理リソースからの信号を自動的に書き込むように構成されている、請求項1−13の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記ピクセルデバイスの各々に対して、各ピクセルデバイスの前記通信リソースは前記ピクセルデバイスからの前記検出データを前記ピクセルデバイスから遠く離れた追加の処理リソース及び/又は前記ピクセルデバイスから遠く離れた他のメモリに送信するように構成されている、請求項1−14の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記追加の処理リソース及び/又は前記他のメモリは前記複数のピクセルデバイスの各々からの検出データを処理及び/又は蓄積するように構成されている、請求項15に記載のセンサ装置。
- 前記検出データは時間変化データを含み又は表し、前記追加の処理リソースは前記時間変化データから少なくとも一つの関心特徴を抽出するように構成されている、請求項15に記載のセンサ装置。
- 前記センサ装置はチップ又は回路基板の上に設けられ、前記追加の処理リソース及び/又は前記他のリソースは前記チップ又は前記回路基板の外にある、請求項15又は16に記載のセンサ装置。
- 前記複数のピクセルデバイスの各々に対して、前記ピクセルデバイスの前記他の処理リソース及び/又は前記メモリは前記複数の光子検出器に隣接して又は少なくとも部分的にそれらの下に位置する、請求項1−18の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記複数のピクセルデバイスはアレイに配列され、前記複数のピクセルデバイスの少なくともいくつかに対して、前記ピクセルデバイスの前記他の処理リソース及び/又は前記メモリは前記ピクセルデバイスの前記光子検出器と隣接ピクセルデバイスの前記光子検出器との間に位置する、請求項1−19の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記ピクセルデバイスの少なくともいくつかに対して、前記処理リソースは前記複数のピクセルデバイスの少なくともいくつかにより共有される共有処理リソース又はコンポーネントを備える、請求項1−20の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記光子検出イベントは対象へのレーザ光線の照射に応答して生起し、前記装置は前記光子センサの動作及び/又は前記検出イベント信号及び/又は前記検出期間の処理が前記レーザ光線を照射するように構成されたレーザの動作と同期するように構成されている、請求項1−21の何れかに記載の装置。
- ライダーシステム、飛行時間システム、蛍光分光システム又はラマン分光システムで使用するように構成された請求項1−21の何れかに記載のセンサ装置。
- ピクセルデバイスにおいて光子検出イベントに応答して光子検出イベント信号を取得するステップであって、各光子検出イベント信号は前記光子検出イベントが生起した検出時間を表す時間データを含む、ステップと、
前記ピクセルデバイスにおいて所定の期間に亘る光子検出イベントを表す検出データを取得すべく前記光子検出イベント信号を処理するステップと、
前記検出データを前記ピクセルデバイスから送信するステップと、
を含み、
前記処理は、前記検出データの蓄積及び/又は送信が前記光子検出イベント信号を直接蓄積及び/又は送信する場合より少ない蓄積容量及び/又は通信容量を使用するという結果をもたらす、
検出方法。 - レーザ光線を対象に照射するように構成されたレーザと、前記レーザ光線に応答して前記対象により放出される光子を検出するように構成された請求項1−23の何れかに記載のセンサ装置とを備える検出システム。
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