JP2020204759A - Color conversion device, micro led display panel, manufacturing method of color conversion device, and manufacturing method of micro-led display panel - Google Patents

Color conversion device, micro led display panel, manufacturing method of color conversion device, and manufacturing method of micro-led display panel Download PDF

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Abstract

To provide a color conversion device with a functional film such as a light-emitting layer, and the like which can be formed by using an inkjet method even when the distance between the regions surrounded by a partition wall is narrow while achieving both suppression of deterioration of light emission characteristics and cost reduction.SOLUTION: A color conversion device 20 includes: a substrate 22; a light-emitting layer 21 containing a luminescent material located over the substrate 22; a first partition wall 23 defining a light-emitting region where the light-emitting layer 21 emits light, which is in contact with the light-emitting layer 21; and a second partition wall 24 defining a forming area where a light emitting layer 21 is formed, which is in contact with the light-emitting layer 21. The contact area between the light-emitting layer 21 and the first partition wall 23 is larger than the contact area between the light-emitting layer 21 and the second partition wall 24.SELECTED DRAWING: Figure 3B

Description

本開示は、色変換デバイス、マイクロLEDディスプレイパネル、色変換デバイスの製造方法及びマイクロLEDディスプレイパネルの製造方法に関する。 The present disclosure relates to a color conversion device, a micro LED display panel, a method for manufacturing a color conversion device, and a method for manufacturing a micro LED display panel.

次世代のディスプレイパネルとして、量子ドット材料によって構成された発光層を有する量子ドットディスプレイパネルの開発が進められている。量子ドットは、直径が2から10ナノメートル(原子10個から50個)と、非常に小さいサイズの特殊な半導体である。このような微小なサイズの物質は、通常の物質とは異なる性質を有する。例えば、量子ドットは、粒径を変えるだけでバンドギャップをコントロールすることができる。また、量子ドットの発光ピーク波長はバンドギャップに依存するので、量子ドットの発光ピーク波長を非常に精密に調節することができる。つまり、量子ドットの発光ピーク波長は、粒径を変えるだけで変更することができる。具体的には、量子ドットの発光ピーク波長は、粒径が小さくなるほど短波長側にシフトし、粒径が大きくなるほど長波長側にシフトする。さらに、量子ドットの発光スペクトルは、急峻なピークを有しており、量子ドットの発光ピーク波長の半値幅は、非常に小さく、数十ナノメートル以下である。 As a next-generation display panel, the development of a quantum dot display panel having a light emitting layer made of a quantum dot material is underway. Quantum dots are special semiconductors with a diameter of 2 to 10 nanometers (10 to 50 atoms) and a very small size. Such a minute-sized substance has properties different from those of a normal substance. For example, quantum dots can control the bandgap simply by changing the particle size. Further, since the emission peak wavelength of the quantum dot depends on the band gap, the emission peak wavelength of the quantum dot can be adjusted very precisely. That is, the emission peak wavelength of the quantum dot can be changed only by changing the particle size. Specifically, the emission peak wavelength of the quantum dot shifts to the shorter wavelength side as the particle size decreases, and shifts to the longer wavelength side as the particle size increases. Further, the emission spectrum of the quantum dot has a steep peak, and the half width of the emission peak wavelength of the quantum dot is very small, which is several tens of nanometers or less.

したがって、赤色発光層、緑色光発光層及び青色発光層の材料として量子ドット材料を用いることで、赤色光、緑色光及び青色光のそれぞれの発光ピーク波長の半値幅を小さくすることができる。これにより、高色域特性を有するディスプレイパネルを実現することができる。つまり、ディスプレイパネルの性能を飛躍的に向上させることができる。 Therefore, by using the quantum dot material as the material of the red light emitting layer, the green light light emitting layer, and the blue light emitting layer, the half-value width of each emission peak wavelength of the red light, the green light, and the blue light can be reduced. As a result, a display panel having high color gamut characteristics can be realized. That is, the performance of the display panel can be dramatically improved.

しかも、量子ドットディスプレイパネルは、輝度が非常に高くて屋外での視認性に優れているため、携帯電話や車載用途のディスプレイ又はヘッドマウントディスプレイ等に適している。特に、これらのディスプレイでは、350ppi(pixel per inch)以上の画素解像度が必要になると予想され、今後、量子ドットディスプレイパネルの活用が期待されている。 Moreover, since the quantum dot display panel has extremely high brightness and excellent visibility outdoors, it is suitable for a mobile phone, a display for in-vehicle use, a head-mounted display, or the like. In particular, these displays are expected to require a pixel resolution of 350 ppi (pixel per inch) or higher, and the use of quantum dot display panels is expected in the future.

また、最近ではインクジェット法を用いたディスプレイパネルの製造方法が注目されている。例えば、有機ELディスプレイパネルでは、赤色発光層、青色発光層及び緑色発光層の各発光層又はホール注入層を形成する場合、有機EL材料を含むインクをバンクと呼ばれる隔壁で囲まれた領域(開口部)の中に塗布してインクの溶媒を乾燥させる。このように、インクジェット法によって発光層等を形成することで、従来は真空蒸着法によって発光層等を形成していたが、大気中で発光層等を形成することが可能となる。 Recently, a method for manufacturing a display panel using an inkjet method has attracted attention. For example, in an organic EL display panel, when each light emitting layer of a red light emitting layer, a blue light emitting layer, and a green light emitting layer or a hole injection layer is formed, an area (opening) in which ink containing an organic EL material is surrounded by a partition wall called a bank. Part) to dry the ink solvent. In this way, by forming the light emitting layer or the like by the inkjet method, the light emitting layer or the like is conventionally formed by the vacuum vapor deposition method, but it becomes possible to form the light emitting layer or the like in the atmosphere.

しかも、発光層を構成する有機EL材料は非常に高価である。このため、真空蒸着法を用いると、蒸着装置のチャンバーの壁面に有機EL材料が付着するので、廃棄材料が多く発生して材料の使用効率が低くなり、高コストのディスプレイパネルになってしまう。これに対して、インクジェット法を用いると、大気中で発光層を形成することができるので省エネルギーであり、また、所定の場所にだけ有機EL材料を含むインクを塗り分けて塗布することができるので、低コストのディスプレイパネルを実現することができる。 Moreover, the organic EL material constituting the light emitting layer is very expensive. For this reason, when the vacuum vapor deposition method is used, the organic EL material adheres to the wall surface of the chamber of the vapor deposition apparatus, so that a large amount of waste material is generated, the utilization efficiency of the material is lowered, and the display panel becomes expensive. On the other hand, when the inkjet method is used, the light emitting layer can be formed in the atmosphere, which saves energy, and the ink containing the organic EL material can be applied separately only to a predetermined place. , A low-cost display panel can be realized.

近年、量子ドット材料を含むインクについても、有機EL材料を含むインクと同様に、インクジェット法を用いて塗り分けることの検討が盛んに行われている。量子ドット材料の代表的なものとしては、コアとしてカドミウム−セレン又はインジウム−リン等の無機材料が用いられ、コアの周りのシェルとして硫化亜鉛等の材料が用いられたものが挙げられる。さらに、インクとしての安定性を実現するために、その周りにリガンドが形成されることもある。 In recent years, as with the ink containing an organic EL material, the ink containing a quantum dot material has been actively studied by using an inkjet method. As a typical quantum dot material, an inorganic material such as cadmium-selenium or indium-phosphide is used as the core, and a material such as zinc sulfide is used as the shell around the core. In addition, a ligand may be formed around it to achieve stability as an ink.

例えば、特許文献1には、インクジェット法を用いて有機ELディスプレイパネル又は量子ドットディスプレイパネルに用いられるデバイスを製造する方法が開示されている。図13に、特許文献1に開示されたデバイスの断面図を示す。図13に示すように、特許文献1に開示されたデバイスでは、基板22X上に形成された隔壁24Xで囲まれた領域(開口部)にインクジェット法でインクを塗布することで、塗布するインクの機能に応じた機能膜21Xを形成している。特許文献1に開示されたデバイスをディスプレイパネルとして用いる場合、隔壁で囲まれた領域がピクセル(画素)となり、機能膜21Xは発光層となる。 For example, Patent Document 1 discloses a method of manufacturing a device used for an organic EL display panel or a quantum dot display panel by using an inkjet method. FIG. 13 shows a cross-sectional view of the device disclosed in Patent Document 1. As shown in FIG. 13, in the device disclosed in Patent Document 1, the ink to be applied is applied by applying the ink to the region (opening) surrounded by the partition wall 24X formed on the substrate 22X by the inkjet method. A functional film 21X corresponding to the function is formed. When the device disclosed in Patent Document 1 is used as a display panel, the area surrounded by the partition wall becomes a pixel, and the functional film 21X becomes a light emitting layer.

国際公開第2016/010077号International Publication No. 2016/010077

しかしながら、特許文献1に開示されたデバイスをディスプレイパネルに用いると、ピクセルとなる隔壁で囲まれた領域を基板の面内で配置する間隔が狭くなる。このため、ピクセルの解像度を高くした場合、隔壁で囲まれた領域にインクを吐出したときにインクの着弾がずれて、意図しないピクセルにインクが混入してしまって混色が発生することがある。 However, when the device disclosed in Patent Document 1 is used for a display panel, the interval for arranging the region surrounded by the partition wall as a pixel in the plane of the substrate becomes narrow. Therefore, when the resolution of the pixels is increased, when the ink is ejected to the area surrounded by the partition wall, the landing of the ink is deviated, and the ink may be mixed into the unintended pixels to cause color mixing.

例えば、対象とするディスプレイパネルのピクセルの解像度が400ppiである場合、このディスプレイパネルに用いられる発光層及び隔壁を有するデバイスおいて、ピクセル間の距離及び隔壁の幅は、おおよそ次のようになる。図1Aは、ピクセルの解像度が400ppiであるディスプレイパネルに用いられるデバイスの構成の一例を示す平面図であり、図1Bは、図1AのIB−IB線における断面図であり、図1Aに示されるデバイスのピクセルにインクを吐出するときの様子を示している。なお、図1Bでは、発光層21Yを形成する前の状態を示している。 For example, when the resolution of the pixels of the target display panel is 400 ppi, the distance between the pixels and the width of the partition wall are approximately as follows in the device having the light emitting layer and the partition wall used for this display panel. 1A is a plan view showing an example of the configuration of a device used for a display panel having a pixel resolution of 400 ppi, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line IB-IB of FIG. 1A, which is shown in FIG. 1A. It shows how ink is ejected to the pixels of the device. Note that FIG. 1B shows a state before the light emitting layer 21Y is formed.

図1A及び図1Bに示されるディスプレイパネルでは、赤色(R)、緑色(G)及び青色(B)の各々のピクセルに対応する位置に設けられた発光層21Yと、各発光層21Yを囲む隔壁24Yとを有しており、同色のピクセル間の距離が約63μmで、異なる色で隣接する2つのピクセル間の距離は21μmである。また、各ピクセルの大きさは直径が15μmで、隣接する2つのピクセル間を区切る隔壁の幅は6μmである。各ピクセルの大きさ等はディスプレイパネルの発光特性等から設計されるものであるので、必ずしも上記のようにはならないが、代表的な数値としては上記のようになる。 In the display panels shown in FIGS. 1A and 1B, a light emitting layer 21Y provided at a position corresponding to each pixel of red (R), green (G), and blue (B) and a partition wall surrounding each light emitting layer 21Y. It has 24Y, the distance between pixels of the same color is about 63 μm, and the distance between two adjacent pixels of different colors is 21 μm. The size of each pixel is 15 μm in diameter, and the width of the partition wall separating two adjacent pixels is 6 μm. Since the size of each pixel is designed from the light emission characteristics of the display panel and the like, it is not necessarily as described above, but a typical numerical value is as described above.

また、図1Bには、発光層21Yをインクジェット法により形成する際に、隔壁24Yで囲まれた領域(ピクセル)にインク40Yの液滴を吐出するときの様子を示している。例えば、液滴の体積が1ピコリットル(pL)のインク40Yの吐出が可能なインクジェットヘッドによって、隔壁24Yで囲まれた領域にインク40Yを塗布する場合を考える。体積が1pLのインク40の液滴の直径は、12.6μmである。一方、インク40Yを塗布すべき領域の幅は、上記のように15μmである。したがって、インク40Yを塗布する領域の幅に対してインク40Yの液滴の大きさがほぼ同等であり、塗布するインク40Yの着弾位置精度としては極めて高いものが要求される。このため、混色なく安定して塗布膜を形成することは現実的には困難であり、デバイスの製造時の歩留まりが低下して高コスト化したり混色によって発光特性が低下したりするおそれがある。 Further, FIG. 1B shows a state in which droplets of ink 40Y are ejected into a region (pixel) surrounded by the partition wall 24Y when the light emitting layer 21Y is formed by the inkjet method. For example, consider a case where the ink 40Y is applied to the region surrounded by the partition wall 24Y by an inkjet head capable of ejecting the ink 40Y having a droplet volume of 1 picolitre (pL). The diameter of the droplet of the ink 40 having a volume of 1 pL is 12.6 μm. On the other hand, the width of the region to which the ink 40Y should be applied is 15 μm as described above. Therefore, the size of the droplets of the ink 40Y is almost the same as the width of the region to which the ink 40Y is applied, and the landing position accuracy of the ink 40Y to be applied is required to be extremely high. For this reason, it is practically difficult to stably form a coating film without color mixing, and there is a risk that the yield at the time of manufacturing the device will decrease, the cost will increase, and the light emission characteristics will decrease due to color mixing.

本開示は、このような課題を解決するためになされたものであり、隔壁で囲まれた領域同士の間隔が狭くても、インクジェット法を用いて発光層等の機能膜を形成することができ、発光特性の低下抑制と低コスト化との両立を図ることができる色変換デバイス及びマイクロLEDディスプレイパネル等を提供することを目的とする。 The present disclosure has been made to solve such a problem, and even if the distance between the regions surrounded by the partition walls is narrow, a functional film such as a light emitting layer can be formed by using an inkjet method. An object of the present invention is to provide a color conversion device, a micro LED display panel, and the like that can achieve both suppression of deterioration of light emission characteristics and cost reduction.

上記課題を解決するために、本開示に係る色変換デバイスの一態様は、基板と、上記基板の上に位置し、発光材料を含む発光層と、上記発光層に接触し、上記発光層が発光する発光領域を規定する第一の隔壁と、上記発光層に接触し、上記発光層が形成される形成領域を規定する第二の隔壁と、を有し、上記発光層と上記第一の隔壁との接触面積は、上記発光層と上記第二の隔壁との接触面積より大きい色変換デバイスである。 In order to solve the above problems, one aspect of the color conversion device according to the present disclosure is to contact the substrate, the light emitting layer containing the light emitting material, and the light emitting layer, and the light emitting layer is formed. It has a first partition wall that defines a light emitting region that emits light, and a second partition wall that defines a formation region that comes into contact with the light emitting layer and forms the light emitting layer. The light emitting layer and the first The contact area with the partition wall is a color conversion device larger than the contact area between the light emitting layer and the second partition wall.

また、本開示に係るマイクロLEDディスプレイパネルの一態様は、上記色変換デバイスと、上記色変換デバイスに入射する光を発する発光デバイスと、を有するマイクロLEDディスプレイパネルである。 Further, one aspect of the micro LED display panel according to the present disclosure is a micro LED display panel having the color conversion device and a light emitting device that emits light incident on the color conversion device.

また、本開示に係る色変換デバイスの製造方法の一態様は、基板上に、発光層が発光する発光領域を規定する第一の隔壁を形成する第1ステップと、
上記基板上に、上記発光層が形成される形成領域を規定する第二の隔壁を形成する第2ステップと、
上記第二の隔壁で囲まれた領域に、発光材料を含むインクを塗布して上記発光層を形成する第3ステップと、を含み、
上記第1ステップ及び上記第2ステップでは、上記基板から上記第一の隔壁の頂部までの第一の距離が、上記基板から上記第二の隔壁の頂部までの第二の距離より短くなるように上記第一の隔壁及び上記第二の隔壁を形成する色変換デバイスの製造方法。
Further, one aspect of the method for manufacturing a color conversion device according to the present disclosure includes a first step of forming a first partition wall on a substrate that defines a light emitting region in which a light emitting layer emits light.
A second step of forming a second partition wall on the substrate, which defines a formation region in which the light emitting layer is formed,
The region surrounded by the second partition wall includes a third step of applying an ink containing a light emitting material to form the light emitting layer.
In the first step and the second step, the first distance from the substrate to the top of the first partition wall is shorter than the second distance from the substrate to the top of the second partition wall. A method for manufacturing a color conversion device that forms the first partition wall and the second partition wall.

また、本開示に係るマイクロLEDディスプレイパネルの製造方法の一態様は、上記の色変換デバイスの製造方法により製造された色変換デバイスを用いたマイクロLEDディスプレイパネルの製造方法であって、上記色変換デバイスと上記色変換デバイスに入射する光を発する発光デバイスとを貼り合わせるステップを含むマイクロLEDディスプレイパネルの製造方法である。 Further, one aspect of the method for manufacturing a micro LED display panel according to the present disclosure is a method for manufacturing a micro LED display panel using the color conversion device manufactured by the above method for manufacturing a color conversion device, wherein the color conversion is performed. It is a method of manufacturing a micro LED display panel including a step of bonding a device and a light emitting device that emits light incident on the color conversion device.

本開示によれば、隔壁で囲まれた領域同士の間隔が狭くても、インクジェット法を用いて発光層等の機能膜を形成することができるので、発光特性の低下抑制と低コスト化との両立を図ることができる。 According to the present disclosure, even if the distance between the regions surrounded by the partition walls is narrow, a functional film such as a light emitting layer can be formed by using an inkjet method, so that deterioration of light emitting characteristics can be suppressed and cost can be reduced. It is possible to achieve both.

ピクセルの解像度が400ppiであるディスプレイパネルに用いられるデバイスの構成の一例を示す平面図Top view showing an example of the configuration of a device used for a display panel having a pixel resolution of 400 ppi. 図1Aに示されるデバイスのピクセルにインクを吐出するときの様子を示す断面図A cross-sectional view showing a state when ink is ejected to the pixels of the device shown in FIG. 1A. 実施の形態に係るマイクロLEDディスプレイパネルの断面図Cross-sectional view of the micro LED display panel according to the embodiment 実施の形態に係る色変換デバイスの平面図Top view of the color conversion device according to the embodiment 図3AのIIIB−IIIB線における実施の形態に係る色変換デバイスの断面図FIG. 3A is a cross-sectional view of the color conversion device according to the embodiment taken along the line IIIB-IIIB. 実施の形態に係る色変換デバイスの他の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the other structure of the color conversion device which concerns on embodiment 実施の形態に係る色変換デバイスの製造方法における基板準備ステップを説明するための図The figure for demonstrating the substrate preparation step in the manufacturing method of the color conversion device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る色変換デバイスの製造方法における第一の隔壁形成ステップを説明するための図The figure for demonstrating the first partition wall forming step in the manufacturing method of the color conversion device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る色変換デバイスの製造方法における第二の隔壁形成ステップを説明するための図The figure for demonstrating the 2nd partition wall forming step in the manufacturing method of the color conversion device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る色変換デバイスの製造方法における発光層形成ステップを説明するための図The figure for demonstrating the light emitting layer formation step in the manufacturing method of the color conversion device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る色変換デバイスにおいて、第一の隔壁及び第二の隔壁の他の製造方法おける隔壁材料塗布ステップを説明するための図The figure for demonstrating the partition wall material application step in the 1st bulkhead and the other manufacturing method of the 2nd bulkhead in the color conversion device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る色変換デバイスにおいて、第一の隔壁及び第二の隔壁の他の製造方法おける露光ステップを説明するための図The figure for demonstrating the exposure step in the 1st bulkhead and the other manufacturing method of the 2nd bulkhead in the color conversion device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る色変換デバイスにおいて、第一の隔壁及び第二の隔壁の他の製造方法おけるエッチングステップを説明するための図The figure for demonstrating the etching step in the 1st bulkhead and the other manufacturing method of the 2nd bulkhead in the color conversion device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る色変換デバイスの他の構成を示す平面図Top view showing another configuration of the color conversion device according to the embodiment. 図7AのVIIB−VIIB線における色変換デバイスの断面図Sectional drawing of the color conversion device in the VIIB-VIIB line of FIG. 7A 比較例の色変換デバイスの平面図Top view of the color conversion device of the comparative example 図8AのVIII−VIII線における比較例の色変換デバイスの断面図Sectional drawing of the color conversion device of the comparative example in line VIII-VIII of FIG. 8A 変形例1に係る色変換デバイスの断面図Cross-sectional view of the color conversion device according to the first modification 変形例2に係る色変換デバイスの製造方法のインク塗布ステップにおけるインク塗布直前の様子を示す図The figure which shows the state just before ink application in the ink application step of the manufacturing method of the color conversion device which concerns on modification 2. 変形例2に係る色変換デバイスの製造方法のインク塗布ステップにおけるインク塗布直後の様子を示す図The figure which shows the state immediately after ink application in the ink application step of the manufacturing method of the color conversion device which concerns on modification 2. 変形例2に係る色変換デバイスの製造方法のインク塗布ステップにおける最終状態の様子を示す図The figure which shows the state of the final state in the ink application step of the manufacturing method of the color conversion device which concerns on modification 2. 変形例3に係る色変換デバイスの平面図Top view of the color conversion device according to the third modification 図11AのXIB−XIB線における変形例3に係る色変換デバイスの断面図Cross-sectional view of the color conversion device according to the third modification in the XIB-XIB line of FIG. 11A. 図11AのXIC−XIC線における変形例3に係る色変換デバイスの断面図A cross-sectional view of the color conversion device according to the third modification in the XIC-XIC line of FIG. 11A. 変形例3に係る色変換デバイスの他の構成を示す平面図Top view showing another configuration of the color conversion device according to the modification 3. 特許文献1に開示されたデバイスの断面図Cross-sectional view of the device disclosed in Patent Document 1

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本開示の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される、数値、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、並びに、ステップ及びステップの順序等は、一例であって本開示を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。 Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings. It should be noted that all of the embodiments described below show a specific example of the present disclosure. Therefore, the numerical values, the components, the arrangement positions and connection forms of the components, the steps and the order of the steps, etc., which are shown in the following embodiments, are examples and do not limit the present disclosure. Therefore, among the components in the following embodiments, the components not described in the independent claims are described as arbitrary components.

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。なお、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。 Further, each figure is a schematic view and is not necessarily exactly illustrated. In each figure, substantially the same configuration is designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted or simplified.

(実施の形態)
<マイクロLEDディスプレイパネル>
まず、実施の形態に係るマイクロLEDディスプレイパネル1の構成について、図2を用いて説明する。図2は、実施の形態に係るマイクロLEDディスプレイパネル1の断面図である。
(Embodiment)
<Micro LED display panel>
First, the configuration of the micro LED display panel 1 according to the embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view of the micro LED display panel 1 according to the embodiment.

マイクロLEDディスプレイパネル1は、マイクロオーダサイズのマイクロLEDをピクセル(画素)とするディスプレイである。本実施の形態におけるマイクロLEDディスプレイパネル1は、図2に示すように、発光デバイス10と、発光デバイス10に対向して配置された色変換デバイス20とを有する。 The micro LED display panel 1 is a display in which micro LEDs of micro order size are pixels. As shown in FIG. 2, the micro LED display panel 1 in the present embodiment has a light emitting device 10 and a color conversion device 20 arranged so as to face the light emitting device 10.

具体的な製造方法は後述するが、マイクロLEDディスプレイパネル1は、発光デバイス10と色変換デバイス20とを別々の工程で作製し、それぞれを貼り合わせることで作製することができる。 Although a specific manufacturing method will be described later, the micro LED display panel 1 can be manufactured by manufacturing the light emitting device 10 and the color conversion device 20 in separate steps and bonding them together.

なお、発光デバイス10と色変換デバイス20との貼り合わせ部分を封止材料で覆うことで、外部からの水分及び酸素の侵入を抑制することができる。これにより、マイクロLEDディスプレイパネル1の劣化を抑制することもでき、信頼性の高いマイクロLEDディスプレイパネル1を実現することができる。 By covering the bonded portion between the light emitting device 10 and the color conversion device 20 with a sealing material, it is possible to suppress the invasion of moisture and oxygen from the outside. As a result, deterioration of the micro LED display panel 1 can be suppressed, and a highly reliable micro LED display panel 1 can be realized.

発光デバイス10は、色変換デバイス20に入射する光を発する。本実施の形態において、発光デバイス10は、青色の光を発する青色発光デバイスである。発光デバイス10は、例えば、LEDによって構成されたLEDデバイスであるが、有機ELによって構成された有機ELデバイス等であってもよい。無機材料が発光する無機ELでもよい。 The light emitting device 10 emits light incident on the color conversion device 20. In the present embodiment, the light emitting device 10 is a blue light emitting device that emits blue light. The light emitting device 10 is, for example, an LED device composed of LEDs, but may be an organic EL device composed of an organic EL or the like. It may be an inorganic EL that emits light from an inorganic material.

図2に示すように、発光デバイス10は、発光体11を有する。本実施の形態において、発光デバイス10は、基板12を有しており、発光体11は、この基板12の上に配置されている。
<発光体11>
具体的には、発光体11は、基板12の上に複数配置されている。発光体11は、マイクロLEDディスプレイパネル1のピクセルごとに設けられている。つまり、1つの発光体11は、マイクロLEDディスプレイパネル1における1つのピクセルに対応して設けられている。
As shown in FIG. 2, the light emitting device 10 has a light emitting body 11. In the present embodiment, the light emitting device 10 has a substrate 12, and the light emitting body 11 is arranged on the substrate 12.
<Luminator 11>
Specifically, a plurality of light emitters 11 are arranged on the substrate 12. The light emitting body 11 is provided for each pixel of the micro LED display panel 1. That is, one light emitting body 11 is provided corresponding to one pixel in the micro LED display panel 1.

発光体11は、光を発する光源である。本実施の形態において、発光体11は、青色光を発する青色発光体である。この場合、コスト面等の観点では、発光体11として青色LEDを用いることが望ましいが、これに限らない。例えば、発光デバイス10として有機ELデバイスを用いる場合、発光体11は、有機EL膜によって構成された有機EL発光体である。
<基板12>
基板12は、絶縁性を有するものであれば、任意のものを用いることができる。基板12としては、例えば、絶縁樹脂材料を基材とする樹脂基板、表面が絶縁被膜されたアルミニウム合金基板等のメタルベース基板、セラミック材料からなるセラミック基板、又は、ガラス材料からなるガラス基板等を用いることができる。基板12は、光取り出し方向に応じて、透光性を有する透光性基板を用いてもよいし、光を透過しない不透光性基板を用いてもよい。基板12として透光性基板を用いる場合、基板12は、透明樹脂基板又はガラス基板等の透明基板である。また、基板12は、リジッド基板であってもよいし、フレキシブル基板であってもよい。なお、基板12の表面には、絶縁耐圧及び光取り出し効率を向上させるために、白色レジスト等の白色の絶縁膜が形成されていてもよい。
<発光デバイス10>
本実施の形態において、発光デバイス10は、隔壁13を有する。隔壁13は、各発光体11を囲むように設けられている。隔壁13を設けることで、発光体11から出射した光が、隣りのピクセルに漏れないようにすることができる。隔壁13は、例えば、黒色又は白色の樹脂材料によって構成される。
The light emitter 11 is a light source that emits light. In the present embodiment, the light emitting body 11 is a blue light emitting body that emits blue light. In this case, from the viewpoint of cost and the like, it is desirable to use the blue LED as the light emitting body 11, but the present invention is not limited to this. For example, when an organic EL device is used as the light emitting device 10, the light emitting body 11 is an organic EL light emitting body composed of an organic EL film.
<Board 12>
Any substrate 12 can be used as long as it has an insulating property. Examples of the substrate 12 include a resin substrate using an insulating resin material as a base material, a metal base substrate such as an aluminum alloy substrate having an insulating coating on the surface, a ceramic substrate made of a ceramic material, a glass substrate made of a glass material, and the like. Can be used. As the substrate 12, a translucent substrate having translucency may be used or a translucent substrate that does not transmit light may be used depending on the light extraction direction. When a translucent substrate is used as the substrate 12, the substrate 12 is a transparent substrate such as a transparent resin substrate or a glass substrate. Further, the substrate 12 may be a rigid substrate or a flexible substrate. A white insulating film such as a white resist may be formed on the surface of the substrate 12 in order to improve the withstand voltage and the light extraction efficiency.
<Light emitting device 10>
In the present embodiment, the light emitting device 10 has a partition wall 13. The partition wall 13 is provided so as to surround each light emitting body 11. By providing the partition wall 13, the light emitted from the light emitting body 11 can be prevented from leaking to the adjacent pixel. The partition wall 13 is made of, for example, a black or white resin material.

なお、発光デバイス10は、発光体11の発光を制御するための駆動トランジスタを有していてもよい。また、発光体11として用いる青色LEDについては、別の工程で製造した青色LEDが基板12に実装されていてもよいし、基板12に青色LEDが直接形成されていてもよい。例えば、発光デバイス10として有機ELデバイスを用いる場合、真空蒸着法又はインクジェット法を用いて基板12上に発光体11として有機EL膜を直接形成すればよい。
<色変換デバイス20>
次に、色変換デバイス20について、図2を参照しつつ、図3A及び図3Bを用いて説明する。図3Aは、実施の形態に係る色変換デバイス20の平面図であり、図3Bは、図3AのIIIB−IIIB線における同色変換デバイス20の断面図である。
The light emitting device 10 may have a driving transistor for controlling the light emission of the light emitting body 11. Further, as for the blue LED used as the light emitting body 11, the blue LED manufactured in another step may be mounted on the substrate 12, or the blue LED may be directly formed on the substrate 12. For example, when an organic EL device is used as the light emitting device 10, an organic EL film as the light emitting body 11 may be directly formed on the substrate 12 by a vacuum deposition method or an inkjet method.
<Color conversion device 20>
Next, the color conversion device 20 will be described with reference to FIGS. 3A and 3B with reference to FIG. FIG. 3A is a plan view of the color conversion device 20 according to the embodiment, and FIG. 3B is a cross-sectional view of the same color conversion device 20 on the line IIIB-IIIB of FIG. 3A.

色変換デバイス20は、色変換デバイス20に入射する光を所定の色の波長に変換する機能を有する。具体的には、色変換デバイス20は、発光デバイス10から出射した光の波長を発光デバイス10が出射する光の色とは異なる色の波長に変換する波長変換層として、複数の発光層21を有する。 The color conversion device 20 has a function of converting the light incident on the color conversion device 20 into a wavelength of a predetermined color. Specifically, the color conversion device 20 uses a plurality of light emitting layers 21 as wavelength conversion layers that convert the wavelength of the light emitted from the light emitting device 10 into a wavelength of a color different from the color of the light emitted by the light emitting device 10. Have.

本実施の形態において、色変換デバイス20は、複数の発光層21として、発光デバイス10から出射した青色光の波長を赤色の波長に変換する機能を有する赤色発光層21rと、発光デバイス10から出射した青色光の波長を緑色の波長に変換する機能を有する緑色発光層21gと、発光デバイス10から出射した青色光をそのまま透過する機能を有する青色発光層21bとを有する。
<発光層21>
複数の発光層21は、発光デバイス10の複数の発光体11に対応して設けられている。具体的には、複数の発光層21の各々は、複数の発光体11の各々に対向して配置されている。より具体的には、赤色発光層21r、緑色発光層21g及び青色発光層21bの各々と複数の発光体11とは、互いに対向するようにして一対一の関係で設けられている。したがって、複数の発光層21の各々は、マイクロLEDディスプレイパネル1における1つのピクセルに対応して設けられている。
In the present embodiment, the color conversion device 20 has, as a plurality of light emitting layers 21, a red light emitting layer 21r having a function of converting the wavelength of blue light emitted from the light emitting device 10 into a red wavelength, and emitting from the light emitting device 10. It has a green light emitting layer 21g having a function of converting the wavelength of the blue light to a green wavelength, and a blue light emitting layer 21b having a function of transmitting the blue light emitted from the light emitting device 10 as it is.
<Light emitting layer 21>
The plurality of light emitting layers 21 are provided corresponding to the plurality of light emitting bodies 11 of the light emitting device 10. Specifically, each of the plurality of light emitting layers 21 is arranged so as to face each of the plurality of light emitting bodies 11. More specifically, each of the red light emitting layer 21r, the green light emitting layer 21g, and the blue light emitting layer 21b and the plurality of light emitting bodies 11 are provided in a one-to-one relationship so as to face each other. Therefore, each of the plurality of light emitting layers 21 is provided corresponding to one pixel in the micro LED display panel 1.

ここで、赤色のピクセルに対応する赤色発光層21r及び緑色のピクセルに対応する緑色発光層21gは、量子ドット材料(発光材料)を含んでいる。量子ドット材料としては、例えば、カドミウム−セレン系又はインジウム−リン系、銅−インジウム−硫黄系、銀−インジウム−硫黄系、ペロブスカイト構造の材料を用いることができる。本実施の形態において、赤色発光層21r及び緑色発光層21gは、例えば、量子ドット材料が分散された樹脂膜によって構成されている。赤色発光層21r及び緑色発光層21gにおいて、量子ドット材料の濃度は、5重量パーセント以上50重量パーセント以下であるとよい。 Here, the red light emitting layer 21r corresponding to the red pixel and the green light emitting layer 21 g corresponding to the green pixel contain a quantum dot material (light emitting material). As the quantum dot material, for example, a cadmium-selenium-based or indium-phosphorus-based, copper-indium-sulfur-based, silver-indium-sulfur-based, or perovskite-structured material can be used. In the present embodiment, the red light emitting layer 21r and the green light emitting layer 21g are composed of, for example, a resin film in which a quantum dot material is dispersed. In the red light emitting layer 21r and the green light emitting layer 21g, the concentration of the quantum dot material is preferably 5% by weight or more and 50% by weight or less.

赤色発光層21rは、赤色光を発する量子ドット材料を含んでいる。本実施の形態において、赤色発光層21rに含まれる量子ドット材料は、発光デバイス10から出射する青色の波長の光により励起されて赤色光を発する。したがって、赤色発光層21rに青色の波長の光が照射されると、青色の波長の光が赤色の波長に変換されて赤色発光層21rから赤色光が放出する。 The red light emitting layer 21r contains a quantum dot material that emits red light. In the present embodiment, the quantum dot material contained in the red light emitting layer 21r is excited by light having a blue wavelength emitted from the light emitting device 10 to emit red light. Therefore, when the red light emitting layer 21r is irradiated with light having a blue wavelength, the light having a blue wavelength is converted into a red wavelength and the red light is emitted from the red light emitting layer 21r.

緑色発光層21gは、緑色光を発する量子ドット材料を含んでいる。本実施の形態において、緑色発光層21gに含まれる量子ドット材料は、発光デバイス10から出射する青色の波長の光により励起されて緑色光を発する。したがって、緑色発光層21gに青色の波長の光が照射されると、青色の波長の光が緑色の波長に変換されて緑色発光層21gから緑色光が放出する。 The green light emitting layer 21 g contains a quantum dot material that emits green light. In the present embodiment, the quantum dot material contained in the green light emitting layer 21 g is excited by light having a blue wavelength emitted from the light emitting device 10 to emit green light. Therefore, when the green light emitting layer 21 g is irradiated with the light of the blue wavelength, the light of the blue wavelength is converted into the green wavelength and the green light is emitted from the green light emitting layer 21 g.

一方、本実施の形態における青色発光層21bには、量子ドット材料が含まれていない樹脂膜によって構成されている。したがって、青色発光層21bに青色の波長の光が照射されると、青色発光層21bからは青色光がそのまま放出する。 On the other hand, the blue light emitting layer 21b in the present embodiment is formed of a resin film that does not contain a quantum dot material. Therefore, when the blue light emitting layer 21b is irradiated with light having a blue wavelength, the blue light is emitted as it is from the blue light emitting layer 21b.

赤色発光層21r、緑色発光層21g及び青色発光層21bを構成する樹脂材料は、例えばアクリル系又はエポキシ系の樹脂である。また、赤色発光層21r、緑色発光層21g及び青色発光層21bを構成する樹脂材料としては、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化樹脂を用いることが望ましい。 The resin material constituting the red light emitting layer 21r, the green light emitting layer 21g, and the blue light emitting layer 21b is, for example, an acrylic or epoxy resin. Further, as the resin material constituting the red light emitting layer 21r, the green light emitting layer 21g and the blue light emitting layer 21b, it is desirable to use an ultraviolet curable resin that is cured by irradiation with ultraviolet rays.

発光層21は、さらに、光を散乱させる特性を有する拡散粒子(散乱粒子)が樹脂膜中に存在していてもよい。つまり、赤色発光層21r、緑色発光層21g及び青色発光層21bを構成する樹脂材料には、拡散粒子が分散されていてもよい。この場合、本実施の形態における青色発光層21bには、量子ドット材料及び拡散粒子のうち拡散粒子のみが含まれることになる。 In the light emitting layer 21, diffusion particles (scattered particles) having a property of scattering light may be further present in the resin film. That is, the diffusion particles may be dispersed in the resin material constituting the red light emitting layer 21r, the green light emitting layer 21g, and the blue light emitting layer 21b. In this case, the blue light emitting layer 21b in the present embodiment contains only the diffusing particles among the quantum dot material and the diffusing particles.

拡散粒子としては、例えば、酸化チタン粒子、ジルコニア粒子、又は、粒子の内部が空洞になっている中空シリカ粒子等を用いることができる。拡散粒子の粒径は、例えば50nm以上1000nm以下である。各発光層21において、拡散粒子は、例えば数重量パーセントの濃度で含まれている。発光層21に拡散粒子が含まれていることで、発光層21中を進む青色の光が散乱して光路長が長くなる。このように、発光層21中を進む青色の光の光路長が長くなることで、波長変換機能を有する量子ドット材料に青色の光が当たる回数が多くなり、波長変換効率が上昇する。 As the diffusion particles, for example, titanium oxide particles, zirconia particles, hollow silica particles in which the inside of the particles is hollow, or the like can be used. The particle size of the diffused particles is, for example, 50 nm or more and 1000 nm or less. In each light emitting layer 21, the diffuse particles are contained, for example, in a concentration of several weight percent. Since the light emitting layer 21 contains diffused particles, the blue light traveling through the light emitting layer 21 is scattered and the optical path length is lengthened. As described above, by increasing the optical path length of the blue light traveling through the light emitting layer 21, the number of times the blue light hits the quantum dot material having the wavelength conversion function increases, and the wavelength conversion efficiency increases.

なお、発光層21には、さらに、水分を吸湿する粒子が含まれていてもよい。これにより、発光層21が水分によって劣化することを抑制することができる。 The light emitting layer 21 may further contain particles that absorb moisture. As a result, it is possible to prevent the light emitting layer 21 from being deteriorated by moisture.

色変換デバイス20は、さらに、基板22を有しており、発光層21は、この基板22の上に位置している。具体的には、発光層21は、基板22の一方の面であるオモテ面に設けられている。
<基板22>
基板22は、絶縁性を有するものであれば、任意のものを用いることができる。基板22としては、例えば、樹脂基板、メタルベース基板、セラミック基板、又は、ガラス基板等を用いることができる。基板22は、光取り出し方向に応じて、透光性を有する透光性基板を用いてもよいし、光を透過しない不透光性基板を用いてもよい。基板22として透光性基板を用いる場合、基板22は、透明樹脂基板又はガラス基板等の透明基板である。また、基板22は、リジッド基板であってもよいし、フレキシブル基板であってもよい。
The color conversion device 20 further has a substrate 22, and the light emitting layer 21 is located on the substrate 22. Specifically, the light emitting layer 21 is provided on the front surface, which is one surface of the substrate 22.
<Board 22>
As the substrate 22, any substrate 22 can be used as long as it has an insulating property. As the substrate 22, for example, a resin substrate, a metal base substrate, a ceramic substrate, a glass substrate, or the like can be used. As the substrate 22, a translucent substrate having translucency may be used, or a translucent substrate that does not transmit light may be used, depending on the light extraction direction. When a translucent substrate is used as the substrate 22, the substrate 22 is a transparent substrate such as a transparent resin substrate or a glass substrate. Further, the substrate 22 may be a rigid substrate or a flexible substrate.

本実施の形態では、基板22としてガラス基板を用いている。この場合、発光層21から出射した光が基板22を透過しないように基板22に遮光性を有する遮光膜が形成されていてもよい。例えば、遮光膜として、光反射性を有する光反射膜が基板22のオモテ面(発光層21が設けられた面)に形成されていてもよい。光反射膜は、例えば、白色の絶縁性樹脂材料等によって構成された白レジスト等の白色膜である。あるいは、光反射膜として、光反射性を有する金属膜が基板22のウラ面に形成されていてもよい。具体的には、銀−パラジウム−銅合金等からなる金属膜が基板22のウラ面に形成されていてもよい。 In this embodiment, a glass substrate is used as the substrate 22. In this case, a light-shielding film having a light-shielding property may be formed on the substrate 22 so that the light emitted from the light-emitting layer 21 does not pass through the substrate 22. For example, as the light-shielding film, a light-reflecting film having light reflectivity may be formed on the front surface (the surface provided with the light emitting layer 21) of the substrate 22. The light-reflecting film is, for example, a white film such as a white resist made of a white insulating resin material or the like. Alternatively, as the light-reflecting film, a metal film having light-reflecting property may be formed on the back surface of the substrate 22. Specifically, a metal film made of a silver-palladium-copper alloy or the like may be formed on the back surface of the substrate 22.

また、色変換デバイス20は、第一の隔壁23と第二の隔壁24とを有する。第一の隔壁23及び第二の隔壁24は、発光層21と同様に、基板22の一方の面であるオモテ面に設けられている。
<隔壁>
第一の隔壁23及び第二の隔壁24は、発光層21を囲っている。第一の隔壁23は、発光層21が発光する発光領域を規定している。一方、第二の隔壁24は、発光層21が形成される形成領域を規定している。本実施の形態おいて、発光層21はインクを塗布することによって形成されるので、第二の隔壁24は、インクが塗布される塗布領域(インク塗布領域)となる。
Further, the color conversion device 20 has a first partition wall 23 and a second partition wall 24. The first partition wall 23 and the second partition wall 24 are provided on the front surface, which is one surface of the substrate 22, like the light emitting layer 21.
<Septum>
The first partition 23 and the second partition 24 surround the light emitting layer 21. The first partition wall 23 defines a light emitting region in which the light emitting layer 21 emits light. On the other hand, the second partition wall 24 defines a forming region where the light emitting layer 21 is formed. In the present embodiment, since the light emitting layer 21 is formed by applying ink, the second partition wall 24 becomes a coating region (ink coating region) to which the ink is applied.

本実施の形態において、第二の隔壁24は、複数の発光層21に共通して一体に構成されている。第二の隔壁24には、当該第二の隔壁24で囲まれる領域として、複数の発光層21の各々に対応する複数の開口部が形成されている。つまり、第二の隔壁24によって構成される複数の開口部には、発光層21が形成されている。第一の隔壁23は、第二の隔壁24の複数の開口部の各々に設けられている。つまり、第一の隔壁23は、複数の発光層21の各々に対応して、複数設けられている。第二の隔壁24によって構成(囲まれる)される開口部の形状は、楕円形状、または、円形状に対抗する2つの三日月形状を加えた形状である。このような形状とすることで、高密度で、開口部が形成でき、かつ、開口部間の距離を保て、混色などが発生しない。また、第一の隔壁23で構成される領域は、円形状である。発光が均質とするためである。 In the present embodiment, the second partition wall 24 is integrally formed in common with the plurality of light emitting layers 21. The second partition wall 24 is formed with a plurality of openings corresponding to each of the plurality of light emitting layers 21 as a region surrounded by the second partition wall 24. That is, the light emitting layer 21 is formed in the plurality of openings formed by the second partition wall 24. The first partition wall 23 is provided in each of the plurality of openings of the second partition wall 24. That is, a plurality of first partition walls 23 are provided corresponding to each of the plurality of light emitting layers 21. The shape of the opening formed (enclosed) by the second partition wall 24 is an elliptical shape or a shape obtained by adding two crescent shapes that oppose the circular shape. With such a shape, openings can be formed at high density, the distance between the openings can be maintained, and color mixing does not occur. Further, the region formed by the first partition wall 23 has a circular shape. This is because the light emission is homogeneous.

なお、第一の隔壁23は、第二の隔壁24で形成された開口部の側面の対向する2方向に三日月柱(柱状体)の形状で形成される。開口部の体積を確保でき、発光層21がメインで形成される空間を円柱形状とでき、発光量を確保できる。 The first partition wall 23 is formed in the shape of a crescent pillar (columnar body) in two opposite directions on the side surface of the opening formed by the second partition wall 24. The volume of the opening can be secured, the space in which the light emitting layer 21 is mainly formed can be formed into a cylindrical shape, and the amount of light emitted can be secured.

各ピクセルにおいて、第二の隔壁24で囲まれる領域(開口部)は、平面視で扁平形状である。本実施の形態において、第二の隔壁24で囲まれる領域(開口部)は、平面視でレーストラック状の長円形状である。また、第二の隔壁24の内側に位置する第一の隔壁23で囲まれる領域は、平面視で円形状である。 In each pixel, the region (opening) surrounded by the second partition wall 24 has a flat shape in a plan view. In the present embodiment, the region (opening) surrounded by the second partition wall 24 has a race track-like oval shape in a plan view. Further, the region surrounded by the first partition wall 23 located inside the second partition wall 24 has a circular shape in a plan view.

また、各ピクセルにおいて、第一の隔壁23は、第二の隔壁24の内壁面に接触するように形成されている。本実施の形態において、第二の隔壁24で囲まれる領域には、第一の隔壁23で囲まれる領域が1つ含まれている。つまり、第二の隔壁24で囲まれる領域には、1つの発光層21が設けられている。 Further, in each pixel, the first partition wall 23 is formed so as to contact the inner wall surface of the second partition wall 24. In the present embodiment, the region surrounded by the second partition wall 24 includes one region surrounded by the first partition wall 23. That is, one light emitting layer 21 is provided in the region surrounded by the second partition wall 24.

第一の隔壁23の膜厚は、第二の隔壁24の膜厚より薄い。つまり、第一の隔壁23の高さは、第二の隔壁24の高さより低い。具体的には、基板22から第一の隔壁23の頂部までの第一の距離は、基板22から第二の隔壁24の頂部までの第二の距離よりも短くなっている。一例として、第一の隔壁23の第一の距離(膜厚)は、おおよそ2μm以上9μm以下であり、望ましくは3μm以上7μm以下である。一方、第二の隔壁24の第二の距離(膜厚)は、おおよそ5μm以上10μm以下であり、望ましくは6μm以上8μm以下である。 The film thickness of the first partition wall 23 is thinner than the film thickness of the second partition wall 24. That is, the height of the first partition wall 23 is lower than the height of the second partition wall 24. Specifically, the first distance from the substrate 22 to the top of the first partition wall 23 is shorter than the second distance from the substrate 22 to the top of the second partition wall 24. As an example, the first distance (film thickness) of the first partition wall 23 is approximately 2 μm or more and 9 μm or less, and preferably 3 μm or more and 7 μm or less. On the other hand, the second distance (film thickness) of the second partition wall 24 is approximately 5 μm or more and 10 μm or less, and preferably 6 μm or more and 8 μm or less.

各発光層21は、第一の隔壁23及び第二の隔壁24の各々に接触している。具体的には、赤色発光層21r、緑色発光層21g及び青色発光層21bの各々において、発光層21は、第一の隔壁23及び第二の隔壁24の各々に接触している。これにより、発光層21が第一の隔壁23及び第二の隔壁24の一方のみに接触している場合と比べて、発光層21と発光層21を囲む隔壁(第一の隔壁23及び第二の隔壁24)との接触面積を大きくすることができるので、発光層21の密着性が向上する。したがって、特に基板22がフレキシブル基板である場合に、色変換デバイス20の信頼性が向上する。 Each light emitting layer 21 is in contact with each of the first partition 23 and the second partition 24. Specifically, in each of the red light emitting layer 21r, the green light emitting layer 21g, and the blue light emitting layer 21b, the light emitting layer 21 is in contact with each of the first partition wall 23 and the second partition wall 24. As a result, the partition wall surrounding the light emitting layer 21 and the light emitting layer 21 (first partition wall 23 and the second partition wall 23) is compared with the case where the light emitting layer 21 is in contact with only one of the first partition wall 23 and the second partition wall 24. Since the contact area with the partition wall 24) can be increased, the adhesion of the light emitting layer 21 is improved. Therefore, the reliability of the color conversion device 20 is improved, particularly when the substrate 22 is a flexible substrate.

第一の隔壁23は、第二の隔壁24の各開口部において、赤色発光層21r、緑色発光層21g及び青色発光層21bを囲むように形成されている。第二の隔壁24で囲まれた領域(開口部)において、発光層21は、第一の隔壁23の内壁面の全面に接触しているとともに、第二の隔壁24の内壁面の上部に接触している。 The first partition wall 23 is formed so as to surround the red light emitting layer 21r, the green light emitting layer 21g, and the blue light emitting layer 21b at each opening of the second partition wall 24. In the region (opening) surrounded by the second partition wall 24, the light emitting layer 21 is in contact with the entire inner wall surface of the first partition wall 23 and is in contact with the upper portion of the inner wall surface of the second partition wall 24. doing.

また、第一の隔壁23の膜厚が第二の隔壁24の膜厚より薄くなっているので、第一の隔壁23の頂部に位置する発光層21の膜厚は、他の部分に比べて薄くなっている。このため、第一の隔壁23の頂部に位置する発光層21は、波長変換機能をほとんど有しておらず発光しない。また、わずかに発光したとしてもその光は第一の隔壁23によって遮光されるので発光層21の外部には光が取り出されない。よって、第一の隔壁23の内側で規定された領域のみが発光に寄与する。このような構造により、発光層21が形成される形成領域(インク塗布領域)を広く確保しつつ、発光層21が発光する発光領域を所定のサイズで規定することができるので、インクジェット法によって機能膜となる発光層21を高品質かつ低コストで形成することができる。 Further, since the film thickness of the first partition wall 23 is thinner than the film thickness of the second partition wall 24, the film thickness of the light emitting layer 21 located at the top of the first partition wall 23 is larger than that of the other portions. It's getting thinner. Therefore, the light emitting layer 21 located at the top of the first partition wall 23 has almost no wavelength conversion function and does not emit light. Further, even if the light is slightly emitted, the light is blocked by the first partition wall 23, so that the light is not taken out to the outside of the light emitting layer 21. Therefore, only the region defined inside the first partition wall 23 contributes to light emission. With such a structure, it is possible to specify a light emitting region in which the light emitting layer 21 emits light with a predetermined size while securing a wide forming region (ink coating region) in which the light emitting layer 21 is formed. The light emitting layer 21 to be a film can be formed with high quality and low cost.

第一の隔壁23及び第二の隔壁24の各々は、絶縁性を有していれば、無機材料及び有機材料のいずれによって構成されていてもよい。一例として、第一の隔壁23及び第二の隔壁24は、紫外線で硬化する感光性の樹脂を用いて形成されるのが好ましい。同じ樹脂材料で形成されるのが好ましい。 Each of the first partition wall 23 and the second partition wall 24 may be made of either an inorganic material or an organic material as long as it has an insulating property. As an example, the first partition 23 and the second partition 24 are preferably formed using a photosensitive resin that is cured by ultraviolet rays. It is preferably formed of the same resin material.

また、発光層21が発光する発光領域を規定する第一の隔壁23は、各発光層21で発光した光を効率的に取り出せるように白色であることが望ましい。例えば、第一の隔壁23として、白色レジスト等を用いることができる。一方、発光層21が形成される形成領域を規定する第二の隔壁24は、第一の隔壁23よりも濡れ性が低く、塗布するインクに対して撥液性を示すことが望ましい。このため、例えば、第二の隔壁24としては、撥液性を付与するためにフッ素原子を含む官能基が樹脂中に含まれるフッ素樹脂等を用いるとよい。フッ素樹脂は、その高分子繰り返し単位のうち、少なくとも一部の繰り返し単位にフッ素原子を有するものであればよく、特に限定されない。第二の隔壁24の材料として用いるフッ素樹脂としては、例えば、フッ素化ポリオレフィン系樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、フッ素化ポリアクリル樹脂等が挙げられる。 Further, it is desirable that the first partition wall 23 that defines the light emitting region in which the light emitting layer 21 emits light is white so that the light emitted by each light emitting layer 21 can be efficiently taken out. For example, a white resist or the like can be used as the first partition wall 23. On the other hand, it is desirable that the second partition wall 24, which defines the formation region where the light emitting layer 21 is formed, has a lower wettability than the first partition wall 23 and exhibits liquid repellency to the ink to be applied. Therefore, for example, as the second partition wall 24, it is preferable to use a fluororesin or the like in which a functional group containing a fluorine atom is contained in the resin in order to impart liquid repellency. The fluororesin is not particularly limited as long as it has a fluorine atom in at least a part of the polymer repeating units. Examples of the fluororesin used as the material of the second partition wall 24 include a fluorinated polyolefin resin, a fluorinated polyimide resin, and a fluorinated polyacrylic resin.

また、上記のように、本実施の形態では、第二の隔壁24は、第一の隔壁23よりも濡れ性が低くなっている。つまり、第一の隔壁23は、第二の隔壁24よりも濡れ性が高い材料によって構成されている。このため、各発光層21において、発光層21と第一の隔壁23との接触面積は、発光層21と第二の隔壁24との接触面積よりも大きくするとよい。これにより、発光層21の密着性を向上させることができる。
<カラーフィルタ25>
なお、図4に示すように、色変換デバイスには、カラーフィルタ25が設けられていてもよい。例えば、赤色発光層21rに赤色カラーフィルタ25rを設け、緑色発光層21gに緑色カラーフィルタ25gを設け、青色発光層21bに青色カラーフィルタ25bを設ける。このように、カラーフィルタ25を設けることで所望の波長のみを透過させることができるので、色再現性を高めることができる。具体的には、青色光を発する発光デバイス10で発光された青色光に対して、赤色発光層21r、緑色発光層21g及び青色発光層21bで発光する光の色度が高まるので色再現性が高まる。また、カラーフィルタ25を設けることで、発光層21の発光効率を向上させることができる。
Further, as described above, in the present embodiment, the second partition wall 24 has a lower wettability than the first partition wall 23. That is, the first partition wall 23 is made of a material having a higher wettability than the second partition wall 24. Therefore, in each light emitting layer 21, the contact area between the light emitting layer 21 and the first partition wall 23 may be larger than the contact area between the light emitting layer 21 and the second partition wall 24. As a result, the adhesion of the light emitting layer 21 can be improved.
<Color filter 25>
As shown in FIG. 4, the color conversion device may be provided with the color filter 25. For example, the red light emitting layer 21r is provided with the red color filter 25r, the green light emitting layer 21g is provided with the green color filter 25g, and the blue light emitting layer 21b is provided with the blue color filter 25b. By providing the color filter 25 in this way, it is possible to transmit only a desired wavelength, so that color reproducibility can be improved. Specifically, the chromaticity of the light emitted by the red light emitting layer 21r, the green light emitting layer 21g, and the blue light emitting layer 21b is increased with respect to the blue light emitted by the light emitting device 10 that emits blue light, so that the color reproducibility is improved. Increase. Further, by providing the color filter 25, the luminous efficiency of the light emitting layer 21 can be improved.

<マイクロLEDディスプレイパネルの製造方法>
次に、実施の形態に係るマイクロLEDディスプレイパネル1の製造方法について説明する。
<Manufacturing method of micro LED display panel>
Next, a method of manufacturing the micro LED display panel 1 according to the embodiment will be described.

本実施の形態に係るマイクロLEDディスプレイパネル1の製造方法は、発光デバイス10を製造するステップと、色変換デバイス20を製造するステップと、色変換デバイス20と発光デバイス10とを貼り合わせるステップとを含む。 The method for manufacturing the micro LED display panel 1 according to the present embodiment includes a step of manufacturing the light emitting device 10, a step of manufacturing the color conversion device 20, and a step of bonding the color conversion device 20 and the light emitting device 10. Including.

[発光デバイスの製造方法]
まず、発光デバイス10の製造方法について説明する。例えば、発光デバイス10は、別の工程で作製された青色光を発する発光体11を基板12上に転写することで、基板12上に発光体11が配置された発光デバイス10を得ることができる。この場合、発光体11から出射する光が隣のピクセルに漏れないように基板12に隔壁13を設けるとよい。隔壁13は、発光体11を囲むように設けられる。
[Manufacturing method of light emitting device]
First, a method of manufacturing the light emitting device 10 will be described. For example, the light emitting device 10 can obtain the light emitting device 10 in which the light emitting body 11 is arranged on the substrate 12 by transferring the light emitting body 11 that emits blue light produced in another step onto the substrate 12. .. In this case, it is preferable to provide the partition wall 13 on the substrate 12 so that the light emitted from the light emitting body 11 does not leak to the adjacent pixel. The partition wall 13 is provided so as to surround the light emitting body 11.

[色変換デバイスの製造方法]
次に、色変換デバイス20の製造方法について、図5A〜図5Dを用いて説明する。図5A〜図5Dは、実施の形態に係る色変換デバイス20の製造方法における製造フローを説明するための図である。図5A、図5B、図5C及び図5Dは、それぞれ、基板準備ステップ、第一の隔壁形成ステップ、第二の隔壁形成ステップ及び発光層形成ステップを示している。
[Manufacturing method of color conversion device]
Next, a method of manufacturing the color conversion device 20 will be described with reference to FIGS. 5A to 5D. 5A to 5D are diagrams for explaining a manufacturing flow in the manufacturing method of the color conversion device 20 according to the embodiment. 5A, 5B, 5C and 5D show a substrate preparation step, a first partition wall forming step, a second partition wall forming step and a light emitting layer forming step, respectively.

色変換デバイス20の製造方法は、図5Aに示すように、基板22を準備するステップ(基板準備ステップ)と、図5Bに示すように、基板22上に、発光層21が発光する発光領域を規定する第一の隔壁23を形成するステップ(第一の隔壁形成ステップ)と、図5Cに示すように、基板22上に、発光層21が形成される形成領域を規定する第二の隔壁24を形成するステップ(第二の隔壁形成ステップ)と、図5Dに示すように、第二の隔壁24で囲まれた領域に、量子ドット材料を含むインクを塗布して発光層21を形成するステップ(発光層形成ステップ)と、を含む。 The method for manufacturing the color conversion device 20 includes a step of preparing the substrate 22 (board preparation step) as shown in FIG. 5A and a light emitting region on which the light emitting layer 21 emits light as shown in FIG. 5B. The step of forming the first partition wall 23 to be defined (first partition wall formation step) and the second partition wall 24 to define the formation region where the light emitting layer 21 is formed on the substrate 22 as shown in FIG. 5C. (Second partition wall forming step) and, as shown in FIG. 5D, a step of applying an ink containing a quantum dot material to a region surrounded by the second partition wall 24 to form a light emitting layer 21. (Light emitting layer forming step) and.

そして、第一の隔壁形成ステップ及び第二の隔壁形成ステップでは、基板22から第一の隔壁23の頂部までの第一の距離が基板22から第二の隔壁24の頂部までの第二の距離より短くなるように第一の隔壁23及び第二の隔壁24を形成している。 Then, in the first partition wall forming step and the second partition wall forming step, the first distance from the substrate 22 to the top of the first partition wall 23 is the second distance from the substrate 22 to the top of the second partition wall 24. The first partition wall 23 and the second partition wall 24 are formed so as to be shorter.

以下、第一の隔壁形成ステップ、第二の隔壁形成ステップ及び発光層形成ステップの各ステップの具体例について説明する。 Hereinafter, specific examples of each step of the first partition wall forming step, the second partition wall forming step, and the light emitting layer forming step will be described.

(基板準備ステップ)
基板準備ステップでは、図5Aに示すように、基板22を準備する。本実施の形態では、基板22としてガラス基板を準備した。
(Board preparation step)
In the board preparation step, the board 22 is prepared as shown in FIG. 5A. In the present embodiment, a glass substrate is prepared as the substrate 22.

(第一の隔壁形成ステップ)
第一の隔壁形成ステップでは、基板22上に第一の隔壁23を形成する。第一の隔壁23は、例えば、感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィプロセスによって形成することができる。
(First partition wall forming step)
In the first partition wall forming step, the first partition wall 23 is formed on the substrate 22. The first partition wall 23 can be formed, for example, by a photolithography process using a photosensitive resin.

具体的には、紫外光の露光により硬化する感光性樹脂を基板22上にスピンコート又はスリットコート等の塗布方法を用いて塗布することで基板22上に塗布膜を形成する。このとき、感光性樹脂の塗布条件は、必要な膜厚に応じて、スピンコートの回転数又はスリットコートの走査速度等で調整するとよい。次に、ホットプレート等を用いて塗布膜のプリベークを行って溶剤成分を乾燥させた後、所望のパターンが形成されたフォトマスクを介して紫外光の露光を行う。なお、感光性樹脂には、紫外光が照射された露光部が硬化するネガ型材料と紫外光の未露光部が硬化するポジ型材料とがあるが、どちらの材料を用いてもよい。次に、感光性樹脂の材料の種類によって適切な現像液を用いて未硬化部の除去を行った後、残ったパターンを硬化炉等でポストベークを行う。これにより、図5Bに示すように、所定形状の第一の隔壁23を基板22に形成することができる。 Specifically, a coating film is formed on the substrate 22 by applying a photosensitive resin that is cured by exposure to ultraviolet light onto the substrate 22 using a coating method such as spin coating or slit coating. At this time, the coating conditions of the photosensitive resin may be adjusted by adjusting the rotation speed of the spin coating, the scanning speed of the slit coating, or the like according to the required film thickness. Next, the coating film is prebaked using a hot plate or the like to dry the solvent component, and then the ultraviolet light is exposed through a photomask in which a desired pattern is formed. The photosensitive resin includes a negative type material in which the exposed portion irradiated with ultraviolet light is cured and a positive type material in which the unexposed portion of ultraviolet light is cured, and either material may be used. Next, the uncured portion is removed using an appropriate developer depending on the type of the photosensitive resin material, and then the remaining pattern is post-baked in a curing furnace or the like. As a result, as shown in FIG. 5B, the first partition wall 23 having a predetermined shape can be formed on the substrate 22.

本実施の形態では、第一の隔壁23の材料として反射率が高い白色樹脂を用いた。白色樹脂としては、アクリル樹脂又はやエポキシ樹脂の中に白色の酸化チタン粒子等の無機物が添加されたものを用いることができる。そして、スリットコートにより白色樹脂を基板22に塗布して、ホットプレートで80℃30分加熱してプリベークを行った。その後、波長365nmの紫外光を照射して白色樹脂を硬化させた。また、紫外線の露光量は、500mJ/cmとした。その後、現像液で白色樹脂の現像を行った。具体的には、現像液として1wt%のNaCOを用いて、60秒のスプレー塗布により白色樹脂の現像を行った。その後、硬化炉を用いて150℃60分で白色樹脂のポストベークを行った。これにより、膜厚が5μmの白色樹脂からなる第一の隔壁23を形成した。 In the present embodiment, a white resin having high reflectance was used as the material of the first partition wall 23. As the white resin, an acrylic resin or an epoxy resin to which an inorganic substance such as white titanium oxide particles is added can be used. Then, a white resin was applied to the substrate 22 by a slit coat, and prebaked by heating on a hot plate at 80 ° C. for 30 minutes. Then, the white resin was cured by irradiating with ultraviolet light having a wavelength of 365 nm. The exposure amount of ultraviolet rays was set to 500 mJ / cm 2 . Then, the white resin was developed with a developing solution. Specifically, a white resin was developed by spray coating for 60 seconds using 1 wt% Na 2 CO 3 as a developing solution. Then, the white resin was post-baked at 150 ° C. for 60 minutes using a curing furnace. As a result, the first partition wall 23 made of white resin having a film thickness of 5 μm was formed.

本実施の形態では第一の隔壁23は白色樹脂を用いたが、耐候性を上げるために黄色の樹脂であっても良い。また発光色のコントラストを上げるために、第一の隔壁23の下方は黒色で上方は白色の2層構成での樹脂であっても良い。 In the present embodiment, the first partition wall 23 is made of white resin, but may be made of yellow resin in order to improve weather resistance. Further, in order to increase the contrast of the emitted color, a resin having a two-layer structure in which the lower part of the first partition wall 23 is black and the upper part is white may be used.

(第二の隔壁形成ステップ)
第二の隔壁形成ステップでは、第一の隔壁23の外側に第二の隔壁24を形成する。具体的には、第一の隔壁23と同様に、感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィプロセスによって、図5Cに示すように、第一の隔壁23の外側に第二の隔壁24を形成することができる。このとき、第二の隔壁24の膜厚が第一の隔壁23の膜厚よりも厚くなるように第二の隔壁24を形成する。また、上記のように、第二の隔壁24で囲まれる領域は、平面視で扁平形状である。
(Second partition wall formation step)
In the second partition wall forming step, the second partition wall 24 is formed on the outside of the first partition wall 23. Specifically, similarly to the first partition wall 23, the second partition wall 24 can be formed on the outside of the first partition wall 23 by a photolithography process using a photosensitive resin, as shown in FIG. 5C. it can. At this time, the second partition wall 24 is formed so that the film thickness of the second partition wall 24 is thicker than the film thickness of the first partition wall 23. Further, as described above, the region surrounded by the second partition wall 24 has a flat shape in a plan view.

本実施の形態では、第二の隔壁24の材料として、フッ素が含まれるフッ素含有アクリル樹脂を用いた。具体的には、フッ素含有アクリル樹脂としては、露光により表面にフッ素が偏在する特徴を持つ材料を用いた。したがって、第二の隔壁24は、表面が撥液性を有する。
ここで接触角について説明する。液体を固体表面に滴下すると、液体は自らの持つ表面張力で丸くなり、Youngの式と呼ばれる式1のような関係が成り立つ。
In the present embodiment, a fluorine-containing acrylic resin containing fluorine was used as the material of the second partition wall 24. Specifically, as the fluorine-containing acrylic resin, a material having a characteristic that fluorine is unevenly distributed on the surface by exposure was used. Therefore, the surface of the second partition wall 24 has liquid repellency.
Here, the contact angle will be described. When a liquid is dropped on a solid surface, the liquid is rounded by its own surface tension, and a relationship like Equation 1 called Young's equation is established.

γ=γ×cosθ+γSL・・・(式1)
γ:固体の表面張力γ:液体の表面張力γSL:固体と液体の界面張力
このときの液滴の接線と固体表面とのなす角度θを接触角と呼ぶ。中でも液体が固体上で静止しており、平衡状態に達しているときの接触角を静止接触角と呼ぶ。一方、液体と固体の界面が動いている状態、すなわち液滴の界面が動く、動的な状況の接触角を前進接触角及び後退接触角と呼ぶ。
具体的には、第二の隔壁24のインクに対する静止接触角は50°程度であった。また、上記のように、第一の隔壁23の膜厚を5μmにしたので、第二の隔壁24は、第一の隔壁23よりも厚くするために、8μmの膜厚となるように形成した。
γ s = γ L × cos θ + γ SL ... (Equation 1)
γ s : Surface tension of solid γ L : Surface tension of liquid γ SL : Interfacial tension of solid and liquid The angle θ between the tangent of the droplet and the surface of the solid at this time is called the contact angle. Above all, the contact angle when the liquid is stationary on a solid and reaches an equilibrium state is called a static contact angle. On the other hand, the contact angle in a dynamic state where the interface between the liquid and the solid is moving, that is, the interface of the droplet is moving is called a forward contact angle and a backward contact angle.
Specifically, the static contact angle of the second partition wall 24 with respect to the ink was about 50 °. Further, since the film thickness of the first partition wall 23 was set to 5 μm as described above, the second partition wall 24 was formed to have a film thickness of 8 μm in order to make it thicker than the first partition wall 23. ..

なお、本実施の形態では、第一の隔壁形成ステップの後に第二の隔壁形成ステップを行ったが、第一の隔壁形成ステップと第二の隔壁形成ステップとを入れ替えて、第二の隔壁形成ステップを先に行ってもよい。つまり、第二の隔壁形成ステップの後に第一の隔壁形成ステップを行ってもよい。 In the present embodiment, the second partition wall forming step is performed after the first partition wall forming step, but the first partition wall forming step and the second partition wall forming step are exchanged to form the second partition wall. The steps may be taken first. That is, the first partition wall forming step may be performed after the second partition wall forming step.

また、本実施の形態では、第一の隔壁23と第二の隔壁24とを別々のステップで作製したが、同一の材料を用いて場所によって透過率が異なるハーフトーン露光により、一つのステップで第一の隔壁23と第二の隔壁24とを同時に作製してもよい。その方法を図6A〜図6Cに示す。 Further, in the present embodiment, the first partition wall 23 and the second partition wall 24 are manufactured in separate steps, but by halftone exposure using the same material and having different transmittances depending on the location, in one step. The first partition wall 23 and the second partition wall 24 may be manufactured at the same time. The method is shown in FIGS. 6A to 6C.

具体的には、まず、図6Aに示すように、基板22上に隔壁材料30をスピンコート法又はスリットコート法を用いて形成する。隔壁材料30としては、例えば、上記の第一の隔壁23又は第二の隔壁24と同じ材料を用いることができる。 Specifically, first, as shown in FIG. 6A, the partition wall material 30 is formed on the substrate 22 by a spin coating method or a slit coating method. As the partition wall material 30, for example, the same material as the first partition wall 23 or the second partition wall 24 can be used.

次に、図6Bに示すように、フォトマスク100を介して紫外光を照射することで、隔壁材料30を感光させて硬化させる。ここで、紫外光の透過率を局所的に変えることで、隔壁材料30の硬化の程度を変えている。例えば、フォトマスク100は、紫外光を遮蔽する遮蔽部101と、透過率が異なる第一の開口部102及び第二の開口部103とを有する。第二の開口部103の透過率は、第一の開口部102の透過率より大きくなっている。 Next, as shown in FIG. 6B, the partition material 30 is exposed to light and cured by irradiating ultraviolet light through the photomask 100. Here, the degree of curing of the partition wall material 30 is changed by locally changing the transmittance of ultraviolet light. For example, the photomask 100 has a shielding portion 101 that shields ultraviolet light, and a first opening 102 and a second opening 103 having different transmittances. The transmittance of the second opening 103 is higher than that of the first opening 102.

次に、図6Cに示すように、隔壁材料30の未硬化部を現像液によってエッチングする。このとき、紫外光の透過量が小さい部分は硬化の程度が小さくなるので、エッチング後の膜厚が低くなって形成される。 Next, as shown in FIG. 6C, the uncured portion of the partition wall material 30 is etched with a developer. At this time, since the degree of curing is small in the portion where the amount of ultraviolet light transmitted is small, the film thickness after etching is reduced.

このように、ハーフトーン露光によるエッチングによっても膜厚の異なる第一の隔壁23及び第二の隔壁24を同時に作製することができる。なお、上記の方法は、紫外光が照射された部分が硬化するネガ型材料を用いたものであるが、紫外光が照射された部分が溶解するポジ型材料を用いてもよい。この場合、フォトマスク100の透過率の関係が異なり、遮蔽部101を第一の開口部とし、第二の開口部103を遮蔽部とし、第一の開口部が第二の開口部よりも透過率を高くすればよい。 In this way, the first partition wall 23 and the second partition wall 24 having different film thicknesses can be simultaneously produced by etching by halftone exposure. The above method uses a negative type material in which the portion irradiated with ultraviolet light is cured, but a positive type material in which the portion irradiated with ultraviolet light is dissolved may also be used. In this case, the relationship of the transmittance of the photomask 100 is different, the shielding portion 101 is used as the first opening, the second opening 103 is used as the shielding portion, and the first opening is more transparent than the second opening. The rate should be increased.

(発光層形成ステップ)
発光層形成ステップでは、まず、第一の隔壁23及び第二の隔壁24が形成された基板22に、インクジェット法を用いてインクを塗布することで塗布膜を形成する。本実施の形態では、赤色発光層21r及び緑色発光層21gについては、量子ドット材料を所定濃度で分散させたインクをインクジェット法で第二の隔壁24によって囲まれた領域に吐出する。また、青色発光層21bについては、量子ドット材料を含まないインクをインクジェット法で第二の隔壁24によって囲まれた領域に吐出する。赤色発光層21r、緑色発光層21g及び青色発光層21bを構成する塗布膜を形成する際、吐出したインクを乾燥して硬化させた後の膜厚が所定の膜厚となるように吐出量を決定する。
(Light emitting layer formation step)
In the light emitting layer forming step, first, a coating film is formed by applying ink to the substrate 22 on which the first partition wall 23 and the second partition wall 24 are formed by using an inkjet method. In the present embodiment, with respect to the red light emitting layer 21r and the green light emitting layer 21g, ink in which the quantum dot material is dispersed at a predetermined concentration is ejected to a region surrounded by the second partition wall 24 by an inkjet method. Further, with respect to the blue light emitting layer 21b, ink containing no quantum dot material is ejected to a region surrounded by the second partition wall 24 by an inkjet method. When forming the coating film constituting the red light emitting layer 21r, the green light emitting layer 21g and the blue light emitting layer 21b, the ejection amount is adjusted so that the film thickness after the ejected ink is dried and cured becomes a predetermined film thickness. decide.

本実施の形態において、インクは、カドミウム−セレン系の量子ドット材料をアクリル樹脂に分散させたものを用いた。量子ドット材料としては、粒径が20nm以上30nm以下のものを用いた。また、インクには、青色光を散乱させて発光層21中での光路長を稼ぐために酸化チタン粒子を含有させた。酸化チタン粒子としては、粒径がおおよそ100nm以上1000nm以下のものを用いた。このインクをインクジェット法により第二の隔壁24で囲まれた領域に塗布した。 In the present embodiment, the ink used is a cadmium-selenium-based quantum dot material dispersed in an acrylic resin. As the quantum dot material, a material having a particle size of 20 nm or more and 30 nm or less was used. Further, the ink contains titanium oxide particles in order to scatter blue light and increase the optical path length in the light emitting layer 21. As the titanium oxide particles, those having a particle size of approximately 100 nm or more and 1000 nm or less were used. This ink was applied to the area surrounded by the second partition wall 24 by an inkjet method.

また、本実施の形態において、インクの塗布方向は、第二の隔壁24で囲まれる領域の長軸方向に対して垂直な方向である。つまり、インクの印刷方向は、R、G、Bの各ピクセルの長軸方向に対して垂直な方向である。また、インクを塗布するインクジェットヘッドのノズルは、赤色発光層21r、青色発光層21b及び緑色発光層21gごとに設けられており、これらのノズルの配列方向は、第二の隔壁24で囲まれる領域の長軸方向と同じである。これにより、第二の隔壁24で囲まれる領域同士の間隔が狭くて高解像度のピクセル配列パターンであっても、混色することなくインクを容易に塗布することができる。この点について、以下説明する。 Further, in the present embodiment, the ink application direction is a direction perpendicular to the long axis direction of the region surrounded by the second partition wall 24. That is, the printing direction of the ink is a direction perpendicular to the long axis direction of each of the R, G, and B pixels. Further, nozzles of the inkjet head for applying ink are provided for each of the red light emitting layer 21r, the blue light emitting layer 21b, and the green light emitting layer 21g, and the arrangement direction of these nozzles is the region surrounded by the second partition wall 24. It is the same as the long axis direction of. As a result, ink can be easily applied without mixing colors even in a high-resolution pixel arrangement pattern in which the distance between the regions surrounded by the second partition wall 24 is narrow. This point will be described below.

インクの塗布方向(印刷方向)については、インクの吐出タイミングを調整することで比較的容易にインクを所定の位置に着弾させることができる。一方、ノズルの配列方向については、インクの着弾位置の補正をすることが難しく、ノズルの加工精度に依存する。そこで、本実施の形態では、ノズルの配列方向と第二の隔壁24で囲まれる領域の長軸方向とを同じにすることで、ノズルの配列方向については、インクが着弾可能な領域を広げることで、許容されるインクの着弾位置の振れ幅を大きくしている。具体的には、第一の隔壁23で囲まれる領域(つまり発光層21が発光する発光領域)に対してインクが塗布される塗布領域である第二の隔壁24によって囲まれる領域を広くしている。これにより、高解像のピクセル配列パターンであっても、混色させることなくインクを容易に塗布することができる。 Regarding the ink application direction (printing direction), the ink can be landed at a predetermined position relatively easily by adjusting the ink ejection timing. On the other hand, regarding the arrangement direction of the nozzles, it is difficult to correct the landing position of the ink, and it depends on the processing accuracy of the nozzles. Therefore, in the present embodiment, by making the arrangement direction of the nozzles the same as the long axis direction of the region surrounded by the second partition wall 24, the area where the ink can land is expanded in the arrangement direction of the nozzles. Therefore, the swing width of the permissible ink landing position is increased. Specifically, the area surrounded by the second partition wall 24, which is the coating area to which the ink is applied, is widened with respect to the region surrounded by the first partition wall 23 (that is, the light emitting region where the light emitting layer 21 emits light). There is. As a result, ink can be easily applied without mixing colors even in a high-resolution pixel arrangement pattern.

次に、インクの塗布により塗布膜が形成された基板22を乾燥させる。この場合、インクジェット法で吐出する際のインクは、ノズルでの溶媒乾燥を抑制するために、沸点が高い溶剤を用いることが多い。このため、インクの乾燥としては、減圧乾燥を用いるとよい。減圧乾燥を行う場合、例えば、インクが塗布された基板22を乾燥炉内にセットし、乾燥炉の内部を真空ポンプで減圧して圧力を下げることで溶剤の蒸発を促進させる。この場合、到達真空度は数Paで、保持時間は数十分間である。ただし、到達真空度及び保持時間の条件は、インクに含まれる溶媒の沸点に応じて異なるため、この条件に限定されるものではない。なお、吐出するインクに溶媒が含まれず紫外光硬化樹脂のみに量子ドット材料が分散されたインクを用いる場合は、減圧乾燥等の乾燥を行わないこともある。 Next, the substrate 22 on which the coating film is formed by applying the ink is dried. In this case, as the ink ejected by the inkjet method, a solvent having a high boiling point is often used in order to suppress solvent drying at the nozzle. Therefore, it is preferable to use vacuum drying as the ink drying. When performing vacuum drying, for example, the substrate 22 coated with ink is set in a drying furnace, and the inside of the drying furnace is depressurized by a vacuum pump to reduce the pressure to promote the evaporation of the solvent. In this case, the ultimate vacuum is several Pa and the holding time is several tens of minutes. However, the conditions of the ultimate vacuum degree and the holding time are not limited to these conditions because they differ depending on the boiling point of the solvent contained in the ink. When the ejected ink does not contain a solvent and the quantum dot material is dispersed only in the ultraviolet photocurable resin, drying such as vacuum drying may not be performed.

次に、ホットプレートで100℃5分程度の条件で塗布膜のプリベークを行う。次に、波長が365nmの紫外光を塗布膜に照射することで塗布膜を硬化させる。この場合、紫外光の照射量は、例えば200mJ/cm以上1000mJ/cm以下である。次に、硬化炉を用いて150℃20分程度の条件で塗布膜のポストベークを行う。これにより、図5Dに示すように、第二の隔壁24に囲まれた領域(開口部)の各々に発光層21を形成することができる。 Next, the coating film is prebaked on a hot plate at 100 ° C. for about 5 minutes. Next, the coating film is cured by irradiating the coating film with ultraviolet light having a wavelength of 365 nm. In this case, the irradiation amount of ultraviolet light is, for example, 200 mJ / cm 2 or more and 1000 mJ / cm 2 or less. Next, the coating film is post-baked at 150 ° C. for 20 minutes using a curing furnace. As a result, as shown in FIG. 5D, the light emitting layer 21 can be formed in each of the regions (openings) surrounded by the second partition wall 24.

本実施の形態では、プリベーク(100℃5分)と紫外光の照射(波長365nm、露光量300mJ/cm)とポストベーク(150℃20分)とを行って基板22に塗布された塗布膜を硬化させた。 In the present embodiment, a coating film coated on the substrate 22 by prebaking (100 ° C. for 5 minutes), irradiating with ultraviolet light (wavelength 365 nm, exposure amount 300 mJ / cm 2 ), and post-baking (150 ° C. for 20 minutes). Was cured.

以上のようにして、図3A及び図3Bに示すように、複数の発光層21が所定のピッチで配列された色変換デバイス20を作製ことができる。 As described above, as shown in FIGS. 3A and 3B, the color conversion device 20 in which a plurality of light emitting layers 21 are arranged at a predetermined pitch can be manufactured.

なお、本実施の形態では、図3A及び図3Bに示すように、同色の発光層21の並び方向が第二の隔壁24で囲まれる領域の長軸方向に対して垂直な方向と一致するように構成されていたが、これに限らない。例えば、図7A及び図7Bに示すように、同色の発光層21の並び方向が第二の隔壁24で囲まれる領域の長軸方向に対して垂直な方向と交差するように(傾斜させる)構成されていてもよい。傾斜角度は、基板12の端辺に対して、30度〜60度、40度〜50度が好ましい。図7Aは、実施の形態に係る色変換デバイスの他の構成を示す平面図であり、図7Bは、図7AのVIIB−VIIB線における色変換デバイスの断面図である。図7A及び図7Bに示される構成にすることで、第二の隔壁24で囲まれる領域同士の間隔を狭くして発光層21の数を容易に増やすことができる。つまり、より高い解像度の色変換デバイスを容易に実現することができる。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 3A and 3B, the arrangement direction of the light emitting layers 21 of the same color coincides with the direction perpendicular to the long axis direction of the region surrounded by the second partition wall 24. It was configured in, but it is not limited to this. For example, as shown in FIGS. 7A and 7B, the arrangement direction of the light emitting layers 21 of the same color is configured to intersect (inclinate) the direction perpendicular to the long axis direction of the region surrounded by the second partition wall 24. It may have been done. The inclination angle is preferably 30 to 60 degrees and 40 to 50 degrees with respect to the edge of the substrate 12. FIG. 7A is a plan view showing another configuration of the color conversion device according to the embodiment, and FIG. 7B is a cross-sectional view of the color conversion device along the VIIB-VIIB line of FIG. 7A. By adopting the configuration shown in FIGS. 7A and 7B, the distance between the regions surrounded by the second partition wall 24 can be narrowed and the number of light emitting layers 21 can be easily increased. That is, a color conversion device having a higher resolution can be easily realized.

(作用効果等)
次に、本実施の形態に係る色変換デバイス20の作用効果について、比較例の色変換デバイス20Zと比較して説明する。図8Aは、比較例の色変換デバイス20Zの平面図であり、図8Bは、図8AのVIII−VIII線における比較例の色変換デバイス20Zの断面図である。
(Action effect, etc.)
Next, the effects of the color conversion device 20 according to the present embodiment will be described in comparison with the color conversion device 20Z of the comparative example. FIG. 8A is a plan view of the color conversion device 20Z of the comparative example, and FIG. 8B is a cross-sectional view of the color conversion device 20Z of the comparative example in the line VIII-VIII of FIG. 8A.

図8A及び図8Bに示すように、比較例の色変換デバイス20Zでは、本実施の形態に係る色変換デバイス20に対して、発光領域を規定する第一の隔壁23及びインク塗布領域を規定する第二の隔壁24のうち第一の隔壁23が存在していない。つまり、比較例の色変換デバイス20Zでは、第一の隔壁23及び第二の隔壁24のうち第二の隔壁24のみが存在している。 As shown in FIGS. 8A and 8B, in the color conversion device 20Z of the comparative example, the first partition wall 23 and the ink coating area that define the light emitting region are defined for the color conversion device 20 according to the present embodiment. Of the second partition 24, the first partition 23 does not exist. That is, in the color conversion device 20Z of the comparative example, only the second partition wall 24 is present among the first partition wall 23 and the second partition wall 24.

このように構成される比較例の色変換デバイス20Zでは、図3A及び図7Aに示される本実施の形態に係る色変換デバイス20と比べて、発光層21の発光領域が大きくなる。つまり、ピクセルサイズが大きくなる。あまりピクセル間の距離が短くなると発光色間の相互干渉も起こり得るため、ピクセル間の距離を離した設計にせざるを得なくなることが考えられる。こうした場合、比較例の色変換デバイス20Zを用いたディスプレイでは、解像度が低くなり高精細な画質を実現することが困難になる。 In the color conversion device 20Z of the comparative example configured as described above, the light emitting region of the light emitting layer 21 is larger than that of the color conversion device 20 according to the present embodiment shown in FIGS. 3A and 7A. That is, the pixel size increases. If the distance between the pixels is too short, mutual interference between the emitted colors may occur, so it is conceivable that the design must be designed with the distance between the pixels separated. In such a case, in the display using the color conversion device 20Z of the comparative example, the resolution becomes low and it becomes difficult to realize high-definition image quality.

これに対して、本実施の形態における色変換デバイス20では、インク塗布領域を規定する第二の隔壁24と発光領域を規定する第一の隔壁23とが形成されている。具体的には、第二の隔壁24で囲まれる領域の内側に第一の隔壁23が形成されている。 On the other hand, in the color conversion device 20 of the present embodiment, a second partition wall 24 that defines an ink application region and a first partition wall 23 that defines a light emitting region are formed. Specifically, the first partition wall 23 is formed inside the region surrounded by the second partition wall 24.

この構成により、本実施の形態における色変換デバイス20は、比較例の色変換デバイス20Zとインク塗布領域が同じである場合であっても、発光層21が発光する発光領域を小さくすることができる。これにより、比較例の色変換デバイス20Zに対して実質的にピクセルサイズを小さくして解像度を高くすることができる。言い換えると、高解像度で配置されたピクセルを有する色変換デバイス20であっても、インクジェット法により発光層21を容易に形成することができる。 With this configuration, the color conversion device 20 in the present embodiment can reduce the light emitting region emitted by the light emitting layer 21 even when the ink coating area is the same as that of the color conversion device 20Z of the comparative example. .. As a result, the pixel size can be substantially reduced and the resolution can be increased with respect to the color conversion device 20Z of the comparative example. In other words, even in the color conversion device 20 having pixels arranged at high resolution, the light emitting layer 21 can be easily formed by the inkjet method.

したがって、本実施の形態における色変換デバイス20及びマイクロLEDディスプレイパネル1によれば、第二の隔壁24で囲まれた領域(開口部)同士の間隔が狭くても、インクジェット法を用いて発光層21を形成することができる。これにより、混色することなく安定してインクを塗布することができるので、発光特性の低下抑制と低コスト化との両立を図ることができる。 Therefore, according to the color conversion device 20 and the micro LED display panel 1 in the present embodiment, even if the distance between the regions (openings) surrounded by the second partition wall 24 is narrow, the light emitting layer is used by the inkjet method. 21 can be formed. As a result, the ink can be stably applied without mixing colors, so that it is possible to achieve both suppression of deterioration of light emission characteristics and cost reduction.

(変形例1)
次に、変形例1に係る色変換デバイス20Aについて、図9を用いて説明する。図9は、変形例1に係る色変換デバイス20Aの断面図である。
(Modification example 1)
Next, the color conversion device 20A according to the first modification will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a cross-sectional view of the color conversion device 20A according to the first modification.

図9に示すように、本変形例に係る色変換デバイス20Aは、上記実施の形態に係る色変換デバイス20に対して、さらに基板22上に発光体26を有する。具体的には、発光体26は、青色LED等の青色光を発する青色発光体である。青色LEDである発光体26は、基板22上に実装することで形成することができる。なお、それ以外の構成は、上記実施の形態における色変換デバイス20と同じである。 As shown in FIG. 9, the color conversion device 20A according to the present modification further has a light emitting body 26 on the substrate 22 with respect to the color conversion device 20 according to the above embodiment. Specifically, the light emitting body 26 is a blue light emitting body that emits blue light such as a blue LED. The light emitting body 26, which is a blue LED, can be formed by mounting it on the substrate 22. The other configurations are the same as those of the color conversion device 20 in the above embodiment.

このように、本変形例に係る色変換デバイス20Aによれば、発光体26が組み込まれているので、色変換デバイス20Aに発光デバイスの機能を持たせることができる。これにより、発光デバイス10を色変換デバイス20Aに貼り合わせことなくマイクロLEDディスプレイパネルを実現することができる。つまり、色変換デバイス20AそのものをマイクロLEDディスプレイにすることができる。したがって、マイクロLEDディスプレイパネルの薄型化が図れる。 As described above, according to the color conversion device 20A according to the present modification, since the light emitting body 26 is incorporated, the color conversion device 20A can be provided with the function of the light emitting device. As a result, the micro LED display panel can be realized without attaching the light emitting device 10 to the color conversion device 20A. That is, the color conversion device 20A itself can be used as a micro LED display. Therefore, the thickness of the micro LED display panel can be reduced.

(変形例2)
次に、変形例2に係る色変換デバイス20Bについて、図10A〜図10Cを用いて説明する。図10A〜図10Cは、変形例2に係る色変換デバイス20Bの製造方法を説明するための図である。
(Modification 2)
Next, the color conversion device 20B according to the second modification will be described with reference to FIGS. 10A to 10C. 10A to 10C are diagrams for explaining a method of manufacturing the color conversion device 20B according to the second modification.

本変形例に係る色変換デバイス20Bは、上記実施の形態に係る色変換デバイス20に対して、第一の隔壁23Bの頂部の濡れ性が低くなっている。具体的には、各発光層21において、第一の隔壁23Bの頂部のインク40に対する静止接触角は、第一の隔壁23の内壁面(側面)のインク40に対する静止接触角と同じかそれ以上になっている。また、第二の隔壁24Bについては、各発光層21において、第二の隔壁24Bの頂部のインク40に対する静止接触角は、第二の隔壁24Bの内壁面(側面)のインク40に対する静止接触角よりも大きくなっている。なお、図10A及び図10Bにおいて、インク40rは、赤色発光層21rを形成するためのインクを示しており、インク40gは、緑色発光層21gを形成するためのインクを示している。 The color conversion device 20B according to this modification has a lower wettability at the top of the first partition wall 23B than the color conversion device 20 according to the above embodiment. Specifically, in each light emitting layer 21, the static contact angle of the top of the first partition 23B with respect to the ink 40 is equal to or greater than the static contact angle of the inner wall surface (side surface) of the first partition 23 with respect to the ink 40. It has become. Regarding the second partition wall 24B, in each light emitting layer 21, the static contact angle of the top of the second partition wall 24B with respect to the ink 40 is the static contact angle of the inner wall surface (side surface) of the second partition wall 24B with respect to the ink 40. Is bigger than. In addition, in FIGS. 10A and 10B, the ink 40r indicates the ink for forming the red light emitting layer 21r, and the ink 40g indicates the ink for forming the green light emitting layer 21g.

本変形例において、第一の隔壁23Bの頂部のインク40に対する静止接触角をC1とし、第一の隔壁23Bの内壁面の静止接触角をC2とし、第二の隔壁24Bの頂部の静止接触角をC3とし、第二の隔壁24Bの内壁面の静止接触角をC4とすると、C1〜C4は、C3>C1≧C2=C4の関係式を満たす。一例として、静止接触角C1及びC3は、40°以上70°以下であり、静止接触角C2及びC4は、5°以上40°以下である。 In this modification, the static contact angle of the top of the first partition 23B with respect to the ink 40 is C1, the static contact angle of the inner wall surface of the first partition 23B is C2, and the static contact angle of the top of the second partition 24B is C2. Is C3, and the static contact angle of the inner wall surface of the second partition wall 24B is C4. C1 to C4 satisfy the relational expression of C3> C1 ≧ C2 = C4. As an example, the static contact angles C1 and C3 are 40 ° or more and 70 ° or less, and the static contact angles C2 and C4 are 5 ° or more and 40 ° or less.

第一の隔壁23B及び第二の隔壁24Bとしては、紫外光を照射した部分が硬化し、樹脂中のフッ素成分が膜の表面に偏析するような樹脂材料を用いることができる。これにより、頂部の静止接触角が内壁面の静止接触角より大きい第一の隔壁23B及び第二の隔壁24Bを形成することができる。なお、第一の隔壁23B及び第二の隔壁24B以外の構成は、上記実施の形態における色変換デバイス20と同じである。 As the first partition wall 23B and the second partition wall 24B, a resin material can be used in which the portion irradiated with ultraviolet light is cured and the fluorine component in the resin is segregated on the surface of the film. Thereby, the first partition wall 23B and the second partition wall 24B whose top static contact angle is larger than the static contact angle of the inner wall surface can be formed. The configuration other than the first partition wall 23B and the second partition wall 24B is the same as the color conversion device 20 in the above embodiment.

最初、隔壁を形成するための材料は、液体状態でフッ素は均一に含まれる。隔壁形成のために、塗布、露光する。露光された部分で重合反応が開始する。その後、ベークで完全硬化する。その際に膜中のフッ素成分が上方へ偏析する。その結果、形成された隔壁では、表面にフッ素が多く含まれる。 Initially, the material for forming the partition wall contains fluorine uniformly in the liquid state. Apply and expose to form partition walls. The polymerization reaction starts at the exposed portion. After that, it is completely cured by baking. At that time, the fluorine component in the film segregates upward. As a result, the formed partition wall contains a large amount of fluorine on the surface.

第一の隔壁23Bの頂部と第二の隔壁24Bの頂部の静止接触角は、隔壁の膜厚で静止接触角が変わるような上記材料を用いることで調整できる。用いるフッ素含有樹脂は膜厚の違いでフッ素の含有量が変わり、静止接触角が変わる。また、第一の隔壁と第二の隔壁、それぞれ異なる材料を用いることで静止接触角を変えることを行っても良い。 The static contact angle between the top of the first partition wall 23B and the top of the second partition wall 24B can be adjusted by using the above-mentioned material such that the static contact angle changes depending on the film thickness of the partition wall. The fluorine-containing resin used has a different fluorine content depending on the film thickness, and the static contact angle changes. Further, the static contact angle may be changed by using different materials for the first partition wall and the second partition wall.

このように、本変形例における色変換デバイス20Bでは、第一の隔壁23Bの頂部の濡れ性が低くなっているので、図10Aに示すように、第二の隔壁24Bで囲まれた領域にインクジェット法によりインク40を塗布する場合、インク40を塗布した直後は、図10Bに示すように、第一の隔壁23Bの頂部も覆うようにインク40が存在することになるが、第一の隔壁23Bの頂部のインク40に対する静止接触角が第一の隔壁23Bの内壁面のインク40に対する静止接触角よりも大きくなっているので、第一の隔壁23Bの頂部に乗っているインク40は、第一の隔壁23Bの内壁面に沿って滑り落ちていき、最終的には第一の隔壁23Bで囲まれた領域の中にインク40が収まることになる。 As described above, in the color conversion device 20B in the present modification, the wettability of the top of the first partition wall 23B is low, so that the area surrounded by the second partition wall 24B is ink-inked as shown in FIG. 10A. When the ink 40 is applied by the method, immediately after the ink 40 is applied, the ink 40 is present so as to cover the top of the first partition wall 23B as shown in FIG. 10B, but the first partition wall 23B Since the static contact angle of the top of the ink 40 with respect to the ink 40 is larger than the static contact angle of the inner wall surface of the first partition 23B with respect to the ink 40, the ink 40 on the top of the first partition 23B is the first. The ink 40 slides down along the inner wall surface of the partition wall 23B, and finally the ink 40 is contained in the area surrounded by the first partition wall 23B.

また、第二の隔壁24Bの頂部の濡れ性は、前述の静止接触角に加えて、後退接触角で規定される。後退接触角とは液体と固体の界面が動いている状態、すなわちインクの界面が動く、動的な状況の接触角のことである。後退接触角が小さいと、隔壁上に乗り上げたインクが乾燥したり、硬化したりして収縮する際に、インクが濡れ残りやすく隔壁上に残ってしまう。第二の隔壁24Bのインクに対する後退接触角は15°以上であり、20°以上がより望ましい。
(後退接触角の違いによるインク濡れの比較)
表1には隔壁の種類を変えたときの、インクの静止接触角と後退接触角と、さらに隔壁上のインクの濡れについて示している。
The wettability of the top of the second partition wall 24B is defined by the receding contact angle in addition to the above-mentioned static contact angle. The receding contact angle is the contact angle in a dynamic state where the interface between the liquid and the solid is moving, that is, the interface between the inks is moving. If the receding contact angle is small, the ink that has run on the partition wall tends to remain wet and remains on the partition wall when it dries or hardens and shrinks. The receding contact angle of the second partition wall 24B with respect to the ink is 15 ° or more, more preferably 20 ° or more.
(Comparison of ink wetting due to difference in receding contact angle)
Table 1 shows the static contact angle and the receding contact angle of the ink when the type of the partition wall is changed, and the wetting of the ink on the partition wall.

Figure 2020204759
後退接触角はインクの材料組成と隔壁の材料組成の表面エネルギーのバランスで決まる。インクAやインクBのように後退接触角が15°以上であると、インク収縮後に隔壁上にインクの濡れ残りがないが、インクCやインクDのように後退接触角が15°以下であると、隔壁上にインクの濡れ残りが発生してしまうことが分かる。
Figure 2020204759
The receding contact angle is determined by the balance between the surface energy of the ink material composition and the bulkhead material composition. When the back contact angle is 15 ° or more like ink A and ink B, there is no wet residue on the partition wall after ink shrinkage, but the back contact angle is 15 ° or less like ink C and ink D. Then, it can be seen that the ink remains wet on the partition wall.

上記のような材料の条件においては、図10Cに示すように、第一の隔壁23Bの頂部に発光層21が形成されず、発光層21が第一の隔壁23Bの中に収まる形状になる。この構成により、発光層21の発光領域以外から意図しない光が出射することを完全になくすことができる。 Under the above-mentioned material conditions, as shown in FIG. 10C, the light emitting layer 21 is not formed on the top of the first partition wall 23B, and the light emitting layer 21 has a shape that fits in the first partition wall 23B. With this configuration, it is possible to completely prevent unintended light from being emitted from other than the light emitting region of the light emitting layer 21.

(実施例3)
次に、変形例3に係る色変換デバイス20Cについて、図11A〜図11Cを用いて説明する。図11Aは、変形例3に係る色変換デバイス20Cの平面図であり、図11Bは、図11AのXIB−XIB線における断面図であり、図11Cは、図11AのXIC−XIC線における断面図である。
(Example 3)
Next, the color conversion device 20C according to the third modification will be described with reference to FIGS. 11A to 11C. 11A is a plan view of the color conversion device 20C according to the third modification, FIG. 11B is a sectional view taken along line XIB-XIB of FIG. 11A, and FIG. 11C is a sectional view taken along line XIC-XIC of FIG. 11A. Is.

上記実施の形態における色変換デバイス20では、第二の隔壁24で囲まれる領域には、第一の隔壁23で囲まれる領域が1つ含まれていたが、本変形例における色変換デバイス20Cでは、図11A〜図11Cに示すように、第二の隔壁24Cで囲まれる領域には、第一の隔壁23Cで囲まれる領域が2つ以上含まれる。具体的には、本変形例では、第二の隔壁24Cで囲まれる領域の1つには、第一の隔壁23Cで囲まれる領域が4つ含まれている。また、図11Cに示すように、異なる色のピクセルは、第二の隔壁24Cで仕切られている。 In the color conversion device 20 according to the above embodiment, the region surrounded by the second partition wall 24 includes one region surrounded by the first partition wall 23, but the color conversion device 20C in the present modification includes the region surrounded by the first partition wall 23. As shown in FIGS. 11A to 11C, the region surrounded by the second partition wall 24C includes two or more regions surrounded by the first partition wall 23C. Specifically, in this modification, one of the regions surrounded by the second partition wall 24C includes four regions surrounded by the first partition wall 23C. Further, as shown in FIG. 11C, pixels of different colors are separated by a second partition wall 24C.

本変形例に係る色変換デバイス20Cによれば、複数のピクセルに対してライン上に一括してインクを塗布することができるので、ピクセル間の膜厚均一性が向上する。また、一般的にインクジェットヘッドのノズル間にはノズルの加工ばらつきに起因する吐出液滴体積のばらつきが存在するが、本変形例に係る色変換デバイス20Cによれば、複数のノズルで複数のピクセルの発光層21を形成することができるので、ノズル間のばらつきが平均化される。これにより、ピクセル間の膜厚の均一性が飛躍的に向上する。 According to the color conversion device 20C according to the present modification, the ink can be applied to a plurality of pixels at once on the line, so that the film thickness uniformity between the pixels is improved. Further, in general, there are variations in the volume of ejected droplets due to variations in nozzle processing between the nozzles of the inkjet head, but according to the color conversion device 20C according to this modification, a plurality of pixels are used in a plurality of nozzles. Since the light emitting layer 21 of the above can be formed, the variation between the nozzles is averaged. As a result, the uniformity of the film thickness between pixels is dramatically improved.

なお、本変形例において、第一の隔壁23Cで囲まれた領域の直径と第二の隔壁24Cの短軸方向の長さとは同一であったが、これに限らない。具体的には、図12に示すように、第一の隔壁23Cで囲まれた領域と第二の隔壁24Cで囲まれた領域とは、平面視において二重円の形態であってもよい。具体的には、第二の隔壁24Cで囲まれた領域が、長軸及び短軸共に第一の隔壁23Cで囲まれた領域よりも大きくてもよい。 In this modification, the diameter of the region surrounded by the first partition wall 23C and the length of the second partition wall 24C in the minor axis direction are the same, but are not limited to this. Specifically, as shown in FIG. 12, the region surrounded by the first partition wall 23C and the region surrounded by the second partition wall 24C may be in the form of a double circle in a plan view. Specifically, the region surrounded by the second partition wall 24C may be larger than the region surrounded by the first partition wall 23C on both the long axis and the short axis.

(その他の変形例)
以上、本開示に係る色変換デバイス及びマイクロLEDディスプレイパネル等について、実施の形態及び変形例1〜3に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態及び変形例1〜3に限定されるものではない。
(Other variants)
The color conversion device, the micro LED display panel, and the like according to the present disclosure have been described above based on the embodiments and the modifications 1 to 3, but the present disclosure is limited to the embodiments and the modifications 1 to 3. It's not something.

例えば、上記の実施の形態及び変形例1〜3において、発光層21が発光する発光領域を規定する第一の隔壁23、23B又は23Cによって囲まれた領域の平面視形状は、円形に限らず、四角形等の多角形又は長円形等のその他の形状であってもよい。同様に、発光層21が形成される形成領域(インク塗布領域)を規定する第二の隔壁24によって囲まれた領域の平面視形状も、長円に限らず、四角形等の多角形等のその他の形状であってもよい。 For example, in the above-described embodiments and modifications 1 to 3, the planar view shape of the region surrounded by the first partition wall 23, 23B or 23C that defines the light emitting region where the light emitting layer 21 emits light is not limited to a circle. It may be a polygon such as a quadrangle or another shape such as an oval. Similarly, the plan view shape of the region surrounded by the second partition wall 24 that defines the formation region (ink coating region) on which the light emitting layer 21 is formed is not limited to an ellipse, but is not limited to an oval It may be in the shape of.

また、上記の実施の形態及び変形例1〜3において、青色発光層21bには量子ドット材料が含まれていなかったが、これに限らない。つまり、青色発光層21bに量子ドット材料が含まれていてもよい。この場合、青色発光層21bには、紫外光等の励起光の照射により青色光を発する量子ドット材料が含まれる。 Further, in the above-described embodiments and modifications 1 to 3, the blue light emitting layer 21b does not contain the quantum dot material, but the present invention is not limited to this. That is, the blue light emitting layer 21b may contain a quantum dot material. In this case, the blue light emitting layer 21b contains a quantum dot material that emits blue light when irradiated with excitation light such as ultraviolet light.

その他に、上記の実施の形態及び変形例1〜3に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で実施の形態及び変形例1〜3における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。 In addition, the above-described embodiments and modifications 1 to 3 can be obtained by performing various modifications that can be considered by those skilled in the art, and the embodiments and modifications 1 to 3 without departing from the spirit of the present disclosure. Also included in the present disclosure are forms realized by any combination of components and functions.

発光材料として、量子ドット材料でなくとも、他の発光材料でもよい。 The light emitting material may not be a quantum dot material but may be another light emitting material.

本開示の技術は、色変換デバイス及びマイクロLEDディスプレイパネル等の発光層等の機能膜を有する種々のデバイスに広く利用することができる。 The technique of the present disclosure can be widely used in various devices having a functional film such as a color conversion device and a light emitting layer such as a micro LED display panel.

1 マイクロLEDディスプレイパネル
10 発光デバイス
11、26 発光体
12、22、22X 基板
13 隔壁
20、20A、20B、20C、20Z 色変換デバイス
21 発光層
21r 赤色発光層
21g 緑色発光層
21b 青色発光層
21Y 発光層
23、23B、23C 第一の隔壁
24、24B、24C 第二の隔壁
24X、24Y 隔壁
25 カラーフィルタ
25r 赤色カラーフィルタ
25g 緑色カラーフィルタ
25b 青色カラーフィルタ
30 隔壁材料
40、40r、40g、40Y インク
100 フォトマスク
101 遮蔽部
102 第一の開口部
103 第二の開口部


1 Micro LED display panel 10 Light emitting device 11, 26 Light emitting body 12, 22, 22X Board 13 Partition wall 20, 20A, 20B, 20C, 20Z Color conversion device 21 Light emitting layer 21r Red light emitting layer 21g Green light emitting layer 21b Blue light emitting layer 21Y Light emitting Layers 23, 23B, 23C First partition 24, 24B, 24C Second partition 24X, 24Y partition 25 Color filter 25r Red color filter 25g Green color filter 25b Blue color filter 30 Partition material 40, 40r, 40g, 40Y Ink 100 Photomask 101 Shield 102 First opening 103 Second opening


Claims (19)

基板と、
前記基板の上に位置し、発光材料を含む発光層と、
前記発光層に接触し、前記発光層が発光する発光領域を規定する第一の隔壁と、
前記発光層に接触し、前記発光層が形成される形成領域を規定する第二の隔壁と、を有し、
前記発光層と前記第一の隔壁との接触面積は、前記発光層と前記第二の隔壁との接触面積より大きい色変換デバイス。
With the board
A light emitting layer located on the substrate and containing a light emitting material,
A first partition wall that comes into contact with the light emitting layer and defines a light emitting region in which the light emitting layer emits light.
It has a second partition wall that comes into contact with the light emitting layer and defines a formation region in which the light emitting layer is formed.
A color conversion device in which the contact area between the light emitting layer and the first partition wall is larger than the contact area between the light emitting layer and the second partition wall.
前記第二の隔壁で囲まれる領域には、前記第一の隔壁で囲まれる領域が2つ以上含まれる請求項1に記載の色変換デバイス。 The color conversion device according to claim 1, wherein the region surrounded by the second partition wall includes two or more regions surrounded by the first partition wall. 前記第一の隔壁及び前記第二の隔壁は、前記基板の一方の面に設けられ、
前記基板から前記第一の隔壁の頂部までの第一の距離は、前記基板から前記第二の隔壁の頂部までの第二の距離よりも短い請求項1又は2に記載の色変換デバイス。
The first partition wall and the second partition wall are provided on one surface of the substrate.
The color conversion device according to claim 1 or 2, wherein the first distance from the substrate to the top of the first partition wall is shorter than the second distance from the substrate to the top of the second partition wall.
色変換層を形成するインクに対する、前記第一の隔壁の頂部の静止接触角は、前記第二の隔壁の頂部の静止接触角よりも小さいこと、
を特徴とする請求項1から3に記載の色変換デバイス。
The static contact angle of the top of the first partition wall with respect to the ink forming the color conversion layer is smaller than the static contact angle of the top of the second partition wall.
The color conversion device according to claim 1 to 3.
色変換層を形成するインクに対する、前記第一の隔壁の頂部と前記第二の隔壁の頂部の静止接触角は、40°以上70°以下であり、前記第一の隔壁の側部と前記第二の隔壁の側部の静止接触角は、5°以上40°以下であること、
を特徴とする、請求項4に記載の色変換デバイス。
The static contact angle between the top of the first partition wall and the top of the second partition wall with respect to the ink forming the color conversion layer is 40 ° or more and 70 ° or less, and the side portion of the first partition wall and the first partition wall. The static contact angle of the side of the second partition wall shall be 5 ° or more and 40 ° or less.
4. The color conversion device according to claim 4.
色変換層を形成するインクに対する、前記第二の隔壁の頂部の後退接触角は、15°以上であること、
を特徴とする、請求項1から5に記載の色変換デバイス。
The receding contact angle of the top of the second partition wall with respect to the ink forming the color conversion layer shall be 15 ° or more.
The color conversion device according to any one of claims 1 to 5.
前記第一の距離は、3μm以上7μm以下であり、
前記第二の距離は、6μm以上8μm以下である請求項1から6のいずれか1項に記載の色変換デバイス。
The first distance is 3 μm or more and 7 μm or less.
The color conversion device according to any one of claims 1 to 6, wherein the second distance is 6 μm or more and 8 μm or less.
前記発光層は、前記発光材料を含むインクを硬化することで形成されており、
前記第一の隔壁の頂部の前記インクに対する静止接触角は、前記第一の隔壁の側面の前記インクに対する静止接触角よりも大きい請求項1〜7のいずれか1項に記載の色変換デバイス。
The light emitting layer is formed by curing an ink containing the light emitting material.
The color conversion device according to any one of claims 1 to 7, wherein the static contact angle of the top of the first partition wall with respect to the ink is larger than the static contact angle of the side surface of the first partition wall with respect to the ink.
前記第二の隔壁で囲まれる1つの領域内に、前記第一の隔壁が2つ対向して配置されている請求項1〜8のいずれか1項に記載の色変換デバイス。 The color conversion device according to any one of claims 1 to 8, wherein two first partition walls are arranged so as to face each other in one region surrounded by the second partition wall. 2つの前記第一の隔壁で挟まれる形状は、円柱状である請求項9に記載の色変換デバイス。 The color conversion device according to claim 9, wherein the shape sandwiched between the two first partition walls is cylindrical. 前記第一の隔壁は、柱状体であり、前記第二の隔壁の側面に記置されている請求項1から9のいずれか1項に記載の色変換デバイス。 The color conversion device according to any one of claims 1 to 9, wherein the first partition wall is a columnar body, and is written on the side surface of the second partition wall. 前記第二の隔壁で囲まれる領域は、平面視で扁平形状である請求項1から11のいずれか1項に記載の色変換デバイス。 The color conversion device according to any one of claims 1 to 11, wherein the region surrounded by the second partition wall has a flat shape in a plan view. 前記扁平形状の領域は、平面視で、前記基板に対して、傾斜している請求項12に記載の色変換デバイス。 The color conversion device according to claim 12, wherein the flat region is inclined with respect to the substrate in a plan view. 前記第一の隔壁と前記第一の隔壁には、フッ素材料が含まれる請求項1から13のいずれか1項に記載の色変換デバイス。 The color conversion device according to any one of claims 1 to 13, wherein the first partition wall and the first partition wall contain a fluorine material. 前記フッ素材料は、前記第一の隔壁と前記第一の隔壁に不均一に含まれる請求項14に記載の色変換デバイス。 The color conversion device according to claim 14, wherein the fluorine material is non-uniformly contained in the first partition wall and the first partition wall. 請求項1から15のいずれか1項に記載の色変換デバイスと、
前記色変換デバイスに入射する光を発する発光デバイスと、を有するマイクロLEDディスプレイパネル。
The color conversion device according to any one of claims 1 to 15.
A micro LED display panel comprising a light emitting device that emits light incident on the color conversion device.
基板上に、発光層が発光する発光領域を規定する第一の隔壁を形成する第1ステップと、
前記基板上に、前記発光層が形成される形成領域を規定する第二の隔壁を形成する第2ステップと、
前記第二の隔壁で囲まれた領域に、発光材料を含むインクを塗布して前記発光層を形成する第3ステップと、を含み、
前記第1ステップ及び前記第2ステップでは、前記基板から前記第一の隔壁の頂部までの第一の距離が、前記基板から前記第二の隔壁の頂部までの第二の距離より短くなるように前記第一の隔壁及び前記第二の隔壁を形成する色変換デバイスの製造方法。
The first step of forming a first partition wall on the substrate that defines the light emitting region where the light emitting layer emits light,
A second step of forming a second partition wall on the substrate, which defines a formation region in which the light emitting layer is formed,
The region surrounded by the second partition wall includes a third step of applying an ink containing a light emitting material to form the light emitting layer.
In the first step and the second step, the first distance from the substrate to the top of the first partition wall is shorter than the second distance from the substrate to the top of the second partition wall. A method for manufacturing a color conversion device that forms the first partition wall and the second partition wall.
前記第3ステップでは、インクジェット法を用いて前記インクを塗布し、
前記第二の隔壁で囲まれる領域は、平面視で扁平形状であり、
前記インクの塗布方向は、前記第二の隔壁で囲まれる領域の長軸方向に対して垂直な方向である請求項17に記載の色変換デバイスの製造方法。
In the third step, the ink is applied using an inkjet method.
The area surrounded by the second partition wall has a flat shape in a plan view.
The method for manufacturing a color conversion device according to claim 17, wherein the ink application direction is a direction perpendicular to the long axis direction of the region surrounded by the second partition wall.
請求項17又は18に記載の色変換デバイスの製造方法により製造された色変換デバイスを用いたマイクロLEDディスプレイパネルの製造方法であって、
前記色変換デバイスと前記色変換デバイスに入射する光を発する発光デバイスとを貼り合わせるステップを含むマイクロLEDディスプレイパネルの製造方法。


A method for manufacturing a micro LED display panel using a color conversion device manufactured by the method for manufacturing a color conversion device according to claim 17 or 18.
A method for manufacturing a micro LED display panel, which comprises a step of bonding the color conversion device and a light emitting device that emits light incident on the color conversion device.


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