JP2020201070A - 分析装置および分析方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 X線
20 検出装置
30 試料設置装置
31 試料台
32 並進X軸調整ステージ
33 並進Y軸調整ステージ
34 Z軸調整ステージ
35 傾きRx軸調整ステージ
36 傾きRy軸調整ステージ
37 回転角Φ調整ステージ
38 傾斜角φ調整ステージ
40 調整装置
41 傾きRD軸調整ステージ
42 並進YD軸調整ステージ
50 解析装置
51 制御部
52 解析部
100 分析装置
200 分析装置
Claims (5)
- 試料にX線を照射するためのX線照射装置と、
前記試料を透過した前記X線を検出する検出装置と、
前記試料が設置され、前記X線照射装置から前記検出装置に対して前記X線が照射される方向と交差する方向を軸として前記試料を回転させる回転機構を備える試料設置装置と、
前記検出装置と前記試料との距離方向と、前記回転機構が前記試料を回転させる回転軸と交差する方向に、前記検出装置を並進させる並進装置と、
前記検出装置のピクセルを2以上に分割した距離ずつ前記検出装置が並進するごとに前記回転機構が前記試料を回転させた場合に、前記検出装置の検出結果から得られる投影画像から、逐次近似再構成法による断層像を再構成する解析装置と、を備えることを特徴とする分析装置。 - 前記試料は、平板形状を有しており、
前記回転機構は、前記試料の主面に垂直をなす方向を軸として前記試料を回転させ、
前記並進装置は、前記検出装置と前記試料との距離方向に直交し、前記回転機構が前記試料を回転させる回転軸に直交する方向に、前記検出装置を並進させることを特徴とする請求項1記載の分析装置。 - 前記並進装置は、dxを前記検出装置のピクセルサイズとしてmを2以上の正数とした場合に、前記回転機構が前記試料を180°または360°回転させるごとに、前記試料をdx/mずつ並進させることを特徴とする請求項1または2に記載の分析装置。
- 前記検出装置は、検出面を備え、
前記検出装置を前記検出面の面内で傾斜させる傾斜機構を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の分析装置。 - X線照射装置によって、試料にX線を照射し、
検出装置によって、前記試料を透過した前記X線を検出し、
前記試料が設置され、前記X線照射装置から前記検出装置に対して前記X線が照射される方向と交差する方向を軸として前記試料を回転させ、
前記検出装置と前記試料との距離方向と、前記試料を回転させる回転軸と交差する方向に、前記検出装置を並進させ、
前記検出装置のピクセルを2以上に分割した距離ずつ前記検出装置が並進するごとに前記試料を回転させた場合に、前記検出装置の検出結果から得られる投影画像から、逐次近似再構成法による断層像を再構成する、ことを特徴とする分析方法。
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JP2019106904A JP7265159B2 (ja) | 2019-06-07 | 2019-06-07 | 分析装置および分析方法 |
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JP7265159B2 JP7265159B2 (ja) | 2023-04-26 |
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Family Applications (1)
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050105684A1 (en) * | 2003-08-30 | 2005-05-19 | Bruker Axs Gmbh | Virtual two-dimensional detector |
WO2015128969A1 (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-03 | 株式会社日立製作所 | X線撮像装置及びx線撮像方法 |
JP2019058480A (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 断層画像撮影装置及び断層画像撮影方法 |
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2019
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US20050105684A1 (en) * | 2003-08-30 | 2005-05-19 | Bruker Axs Gmbh | Virtual two-dimensional detector |
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JP2019058480A (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 断層画像撮影装置及び断層画像撮影方法 |
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