JP2020198408A

JP2020198408A - Tape unit and tape pasting machine

Info

Publication number: JP2020198408A
Application number: JP2019105298A
Authority: JP
Inventors: 正博濱砂; Masahiro Hamasuna
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-06-05
Filing date: 2019-06-05
Publication date: 2020-12-10
Also published as: SG10202004820XA

Abstract

To prevent a tape installed on a device from being mistaken.SOLUTION: A tape pasting machine according to the present invention is a tape pasting machine that sticks a tape to a wafer. Such a tape pasting machine includes a holding portion that holds the tape, a pasting portion that sticks the tape sent from the holding portion to the wafer, a reading portion that reads an information recording medium, and a control portion. Such a control unit includes a tape registration portion capable of registering a plurality of pieces of tape information, a tape selection portion, and a tape determination portion. The tape selection portion records the tape information selected by an operator from the tape information registered in the tape registration portion. The tape determination portion determines whether or not the tape information recorded by the tape selection portion and the tape information read by the reading portion match.SELECTED DRAWING: Figure 8

Description

本発明は、テープユニット及びテープ貼り機に関する。 The present invention relates to a tape unit and a tape pasting machine.

半導体ウエーハの加工に際して、半導体ウエーハに取り付けるグラインダー用の保護テープやダイシング用のテープなど、半導体用ウエーハ用のテープを半導体ウエーハに貼着するテープ貼り機がある（例えば、特許文献１）。半導体ウエーハ用のテープは、通常、テープ情報が記載された専用の収容袋で保管されている。オペレータは、テープの貼り付けを行う際、この専用の収容袋からテープを取り出して、テープ貼り機にセットする。 When processing a semiconductor wafer, there is a tape pasting machine that attaches a tape for a semiconductor wafer to the semiconductor wafer, such as a protective tape for a grinder attached to the semiconductor wafer and a tape for dicing (for example, Patent Document 1). Tapes for semiconductor wafers are usually stored in a dedicated storage bag containing tape information. When affixing the tape, the operator takes out the tape from this dedicated storage bag and sets it in the tape affixing machine.

ところで、半導体ウエーハに貼り付けるテープの種類を取り違えると、加工不良に繋がるおそれがある。このため、オペレータがテープの種類が判断できるように、半導体ウエーハ用のテープが収容される専用の収容袋には、テープ情報が記載されている。オペレータは、収容袋に記載されたテープ情報を目視で確認することにより、装置にセットするテープが正しいかどうかを判断できる。 By the way, if the type of tape attached to the semiconductor wafer is wrong, it may lead to processing defects. Therefore, the tape information is described in the dedicated storage bag in which the tape for the semiconductor wafer is stored so that the operator can determine the type of the tape. The operator can visually check the tape information written on the storage bag to determine whether the tape set in the device is correct.

特開２００９−２０６１６１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-206161

上述のように、半導体ウエーハを収容している専用の収容袋にはテープ情報が記載されているが、一度、テープを収容袋から取り出した後は、テープ情報が確認できなくなり、誤ったテープを装置にセットしてしまうおそれがある。 As mentioned above, the tape information is written in the dedicated storage bag that houses the semiconductor wafer, but once the tape is taken out of the storage bag, the tape information cannot be confirmed and the wrong tape is inserted. There is a risk of setting it in the device.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、装置に設置するテープの取り違いを防止できるテープユニット及びテープ貼り機を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a tape unit and a tape pasting machine capable of preventing the tapes to be installed in an apparatus from being misplaced.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るテープユニットは、芯と、芯に巻かれたテープと、を備え、芯は、テープ情報を記録する情報記録媒体を含むことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the tape unit according to the present invention includes a core, a tape wound around the core, and the core includes an information recording medium for recording tape information. It is characterized by.

本発明の構成によれば、テープ自体がテープ情報を記録する媒体を備えるので、装置に設置するテープの取り違い防止に寄与できる。 According to the configuration of the present invention, since the tape itself includes a medium for recording tape information, it is possible to contribute to prevention of misplacement of tapes installed in the apparatus.

また、本発明に係るテープユニットにおいて、情報記録媒体は、二次元コード、又は無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なＲＦＩＤのＲＦタグであってもよい。 Further, in the tape unit according to the present invention, the information recording medium may be a two-dimensional code or an RFID RF tag capable of writing and reading information by wireless communication.

本発明の構成によれば、テープに対してテープ情報を簡易に付帯できる。 According to the configuration of the present invention, tape information can be easily attached to the tape.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るテープ貼り機は、テープユニットが備えるテープをウエーハに貼り付けるテープ貼り機である。かかるテープ貼り機は、テープユニットを保持する保持部と、保持部から送り出されたテープをウエーハに貼着する貼着部と、情報記録媒体を読み込む読込部と、制御部と、を備える。かかる制御部は、複数のテープ情報を登録可能なテープ登録部と、テープ選択部と、テープ判定部とを含む。テープ選択部は、テープ登録部に登録されたテープ情報からオペレータが選択したテープ情報を記録する。テープ判定部は、テープ選択部で記録されたテープ情報と、読込部によって読み込まれたテープ情報とが一致するかを判定する。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the tape sticking machine according to the present invention is a tape sticking machine for sticking a tape included in a tape unit to a wafer. Such a tape sticking machine includes a holding section for holding a tape unit, a sticking section for sticking the tape sent from the holding section to a wafer, a reading section for reading an information recording medium, and a control section. Such a control unit includes a tape registration unit capable of registering a plurality of tape information, a tape selection unit, and a tape determination unit. The tape selection unit records the tape information selected by the operator from the tape information registered in the tape registration unit. The tape determination unit determines whether the tape information recorded by the tape selection unit and the tape information read by the reading unit match.

本発明の構成によれば、装置に設置するテープの取り違いを防止できるテープ貼り機を提供できる。 According to the configuration of the present invention, it is possible to provide a tape pasting machine capable of preventing the tapes installed in the apparatus from being misplaced.

また、本発明に係るテープ貼り機において、テープ情報は、品種と使用期限とを少なくとも含み、テープ判定部は、テープ選択部で記録されたテープ情報に含まれる品種と、読込部によって読み込まれたテープ情報に含まれる品種とが一致するかを判定し、品種が一致していないと判定された場合、テープの取り違いが発生している旨を通知し、品種が一致していると判定した場合、現在時刻と読込部で読み込まれたテープ情報に含まれる使用期限とを比較し、テープの使用期限を過ぎている場合には、使用期限が過ぎている旨を通知してもよい。 Further, in the tape pasting machine according to the present invention, the tape information includes at least the product type and the expiration date, and the tape determination unit is read by the product type included in the tape information recorded by the tape selection unit and the reading unit. It is determined whether or not the varieties included in the tape information match, and if it is determined that the varieties do not match, a notification that the tape has been misplaced is notified and it is determined that the varieties match. In this case, the current time may be compared with the expiration date included in the tape information read by the reading unit, and if the expiration date of the tape has passed, it may be notified that the expiration date has passed.

本発明によれば、装置に設置するテープの取り違いを防止できるという効果を奏する。 According to the present invention, there is an effect that it is possible to prevent the tapes installed in the apparatus from being misplaced.

図１は、実施形態に係るウエーハの外観を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of the wafer according to the embodiment. 図２は、実施形態に係るテープユニットの一例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of the tape unit according to the embodiment. 図３は、実施形態に係る保護テープの貼着例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an example of attaching the protective tape according to the embodiment. 図４は、実施形態に係るフレームユニットの構成例を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a configuration example of the frame unit according to the embodiment. 図５は、実施形態に係るテープ貼り機の外観構成を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an external configuration of the tape pasting machine according to the embodiment. 図６は、実施形態に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing a partial cross section of the tape pasting machine according to the embodiment. 図７は、実施形態に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。FIG. 7 is a side view showing a partial cross section of the tape pasting machine according to the embodiment. 図８は、実施形態に係る処理の概要を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an outline of the process according to the embodiment. 図９は、実施形態に係る処理手順の一例を示すフローチャートである。FIG. 9 is a flowchart showing an example of the processing procedure according to the embodiment. 図１０は、変形例に係るテープユニットの外観構成を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an external configuration of the tape unit according to the modified example. 図１１は、変形例に係るテープユニットの外観構成を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing an external configuration of the tape unit according to the modified example. 図１２は、変形例に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。FIG. 12 is a side view showing a partial cross section of the tape pasting machine according to the modified example.

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Further, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

また、本発明の実施形態において、実質的に同一の機能構成を有する複数の構成要素の各々を特に区別する必要がない場合、同一符号を付して説明する場合がある。また、同一の符号の後に異なる数字や文字等を付して区別する場合もある。 Further, in the embodiment of the present invention, when it is not necessary to particularly distinguish each of the plurality of components having substantially the same functional configuration, they may be described with the same reference numerals. In addition, different numbers or letters may be added after the same code to distinguish them.

以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。 In the embodiment described below, the XYZ Cartesian coordinate system is set, and the positional relationship of each part will be described with reference to the XYZ Cartesian coordinate system. One direction in the horizontal plane is the X-axis direction, the direction orthogonal to the X-axis direction in the horizontal plane is the Y-axis direction, and the directions orthogonal to each of the X-axis direction and the Y-axis direction are the Z-axis directions. The XY plane, including the X and Y axes, is parallel to the horizontal plane. The Z-axis direction orthogonal to the XY plane is the vertical direction.

〔ウエーハ及びテープの構成〕
まず、実施形態に係るテープ貼り機が対象とするウエーハ及びテープユニットについて説明する。図１は、実施形態に係るウエーハの外観を示す斜視図である。図２は、実施形態に係るテープユニットの一例を示す斜視図である。図３は、実施形態に係る保護テープの貼着例を示す斜視図である。図４は、実施形態に係るフレームユニットの構成例を示す斜視図である。 [Wafer and tape composition]
First, a wafer and a tape unit targeted by the tape pasting machine according to the embodiment will be described. FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of the wafer according to the embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing an example of the tape unit according to the embodiment. FIG. 3 is a perspective view showing an example of attaching the protective tape according to the embodiment. FIG. 4 is a perspective view showing a configuration example of the frame unit according to the embodiment.

図１に示すウエーハ１１は、シリコン、サファイア、又はガリウムヒ素などを基板とする半導体ウエーハや光デバイスウエーハであり、円板状の構造物である。ウエーハ１１の表面１１−３には、交差する複数のストリート１１−１で区画された各領域のそれぞれに、ＩＣやＬＳＩ等のデバイス１１−２が形成される。また、ウエーハ１１には、結晶方位を示すノッチ１１−４が設けられている。なお、ウエーハ１１に、結晶方位を示すオリエンテーションフラットが設けられてもよい。 The wafer 11 shown in FIG. 1 is a semiconductor wafer or an optical device wafer whose substrate is silicon, sapphire, gallium arsenide, or the like, and is a disk-shaped structure. On the surface 11-3 of the wafer 11, devices 11-2 such as ICs and LSIs are formed in each region partitioned by a plurality of intersecting streets 11-1. Further, the wafer 11 is provided with notches 11-4 indicating the crystal orientation. The wafer 11 may be provided with an orientation flat indicating the crystal orientation.

図２に示すテープユニット４は、芯４１と、芯４１に巻かれたテープ４２０と、を備える。芯４１は、内部が空洞の筒状であり、例えばプラスチックなどにより構成される。芯４１は、テープ情報を記録する情報記録媒体２０１を含む。情報記録媒体２０１は、例えば、無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なＲＦＩＤ（radio frequency identifier）のＲＦタグ（以下、ＲＦＩＤタグ）により実装される。テープ情報として、テープの品種名、ロートナンバー、及び使用期限の情報を記録する。テープ４２０は、ウエーハ１１の表面１１−３を保護する保護テープ４２１や、後述するフレームユニット１１Ｆを形成するダイシングテープ４２２などに該当する。図２では、情報記録媒体２０１が、芯４１を形成する長手方向の曲面上に設置される例を示すが、この例には特に限定される必要はない。 The tape unit 4 shown in FIG. 2 includes a core 41 and a tape 420 wound around the core 41. The core 41 has a cylindrical shape with a hollow inside, and is made of, for example, plastic. The core 41 includes an information recording medium 201 for recording tape information. The information recording medium 201 is implemented by, for example, an RF tag (hereinafter, RFID tag) of an RFID (radio frequency identifier) capable of writing and reading information by wireless communication. As the tape information, information on the tape type name, funnel number, and expiration date is recorded. The tape 420 corresponds to a protective tape 421 that protects the surface 11-3 of the wafer 11, a dicing tape 422 that forms the frame unit 11F described later, and the like. FIG. 2 shows an example in which the information recording medium 201 is installed on a curved surface in the longitudinal direction forming the core 41, but the example is not particularly limited.

図３に示すように、テープ貼り機１により実施される所定のテープ貼着工程によって、例えば、ウエーハ１１の表面１１−３に保護テープ４２１が貼着される。保護テープ４２１が、例えばＢＧ（Back Grinding）用の保護テープであれば、保護テープ４２１により、ウエーハ１１の裏面１１−５を研削する際、ウエーハ１１の表面１１−３を保護する。 As shown in FIG. 3, the protective tape 421 is attached to, for example, the surface 11-3 of the wafer 11 by a predetermined tape attaching step carried out by the tape attaching machine 1. If the protective tape 421 is, for example, a protective tape for BG (Back Grinding), the protective tape 421 protects the front surface 11-3 of the wafer 11 when grinding the back surface 11-5 of the wafer 11.

また、テープ貼り機１により実施される所定のテープ貼着工程により、図４に示すフレームユニット１１−Ｆが形成される。フレームユニット１１−Ｆは、ウエーハ１１と、環状フレーム２９と、ダイシングテープ４２２とを備える。 Further, the frame unit 11-F shown in FIG. 4 is formed by a predetermined tape sticking step carried out by the tape sticking machine 1. The frame unit 11-F includes a wafer 11, an annular frame 29, and a dicing tape 422.

環状フレーム２９は、内側に開口を有するリング状に形成されている。ダイシングテープ４２２は、外周部が環状フレーム２９に貼着され、中央部がウエーハ１１の表面１１−３の裏側の裏面１１−５に貼着される。ダイシングテープ４２２は、合成樹脂により構成された基材層と、基材層上に配設されウエーハ１１の裏面１１−５に貼着する糊層とからなるベースシートで構成される。基材層は、例えば、ＰＯ（Polyolefin）、又はＰＶＣ（Polyvinyl Chloride）などの合成樹脂により構成される。または合成樹脂の基材層のみで構成され、ウエーハ１１に熱圧着して貼着するようなテープでも良い。 The annular frame 29 is formed in a ring shape having an opening inside. The outer peripheral portion of the dicing tape 422 is attached to the annular frame 29, and the central portion is attached to the back surface 11-5 on the back side of the front surface 11-3 of the wafer 11. The dicing tape 422 is composed of a base sheet made of a synthetic resin and a glue layer disposed on the base material layer and attached to the back surface 11-5 of the wafer 11. The base material layer is composed of, for example, a synthetic resin such as PO (Polyolefin) or PVC (Polyvinyl Chloride). Alternatively, a tape composed of only a synthetic resin base material layer and which is thermocompression-bonded to the wafer 11 may be used.

ウエーハ１１は、裏面１１−５にダイシングテープ４２２の中央部が貼着されていることにより、環状フレーム２９の開口内に収容される。すなわち、ダイシングテープ４２２によって、ウエーハ１１と環状フレーム２９とが一体化される。ダイシングテープ４２２により形成されるフレームユニット１１−Ｆにより、切削工程によりウエーハ１１が個々のデバイス１１−２に分割される際、ウエーハ１１の強固な保持が可能となる。 The wafer 11 is housed in the opening of the annular frame 29 because the central portion of the dicing tape 422 is attached to the back surface 11-5. That is, the dicing tape 422 integrates the wafer 11 and the annular frame 29. The frame unit 11-F formed by the dicing tape 422 enables the wafer 11 to be firmly held when the wafer 11 is divided into individual devices 11-2 by the cutting process.

〔テープ貼り機の構成〕
続いて、実施形態に係るテープ貼り機について説明する。図５は、実施形態に係るテープ貼り機の外観構成を示す斜視図である。図６及び図７は、実施形態に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。 [Configuration of tape pasting machine]
Subsequently, the tape pasting machine according to the embodiment will be described. FIG. 5 is a perspective view showing an external configuration of the tape pasting machine according to the embodiment. 6 and 7 are side views showing a partial cross section of the tape pasting machine according to the embodiment.

テープ貼り機１は、ロール状に旋回されたテープユニット４が装着される装着軸５を備える送り出しロール６（保持部の一例）と、使用済みのテープ４２０をロール状に巻き取るための巻き取り軸１８を備える巻き取りロール１６とを備える。 The tape sticking machine 1 includes a delivery roll 6 (an example of a holding portion) having a mounting shaft 5 on which a roll-shaped swirled tape unit 4 is mounted, and a winding for winding the used tape 420 into a roll. A take-up roll 16 including a shaft 18 is provided.

送り出しロール６から送り出されるテープ４２０は、固定ローラ８、貼着ローラ１０、剥離ローラ１２，１４の間を通って、巻き取り軸１８により巻き取られる。 The tape 420 delivered from the delivery roll 6 passes between the fixing roller 8, the sticking roller 10, and the peeling rollers 12 and 14, and is wound by the winding shaft 18.

テープ貼り機１は、保持テーブル２２を備える。保持テーブル２２は、環状フレーム２９を載置固定するフレーム載置領域２４と、ウエーハ１１を載置固定するウエーハ載置領域２６とを有する。保持テーブル２２は、テープ４２０の送り出し方向に対して直角方向（Ｘ軸方向に平行な方向）に進退することにより、作業領域２８又は貼着領域３０に位置付けられる。作業領域２８は、ウエーハ１１や環状フレーム２９をオペレータが設置する際に位置付けられる領域である。貼着領域３０は、ウエーハ１１や環状フレーム２９に対して、テープ４２０の貼着工程が実施される際に位置付けられる領域である。 The tape pasting machine 1 includes a holding table 22. The holding table 22 has a frame mounting area 24 for mounting and fixing the annular frame 29, and a wafer mounting area 26 for mounting and fixing the wafer 11. The holding table 22 is positioned in the work area 28 or the attachment area 30 by advancing and retreating in a direction perpendicular to the feeding direction of the tape 420 (a direction parallel to the X-axis direction). The work area 28 is an area positioned when the operator installs the wafer 11 and the annular frame 29. The sticking area 30 is a region positioned when the tape 420 sticking step is performed on the wafer 11 and the annular frame 29.

テープ貼り機１は、カッターアセンブリ２０を備える。カッターアセンブリ２０は、図６及び図７に示す取付ベース３２と、旋回アーム３４とを有する。取付ベース３２は、図示しない駆動手段により、上下方向（Ｚ軸方向に平行な方向）に移動する。旋回アーム３４は、図示しない駆動手段により、取付ベース３２に対して旋回軸３６周りを旋回する。 The tape sticking machine 1 includes a cutter assembly 20. The cutter assembly 20 has a mounting base 32 shown in FIGS. 6 and 7 and a swivel arm 34. The mounting base 32 is moved in the vertical direction (direction parallel to the Z-axis direction) by a driving means (not shown). The swivel arm 34 swivels around the swivel shaft 36 with respect to the mounting base 32 by a drive means (not shown).

旋回アーム３４は、テープカッター３８を有する。テープカッター３８は、水平方向（Ｘ軸方向に平行な方向）に移動が調整可能な状態で取り付けられる。 The swivel arm 34 has a tape cutter 38. The tape cutter 38 is attached in a state where the movement can be adjusted in the horizontal direction (direction parallel to the X-axis direction).

テープ貼り機１は、タッチパネル３３を備える。タッチパネル３３は、オペレータからテープ貼り機１の操作を受け付ける。タッチパネル３３は、テープ貼り機１により実施されるテープ貼着工程に各種情報を表示できる。タッチパネル３３は、ディスプレイを備えたタッチスクリーンディスプレイにより実装されてもよい。 The tape sticking machine 1 includes a touch panel 33. The touch panel 33 receives the operation of the tape sticking machine 1 from the operator. The touch panel 33 can display various information in the tape sticking process performed by the tape sticking machine 1. The touch panel 33 may be implemented by a touch screen display including a display.

テープ貼り機１は、図５に示す読込部９０を備える。読込部９０は、テープユニット４の芯４１に設けられた情報記録媒体２０１から、情報記録媒体２０１に記録されたテープ情報を読み込む。なお、読込部９０により読み取られたテープ情報を用いたテープ貼り機１の処理については後述する。 The tape sticking machine 1 includes a reading unit 90 shown in FIG. The reading unit 90 reads the tape information recorded on the information recording medium 201 from the information recording medium 201 provided on the core 41 of the tape unit 4. The processing of the tape sticking machine 1 using the tape information read by the reading unit 90 will be described later.

制御ユニット１００（制御部の一例）は、ＣＰＵ（central processing unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）などの記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備える。制御ユニット１００は、かかる各部により、以下に説明するテープ貼着工程を実施するために、上述した各構成要素を制御するためのコンピュータプログラムなどを実行可能なコンピュータである。 The control unit 100 (an example of a control unit) includes an arithmetic processing unit such as a CPU (central processing unit), a storage device such as a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory), and an input / output interface device. .. The control unit 100 is a computer capable of executing a computer program or the like for controlling each of the above-mentioned components in order to carry out the tape sticking step described below by each of these parts.

〔テープ貼り機の動作〕
続いて、図５〜図７を参照しつつ、実施形態に係るテープ貼り機によるテープ貼着動作について説明する。一例として、以下では、図４に示すフレームユニット１１−Ｆを形成するテープの貼着工程について説明する。オペレータは、作業領域２８に位置付けられた保持テーブル２２のフレーム載置領域２４及びウエーハ載置領域２６に、ウエーハ１１と環状フレーム２９とをそれぞれ位置決めして載置する。 [Operation of tape sticker]
Subsequently, the tape sticking operation by the tape sticking machine according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 5 to 7. As an example, the process of attaching the tape forming the frame unit 11-F shown in FIG. 4 will be described below. The operator positions and mounts the wafer 11 and the annular frame 29 on the frame mounting area 24 and the wafer mounting area 26 of the holding table 22 located in the work area 28, respectively.

続いて、オペレータにより保持テーブル２２のボタン２２Ａが押下されると、テープ貼り機１は、ウエーハ１１及び環状フレーム２９を保持テーブル２２に吸着保持した後、図５に示す矢印５Ｓの方向に移動し、貼着領域３０に位置付ける。 Subsequently, when the button 22A of the holding table 22 is pressed by the operator, the tape pasting machine 1 sucks and holds the wafer 11 and the annular frame 29 on the holding table 22, and then moves in the direction of the arrow 5S shown in FIG. , Positioned in the attachment area 30.

続いて、テープ貼り機１は、貼着ローラ１０（貼着部の一例）を図６に示す矢印６Ｓに移動させることにより、図６に示す点線のように、貼着領域３０に位置付けられたウエーハ１１及び環状フレーム２９にテープ４２０を貼着する。これにより、ウエーハ１１及び環状フレーム２９は、テープ４２０により一体化される。貼着ローラ１０は、軸心周りに回転自在に設けられ、かかる軸心は、テープ４２０の送り出し方向（Ｙ軸方向に平行な方向）に平行である。 Subsequently, the tape sticking machine 1 was positioned in the sticking area 30 as shown by the dotted line shown in FIG. 6 by moving the sticking roller 10 (an example of the sticking portion) to the arrow 6S shown in FIG. The tape 420 is attached to the wafer 11 and the annular frame 29. As a result, the wafer 11 and the annular frame 29 are integrated by the tape 420. The sticking roller 10 is rotatably provided around the axis, and the axis is parallel to the feeding direction (direction parallel to the Y-axis direction) of the tape 420.

続いて、テープ貼り機１は、図７に示すように、上方に待機しているカッターアセンブリ２０を下降させ、テープカッター３８をテープ４２０越しにウエーハ１１及び環状フレーム２９の上方に接触させる。 Subsequently, as shown in FIG. 7, the tape pasting machine 1 lowers the cutter assembly 20 waiting upward, and brings the tape cutter 38 into contact with the wafer 11 and the annular frame 29 over the tape 420.

この状態で、テープ貼り機１は、旋回アーム３４を旋回軸３６を中心として３６０°（度）旋回させることにより、テープカッター３８により、テープ４２０を円形に切断する。これにより、ウエーハ１１及び環状フレーム２９がテープ４２０により一体化されたフレームユニット１１−Ｆが形成される。テープ貼り機１は、テープ４２０を切断後、カッターアセンブリ２０をもとの待機位置に退避させる。 In this state, the tape pasting machine 1 rotates the swivel arm 34 around the swivel shaft 36 by 360 ° (degrees), and the tape cutter 38 cuts the tape 420 into a circle. As a result, a frame unit 11-F in which the wafer 11 and the annular frame 29 are integrated by the tape 420 is formed. After cutting the tape 420, the tape sticking machine 1 retracts the cutter assembly 20 to the original standby position.

続いて、テープ貼り機１は、剥離ローラ１２，１４を図６に示す矢印６Ｓに往復運動させることにより、テープカッター３８により切断されたテープ４２０を環状フレーム２９から剥離する。これと同時に、テープ貼り機１は、使用済みのテープ４２０を巻き取りロール１６で巻き取り、未使用のテープ４２０を送り出しロール６から貼着領域３０まで引き出す。 Subsequently, the tape pasting machine 1 reciprocates the peeling rollers 12 and 14 to the arrow 6S shown in FIG. 6 to peel the tape 420 cut by the tape cutter 38 from the annular frame 29. At the same time, the tape sticking machine 1 winds up the used tape 420 with the winding roll 16 and pulls out the unused tape 420 from the feeding roll 6 to the sticking area 30.

続いて、テープ貼り機１は、保持テーブル２２に保持固定された状態のフレームユニット１１−Ｆを貼着領域３０から作業領域２８に移動させることにより、テープ貼着工程を完了する。オペレータは、作業領域２８に移動されたフレームユニット１１−Ｆを保持テーブル２２から取り上げ、取り上げたフレームユニット１１−Ｆを、図示しないウエーハカセットに収容することにより、次の加工工程（切削工程や研削工程など）に搬送する。 Subsequently, the tape sticking machine 1 completes the tape sticking step by moving the frame unit 11-F held and fixed to the holding table 22 from the sticking area 30 to the working area 28. The operator picks up the frame unit 11-F moved to the work area 28 from the holding table 22, and accommodates the picked up frame unit 11-F in a wafer cassette (not shown) to perform the next machining step (cutting step or grinding). Transport to process, etc.).

ところで、ウエーハ１１用のテープ４２０（４２１，４２２）は、通常、テープ情報が記載された専用の収容袋で保管されている。オペレータは、テープ４２０を使用する際、この専用の収容袋からテープ４２０を取り出して、テープ貼り機１にセットする。しかし、一度、テープ４２０を収容袋から取り出した後は、収容袋を紛失したり、テープ４２０を取り出した収容袋が分からなくなったりするなどで、テープ情報が確認できなくなると、誤ったテープ４２０を装置にセットしてしまうおそれがある。そこで、以下に説明するように、本実施形態では、装置に設置するテープの取り違いを防止できるテープ貼り機１を提案する。 By the way, the tape 420 (421, 422) for the wafer 11 is usually stored in a dedicated storage bag in which the tape information is described. When using the tape 420, the operator takes out the tape 420 from the dedicated storage bag and sets it in the tape sticking machine 1. However, once the tape 420 is taken out from the storage bag, if the storage bag is lost or the storage bag from which the tape 420 is taken out cannot be confirmed and the tape information cannot be confirmed, the wrong tape 420 is inserted. There is a risk of setting it in the device. Therefore, as described below, in the present embodiment, we propose a tape pasting machine 1 that can prevent the tapes installed in the apparatus from being misplaced.

〔処理の概要〕
図８は、実施形態に係る処理の概要を示す図である。図８に示すように、テープ貼り機１に設置されるテープユニット４は、上述したように、テープの品種名、ロットナンバー及び使用期限を含むテープ情報を記録する情報記録媒体２０１を予め備えている。情報記録媒体２０１をＲＦＩＤタグにより実装する場合、テープユニット４に予めテープ情報を持たせる方法として、次のようの方法（１）や（２）が例示される。
（１）テープの製造メーカが予めテープ情報を記録したＲＦＩＤタグを備えたテープユニット４を出荷する方法
（２）テープを使用するオペレータが、芯４１にＲＦＩＤタグを設置した後、ＲＦＩＤタグに情報の書き込みが可能な装置（ＲＦＩＤのライタ）を準備し、テープの収容袋に二次元バーコードなどにより印字されたテープ情報を読み取って、芯４１に設置したＲＦＩＤタグに書き込む方法 [Outline of processing]
FIG. 8 is a diagram showing an outline of the process according to the embodiment. As shown in FIG. 8, as described above, the tape unit 4 installed in the tape sticking machine 1 is provided with an information recording medium 201 for recording tape information including the tape type name, lot number, and expiration date in advance. There is. When the information recording medium 201 is mounted by an RFID tag, the following methods (1) and (2) are exemplified as a method of preliminarily holding tape information in the tape unit 4.
(1) A method in which a tape manufacturer ships a tape unit 4 equipped with an RFID tag in which tape information is recorded in advance. (2) An operator who uses the tape installs the RFID tag on the core 41 and then provides information on the RFID tag. A method of preparing a device (RFID writer) capable of writing the RFID tag, reading the tape information printed on the tape storage bag with a two-dimensional bar code, etc., and writing it on the RFID tag installed on the core 41.

また、図５又は図８に示すように、テープ貼り機１は、読込部９０を備えている。読込部９０は、送り出しロール６の装着軸５に設置されたテープユニット４の芯４１に設けられた情報記録媒体２０１から、情報記録媒体２０１に記録されたテープ情報を読み込む。例えば、テープ情報を記録する情報記録媒体２０１としてＲＦＩＤタグを採用する場合、読込部９０は、ＲＦＩＤリーダにより実装できる。読込部９０は、ＲＦＩＤタグに記録されたテープ情報を読込可能な位置に予め位置決めされた状態でテープ貼り機１に設置される。読込部９０は、読み込んだテープ情報を制御ユニット１００に送る。 Further, as shown in FIG. 5 or 8, the tape sticking machine 1 includes a reading unit 90. The reading unit 90 reads the tape information recorded on the information recording medium 201 from the information recording medium 201 provided on the core 41 of the tape unit 4 installed on the mounting shaft 5 of the delivery roll 6. For example, when an RFID tag is adopted as the information recording medium 201 for recording tape information, the reading unit 90 can be mounted by an RFID reader. The reading unit 90 is installed in the tape sticking machine 1 in a state where the tape information recorded on the RFID tag is positioned in advance at a position where it can be read. The reading unit 90 sends the read tape information to the control unit 100.

制御ユニット１００は、図８に示すように、テープ登録部１１０と、テープ選択部１２０と、テープ判定部１３０とを備え、かかる各部により、実施形態に係るテープ貼り機１の各種処理の機能や作用を実現または実行する。制御ユニット１００の各部は、たとえば記憶装置に記憶されたプログラムにより提供する機能により実現される。すなわち、制御ユニット１００の各部は、記憶装置に記憶されたプログラムを、演算処理装置がＲＡＭ等を作業領域として実行することにより実現される。制御ユニット１００の機能構成は、図８に示した構成例に特に限定される必要はなく、後述するテープ貼り機１における各種処理を行うことができる構成であれば他の構成であってもよい。 As shown in FIG. 8, the control unit 100 includes a tape registration unit 110, a tape selection unit 120, and a tape determination unit 130, and each of these units provides various processing functions of the tape pasting machine 1 according to the embodiment. Realize or carry out the action. Each part of the control unit 100 is realized by, for example, a function provided by a program stored in a storage device. That is, each part of the control unit 100 is realized by executing the program stored in the storage device by the arithmetic processing unit using the RAM or the like as a work area. The functional configuration of the control unit 100 is not particularly limited to the configuration example shown in FIG. 8, and may be another configuration as long as it can perform various processes in the tape sticking machine 1 described later. ..

テープ登録部１１０は、タッチパネル３３を介して、オペレータにより入力された複数のテープ情報を登録可能である。 The tape registration unit 110 can register a plurality of tape information input by the operator via the touch panel 33.

テープ選択部１２０は、テープ登録部１１０に登録されたテープ情報からオペレータが選択したテープ情報を記録する。具体的には、テープ選択部１２０は、オペレータの操作に応じて、タッチパネル３３に、テープ登録部１１０に登録された複数のテープ情報を一覧で表示する。そして、テープ選択部１２０は、タッチパネル３３に表示されるテープ情報の一覧の中から、オペレータにより選択されたテープ情報を記録する。 The tape selection unit 120 records the tape information selected by the operator from the tape information registered in the tape registration unit 110. Specifically, the tape selection unit 120 displays a list of a plurality of tape information registered in the tape registration unit 110 on the touch panel 33 in response to an operator's operation. Then, the tape selection unit 120 records the tape information selected by the operator from the list of tape information displayed on the touch panel 33.

テープ判定部１３０は、テープ選択部１２０で記録されたテープ情報と、読込部９０によって読み込まれたテープ情報とが一致するかを判定する。これにより、テープ貼着工程において実際に使用するテープとしてオペレータが予め登録したテープ情報と、テープ貼り機１に設置されたテープユニット４に対応するテープ情報とが一致するか否かが判定される。テープ判定部１３０は、テープ情報に含まれる品種が一致する場合、テープ情報が一致すると判定する。テープ判定部１３０は、テープ情報に含まれる品種が一致する場合、テープ情報に含まれる使用期限を超過しているかをさらに判定することもできる。具体的には、テープ判定部１３０を、現在時刻を記録する時刻部及び使用期限監視部として機能させる。そして、テープ判定部１３０は、現在時刻と、読込部９０により読み込まれたテープ情報に含まれる使用期限とを比較する。テープ判定部１３０は、現在時刻（日時）が使用期限を超過している場合、エラー信号を発信する。制御ユニット１００は、エラー信号に基づいて、オペレータに対する通知を実行できる。 The tape determination unit 130 determines whether the tape information recorded by the tape selection unit 120 and the tape information read by the reading unit 90 match. As a result, it is determined whether or not the tape information registered in advance by the operator as the tape actually used in the tape sticking process and the tape information corresponding to the tape unit 4 installed in the tape sticking machine 1 match. .. When the types included in the tape information match, the tape determination unit 130 determines that the tape information matches. When the product types included in the tape information match, the tape determination unit 130 can further determine whether the expiration date included in the tape information has been exceeded. Specifically, the tape determination unit 130 functions as a time unit for recording the current time and an expiration date monitoring unit. Then, the tape determination unit 130 compares the current time with the expiration date included in the tape information read by the reading unit 90. When the current time (date and time) has exceeded the expiration date, the tape determination unit 130 transmits an error signal. The control unit 100 can execute the notification to the operator based on the error signal.

テープ判定部１３０は、判定結果に応じた通知をオペレータに提供できる。例えば、テープ判定部１３０は、テープ情報に含まれるテープの品種が一致しないと判定すると、テープの取り違いが発生している旨の通知（テープエラー）をタッチパネル３３に表示して、オペレータに提供できる。また、テープ判定部１３０を、現在時刻がテープの使用期限が超過していると判定すると、テープの使用期限が過ぎている旨の通知（テープエラー）をタッチパネル３３に表示して、オペレータに提供できる。なお、テープ判定部１３０は、テープ情報が一致する場合にも、正しいテープが設置されている旨をタッチパネル３３に表示するようにしてもよい。 The tape determination unit 130 can provide the operator with a notification according to the determination result. For example, when the tape determination unit 130 determines that the tape types included in the tape information do not match, the tape determination unit 130 displays a notification (tape error) indicating that a tape error has occurred on the touch panel 33 and provides the operator with a notification. it can. Further, when the tape determination unit 130 determines that the current time has exceeded the expiration date of the tape, a notification (tape error) indicating that the expiration date of the tape has expired is displayed on the touch panel 33 and provided to the operator. it can. The tape determination unit 130 may display on the touch panel 33 that the correct tape is installed even when the tape information matches.

なお、制御ユニット１００は、通信ネットワーク２を介して、テープ貼り機１に設置されたテープユニット４のテープ情報を管理装置３にアップロードしてもよい。管理装置３を使用するオペレータは、テープ貼り機１からアップロードされたテープ情報に基づいて、テープの在庫などを一元管理できる。 The control unit 100 may upload the tape information of the tape unit 4 installed in the tape pasting machine 1 to the management device 3 via the communication network 2. The operator who uses the management device 3 can centrally manage the inventory of tapes and the like based on the tape information uploaded from the tape sticking machine 1.

また、管理装置３はテープ情報を管理してもよい。テープ登録部１１０は、通信ネットワーク２を介して、管理装置３から取得するテープ情報を登録してもよい。 Further, the management device 3 may manage the tape information. The tape registration unit 110 may register the tape information acquired from the management device 3 via the communication network 2.

〔処理手順〕
図９は、実施形態に係る処理手順の一例を示すフローチャートである。図９に示す処理は、例えば制御ユニット１００が備える各部により実行される。 [Processing procedure]
FIG. 9 is a flowchart showing an example of the processing procedure according to the embodiment. The process shown in FIG. 9 is executed by, for example, each unit included in the control unit 100.

読込部９０は、送り出しロール６の装着軸５に設置されたテープユニット４の芯４１に設けられた情報記録媒体２０１から、情報記録媒体２０１に記録されたテープ情報を読み込む（ステップＳ１０１）。 The reading unit 90 reads the tape information recorded on the information recording medium 201 from the information recording medium 201 provided on the core 41 of the tape unit 4 installed on the mounting shaft 5 of the delivery roll 6 (step S101).

テープ選択部１２０は、タッチパネル３３に表示されるテープ情報の一覧の中から、オペレータにより選択されたテープ情報を記録する（ステップＳ１０２）。 The tape selection unit 120 records the tape information selected by the operator from the list of tape information displayed on the touch panel 33 (step S102).

テープ判定部１３０は、ステップＳ１０１で読み込まれたテープ情報に含まれる品種と、ステップＳ１０２で記録されたテープ情報に含まれる品種とが一致するか否かを判定する（ステップＳ１０３）。 The tape determination unit 130 determines whether or not the product type included in the tape information read in step S101 and the product type included in the tape information recorded in step S102 match (step S103).

テープ判定部１３０は、テープの品種が一致しないと判定すると（ステップＳ１０３；Ｎｏ）、テープの取り違いが発生している旨のテープエラーをタッチパネル３３に表示して（ステップＳ１０４）、図９に示す処理手順を終了する。 When the tape determination unit 130 determines that the tape types do not match (step S103; No), the tape determination unit 130 displays a tape error on the touch panel 33 indicating that a tape error has occurred (step S104), and FIG. End the processing procedure shown.

一方、テープ判定部１３０は、テープの品種が一致していると判定すると（ステップＳ１０３；Ｙｅｓ）、さらに、テープの使用期限を超過しているか否かを判定する（ステップＳ１０５）。具体的には、テープ判定部１３０は、現在時刻と、ステップＳ１０１で読み込まれたテープ情報に含まれる使用期限と比較し、現在時刻がテープの使用期限を超過しているかを判定する。テープ判定部１３０は、判定の結果、テープの使用期限を超過していると判定した場合（ステップＳ１０５；Ｙｅｓ）、上述したステップＳ１０４の手順に移り、使用期限を超過している旨のテープエラーをタッチパネルに表示する。一方、テープ判定部１３０は、判定の結果、テープの使用期限を超過していないと判定した場合（ステップＳ１０５；Ｎｏ）、図９に示す処理手順を終了する。例えば、テープ判定部１３０は、正しいテープが設置されている旨をタッチパネル３３に表示してもよい。 On the other hand, when the tape determination unit 130 determines that the tape types match (step S103; Yes), it further determines whether or not the tape expiration date has been exceeded (step S105). Specifically, the tape determination unit 130 compares the current time with the expiration date included in the tape information read in step S101, and determines whether the current time exceeds the expiration date of the tape. When the tape determination unit 130 determines as a result of the determination that the expiration date of the tape has been exceeded (step S105; Yes), the process proceeds to the procedure of step S104 described above, and a tape error indicating that the expiration date has been exceeded. Is displayed on the touch panel. On the other hand, when the tape determination unit 130 determines as a result of the determination that the expiration date of the tape has not been exceeded (step S105; No), the tape determination unit 130 ends the processing procedure shown in FIG. For example, the tape determination unit 130 may display on the touch panel 33 that the correct tape is installed.

上述してきたように、実施形態に係るテープユニット（４）は、芯（４１）と、芯（４１）に巻かれたテープ（４２０）と、を備え、芯（４１）は、テープ情報を記録する情報記録媒体（２０１）を含む。これにより、テープ自体がテープ情報を記録できるので、テープの収容袋に記載されているテープ情報を確認できない状況にあっても、装置に設置するテープの取り違い防止に寄与できる。 As described above, the tape unit (4) according to the embodiment includes a core (41) and a tape (420) wound around the core (41), and the core (41) records tape information. The information recording medium (201) to be used is included. As a result, since the tape itself can record the tape information, even in a situation where the tape information written on the tape storage bag cannot be confirmed, it is possible to contribute to the prevention of misplacement of the tape installed in the apparatus.

また、実施形態に係るテープにおいて、情報記録媒体（２０１）は、無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なＲＦＩＤタグであるので、テープに対してテープ情報を簡易に付帯できる。 Further, in the tape according to the embodiment, since the information recording medium (201) is an RFID tag capable of writing and reading information by wireless communication, the tape information can be easily attached to the tape.

また、実施形態に係るテープ貼り機１は、保持部（送り出しロール６など）と、貼着部（貼着ローラ１０など）と、読込部（９０）と、制御部（制御ユニット１００など）と、を備える。保持部はテープを保持する。貼着部は、保持部から送り出されたテープをウエーハ（１１）に貼着する。読込部は情報記録媒体（２０１）を読み込む。制御部は、複数のテープ情報を登録可能なテープ登録部（１１０）と、テープ選択部（１２０）と、テープ判定部（１３０）とを含む。テープ選択部は、テープ登録部に登録されたテープ情報からオペレータが選択したテープ情報を記録する。テープ判定部は、テープ選択部で記録されたテープ情報と、読込部によって読み込まれたテープ情報とが一致するかを判定する。これにより、装置に設置するテープの取り違いを防止できるテープ貼り機１を提供できる。 Further, the tape sticking machine 1 according to the embodiment includes a holding portion (feeding roll 6 or the like), a sticking portion (sticking roller 10 or the like), a reading unit (90), and a control unit (control unit 100 or the like). , Equipped with. The holding part holds the tape. The sticking portion attaches the tape sent out from the holding portion to the wafer (11). The reading unit reads the information recording medium (201). The control unit includes a tape registration unit (110) capable of registering a plurality of tape information, a tape selection unit (120), and a tape determination unit (130). The tape selection unit records the tape information selected by the operator from the tape information registered in the tape registration unit. The tape determination unit determines whether the tape information recorded by the tape selection unit and the tape information read by the reading unit match. This makes it possible to provide a tape pasting machine 1 capable of preventing the tapes to be installed in the apparatus from being misplaced.

〔変形例〕
（１）情報記録媒体
図１０及び図１１は、変形例に係るテープユニットの外観構成を示す斜視図である。上記の実施形態では、テープ情報を記録する情報記録媒体２０１として、テープユニット４の芯４１にＲＦＩＤタグを設置する例を説明したが、この例には特に限定される必要はない。 [Modification example]
(1) Information Recording Medium FIGS. 10 and 11 are perspective views showing an external configuration of a tape unit according to a modified example. In the above embodiment, an example in which the RFID tag is installed on the core 41 of the tape unit 4 as the information recording medium 201 for recording the tape information has been described, but the example is not particularly limited.

例えば、図１０に示すように、テープ情報を記録する情報記録媒体２０２として、テープユニット４の芯４１に二次元コードを設置してもよい。あるいは、図１１に示すように、テープ情報を記録する情報記録媒体２０３として、テープユニット４の芯４１に二次元バーコードを設置してもよい。テープユニット４に設置する二次元バーコードは、テープユニット４の収容袋に印字された二次元バーコードをもとにオペレータが作成するか、あるいはテープメーカーが二次元バーコードを芯４１に貼った状態で出荷してもよい。 For example, as shown in FIG. 10, a two-dimensional code may be installed on the core 41 of the tape unit 4 as an information recording medium 202 for recording tape information. Alternatively, as shown in FIG. 11, a two-dimensional bar code may be installed on the core 41 of the tape unit 4 as the information recording medium 203 for recording the tape information. The two-dimensional bar code to be installed on the tape unit 4 is created by the operator based on the two-dimensional bar code printed on the storage bag of the tape unit 4, or the tape maker attaches the two-dimensional bar code to the core 41. It may be shipped in a state.

図１０及び図１１に示すように、情報記録媒体２０２（二次元コード）、あるいは情報記録媒体２０３（二次元バーコードは）、テープユニット４の芯４１の端部を形成するＹＺ平面に平行な面上に設定される。 As shown in FIGS. 10 and 11, the information recording medium 202 (two-dimensional code) or the information recording medium 203 (two-dimensional bar code) is parallel to the YZ plane forming the end of the core 41 of the tape unit 4. Set on the surface.

テープ情報を記録する情報記録媒体２０１として、図１０に示す二次元コード又は図１１に示す二次元バーコードを採用する場合、読込部９０を、二次元コード又は二次元バーコードに記録されたテープ情報を取り込み可能な撮像装置により実装する。読込部９０は、情報記録媒体２０２（二次元コード）あるいは情報記録媒体２０３（二次元バーコード）を撮像可能な位置に予め位置決めされた状態でテープ貼り機１に設置される。 When the two-dimensional code shown in FIG. 10 or the two-dimensional bar code shown in FIG. 11 is adopted as the information recording medium 201 for recording the tape information, the reading unit 90 is a tape recorded on the two-dimensional code or the two-dimensional bar code. It is mounted by an image pickup device that can capture information. The reading unit 90 is installed in the tape sticking machine 1 with the information recording medium 202 (two-dimensional code) or the information recording medium 203 (two-dimensional bar code) positioned in advance at a position where an image can be taken.

（２）テープ貼り機
上記の実施形態で説明したテープ貼り機１は、剥離紙を含むテープの貼着を実施可能なテープ貼り機１Ｘであってもよい。図１２は、変形例に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。図１２に示すテープ貼り機１Ｘは、以下に説明するように、テープ４２０Ｘから剥離紙を分離する機構を備える点が、上述したテープ貼り機１とは相違する。なお、以下の説明において、上記の実施形態に係るテープ貼り機１と実質的に同一の機能構成を有する複数の構成要素の各々を特に区別する必要がない場合、上記の実施形態に係るテープ貼り機１と同一符号を付して説明する場合がある。また、上記の実施形態に係るテープ貼り機１と実質的に同一の機能構成を有する複数の構成要素であっても、説明の便宜上、異なる符号を付して説明する場合もある。 (2) Tape Sticking Machine The tape sticking machine 1 described in the above embodiment may be a tape sticking machine 1X capable of sticking a tape containing a release paper. FIG. 12 is a side view showing a partial cross section of the tape pasting machine according to the modified example. The tape sticking machine 1X shown in FIG. 12 is different from the tape sticking machine 1 described above in that it includes a mechanism for separating the release paper from the tape 420X, as described below. In the following description, when it is not necessary to particularly distinguish each of the plurality of components having substantially the same functional configuration as the tape sticking machine 1 according to the above embodiment, the tape sticking according to the above embodiment The description may be given with the same reference numerals as those of the machine 1. Further, even a plurality of components having substantially the same functional configuration as the tape sticking machine 1 according to the above embodiment may be described with different reference numerals for convenience of explanation.

送り出しロール６から送り出されるテープ４２０Ｘは、固定ローラ４４，４６を通過することにより、剥離紙５０が分離される。テープ貼り機１Ｘは、テープ４２０Ｘから分離され、固定ローラ４８を通過する剥離紙５０を、剥離紙巻き取りロール５２で巻き取る。 The release paper 50 is separated from the tape 420X fed from the feeding roll 6 by passing through the fixing rollers 44 and 46. The tape sticking machine 1X winds the release paper 50 separated from the tape 420X and passing through the fixing roller 48 with the release paper take-up roll 52.

一方、テープ貼り機１Ｘは、固定ローラ５４，５６を通過して貼着領域３０に送り出され、貼着ローラ５８とテープ剥離可動ローラ６０，６２との間を通過し、さらに固定ローラ６４を通過するテープ４２０Ｘを、巻き取りロール１６で巻き取る。 On the other hand, the tape sticking machine 1X passes through the fixing rollers 54 and 56, is sent out to the sticking region 30, passes between the sticking roller 58 and the tape peeling movable rollers 60 and 62, and further passes through the fixed roller 64. The tape 420X to be wound up is wound up by the winding roll 16.

テープ貼り機１Ｘは、貼着ローラ５８と、テープ剥離可動ローラ６０，６２とが同じ側に配置されており、その関係で、貼着ローラ５８と、テープ剥離可動ローラ６０，６２の動作が、上記の実施形態に係るテープ貼り機１と相違する。 In the tape sticking machine 1X, the sticking roller 58 and the tape peeling movable rollers 60 and 62 are arranged on the same side, and the operation of the sticking roller 58 and the tape peeling movable rollers 60 and 62 is related to this. It is different from the tape pasting machine 1 according to the above embodiment.

すなわち、テープ貼り機１は、貼着ローラ５８を、固定ローラ５４，５６が配置される側に向かって、Ｘ軸方向に平行な方向に移動させることにより、ウエーハ１１及び環状フレーム２９に、テープ４２０Ｘを押圧貼着する。 That is, the tape sticking machine 1 moves the sticking roller 58 toward the side where the fixed rollers 54 and 56 are arranged in a direction parallel to the X-axis direction, so that the tape is attached to the wafer 11 and the annular frame 29. Press and attach 420X.

続いて、テープ貼り機１Ｘは、貼着ローラ５８を固定ローラ５４，５６の近傍に待機させた状態で、上方に待機しているカッターアセンブリ２０を下降させる。そして、テープ貼り機１Ｘは、テープカッター３８をテープ４２０Ｘ越しにウエーハ１１及び環状フレーム２９の上方に接触させる。 Subsequently, the tape sticking machine 1X lowers the cutter assembly 20 waiting upward with the sticking roller 58 standing by in the vicinity of the fixing rollers 54 and 56. Then, the tape sticking machine 1X brings the tape cutter 38 into contact with the wafer 11 and the annular frame 29 through the tape 420X.

この状態で、テープ貼り機１Ｘは、旋回アーム３４を旋回軸３６を中心として３６０°（度）旋回させることにより、テープカッター３８により、テープ４２０を円形に切断する。テープ貼り機１は、テープ４２０を切断後、カッターアセンブリ２０をもとの待機位置に退避させる。 In this state, the tape pasting machine 1X rotates the swivel arm 34 around the swivel shaft 36 by 360 ° (degrees), and the tape cutter 38 cuts the tape 420 into a circle. After cutting the tape 420, the tape sticking machine 1 retracts the cutter assembly 20 to the original standby position.

続いて、テープ貼り機１Ｘは、テープ剥離可動ローラ６０，６２を、固定ローラ５４，５６が配置される側に向かって、Ｘ軸方向に平行な方向に移動させることにより、使用済みのテープ４２０Ｘを環状フレーム２９から剥離する。 Subsequently, the tape pasting machine 1X moves the tape peeling movable rollers 60 and 62 toward the side where the fixed rollers 54 and 56 are arranged in a direction parallel to the X-axis direction, thereby causing the used tape 420X. Is peeled off from the annular frame 29.

続いて、テープ貼り機１Ｘは、貼着ローラ５８、及びテープ剥離可動ローラ６０，６２を、同時にもとの位置に移動させ、使用済みのテープ４２０Ｘを巻き取りロール１６で巻き取るとともに、未使用のテープ４２０Ｘを貼着領域３０に送り出す。以後の動作は、上記の実施形態で説明したテープ貼り機１と同様である。 Subsequently, the tape sticking machine 1X moves the sticking roller 58 and the tape peeling movable rollers 60 and 62 to their original positions at the same time, winds up the used tape 420X with the winding roll 16, and is unused. Tape 420X is sent out to the attachment area 30. Subsequent operations are the same as those of the tape pasting machine 1 described in the above embodiment.

上述したようなテープ貼り機１Ｘであっても、上記の実施形態におけるテープ貼り機１と同様に、装置に設置するテープの取り違いを防止できる。すなわち、テープ貼り機１Ｘにセットするテープユニット４に情報記録媒体２０１（又は２０２や２０３）を設置し、読込部９０及び制御ユニット１００の各部を備えることにより、使用するテープの取り違いを検出できる。 Even with the tape pasting machine 1X as described above, it is possible to prevent the tapes to be installed in the apparatus from being misplaced as in the tape pasting machine 1 in the above embodiment. That is, by installing the information recording medium 201 (or 202 or 203) in the tape unit 4 set in the tape sticking machine 1X and providing each part of the reading unit 90 and the control unit 100, it is possible to detect the difference in the tape to be used. ..

（３）その他
制御ユニット１００は、実施形態に係るテープ貼り機１とは物理的に独立した個別の情報処理装置により構成されてもよい。この場合、かかる情報処理装置は、テープ貼り機１の制御ユニット１００とデータ通信を行ってテープ情報を取得し、テープ情報が一致するか否かの判定を行って、判定結果を制御ユニット１００に送信する。制御ユニット１００は、情報処理装置から受信するテープ情報の判定結果に基づいて、タッチパネル３３の表示を実行し、テープに関する情報をオペレータに通知する。 (3) Others The control unit 100 may be configured by an individual information processing device physically independent of the tape sticking machine 1 according to the embodiment. In this case, the information processing device performs data communication with the control unit 100 of the tape sticking machine 1 to acquire the tape information, determines whether or not the tape information matches, and transmits the determination result to the control unit 100. Send. The control unit 100 executes the display of the touch panel 33 based on the determination result of the tape information received from the information processing device, and notifies the operator of the information about the tape.

上記の実施形態において説明したテープ貼り機１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、テープ貼り機１が備える制御ユニット１００の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散または統合して構成することができる。例えば、制御ユニット１００のテープ登録部１１０と、テープ選択部１２０とは、機能的又は物理的に統合された状態で制御ユニット１００に実装されてもよい。 Each component of the tape sticking machine 1 described in the above embodiment is a functional concept, and does not necessarily have to be physically configured as shown in the figure. That is, the specific form of the distribution / integration of the control unit 100 included in the tape sticking machine 1 is not limited to the one shown in the drawing, and all or part of the control unit 100 functions in an arbitrary unit according to various loads and usage conditions. It can be configured physically or physically distributed or integrated. For example, the tape registration unit 110 and the tape selection unit 120 of the control unit 100 may be mounted on the control unit 100 in a functionally or physically integrated state.

１，１Ｘテープ貼り機
２通信ネットワーク
３管理装置
４テープユニット
５装着軸
６送り出しロール
８固定ローラ
１０貼着ローラ
１１ウエーハ
１１−Ｆフレームユニット
１２，１４剥離ローラ
１６巻き取りロール
１８巻き取り軸
２０カッターアセンブリ
２２保持テーブル
２４フレーム載置領域
２６ウエーハ載置領域
２８作業領域
２９環状フレーム
３０貼着領域
３２取付ベース
３３タッチパネル
３４旋回アーム
３６旋回軸
３８テープカッター
４４，４６，４８固定ローラ
５０剥離紙
５２剥離紙巻き取りロール
５４，５６固定ローラ
５８貼着ローラ
６０，６２テープ剥離可動ローラ
９０読込部
１００制御ユニット
１１０テープ登録部
１２０テープ選択部
１３０テープ判定部
２０１，２０２，２０３情報記録媒体
４２０，４２０Ｘテープ 1,1X Tape pasting machine 2 Communication network 3 Management device 4 Tape unit 5 Mounting shaft 6 Sending roll 8 Fixed roller 10 Sticking roller 11 Waha 11-F Frame unit 12, 14 Release roller 16 Winding roll 18 Winding shaft 20 Cutter Assembly 22 Retaining table 24 Frame mounting area 26 Waha mounting area 28 Work area 29 Circular frame 30 Sticking area 32 Mounting base 33 Touch panel 34 Swing arm 36 Swing shaft 38 Tape cutter 44, 46, 48 Fixed roller 50 Release paper 52 Release Paper winding roll 54, 56 Fixed roller 58 Adhesive roller 60, 62 Tape release movable roller 90 Reading unit 100 Control unit 110 Tape registration unit 120 Tape selection unit 130 Tape judgment unit 201, 202, 203 Information recording medium 420, 420X tape

Claims

With a wick and tape wrapped around the wick,
The core is a tape unit including an information recording medium for recording tape information.

The information recording medium is
The tape unit according to claim 1, wherein the RF tag is an RFID capable of writing and reading information by a two-dimensional code or wireless communication.

A tape sticking machine for sticking the tape provided in the tape unit according to claim 1 or 2 to a wafer.
A holding portion for holding the tape unit and
A sticking part for sticking the tape sent out from the holding part to the wafer, and a sticking part.
A reading unit that reads the information recording medium,
With a control unit
The control unit
A tape registration unit that can register multiple tape information,
A tape selection unit that records tape information selected by the operator from the tape information registered in the tape registration unit, and a tape selection unit.
A tape determination unit that determines whether the tape information recorded by the tape selection unit and the tape information read by the reading unit match.
A tape pasting machine characterized by including.

The tape information includes at least the variety and expiration date.
The tape determination unit
It is determined whether the product type included in the tape information recorded by the tape selection unit and the product type included in the tape information read by the reading unit match.
If it is determined that the varieties do not match, a notification that the tape has been misplaced is notified.
If it is determined that the varieties match, the current time is compared with the expiration date included in the tape information read by the reading unit.
The tape sticking machine according to claim 3, wherein when the expiration date of the tape has passed, a notification that the expiration date has passed is given.