JP2020196212A - Laminate member and film for conductive patten formation - Google Patents

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JP2020196212A
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直秀 伊月
創 水口
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Abstract

To provide a laminate member which can suppress reduction in conductivity under high temperature and high humidity environment of a conductive fiber-containing transparent electrode layer, and can also improve conductivity of a conductive layer.SOLUTION: A laminate member has a transparent electrode layer and a conductive layer on a base material, in which the transparent electrode layer contains a binder resin and a conductive fiber, at least a part of the conductive fiber comes in contact with the conductive layer, and the conductive layer is formed of a cured product of a composition containing an organic salt (A), an organic acid (B), a carboxyl group-containing resin (C), a photopolymerization initiator (D), a compound having an unsaturated double bond (E) and conductive particles (F).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、積層部材及び導電パターン形成用フィルムに関する。 The present invention relates to a laminated member and a film for forming a conductive pattern.

近年、静電容量方式のタッチパネルの検討が盛んに進められている。静電容量タッチパネルは、表示領域の周辺に、透明電極と接続する周囲配線を有する。周囲配線の形成方法としては、導電ペーストを用いた、スクリーン印刷などの印刷法やフォトレジストを用いたフォトリソグラフィー法、微細加工可能な感光性導電ペーストを用いたフォトリソグラフィー法などが知られている。耐熱性の低い基板に周囲配線などの導電パターンを形成するためには、高温加熱により有機物を除去する焼成工程を経ることなく、絶縁性を有する有機物中において導電性粒子同士を接触させて導電パスを形成する必要がある。かかる技術に用いられる導電ペーストとして、例えば、アミノ基を有する化合物、カルボキシル基と不飽和二重結合を有する化合物、導電フィラー、光重合開始剤を含有する導電ペースト(例えば、特許文献1参照)や、4級アンモニウム塩化合物、カルボキシル基含有樹脂、光重合開始剤、不飽和二重結合を有する反応性モノマー、導電性粒子を含有する導電ペースト(例えば、特許文献2参照)などが提案されている。 In recent years, studies on capacitive touch panels have been actively promoted. The capacitive touch panel has peripheral wiring that connects to a transparent electrode around the display area. Known methods for forming peripheral wiring include a printing method such as screen printing using a conductive paste, a photolithography method using a photoresist, and a photolithography method using a photosensitive conductive paste that can be microfabricated. .. In order to form a conductive pattern such as peripheral wiring on a substrate with low heat resistance, conductive particles are brought into contact with each other in an insulating organic substance without going through a firing step of removing the organic substance by high-temperature heating to make a conductive path. Need to be formed. Examples of the conductive paste used in such a technique include a compound having an amino group, a compound having an unsaturated double bond with a carboxyl group, a conductive filler, and a conductive paste containing a photopolymerization initiator (see, for example, Patent Document 1). 4, Quadruple ammonium salt compounds, carboxyl group-containing resins, photopolymerization initiators, reactive monomers having unsaturated double bonds, conductive pastes containing conductive particles (see, for example, Patent Document 2) and the like have been proposed. ..

一方、透明電極はITO(Indium−Tin−Oxide)が主流であった。しかしながら、近年のフレキシブル化の要求に対して、ITOは耐屈曲性が低いことが課題であった。そこで、金属繊維を用いた透明電極が検討されており、例えば、基材と、前記基材上に形成された、樹脂層Aと、前記樹脂層A上に形成された、繊維状銀を含有する透明電極層Bと、前記樹脂層A及び前記透明電極層B上に形成された、導電層Cと、を備える積層部材(例えば、特許文献3参照)などが提案されている。 On the other hand, ITO (Indium-Tin-Oxide) was the mainstream for transparent electrodes. However, in response to the recent demand for flexibility, ITO has a problem of low bending resistance. Therefore, a transparent electrode using a metal fiber has been studied, and contains, for example, a base material, a resin layer A formed on the base material, and fibrous silver formed on the resin layer A. A laminated member (see, for example, Patent Document 3) including a transparent electrode layer B to be formed, a conductive layer C formed on the resin layer A and the transparent electrode layer B, and the like has been proposed.

国際公開第2014/156677号International Publication No. 2014/156677 国際公開第2019/073926号International Publication No. 2019/0793926 国際公開第2016/170943号International Publication No. 2016/170943

特許文献1または2に記載の導電ペーストは、カルボキシル基によりフォトリソグラフィー法による微細加工が可能であるものの、特許文献3に記載の繊維状金属を用いた透明電極と組み合わせると、高温高湿環境下において、透明電極層の導電性を低下させる課題があることが、本発明者らの検討により明らかになった。また、特許文献3に記載の積層部材もまた、高温高湿環境下において透明電極層の導電性が低下する課題があった。 Although the conductive paste described in Patent Document 1 or 2 can be microfabricated by a photolithography method due to a carboxyl group, when combined with a transparent electrode using a fibrous metal described in Patent Document 3, it is subjected to a high temperature and high humidity environment. In the present invention, it has been clarified by the studies by the present inventors that there is a problem of lowering the conductivity of the transparent electrode layer. Further, the laminated member described in Patent Document 3 also has a problem that the conductivity of the transparent electrode layer is lowered in a high temperature and high humidity environment.

そこで、本発明は、導電性繊維含有透明電極層の高温高湿環境下における導電性低下を抑制することができ、また導電層の導電性も向上させることができる積層部材を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a laminated member capable of suppressing a decrease in conductivity of a conductive fiber-containing transparent electrode layer in a high-temperature and high-humidity environment and also improving the conductivity of the conductive layer. And.

本発明は、前記課題を解決するため、主として以下の構成を有する。
基材上に、透明電極層及び導電層を有する積層部材であって、前記透明電極層が、バインダー樹脂および導電性繊維を含有し、該導電性繊維の少なくとも一部が導電層と接しており、前記導電層が、有機酸塩(A)、有機酸(B)、カルボキシル基含有樹脂(C)、光重合開始剤(D)、不飽和二重結合を有する化合物(E)および導電性粒子(F)を含有する組成物の硬化物からなる積層部材。
The present invention mainly has the following configurations in order to solve the above problems.
A laminated member having a transparent electrode layer and a conductive layer on a base material, the transparent electrode layer containing a binder resin and a conductive fiber, and at least a part of the conductive fiber is in contact with the conductive layer. , The conductive layer is an organic acid salt (A), an organic acid (B), a carboxyl group-containing resin (C), a photopolymerization initiator (D), a compound (E) having an unsaturated double bond, and conductive particles. A laminated member made of a cured product of a composition containing (F).

本発明の積層部材は、高温高湿環境下における透明電極層の導電性低下を抑制することができ、また導電層の導電性も向上させることができる。 The laminated member of the present invention can suppress a decrease in conductivity of the transparent electrode layer in a high temperature and high humidity environment, and can also improve the conductivity of the conductive layer.

実施例において用いた比抵抗測定用サンプルの模式図である。It is a schematic diagram of the sample for resistivity measurement used in an Example. 実施例において用いた抵抗値測定用サンプルの上面模式図である。It is a top view of the sample for resistance value measurement used in an Example. 実施例において用いた抵抗値測定用サンプルの断面模式図である。It is sectional drawing of the sample for measuring the resistance value used in an Example.

本発明の積層部材は、基材上に、透明電極層及び導電層を有する積層部材であって、
前記透明電極層が、バインダー樹脂および導電性繊維を含有し、該導電性繊維の少なくとも一部が導電層と接しており、前記導電層が、有機酸塩(A)、有機酸(B)、カルボキシル基含有樹脂(C)、光重合開始剤(D)、不飽和二重結合を有する化合物(E)および導電性粒子(F)を含有する組成物の硬化物からなる。導電層は、有機成分と無機成分との複合物となっており、導電性粒子(F)同士が、熱キュア時の原子拡散現象によって互いに接触することにより焼結し導電性が発現するものであり、アルカリ現像時に有機酸(B)から解離する水素イオンはその焼結を促進する。一方、本発明者らは、かかる導電層との接触部位において、高温高湿環境下において透明電極層中の導電性繊維が有機酸(B)およびカルボキシル基含有樹脂(C)から解離する水素イオンによって腐食し、透明電極層の抵抗値を増大させる、すなわち、導電性を低下させることを見出した。そこで、導電層に有機酸塩(A)を含有することにより、解離した水素イオンが導電層中に均一に分布し、選択的に導電性粒子(F)同士の焼結に寄与することにより導電層の導電性を向上させる一方、透明電極層の導電性繊維の腐食を抑制することにより透明電極層の導電性低下を抑制できることを見出した。
The laminated member of the present invention is a laminated member having a transparent electrode layer and a conductive layer on a base material.
The transparent electrode layer contains a binder resin and conductive fibers, and at least a part of the conductive fibers is in contact with the conductive layer, and the conductive layer is formed of an organic acid salt (A), an organic acid (B), and the like. It comprises a cured product of a composition containing a carboxyl group-containing resin (C), a photopolymerization initiator (D), a compound (E) having an unsaturated double bond, and conductive particles (F). The conductive layer is a composite of an organic component and an inorganic component, and the conductive particles (F) are sintered by contacting each other due to an atomic diffusion phenomenon during thermal curing to exhibit conductivity. Yes, hydrogen ions that dissociate from the organic acid (B) during alkaline development promote its sintering. On the other hand, the present inventors dissociate the conductive fibers in the transparent electrode layer from the organic acid (B) and the carboxyl group-containing resin (C) at the contact site with the conductive layer in a high temperature and high humidity environment. It has been found that the transparent electrode layer is corroded by the above and increases the resistance value of the transparent electrode layer, that is, decreases the conductivity. Therefore, by containing the organic acid salt (A) in the conductive layer, the dissociated hydrogen ions are uniformly distributed in the conductive layer and selectively contribute to the sintering of the conductive particles (F) to be conductive. It has been found that while improving the conductivity of the layer, it is possible to suppress a decrease in the conductivity of the transparent electrode layer by suppressing the corrosion of the conductive fibers of the transparent electrode layer.

基材は、形成される透明電極層及び導電層を支持する作用を有する。基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムなどのポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルム、エポキシ樹脂基板、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ガラス基板、シリコンウエハー、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板、加飾層形成基板、絶縁層形成基板などが挙げられる。 The base material has an action of supporting the transparent electrode layer and the conductive layer to be formed. Examples of the base material include polyester films such as polyethylene terephthalate (PET) film, polyimide films, aramid films, cycloolefin polymer (COP) films, epoxy resin substrates, polyetherimide resin substrates, polyetherketone resin substrates, and polysulfon-based substrates. Examples thereof include a resin substrate, a glass substrate, a silicon wafer, an alumina substrate, an aluminum nitride substrate, a silicon carbide substrate, a decorative layer forming substrate, and an insulating layer forming substrate.

基材の厚みは、5〜150μmが好ましい。基材の厚みが5μm以上であれば、透明電極層および導電層を形成する際に基材を安定に搬送することができ、透明電極層および導電層の厚みムラを抑制することができる。基材の厚みは、10μm以上がより好ましい。一方、基材の厚みが150μm以下であれば、感光性組成物の硬化物からなる導電層を形成する場合において、基材の裏側(非パターン面)に回り込んだ露光光の回折の影響を小さくすることができ、微細加工性を向上させることができる。フィルム基材の場合、厚みは100μm以下がより好ましい。 The thickness of the base material is preferably 5 to 150 μm. When the thickness of the base material is 5 μm or more, the base material can be stably conveyed when the transparent electrode layer and the conductive layer are formed, and uneven thickness of the transparent electrode layer and the conductive layer can be suppressed. The thickness of the base material is more preferably 10 μm or more. On the other hand, when the thickness of the base material is 150 μm or less, when the conductive layer made of the cured product of the photosensitive composition is formed, the influence of the diffraction of the exposure light wrapping around the back side (non-patterned surface) of the base material is exerted. It can be made smaller and the fine workability can be improved. In the case of a film base material, the thickness is more preferably 100 μm or less.

透明電極層は、バインダー樹脂および導電性繊維を含有し、該導電性繊維の少なくとも一部が導電層と接する。透明電極層において、導電性繊維は全てがバインダー樹脂で覆われる必要はなく、繊維状の形状を有するために、その一部がバインダー樹脂から突出した構造を有する。透明電極層は、少なくとも一部に、バインダー樹脂層と導電性繊維層の積層部位を有し、前記導電層が、バインダー樹脂層と導電性繊維層とに接することが好ましい。ただし、バインダー樹脂層に導電性繊維を有してもよく、バインダー樹脂と導電性繊維を有する層は、バインダー樹脂層に分類するものとする。 The transparent electrode layer contains a binder resin and conductive fibers, and at least a part of the conductive fibers is in contact with the conductive layer. In the transparent electrode layer, all the conductive fibers do not have to be covered with the binder resin, and since they have a fibrous shape, a part of them has a structure protruding from the binder resin. It is preferable that the transparent electrode layer has at least a part where the binder resin layer and the conductive fiber layer are laminated, and the conductive layer is in contact with the binder resin layer and the conductive fiber layer. However, the binder resin layer may have conductive fibers, and the layer having the binder resin and the conductive fibers shall be classified into the binder resin layer.

バインダー樹脂は、金属繊維を保持するバインダーとしての作用を有する。バインダー樹脂としては、カルボキシル基含有樹脂が好ましく、アルカリ現像性を高め、透明電極層のパターン形成のためのフォトレジストとして作用することができる。さらに、バインダー樹脂が、光重合開始剤および不飽和二重結合を有する化合物を含有することにより、フォトグラフィー法における露光を用いた光重合により、露光部がアルカリ水溶液に不溶化し、透明電極層を微細加工することが可能になる。 The binder resin acts as a binder for holding metal fibers. As the binder resin, a carboxyl group-containing resin is preferable, which enhances alkali developability and can act as a photoresist for pattern formation of a transparent electrode layer. Further, since the binder resin contains a photopolymerization initiator and a compound having an unsaturated double bond, the exposed portion is insolubilized in an alkaline aqueous solution by photopolymerization using exposure in a photography method, and a transparent electrode layer is formed. It becomes possible to perform fine processing.

カルボキシル基含有樹脂としては、例えば、アクリル系共重合体、カルボン酸変性エポキシ樹脂、カルボン酸変性フェノール樹脂、ポリアミック酸、カルボン酸変性シロキサンポリマーなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、紫外光透過率の高いアクリル系共重合体またはカルボン酸変性エポキシ樹脂が好ましい。 Examples of the carboxyl group-containing resin include acrylic copolymers, carboxylic acid-modified epoxy resins, carboxylic acid-modified phenolic resins, polyamic acids, and carboxylic acid-modified siloxane polymers. Two or more of these may be contained. Among these, an acrylic copolymer having a high ultraviolet light transmittance or a carboxylic acid-modified epoxy resin is preferable.

アクリル系共重合体としては、アクリル系モノマーと不飽和酸またはその酸無水物との共重合体が好ましい。 As the acrylic copolymer, a copolymer of an acrylic monomer and an unsaturated acid or an acid anhydride thereof is preferable.

アクリル系モノマーとしては、例えば、エチルアクリレート、n−ブチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレートなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 Examples of the acrylic monomer include ethyl acrylate, n-butyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, and isobornyl acrylate. Two or more of these may be used.

不飽和酸またはその酸無水物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、酢酸ビニルや、これらの酸無水物などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。不飽和酸の共重合比により、アクリル系共重合体の酸価を調整することができる。 Examples of unsaturated acids or acid anhydrides thereof include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetate, and acid anhydrides thereof. Two or more of these may be used. The acid value of the acrylic copolymer can be adjusted by the copolymerization ratio of the unsaturated acid.

カルボン酸変性エポキシ樹脂としては、エポキシ化合物と、不飽和酸または不飽和酸無水物との反応物が好ましい。ここで、カルボン酸変性エポキシ樹脂とは、エポキシ化合物のエポキシ基をカルボン酸またはカルボン酸無水物で変性したものであり、エポキシ基は含まれていない。 As the carboxylic acid-modified epoxy resin, a reaction product of an epoxy compound and an unsaturated acid or an unsaturated acid anhydride is preferable. Here, the carboxylic acid-modified epoxy resin is one in which the epoxy group of the epoxy compound is modified with a carboxylic acid or a carboxylic acid anhydride, and does not contain an epoxy group.

エポキシ化合物としては、例えば、グリシジルエーテル類、グリシジルアミン類、エポキシ樹脂などが挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 Examples of the epoxy compound include glycidyl ethers, glycidyl amines, and epoxy resins. Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, novolac type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin and the like. Two or more of these may be used.

光重合開始剤としては、ベンゾフェノン誘導体、アセトフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、ベンジル誘導体、ベンゾイン誘導体、オキシム系化合物、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノアルキルフェノン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、アントロン化合物、アントラキノン化合物等が挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 Examples of the photopolymerization initiator include benzophenone derivatives, acetophenone derivatives, thioxanthone derivatives, benzyl derivatives, benzoin derivatives, oxime compounds, α-hydroxyketone compounds, α-aminoalkylphenone compounds, phosphine oxide compounds, and antron compounds. Anthraquinone compounds and the like can be mentioned. Two or more of these may be used.

不飽和二重結合を含有する化合物としては、例えば、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、エトキシ化(4)ビスフェノールAジアクリレート、エトキシ化(10)ビスフェノールAジアクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物などの2官能モノマー;ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、グリセリンプロポキシトリアクリレートなどの3官能モノマー;ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートなどの4官能モノマー;ダイセル・サイテック社製EBECRYL204、EBECRYL210、EBECRYL220、EBECRYL264、EBECRYL265、EBECRYL284やサートマー社製CN972、CN975、CN978などのウレタン結合含有モノマーなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。 Examples of the compound containing an unsaturated double bond include ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, ethoxylated (4) bisphenol A diacrylate, ethoxylated (10) bisphenol A diacrylate, and ethylene. Bifunctional monomers such as acrylic acid adducts of glycol diglycidyl ethers and acrylic acid adducts of neopentyl glycol diglycidyl ethers; trifunctional monomers such as pentaerythritol triacrylates, trimethylolpropantriacrylates and glycerin propoxytriacrylates; dipenta Tetrafunctional monomers such as erythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, and ditrimethylolpropane tetraacrylate; EBECRYL204, EBECRYL210, EBECRYL220, EBECRYL264, EBECRYL265, EBECRYL245, EBECRYL245, EBECRYL284, EBECRYL284, Sartmer CN972, CN972 Examples include monomers. Two or more of these may be contained.

導電性繊維は、透明電極層に導電性を付与する作用を有する。導電性繊維としては、例えば、インジウム、スズ、亜鉛、ガリウム、アンチモン、チタン、ジルコニウム、マグネシウム、アルミニウム、金、銀、銅、パラジウム、タングステン、これら金属の酸化物や複合酸化物からなる繊維などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。金属酸化物や金属複合酸化物としては、例えば、ITO、インジウム亜鉛酸化物、酸化インジウム−酸化亜鉛複合酸化物、アルミニウム亜鉛酸化物、ガリウム亜鉛酸化物、フッ素亜鉛酸化物、フッ素インジウム酸化物、アンチモンスズ酸化物、フッ素スズ酸化物などが挙げられる。これらの中でも、導電性の観点から、銀、金および銅から選ばれる金属の繊維が好ましく、コストおよび安定性の観点から銀繊維がより好ましい。 The conductive fiber has an action of imparting conductivity to the transparent electrode layer. Examples of conductive fibers include indium, tin, zinc, gallium, antimony, titanium, zirconium, magnesium, aluminum, gold, silver, copper, palladium, tungsten, and fibers made of oxides or composite oxides of these metals. Can be mentioned. Two or more of these may be contained. Examples of the metal oxide and the metal composite oxide include ITO, indium zinc oxide, indium oxide-zinc oxide composite oxide, aluminum zinc oxide, gallium zinc oxide, fluorine zinc oxide, fluorine indium oxide, and antimony. Examples include tin oxide and fluorine tin oxide. Among these, metal fibers selected from silver, gold and copper are preferable from the viewpoint of conductivity, and silver fibers are more preferable from the viewpoint of cost and stability.

導電性繊維は、その形状により導電性繊維同士の接触確率が高いため、導電性に優れる。また、透明電極層を視認されにくくする効果を奏する。 The conductive fibers are excellent in conductivity because the contact probability between the conductive fibers is high due to their shape. In addition, it has the effect of making the transparent electrode layer less visible.

導電性繊維の繊維径は、3〜30nmが好ましい。また、導電性繊維の繊維長は、1〜500μmが好ましい。なお、導電性繊維の繊維径および繊維長は、走査型電子顕微鏡(SEM)または透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて、倍率5000倍で導電性繊維を観察し、無作為に選択した100本の導電性繊維について、それぞれの線径および線長を測定し、それぞれの数平均値から算出することができる。 The fiber diameter of the conductive fiber is preferably 3 to 30 nm. The fiber length of the conductive fiber is preferably 1 to 500 μm. As for the fiber diameter and fiber length of the conductive fibers, 100 fibers were randomly selected by observing the conductive fibers at a magnification of 5000 times using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM). The wire diameter and wire length of each of the conductive fibers can be measured and calculated from the average value of each number.

透明電極層の厚みは、導電性を向上させる観点から、0.01μm以上が好ましい。一方、透明電極層の厚みは、可視光透過性を向上させる観点から、4.0μm以下が好ましい。ここで、透明電極層の厚みとは、透明電極層がバインダー樹脂層および導電性繊維層の積層構造を有する場合には、その合計厚みを指す。 The thickness of the transparent electrode layer is preferably 0.01 μm or more from the viewpoint of improving conductivity. On the other hand, the thickness of the transparent electrode layer is preferably 4.0 μm or less from the viewpoint of improving visible light transmission. Here, the thickness of the transparent electrode layer refers to the total thickness of the transparent electrode layer when it has a laminated structure of a binder resin layer and a conductive fiber layer.

透明電極層の可視光透過性の観点から、波長域450〜650nmにおける光透過率は80%以上が好ましい。光透過率は、JISK7105で規定する方法により測定した値(全光線)とする。 From the viewpoint of visible light transmittance of the transparent electrode layer, the light transmittance in the wavelength range of 450 to 650 nm is preferably 80% or more. The light transmittance is a value (total light rays) measured by the method specified by JIS K7105.

透明電極層のシート抵抗は、導電性向上の観点から、500Ω/□以下であることが好ましく、200Ω/□以下であることがより好ましく、100Ω/□以下であることがさらに好ましい。なお、シート抵抗は接触式または非接触式の抵抗測定器により測定することができる。 From the viewpoint of improving conductivity, the sheet resistance of the transparent electrode layer is preferably 500 Ω / □ or less, more preferably 200 Ω / □ or less, and further preferably 100 Ω / □ or less. The sheet resistance can be measured by a contact type or non-contact type resistance measuring device.

導電層は、有機酸塩(A)、有機酸(B)、カルボキシル基含有樹脂(C)、光重合開始剤(D)、不飽和二重結合を有する化合物(E)および導電性粒子(F)を含有する組成物の硬化物からなる。当該導電層はフォトリソグラフィー法により微細加工することができる。前述の通り、導電層は、有機成分と無機成分との複合物となっており、導電性粒子(F)同士が、熱キュア時の原子拡散現象によって互いに接触することにより焼結し導電性が発現するものであり、アルカリ現像時に有機酸(B)から解離する水素イオンはその焼結を促進する。一方、本発明者らは、かかる導電層との接触部位において、高温高湿環境下において透明電極層中の導電性繊維が有機酸(B)およびカルボキシル基含有樹脂(C)から解離する水素イオンによって腐食し、透明電極層の抵抗値を増大させる、すなわち、導電性を低下させることを見出した。そこで、導電層に有機酸塩(A)を含有することにより、解離した水素イオンが導電層中に均一に分布し、選択的に導電性粒子(F)同士の焼結に寄与することにより導電層の導電性を向上させる一方、透明電極層の導電性繊維の腐食を抑制することにより透明電極層の導電性低下を抑制できることを見出した。さらに前記組成物が光重合開始剤(D)および不飽和二重結合を有する化合物(E)を含有することにより、フォトリソグラフィー法における露光による光重合により、感光性導電ペーストがアルカリに不溶化し、微細加工することができる。カルボキシル基含有樹脂(C)は、アルカリ現像性を高め、フォトリソグラフィー法による微細加工を可能にする。 The conductive layer includes an organic acid salt (A), an organic acid (B), a carboxyl group-containing resin (C), a photopolymerization initiator (D), a compound (E) having an unsaturated double bond, and conductive particles (F). ) Containing a cured product of the composition. The conductive layer can be microfabricated by a photolithography method. As described above, the conductive layer is a composite of an organic component and an inorganic component, and the conductive particles (F) are sintered by contacting each other due to the atomic diffusion phenomenon during thermal curing to obtain conductivity. Hydrogen ions that are expressed and dissociate from the organic acid (B) during alkaline development promote their sintering. On the other hand, the present inventors dissociate the conductive fibers in the transparent electrode layer from the organic acid (B) and the carboxyl group-containing resin (C) at the contact site with the conductive layer in a high temperature and high humidity environment. It has been found that the transparent electrode layer is corroded by the above and increases the resistance value of the transparent electrode layer, that is, decreases the conductivity. Therefore, by containing the organic acid salt (A) in the conductive layer, the dissociated hydrogen ions are uniformly distributed in the conductive layer and selectively contribute to the sintering of the conductive particles (F) to be conductive. It has been found that while improving the conductivity of the layer, it is possible to suppress a decrease in the conductivity of the transparent electrode layer by suppressing the corrosion of the conductive fibers of the transparent electrode layer. Further, when the composition contains a photopolymerization initiator (D) and a compound (E) having an unsaturated double bond, the photosensitive conductive paste is insolubilized in alkali by photopolymerization by exposure in a photolithography method. Can be finely processed. The carboxyl group-containing resin (C) enhances alkali developability and enables microfabrication by a photolithography method.

有機酸塩(A)は、有機酸と、アルカリ金属および/またはアルカリ土類金属との塩を含有することが好ましい。有機酸と、アルカリ金属との塩としては、例えば、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、酢酸セシウム、酢酸リチウム、ステアリン酸ナトリウム、ステアリン酸カリウム、ステアリン酸セシウム、ステアリン酸リチウム、ステアロイル乳酸ナトリウム、イソステアロイル乳酸ナトリウム、安息香酸ナトリウム、安息香酸カリウム、安息香酸セシウム、安息香酸リチウムなどが挙げられる。有機酸と、アルカリ土類金属との塩としては、例えば、酢酸マグネシウム、酢酸カルシウム、酢酸ストロンチウム、酢酸バリウム、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸カルシウム、ステアロイル乳酸カルシウム、安息香酸カルシウムなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 The organic acid salt (A) preferably contains a salt of an organic acid and an alkali metal and / or alkaline earth metal. Examples of salts of organic acids and alkali metals include sodium acetate, potassium acetate, cesium acetate, lithium acetate, sodium stearate, potassium stearate, cesium stearate, lithium stearate, sodium stearoyl lactate, and sodium isostearoyl lactate. , Sodium benzoate, potassium benzoate, cesium benzoate, lithium benzoate and the like. Examples of the salt of the organic acid and the alkaline earth metal include magnesium acetate, calcium acetate, strontium acetate, barium acetate, magnesium stearate, calcium stearate, calcium stearoyl lactate, calcium benzoate and the like. Two or more of these may be used.

導電層を形成する組成物中における有機酸塩(A)の含有量は、有機酸(B)100重量部に対して0.1〜50重量部が好ましい。有機酸塩(A)の含有量が0.1重量部以上であると、有機酸(B)からの水素イオンの解離を促進しやすく、導電層の導電性をより向上させ、また透明電極層の導電性低下をより抑制することができる。有機酸塩(A)の含有量は、0.5重量部以上がより好ましく、2重量部以上がさらに好ましい。一方、有機酸塩(A)の含有量が50重量部以下であると、導電層の現像液への過度な溶解を抑え、パターン形成部の膜減りを抑制し、微細加工性を向上させることができる。有機酸塩(A)の含有量は、30重量部以下がより好ましい。 The content of the organic acid salt (A) in the composition forming the conductive layer is preferably 0.1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the organic acid (B). When the content of the organic acid salt (A) is 0.1 parts by weight or more, it is easy to promote the dissociation of hydrogen ions from the organic acid (B), further improve the conductivity of the conductive layer, and the transparent electrode layer. It is possible to further suppress the decrease in conductivity of. The content of the organic acid salt (A) is more preferably 0.5 parts by weight or more, and further preferably 2 parts by weight or more. On the other hand, when the content of the organic acid salt (A) is 50 parts by weight or less, excessive dissolution of the conductive layer in the developing solution is suppressed, film loss of the pattern forming portion is suppressed, and microfabrication is improved. Can be done. The content of the organic acid salt (A) is more preferably 30 parts by weight or less.

有機酸(B)としては、例えば、有機カルボン酸が挙げられる。有機酸は、カルボキシル基を2つ以上有する有機ジカルボン酸を含有することが好ましく、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ドデカン二酸、メチルマロン酸、ジメチルマロン酸、エチルマロン酸、プロピルマロン酸、イソプロピルマロン酸、ジプロピルマロン酸、ブチルマロン酸、イソブチルマロン酸、メチルコハク酸、2,2−ジメチルコハク酸、2,3−ジメチルコハク酸、2−メチルグルタル酸、3−メチルグルタル酸、2,2−ジメチルグルタル酸、3,3−ジメチルグルタル酸、2,4−ジメチルグルタル酸、3−エチル−3−メチルグルタル酸、2,4−ジエチルグルタル酸、2−オキソグルタル酸、3−メチルアジピン酸、2,2,6,6−テトラメチルピメリン酸、1,1−シクロプロパンジカルボン酸、1,2−シクロプロパンジカルボン酸、1,1−シクロブタンジカルボン酸、1,2−シクロブタンジカルボン酸、1,2−シクロペンタンジカルボン酸、1,3−シクロペンタンジカルボン酸、1,1−シクロヘキサンジカルボン酸、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸、1,3−シクロヘキサンジカルボン酸、1,4−シクロヘキサンジカルボン酸、4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸、クエン酸、リンゴ酸、酒石酸、フタル酸、トリカルバリル酸、トリメリット酸、アコニット酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、メサコン酸、グルタミン酸、エチレンジアミン四酢酸、2,3−ピラジンジカルボン酸、2,3−ピリジンジカルボン酸、2,4−ピリジンジカルボン酸、2,5−ピリジンジカルボン酸、2,6−ピリジンジカルボン酸、3,4−ピリジンジカルボン酸、及び3,5−ピリジンジカルボン酸、2−メチルマロン酸、2−エチルマロン酸、2−プロピルマロン酸、2−ブチルマロン酸、2−(3−メトキシプロピル)マロン酸、2−(3−プロポキシプロピル)マロン酸、2−(3−プロポキシブチル)マロン酸、(E)−2−(ヘキサ‐4−エチル)マロン酸、2−メチルサクシン酸、2−エチルサクシン酸、2−プロピルサクシン酸、2−ブチルサクシン酸、2−(3−メトキシプロピル)サクシン酸、2−(3−プロポキシプロピル)サクシン酸、2−(3−プロポキシブチル)サクシン酸、(E)−2−(ヘキサ‐4−エチル)サクシン酸、2−メチルジオイック酸、2−エチルジオイック酸、2−プロピルジオイック酸、2−ブチルジオイック酸、2−(3−メトキシプロピル)ジオイック酸、2−(3−プロポキシプロピル)ジオイック酸、2−(3−プロポキシブチル)ジオイック酸、(E)−2−(ヘキサ−4−エチル) ジオイック酸、2−ヘキシルペンタンジオイック酸、3−ヘキシルペンタンジオイック酸、2−メチルマレイン酸、2−エチルマレイン酸、2−プロピルマレイン酸、2−ブチルマレイン酸、2−(3−メトキシプロピル)マレイン酸、2−(3−プロポキシプロピル)マレイン酸、2−(3−プロポキシブチル)マレイン酸、(E)−2−(ヘキサ−4−エチル)マレイン酸、2−ヘキシルマロン酸、2−(3−エトキシプロピル)サクシン酸、2−(3−エトキシブチル)サクシン酸、(E)−2(ヘキサ−1−エニル)サクシン酸、3−ヘキシルペンタンジオイック酸、(E)−2−(ヘキサ−4−エチル)サクシン酸などが挙げられる。これらの中でも(E)−2−(ヘキサ−4−エチル) サクシン酸、2−プロピルサクシン酸、3−ヘキシルペンタンジオイック酸、2−ヘキシルマロン酸、2−(3−エトキシプロピル)サクシン酸、2−(3−エトキシブチル)サクシン酸、(E)−2(ヘキサ−1−エニル)サクシン酸が特に好ましい。これらを2種以上用いてもよい。 Examples of the organic acid (B) include organic carboxylic acids. The organic acid preferably contains an organic dicarboxylic acid having two or more carboxyl groups, and is oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimeric acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, and phthalic acid. , Isophthalic acid, terephthalic acid, dodecanedioic acid, methylmalonic acid, dimethylmalonic acid, ethylmalonic acid, propylmalonic acid, isopropylmalonic acid, dipropylmalonic acid, butylmalonic acid, isobutylmalonic acid, methylsuccinic acid, 2,2 -Didimethylsuccinic acid, 2,3-dimethylsuccinic acid, 2-methylglutaric acid, 3-methylglutaric acid, 2,2-dimethylglutaric acid, 3,3-dimethylglutaric acid, 2,4-dimethylglutaric acid, 3 -Ethyl-3-methylglutaric acid, 2,4-diethylglutaric acid, 2-oxoglutaric acid, 3-methyladiponic acid, 2,2,6,6-tetramethylpimelic acid, 1,1-cyclopropanedicarboxylic acid , 1,2-Cyclopropanedicarboxylic acid, 1,1-cyclobutanedicarboxylic acid, 1,2-cyclobutanedicarboxylic acid, 1,2-cyclopentanedicarboxylic acid, 1,3-cyclopentanedicarboxylic acid, 1,1-cyclohexanedicarboxylic acid Acid, 1,2-cyclohexanedicarboxylic acid, 1,3-cyclohexanedicarboxylic acid, 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid, 4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic acid , Citric acid, malic acid, tartaric acid, phthalic acid, tricarbaryl acid, trimellitic acid, aconitic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, mesaconic acid, glutamate, ethylenediamine tetraacetic acid, 2,3-pyrazindicarboxylic acid, 2 , 3-pyridinedicarboxylic acid, 2,4-pyridinedicarboxylic acid, 2,5-pyridinedicarboxylic acid, 2,6-pyridinedicarboxylic acid, 3,4-pyridinedicarboxylic acid, and 3,5-pyridinedicarboxylic acid, 2- Methylmalonic acid, 2-ethylmalonic acid, 2-propylmalonic acid, 2-butylmalonic acid, 2- (3-methoxypropyl) malonic acid, 2- (3-propoxypropyl) malonic acid, 2- (3-propoxy) Butyl) malonic acid, (E) -2- (hexa-4-ethyl) malonic acid, 2-methylsuccinic acid, 2-ethylsuccinic acid, 2-propylsuccinic acid, 2-butylsuccinic acid, 2- (3-) Methoxypropyl) succinic acid, 2- (3-propoxypropyl) succinic acid, 2- (3-propoxybutyl) Cucinic acid, (E) -2- (hex-4-ethyl) succinic acid, 2-methyldioic acid, 2-ethyldioic acid, 2-propyldioic acid, 2-butyldioic acid, 2-( 3-Methoxypropyl) dioic acid, 2- (3-propoxypropyl) dioic acid, 2- (3-propoxybutyl) dioic acid, (E) -2- (hex-4-ethyl) dioic acid, 2-hexylpentane Geoic acid, 3-hexylpentane dioic acid, 2-methylmaleic acid, 2-ethylmaleic acid, 2-propylmaleic acid, 2-butylmaleic acid, 2- (3-methoxypropyl) maleic acid, 2-( 3-Propoxypropyl) maleic acid, 2- (3-propoxybutyl) maleic acid, (E) -2- (hexa-4-ethyl) maleic acid, 2-hexylmalonic acid, 2- (3-ethoxypropyl) succin Acid, 2- (3-ethoxybutyl) succinic acid, (E) -2 (hexa-1-enyl) succinic acid, 3-hexylpentanedioic acid, (E) -2- (hex-4-ethyl) succin Examples include acid. Among these, (E) -2- (hex-4-ethyl) succinic acid, 2-propyl succinic acid, 3-hexylpentanedioic acid, 2-hexyl malonic acid, 2- (3-ethoxypropyl) succinic acid, 2- (3-ethoxybutyl) succinic acid and (E) -2 (hexa-1-enyl) succinic acid are particularly preferable. Two or more of these may be used.

導電層を形成する組成物中における有機酸(B)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(C)100重量部に対して0.1〜50重量部が好ましい。有機酸(B)の含有量が0.1重量部以上であると、有機酸(B)からの水素イオンの解離により導電層の導電性発現をより促進することができる。有機酸(B)の含有量は、0.5重量部以上がより好ましく、1重量部以上がさらに好ましい。一方、有機酸(B)の含有量が50重量部以下であると、透明電極層の導電性低下をより抑制することができる。 The content of the organic acid (B) in the composition forming the conductive layer is preferably 0.1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (C). When the content of the organic acid (B) is 0.1 parts by weight or more, the conductive development of the conductive layer can be further promoted by the dissociation of hydrogen ions from the organic acid (B). The content of the organic acid (B) is more preferably 0.5 parts by weight or more, and further preferably 1 part by weight or more. On the other hand, when the content of the organic acid (B) is 50 parts by weight or less, the decrease in conductivity of the transparent electrode layer can be further suppressed.

カルボキシル基含有樹脂(C)としては、例えば、アクリル系共重合体、カルボン酸変性エポキシ樹脂、カルボン酸変性フェノール樹脂、ポリアミック酸、カルボン酸変性シロキサンポリマーなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、紫外光透過率の高いアクリル系共重合体またはカルボン酸変性エポキシ樹脂が好ましい。 Examples of the carboxyl group-containing resin (C) include acrylic copolymers, carboxylic acid-modified epoxy resins, carboxylic acid-modified phenolic resins, polyamic acids, and carboxylic acid-modified siloxane polymers. Two or more of these may be contained. Among these, an acrylic copolymer having a high ultraviolet light transmittance or a carboxylic acid-modified epoxy resin is preferable.

アクリル系共重合体としては、アクリル系モノマーと不飽和酸またはその酸無水物との共重合体が好ましい。 As the acrylic copolymer, a copolymer of an acrylic monomer and an unsaturated acid or an acid anhydride thereof is preferable.

アクリル系モノマーとしては、例えば、エチルアクリレート、n−ブチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレートなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 Examples of the acrylic monomer include ethyl acrylate, n-butyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, and isobornyl acrylate. Two or more of these may be used.

不飽和酸またはその酸無水物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、酢酸ビニルや、これらの酸無水物などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。不飽和酸の共重合比により、アクリル系共重合体の酸価を調整することができる。 Examples of unsaturated acids or acid anhydrides thereof include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetate, and acid anhydrides thereof. Two or more of these may be used. The acid value of the acrylic copolymer can be adjusted by the copolymerization ratio of the unsaturated acid.

カルボン酸変性エポキシ樹脂としては、エポキシ化合物と、不飽和酸または不飽和酸無水物との反応物が好ましい。ここで、カルボン酸変性エポキシ樹脂とは、エポキシ化合物のエポキシ基をカルボン酸またはカルボン酸無水物で変性したものであり、エポキシ基は含まれていない。 As the carboxylic acid-modified epoxy resin, a reaction product of an epoxy compound and an unsaturated acid or an unsaturated acid anhydride is preferable. Here, the carboxylic acid-modified epoxy resin is one in which the epoxy group of the epoxy compound is modified with a carboxylic acid or a carboxylic acid anhydride, and does not contain an epoxy group.

エポキシ化合物としては、例えば、グリシジルエーテル類、グリシジルアミン類、エポキシ樹脂などが挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 Examples of the epoxy compound include glycidyl ethers, glycidyl amines, and epoxy resins. Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, novolac type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin and the like. Two or more of these may be used.

前述のアクリル系共重合体やカルボン酸変性エポキシ樹脂に、グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和二重結合を有する化合物を反応させることにより、不飽和二重結合を導入することができる。カルボキシル基含有樹脂(C)に不飽和二重結合を導入することにより、露光時に露光部の架橋密度を向上させ、現像マージンを広くすることができ、微細加工性をより向上させることができる。 An unsaturated double bond can be introduced by reacting the above-mentioned acrylic copolymer or carboxylic acid-modified epoxy resin with a compound having an unsaturated double bond such as glycidyl (meth) acrylate. By introducing an unsaturated double bond into the carboxyl group-containing resin (C), the crosslink density of the exposed portion can be improved at the time of exposure, the development margin can be widened, and the fine processability can be further improved.

カルボキシル基含有樹脂(C)としては、ウレタン結合を有するものも好ましく用いることができる。カルボキシル基含有樹脂(C)がウレタン結合を有することにより、得られる導電パターンの耐屈曲性を向上させることができる。カルボキシル基含有樹脂(C)にウレタン結合を導入する方法としては、例えば、水酸基を有するアクリル系共重合体や水酸基を有するカルボン酸変性エポキシ樹脂の場合、これらの水酸基にジイソシアネート化合物を反応させる方法が挙げられる。ジイソシアネート化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、トリデンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、アリルシアンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネートなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 As the carboxyl group-containing resin (C), a resin having a urethane bond can also be preferably used. When the carboxyl group-containing resin (C) has a urethane bond, the bending resistance of the obtained conductive pattern can be improved. As a method of introducing a urethane bond into the carboxyl group-containing resin (C), for example, in the case of an acrylic copolymer having a hydroxyl group or a carboxylic acid-modified epoxy resin having a hydroxyl group, a method of reacting a diisocyanate compound with these hydroxyl groups is a method. Can be mentioned. Examples of the diisocyanate compound include hexamethylene diisocyanate, tetramethylxylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, tridendiisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, allylcyandiisocyanate, and norbornane diisocyanate. Two or more of these may be used.

カルボキシル基含有樹脂(C)は、フェノール性水酸基を有するものも好ましく用いることができる。カルボキシル基含有樹脂(C)がフェノール性水酸基を有することにより、基材表面の水酸基やアミノ基などの極性基と水素結合を形成し、得られる導電パターンと基材との密着性を向上させることができる。 As the carboxyl group-containing resin (C), a resin having a phenolic hydroxyl group can also be preferably used. When the carboxyl group-containing resin (C) has a phenolic hydroxyl group, it forms a hydrogen bond with a polar group such as a hydroxyl group or an amino group on the surface of the base material, and improves the adhesion between the obtained conductive pattern and the base material. Can be done.

カルボキシル基含有樹脂(C)の酸価は、50〜250mgKOH/gが好ましい。酸価が50mgKOH/g以上であれば、現像液への溶解度が高くなり、現像残渣の発生を抑制することができる。酸価は60mgKOH/g以上がより好ましい。一方、酸価が250mgKOH/g以下であれば、現像液への過度な溶解を抑え、パターン形成部の膜減りを抑制することができる。酸価は200mgKOH/g以下がより好ましい。なお、カルボキシル基含有樹脂(C)の酸価は、JIS K 0070(1992)に準拠して測定することができる。 The acid value of the carboxyl group-containing resin (C) is preferably 50 to 250 mgKOH / g. When the acid value is 50 mgKOH / g or more, the solubility in a developing solution is high, and the generation of development residue can be suppressed. The acid value is more preferably 60 mgKOH / g or more. On the other hand, when the acid value is 250 mgKOH / g or less, excessive dissolution in the developing solution can be suppressed and film loss of the pattern forming portion can be suppressed. The acid value is more preferably 200 mgKOH / g or less. The acid value of the carboxyl group-containing resin (C) can be measured in accordance with JIS K 0070 (1992).

カルボキシル基含有樹脂(C)の酸価は、例えば、アクリル系共重合体の場合、構成成分中の不飽和酸の割合により、所望の範囲に調整することができる。カルボン酸変性エポキシ樹脂の場合、多塩基酸無水物を反応させることにより、所望の範囲に調整することができる。カルボン酸変性フェノール樹脂の場合、構成成分中の多塩基酸無水物の割合により、所望の範囲に調整することができる。 In the case of an acrylic copolymer, for example, the acid value of the carboxyl group-containing resin (C) can be adjusted to a desired range by the ratio of the unsaturated acid in the constituent components. In the case of a carboxylic acid-modified epoxy resin, it can be adjusted to a desired range by reacting with a polybasic acid anhydride. In the case of a carboxylic acid-modified phenolic resin, it can be adjusted to a desired range by the ratio of the polybasic acid anhydride in the constituents.

光重合開始剤(D)としては、ベンゾフェノン誘導体、アセトフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、ベンジル誘導体、ベンゾイン誘導体、オキシム系化合物、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノアルキルフェノン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、アントロン化合物、アントラキノン化合物等が挙げられる。オキシム系化合物としては、例えば、1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、1−フェニル−1,2−ブタンジオン−2−(O−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム、1,3−ジフェニル−プロパントリオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ−プロパントリオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、光感度の高いオキシム系化合物が好ましい。 Examples of the photopolymerization initiator (D) include benzophenone derivatives, acetophenone derivatives, thioxanthone derivatives, benzyl derivatives, benzoin derivatives, oxime compounds, α-hydroxyketone compounds, α-aminoalkylphenone compounds, and phosphine oxide compounds. Examples thereof include anthrone compounds and anthraquinone compounds. Examples of the oxime compound include 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)] and ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl)]. ) -9H-Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), 1-phenyl-1,2-butandion-2- (O-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- ( O-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (O-benzoyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanthrion-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy- Examples thereof include propanetrion-2- (O-benzoyl) oxime. Two or more of these may be contained. Among these, oxime compounds having high photosensitivity are preferable.

導電層を形成する組成物中における光重合開始剤(D)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(C)100重量部に対して、0.05〜30重量部が好ましい。光重合開始剤(D)の含有量が0.05重量部以上であると、露光部の硬化密度が上昇し、現像後の残膜率を高くすることができる。光重合開始剤(D)の含有量は、1重量部以上がより好ましい。一方、光重合開始剤の含有量が30重量部以下であると、組成物を塗布して得られる塗布膜上部における光重合開始剤(D)による過剰な光吸収が抑制される。その結果、導電層を容易にテーパー形状にすることができ、基板との密着性を向上させることができる。 The content of the photopolymerization initiator (D) in the composition forming the conductive layer is preferably 0.05 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (C). When the content of the photopolymerization initiator (D) is 0.05 parts by weight or more, the curing density of the exposed part is increased, and the residual film ratio after development can be increased. The content of the photopolymerization initiator (D) is more preferably 1 part by weight or more. On the other hand, when the content of the photopolymerization initiator is 30 parts by weight or less, excessive light absorption by the photopolymerization initiator (D) on the upper portion of the coating film obtained by applying the composition is suppressed. As a result, the conductive layer can be easily tapered, and the adhesion to the substrate can be improved.

不飽和二重結合を有する化合物(E)としては、例えば、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、エトキシ化(4)ビスフェノールAジアクリレート、エトキシ化(10)ビスフェノールAジアクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物などの2官能モノマー;ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリアクリレート、グリセリンプロポキシトリアクリレートなどの3官能モノマー;ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートなどの4官能モノマー;ダイセル・サイテック社製EBECRYL204、EBECRYL210、EBECRYL220、EBECRYL264、EBECRYL265、EBECRYL284やサートマー社製CN972、CN975、CN978などのウレタン結合含有モノマーなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、ウレタン結合含有モノマーは、導電層の耐屈曲性をより向上させることができることから好ましい。 Examples of the compound (E) having an unsaturated double bond include ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, ethoxylated (4) bisphenol A diacrylate, and ethoxylated (10) bisphenol A diacrylate. Bifunctional monomers such as the acrylic acid adduct of ethylene glycol diglycidyl ether and the acrylic acid adduct of neopentyl glycol diglycidyl ether; pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol triacrylate, trimethylolpropantriacrylate, trimethylolpropaneethoxytri. Trifunctional monomers such as acrylates and glycerin propoxytriacrylates; Tetrafunctional monomers such as dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol ethoxytetraacrylate and ditrimethylolpropanetetraacrylate; EBECRYL204, EBECRYL210, EBECRYL220 manufactured by Daicel Cytec. , EBECRYL264, EBECRYL265, EBECRYL284, and urethane bond-containing monomers such as CN972, CN975, and CN978 manufactured by Sartmer. Two or more of these may be contained. Among these, the urethane bond-containing monomer is preferable because it can further improve the bending resistance of the conductive layer.

導電層を形成する組成物中における不飽和二重結合を有する化合物(E)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(C)100重量部に対して1〜100重量部が好ましい。不飽和二重結合を有する化合物(E)の含有量が1重量部以上であると、露光部の架橋密度が高まり、未露光部と露光部との現像液に対する溶解度差を大きくすることができ、微細加工性をより向上させることができる。一方、不飽和二重結合を有する化合物(E)の含有量が100重量部以下であると、導電層のTgを抑え、耐屈曲性を向上させることができる。 The content of the compound (E) having an unsaturated double bond in the composition forming the conductive layer is preferably 1 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (C). When the content of the compound (E) having an unsaturated double bond is 1 part by weight or more, the crosslink density of the exposed portion is increased, and the difference in solubility of the unexposed portion and the exposed portion in the developing solution can be increased. , Fine workability can be further improved. On the other hand, when the content of the compound (E) having an unsaturated double bond is 100 parts by weight or less, the Tg of the conductive layer can be suppressed and the bending resistance can be improved.

導電性粒子(F)としては、例えば、銀、金、銅、白金、鉛、スズ、ニッケル、アルミニウム、タングステン、モリブデン、クロム、チタン、インジウム、マグネシウム、コバルト、亜鉛、カリウム、リチウム、鉄、水銀、ベリリウム、カドミウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウムやこれらの合金などの粒子が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、導電性の観点から、銀、金および銅から選ばれる金属の粒子が好ましく、コストおよび安定性の観点から銀粒子がより好ましい。また、導電性粒子(F)は、樹脂や無機酸化物等により表面が被覆されていてもよい。 Examples of the conductive particles (F) include silver, gold, copper, platinum, lead, tin, nickel, aluminum, tungsten, molybdenum, chromium, titanium, indium, magnesium, cobalt, zinc, potassium, lithium, iron and mercury. , Berylium, cadmium, rhodium, ruthenium, iridium and alloys thereof. Two or more of these may be contained. Among these, metal particles selected from silver, gold and copper are preferable from the viewpoint of conductivity, and silver particles are more preferable from the viewpoint of cost and stability. Further, the surface of the conductive particles (F) may be coated with a resin, an inorganic oxide, or the like.

導電性粒子(F)の長軸長を短軸長で除した値であるアスペクト比は、1.1〜2.0が好ましい。ここで、導電性粒子のアスペクト比は、走査型電子顕微鏡(SEM)または透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて倍率15000倍で導電性粒子(E)を観察し、無作為に選択した100個の導電性粒子(F)の一次粒子について、それぞれの長軸長および短軸長を測定し、両者の平均値から算出することができる。 The aspect ratio, which is the value obtained by dividing the major axis length of the conductive particles (F) by the minor axis length, is preferably 1.1 to 2.0. Here, the aspect ratio of the conductive particles is 100 randomly selected by observing the conductive particles (E) at a magnification of 15,000 using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM). It is possible to measure the major axis length and the minor axis length of each of the primary particles of the conductive particles (F) of No. 1 and calculate from the average value of both.

導電性粒子(F)の粒子径は、0.05〜5.0μmが好ましい。導電性粒子(F)の粒子径を0.05μm以上とすることにより、粒子間の相互作用を適度に抑制し、導電層中における導電性粒子(F)の分散性を向上させることができる。導電性粒子(F)の粒子径は、0.1μm以上がより好ましい。一方、導電性粒子(F)の粒子径を5.0μm以下とすることにより、導電層の表面平滑度、パターン精度および寸法精度を向上させることができる。導電性粒子(F)の粒子径は、2.0μm以下がより好ましい。ここで、導電性粒子(F)の粒子径は、レーザー照射型の粒度分布計を用いて測定することができる。測定により得られた粒度分布のD50の値を導電性粒子(F)の粒子径(D50)とする。 The particle size of the conductive particles (F) is preferably 0.05 to 5.0 μm. By setting the particle size of the conductive particles (F) to 0.05 μm or more, the interaction between the particles can be appropriately suppressed, and the dispersibility of the conductive particles (F) in the conductive layer can be improved. The particle size of the conductive particles (F) is more preferably 0.1 μm or more. On the other hand, by setting the particle diameter of the conductive particles (F) to 5.0 μm or less, the surface smoothness, pattern accuracy, and dimensional accuracy of the conductive layer can be improved. The particle size of the conductive particles (F) is more preferably 2.0 μm or less. Here, the particle size of the conductive particles (F) can be measured using a laser irradiation type particle size distribution meter. The value of D50 of the particle size distribution obtained by the measurement is defined as the particle diameter (D50) of the conductive particles (F).

導電層中における導電性粒子(F)の含有量および導電層を形成する組成物の固形分中における導電性粒子(F)の含有量は、65〜95重量%が好ましい。導電性粒子(F)の含有量が65重量%以上であると、キュア時の導電性粒子(F)同士の接触確率が向上し、導電性をより向上させ、断線確率を低減することができる。導電性粒子(F)の含有量は70重量%以上がより好ましい。一方、導電性粒子(F)の含有量が95重量%以下であると、露光工程における塗膜の透光性が向上し、微細加工性および耐屈曲性をより向上させることができる。ここで全固形分とは、溶剤を除く、組成物の全構成成分をいう。 The content of the conductive particles (F) in the conductive layer and the content of the conductive particles (F) in the solid content of the composition forming the conductive layer are preferably 65 to 95% by weight. When the content of the conductive particles (F) is 65% by weight or more, the contact probability between the conductive particles (F) at the time of curing is improved, the conductivity is further improved, and the disconnection probability can be reduced. .. The content of the conductive particles (F) is more preferably 70% by weight or more. On the other hand, when the content of the conductive particles (F) is 95% by weight or less, the translucency of the coating film in the exposure step is improved, and the fine processability and the bending resistance can be further improved. Here, the total solid content refers to all the constituents of the composition excluding the solvent.

導電層の厚みは、0.5〜10.0μmが好ましい。導電層の膜厚が0.5μm以上であると、配線ごとの抵抗値ばらつきを抑制し、凹凸のある基材に対しても容易にパターン形成することができる。導電層の厚みは、1.0μm以上がより好ましい。一方、導電層の厚みが10.0μm以下であれば、感光性の組成物から導電層を形成する場合において、露光時に光が膜深部まで到達しやすくなり、現像マージンを広げることができる。導電層の厚みは、5.0μm以下がより好ましい。なお、導電層の厚みは、例えば、“サーフコム”(登録商標)1400((株)東京精密製)などの触針式段差計を用いて測定することができる。より具体的には、ランダムな3つの位置の膜厚を触針式段差計(測長:1mm、走査速度:0.3mm/sec)でそれぞれ測定し、その平均値を膜厚とする。 The thickness of the conductive layer is preferably 0.5 to 10.0 μm. When the film thickness of the conductive layer is 0.5 μm or more, variation in resistance value for each wiring can be suppressed, and a pattern can be easily formed even on a base material having irregularities. The thickness of the conductive layer is more preferably 1.0 μm or more. On the other hand, when the thickness of the conductive layer is 10.0 μm or less, when the conductive layer is formed from the photosensitive composition, the light easily reaches the deep part of the film during exposure, and the development margin can be widened. The thickness of the conductive layer is more preferably 5.0 μm or less. The thickness of the conductive layer can be measured using, for example, a stylus type step meter such as "Surfcom" (registered trademark) 1400 (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). More specifically, the film thicknesses at three random positions are measured with a stylus type step meter (measurement length: 1 mm, scanning speed: 0.3 mm / sec), and the average value is taken as the film thickness.

導電層を形成する組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤としては、例えば、ジメチルイミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、乳酸エチル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジアセトンアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。溶剤の沸点は150℃以上が好ましい。沸点が150℃以上であると、溶剤の揮発が抑制され、組成物の増粘を抑制することができる。 The composition forming the conductive layer preferably contains a solvent. Examples of the solvent include dimethylimidazolidinone, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, ethyl lactate, 1-methoxy-2-propanol, 1-ethoxy-2-propanol, ethylene glycol mono-n-propyl ether, diacetone alcohol, and the like. Examples thereof include tetrahydrofurfuryl alcohol, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, and diethylene glycol. Two or more of these may be contained. The boiling point of the solvent is preferably 150 ° C. or higher. When the boiling point is 150 ° C. or higher, volatilization of the solvent is suppressed, and thickening of the composition can be suppressed.

前記組成物は、その所望の特性を損なわない範囲であれば、分子内に不飽和二重結合を有しない非感光性ポリマー、可塑剤、レベリング剤、界面活性剤、シランカップリング剤、消泡剤、顔料等の添加剤を含有することができる。 The composition is a non-photosensitive polymer having no unsaturated double bond in the molecule, a plasticizer, a leveling agent, a surfactant, a silane coupling agent, and a defoaming agent, as long as the desired properties are not impaired. Additives such as agents and pigments can be contained.

非感光性ポリマーとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド前駆体、既閉環ポリイミドなどが挙げられる。 Examples of the non-photosensitive polymer include polyethylene terephthalate, a polyimide precursor, and a closed ring polyimide.

可塑剤としては、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。 Examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like.

レベリング剤としては、例えば、特殊ビニル系重合体、特殊アクリル系重合体などが挙げられる。 Examples of the leveling agent include a special vinyl polymer and a special acrylic polymer.

シランカップリング剤としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシランなどが挙げられる。 Examples of the silane coupling agent include methyltrimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenyltriethoxysilane, hexamethyldisilazane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and vinyltri. Examples thereof include methoxysilane.

本発明の積層部材の形成方法について、下記に例を挙げて説明する。 The method for forming the laminated member of the present invention will be described below with an example.

透明電極層の形成方法としては、例えば、バインダー樹脂層および導電性繊維層の積層部位を有する透明電極層の場合、基材上に導電性繊維層を形成した後、バインダー樹脂層を、導電性繊維の少なくとも一部が突出するような膜厚で形成する方法などが挙げられる。この場合、バインダー樹脂および導電性繊維を含有するバインダー樹脂層と、導電性繊維層の積層部位が形成される。 As a method for forming the transparent electrode layer, for example, in the case of a transparent electrode layer having a laminated portion of a binder resin layer and a conductive fiber layer, after forming the conductive fiber layer on the base material, the binder resin layer is made conductive. Examples thereof include a method of forming the fiber so that at least a part of the fiber protrudes. In this case, a binder resin layer containing the binder resin and the conductive fiber and a laminated portion of the conductive fiber layer are formed.

導電性繊維層の形成方法としては、例えば、スパッタリング法、イオンプレーティング法、コーティング法などが挙げられる。 Examples of the method for forming the conductive fiber layer include a sputtering method, an ion plating method, and a coating method.

バインダー樹脂層の形成方法としては、例えば、バインダー樹脂溶液を所望の膜厚になるように塗布し、乾燥する方法などが挙げられる。バインダー樹脂溶液の塗布方法としては、例えば、スピナーを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーター、バーコーターを用いた塗布などが挙げられる。塗布膜の乾燥方法としては、例えば、オーブン、ホットプレート、赤外線等による加熱乾燥や、真空乾燥などが挙げられる。乾燥温度は50〜180℃が好ましく、乾燥時間は1分間〜数時間が好ましい。 Examples of the method for forming the binder resin layer include a method in which a binder resin solution is applied so as to have a desired film thickness and dried. Examples of the method for applying the binder resin solution include rotary coating using a spinner, spray coating, roll coating, screen printing, blade coater, die coater, calendar coater, meniscus coater, and coating using a bar coater. Examples of the method for drying the coating film include heat drying using an oven, a hot plate, infrared rays, and vacuum drying. The drying temperature is preferably 50 to 180 ° C., and the drying time is preferably 1 minute to several hours.

続いて導電層の形成方法の例について説明する。まず、有機酸塩(A)、有機酸(B)、カルボキシル基含有樹脂(C)、光重合開始剤(D)、不飽和二重結合を有する化合物(E)および導電性粒子(F)および必要に応じて溶剤や添加剤を混合することにより、感光性組成物を製造する。混合装置としては、例えば、三本ローラーミル、ボールミル、遊星式ボールミル等の分散機や混練機などが挙げられる。 Next, an example of a method for forming the conductive layer will be described. First, an organic acid salt (A), an organic acid (B), a carboxyl group-containing resin (C), a photopolymerization initiator (D), a compound (E) having an unsaturated double bond, and conductive particles (F). A photosensitive composition is produced by mixing a solvent or an additive as needed. Examples of the mixing device include a disperser such as a three-roller mill, a ball mill, and a planetary ball mill, and a kneader.

前述の方法により基材上に透明電極層を積層した部材に、感光性組成物を塗布し、乾燥する。塗布方法としては、例えば、スピナーを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーターまたはバーコーターを用いた塗布などが挙げられる。乾燥方法としては、例えば、オーブン、ホットプレート、赤外線等による加熱乾燥や、真空乾燥などが挙げられる。乾燥温度は50〜180℃が好ましく、乾燥時間は1分間〜数時間が好ましい。 The photosensitive composition is applied to a member in which a transparent electrode layer is laminated on a base material by the method described above, and dried. Examples of the coating method include rotary coating using a spinner, spray coating, roll coating, screen printing, blade coater, die coater, calendar coater, meniscus coater or bar coater. Examples of the drying method include heat drying using an oven, a hot plate, infrared rays, and vacuum drying. The drying temperature is preferably 50 to 180 ° C., and the drying time is preferably 1 minute to several hours.

塗布膜厚は、塗布の方法、感光性組成物の固形分濃度や粘度等に応じて適宜決定することができるが、感光性組成物の乾燥膜の膜厚は、導電層の好ましい厚みとして記載した範囲に調整することが好ましい。感光性組成物の乾燥膜の膜厚は、例えば、導電層の膜厚と同様に測定することができる。 The coating film thickness can be appropriately determined depending on the coating method, the solid content concentration and viscosity of the photosensitive composition, etc., but the film thickness of the dry film of the photosensitive composition is described as a preferable thickness of the conductive layer. It is preferable to adjust to the specified range. The film thickness of the dry film of the photosensitive composition can be measured in the same manner as the film thickness of the conductive layer, for example.

フォトリソグラフィー法により導電パターンを形成する場合において、感光性組成物の乾燥膜に、任意のパターン形成用マスクを介して露光することが好ましい。露光の光源としては、水銀灯のi線(365nm)、h線(405nm)またはg線(436nm)が好ましく用いられる。 When forming a conductive pattern by a photolithography method, it is preferable to expose the dry film of the photosensitive composition through an arbitrary pattern forming mask. As a light source for exposure, i-line (365 nm), h-line (405 nm) or g-line (436 nm) of a mercury lamp is preferably used.

露光後、現像液を用いて現像することにより、未露光部を溶解除去して、所望のパターンを得る。 After the exposure, the unexposed portion is dissolved and removed by developing with a developing solution to obtain a desired pattern.

アルカリ現像を行う場合の現像液としては、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム、ジエタノールアミン、ジエチルアミノエタノール、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ジメチルアミノエタノール、などの水溶液が挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。また、場合によっては、これらの水溶液に、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン等の極性溶剤;メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類;乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類;シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソブチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類;界面活性剤などを1種以上添加してもよい。 Examples of the developer for alkaline development include aqueous solutions such as tetramethylammonium hydroxide, diethanolamine, diethylaminoethanol, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, and dimethylaminoethanol. Two or more of these may be used. In some cases, polar solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, and γ-butyrolactone are added to these aqueous solutions; methanol, ethanol, isopropanol, etc. Alcohols; Esters such as ethyl lactate and propylene glycol monomethyl ether acetate; Ketones such as cyclopentanone, cyclohexanone, isobutyl ketone and methyl isobutyl ketone; One or more surfactants may be added.

現像方法としては、例えば、露光した感光性組成物の乾燥膜を有する基板を静置または回転させながら現像液を乾燥膜面にスプレーする方法、露光した感光性組成物の乾燥膜を有する基板を現像液中に浸漬する方法、露光した感光性組成物の乾燥膜を有する基板を現像液中に浸漬しながら超音波をかける方法などが挙げられる。 Examples of the developing method include a method of spraying a developer onto the surface of the dried film while allowing the substrate having the dried film of the exposed photosensitive composition to stand still or rotating, and a substrate having the dried film of the exposed photosensitive composition. Examples thereof include a method of immersing in a developing solution and a method of applying ultrasonic waves while immersing a substrate having a dry film of an exposed photosensitive composition in a developing solution.

現像後、リンス液によるリンス処理を施してもよい。リンス液としては、例えば、水、あるいは、水にエタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類または乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類を添加した水溶液などが挙げられる。 After development, rinsing treatment with a rinsing solution may be performed. Examples of the rinsing solution include water or an aqueous solution obtained by adding alcohols such as ethanol and isopropyl alcohol or esters such as ethyl lactate and propylene glycol monomethyl ether acetate to water.

現像により得られたパターンを加熱してキュアすることにより、導電パターンを得ることができる。キュア温度は、100〜200℃が好ましい。キュア温度が100℃以上であれば、原子拡散を十分に誘起して、導電性をより向上させることができる。キュア温度は120℃以上がより好ましい。一方、キュア温度を200℃以下とすることにより、基材の選択自由度を高めることができる。キュア温度は150℃以下がより好ましい。 A conductive pattern can be obtained by heating and curing the pattern obtained by development. The cure temperature is preferably 100 to 200 ° C. When the cure temperature is 100 ° C. or higher, atomic diffusion can be sufficiently induced to further improve the conductivity. The cure temperature is more preferably 120 ° C. or higher. On the other hand, by setting the cure temperature to 200 ° C. or lower, the degree of freedom in selecting the base material can be increased. The cure temperature is more preferably 150 ° C. or lower.

キュア方法としては、例えば、オーブン、イナートオーブン、ホットプレートによる加熱乾燥、紫外線ランプ、赤外線ヒーター、ハロゲンヒーター、キセノンフラッシュランプ等の電磁波やマイクロ波による加熱乾燥、真空乾燥などが挙げられる。加熱により、導電パターンの硬度が高くなることから、他の部材との接触による欠けや剥がれ等を抑制し、さらには導電層と基板との密着性を向上させることができる。 Examples of the curing method include heating and drying with an oven, an inert oven, a hot plate, heating and drying with electromagnetic waves such as an ultraviolet lamp, an infrared heater, a halogen heater, and a xenon flash lamp, and vacuum drying with microwaves. Since the hardness of the conductive pattern is increased by heating, it is possible to suppress chipping or peeling due to contact with other members, and further improve the adhesion between the conductive layer and the substrate.

本発明の導電パターン形成用フィルムは、離型性フィルム上に、有機酸塩(A)、有機酸(B)、カルボキシル基含有樹脂(C)、光重合開始剤(D)、不飽和二重結合を有する化合物(E)および導電性粒子(F)を含有する組成物の乾燥膜を有する。 The film for forming a conductive pattern of the present invention has an organic acid salt (A), an organic acid (B), a carboxyl group-containing resin (C), a photopolymerization initiator (D), and an unsaturated double bond on a releasable film. It has a dry film of a composition containing the compound (E) having a bond and the conductive particles (F).

本発明の導電パターン形成用フィルムにおける感光性組成物の乾燥膜に対して露光および現像を行い、離型性フィルム上にパターンを形成した後、配線形成を行いたい曲面や基板端面に該パターンが接するように、基板に導電パターン形成用フィルムを積層する。この積層体を加熱加圧することによって、該パターンを基板上に熱転写した後、該パターンを加熱してキュアすることにより、配線を曲面や基板端面に形成することができる。また、この方法を用いて前記パターンを基板の両面および端面に熱転写した後、該パターンを加熱してキュアすることにより、配線が基板端面を経由して基板の両面に形成された両面配線付基板の作製が可能になる。 The dried film of the photosensitive composition in the film for forming a conductive pattern of the present invention is exposed and developed to form a pattern on the releasable film, and then the pattern is formed on a curved surface or an end face of a substrate on which wiring is desired to be formed. A film for forming a conductive pattern is laminated on the substrate so as to be in contact with each other. By heating and pressurizing the laminate, the pattern is thermally transferred onto the substrate, and then the pattern is heated and cured, so that wiring can be formed on a curved surface or an end face of the substrate. Further, a substrate with double-sided wiring is formed in which wiring is formed on both sides of the substrate via the end faces of the substrate by thermally transferring the pattern to both sides and end faces of the substrate using this method and then heating and curing the pattern. Can be manufactured.

離型性フィルムとしては、フィルム表面に離型層を有するものが好ましい。離型層を構成する離型剤としては、例えば、長鎖アルキル系離型剤、シリコーン系離型剤、フッ素系離型剤などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。これらの中でも、転写時に離型剤移りが生じた場合であっても、後工程、特に現像工程において、現像液のハジキなどの現象を生じにくく、面内ムラを抑制して微細加工性をより向上させることができることから、長鎖アルキル系離型剤が好ましい。離型層の厚みは50〜500nmが好ましい。離型層の厚みが50nm以上であれば、転写時の転写ムラを抑制することができ、500nm以下であれば、転写時の離型剤移りを低減することができる。 The releasable film preferably has a releasable layer on the film surface. Examples of the release agent constituting the release layer include a long-chain alkyl type release agent, a silicone type release agent, and a fluorine type release agent. Two or more of these may be used. Among these, even when the release agent is transferred during transfer, phenomena such as repelling of the developing solution are less likely to occur in the post-process, especially in the developing process, and in-plane unevenness is suppressed to improve fine workability. A long-chain alkyl release agent is preferable because it can be improved. The thickness of the release layer is preferably 50 to 500 nm. When the thickness of the release layer is 50 nm or more, transfer unevenness during transfer can be suppressed, and when the thickness is 500 nm or less, transfer of the release agent during transfer can be reduced.

離型性フィルムの剥離力は、500〜5000mN/20mmが好ましい。剥離力が500mN/20mm以上であれば、感光性組成物の乾燥膜を形成する際にハジキの発生を抑制することができる。剥離力が5000mN/20mm以下であれば、乾燥膜の基材への転写時のプロセスマージンを広くすることができる。ここで、本発明における離型性フィルムの剥離力とは、離型性フィルムの剥離層面に日東電工(株)製アクリル粘着テープ「31B」を2kgローラーを用いて貼付し、30分後に、アクリル粘着テープを剥離角度180°、剥離速度0.3m/minで剥離したときの剥離力を指す。 The release force of the releasable film is preferably 500 to 5000 mN / 20 mm. When the peeling force is 500 mN / 20 mm or more, the generation of cissing can be suppressed when forming the dry film of the photosensitive composition. When the peeling force is 5000 mN / 20 mm or less, the process margin at the time of transferring the dry film to the substrate can be widened. Here, the release force of the releasable film in the present invention means that the acrylic adhesive tape "31B" manufactured by Nitto Denko Corporation is attached to the release layer surface of the releasable film using a 2 kg roller, and after 30 minutes, acrylic is applied. It refers to the peeling force when the adhesive tape is peeled off at a peeling angle of 180 ° and a peeling speed of 0.3 m / min.

離型性フィルムに用いられるフィルム基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、シクロオレフィン、ポリカーボネート、ポリイミド、アラミド、フッ素樹脂、アクリル系樹脂および/またはポリウレタン系樹脂を含むフィルムなどが挙げられる。光学特性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、シクロオレフィンおよび/またはポリカーボネートを含むフィルムが好ましい。光学特性の高い基材であれば、離型性フィルム越しに露光することができ、乾燥膜とフォトマスクが接触しないため、マスク汚染を抑制することができる。 Examples of the film base material used for the releasable film include films containing polyethylene terephthalate, cycloolefin, polycarbonate, polyimide, aramid, fluororesin, acrylic resin and / or polyurethane resin. From the viewpoint of optical properties, a film containing polyethylene terephthalate, cycloolefin and / or polycarbonate is preferable. A substrate having high optical properties can be exposed through a releasable film, and since the dry film and the photomask do not come into contact with each other, mask contamination can be suppressed.

フィルム基材の厚みは、5〜150μmが好ましい。フィルム基材の厚みが5μm以上であれば、感光性組成物の乾燥膜を形成する際にフィルム基材を安定に搬送することができ、乾燥膜の厚みムラを抑制することができる。フィルム基材の厚みは10μm以上がより好ましい。一方、フィルム基材の厚みが150μm以下であれば、離型性フィルム越しの露光の際に露光光の回折の影響を小さくすることができ、微細パターニング性を向上させることができる。フィルム基材の厚みは30μm以下がより好ましい。 The thickness of the film substrate is preferably 5 to 150 μm. When the thickness of the film base material is 5 μm or more, the film base material can be stably conveyed when the dry film of the photosensitive composition is formed, and uneven thickness of the dry film can be suppressed. The thickness of the film substrate is more preferably 10 μm or more. On the other hand, when the thickness of the film base material is 150 μm or less, the influence of diffraction of the exposure light can be reduced during exposure through the releasable film, and the fine patterning property can be improved. The thickness of the film substrate is more preferably 30 μm or less.

感光性組成物の乾燥膜の膜厚は、0.5〜10.0μmが好ましい。乾燥膜の膜厚が0.5μm以上であると、配線ごとの抵抗値ばらつきを抑制することができ、また、凹凸のある基材上に対しても容易にパターン形成することができる。乾燥膜の膜厚は1.0μm以上がより好ましい。一方、乾燥膜の膜厚が10.0μm以下であれば、露光時に光が乾燥膜の膜深部まで到達しやすくなり、現像マージンを広げることができる。乾燥膜の膜厚は5.0μm以下がより好ましい。なお、感光性組成物の乾燥膜の膜厚は、例えば、“サーフコム”(登録商標)1400((株)東京精密製)などの触針式段差計を用いて測定することができる。より具体的には、ランダムな3つの位置の膜厚を触針式段差計(測長:1mm、走査速度:0.3mm/sec)でそれぞれ測定し、その平均値を膜厚とする。 The film thickness of the dry film of the photosensitive composition is preferably 0.5 to 10.0 μm. When the film thickness of the dry film is 0.5 μm or more, it is possible to suppress variations in the resistance value for each wiring, and it is possible to easily form a pattern even on an uneven base material. The thickness of the dry film is more preferably 1.0 μm or more. On the other hand, when the film thickness of the dry film is 10.0 μm or less, the light easily reaches the deep part of the dry film during exposure, and the development margin can be widened. The film thickness of the dry film is more preferably 5.0 μm or less. The film thickness of the dry film of the photosensitive composition can be measured using, for example, a stylus type step meter such as "Surfcom" (registered trademark) 1400 (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). More specifically, the film thicknesses at three random positions are measured with a stylus type step meter (measurement length: 1 mm, scanning speed: 0.3 mm / sec), and the average value is taken as the film thickness.

本発明の導電パターン形成用フィルムは、前述の感光性組成物を、離型性フィルム上に塗布し、乾燥することにより製造することができる。塗布方法としては、前述のバインダー樹脂層の塗布方法として例示した方法などが挙げられる。乾燥方法としては、前述のバインダー樹脂層の乾燥方法として例示した方法などが挙げられる。乾燥温度は50〜180℃が好ましく、乾燥時間は1分間〜数時間が好ましい。 The film for forming a conductive pattern of the present invention can be produced by applying the above-mentioned photosensitive composition on a releasable film and drying it. Examples of the coating method include the methods exemplified as the coating method of the binder resin layer described above. Examples of the drying method include the methods exemplified as the above-mentioned method for drying the binder resin layer. The drying temperature is preferably 50 to 180 ° C., and the drying time is preferably 1 minute to several hours.

前述の方法により基材上に透明電極層を積層した部材上に、前述の導電パターン形成用フィルムを用いて導電パターンを有する導電層を形成する方法について説明する。 A method of forming a conductive layer having a conductive pattern on a member in which a transparent electrode layer is laminated on a base material by the above-mentioned method will be described using the above-mentioned film for forming a conductive pattern.

基材上に透明電極層を積層した部材上に本発明の導電パターン形成用フィルムを転写する方法としては、例えば、基材上に透明電極層を積層した部材に感光性組成物の乾燥膜が接するように、基板上に本発明の導電パターン形成用フィルムを積層した後、ニップローラー等を用いて加熱加圧することにより転写する方法が挙げられる。以下、この方法を熱転写と呼ぶ。転写性を向上させるためには、ニップローラーを50〜120℃に加熱して転写することが好ましい。 As a method of transferring the film for forming a conductive pattern of the present invention onto a member in which a transparent electrode layer is laminated on a base material, for example, a dry film of a photosensitive composition is formed on a member in which a transparent electrode layer is laminated on a base material. Examples thereof include a method in which the film for forming a conductive pattern of the present invention is laminated on a substrate so as to be in contact with each other, and then transferred by heating and pressurizing using a nip roller or the like. Hereinafter, this method is referred to as thermal transfer. In order to improve the transferability, it is preferable to heat the nip roller to 50 to 120 ° C. for transfer.

フォトリソグラフィー法により導電パターンを形成する場合において、感光性組成物の乾燥膜に、任意のパターン形成用マスクを介して露光することが好ましい。本発明の導電パターン形成用フィルムを転写することにより乾燥膜を設ける方法を用いた場合には、導電パターン形成用フィルムの離型性フィルム越しに露光してもよいし、離型性フィルムを剥離した後に露光してもよい。露光の光源としては、水銀灯のi線(365nm)、h線(405nm)またはg線(436nm)が好ましく用いられる。 When forming a conductive pattern by a photolithography method, it is preferable to expose the dry film of the photosensitive composition through an arbitrary pattern forming mask. When the method of providing the dry film by transferring the conductive pattern forming film of the present invention is used, the film may be exposed through the releasable film of the conductive pattern forming film, or the releasable film may be peeled off. After that, it may be exposed. As a light source for exposure, i-line (365 nm), h-line (405 nm) or g-line (436 nm) of a mercury lamp is preferably used.

露光後、現像液を用いて現像することにより、未露光部を溶解除去して、所望のパターンを得る。本発明の導電パターン形成用フィルムを転写することにより乾燥膜を設ける方法を用いた場合には、離型性フィルムを剥離した後に現像を行うことが好ましい。別の態様として、本発明の導電パターン形成用フィルムに対して、乾燥膜の露光および現像を上記と同様に行った後、得られたパターンを基材に転写する方法も採用することができる。 After the exposure, the unexposed portion is dissolved and removed by developing with a developing solution to obtain a desired pattern. When the method of providing a dry film by transferring the conductive pattern forming film of the present invention is used, it is preferable to perform development after peeling off the releasable film. As another aspect, a method of exposing and developing a dry film on the conductive pattern forming film of the present invention in the same manner as described above and then transferring the obtained pattern to a substrate can also be adopted.

現像方法およびキュア方法は、前述に例示したのと同様の方法が挙げられる。 Examples of the developing method and the curing method include the same methods as those exemplified above.

本発明の積層部材や導電パターン形成用フィルムを用いて得られる導電パターンは、タッチパネル、積層セラミックコンデンサ、積層インダクタ、太陽電池等に用いられる配線付基板用途に好適に用いられる。中でも、タッチパネル用途に好適であり、視認されにくさの要求が比較的低い周囲配線、特に、フレキシブルタイプのタッチパネルにおいて、導電性繊維を用いた透明電極と組み合わせる周囲配線として、より好適に用いられる。 The conductive pattern obtained by using the laminated member of the present invention or the film for forming a conductive pattern is suitably used for a substrate with wiring used for a touch panel, a laminated ceramic capacitor, a laminated inductor, a solar cell, or the like. Among them, it is more preferably used as a peripheral wiring which is suitable for a touch panel application and has a relatively low demand for difficulty in being visually recognized, particularly as a peripheral wiring to be combined with a transparent electrode using a conductive fiber in a flexible type touch panel.

以下に本発明を実施例および比較例を挙げて詳細に説明するが、本発明の態様はこれらに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the embodiments of the present invention are not limited thereto.

各実施例における評価方法は、以下の通りである。 The evaluation method in each example is as follows.

<微細加工性(微細配線の形成)>
実施例1〜17および比較例1〜2については、膜厚50μmのPETフィルム“ルミラー”(登録商標)T60(東レ(株)製)上に、実施例1〜17および比較例1〜2により得られた感光性組成物を、乾燥後の膜厚が3μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。
<Micro workability (formation of fine wiring)>
For Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 to 2, the PET films "Lumirror" (registered trademark) T60 (manufactured by Toray Industries, Inc.) having a film thickness of 50 μm were subjected to Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 to 2. The obtained photosensitive composition was applied so that the film thickness after drying was 3 μm, and dried in a drying oven at 100 ° C. for 5 minutes.

実施例18については、離型性フィルムAL−5(リンテック社(株)製、剥離力1480mN/20mm、膜厚16μm)の剥離層面上に、実施例18により得られた感光性組成物を、乾燥後の膜厚が3μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥し、導電パターン形成用フィルムを得た。引き続き、乾燥膜がPETフィルム“ルミラー”(登録商標)T60(東レ(株)製)に接するように、ラミネーターを用いて60℃、1.0m/分の速度で、PETフィルムと導電パターン形成用フィルムを熱圧着した。 In Example 18, the photosensitive composition obtained in Example 18 was applied onto the release layer surface of the release film AL-5 (manufactured by Lintec Corporation, peeling force 1480 mN / 20 mm, film thickness 16 μm). The film was applied so that the film thickness after drying was 3 μm, and dried in a drying oven at 100 ° C. for 5 minutes to obtain a film for forming a conductive pattern. Subsequently, for forming a conductive pattern with the PET film at a speed of 1.0 m / min at 60 ° C. using a laminator so that the dry film is in contact with the PET film "Lumirror" (registered trademark) T60 (manufactured by Toray Industries, Inc.). The film was thermocompression bonded.

露光部の線太り量を考慮し、得られる導電パターンが一定のラインアンドスペース(以下、L/Sと称す)になるように調整したフォトマスクを介して、超高圧水銀ランプを有する露光装置(PEM−6M;ユニオン光学(株)製)を用いて、露光量500mJ/cm(波長365nm換算)で全線露光を行った。実施例18は、離型性フィルム面にフォトマスクを密着させ、同様に露光量300mJ/cm(波長365nm換算)で全線露光した。 An exposure apparatus having an ultra-high pressure mercury lamp (hereinafter referred to as L / S) via a photomask adjusted so that the obtained conductive pattern has a constant line and space (hereinafter referred to as L / S) in consideration of the amount of line thickness of the exposed portion. Using PEM-6M; manufactured by Union Optical Co., Ltd., full-line exposure was performed at an exposure amount of 500 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm conversion). In Example 18, a photomask was brought into close contact with the releasable film surface, and the entire line was similarly exposed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm conversion).

露光後、0.1重量%のNaCO水溶液を用いて、20秒間スプレー現像し、超純水によりリンス処理を行った。その後、熱風オーブンを用いて、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、5種類のL/Sの値が異なる感光性組成物の硬化物パターン(導電パターン)を得た。各ユニットのL/Sの値は30/30、20/20、15/15および10/10である。得られた導電パターンを、光学顕微鏡で観察した。パターン間に残渣がなく、かつパターン剥がれのない導電パターンのうち、最も小さいL/Sの値を現像可能なL/Sの値とし、微細加工性を評価した。L/Sの値が小さいほど微細加工が良好であることを示す。 After the exposure, the mixture was spray-developed for 20 seconds using a 0.1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and rinsed with ultrapure water. Then, using a hot air oven, heat treatment (cure) was performed at 140 ° C. for 30 minutes to obtain a cured product pattern (conductive pattern) of five types of photosensitive compositions having different L / S values. The L / S values of each unit are 30/30, 20/20, 15/15 and 10/10. The obtained conductive pattern was observed with an optical microscope. Among the conductive patterns having no residue between patterns and no pattern peeling, the smallest L / S value was set as the developable L / S value, and the microfabrication was evaluated. The smaller the L / S value, the better the microfabrication.

<導電性(比抵抗)>
実施例1〜17および比較例1〜2については、膜厚50μmのPETフィルム“ルミラー”(登録商標)T60上に、実施例1〜17および比較例1〜2により得られた感光性組成物を、乾燥後の膜厚が3μmになるように塗布し、塗布膜を100℃の温度の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。
<Conductivity (specific resistance)>
For Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 and 2, the photosensitive compositions obtained in Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 and 2 were obtained on a PET film "Lumirror" (registered trademark) T60 having a film thickness of 50 μm. Was applied so that the film thickness after drying was 3 μm, and the coating film was dried in a drying oven at a temperature of 100 ° C. for 5 minutes.

実施例18については、前記離型性フィルムAL−5の剥離層面上に、実施例18により得られた感光性組成物を、乾燥後の膜厚が3μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥し、導電パターン形成用フィルムを得た。引き続き、乾燥膜がPETフィルム“ルミラー”(登録商標)T60に接するように、ラミネーターを用いて60℃、1.0m/分の速度で、PETフィルムと導電パターン形成用フィルムを熱圧着した。 In Example 18, the photosensitive composition obtained in Example 18 was applied onto the release layer surface of the release film AL-5 so that the film thickness after drying was 3 μm, and the temperature was 100 ° C. It was dried in a drying oven for 5 minutes to obtain a film for forming a conductive pattern. Subsequently, the PET film and the conductive pattern forming film were thermocompression bonded using a laminator at a speed of 1.0 m / min at 60 ° C. so that the dry film was in contact with the PET film “Lumilar” (registered trademark) T60.

フォトマスクを介して、上記<微細加工性>に記載の条件で露光および現像を行い、配線パターンを得た。得られた配線パターンサンプルを140℃の熱風オーブン内で、30分間加熱処理(キュア)して、図1に示す比抵抗測定用サンプルを得た。図1において、符号1は感光性組成物の硬化物からなる導電パターン、符号2はPETフィルム、Aは比抵抗測定用サンプルの一方の短辺、Bは比抵抗測定用サンプルの他方の短辺を示す。得られた比抵抗測定用サンプルのそれぞれの導電パターン1の端部をテスター(CDM−2000D;(株)カスタム製)でつないで抵抗値を測定し、下記式(1)に基づいて比抵抗を算出し、導電性を評価した。
比抵抗(Ω・cm)={抵抗値(Ω)×膜厚(m)×線幅(m)}/{ライン長(m)×100} ・・・ (1)。
A wiring pattern was obtained by exposure and development under the conditions described in the above <fine processability> via a photomask. The obtained wiring pattern sample was heat-treated (cured) for 30 minutes in a hot air oven at 140 ° C. to obtain a sample for resistivity measurement shown in FIG. In FIG. 1, reference numeral 1 is a conductive pattern made of a cured product of a photosensitive composition, reference numeral 2 is a PET film, A is one short side of a resistivity measurement sample, and B is the other short side of a resistivity measurement sample. Is shown. Connect the ends of each conductive pattern 1 of the obtained resistivity measurement sample with a tester (CDM-2000D; manufactured by Custom Co., Ltd.), measure the resistance value, and determine the resistivity based on the following formula (1). It was calculated and the conductivity was evaluated.
Specific resistance (Ω · cm) = {resistance value (Ω) x film thickness (m) x line width (m)} / {line length (m) x 100} ... (1).

<耐屈曲性>
上記<導電性(比抵抗)>に記載の方法により得られた図1に示す比抵抗測定用サンプルを、面状態無負荷U字伸縮試験機DLDMLH−FS(ユアサシステム機器(株))に、導電パターンが山折になるようセットし、図1に示す短辺Aと短辺Bとの距離が10mmになるまで近づけては元に戻す屈曲動作を1万回繰り返した。試験前後の配線抵抗値を測定し、下記の式(2)に示す変化率から耐屈曲性を評価した。変化率の値が小さいほど耐屈曲性に優れていることを示す。
変化率(%)={試験後の配線抵抗値(Ω)/試験前の配線抵抗値(Ω)}×100・・・(2)。
<Bending resistance>
The sample for specific resistance measurement shown in FIG. 1 obtained by the method described in the above <Conductivity (specific resistance)> was applied to a surface state no-load U-shaped expansion / contraction tester DLDMLH-FS (Yuasa System Co., Ltd.). The bending operation was repeated 10,000 times in which the conductive pattern was set so as to form a mountain fold, and the short side A and the short side B shown in FIG. 1 were brought close to each other until the distance was 10 mm and then restored. The wiring resistance values before and after the test were measured, and the bending resistance was evaluated from the rate of change shown in the following equation (2). The smaller the value of the rate of change, the better the bending resistance.
Rate of change (%) = {Wiring resistance value after test (Ω) / Wiring resistance value before test (Ω)} × 100 ... (2).

<高温高湿環境下における導電性(抵抗値比)>
各実施例および比較例により得られた抵抗値測定用サンプルの上面模式図を図2に、その断面模式図を図3に示す。図2および図3において、符号2はPETフィルム、符号3は導電パターン、符号4は透明電極パターン、符号5はテスターを示す。透明電極パターン上のC地点およびD地点にテスター(CDM−2000D;(株)カスタム製)を接触させ、2地点間の初期抵抗値R1を測定した。その後、抵抗値測定用サンプルを、85℃、85%RHの恒温恒湿槽SH−661(エスペック(株)製)に72時間投入した後、サンプルを取り出し、初期抵抗値R1を測定した2地点間の抵抗値R2を測定した。R1に対するR2の比(R2/R1)を抵抗値比(Rr)とし、下記基準により評価した。
A:1<Rr≦5
B:5<Rr
C:導通なし。
<Conductivity in high temperature and high humidity environment (resistance value ratio)>
FIG. 2 shows a schematic top view of the resistance value measurement sample obtained in each Example and Comparative Example, and FIG. 3 shows a schematic cross-sectional view thereof. In FIGS. 2 and 3, reference numeral 2 is a PET film, reference numeral 3 is a conductive pattern, reference numeral 4 is a transparent electrode pattern, and reference numeral 5 is a tester. A tester (CDM-2000D; manufactured by Custom Co., Ltd.) was brought into contact with points C and D on the transparent electrode pattern, and the initial resistance value R1 between the two points was measured. After that, the sample for resistance value measurement was put into a constant temperature and humidity chamber SH-661 (manufactured by ESPEC CORPORATION) at 85 ° C. and 85% RH for 72 hours, then the sample was taken out and the initial resistance value R1 was measured at two points. The resistance value R2 between them was measured. The ratio of R2 to R1 (R2 / R1) was defined as the resistance value ratio (Rr) and evaluated according to the following criteria.
A: 1 <Rr ≦ 5
B: 5 <Rr
C: No continuity.

実施例、比較例で用いた材料は以下の通りである。 The materials used in the examples and comparative examples are as follows.

[有機酸塩(A)]
・酢酸ナトリウム(アルカリ金属化合物)
・酢酸カリウム(アルカリ金属化合物)
・ステアリン酸ナトリウム(アルカリ金属化合物)
・ステアリン酸カリウム(アルカリ金属化合物)
・酢酸カルシウム(アルカリ土類金属化合物)
・ステアリン酸カルシウム(アルカリ土類金属化合物)。
[Organic acid salt (A)]
・ Sodium acetate (alkali metal compound)
・ Potassium acetate (alkali metal compound)
・ Sodium stearate (alkali metal compound)
・ Potassium stearate (alkali metal compound)
・ Calcium acetate (alkaline earth metal compound)
-Calcium stearate (alkaline earth metal compound).

[有機酸(B)]
・アジピン酸
・(E)−2−(ヘキサ‐4−エチル) サクシン酸
・2−プロピルサクシン酸
・3−ヘキシルペンタンジオイック酸
・2−ヘキシルマロン酸
・2−(3−エトキシプロピル)サクシン酸
・2−(3−エトキシブチル)サクシン酸
・(E)−2(ヘキサ−1−エニル)サクシン酸。
[Organic acid (B)]
・ Adipic acid ・ (E) -2- (hex-4-ethyl) succinic acid ・ 2-propyl succinic acid ・ 3-hexylpentanedioic acid ・ 2-hexyl malonic acid ・ 2- (3-ethoxypropyl) succinic acid -2- (3-ethoxybutyl) succinic acid- (E) -2 (hexa-1-enyl) succinic acid.

[カルボキシル基含有樹脂(C)]
(合成例1)カルボキシル基含有アクリル系共重合体(C−1)
窒素雰囲気の反応容器中に、150gのジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(以下、「DMEA」)を仕込み、オイルバスを用いて80℃まで昇温した。これに、20gのエチルアクリレート(以下、「EA」)、20gのメタクリル酸2−エチルヘキシル(以下、「2−EHMA」)、20gのn−ブチルアクリレート(以下、「BA」)、15gのN−メチロールアクリルアミド(以下、「MAA」)、25gのアクリル酸(以下、「AA」)、0.8gの2,2’−アゾビスイソブチロニトリルおよび10gのDMEAからなる混合物を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で6時間加熱して重合反応を行った。その後、1gのハイドロキノンモノメチルエーテルを添加して、重合反応を停止した。得られた反応溶液をメタノールで精製することにより未反応不純物を除去し、さらに24時間真空乾燥することにより、共重合比率(重量基準):EA/2−EHMA/BA/MAA/AA=20/20/20/15/25の、カルボキシル基含有アクリル系共重合体(C−1)を得た。得られたカルボキシル基含有アクリル系共重合体(C−1)の酸価は153mgKOH/gであった。
[Carboxylic group-containing resin (C)]
(Synthesis Example 1) Carboxyl Group-Containing Acrylic Copolymer (C-1)
150 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate (hereinafter, “DMEA”) was charged in a reaction vessel having a nitrogen atmosphere, and the temperature was raised to 80 ° C. using an oil bath. To this, 20 g of ethyl acrylate (hereinafter, "EA"), 20 g of 2-ethylhexyl methacrylate (hereinafter, "2-EHMA"), 20 g of n-butyl acrylate (hereinafter, "BA"), and 15 g of N- A mixture of trimethylolacrylamide (“MAA”), 25 g acrylic acid (“AA”), 0.8 g 2,2'-azobisisobutyronitrile and 10 g DMEA over 1 hour. Dropped. After completion of the dropping, the polymerization reaction was carried out by further heating at 80 ° C. for 6 hours. Then, 1 g of hydroquinone monomethyl ether was added to terminate the polymerization reaction. The obtained reaction solution was purified with methanol to remove unreacted impurities, and vacuum dried for 24 hours to obtain a copolymerization ratio (weight basis): EA / 2-EHMA / BA / MAA / AA = 20 /. A carboxyl group-containing acrylic copolymer (C-1) of 20/20/15/25 was obtained. The acid value of the obtained carboxyl group-containing acrylic copolymer (C-1) was 153 mgKOH / g.

(合成例2)不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有アクリル系共重合体(C−2)
窒素雰囲気の反応容器中に、150gのDMEAを仕込み、オイルバスを用いて80℃まで昇温した。これに、20gのEA、40gの2−EHMA、20gのBA、15gのAA、0.8gの2,2’−アゾビスイソブチロニトリルおよび10gのDMEAからなる混合物を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で6時間加熱して重合反応を行った。その後、1gのハイドロキノンモノメチルエーテルを添加して、重合反応を停止した。引き続き、5gのグリシジルメタクリレート(以下、「GMA」)、1gのトリエチルベンジルアンモニウムクロライドおよび10gのDMEAからなる混合物を、0.5時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに2時間加熱して付加反応を行った。得られた反応溶液をメタノールで精製することにより未反応不純物を除去し、さらに24時間真空乾燥することにより、共重合比率(質量基準):EA/2−EHMA/BA/GMA/AA=20/40/20/5/15の、不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有アクリル系共重合体(C−2)を得た。得られたカルボキシル基含有アクリル系共重合体(C−2)の酸価は107mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 2) Carboxyl group-containing acrylic copolymer having an unsaturated double bond (C-2)
150 g of DMEA was charged in a reaction vessel having a nitrogen atmosphere, and the temperature was raised to 80 ° C. using an oil bath. A mixture of 20 g of EA, 40 g of 2-EHMA, 20 g of BA, 15 g of AA, 0.8 g of 2,2'-azobisisobutyronitrile and 10 g of DMEA was added dropwise thereto over 1 hour. did. After completion of the dropping, the polymerization reaction was carried out by further heating at 80 ° C. for 6 hours. Then, 1 g of hydroquinone monomethyl ether was added to terminate the polymerization reaction. Subsequently, a mixture consisting of 5 g of glycidyl methacrylate (“GMA”), 1 g of triethylbenzylammonium chloride and 10 g of DMEA was added dropwise over 0.5 hours. After completion of the dropping, the addition reaction was carried out by heating for another 2 hours. Unreacted impurities were removed by purifying the obtained reaction solution with methanol, and the copolymer was vacuum-dried for 24 hours to achieve a copolymerization ratio (mass basis): EA / 2-EHMA / BA / GMA / AA = 20 /. A carboxyl group-containing acrylic copolymer (C-2) having an unsaturated double bond of 40/20/5/15 was obtained. The acid value of the obtained carboxyl group-containing acrylic copolymer (C-2) was 107 mgKOH / g.

(合成例3)ウレタン結合を有するカルボキシル基含有樹脂(C−3)
窒素雰囲気の反応容器中に、368.0gのRE−310S(日本化薬(株)製;エポキシ当量:184.0g/当量)、141.2gのAA、1.02gのハイドロキノンモノメチルエーテルおよび1.53gのトリフェニルホスフィンを仕込み、98℃の温度で反応液の酸価が0.5mgKOH/g以下になるまで加熱して反応させ、エポキシカルボキシレート化合物を得た。その後、この反応溶液に755.5gのDMEA、268.3gの2,2−ビス(ジメチロール)−プロピオン酸、1.08gの2−メチルハイドロキノンおよび140.3gのスピログリコールを加え、45℃に昇温した。この溶液に485.2gのトリメチルヘキサメチレンジイソシアネートを、反応温度が65℃を超えないように徐々に滴下した。滴下終了後、反応温度を80℃に上昇させ、赤外吸収スペクトル測定法により、2250cm−1付近の吸収がなくなるまで6時間加熱して反応させ、ウレタン結合を有するカルボキシル基含有樹脂(C−3)を得た。得られたウレタン結合を有するカルボキシル基含有樹脂(C−3)の酸価は80.0mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 3) Carboxylic group-containing resin having urethane bond (C-3)
In a reaction vessel with a nitrogen atmosphere, 368.0 g of RE-310S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd .; epoxy equivalent: 184.0 g / equivalent), 141.2 g of AA, 1.02 g of hydroquinone monomethyl ether and 1. 53 g of triphenylphosphine was charged and heated at a temperature of 98 ° C. until the acid value of the reaction solution became 0.5 mgKOH / g or less to react to obtain an epoxy carboxylate compound. Then, 755.5 g of DMEA, 268.3 g of 2,2-bis (dimethylol) -propionic acid, 1.08 g of 2-methylhydroquinone and 140.3 g of spiroglycol were added to the reaction solution, and the temperature was raised to 45 ° C. It was warm. 485.2 g of trimethylhexamethylene diisocyanate was gradually added dropwise to this solution so that the reaction temperature did not exceed 65 ° C. After completion of the dropping, the reaction temperature was raised to 80 ° C., and the reaction was carried out by heating for 6 hours until absorption near 2250 cm- 1 disappeared by infrared absorption spectroscopy, and the reaction was carried out. ) Was obtained. The acid value of the obtained carboxyl group-containing resin (C-3) having a urethane bond was 80.0 mgKOH / g.

[光重合開始剤(D)]
・“IRGACURE”OXE01(BASFジャパン(株)製、オキシム系化合物)(以下、OXE01と称す)。
[Photopolymerization Initiator (D)]
-"IRGACURE" OXE01 (Oxime compound manufactured by BASF Japan Ltd.) (hereinafter referred to as OXE01).

[不飽和二重結合を有する化合物(E)]
・“ライトアクリレート”(登録商標)BP−4EA(共栄社化学(株)製)
[導電性粒子(F)]
・粒子径(D50)0.7μm、アスペクト比1.1のAg粒子。
[Compound (E) having an unsaturated double bond]
・ "Light Acrylate" (registered trademark) BP-4EA (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
[Conductive particles (F)]
-Ag particles having a particle diameter (D50) of 0.7 μm and an aspect ratio of 1.1.

[透明電極材料]
・銀繊維(線径5nm、線長5μm)。
[Transparent electrode material]
-Silver fiber (wire diameter 5 nm, wire length 5 μm).

[オーバーコート樹脂]
(合成例4)
窒素雰囲気の反応容器中に、150gのDMEAを仕込み、オイルバスを用いて80℃まで昇温した。これに、25gのEA、40gの2−EHMA、25gのBA、10gのMAA、0.8gの2,2−アゾビスイソブチロニトリルおよび10gのDMEAからなる混合物を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに6時間加熱して重合反応を行った。その後、1gのハイドロキノンモノメチルエーテルを添加して、重合反応を停止した。得られた反応溶液をメタノールで精製することで未反応不純物を除去し、さらに24時間真空乾燥することにより、共重合比率(質量基準):EA/2−EHMA/BA/MAA=25/40/25/10のオーバーコート樹脂を得た。
[Overcoat resin]
(Synthesis Example 4)
150 g of DMEA was charged in a reaction vessel having a nitrogen atmosphere, and the temperature was raised to 80 ° C. using an oil bath. To this was added a mixture of 25 g EA, 40 g 2-EHMA, 25 g BA, 10 g MAA, 0.8 g 2,2-azobisisobutyronitrile and 10 g DMEA over 1 hour. .. After completion of the dropping, the mixture was further heated for 6 hours to carry out a polymerization reaction. Then, 1 g of hydroquinone monomethyl ether was added to terminate the polymerization reaction. Unreacted impurities were removed by purifying the obtained reaction solution with methanol, and vacuum dried for 24 hours to obtain a copolymerization ratio (mass basis): EA / 2-EHMA / BA / MAA = 25/40 /. A 25/10 overcoat resin was obtained.

(実施例1)
(透明電極層の形成)
純水に銀繊維とドデシルペンタエチレングリコールを分散させた銀繊維分散液を、膜厚50μmのPETフィルム“ルミラー”T60上に塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。その後、上記銀繊維上に、合成例4により得られたオーバーコート樹脂、不飽和二重結合を有する化合物(“ライトアクリレート”(登録商標)MPD−A;共栄社化学(株)製)および光重合開始剤(“IRGACURE”(登録商標)369:BASFジャパン(株)製)の100:50:1(重量比)混合物を塗布し、熱処理および乾燥して、厚さ4μmの透明電極層を形成した。透明電極層のシート抵抗を、抵抗率計(MCP−T610;三菱化学(株)製)を用いて、4端子4探針法定電流印加方式で測定したところ、そのシート抵抗は80Ω/□であった。また、顕微分光装置(OSP−SP2000;OLYMPUS(株)製)を用いて、前記PETフィルムの可視光領域における透過率をリファレンスとして透明電極層の透過スペクトルを測定したところ、波長域450〜650nmにおける光透過率は90%であった。
(Example 1)
(Formation of transparent electrode layer)
A silver fiber dispersion in which silver fibers and dodecylpentaethylene glycol were dispersed in pure water was applied onto a PET film "Lumilar" T60 having a thickness of 50 μm, and dried in a drying oven at 100 ° C. for 5 minutes. Then, on the silver fiber, the overcoat resin obtained in Synthesis Example 4, a compound having an unsaturated double bond (“light acrylate” (registered trademark) MPD-A; manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and photopolymerization A 100: 50: 1 (weight ratio) mixture of initiator (“IRGACURE”® 369: manufactured by BASF Japan Ltd.) was applied, heat-treated and dried to form a transparent electrode layer with a thickness of 4 μm. .. When the sheet resistance of the transparent electrode layer was measured using a resistivity meter (MCP-T610; manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) by a 4-terminal 4-probe method constant current application method, the sheet resistance was 80Ω / □. It was. Further, when the transmission spectrum of the transparent electrode layer was measured using a microscopic differential light device (OSP-SP2000; manufactured by OLYMPUS Corporation) with reference to the transmittance in the visible light region of the PET film, it was found in the wavelength range of 450 to 650 nm. The light transmittance was 90%.

(導電層の形成)
100mLクリーンボトルに、10.0gの不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有アクリル系共重合体(C−2)、0.50gのOXE01、5.0gのライトアクリレートBP−4EA、10.0gのDMEA、0.075gの酢酸ナトリウムおよび0.500gの(E)−2−(ヘキサ−4−エチル)サクシン酸を入れ、自転−公転真空ミキサー“あわとり錬太郎”(登録商標)ARE−310((株)シンキー製)を用いて混合して、26.08gの樹脂溶液(固形分61.6質量%)を得た。
(Formation of conductive layer)
In a 100 mL clean bottle, 10.0 g of a carboxyl group-containing acrylic copolymer (C-2) having an unsaturated double bond, 0.50 g of OXE01, 5.0 g of light acrylate BP-4EA, 10.0 g of Add DMEA, 0.075 g of sodium acetate and 0.500 g of (E) -2- (hex-4-ethyl) succinic acid, and rotate-revolve vacuum mixer "Awatori Rentaro" (registered trademark) ARE-310 (registered trademark). Mixing was performed using Shinky Co., Ltd. to obtain 26.08 g of a resin solution (solid content: 61.6% by mass).

得られた26.08gの樹脂溶液と、粒子径(D50)0.7μm、アスペクト比1.1のAg粒子48.22gを混ぜ合わせ、3本ローラーミル(EXAKT M−50;EXAKT社製)を用いて混練し、74.30gの感光性組成物を得た。表1に感光性組成物の組成を示す。 The obtained 26.08 g of the resin solution is mixed with 48.22 g of Ag particles having a particle diameter (D50) of 0.7 μm and an aspect ratio of 1.1, and a three-roller mill (EXAKT M-50; manufactured by EXAKT) is used. It was used and kneaded to obtain 74.30 g of a photosensitive composition. Table 1 shows the composition of the photosensitive composition.

前記透明電極層上に、得られた感光性組成物を、乾燥後の膜厚が3μmになるようにパターン塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。 The obtained photosensitive composition was patterned on the transparent electrode layer so that the film thickness after drying was 3 μm, and dried in a drying oven at 100 ° C. for 5 minutes.

フォトマスクを介さず、超高圧水銀ランプを有する露光装置(PEM−6M;ユニオン光学(株)製)を用いて、露光量500mJ/cm(波長365nm換算)で全線露光を行った。 A full-line exposure was performed with an exposure amount of 500 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm conversion) using an exposure apparatus (PEM-6M; manufactured by Union Optical Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp without using a photomask.

露光後、0.1重量%のNaCO水溶液を用いて、20秒間スプレー現像し、超純水によりリンス処理を行った。その後、熱風オーブンを用いて、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、図2および図3に示す抵抗値測定用サンプル(積層部材)を得た。 After the exposure, the mixture was spray-developed for 20 seconds using a 0.1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and rinsed with ultrapure water. Then, using a hot air oven, heat treatment (cure) was performed at 140 ° C. for 30 minutes to obtain samples (laminated members) for measuring resistance values shown in FIGS. 2 and 3.

得られた感光性組成物および積層部材を用いて、前述の方法により、微細加工性、導電性、耐屈曲性、高温高湿環境下における導電性低下をそれぞれ評価した。評価結果を表3に示す。 Using the obtained photosensitive composition and laminated member, the microfabrication, conductivity, bending resistance, and decrease in conductivity in a high temperature and high humidity environment were evaluated by the above-mentioned methods. The evaluation results are shown in Table 3.

(実施例2〜17、比較例1)
表1〜2に示す組成の感光性組成物を実施例1と同じ方法で作製し、得られた感光性組成物を用いて実施例1と同様にして積層部材を作製し、評価を行った。評価結果を表3に示す。
(Examples 2 to 17, Comparative Example 1)
Photosensitive compositions having the compositions shown in Tables 1 and 2 were prepared in the same manner as in Example 1, and laminated members were prepared in the same manner as in Example 1 using the obtained photosensitive compositions, and evaluated. .. The evaluation results are shown in Table 3.

(実施例18)
(透明電極層の形成)
実施例1と同様にして、基材上に透明電極層を形成した。
(Example 18)
(Formation of transparent electrode layer)
A transparent electrode layer was formed on the base material in the same manner as in Example 1.

(導電層の形成)
表2に示す組成の感光性組成物を実施例1と同じ方法で作製し、得られた感光性組成物を前記離型性フィルムAL−5の剥離層面上に、乾燥後の膜厚が3μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥し、導電パターン形成用フィルムを得た。得られた導電パターン形成用フィルムを、導電パターンが形成された面が透明電極層に接するように、ラミネーターを用いて60℃、1.0m/分の速度で熱圧着した。
引き続き、乾燥膜がPETフィルム“ルミラー”(登録商標)T60に接するように、ラミネーターを用いて60℃、1.0m/分の速度で、PETフィルムと導電パターン形成用フィルムを熱圧着した。
(Formation of conductive layer)
A photosensitive composition having the composition shown in Table 2 was prepared in the same manner as in Example 1, and the obtained photosensitive composition was placed on the release layer surface of the release film AL-5, and the thickness after drying was 3 μm. And dried in a drying oven at 100 ° C. for 5 minutes to obtain a film for forming a conductive pattern. The obtained conductive pattern forming film was thermocompression bonded at 60 ° C. and 1.0 m / min using a laminator so that the surface on which the conductive pattern was formed was in contact with the transparent electrode layer.
Subsequently, the PET film and the conductive pattern forming film were thermocompression bonded using a laminator at a speed of 1.0 m / min at 60 ° C. so that the dry film was in contact with the PET film “Lumilar” (registered trademark) T60.

フォトマスクを介さず、超高圧水銀ランプを有する露光装置(PEM−6M;ユニオン光学(株)製)を用いて、離型性フィルム面に、露光量300mJ/cm(波長365nm換算)で全線露光した。 Using an exposure device (PEM-6M; manufactured by Union Optical Co., Ltd.) equipped with an ultra-high pressure mercury lamp without using a photomask, the entire line is exposed on the releasable film surface at an exposure of 300 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm conversion). Exposed.

露光後、0.1重量%のNaCO水溶液を用いて、20秒間スプレー現像し、超純水によりリンス処理を行った。その後、熱風オーブンを用いて、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、積層部材を作製し、実施例1と同様に評価を行った。評価結果を表3に示す。 After the exposure, the mixture was spray-developed for 20 seconds using a 0.1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and rinsed with ultrapure water. Then, using a hot air oven, heat treatment (cure) was performed at 140 ° C. for 30 minutes to prepare a laminated member, which was evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 3.

(比較例2)
(透明電極層の形成)
実施例1と同様にして、基材上に透明電極層を形成した。
(Comparative Example 2)
(Formation of transparent electrode layer)
A transparent electrode layer was formed on the base material in the same manner as in Example 1.

(導電層の形成)
100mLクリーンボトルに、10.0gの不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有アクリル系共重合体(C−2)、0.50gのOXE01、5gのライトアクリレートBP−4EA、10.0gのDMEAおよび0.24gのテトラメチルアンモニウムクロリドを入れ、自転−公転真空ミキサー“あわとり錬太郎”(登録商標)ARE−310((株)シンキー製)を用いて混合して、25.74gの樹脂溶液(固形分61.1質量%)を得た。
(Formation of conductive layer)
In a 100 mL clean bottle, 10.0 g of a carboxyl group-containing acrylic copolymer having an unsaturated double bond (C-2), 0.50 g of OXE01, 5 g of light acrylate BP-4EA, 10.0 g of DMEA and Add 0.24 g of tetramethylammonium chloride and mix using a rotation-copolymer vacuum mixer "Awatori Rentaro" (registered trademark) ARE-310 (manufactured by Shinky Co., Ltd.) to obtain 25.74 g of a resin solution ( Solid content 61.1% by mass) was obtained.

得られた25.74gの樹脂溶液と、粒子径(D50)0.7μm、アスペクト比1.1のAg粒子47.22gを混ぜ合わせ、3本ローラーミル(EXAKT M−50;EXAKT社製)を用いて混練し、72.96gの感光性導電ペーストを得た。得られた感光性組成物を用いて実施例1と同様にして積層部材を作製し、評価を行った。評価結果を表3に示す。 The obtained 25.74 g of the resin solution is mixed with 47.22 g of Ag particles having a particle diameter (D50) of 0.7 μm and an aspect ratio of 1.1, and a three-roller mill (EXAKT M-50; manufactured by EXAKT) is used. The mixture was kneaded using the mixture to obtain 72.96 g of a photosensitive conductive paste. Using the obtained photosensitive composition, a laminated member was prepared in the same manner as in Example 1 and evaluated. The evaluation results are shown in Table 3.

Figure 2020196212
Figure 2020196212

Figure 2020196212
Figure 2020196212

Figure 2020196212
Figure 2020196212

実施例1〜18の積層部材は、いずれも高温高湿環境における透明電極層の導電性低下を抑制することができ、また低抵抗の導電パターンを得ることができた。一方、導電層に有機酸塩を含有しない比較例1および2の積層部材は、高温高湿環境において透明電極層の導電性が低下した。 All of the laminated members of Examples 1 to 18 were able to suppress a decrease in conductivity of the transparent electrode layer in a high temperature and high humidity environment, and were able to obtain a low resistance conductive pattern. On the other hand, in the laminated members of Comparative Examples 1 and 2 in which the conductive layer does not contain an organic acid salt, the conductivity of the transparent electrode layer was lowered in a high temperature and high humidity environment.

1:導電パターン
2:PETフィルム
3:導電パターン
4:透明電極パターン
5:テスター
A:比抵抗測定用サンプルの一方の短辺
B:比抵抗測定用サンプルの他方の短辺
C:透明電極パターンのC地点
D:透明電極パターンのD地点
1: Conductive pattern 2: PET film 3: Conductive pattern 4: Transparent electrode pattern 5: Tester A: One short side of the resistivity measurement sample B: The other short side of the resistivity measurement sample C: Transparent electrode pattern Point C: Point D of the transparent electrode pattern

Claims (10)

基材上に、透明電極層及び導電層を有する積層部材であって、
前記透明電極層が、バインダー樹脂および導電性繊維を含有し、該導電性繊維の少なくとも一部が導電層と接しており、前記導電層が、有機酸塩(A)、有機酸(B)、カルボキシル基含有樹脂(C)、光重合開始剤(D)、不飽和二重結合を有する化合物(E)および導電性粒子(F)を含有する組成物の硬化物からなる積層部材。
A laminated member having a transparent electrode layer and a conductive layer on a base material.
The transparent electrode layer contains a binder resin and conductive fibers, and at least a part of the conductive fibers is in contact with the conductive layer, and the conductive layer is composed of an organic acid salt (A), an organic acid (B), and the like. A laminated member composed of a cured product of a composition containing a carboxyl group-containing resin (C), a photopolymerization initiator (D), a compound (E) having an unsaturated double bond, and conductive particles (F).
前記透明電極層が、バインダー樹脂層および導電性繊維層の積層部位を有し、前記導電層が、バインダー樹脂層と導電性繊維層とに接する請求項1記載の積層部材。 The laminated member according to claim 1, wherein the transparent electrode layer has a laminated portion of a binder resin layer and a conductive fiber layer, and the conductive layer is in contact with the binder resin layer and the conductive fiber layer. 前記透明電極層が、銀繊維を含有する請求項1または2記載の積層部材。 The laminated member according to claim 1 or 2, wherein the transparent electrode layer contains silver fibers. 前記透明電極層が、500Ω/□以下のシート抵抗を有する請求項1〜3のいずれか記載の積層部材。 The laminated member according to any one of claims 1 to 3, wherein the transparent electrode layer has a sheet resistance of 500 Ω / □ or less. 前記透明電極層が、80%以上の光透過率を有する請求項1〜4のいずれか記載の積層部材。 The laminated member according to any one of claims 1 to 4, wherein the transparent electrode layer has a light transmittance of 80% or more. 前記有機酸塩(A)が、有機酸と、アルカリ金属および/またはアルカリ土類金属との塩を含有する請求項1〜5のいずれか記載の積層部材。 The laminated member according to any one of claims 1 to 5, wherein the organic acid salt (A) contains a salt of an organic acid and an alkali metal and / or an alkaline earth metal. 前記有機酸(B)が、ジカルボン酸を含有する請求項1〜6のいずれか記載の積層部材。 The laminated member according to any one of claims 1 to 6, wherein the organic acid (B) contains a dicarboxylic acid. 離型性フィルム上に、有機酸塩(A)、有機酸(B)、カルボキシル基含有樹脂(C)、光重合開始剤(D)、不飽和二重結合を有する化合物(E)および導電性粒子(F)を含有する組成物の乾燥膜を有する導電パターン形成用フィルム。 On the releasable film, an organic acid salt (A), an organic acid (B), a carboxyl group-containing resin (C), a photopolymerization initiator (D), a compound (E) having an unsaturated double bond, and conductivity. A film for forming a conductive pattern having a dry film of a composition containing particles (F). 前記有機酸塩(A)の塩が、有機酸と、アルカリ金属および/またはアルカリ土類金属との塩を含有する請求項8記載の導電パターン形成用フィルム。 The film for forming a conductive pattern according to claim 8, wherein the salt of the organic acid salt (A) contains a salt of an organic acid and an alkali metal and / or an alkaline earth metal. 前記有機酸(B)が、ジカルボン酸を含有する請求項8または9記載の導電パターン形成用フィルム。
The film for forming a conductive pattern according to claim 8 or 9, wherein the organic acid (B) contains a dicarboxylic acid.
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