JP6717439B1 - Laminated material - Google Patents

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Abstract

微細加工可能で、金属繊維含有透明電極の高温高湿環境下における導電性低下を抑制することができる感光性導電ペーストおよび導電パターン形成用フィルム並びに積層部材を提供する。有機金属化合物(A)、カルボキシル基含有樹脂(B)、光重合開始剤(C)、不飽和二重結合を有する化合物(D)および導電性粒子(E)を含有する感光性導電ペーストである。また、基材上に、バインダー樹脂(X)および金属繊維を含有し、該金属繊維の少なくとも一部が露出した透明電極層と、導電層とを有する積層部材であって、前記導電層が、有機金属化合物(A)、バインダー樹脂(Y)および導電性粒子(E)を含有する組成物の硬化物からなる積層部材である。(EN) Provided are a photosensitive conductive paste, a conductive pattern forming film, and a laminated member which can be finely processed and can suppress a decrease in conductivity of a metal fiber-containing transparent electrode under a high temperature and high humidity environment. A photosensitive conductive paste containing an organometallic compound (A), a carboxyl group-containing resin (B), a photopolymerization initiator (C), a compound (D) having an unsaturated double bond, and conductive particles (E). .. Further, a laminated member having a transparent electrode layer containing a binder resin (X) and a metal fiber on a base material, at least a part of the metal fiber being exposed, and a conductive layer, wherein the conductive layer is: It is a laminated member composed of a cured product of a composition containing an organometallic compound (A), a binder resin (Y) and conductive particles (E).

Description

本発明は、感光性導電ペーストおよび導電パターン形成用フィルム並びに積層部材に関する。 The present invention relates to a photosensitive conductive paste, a conductive pattern forming film, and a laminated member.

近年、静電容量方式のタッチパネルの検討が盛んに進められている。静電容量タッチパネルは、表示領域の周辺に、透明電極と接続する周辺配線を有する。周辺配線の形成方法としては、導電ペーストを用いた、スクリーン印刷などの印刷法やフォトレジストを用いたフォトリソグラフィー法、微細加工可能な感光性導電ペーストを用いたフォトリソグラフィー法などが知られている。耐熱性の低い基板に周囲配線などの導電パターンを形成するためには、高温加熱により有機物を除去する焼成工程を経ることなく、絶縁性を有する有機物中において導電性粒子同士を接触させて導電パスを形成する必要がある。かかる技術に用いられる導電ペーストとして、例えば、アミノ基を有する化合物、カルボキシル基と不飽和二重結合を有する化合物、導電フィラー、光重合開始剤を含有する導電ペースト(例えば、特許文献1参照)などが提案されている。 2. Description of the Related Art In recent years, studies on capacitive touch panels have been actively conducted. The capacitive touch panel has a peripheral wiring connected to the transparent electrode around the display area. Known methods for forming the peripheral wiring include a printing method such as screen printing using a conductive paste, a photolithography method using a photoresist, and a photolithography method using a photosensitive conductive paste that can be microfabricated. .. In order to form a conductive pattern such as a peripheral wiring on a substrate having low heat resistance, conductive particles are brought into contact with each other in an insulating organic material without conducting a baking step of removing the organic material by heating at a high temperature, and a conductive path is formed. Need to be formed. As the conductive paste used in such a technique, for example, a compound having an amino group, a compound having a carboxyl group and an unsaturated double bond, a conductive filler, a conductive paste containing a photopolymerization initiator (see, for example, Patent Document 1), etc. Is proposed.

また、透明電極はITO(Indium−Tin−Oxide)が主流であった。しかしながら、近年のフレキシブル化の要求に対して、ITOは耐屈曲性が低いことが課題であった。そこで、金属繊維を用いた透明電極が検討されており、例えば、基材と、前記基材上に形成された、樹脂層Aと、前記樹脂層A上に形成された、繊維状銀を含有する透明電極層Bと、前記樹脂層A及び前記透明電極層B上に形成された、導電層Cと、を備える積層部材(例えば、特許文献2参照)などが提案されている。 In addition, ITO (Indium-Tin-Oxide) was mainly used for the transparent electrode. However, in response to the recent demand for flexibility, ITO has a problem of low bending resistance. Therefore, transparent electrodes using metal fibers have been studied, and include, for example, a base material, a resin layer A formed on the base material, and a fibrous silver formed on the resin layer A. There has been proposed a laminated member (see, for example, Patent Document 2) including a transparent electrode layer B to be formed, and a conductive layer C formed on the resin layer A and the transparent electrode layer B.

国際公開第2014/156677号International Publication No. 2014/156677 国際公開第2016/170943号International Publication No. 2016/170943

近年のフレキシブル化の要求に対して、透明電極として、ITOより耐屈曲性に優れる繊維状金属が注目されている。 In response to the recent demand for flexibility, a fibrous metal, which is superior in bending resistance to ITO, has been attracting attention as a transparent electrode.

特許文献1に記載の導電ペーストは、カルボキシル基によりフォトリソグラフィー法による微細加工が可能であるものの、特許文献2に記載の繊維状金属を用いた透明電極と組み合わせると、高温高湿環境下において、透明電極の導電性を低下させる課題があることが、本発明者らの検討により明らかになった。また、特許文献2に記載の積層部材もまた、高温高湿環境下において透明電極層の導電性が低下する課題があった。 Although the conductive paste described in Patent Document 1 can be finely processed by a photolithography method with a carboxyl group, when combined with the transparent electrode using the fibrous metal described in Patent Document 2, in a high temperature and high humidity environment, It has been clarified by the study of the present inventors that there is a problem of reducing the conductivity of the transparent electrode. Further, the laminated member described in Patent Document 2 also has a problem that the conductivity of the transparent electrode layer is reduced in a high temperature and high humidity environment.

そこで、本発明は、金属繊維含有透明電極と組み合わせて用いた場合にも、金属繊維含有透明電極の高温高湿環境下における導電性低下を抑制することができる感光性導電ペーストおよび導電パターン形成用フィルムを提供することを目的とする。 Therefore, the present invention, even when used in combination with a metal fiber-containing transparent electrode, it is possible to suppress a decrease in conductivity of the metal fiber-containing transparent electrode under high temperature and high humidity environment, and a photosensitive conductive paste and conductive pattern forming The purpose is to provide a film.

本発明は、前記課題を解決するため、主として以下の構成を有する。 In order to solve the above problems, the present invention mainly has the following configurations.

有機金属化合物(A)、カルボキシル基含有樹脂(B)、光重合開始剤(C)、不飽和二重結合を有する化合物(D)および導電性粒子(E)を含有する感光性導電ペースト。 A photosensitive conductive paste containing an organometallic compound (A), a carboxyl group-containing resin (B), a photopolymerization initiator (C), a compound (D) having an unsaturated double bond, and conductive particles (E).

基材I上に、透明電極層と、導電層とを有する積層部材であって、前記透明電極層が、バインダー樹脂(X)および金属繊維を含有し、該金属繊維の少なくとも一部が露出しており、前記導電層が、有機金属化合物(A)、バインダー樹脂(Y)および導電性粒子(E)を含有する組成物の硬化物からなる積層部材。 A laminated member having a transparent electrode layer and a conductive layer on a substrate I, wherein the transparent electrode layer contains a binder resin (X) and a metal fiber, and at least a part of the metal fiber is exposed. And the conductive layer comprises a cured product of a composition containing an organometallic compound (A), a binder resin (Y), and conductive particles (E).

本発明の感光性導電ペーストは、微細加工可能であり、金属繊維含有透明電極と組み合わせて用いても、高温高湿環境下における透明電極の導電性低下を抑制することができる。 The photosensitive conductive paste of the present invention can be finely processed, and even when used in combination with a metal fiber-containing transparent electrode, it is possible to suppress a decrease in conductivity of the transparent electrode under a high temperature and high humidity environment.

また、本発明の積層部材は、高温高湿環境下における透明電極層の導電性低下を抑制することができる。 Further, the laminated member of the present invention can suppress the decrease in conductivity of the transparent electrode layer under a high temperature and high humidity environment.

実施例において用いた比抵抗測定用サンプルの模式図である。It is a schematic diagram of the sample for specific resistance measurement used in the Example. 実施例において用いた抵抗値測定用サンプルの模式図である。It is a schematic diagram of the sample for resistance value measurement used in the Example. 実施例において用いた抵抗値測定用サンプルの断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the sample for resistance value measurement used in the Example.

<積層部材>
本発明の積層部材は、基材I上に、透明電極層と導電層を有する。
<Laminated member>
The laminated member of the present invention has a transparent electrode layer and a conductive layer on a substrate I.

<基材I>
基材Iとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムなどのポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルム、エポキシ樹脂基板、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ガラス基板、シリコンウエハー、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板、加飾層形成基板、絶縁層形成基板などが挙げられる。これらの中でも、吸水による光学特性の変化や寸法の変化が生じにくく、かつ透明度が高く、耐熱性が高くオリゴマーが生じにくいシクロオレフィンポリマー(COP)フィルムが好ましい。シクロオレフィンポリマーとしては、例えば、ノルボルネン系樹脂、単環の環状オレフィン系樹脂、環状共役ジエン系樹脂、ビニル脂環式炭化水素系樹脂およびこれらの水素化物などが挙げられる。これらの中でも、ノルボルネン系樹脂は、透明性と成形性が良好なため、好適に用いることができる。
<Substrate I>
Examples of the substrate I include polyester films such as polyethylene terephthalate (PET) films, polyimide films, aramid films, cycloolefin polymer (COP) films, epoxy resin substrates, polyetherimide resin substrates, polyetherketone resin substrates, and polysulfones. Examples thereof include a resin substrate, a glass substrate, a silicon wafer, an alumina substrate, an aluminum nitride substrate, a silicon carbide substrate, a decorative layer forming substrate, and an insulating layer forming substrate. Among these, a cycloolefin polymer (COP) film is preferable, which is unlikely to cause changes in optical properties and dimensions due to water absorption, has high transparency, has high heat resistance, and hardly causes oligomers. Examples of cycloolefin polymers include norbornene-based resins, monocyclic cyclic olefin-based resins, cyclic conjugated diene-based resins, vinyl alicyclic hydrocarbon-based resins, and hydrides thereof. Among these, the norbornene-based resin has good transparency and moldability, and thus can be preferably used.

基材Iの厚みは、5〜150μmが好ましい。基材Iの厚みが5μm以上であれば、透明電極層および導電層を形成する際に基材Iを安定に搬送することができ、透明電極層および導電層の厚みムラを抑制することができる。基材Iの厚みは、10μm以上がより好ましい。一方、基材Iの厚みが150μm以下であれば、感光性の組成物の硬化物からなる導電層を形成する場合において、基材Iの裏側(非パターン面)に回り込んだ露光光の回折の影響を小さくすることができ、微細加工性を向上させることができる。フィルム基材Iの場合、厚みは100μm以下がより好ましい。 The thickness of the substrate I is preferably 5 to 150 μm. When the thickness of the base material I is 5 μm or more, the base material I can be stably transported when forming the transparent electrode layer and the conductive layer, and uneven thickness of the transparent electrode layer and the conductive layer can be suppressed. .. The thickness of the substrate I is more preferably 10 μm or more. On the other hand, when the thickness of the substrate I is 150 μm or less, when forming a conductive layer made of a cured product of a photosensitive composition, the diffraction of the exposure light wrapping around the back side (non-patterned surface) of the substrate I Can be reduced, and the fine workability can be improved. In the case of the film substrate I, the thickness is more preferably 100 μm or less.

<透明電極層>
透明電極層は、バインダー樹脂(X)および金属繊維を含有し、金属繊維の少なくとも一部がバインダー樹脂(X)から露出した構造を有する。金属繊維は、透明電極層に導電性を付与する作用を有し、バインダー樹脂(X)は、金属繊維を保持するバインダーとしての作用を有する。透明電極層において、金属繊維は全てがバインダー樹脂(X)で覆われる必要はなく、繊維状の形状を有するために、その一部がバインダー樹脂(X)から露出した構造を有する。透明電極層は、少なくとも一部に、バインダー樹脂層と金属繊維を含む金属繊維層の積層構造を有することが好ましい。ただし、バインダー樹脂層に金属繊維を有してもよく、バインダー樹脂(X)と金属繊維を有する層は、バインダー樹脂層に分類するものとする。
<Transparent electrode layer>
The transparent electrode layer contains a binder resin (X) and metal fibers, and has a structure in which at least a part of the metal fibers is exposed from the binder resin (X). The metal fiber has a function of imparting conductivity to the transparent electrode layer, and the binder resin (X) has a function as a binder for holding the metal fiber. In the transparent electrode layer, all of the metal fibers do not need to be covered with the binder resin (X) and have a fibrous shape, so that a part of the metal fibers is exposed from the binder resin (X). At least a part of the transparent electrode layer preferably has a laminated structure of a binder resin layer and a metal fiber layer containing metal fibers. However, the binder resin layer may have metal fibers, and the layer having the binder resin (X) and the metal fibers is classified as a binder resin layer.

透明電極層の厚みは、導電性を向上させる観点から、0.01μm以上が好ましい。一方、透明電極層の厚みは、可視光透過性を向上させる観点から、4.0μm以下が好ましい。ここで、透明電極層の厚みとは、透明電極層がバインダー樹脂層および金属繊維層の積層構造を有する場合には、その合計厚みを指す。 The thickness of the transparent electrode layer is preferably 0.01 μm or more from the viewpoint of improving conductivity. On the other hand, the thickness of the transparent electrode layer is preferably 4.0 μm or less from the viewpoint of improving the visible light transmittance. Here, when the transparent electrode layer has a laminated structure of a binder resin layer and a metal fiber layer, the thickness of the transparent electrode layer means the total thickness thereof.

透明電極層の可視光透過性の観点から、波長450nm、550nm、650nmにおける光透過率は、それぞれ80%以上が好ましい。ここで、可視光透過性の指標として、青色光(450nm)、緑色光(550nm)、赤色光(650nm)の透過率に着目した。なお、透明電極層の光透過率は、分光光度計により測定することができる。 From the viewpoint of visible light transmittance of the transparent electrode layer, the light transmittance at wavelengths of 450 nm, 550 nm and 650 nm is preferably 80% or more. Here, attention was paid to the transmittance of blue light (450 nm), green light (550 nm), and red light (650 nm) as an index of visible light transmittance. The light transmittance of the transparent electrode layer can be measured by a spectrophotometer.

透明電極層の形成方法としては、例えば、バインダー樹脂層および金属繊維層の積層部位を有する透明電極層の場合、基材I上に金属繊維層を形成した後、バインダー樹脂層を、金属繊維の少なくとも一部が露出するような膜厚で形成する方法などが挙げられる。この場合、バインダー樹脂および金属繊維を含有するバインダー樹脂層と、金属繊維層の積層部位が形成される。 As a method for forming the transparent electrode layer, for example, in the case of a transparent electrode layer having a laminated portion of a binder resin layer and a metal fiber layer, after forming the metal fiber layer on the substrate I, the binder resin layer, the metal fiber of There is a method of forming the film so that at least a part of it is exposed. In this case, the binder resin layer containing the binder resin and the metal fiber and the laminated portion of the metal fiber layer are formed.

<バインダー樹脂(X)>
バインダー樹脂(X)としては、カルボキシル基含有樹脂が好ましく、アルカリ現像性を高め、透明電極層のパターン形成のためのフォトレジストとして作用することができる。カルボキシル基含有樹脂としては、例えば、アクリル系共重合体、カルボン酸変性エポキシ樹脂、カルボン酸変性フェノール樹脂、ポリアミック酸、カルボン酸変性シロキサンポリマーなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、紫外光透過率の高いアクリル系共重合体またはカルボン酸変性エポキシ樹脂が好ましく、カルボン酸変性エポキシ樹脂がより好ましい。
<Binder resin (X)>
As the binder resin (X), a carboxyl group-containing resin is preferable, which enhances alkali developability and can act as a photoresist for forming a pattern of the transparent electrode layer. Examples of the carboxyl group-containing resin include acrylic copolymers, carboxylic acid-modified epoxy resins, carboxylic acid-modified phenol resins, polyamic acids, and carboxylic acid-modified siloxane polymers. You may contain 2 or more types of these. Among these, an acrylic copolymer or a carboxylic acid-modified epoxy resin having a high ultraviolet light transmittance is preferable, and a carboxylic acid-modified epoxy resin is more preferable.

アクリル系共重合体としては、アクリル系モノマーと不飽和酸またはその酸無水物との共重合体が好ましい。 The acrylic copolymer is preferably a copolymer of an acrylic monomer and an unsaturated acid or its acid anhydride.

アクリル系モノマーとしては、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、n−ブチルアクリレート、iso−ブチルアクリレート、iso−プロパンアクリレート、グリシジルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコールアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、トリフロロエチルアクリレート、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、1−ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメルカプタンアクリレート、アリル化シクロヘキシルジアクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,3−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、アクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−n−ブトキシメチルアクリルアミド、N−イソブトキシメチルアクリルアミド、メタクリルフェノール、メタクリルアミドフェノール、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N−(2−ヒドロキシフェニル)アクリルアミド、N−(3−ヒドロキシフェニル)アクリルアミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)アクリルアミド、o−ヒドロキシフェニルアクリレート、m−ヒドロキシフェニルアクリレート、p−ヒドロキシフェニルアクリレート、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、2−(2−ヒドロキシフェニル)エチルアクリレート、2−(3−ヒドロキシフェニル)エチルアクリレート、2−(4−ヒドロキシフェニル)エチルアクリレートなどのフェノール性水酸基含有モノマーや、それらのアクリル基をメタクリル基に置換した化合物などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。これらの中でも、エチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレートが好ましい。 Examples of acrylic monomers include methyl acrylate, ethyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-butyl acrylate, iso-butyl acrylate, iso-propane acrylate, glycidyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, dicyclopentanyl acrylate, and dicyclopentanyl acrylate. Cyclopentenyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafluoro Pentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, thiophenol acrylate, benzyl mercaptan acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, Methoxylated cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, Propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, triglycerol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, acrylamide, N-methoxymethylacrylamide, N -Ethoxymethylacrylamide, Nn-butoxymethylacrylamide, N-isobutoxymethylacrylamide, methacrylphenol, methacrylamidephenol, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, N-(2-hydroxyphenyl)acrylamide, N-(3 -Hydroxyphenyl)acrylamide, N-(4-hydroxyphenyl)acrylamide, o-hydroxyphenyl acrylate, m-hydroxyphenyl Acrylate, p-hydroxyphenyl acrylate, o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, p-hydroxystyrene, 2-(2-hydroxyphenyl)ethyl acrylate, 2-(3-hydroxyphenyl)ethyl acrylate, 2-(4- Examples thereof include phenolic hydroxyl group-containing monomers such as hydroxyphenyl)ethyl acrylate, and compounds in which those acrylate groups are substituted with methacryl groups. You may use 2 or more types of these. Among these, ethyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, and isobornyl acrylate are preferable.

不飽和酸またはその酸無水物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、酢酸ビニルや、これらの酸無水物などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。不飽和酸の共重合比により、アクリル系共重合体の酸価を調整することができる。 Examples of unsaturated acids or acid anhydrides thereof include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetate, and acid anhydrides thereof. You may use 2 or more types of these. The acid value of the acrylic copolymer can be adjusted by the copolymerization ratio of the unsaturated acid.

カルボン酸変性エポキシ樹脂としては、エポキシ化合物と、不飽和酸または不飽和酸無水物との反応物が好ましい。ここで、カルボン酸変性エポキシ樹脂とは、エポキシ化合物のエポキシ基をカルボン酸またはカルボン酸無水物で変性したものであり、エポキシ基は含まれていない。 The carboxylic acid-modified epoxy resin is preferably a reaction product of an epoxy compound and an unsaturated acid or an unsaturated acid anhydride. Here, the carboxylic acid-modified epoxy resin is a compound obtained by modifying an epoxy group of an epoxy compound with a carboxylic acid or a carboxylic anhydride, and does not contain an epoxy group.

エポキシ化合物としては、例えば、グリシジルエーテル類、グリシジルアミン類、エポキシ樹脂などが挙げられる。より具体的には、グリシジルエーテル類としては、例えば、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールSジグリシジルエーテル、ビスフェノールフルオレンジグリシジルエーテル、ビフェノールジグリシジルエーテル、テトラメチルビフェノールグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートなどが挙げられる。グリシジルアミン類としては、例えば、tert−ブチルグリシジルアミンなどが挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 Examples of the epoxy compound include glycidyl ethers, glycidyl amines, and epoxy resins. More specifically, as the glycidyl ethers, for example, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, tripropylene glycol diglycidyl ether, Neopentyl glycol diglycidyl ether, bisphenol A diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol S diglycidyl ether, bisphenol full orange glycidyl ether, biphenol diglycidyl ether, tetramethyl biphenol glycidyl ether, Trimethylolpropane triglycidyl ether, 3′,4′-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate and the like can be mentioned. Examples of the glycidyl amines include tert-butyl glycidyl amine. Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, novolac type epoxy resin, and hydrogenated bisphenol A type epoxy resin. You may use 2 or more types of these.

前述のアクリル系共重合体やカルボン酸変性エポキシ樹脂に、グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和二重結合を有する化合物を反応させることにより、不飽和二重結合を導入することができる。カルボキシル基含有樹脂に不飽和二重結合を導入することにより、露光時に露光部の架橋密度を向上させ、現像マージンを広くすることができ、微細加工性を向上させることができる。 An unsaturated double bond can be introduced by reacting the above acrylic copolymer or carboxylic acid-modified epoxy resin with a compound having an unsaturated double bond such as glycidyl (meth)acrylate. By introducing an unsaturated double bond into the carboxyl group-containing resin, it is possible to improve the crosslink density of the exposed portion during exposure, widen the development margin, and improve the fine workability.

カルボキシル基含有樹脂の酸価は、50〜250mgKOH/gが好ましい。酸価が50mgKOH/g以上であれば、現像液への溶解度が高くなり、現像残渣の発生を抑制することができる。酸価は60mgKOH/g以上がより好ましい。一方、酸価が250mgKOH/g以下であれば、現像液への過度な溶解を抑え、パターン形成部の膜減りを抑制することができる。酸価は200mgKOH/g以下がより好ましい。なお、カルボキシル基含有樹脂の酸価は、JIS K 0070(1992)に準拠して測定することができる。 The acid value of the carboxyl group-containing resin is preferably 50 to 250 mgKOH/g. When the acid value is 50 mgKOH/g or more, the solubility in the developing solution is high, and the development residue can be suppressed. The acid value is more preferably 60 mgKOH/g or more. On the other hand, when the acid value is 250 mgKOH/g or less, excessive dissolution in the developing solution can be suppressed, and film loss in the pattern forming portion can be suppressed. The acid value is more preferably 200 mgKOH/g or less. The acid value of the carboxyl group-containing resin can be measured according to JIS K 0070 (1992).

カルボキシル基含有樹脂の酸価は、例えば、アクリル系共重合体の場合、構成成分中の不飽和酸の割合により、所望の範囲に調整することができる。カルボン酸変性エポキシ樹脂の場合、多塩基酸無水物を反応させることにより、所望の範囲に調整することができる。カルボン酸変性フェノール樹脂の場合、構成成分中の多塩基酸無水物の割合により、所望の範囲に調整することができる。 For example, in the case of an acrylic copolymer, the acid value of the carboxyl group-containing resin can be adjusted to a desired range by the ratio of unsaturated acid in the constituent components. In the case of a carboxylic acid-modified epoxy resin, it can be adjusted to a desired range by reacting a polybasic acid anhydride. In the case of a carboxylic acid-modified phenol resin, it can be adjusted to a desired range by the ratio of polybasic acid anhydride in the constituent components.

<金属繊維>
金属繊維としては、例えば、インジウム、スズ、亜鉛、ガリウム、アンチモン、チタン、ジルコニウム、マグネシウム、アルミニウム、金、銀、銅、パラジウム、タングステン、または、これら金属の酸化物や複合酸化物、からなる繊維などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。金属酸化物や金属複合酸化物としては、例えば、ITO、インジウム亜鉛酸化物、酸化インジウム−酸化亜鉛複合酸化物、アルミニウム亜鉛酸化物、ガリウム亜鉛酸化物、フッ素亜鉛酸化物、フッ素インジウム酸化物、アンチモンスズ酸化物、フッ素スズ酸化物などが挙げられる。これらの中でも、導電性の観点から、銀、金および銅から選ばれる金属の繊維が好ましく、コストおよび安定性の観点から銀繊維がより好ましい。
<Metal fiber>
Examples of the metal fiber include fibers made of indium, tin, zinc, gallium, antimony, titanium, zirconium, magnesium, aluminum, gold, silver, copper, palladium, tungsten, or oxides or complex oxides of these metals. And so on. You may contain 2 or more types of these. Examples of the metal oxides and metal composite oxides include ITO, indium zinc oxide, indium oxide-zinc oxide composite oxide, aluminum zinc oxide, gallium zinc oxide, fluorine zinc oxide, fluorine indium oxide, antimony. Examples thereof include tin oxide and fluorine tin oxide. Among these, metal fibers selected from silver, gold and copper are preferable from the viewpoint of conductivity, and silver fibers are more preferable from the viewpoint of cost and stability.

金属繊維は、その形状により金属同士の接触確率が高いため、導電性に優れる。また、透明電極層を視認されにくくする効果を奏する。 The metal fiber has a high probability of contact between metals due to its shape, and thus has excellent conductivity. Further, it has an effect of making the transparent electrode layer less visible.

金属繊維の繊維径は、1nm以上が好ましく、3nm以上がより好ましい。一方、金属繊維の繊維径は、50nm以下が好ましく、10nm以下がより好ましい。また、金属繊維の繊維長は、1μm以上が好ましく、3μm以上がより好ましい。一方、金属繊維の繊維長は、500μm以下が好ましく、100μm以下がより好ましく、10μm以下がさらに好ましい。なお、金属繊維の繊維径および繊維長は、走査型電子顕微鏡(SEM)または透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて、倍率200〜5000倍で金属繊維を観察し、無作為に選択した100本の金属繊維について、それぞれの繊維径および繊維長を測定し、それぞれの数平均値から算出することができる。 The fiber diameter of the metal fiber is preferably 1 nm or more, more preferably 3 nm or more. On the other hand, the fiber diameter of the metal fiber is preferably 50 nm or less, more preferably 10 nm or less. The fiber length of the metal fiber is preferably 1 μm or more, more preferably 3 μm or more. On the other hand, the fiber length of the metal fiber is preferably 500 μm or less, more preferably 100 μm or less, still more preferably 10 μm or less. The fiber diameter and the fiber length of the metal fibers are 100 randomly selected by observing the metal fibers at a magnification of 200 to 5000 times using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM). With respect to the metal fiber, the respective fiber diameters and fiber lengths can be measured and calculated from the respective number average values.

金属繊維層の形成方法としては、例えば、スパッタリング法、イオンプレーティング法、コーティング法などが挙げられる。 Examples of the method for forming the metal fiber layer include a sputtering method, an ion plating method, and a coating method.

バインダー樹脂層の形成方法としては、例えば、バインダー樹脂溶液を所望の膜厚になるように塗布し、乾燥する方法などが挙げられる。バインダー樹脂溶液の塗布方法としては、例えば、スピナーを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーター、バーコーターを用いた塗布などが挙げられる。塗布膜の乾燥方法としては、例えば、オーブン、ホットプレート、赤外線等による加熱乾燥や、真空乾燥などが挙げられる。乾燥温度は50〜180℃が好ましく、乾燥時間は1分間〜数時間が好ましい。 Examples of the method for forming the binder resin layer include a method in which a binder resin solution is applied to a desired film thickness and then dried. Examples of the coating method of the binder resin solution include spin coating using a spinner, spray coating, roll coating, screen printing, coating using a blade coater, die coater, calendar coater, meniscus coater, and bar coater. Examples of the method for drying the coating film include heating and drying with an oven, a hot plate, infrared rays, and the like, and vacuum drying. The drying temperature is preferably 50 to 180° C., and the drying time is preferably 1 minute to several hours.

<導電層>
導電層は、有機金属化合物(A)、バインダー樹脂(Y)および導電性粒子(E)を含有する組成物の硬化物からなることが好ましい。導電層は、有機成分と無機成分との複合物となっており、導電性粒子(E)同士が、熱キュア時の原子拡散現象によって互いに接触することにより導電性が発現するものである。バインダー樹脂(Y)は、導電性粒子(E)を保持するバインダーとしての作用を有する。本発明者らは、かかる導電層との接触部位において、高温高湿環境下において透明電極層中の金属繊維が腐食し、透明電極層の抵抗値を増大させる、すなわち、導電性を低下させることを見出した。そこで、導電層に有機金属化合物(A)を含有することにより、透明電極層と導電層との界面への被膜形成を促進し、高温高湿環境下においても、透明電極層の金属繊維の腐食を抑制し、導電性低下を抑制することができることを見出した。また、導電層が周囲配線に用いられる場合には、表示領域に形成される透明電極層に比べて視認されにくいこと(非視認性)の要求が低いことから、透明電極層中に有機金属化合物(A)を含有する場合に比べて、有機金属化合物(A)の着色の影響を小さくすることができる。
<Conductive layer>
The conductive layer is preferably composed of a cured product of a composition containing the organometallic compound (A), the binder resin (Y) and the conductive particles (E). The conductive layer is a composite of an organic component and an inorganic component, and the conductive particles (E) are brought into contact with each other by an atom diffusion phenomenon during thermal curing, thereby exhibiting conductivity. The binder resin (Y) has a function as a binder that holds the conductive particles (E). The present inventors corrode the metal fibers in the transparent electrode layer under a high temperature and high humidity environment at the contact portion with the conductive layer, thereby increasing the resistance value of the transparent electrode layer, that is, decreasing the conductivity. Found. Therefore, by containing the organometallic compound (A) in the conductive layer, the film formation at the interface between the transparent electrode layer and the conductive layer is promoted, and the metal fiber of the transparent electrode layer is corroded even in a high temperature and high humidity environment. It was found that it is possible to suppress the decrease in conductivity and the decrease in conductivity. In addition, when the conductive layer is used for the peripheral wiring, the requirement for being less visible (non-visibility) is lower than that for the transparent electrode layer formed in the display area. The influence of coloring of the organometallic compound (A) can be reduced as compared with the case of containing (A).

また、本発明の感光性導電ペーストは、有機金属化合物(A)、カルボキシル基含有樹脂(B)、光重合開始剤(C)、不飽和二重結合を有する化合物(D)および導電性粒子(E)を含有することが好ましい。 Further, the photosensitive conductive paste of the present invention comprises an organometallic compound (A), a carboxyl group-containing resin (B), a photopolymerization initiator (C), a compound (D) having an unsaturated double bond and conductive particles ( It is preferable to contain E).

感光性導電ペーストが光重合開始剤(C)および不飽和二重結合を有する反応性モノマー(D)を含有することにより、フォトリソグラフィー法における露光による光重合により、感光性導電ペーストがアルカリに不溶化し、微細加工することができる。カルボキシル基含有樹脂(B)は、アルカリ現像性を高め、フォトリソグラフィー法による微細加工を可能にする。 Since the photosensitive conductive paste contains a photopolymerization initiator (C) and a reactive monomer (D) having an unsaturated double bond, the photosensitive conductive paste is insolubilized in alkali by photopolymerization by exposure in the photolithography method. However, it can be finely processed. The carboxyl group-containing resin (B) enhances alkali developability and enables fine processing by photolithography.

本発明における導電層は、本発明の感光性導電ペーストの硬化物からなることが好ましい。導電層における有機金属化合物(A)および導電性粒子(E)の含有量は後述するペースト中の含有量と同じである。 The conductive layer in the present invention preferably comprises a cured product of the photosensitive conductive paste of the present invention. The contents of the organometallic compound (A) and the conductive particles (E) in the conductive layer are the same as the contents in the paste described below.

<有機金属化合物(A)>
有機金属化合物(A)としては、例えば、有機アルミニウム化合物、有機チタン化合物、有機ジルコニウム化合物などが挙げられる。有機アルミニウム化合物としては、例えば、アルミニウムセカンダリーブトキシドなどの金属アルコキシド化合物;アルミニウムトリスアセチルアセトネート、アルミニウムビスエチルアセトアセテートモノアセチルアセトネート、アルミニウムトリスエチルアセトアセテートなどの金属キレート化合物等が挙げられる。有機チタン化合物としては、例えば、テトライソプロピルチタネート、テトラノルマルブチルチタネート、ブチルチタネートダイマー、テトラオクチルチタネートなどの金属アルコキシド化合物;チタンアセチルアセトネート、チタンテトラアセチルアセトネート、チタンエチルアセトアセテート、ドデシルベンゼンスルホン酸チタン化合物、リン酸チタン化合物、チタンオクチレングリコレート、チタンエチルアセトアセテート、チタンラクテートアンモニウム塩、チタンラクテート、チタントリエタノールアミネート、テトライソプロピルチタネート、テトラターシャリーブチルチタネート、テトラステアリルチタネート、チタンアセチルアセトネート、チタンオクチレングリコレート化合物、チタンオクチレングリコレート、チタンイソステアレート、チタンラクテート、チタンラクテートアンモニウム塩、チタンジエタノールアミネート、チタンアミノエチルアミノエタノレートなどの金属キレート化合物等が挙げられる。有機ジルコニウム化合物としては、例えば、ノルマルプロピルジルコネート、ノルマルブチルジルコネートなどの金属アルコキシド化合物;ジルコニウムテトラアセチルアセトネート、ジルコニウムモノアセチルアセトネート、ジルコニウムエチルアセトアセテート、オクチル酸ジルコニウム化合物、ステアリン酸ジルコニウム、塩化ジルコニル化合物、ジルコニウムラクテートアンモニウム塩などの金属キレート化合物等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、高温高湿環境下における透明電極層の導電性低下をより抑制する観点から、金属キレート化合物が好ましい。
<Organometallic compound (A)>
Examples of the organometallic compound (A) include organoaluminum compounds, organotitanium compounds and organozirconium compounds. Examples of the organic aluminum compound include metal alkoxide compounds such as aluminum secondary butoxide; metal chelate compounds such as aluminum trisacetylacetonate, aluminum bisethylacetoacetate monoacetylacetonate and aluminum trisethylacetoacetate. Examples of the organic titanium compound include metal alkoxide compounds such as tetraisopropyl titanate, tetranormal butyl titanate, butyl titanate dimer, and tetraoctyl titanate; titanium acetylacetonate, titanium tetraacetylacetonate, titanium ethylacetoacetate, dodecylbenzenesulfonic acid. Titanium compound, titanium phosphate compound, titanium octylene glycolate, titanium ethyl acetoacetate, titanium lactate ammonium salt, titanium lactate, titanium triethanolaminate, tetraisopropyl titanate, tetratertiary butyl titanate, tetrastearyl titanate, titanium acetylacetate And a metal chelate compound such as titanium octylene glycolate compound, titanium octylene glycolate, titanium isostearate, titanium lactate, titanium lactate ammonium salt, titanium diethanolaminate, and titanium aminoethylamino ethanolate. Examples of the organic zirconium compound include metal alkoxide compounds such as normal propyl zirconate and normal butyl zirconate; zirconium tetraacetylacetonate, zirconium monoacetylacetonate, zirconium ethyl acetoacetate, zirconium octylate compound, zirconium stearate, and chloride. Examples thereof include metal chelate compounds such as zirconyl compounds and zirconium lactate ammonium salts. You may contain 2 or more types of these. Among these, a metal chelate compound is preferable from the viewpoint of further suppressing the decrease in conductivity of the transparent electrode layer under a high temperature and high humidity environment.

本発明の感光性導電ペーストにおける有機金属化合物(A)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(B)100重量部に対して0.1〜10重量部が好ましい。有機金属化合物(A)の含有量が0.1重量部以上であると、導電パターン界面への被膜形成を促進しやすく、透明電極層の導電性低下をより抑制することができる。有機金属化合物(A)の含有量は、0.5重量部以上がより好ましく、1重量部以上がさらに好ましい。一方、有機金属化合物(A)の含有量が10重量部以下であると、露光部の架橋密度が向上し、現像マージンを広くすることができ、微細加工性をより向上させることができる。有機金属化合物(A)の含有量は、7重量部以下がより好ましい。 The content of the organometallic compound (A) in the photosensitive conductive paste of the present invention is preferably 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (B). When the content of the organometallic compound (A) is 0.1 part by weight or more, it is easy to promote the formation of a film on the conductive pattern interface, and it is possible to further suppress the decrease in conductivity of the transparent electrode layer. The content of the organometallic compound (A) is more preferably 0.5 part by weight or more, still more preferably 1 part by weight or more. On the other hand, when the content of the organometallic compound (A) is 10 parts by weight or less, the crosslink density in the exposed area is improved, the development margin can be widened, and the fine workability can be further improved. The content of the organometallic compound (A) is more preferably 7 parts by weight or less.

<バインダー樹脂(Y)>
<カルボキシル基含有樹脂(B)>
バインダー樹脂(Y)としては、カルボキシル基含有樹脂(B)が好ましく、カルボキシル基含有樹脂(B)としては、前述の透明電極層を構成するバインダー樹脂(X)として例示したものが挙げられる。
<Binder resin (Y)>
<Carboxyl group-containing resin (B)>
The binder resin (Y) is preferably a carboxyl group-containing resin (B), and examples of the carboxyl group-containing resin (B) include those exemplified as the binder resin (X) constituting the transparent electrode layer described above.

バインダー樹脂(Y)としては、ウレタン結合を有するものも好ましく用いることができる。バインダー樹脂(Y)がウレタン結合を有することにより、得られる導電パターンの耐屈曲性を向上させることができる。バインダー樹脂(Y)にウレタン結合を導入する方法としては、例えば、水酸基を有するアクリル系共重合体や水酸基を有するカルボン酸変性エポキシ樹脂の場合、これらの水酸基にジイソシアネート化合物を反応させる方法が挙げられる。ジイソシアネート化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、トリデンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、アリルシアンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネートなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 As the binder resin (Y), those having a urethane bond can also be preferably used. When the binder resin (Y) has a urethane bond, it is possible to improve the bending resistance of the obtained conductive pattern. As a method of introducing a urethane bond into the binder resin (Y), for example, in the case of a hydroxyl group-containing acrylic copolymer or a hydroxyl group-containing carboxylic acid-modified epoxy resin, a method of reacting these hydroxyl groups with a diisocyanate compound can be mentioned. .. Examples of the diisocyanate compound include hexamethylene diisocyanate, tetramethylxylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, tridene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, allyl cyan diisocyanate and norbornane diisocyanate. You may use 2 or more types of these.

バインダー樹脂(Y)は、フェノール性水酸基を有するものも好ましく用いることができる。バインダー樹脂(Y)がフェノール性水酸基を有することにより、基材表面の水酸基やアミノ基などの極性基と水素結合を形成し、得られる導電パターンと基材との密着性を向上させることができる。 As the binder resin (Y), those having a phenolic hydroxyl group can also be preferably used. When the binder resin (Y) has a phenolic hydroxyl group, it can form a hydrogen bond with a polar group such as a hydroxyl group or an amino group on the surface of the base material, and can improve the adhesion between the obtained conductive pattern and the base material. ..

これらの中でも、ウレタン結合を有するカルボン酸変性エポキシ樹脂がより好ましい。 Among these, a carboxylic acid-modified epoxy resin having a urethane bond is more preferable.

<光重合開始剤(C)>
光重合開始剤(C)としては、ベンゾフェノン誘導体、アセトフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、ベンジル誘導体、ベンゾイン誘導体、オキシム系化合物、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノアルキルフェノン系化合物、ホスフィンオキサイド系化合物、アントロン化合物、アントラキノン化合物等が挙げられる。ベンゾフェノン誘導体としては、例えば、ベンゾフェノン、O−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、フルオレノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルケトン等が挙げられる。アセトフェノン誘導体としては、例えば、p−t−ブチルジクロロアセトフェノン、4−アジドベンザルアセトフェノン、2,2’−ジエトキシアセトフェノン等が挙げられる。チオキサントン誘導体としては、例えば、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン等が挙げられる。ベンジル誘導体としては、例えば、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール等が挙げられる。ベンゾイン誘導体としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル等が挙げられる。オキシム系化合物としては、例えば、1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、1−フェニル−1,2−ブタンジオン−2−(O−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム、1,3−ジフェニル−プロパントリオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ−プロパントリオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム等が挙げられる。α−ヒドロキシケトン系化合物としては、例えば、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン等が挙げられる。α−アミノアルキルフェノン系化合物としては、例えば、2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)ブタン−1−オン等が挙げられる。ホスフィンオキサイド系化合物としては、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。アントロン化合物としては、アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン等が挙げられる。アントラキノン化合物としては、例えば、アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、β−クロルアントラキノン等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、光感度の高いオキシム系化合物が好ましい。
<Photopolymerization initiator (C)>
As the photopolymerization initiator (C), benzophenone derivative, acetophenone derivative, thioxanthone derivative, benzyl derivative, benzoin derivative, oxime compound, α-hydroxyketone compound, α-aminoalkylphenone compound, phosphine oxide compound, anthrone Examples thereof include compounds and anthraquinone compounds. Examples of the benzophenone derivative include benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4′-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4′-bis(diethylamino)benzophenone, 4,4′-dichlorobenzophenone, fluorenone, 4 -Benzoyl-4'-methyldiphenyl ketone and the like. Examples of the acetophenone derivative include p-t-butyldichloroacetophenone, 4-azidobenzalacetophenone, and 2,2′-diethoxyacetophenone. Examples of the thioxanthone derivative include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone and the like. Examples of the benzyl derivative include benzyl, benzyl dimethyl ketal, benzyl-β-methoxyethyl acetal and the like. Examples of the benzoin derivative include benzoin, benzoin methyl ether, and benzoin butyl ether. Examples of the oxime compound include 1,2-octanedione-1-[4-(phenylthio)-2-(O-benzoyloxime)] and ethanone-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl). )-9H-carbazol-3-yl]-1-(O-acetyloxime), 1-phenyl-1,2-butanedione-2-(O-methoxycarbonyl)oxime, 1-phenyl-propanedione-2-( O-ethoxycarbonyl)oxime, 1-phenyl-propanedione-2-(O-benzoyl)oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2-(O-ethoxycarbonyl)oxime, 1-phenyl-3-ethoxy- Examples include propanetrione-2-(O-benzoyl)oxime. Examples of the α-hydroxyketone compound include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one and 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-. Methyl-1-propan-1-one and the like can be mentioned. Examples of the α-aminoalkylphenone compound include 2-methyl-(4-methylthiophenyl)-2-morpholinopropan-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl). )-Butan-1-one, 2-dimethylamino-2-(4-methylbenzyl)-1-(4-morpholin-4-yl-phenyl)butan-1-one and the like. Examples of the phosphine oxide compound include 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide and bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide. Examples of the anthrone compound include anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone and the like. Examples of the anthraquinone compound include anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone and β-chloroanthraquinone. You may contain 2 or more types of these. Among these, oxime compounds having high photosensitivity are preferable.

本発明の感光性導電ペースト中における光重合開始剤(C)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(B)100重量部に対して、0.05〜30重量部が好ましい。光重合開始剤(C)の含有量が0.05重量部以上であると、露光部の硬化密度が上昇し、現像後の残膜率を高くすることができる。光重合開始剤(C)の含有量は、1重量部以上がより好ましい。一方、光重合開始剤(C)の含有量が30重量部以下であると、導電ペーストを塗布して得られる塗布膜上部における光重合開始剤(C)による過剰な光吸収が抑制される。その結果、導電パターンを容易にテーパー形状にすることができ、基板との密着性を向上させることができる。 The content of the photopolymerization initiator (C) in the photosensitive conductive paste of the present invention is preferably 0.05 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (B). When the content of the photopolymerization initiator (C) is 0.05 parts by weight or more, the curing density of the exposed area increases, and the residual film rate after development can be increased. The content of the photopolymerization initiator (C) is more preferably 1 part by weight or more. On the other hand, when the content of the photopolymerization initiator (C) is 30 parts by weight or less, excessive light absorption by the photopolymerization initiator (C) in the upper portion of the coating film obtained by coating the conductive paste is suppressed. As a result, the conductive pattern can be easily formed into a tapered shape, and the adhesion with the substrate can be improved.

<不飽和二重結合を有する化合物(D)>
不飽和二重結合を有する化合物(D)としては、例えば、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、1.4−ブタンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、グリセリンジメタクリレート、2−ヒドロキシ−3−アクリロイロキシプロピルメタクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジメタクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ジオキサングリコールジアクリレート、シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、エトキシ化(4)ビスフェノールAジアクリレート、エトキシ化(10)ビスフェノールAジアクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物などの2官能モノマー;ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリアクリレート、グリセリンプロポキシトリアクリレートなどの3官能モノマー;ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートなどの4官能モノマー;ダイセル・サイテック社製EBECRYL204、EBECRYL210、EBECRYL220、EBECRYL264、EBECRYL265、EBECRYL284やサートマー社製CN972、CN975、CN978などのウレタン結合含有モノマーなどの反応性モノマーが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、ウレタン結合含有モノマーは、導電層の耐屈曲性を向上させることができることから好ましい。
<Compound (D) having an unsaturated double bond>
Examples of the compound (D) having an unsaturated double bond include ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, 1.4-butanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, glycerin dimethacrylate, 2-Hydroxy-3-acryloyloxypropyl methacrylate, dimethylol-tricyclodecane dimethacrylate, tripropylene glycol diacrylate, dioxane glycol diacrylate, cyclohexane dimethanol dimethacrylate, tricyclodecane dimethanol diacrylate, ethoxylation (4) Bifunctional monomers such as bisphenol A diacrylate, ethoxylated (10) bisphenol A diacrylate, acrylic acid adduct of ethylene glycol diglycidyl ether, acrylic acid adduct of neopentyl glycol diglycidyl ether; pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol Trifunctional monomers such as triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane ethoxytriacrylate, glycerine propoxytriacrylate; dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol ethoxytetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, etc. Tetrafunctional monomers; reactive monomers such as EBECRYL204, EBECRYL210, EBECRYL220, EBECRYL264, EBECRYL265, EBECRYL284 manufactured by Daicel Cytec and urethane bond-containing monomers such as CN972, CN975 and CN978 manufactured by Sartomer. You may contain 2 or more types of these. Among these, the urethane bond-containing monomer is preferable because it can improve the flex resistance of the conductive layer.

本発明の感光性導電ペースト中における不飽和二重結合を有する化合物(D)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(B)100重量部に対して1〜100重量部が好ましい。不飽和二重結合を有する化合物(D)の含有量が1重量部以上であると、露光部の架橋密度が高まり、未露光部と露光部との現像液に対する溶解度差を大きくすることができ、微細加工性をより向上させることができる。一方、不飽和二重結合を有する化合物(D)の含有量が100重量部以下であると、得られる導電パターンのTgを抑え、耐屈曲性を向上させることができる。 The content of the compound (D) having an unsaturated double bond in the photosensitive conductive paste of the present invention is preferably 1 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (B). When the content of the compound (D) having an unsaturated double bond is 1 part by weight or more, the crosslink density of the exposed area is increased, and the difference in solubility between the unexposed area and the exposed area in the developing solution can be increased. Therefore, the fine workability can be further improved. On the other hand, when the content of the compound (D) having an unsaturated double bond is 100 parts by weight or less, the Tg of the obtained conductive pattern can be suppressed and the bending resistance can be improved.

<導電性粒子(E)>
導電性粒子(E)としては、例えば、銀、金、銅、白金、鉛、スズ、ニッケル、アルミニウム、タングステン、モリブデン、クロム、チタン、インジウム、マグネシウム、コバルト、亜鉛、カリウム、リチウム、鉄、水銀、ベリリウム、カドミウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウムやこれらの合金などの粒子が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、導電性の観点から、銀、金および銅から選ばれる金属の粒子が好ましく、コストおよび安定性の観点から銀粒子がより好ましい。また、導電性粒子(E)は、樹脂や無機酸化物等により表面が被覆されていてもよい。
<Conductive particles (E)>
Examples of the conductive particles (E) include silver, gold, copper, platinum, lead, tin, nickel, aluminum, tungsten, molybdenum, chromium, titanium, indium, magnesium, cobalt, zinc, potassium, lithium, iron and mercury. , Beryllium, cadmium, rhodium, ruthenium, iridium and alloys thereof. You may contain 2 or more types of these. Among these, particles of a metal selected from silver, gold and copper are preferable from the viewpoint of conductivity, and silver particles are more preferable from the viewpoint of cost and stability. The surface of the conductive particles (E) may be covered with a resin, an inorganic oxide or the like.

導電性粒子(E)の長軸長を短軸長で除した値であるアスペクト比は、1.1〜2.0が好ましい。ここで、導電性粒子(E)のアスペクト比は、走査型電子顕微鏡(SEM)または透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて倍率15000倍で導電性粒子(E)を観察し、無作為に選択した100個の導電性粒子(E)の一次粒子について、それぞれの長軸長および短軸長を測定し、両者の平均値から算出することができる。 The aspect ratio, which is a value obtained by dividing the major axis length of the conductive particles (E) by the minor axis length, is preferably 1.1 to 2.0. Here, the aspect ratio of the conductive particles (E) is randomly selected by observing the conductive particles (E) at a magnification of 15,000 using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM). The major axis length and the minor axis length of each of the 100 primary particles of the conductive particles (E) are measured, and the average value of the two can be calculated.

導電性粒子(E)の粒子径は、0.05〜5.0μmが好ましい。導電性粒子(E)の粒子径を0.05μm以上とすることにより、粒子間の相互作用を適度に抑制し、感光性導電ペースト中における導電性粒子(E)の分散性を向上させることができる。導電性粒子(E)の粒子径は、0.1μm以上がより好ましい。一方、導電性粒子(E)の粒子径を5.0μm以下とすることにより、得られる導電パターンの表面平滑度、パターン精度および寸法精度を向上させることができる。導電性粒子(E)の粒子径は、2.0μm以下がより好ましい。ここで、導電性粒子(E)の粒子径は、レーザー照射型の粒度分布計を用いて測定することができる。測定により得られた粒度分布のD50の値を導電性粒子(E)の粒子径(D50)とする。 The particle diameter of the conductive particles (E) is preferably 0.05 to 5.0 μm. By setting the particle diameter of the conductive particles (E) to 0.05 μm or more, it is possible to appropriately suppress the interaction between the particles and improve the dispersibility of the conductive particles (E) in the photosensitive conductive paste. it can. The particle diameter of the conductive particles (E) is more preferably 0.1 μm or more. On the other hand, when the particle diameter of the conductive particles (E) is 5.0 μm or less, the surface smoothness, pattern accuracy and dimensional accuracy of the obtained conductive pattern can be improved. The particle diameter of the conductive particles (E) is more preferably 2.0 μm or less. Here, the particle diameter of the conductive particles (E) can be measured by using a laser irradiation type particle size distribution meter. The value of D50 of the particle size distribution obtained by the measurement is defined as the particle diameter (D50) of the conductive particles (E).

本発明の感光性導電ペースト中における導電性粒子(E)の含有量は、全固形分中65〜90重量%が好ましい。導電性粒子(E)の含有量が65重量%以上であると、キュア時の導電性粒子(E)同士の接触確率が向上し、導電性をより向上させ、断線確率を低減することができる。導電性粒子(E)の含有量は70重量%以上がより好ましい。一方、導電性粒子(E)の含有量が90重量%以下であると、露光工程における塗膜の透光性が向上し、微細加工性および耐屈曲性をより向上させることができる。ここで全固形分とは、溶剤を除く、感光性導電ペーストの全構成成分をいう。 The content of the conductive particles (E) in the photosensitive conductive paste of the present invention is preferably 65 to 90% by weight based on the total solid content. When the content of the conductive particles (E) is 65% by weight or more, the contact probability between the conductive particles (E) during curing is improved, the conductivity is further improved, and the disconnection probability can be reduced. .. The content of the conductive particles (E) is more preferably 70% by weight or more. On the other hand, when the content of the conductive particles (E) is 90% by weight or less, the translucency of the coating film in the exposure step is improved, and the fine workability and bending resistance can be further improved. Here, the total solid content refers to all the constituent components of the photosensitive conductive paste excluding the solvent.

<その他の成分>
導電層を形成する組成物は、光重合開始剤(C)と共に増感剤を含有することができる。増感剤としては、例えば、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3−カルボニルビス(4−ジエチルアミノベンザル)アセトン、3,3−カルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリン)、N−フェニル−N−エチルエタノールアミン、N−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、3−フェニル−5−ベンゾイルチオテトラゾール、1−フェニル−5−エトキシカルボニルチオテトラゾールなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。
<Other ingredients>
The composition forming the conductive layer may contain a sensitizer together with the photopolymerization initiator (C). Examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis(4-diethylaminobenzal)cyclopentanone, 2,6-bis(4-dimethylaminobenzal)cyclohexanone, and 2 ,6-bis(4-dimethylaminobenzal)-4-methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4,4-bis(diethylamino)benzophenone, 4,4-bis(dimethylamino)chalcone, 4,4-bis(diethylamino)chalcone , P-dimethylaminocinnamylidene indanone, p-dimethylaminobenzylidene indanone, 2-(p-dimethylaminophenylvinylene)isonaphthothiazole, 1,3-bis(4-dimethylaminophenylvinylene)isonaphthothiazole, 1,3-bis(4-dimethylaminobenzal)acetone, 1,3-carbonylbis(4-diethylaminobenzal)acetone, 3,3-carbonylbis(7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethyl Ethanolamine, N-phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like can be mentioned. You may contain 2 or more types of these.

本発明の感光性導電ペースト中における増感剤の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(B)100重量部に対して、0.05〜10重量部が好ましい。増感剤の含有量が0.05重量部以上であれば、光感度が向上する。一方、増感剤の含有量が10重量部以下であると、感光性導電ペーストを塗布して得られる塗布膜上部における過剰な光吸収が抑制される。その結果、導電パターンを容易にテーパー形状にすることができ、基板との密着性をより向上させることができる。 The content of the sensitizer in the photosensitive conductive paste of the present invention is preferably 0.05 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (B). When the content of the sensitizer is 0.05 parts by weight or more, photosensitivity is improved. On the other hand, when the content of the sensitizer is 10 parts by weight or less, excessive light absorption in the upper portion of the coating film obtained by coating the photosensitive conductive paste is suppressed. As a result, the conductive pattern can be easily formed into a tapered shape, and the adhesion with the substrate can be further improved.

本発明の感光性導電ペーストは、溶剤を含有することができる。溶剤としては、例えば、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルイミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、乳酸エチル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジアセトンアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、2,2,4,−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレートなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。溶剤の沸点は150℃以上が好ましい。沸点が150℃以上であると、溶剤の揮発が抑制され、感光性導電ペーストの増粘を抑制することができる。 The photosensitive conductive paste of the present invention may contain a solvent. Examples of the solvent include N,N-dimethylacetamide, N,N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylimidazolidinone, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, ethyl lactate, 1-methoxy-2-propanol. , 1-ethoxy-2-propanol, ethylene glycol mono-n-propyl ether, diacetone alcohol, tetrahydrofurfuryl alcohol, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol Examples include monobutyl ether, diethylene glycol, 2,2,4,-trimethyl-1,3-pentanediol monoisobutyrate. You may contain 2 or more types of these. The boiling point of the solvent is preferably 150°C or higher. When the boiling point is 150° C. or higher, the volatilization of the solvent is suppressed, and the thickening of the photosensitive conductive paste can be suppressed.

本発明の感光性導電ペーストは、その所望の特性を損なわない範囲であれば、分子内に不飽和二重結合を有しない非感光性ポリマー、可塑剤、レベリング剤、界面活性剤、シランカップリング剤、消泡剤、顔料等の添加剤を含有することができる。 The photosensitive conductive paste of the present invention is a non-photosensitive polymer having no unsaturated double bond in the molecule, a plasticizer, a leveling agent, a surfactant, a silane coupling agent, as long as the desired properties are not impaired. Additives such as agents, defoamers and pigments can be contained.

非感光性ポリマーとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド前駆体、既閉環ポリイミドなどが挙げられる。 Examples of the non-photosensitive polymer include polyethylene terephthalate, a polyimide precursor, and a ring-closed polyimide.

可塑剤としては、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。 Examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like.

レベリング剤としては、例えば、特殊ビニル系重合体、特殊アクリル系重合体などが挙げられる。 Examples of the leveling agent include a special vinyl polymer and a special acrylic polymer.

シランカップリング剤としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシランなどが挙げられる。 Examples of the silane coupling agent include methyltrimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenyltriethoxysilane, hexamethyldisilazane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane and vinyltrimethoxysilane. Examples thereof include methoxysilane.

本発明の感光性導電ペーストは、有機金属化合物(A)、カルボキシル基含有樹脂(B)、光重合開始剤(C)、不飽和二重結合を有する化合物(D)、導電性粒子(E)および必要に応じて溶剤や添加剤を混合することにより製造することができる。混合装置としては、例えば、三本ローラーミル、ボールミル、遊星式ボールミル等の分散機や混練機などが挙げられる。 The photosensitive conductive paste of the present invention comprises an organometallic compound (A), a carboxyl group-containing resin (B), a photopolymerization initiator (C), a compound having an unsaturated double bond (D), and conductive particles (E). And it can manufacture by mixing a solvent and an additive as needed. Examples of the mixing device include a disperser such as a three-roller mill, a ball mill, and a planetary ball mill, and a kneader.

導電層の厚みは、0.5〜10.0μmが好ましい。導電層の膜厚が0.5μm以上であると、配線ごとの抵抗値ばらつきを抑制し、凹凸のある基材に対しても容易にパターン形成することができる。導電層の厚みは、1.0μm以上がより好ましい。一方、導電層の厚みが10.0μm以下であれば、感光性の組成物から導電層を形成する場合において、露光時に光が膜深部まで到達しやすくなり、現像マージンを広げることができる。導電層の厚みは、5.0μm以下がより好ましい。なお、導電層の厚みは、例えば、“サーフコム”(登録商標)1400((株)東京精密製)などの触針式段差計を用いて測定することができる。より具体的には、ランダムな3つの位置の膜厚を触針式段差計(測長:1mm、走査速度:0.3mm/sec)でそれぞれ測定し、その平均値を膜厚とする。 The thickness of the conductive layer is preferably 0.5 to 10.0 μm. When the thickness of the conductive layer is 0.5 μm or more, it is possible to suppress variation in resistance value for each wiring and easily form a pattern on a substrate having irregularities. The thickness of the conductive layer is more preferably 1.0 μm or more. On the other hand, when the thickness of the conductive layer is 10.0 μm or less, in the case of forming the conductive layer from a photosensitive composition, light easily reaches the deep portion of the film during exposure, and the development margin can be widened. The thickness of the conductive layer is more preferably 5.0 μm or less. The thickness of the conductive layer can be measured using, for example, a stylus profilometer such as "Surfcom" (registered trademark) 1400 (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). More specifically, the film thickness at three random positions is measured by a stylus type step meter (length measurement: 1 mm, scanning speed: 0.3 mm/sec), and the average value is taken as the film thickness.

<導電層の形成方法>
導電層の形成方法としては、例えば、有機金属化合物(A)、バインダー樹脂(Y)、導電性粒子(E)および必要に応じてその他の成分を含有する組成物を硬化させる方法などが挙げられる。
<Method of forming conductive layer>
Examples of the method of forming the conductive layer include a method of curing the composition containing the organometallic compound (A), the binder resin (Y), the conductive particles (E) and, if necessary, other components. ..

導電層の形成方法について、感光性導電ペーストを用いる場合を例に挙げて説明する。 The method of forming the conductive layer will be described by taking the case of using a photosensitive conductive paste as an example.

前述の方法により基材I上に透明電極層を積層した積層部材に、感光性導電ペーストを塗布し、乾燥する。塗布方法としては、例えば、スピナーを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーターまたはバーコーターを用いた塗布などが挙げられる。乾燥方法としては、例えば、オーブン、ホットプレート、赤外線等による加熱乾燥や、真空乾燥などが挙げられる。乾燥温度は50〜180℃が好ましく、乾燥時間は1分間〜数時間が好ましい。 The photosensitive conductive paste is applied to the laminated member in which the transparent electrode layer is laminated on the substrate I by the method described above, and dried. Examples of the coating method include spin coating using a spinner, spray coating, roll coating, screen printing, coating using a blade coater, die coater, calendar coater, meniscus coater or bar coater. Examples of the drying method include heat drying using an oven, a hot plate, infrared rays, and the like, and vacuum drying. The drying temperature is preferably 50 to 180° C., and the drying time is preferably 1 minute to several hours.

塗布膜厚は、塗布の方法、感光性導電ペーストの固形分濃度や粘度等に応じて適宜決定することができるが、感光性導電ペーストの乾燥膜の膜厚は、導電層の好ましい厚みとして記載した範囲に調整することが好ましい。感光性導電ペーストの乾燥膜の膜厚は、例えば、導電層の膜厚と同様に測定することができる。 The coating film thickness can be appropriately determined according to the coating method, the solid content concentration and the viscosity of the photosensitive conductive paste, and the dry film thickness of the photosensitive conductive paste is described as the preferable thickness of the conductive layer. It is preferable to adjust to the above range. The film thickness of the dry film of the photosensitive conductive paste can be measured, for example, similarly to the film thickness of the conductive layer.

フォトリソグラフィー法により導電パターンを形成する場合において、感光性導電ペーストの乾燥膜に、任意のパターン形成用マスクを介して露光することが好ましい。露光の光源としては、水銀灯のi線(365nm)、h線(405nm)またはg線(436nm)が好ましく用いられる。 When the conductive pattern is formed by the photolithography method, it is preferable to expose the dry film of the photosensitive conductive paste through an arbitrary pattern forming mask. As a light source for exposure, i-line (365 nm), h-line (405 nm) or g-line (436 nm) of a mercury lamp is preferably used.

露光後、現像液を用いて現像することにより、未露光部を溶解除去して、所望のパターンを得る。 After the exposure, the unexposed portion is dissolved and removed by developing with a developing solution to obtain a desired pattern.

アルカリ現像を行う場合の現像液としては、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム、ジエタノールアミン、ジエチルアミノエタノール、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、トリエチルアミン、ジエチルアミン、メチルアミン、ジメチルアミン、酢酸ジメチルアミノエチル、ジメチルアミノエタノール、ジメチルアミノエチルメタクリレート、シクロヘキシルアミン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどの水溶液が挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。また、場合によっては、これらの水溶液に、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン等の極性溶剤;メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類;乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類;シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソブチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類;界面活性剤などを1種以上添加してもよい。 Examples of the developer for alkali development include tetramethylammonium hydroxide, diethanolamine, diethylaminoethanol, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, triethylamine, diethylamine, methylamine, dimethylamine, dimethyl acetate. Examples thereof include aqueous solutions of aminoethyl, dimethylaminoethanol, dimethylaminoethyl methacrylate, cyclohexylamine, ethylenediamine, hexamethylenediamine and the like. You may use 2 or more types of these. Depending on the case, polar solutions such as N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, and γ-butyrolactone may be added to these aqueous solutions; methanol, ethanol, isopropanol, etc. Alcohols; ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate, etc. esters; cyclopentanone, cyclohexanone, isobutyl ketone, methyl isobutyl ketone, etc. ketones; one or more surfactants may be added.

現像方法としては、例えば、露光した感光性導電ペーストの乾燥膜を有する基板を静置または回転させながら現像液を乾燥膜面にスプレーする方法、露光した感光性導電ペーストの乾燥膜を有する基板を現像液中に浸漬する方法、露光した感光性導電ペーストの乾燥膜を有する基板を現像液中に浸漬しながら超音波をかける方法などが挙げられる。 As the developing method, for example, a method of spraying a developing solution on a dry film surface while leaving or rotating a substrate having a dry film of exposed photosensitive conductive paste, a substrate having a dry film of exposed photosensitive conductive paste Examples thereof include a method of immersing in a developing solution and a method of applying ultrasonic waves while immersing a substrate having a dried film of exposed photosensitive conductive paste in a developing solution.

現像後、リンス液によるリンス処理を施してもよい。リンス液としては、例えば、水、あるいは、水にエタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類または乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類を添加した水溶液などが挙げられる。 After development, a rinsing treatment with a rinsing solution may be performed. Examples of the rinse liquid include water or an aqueous solution in which alcohols such as ethanol and isopropyl alcohol or esters such as ethyl lactate and propylene glycol monomethyl ether acetate are added to water.

現像により得られたパターンを加熱してキュアすることにより、導電パターンを得ることができる。キュア温度は、100〜200℃が好ましい。キュア温度が100℃以上であれば、原子拡散を十分に誘起して、導電性をより向上させることができる。キュア温度は120℃以上がより好ましい。一方、キュア温度を200℃以下とすることにより、基材の選択自由度を高めることができる。キュア温度は150℃以下がより好ましい。 A conductive pattern can be obtained by heating and curing the pattern obtained by development. The curing temperature is preferably 100 to 200°C. When the curing temperature is 100° C. or higher, atomic diffusion can be sufficiently induced and the conductivity can be further improved. The curing temperature is more preferably 120° C. or higher. On the other hand, when the curing temperature is 200° C. or lower, the degree of freedom in selecting the base material can be increased. The curing temperature is more preferably 150°C or lower.

キュア方法としては、例えば、オーブン、イナートオーブン、ホットプレートによる加熱乾燥、紫外線ランプ、赤外線ヒーター、ハロゲンヒーター、キセノンフラッシュランプ等の電磁波やマイクロ波による加熱乾燥、真空乾燥などが挙げられる。加熱により、導電パターンの硬度が高くなることから、他の部材との接触による欠けや剥がれ等を抑制し、さらには導電層と基板との密着性を向上させることができる。 Examples of the curing method include heating and drying with an oven, an inert oven, and a hot plate, heating and drying with electromagnetic waves and microwaves such as an ultraviolet lamp, an infrared heater, a halogen heater, and a xenon flash lamp, and vacuum drying. Since the hardness of the conductive pattern is increased by heating, chipping or peeling due to contact with other members can be suppressed, and further, the adhesiveness between the conductive layer and the substrate can be improved.

<導電パターン形成用フィルム>
本発明の導電パターン形成用フィルムは、離型性フィルム上に前述の感光性導電ペーストの乾燥膜を有する。
<Conductive pattern forming film>
The conductive pattern forming film of the present invention has a dry film of the above-mentioned photosensitive conductive paste on the release film.

離型性フィルムとしては、フィルム表面に離型層を有するものが好ましい。離型層を構成する離型剤としては、例えば、長鎖アルキル系離型剤、シリコーン系離型剤、フッ素系離型剤などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。これらの中でも、転写時に離型剤移りが生じた場合であっても、後工程、特に現像工程において、現像液のハジキなどの現象を生じにくく、面内ムラを抑制して微細加工性をより向上させることができることから、長鎖アルキル系離型剤が好ましい。離型層の厚みは50〜500nmが好ましい。離型層の厚みが50nm以上であれば、転写時の転写ムラを抑制することができ、500nm以下であれば、転写時の離型剤移りを低減することができる。 The release film preferably has a release layer on the film surface. Examples of the release agent constituting the release layer include long-chain alkyl release agents, silicone release agents, and fluorine release agents. You may use 2 or more types of these. Among these, even when the release agent is transferred during transfer, phenomena such as cissing of the developer are less likely to occur in the post-process, particularly in the development process, and in-plane unevenness is suppressed to improve fine workability. A long-chain alkyl-based release agent is preferable because it can be improved. The thickness of the release layer is preferably 50 to 500 nm. When the thickness of the release layer is 50 nm or more, transfer unevenness at the time of transfer can be suppressed, and when it is 500 nm or less, transfer of the release agent at the time of transfer can be reduced.

離型性フィルムの剥離力は、500〜5000mN/20mmが好ましい。剥離力が500mN/20mm以上であれば、感光性導電ペーストの乾燥膜を形成する際にハジキの発生を抑制することができる。剥離力が5000mN/20mm以下であれば、乾燥膜の基材への転写時のプロセスマージンを広くすることができる。ここで、本発明における離型性フィルムの剥離力とは、離型性フィルムの剥離層面に日東電工(株)製アクリル粘着テープ「31B」を2kgローラーを用いて貼付し、30分後に、アクリル粘着テープを剥離角度180°、剥離速度0.3m/minで剥離したときの剥離力を指す。 The release force of the release film is preferably 500 to 5000 mN/20 mm. When the peeling force is 500 mN/20 mm or more, it is possible to suppress the occurrence of cissing when forming a dry film of the photosensitive conductive paste. When the peeling force is 5000 mN/20 mm or less, the process margin at the time of transferring the dry film to the base material can be widened. Here, the release force of the release film in the present invention means that the acrylic adhesive tape "31B" manufactured by Nitto Denko Corporation is applied to the release layer surface of the release film using a 2 kg roller, and after 30 minutes, the acrylic film is used. It indicates the peeling force when the adhesive tape is peeled at a peeling angle of 180° and a peeling speed of 0.3 m/min.

離型性フィルムに用いられる基材IIとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、シクロオレフィン、ポリカーボネート、ポリイミド、アラミド、フッ素樹脂、アクリル系樹脂および/またはポリウレタン系樹脂を含むフィルムなどが挙げられる。光学特性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、シクロオレフィンおよび/またはポリカーボネートを含むフィルムが好ましい。光学特性の高い基材IIであれば、離型性フィルム越しに露光することができ、乾燥膜とフォトマスクが接触しないため、マスク汚染を抑制することができる。基材IIの厚みは、5〜150μmが好ましい。基材IIの厚みが5μm以上であれば、感光性導電ペーストの乾燥膜を形成する際に基材IIを安定に搬送することができ、乾燥膜の厚みムラを抑制することができる。基材IIの厚みは10μm以上がより好ましい。一方、基材IIの厚みが150μm以下であれば、離型性フィルム越しの露光の際に露光光の回折の影響を小さくすることができ、微細パターニング性をより向上させることができる。基材IIの厚みは30μm以下がより好ましい。 Examples of the substrate II used for the releasable film include a film containing polyethylene terephthalate, cycloolefin, polycarbonate, polyimide, aramid, fluororesin, acrylic resin and/or polyurethane resin. From the viewpoint of optical properties, a film containing polyethylene terephthalate, cycloolefin and/or polycarbonate is preferable. If the substrate II has high optical characteristics, it can be exposed through the release film, and since the dry film and the photomask do not come into contact with each other, mask contamination can be suppressed. The thickness of the substrate II is preferably 5 to 150 μm. When the thickness of the base material II is 5 μm or more, the base material II can be stably transported when forming a dry film of the photosensitive conductive paste, and unevenness in the thickness of the dry film can be suppressed. The thickness of the substrate II is more preferably 10 μm or more. On the other hand, when the thickness of the substrate II is 150 μm or less, the influence of the diffraction of the exposure light can be reduced during the exposure through the release film, and the fine patterning property can be further improved. The thickness of the substrate II is more preferably 30 μm or less.

感光性導電ペーストの乾燥膜の膜厚は、0.5〜10.0μmが好ましい。乾燥膜の膜厚が0.5μm以上であると、配線ごとの抵抗値ばらつきの抑制や、凹凸のある基材II上に対しても容易にパターン形成することができる。乾燥膜の膜厚は1.0μm以上がより好ましい。一方、乾燥膜の膜厚が10.0μm以下であれば、露光時に光が乾燥膜の膜深部まで到達しやすくなり、現像マージンを広げることができる。乾燥膜の膜厚は5.0μm以下がより好ましい。なお、感光性導電ペーストの乾燥膜の膜厚は、例えば、“サーフコム”(登録商標)1400((株)東京精密製)などの触針式段差計を用いて測定することができる。より具体的には、ランダムな3つの位置の膜厚を触針式段差計(測長:1mm、走査速度:0.3mm/sec)でそれぞれ測定し、その平均値を膜厚とする。 The film thickness of the dry film of the photosensitive conductive paste is preferably 0.5 to 10.0 μm. When the thickness of the dry film is 0.5 μm or more, it is possible to suppress the variation in resistance value for each wiring and to easily form a pattern on the base material II having irregularities. The thickness of the dried film is more preferably 1.0 μm or more. On the other hand, when the film thickness of the dry film is 10.0 μm or less, it is easy for light to reach the deep part of the dry film during exposure, and the development margin can be widened. The dry film thickness is more preferably 5.0 μm or less. The film thickness of the dry film of the photosensitive conductive paste can be measured by using a stylus profilometer, such as "Surfcom" (registered trademark) 1400 (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). More specifically, the film thickness at three random positions is measured by a stylus type step meter (length measurement: 1 mm, scanning speed: 0.3 mm/sec), and the average value is taken as the film thickness.

本発明の導電パターン形成用フィルムは、前述の感光性導電ペーストを、離型性フィルム上に塗布し、乾燥することにより製造することができる。塗布方法としては、例えば、スピナーを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーターまたはバーコーターを用いた塗布などが挙げられる。乾燥方法としては、例えば、オーブン、ホットプレート、赤外線等による加熱乾燥や、真空乾燥などが挙げられる。乾燥温度は50〜180℃が好ましく、乾燥時間は1分間〜数時間が好ましい。 The film for forming a conductive pattern of the present invention can be produced by applying the above-mentioned photosensitive conductive paste onto a release film and drying. Examples of the coating method include spin coating using a spinner, spray coating, roll coating, screen printing, coating using a blade coater, die coater, calendar coater, meniscus coater or bar coater. Examples of the drying method include heat drying using an oven, a hot plate, infrared rays, and the like, and vacuum drying. The drying temperature is preferably 50 to 180° C., and the drying time is preferably 1 minute to several hours.

<感光性導電ペーストを用いて基材III上に導電パターンを形成する方法>
次に、本発明の感光性導電ペーストを用いて基材III上に導電パターンを形成する方法について説明する。基材III上に、本発明の感光性導電ペーストの乾燥膜を形成し、該乾燥膜を露光および現像することによりパターン加工し、得られたパターンをキュアすることにより、基材III上に導電パターンを形成することができる。感光性導電ペーストの乾燥膜は、本発明の感光性導電ペーストを基材III上に塗布し、乾燥することにより形成してもよいし、前述の導電パターン形成用フィルムを用いて、感光性導電ペーストの乾燥膜を基材III上に転写することにより形成してもよい。
<Method of forming conductive pattern on substrate III using photosensitive conductive paste>
Next, a method for forming a conductive pattern on the substrate III using the photosensitive conductive paste of the present invention will be described. A conductive film is formed on the base material III by forming a dry film of the photosensitive conductive paste of the present invention on the base material III, patterning by exposing and developing the dry film, and curing the obtained pattern. A pattern can be formed. The dry film of the photosensitive conductive paste may be formed by applying the photosensitive conductive paste of the present invention onto the substrate III and drying it, or using the film for forming a conductive pattern described above to form a photosensitive conductive paste. It may be formed by transferring a dry film of the paste onto the substrate III.

基材IIIとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムなどのポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルム、エポキシ樹脂基板、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ガラス基板、シリコンウエハー、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板、加飾層形成基板、絶縁層形成基板などが挙げられる。 Examples of the substrate III include polyester films such as polyethylene terephthalate (PET) films, polyimide films, aramid films, cycloolefin polymer (COP) films, epoxy resin substrates, polyetherimide resin substrates, polyetherketone resin substrates, and polysulfones. Examples thereof include a resin substrate, a glass substrate, a silicon wafer, an alumina substrate, an aluminum nitride substrate, a silicon carbide substrate, a decorative layer forming substrate, and an insulating layer forming substrate.

感光性導電ペーストの塗布方法としては、導電パターン形成用フィルムの製造方法において、感光性導電ペーストの塗布方法として例示した方法が挙げられる。 Examples of the method for applying the photosensitive conductive paste include the methods exemplified as the method for applying the photosensitive conductive paste in the method for producing a film for forming a conductive pattern.

塗布膜厚は、塗布の方法、感光性導電ペーストの固形分濃度や粘度等に応じて適宜決定することができるが、感光性導電ペーストの乾燥膜の膜厚が0.1〜50.0μmになるように設定することが好ましい。乾燥膜の膜厚が0.1μm以上であると、配線ごとの抵抗値ばらつきを抑制することができる。乾燥膜の膜厚は0.5μm以上がより好ましく、1.0μm以上がさらに好ましい。一方、乾燥膜の膜厚が50.0μm以下であれば、露光時に光が乾燥膜の膜深部まで到達しやすくなり、現像マージンを広げることができる。乾燥膜の膜厚は10.0μm以下がより好ましい。感光性導電ペーストの乾燥膜の膜厚は、導電パターン形成用フィルムにおける感光性導電ペーストの乾燥膜の膜厚と同様に測定することができる。 The coating film thickness can be appropriately determined according to the coating method, the solid content concentration and the viscosity of the photosensitive conductive paste, and the dry film thickness of the photosensitive conductive paste is 0.1 to 50.0 μm. It is preferable to set so that When the film thickness of the dry film is 0.1 μm or more, it is possible to suppress the variation in the resistance value for each wiring. The thickness of the dry film is more preferably 0.5 μm or more, further preferably 1.0 μm or more. On the other hand, when the film thickness of the dry film is 50.0 μm or less, it is easy for light to reach the deep part of the dry film during exposure, and the development margin can be widened. The thickness of the dried film is more preferably 10.0 μm or less. The thickness of the dry film of the photosensitive conductive paste can be measured in the same manner as the thickness of the dry film of the photosensitive conductive paste in the conductive pattern forming film.

塗布膜を形成した後、塗布膜を乾燥して溶剤を揮発させることが好ましい。乾燥方法としては、導電パターン形成用フィルムにおける感光性導電ペーストの乾燥方法として例示した方法が挙げられる。 After forming the coating film, it is preferable to dry the coating film to volatilize the solvent. Examples of the drying method include the methods exemplified as the method for drying the photosensitive conductive paste in the conductive pattern forming film.

基板上に本発明の導電パターン形成用フィルムを転写する方法としては、例えば、基板に感光性導電ペーストの乾燥膜が接するように、基板上に本発明の導電パターン形成用フィルムを積層した後、ニップローラー等を用いて加熱加圧することにより転写する方法が挙げられる。以下、この方法を熱転写と呼ぶ。転写性を向上させるためには、ニップローラーを50〜120℃に加熱して転写することが好ましい。 As a method of transferring the conductive pattern forming film of the present invention on the substrate, for example, so that the dry film of the photosensitive conductive paste is in contact with the substrate, after laminating the conductive pattern forming film of the present invention on the substrate, A method of transferring by heating and pressing using a nip roller or the like can be mentioned. Hereinafter, this method is called thermal transfer. In order to improve transferability, it is preferable to heat the nip roller to 50 to 120° C. for transfer.

フォトリソグラフィー法により導電パターンを形成する場合において、感光性導電ペーストの乾燥膜に、任意のパターン形成用マスクを介して露光することが好ましい。本発明の導電パターン形成用フィルムを転写することにより乾燥膜を設ける方法を用いた場合には、導電パターン形成用フィルムの離型性フィルム越しに露光してもよいし、離型性フィルムを剥離した後に露光してもよい。露光の光源としては、水銀灯のi線(365nm)、h線(405nm)またはg線(436nm)が好ましく用いられる。 When the conductive pattern is formed by the photolithography method, it is preferable to expose the dry film of the photosensitive conductive paste through an arbitrary pattern forming mask. When the method of providing a dry film by transferring the conductive pattern forming film of the present invention is used, it may be exposed through the release film of the conductive pattern forming film, or the release film is peeled off. You may expose after doing. As a light source for exposure, i-line (365 nm), h-line (405 nm) or g-line (436 nm) of a mercury lamp is preferably used.

露光後、現像液を用いて現像することにより、未露光部を溶解除去して、所望のパターンを得る。本発明の導電パターン形成用フィルムを転写することにより乾燥膜を設ける方法を用いた場合には、離型性フィルムを剥離した後に現像を行うことが好ましい。別の態様として、本発明の導電パターン形成用フィルムに対して、乾燥膜の露光および現像を上記と同様に行った後、得られたパターンを基材に転写する方法も採用することができる。 After the exposure, the unexposed portion is dissolved and removed by developing with a developing solution to obtain a desired pattern. When the method of providing a dry film by transferring the conductive pattern forming film of the present invention is used, it is preferable to perform development after peeling the release film. As another embodiment, it is possible to employ a method in which the film for conductive pattern formation of the present invention is subjected to exposure and development of a dry film in the same manner as above, and then the obtained pattern is transferred to a substrate.

現像方法およびキュア方法としては、感光性導電ペーストを用いての導電層形成における現像方法およびキュア方法として例示した方法が挙げられる。 Examples of the developing method and the curing method include the methods exemplified as the developing method and the curing method in forming a conductive layer using a photosensitive conductive paste.

本発明の感光性導電ペーストや導電パターン形成用フィルムを用いて得られる導電パターンは、タッチパネル、積層セラミックコンデンサ、積層インダクタ、太陽電池等に用いられる配線用途に好適に用いられる。中でも、タッチパネル用途に好適であり、視認されにくさの要求が比較的低い周囲配線、特に、フレキシブルタイプのタッチパネルにおいて、繊維状金属を用いた透明電極と組み合わせる周囲配線として、より好適に用いられる。透明電極を構成する繊維状金属としては、銀繊維が好ましい。 The conductive pattern obtained by using the photosensitive conductive paste or the film for forming a conductive pattern of the present invention is suitably used for wiring applications used in touch panels, laminated ceramic capacitors, laminated inductors, solar cells and the like. Among them, it is suitable for use in touch panels and is more preferably used as peripheral wiring having relatively low requirements for visibility, particularly as peripheral wiring to be combined with transparent electrodes made of fibrous metal in a flexible type touch panel. Silver fibers are preferred as the fibrous metal forming the transparent electrode.

また、本発明の導電パターン形成用フィルムを用いることにより、曲面形状の基板や基板端面等の鋭角面への配線形成を容易に行うことができる。本発明の導電パターン形成用フィルムにおける、本発明の感光性導電ペーストの乾燥膜に対して露光および現像を行い、離型性フィルム上にパターンを形成する。配線形成を行いたい曲面や基板端面に該パターンが接するように、基板に導電パターン形成用フィルムを積層する。この積層体を加熱加圧することによって、該パターンを基板上に熱転写した後、該パターンを加熱してキュアすることで、配線を曲面や基板端面にも形成することができる。また、この方法を用いて前記パターンを基板の両面および端面に熱転写した後、該パターンを加熱してキュアすることで、配線が基板端面を経由して基板の両面に形成された両面配線付基板の作製が可能になる。離型性フィルム上に形成したパターンを熱転写する方法としては、ヒートロールや金型を用いた熱圧着などが挙げられる。 Further, by using the conductive pattern forming film of the present invention, it is possible to easily form a wiring on a curved substrate or an acute-angled surface such as a substrate end surface. The dry film of the photosensitive conductive paste of the present invention in the conductive pattern forming film of the present invention is exposed and developed to form a pattern on the release film. A conductive pattern forming film is laminated on the substrate so that the pattern is in contact with a curved surface on which wiring is to be formed or an end surface of the substrate. By heating and pressing the laminate to thermally transfer the pattern onto the substrate, and then heating and curing the pattern, the wiring can be formed on the curved surface or the end surface of the substrate. A substrate with double-sided wiring, in which wiring is formed on both sides of the substrate via the substrate end face by thermally transferring the pattern to both faces and end faces of the substrate using this method, and then heating the pattern to cure. Can be manufactured. Examples of the method for thermally transferring the pattern formed on the release film include thermocompression bonding using a heat roll or a mold.

本発明の積層部材は、タッチパネル、積層セラミックコンデンサ、積層インダクタ、太陽電池等に用いられる配線付基板用途に好適に用いられる。中でも、タッチパネル用途に好適に用いられる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The laminated member of the present invention is suitable for use in substrates with wiring used in touch panels, laminated ceramic capacitors, laminated inductors, solar cells and the like. Above all, it is preferably used for touch panel applications.

以下に本発明を実施例および比較例を挙げて詳細に説明するが、本発明の態様はこれらに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the embodiments of the present invention are not limited thereto.

各実施例における評価方法は、以下の通りである。 The evaluation method in each example is as follows.

<微細加工性(微細配線の形成)>
実施例1〜16および比較例1については、膜厚50μmのPETフィルム“ルミラー(登録商標)”T60(東レ(株)製)上に、実施例1〜16および比較例1により得られた感光性導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。
<Microfabrication (formation of fine wiring)>
For Examples 1 to 16 and Comparative Example 1, the photosensitivity obtained in Examples 1 to 16 and Comparative Example 1 was applied on a PET film “Lumirror (registered trademark)” T60 (manufactured by Toray Industries, Inc.) having a film thickness of 50 μm. The conductive paste was applied so that the film thickness after drying was 2 μm, and dried in a drying oven at 100° C. for 5 minutes.

実施例17については、離型性フィルムAL−5(リンテック社(株)製、剥離力1480mN/20mm、膜厚16μm)の剥離層面上に、実施例17により得られた感光性導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥し、導電パターン形成用フィルムを得た。引き続き、乾燥膜がPETフィルム“ルミラー(登録商標)”T60(東レ(株)製)に接するように、ラミネーターを用いて60℃、1.0m/分の速度で、PETフィルムと導電パターン形成用フィルムを熱圧着した。 For Example 17, the photosensitive conductive paste obtained in Example 17 was applied onto the release layer surface of the release film AL-5 (manufactured by Lintec Corporation, release force 1480 mN/20 mm, film thickness 16 μm). It was applied so that the film thickness after drying would be 2 μm, and dried in a drying oven at 100° C. for 5 minutes to obtain a conductive pattern forming film. Then, using a laminator, the dry film contacts the PET film "Lumirror (registered trademark)" T60 (manufactured by Toray Industries, Inc.) at 60° C. at a speed of 1.0 m/min to form a conductive pattern with the PET film. The film was thermocompression bonded.

露光部の線太り量を考慮し、得られる導電パターンが一定のラインアンドスペース(以下、L/Sと称す)になるように調整したフォトマスクを介して、超高圧水銀ランプを有する露光装置(PEM−6M;ユニオン光学(株)製)を用いて、露光量400mJ/cm(波長365nm換算)で全線露光を行った。An exposure apparatus having an ultra-high pressure mercury lamp through a photomask adjusted so that the obtained conductive pattern has a constant line-and-space (hereinafter referred to as L/S) in consideration of the amount of line thickening in the exposed portion ( Full line exposure was performed using PEM-6M (Union Optical Co., Ltd.) at an exposure dose of 400 mJ/cm 2 (wavelength 365 nm conversion).

露光後、0.1重量%のNaCO水溶液を用いて、20秒間スプレー現像し、超純水によりリンス処理を行った。その後、熱風オーブンを用いて、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、5種類のL/Sの値が異なる感光性組成物の硬化物パターン(導電パターン)を得た。各ユニットのL/Sの値は30/30、20/20、15/15、10/10および7/7である。得られた導電パターンを、光学顕微鏡で観察した。パターン間に残渣がなく、かつパターン剥がれのない導電パターンのうち、最も小さいL/Sの値を現像可能なL/Sの値とし、微細加工性を評価した。After the exposure, spray development was performed for 20 seconds using a 0.1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and a rinse treatment was performed with ultrapure water. Then, using a hot air oven, heat treatment (curing) was performed at 140° C. for 30 minutes to obtain a cured product pattern (conductive pattern) of five types of photosensitive compositions having different L/S values. The L/S values for each unit are 30/30, 20/20, 15/15, 10/10 and 7/7. The obtained conductive pattern was observed with an optical microscope. Among the conductive patterns having no residue between the patterns and having no pattern peeling, the smallest L/S value was used as the developable L/S value to evaluate the fine workability.

実施例18については、膜厚50μmのPETフィルム“ルミラー”T60(東レ(株)製)上に、実施例18により得られた導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるようにパターン塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。その後、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、3種類のL/Sの値が異なる非感光性組成物の硬化物パターン(導電パターン)を得た。各ユニットのL/Sの値は90/90、75/75および60/60である。得られた導電パターンを、前述と同様の方法で評価した。 In Example 18, the conductive paste obtained in Example 18 was pattern-coated on a PET film “Lumirror” T60 (manufactured by Toray Industries, Inc.) having a film thickness of 50 μm so that the film thickness after drying would be 2 μm. And dried in a drying oven at 100° C. for 5 minutes. Then, heat treatment (curing) was performed at 140° C. for 30 minutes to obtain a cured product pattern (conductive pattern) of three types of non-photosensitive compositions having different L/S values. The L/S values for each unit are 90/90, 75/75 and 60/60. The obtained conductive pattern was evaluated by the same method as described above.

<導電性(比抵抗)>
実施例1〜16および比較例1については、膜厚50μmのPETフィルム“ルミラー(登録商標)”T60上に、実施例1〜16および比較例1により得られた感光性導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるように塗布し、塗布膜を100℃の温度の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。
<Conductivity (specific resistance)>
For Examples 1 to 16 and Comparative Example 1, the photosensitive conductive pastes obtained in Examples 1 to 16 and Comparative Example 1 were dried on a PET film "Lumirror (registered trademark)" T60 having a film thickness of 50 μm after drying. Was applied so as to have a film thickness of 2 μm, and the applied film was dried in a drying oven at a temperature of 100° C. for 5 minutes.

実施例17については、前記離型性フィルムAL−5の剥離層面上に、実施例17により得られた感光性導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥し、導電パターン形成用フィルムを得た。引き続き、乾燥膜がPETフィルム“ルミラー(登録商標)”T60に接するように、ラミネーターを用いて60℃、1.0m/分の速度で、PETフィルムと導電パターン形成用フィルムを熱圧着した。 For Example 17, the photosensitive conductive paste obtained in Example 17 was applied onto the release layer surface of the release film AL-5 so that the film thickness after drying was 2 μm, and the temperature was 100° C. The film was dried in a drying oven for 5 minutes to obtain a conductive pattern forming film. Subsequently, the PET film and the conductive pattern forming film were thermocompression bonded at 60° C. at a speed of 1.0 m/min using a laminator so that the dry film was in contact with the PET film “Lumirror (registered trademark)” T60.

フォトマスクを介して、上記<微細加工性>に記載の条件で露光および現像を行い、配線パターンを得た。得られた配線パターンサンプルを140℃の熱風オーブン内で、30分間加熱処理(キュア)して、図1に示す比抵抗測定用サンプルを得た。図1において、符号1は感光性組成物の硬化物からなる導電パターン、符号2はPETフィルム、Aは比抵抗測定用サンプルの一方の短辺、Bは比抵抗測定用サンプルの他方の短辺を示す。 Through a photomask, exposure and development were performed under the conditions described in <Microfabrication> above to obtain a wiring pattern. The obtained wiring pattern sample was heat-treated (cured) in a hot air oven at 140° C. for 30 minutes to obtain a sample for measuring specific resistance shown in FIG. In FIG. 1, reference numeral 1 is a conductive pattern made of a cured product of a photosensitive composition, reference numeral 2 is a PET film, A is one short side of a resistivity measurement sample, and B is the other short side of a resistivity measurement sample. Indicates.

実施例18については、膜厚50μmのPETフィルム“ルミラー”T60(東レ(株)製)上に、実施例18により得られた導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるようにパターン塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。その後、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、図1に示す比抵抗測定用サンプルを得た。図1において、符号1は非感光性組成物の硬化物からなる導電パターン、符号2はPETフィルム、Aは比抵抗測定用サンプルの一方の短辺、Bは比抵抗測定用サンプルの他方の短辺を示す。 In Example 18, the conductive paste obtained in Example 18 was pattern-coated on a PET film “Lumirror” T60 (manufactured by Toray Industries, Inc.) having a film thickness of 50 μm so that the film thickness after drying would be 2 μm. And dried in a drying oven at 100° C. for 5 minutes. Then, heat treatment (curing) was performed at 140° C. for 30 minutes to obtain a sample for measuring specific resistance shown in FIG. 1. In FIG. 1, reference numeral 1 is a conductive pattern made of a cured product of a non-photosensitive composition, reference numeral 2 is a PET film, A is one short side of a resistivity measurement sample, and B is the other short side of a resistivity measurement sample. Indicates an edge.

得られた比抵抗測定用サンプルのそれぞれの導電パターン1の端部をテスター(CDM−2000D;(株)カスタム製)でつないで抵抗値を測定し、下記式(1)に基づいて比抵抗を算出し、導電性を評価した。
比抵抗(Ω・cm)={抵抗値(Ω)×膜厚(m)×線幅(m)}/{ライン長(m)×100} ・・・ (1)。
The end of each conductive pattern 1 of the obtained sample for measuring specific resistance was connected with a tester (CDM-2000D; manufactured by Custom Co., Ltd.) to measure the resistance value, and the specific resistance was calculated based on the following formula (1). It calculated and evaluated conductivity.
Specific resistance (Ω·cm)={resistance value (Ω)×film thickness (m)×line width (m)}/{line length (m)×100} (1).

<耐屈曲性>
上記<導電性(比抵抗)>に記載の方法により得られた図1に示す比抵抗測定用サンプルを、面状態無負荷U字伸縮試験機DLDMLH−FS(ユアサシステム機器(株))に、導電パターンが山折になるようセットし、図1に示す短辺Aと短辺Bとの距離が10mmになるまで近づけては元に戻す屈曲動作を1万回繰り返した。試験前後の配線抵抗値を測定し、下記の式(2)に示す変化率から耐屈曲性を評価した。
変化率(%)={試験後の配線抵抗値(Ω)/試験前の配線抵抗値(Ω)}×100・・・(2)。
<Bending resistance>
The resistivity measurement sample shown in FIG. 1 obtained by the method described in <Conductivity (Resistance)> was applied to a plane state unloaded U-shaped stretch tester DLDMLH-FS (Yuasa System Equipment Co., Ltd.). The conductive pattern was set so as to have a mountain fold, and the bending operation was repeated 10,000 times until the distance between the short side A and the short side B shown in FIG. The wiring resistance value before and after the test was measured, and the bending resistance was evaluated from the change rate shown in the following formula (2).
Change rate (%)={wiring resistance value (Ω) after test/wiring resistance value (Ω) before test}×100 (2).

<高温高湿環境下における導電性低下(抵抗値比)>
純水に銀繊維とドデシルペンタエチレングリコールを分散させた銀繊維分散液を、膜厚50μmのPETフィルム“ルミラー(登録商標)”T60上に塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。その後、上記銀繊維上に、後述する合成例5により得られたオーバーコート樹脂、不飽和二重結合を有するモノマー(“ライトアクリレート”(登録商標)MPD−A;共栄社化学(株)製)および光重合開始剤(“IRGACURE”(登録商標)369:BASFジャパン(株)製)の100:50:1(重量比)混合物を塗布し、熱処理および乾燥して、厚さ4μmの透明電極層を形成した。
<Reduction of conductivity under high temperature and high humidity environment (resistance value ratio)>
A silver fiber dispersion liquid in which silver fibers and dodecylpentaethylene glycol were dispersed in pure water was applied on a PET film “Lumirror (registered trademark)” T60 having a film thickness of 50 μm, and dried in a drying oven at 100° C. for 5 minutes. .. Then, on the silver fiber, an overcoat resin obtained by Synthesis Example 5 described later, a monomer having an unsaturated double bond (“Light acrylate” (registered trademark) MPD-A; manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), and A 100:50:1 (weight ratio) mixture of a photopolymerization initiator (“IRGACURE” (registered trademark) 369: manufactured by BASF Japan Ltd.) is applied, heat-treated and dried to form a transparent electrode layer having a thickness of 4 μm. Formed.

実施例1〜16、18および比較例1については、上記透明電極層上に、実施例1〜16、18および比較例1により得られた導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるようにパターン塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。実施例17については、上記<微細加工性(微細配線の形成)>に記載の方法により得られた導電パターン形成用フィルムを、導電パターンが形成された面が透明電極層に接するように、ラミネーターを用いて60℃、1.0m/分の速度で熱圧着した。 For Examples 1 to 16 and 18 and Comparative Example 1, the conductive paste obtained in Examples 1 to 16 and 18 and Comparative Example 1 was applied onto the transparent electrode layer so that the film thickness after drying was 2 μm. Was pattern-coated and dried in a drying oven at 100° C. for 5 minutes. In Example 17, the film for conductive pattern formation obtained by the method described in <Microfabrication (formation of fine wiring)> was used so that the surface on which the conductive pattern was formed was in contact with the transparent electrode layer. Was used for thermocompression bonding at 60° C. and a speed of 1.0 m/min.

フォトマスクを介さず、超高圧水銀ランプを有する露光装置(PEM−6M;ユニオン光学(株)製)を用いて、実施例1〜16および比較例1は、露光量400mJ/cm(波長365nm換算)で全線露光を行った。実施例17は、離型性フィルム面に、同様に露光量300mJ/cm(波長365nm換算)で全線露光した。Using an exposure device (PEM-6M; manufactured by Union Optical Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp without using a photomask, Examples 1 to 16 and Comparative Example 1 have exposure amounts of 400 mJ/cm 2 (wavelength 365 nm). Full-line exposure was performed. In Example 17, the releasable film surface was similarly subjected to full-line exposure with an exposure amount of 300 mJ/cm 2 (wavelength 365 nm conversion).

実施例1〜17および比較例1は、露光後、0.1重量%のNaCO水溶液を用いて、20秒間スプレー現像し、超純水によりリンス処理を行った。実施例18は、実施例18により得られた導電ペーストが非感光性であるため、露光および現像工程は不要である。In Examples 1 to 17 and Comparative Example 1, after exposure, spray development was performed for 20 seconds using a 0.1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and a rinse treatment was performed with ultrapure water. Since the conductive paste obtained in Example 18 is non-photosensitive in Example 18, the exposure and development steps are unnecessary.

その後、実施例1〜18および比較例1は、熱風オーブンを用いて、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、図2および図3に示す抵抗値測定用サンプルを得た。 Then, in Examples 1 to 18 and Comparative Example 1, heat treatment (curing) was performed at 140° C. for 30 minutes using a hot air oven to obtain resistance value measurement samples shown in FIGS. 2 and 3.

図2は抵抗値測定用サンプルの模式図であり、図3はその断面模式図である。図2および図3において、符号3は導電パターン、符号4は透明電極パターン、符号5はPETフィルム、符号6はテスターを示す。透明電極パターン上のC地点およびD地点にテスター(CDM−2000D;(株)カスタム製)を接触させ、2地点間の初期抵抗値R1を測定した。その後、抵抗値測定用サンプルを、85℃、85%RHの恒温恒湿槽SH−661(エスペック(株)製)に72時間投入した後、サンプルを取り出し、初期抵抗値R1を測定した2地点間の抵抗値R2を測定した。R1に対するR2の比(R2/R1)を抵抗値比(Rr)とし、下記基準により評価した。
A:1.0<Rr≦1.5
B:1.5<Rr≦3.0
C:3.0<Rr
D:導通なし。
FIG. 2 is a schematic diagram of a resistance value measuring sample, and FIG. 3 is a schematic sectional view thereof. 2 and 3, reference numeral 3 indicates a conductive pattern, reference numeral 4 indicates a transparent electrode pattern, reference numeral 5 indicates a PET film, and reference numeral 6 indicates a tester. A tester (CDM-2000D; manufactured by Custom Co., Ltd.) was brought into contact with points C and D on the transparent electrode pattern, and an initial resistance value R1 between the two points was measured. After that, the resistance value measurement sample was put into a constant temperature and humidity chamber SH-661 (manufactured by ESPEC Corp.) at 85° C. and 85% RH for 72 hours, then the sample was taken out, and the initial resistance value R1 was measured at two points. The resistance value R2 between them was measured. The resistance value ratio (Rr) was defined as the ratio of R2 to R1 (R2/R1), and evaluation was made according to the following criteria.
A: 1.0<Rr≦1.5
B: 1.5<Rr≦3.0
C: 3.0<Rr
D: No continuity.

実施例、比較例で用いた材料は以下の通りである。 The materials used in Examples and Comparative Examples are as follows.

[有機金属化合物(A)]
・アルミニウムセカンダリーブトキシド(金属アルコキシド化合物)
・アルミニウムトリスアセチルアセトネート(金属キレート化合物)
・テトライソプロピルチタネート(金属アルコキシド化合物)
・チタンアセチルアセトネート(金属キレート化合物)
・ノルマルプロピルジルコネート(金属アルコキシド化合物)
・ジルコニウムテトラアセチルアセトネート(金属キレート化合物)。
[Organometallic compound (A)]
・Aluminum secondary butoxide (metal alkoxide compound)
・Aluminum trisacetylacetonate (metal chelate compound)
・Tetraisopropyl titanate (metal alkoxide compound)
・Titanium acetylacetonate (metal chelate compound)
・Normal propyl zirconate (metal alkoxide compound)
-Zirconium tetraacetylacetonate (metal chelate compound).

[カルボキシル基含有樹脂]
(合成例1)カルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−1)
窒素雰囲気の反応容器中に、150gのジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(以下、「DMEA」)を仕込み、オイルバスを用いて80℃まで昇温した。これに、20gのエチルアクリレート(以下、「EA」)、20gのメタクリル酸2−エチルヘキシル(以下、「2−EHMA」)、20gのn−ブチルアクリレート(以下、「BA」)、15gのN−メチロールアクリルアミド(以下、「MAA」)、25gのアクリル酸(以下、「AA」)、0.8gの2,2’−アゾビスイソブチロニトリルおよび10gのDMEAからなる混合物を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で6時間加熱して重合反応を行った。その後、1gのハイドロキノンモノメチルエーテルを添加して、重合反応を停止した。得られた反応溶液をメタノールで精製することにより未反応不純物を除去し、さらに24時間真空乾燥することにより、共重合比率(重量基準):EA/2−EHMA/BA/MAA/AA=20/20/20/15/25の、カルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−1)を得た。得られたカルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−1)の酸価は153mgKOH/gであった。
[Carboxyl group-containing resin]
(Synthesis Example 1) Acrylic copolymer containing a carboxyl group (B-1)
In a reaction vessel under a nitrogen atmosphere, 150 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate (hereinafter, "DMEA") was charged and heated to 80°C using an oil bath. To this, 20 g of ethyl acrylate (hereinafter, "EA"), 20 g of 2-ethylhexyl methacrylate (hereinafter, "2-EHMA"), 20 g of n-butyl acrylate (hereinafter, "BA"), 15 g of N- A mixture of methylol acrylamide (hereinafter "MAA"), 25 g of acrylic acid (hereinafter "AA"), 0.8 g of 2,2'-azobisisobutyronitrile and 10 g of DMEA was added over 1 hour. Dropped. After completion of dropping, the mixture was further heated at 80° C. for 6 hours to carry out a polymerization reaction. Thereafter, 1 g of hydroquinone monomethyl ether was added to stop the polymerization reaction. Unreacted impurities were removed by purifying the obtained reaction solution with methanol, and further vacuum dried for 24 hours to give a copolymerization ratio (weight basis): EA/2-EHMA/BA/MAA/AA=20/ A 20/20/15/25 carboxyl group-containing acrylic copolymer (B-1) was obtained. The acid value of the obtained carboxyl group-containing acrylic copolymer (B-1) was 153 mgKOH/g.

(合成例2)不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−2)
窒素雰囲気の反応容器中に、150gのDMEAを仕込み、オイルバスを用いて80℃まで昇温した。これに、20gのEA、40gの2−EHMA、20gのBA、15gのAA、0.8gの2,2’−アゾビスイソブチロニトリルおよび10gのDMEAからなる混合物を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で6時間加熱して重合反応を行った。その後、1gのハイドロキノンモノメチルエーテルを添加して、重合反応を停止した。引き続き、5gのグリシジルメタクリレート(以下、「GMA」)、1gのトリエチルベンジルアンモニウムクロライドおよび10gのDMEAからなる混合物を、0.5時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに2時間加熱して付加反応を行った。得られた反応溶液をメタノールで精製することにより未反応不純物を除去し、さらに24時間真空乾燥することにより、共重合比率(質量基準):EA/2−EHMA/BA/GMA/AA=20/40/20/5/15の、不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−2)を得た。得られたカルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−2)の酸価は107mgKOH/gであった。
(Synthesis example 2) Acrylic copolymer containing a carboxyl group having an unsaturated double bond (B-2)
150 g of DMEA was charged into a reaction vessel in a nitrogen atmosphere, and the temperature was raised to 80° C. using an oil bath. To this, a mixture of 20 g EA, 40 g 2-EHMA, 20 g BA, 15 g AA, 0.8 g 2,2'-azobisisobutyronitrile and 10 g DMEA was added dropwise over 1 hour. did. After completion of dropping, the mixture was further heated at 80° C. for 6 hours to carry out a polymerization reaction. Thereafter, 1 g of hydroquinone monomethyl ether was added to stop the polymerization reaction. Subsequently, a mixture of 5 g of glycidyl methacrylate (hereinafter, "GMA"), 1 g of triethylbenzylammonium chloride and 10 g of DMEA was added dropwise over 0.5 hour. After the dropping was completed, the reaction was further heated for 2 hours to carry out the addition reaction. Unreacted impurities were removed by purifying the obtained reaction solution with methanol, and further vacuum dried for 24 hours to give a copolymerization ratio (mass basis): EA/2-EHMA/BA/GMA/AA=20/. A carboxyl group-containing acrylic copolymer (B-2) having an unsaturated double bond of 40/20/5/15 was obtained. The acid value of the obtained carboxyl group-containing acrylic copolymer (B-2) was 107 mgKOH/g.

(合成例3)カルボン酸変性エポキシ樹脂(B−3)
窒素雰囲気の反応容器中に、492.1gのDMEA、860.0gのEOCN−103S(日本化薬(株)製;クレゾールノボラック型エポキシ樹脂;エポキシ当量:215.0g/当量)、288.3gのAA、4.92gの2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾールおよび4.92gのトリフェニルホスフィンを仕込み、98℃の温度で反応液の酸価が0.5mg・KOH/g以下になるまで加熱して反応させ、エポキシカルボキシレート化合物を得た。引き続き、この反応液に169.8gのDMEAおよび201.6gのテトラヒドロ無水フタル酸を仕込み、95℃で4時間加熱して反応させ、カルボン酸変性エポキシ樹脂(B−3)を得た。得られたカルボン酸変性エポキシ樹脂(B−3)の酸価は104mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 3) Carboxylic acid-modified epoxy resin (B-3)
In a reaction vessel under a nitrogen atmosphere, 492.1 g of DMEA, 860.0 g of EOCN-103S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; cresol novolac type epoxy resin; epoxy equivalent: 215.0 g/equivalent), 288.3 g AA, 4.92 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol and 4.92 g of triphenylphosphine were charged, and at a temperature of 98° C., the acid value of the reaction solution was 0.5 mg·KOH/g or less. The mixture was heated until it was reacted to obtain an epoxycarboxylate compound. Subsequently, 169.8 g of DMEA and 201.6 g of tetrahydrophthalic anhydride were charged into this reaction solution, and the mixture was heated at 95° C. for 4 hours to cause a reaction to obtain a carboxylic acid-modified epoxy resin (B-3). The acid value of the obtained carboxylic acid-modified epoxy resin (B-3) was 104 mgKOH/g.

(合成例4)ウレタン結合を有するカルボキシル基含有樹脂(B−4)
窒素雰囲気の反応容器中に、368.0gのRE−310S(日本化薬(株)製;エポキシ当量:184.0g/当量)、141.2gのAA、1.02gのハイドロキノンモノメチルエーテルおよび1.53gのトリフェニルホスフィンを仕込み、98℃の温度で反応液の酸価が0.5mgKOH/g以下になるまで加熱して反応させ、エポキシカルボキシレート化合物を得た。その後、この反応溶液に755.5gのDMEA、268.3gの2,2−ビス(ジメチロール)−プロピオン酸、1.08gの2−メチルハイドロキノンおよび140.3gのスピログリコールを加え、45℃に昇温した。この溶液に485.2gのトリメチルヘキサメチレンジイソシアネートを、反応温度が65℃を超えないように徐々に滴下した。滴下終了後、反応温度を80℃に上昇させ、赤外吸収スペクトル測定法により、2250cm−1付近の吸収がなくなるまで6時間加熱して反応させ、ウレタン結合を有するカルボキシル基含有樹脂(B−4)を得た。得られたウレタン結合を有するカルボキシル基含有樹脂(B−4)の酸価は80.0mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 4) Carboxyl group-containing resin having a urethane bond (B-4)
In a reaction vessel under a nitrogen atmosphere, 368.0 g of RE-310S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; epoxy equivalent: 184.0 g/equivalent), 141.2 g of AA, 1.02 g of hydroquinone monomethyl ether and 1. 53 g of triphenylphosphine was charged and heated at a temperature of 98° C. until the acid value of the reaction solution became 0.5 mgKOH/g or less and reacted to obtain an epoxycarboxylate compound. Then, to this reaction solution were added 755.5 g of DMEA, 268.3 g of 2,2-bis(dimethylol)-propionic acid, 1.08 g of 2-methylhydroquinone and 140.3 g of spiroglycol, and the temperature was raised to 45°C. Warmed. To this solution, 485.2 g of trimethylhexamethylene diisocyanate was gradually added dropwise so that the reaction temperature did not exceed 65°C. After completion of the dropping, the reaction temperature is raised to 80° C., and the mixture is heated and reacted for 6 hours until the absorption around 2250 cm −1 disappears by the infrared absorption spectrum measurement method, and the reaction is carried out, and the carboxyl group-containing resin having a urethane bond (B-4 ) Got. The acid value of the obtained carboxyl group-containing resin (B-4) having a urethane bond was 80.0 mgKOH/g.

[その他樹脂]
・“jER”(登録商標)828(三菱化学(株)製)。
[Other resins]
"JER" (registered trademark) 828 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).

[光重合開始剤(C)]
・“IRGACURE”(登録商標)369:(BASFジャパン(株)製)
・“IRGACURE”OXE01(BASFジャパン(株)製、オキシム系化合物)(以下、OXE01と称す)。
[Photopolymerization initiator (C)]
-"IRGACURE" (registered trademark) 369: (manufactured by BASF Japan Ltd.)
"IRGACURE" OXE01 (BASF Japan Ltd., oxime-based compound) (hereinafter referred to as OXE01).

[不飽和二重結合を有する化合物(D)]
・“ライトアクリレート”(登録商標)MPD−A(共栄社化学(株)製)
・“ライトアクリレート”(登録商標)BP−4EA(共栄社化学(株)製)
・CN972(ウレタン結合含有光重合性化合物 サートマー(株)製)。
[Compound (D) Having Unsaturated Double Bond]
-"Light acrylate" (registered trademark) MPD-A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
・"Light acrylate" (registered trademark) BP-4EA (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
-CN972 (urethane bond-containing photopolymerizable compound manufactured by Sartomer Co., Ltd.).

[導電性粒子(E)]
・粒子径(D50)0.7μm、アスペクト比1.1のAg粒子
・粒子径(D50)0.7μm、アスペクト比2.2のAg粒子。
[Conductive particles (E)]
-Ag particles having a particle diameter (D50) of 0.7 µm and an aspect ratio of 1.1-Ag particles having a particle diameter (D50) of 0.7 µm and an aspect ratio of 2.2

[透明電極材料]
・銀繊維(線径5nm、線長5μm)。
[Transparent electrode material]
-Silver fiber (wire diameter 5 nm, wire length 5 μm).

[オーバーコート樹脂]
(合成例5)
窒素雰囲気の反応容器中に、150gのDMEAを仕込み、オイルバスを用いて80℃まで昇温した。これに、25gのEA、40gの2−EHMA、25gのBA、10gのMAA、0.8gの2,2−アゾビスイソブチロニトリルおよび10gのDMEAからなる混合物を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに6時間加熱して重合反応を行った。その後、1gのハイドロキノンモノメチルエーテルを添加して、重合反応を停止した。得られた反応溶液をメタノールで精製することで未反応不純物を除去し、さらに24時間真空乾燥することにより、共重合比率(質量基準):EA/2−EHMA/BA/MAA=25/40/25/10のオーバーコート樹脂を得た。
[Overcoat resin]
(Synthesis example 5)
150 g of DMEA was charged into a reaction vessel in a nitrogen atmosphere, and the temperature was raised to 80° C. using an oil bath. To this was added a mixture of 25 g EA, 40 g 2-EHMA, 25 g BA, 10 g MAA, 0.8 g 2,2-azobisisobutyronitrile and 10 g DMEA dropwise over 1 hour. .. After completion of the dropping, the mixture was further heated for 6 hours to carry out a polymerization reaction. Thereafter, 1 g of hydroquinone monomethyl ether was added to stop the polymerization reaction. Unreacted impurities were removed by purifying the obtained reaction solution with methanol, and further vacuum dried for 24 hours to give a copolymerization ratio (mass basis): EA/2-EHMA/BA/MAA=25/40/. A 25/10 overcoat resin was obtained.

(実施例1)
100mLクリーンボトルに、10.0gの不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−2)、0.50gのOXE01、5gのライトアクリレートBP−4EA、10.0gのDMEAおよび0.30gのアルミニウムセカンダリーブトキシドを入れ、自転−公転真空ミキサー“あわとり錬太郎”(登録商標)ARE−310((株)シンキー製)を用いて混合して、25.80gの樹脂溶液(固形分61.1質量%)を得た。
(Example 1)
In a 100 mL clean bottle, 10.0 g of a carboxyl group-containing acrylic copolymer (B-2) having an unsaturated double bond, 0.50 g of OXE01, 5 g of light acrylate BP-4EA, 10.0 g of DMEA and 0.30 g of aluminum secondary butoxide was added and mixed using a rotation-revolution vacuum mixer "Awatori Rentaro" (registered trademark) ARE-310 (manufactured by Shinky Co., Ltd.) to obtain 25.80 g of a resin solution (solid). 61.1 mass%) was obtained.

得られた25.80gの樹脂溶液と、粒子径(D50)0.7μm、アスペクト比1.1のAg粒子47.22gを混ぜ合わせ、3本ローラーミル(EXAKT M−50;EXAKT社製)を用いて混練し、73.02gの感光性導電ペーストを得た。表1に感光性導電ペーストの組成を示す。 The obtained 25.80 g of the resin solution was mixed with 47.22 g of Ag particles having a particle diameter (D50) of 0.7 μm and an aspect ratio of 1.1, and a three-roll mill (EXAKT M-50; manufactured by EXAKT) was used. It kneaded using and obtained 73.02g of photosensitive conductive paste. Table 1 shows the composition of the photosensitive conductive paste.

前記透明電極層上に、得られた感光性導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるようにパターン塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥した。 The obtained photosensitive conductive paste was pattern-coated on the transparent electrode layer so that the film thickness after drying was 2 μm, and dried in a drying oven at 100° C. for 5 minutes.

フォトマスクを介さず、超高圧水銀ランプを有する露光装置(PEM−6M;ユニオン光学(株)製)を用いて、露光量400mJ/cm(波長365nm換算)で全線露光を行った。Full-line exposure was performed with an exposure amount of 400 mJ/cm 2 (converted to a wavelength of 365 nm) using an exposure device (PEM-6M; manufactured by Union Optical Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp without using a photomask.

露光後、0.1重量%のNaCO水溶液を用いて、20秒間スプレー現像し、超純水によりリンス処理を行った。その後、熱風オーブンを用いて、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、図2および図3に示す抵抗値測定用サンプル(積層部材)を得た。After the exposure, spray development was performed for 20 seconds using a 0.1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and a rinse treatment was performed with ultrapure water. After that, heat treatment (curing) was performed at 140° C. for 30 minutes using a hot air oven to obtain a resistance value measurement sample (laminated member) shown in FIGS. 2 and 3.

得られた感光性導電ペーストおよび積層部材を用いて、前述の方法により、微細加工性、導電性、耐屈曲性、高温高湿環境下における導電性低下をそれぞれ評価した。評価結果を表3に示す。 By using the obtained photosensitive conductive paste and the laminated member, the fine processability, the conductivity, the bending resistance, and the decrease in the conductivity under the high temperature and high humidity environment were evaluated by the above-mentioned methods. The evaluation results are shown in Table 3.

(実施例2〜16、比較例1)
表1〜2に示す組成の感光性導電ペーストを実施例1と同じ方法で作製し、得られた感光性導電ペーストを用いて実施例1と同様にして積層部材を作製し、評価を行った。評価結果を表3に示す。
(Examples 2 to 16, Comparative Example 1)
Photosensitive conductive pastes having the compositions shown in Tables 1 and 2 were prepared in the same manner as in Example 1, and the obtained photosensitive conductive paste was used to prepare laminated members in the same manner as in Example 1 and evaluated. .. The evaluation results are shown in Table 3.

(実施例17)
100mLクリーンボトルに、10.0gのウレタン結合を有するカルボキシル基含有樹脂(B−4)、0.5gのOXE01、5gのCN972、30.0gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、PMACと称す)および0.30gのチタンアセチルアセトネートを入れ、自転−公転真空ミキサー“あわとり錬太郎”(登録商標)ARE−310((株)シンキー製)を用いて混合して、45.80gの樹脂溶液(固形分34.4質量%)を得た。
(Example 17)
In a 100 mL clean bottle, 10.0 g of a carboxyl group-containing resin having a urethane bond (B-4), 0.5 g of OXE01, 5 g of CN972, 30.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as PMAC), and 0.30 g of titanium acetylacetonate was added and mixed using a rotation-revolution vacuum mixer "Awatori Rentaro" (registered trademark) ARE-310 (manufactured by Shinky Co., Ltd.) to prepare 45.80 g of a resin solution ( Solid content 34.4 mass%) was obtained.

得られた45.80gの樹脂溶液と、粒子径(D50)0.7μm、アスペクト比1.1のAg粒子47.22gを混ぜ合わせ、3本ローラーミル(EXAKT M−50;EXAKT社製)を用いて混練し、93.02gの感光性導電ペーストを得た。得られた感光性導電ペーストを用いて、前述の方法により評価を行った。評価結果を表3に示す。 The obtained 45.80 g of the resin solution was mixed with 47.22 g of Ag particles having a particle diameter (D50) of 0.7 μm and an aspect ratio of 1.1, and a three roller mill (EXAKT M-50; manufactured by EXAKT) was used. It kneaded using and obtained 93.02g of photosensitive conductive paste. The obtained photosensitive conductive paste was used and evaluated by the method described above. The evaluation results are shown in Table 3.

(実施例18)
100mLクリーンボトルに、10.0gの“jER”828、0.50gのOXE01、5gのCN972、10.0gのDMEAおよび0.30gのチタンアセチルアセトネートを入れ、自転−公転真空ミキサー“あわとり錬太郎”(登録商標)ARE−310((株)シンキー製)を用いて混合して、25.80gの樹脂溶液(固形分61.1質量%)を得た。
(Example 18)
In a 100 mL clean bottle, 10.0 g of "jER" 828, 0.50 g of OXE01, 5 g of CN972, 10.0 g of DMEA and 0.30 g of titanium acetylacetonate were put, and a rotation-revolution vacuum mixer "Awatori smelt" was used. Taro" (registered trademark) ARE-310 (manufactured by Shinky Co., Ltd.) was mixed to obtain 25.80 g of a resin solution (solid content: 61.1% by mass).

得られた25.80gの樹脂溶液と、粒子径(D50)0.7μm、アスペクト比1.1のAg粒子47.22gを混ぜ合わせ、3本ローラーミル(EXAKT M−50;EXAKT社製)を用いて混練し、73.02gの導電ペーストを得た。 The obtained 25.80 g of the resin solution was mixed with 47.22 g of Ag particles having a particle diameter (D50) of 0.7 μm and an aspect ratio of 1.1, and a three-roll mill (EXAKT M-50; manufactured by EXAKT) was used. It kneaded using and obtained 73.02g of conductive paste.

前記透明電極層上に、得られた導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるようにパターン塗布し、100℃の乾燥オーブン内で5分間乾燥後に、140℃で30分間加熱処理(キュア)を行い、図2および図3に示す抵抗値測定用サンプル(積層部材)を得た。 The obtained conductive paste was pattern-coated on the transparent electrode layer so that the film thickness after drying was 2 μm, dried in a drying oven at 100° C. for 5 minutes, and then heat-treated at 140° C. for 30 minutes (cure). ) Was performed to obtain a resistance value measurement sample (laminated member) shown in FIGS. 2 and 3.

得られた導電ペーストおよび積層部材を用いて、実施例1と同様に評価した結果を表3に示す。 Table 3 shows the results of evaluations made in the same manner as in Example 1 using the obtained conductive paste and laminated member.

Figure 0006717439
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Figure 0006717439
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実施例1〜18の積層部材は、いずれも高温高湿環境における透明電極層の導電性低下を抑制することができた。一方、導電層に有機金属化合物(A)を含有しない比較例1の積層部材は、高温高湿環境において透明電極層の導電性が低下した。 All of the laminated members of Examples 1 to 18 were able to suppress the decrease in conductivity of the transparent electrode layer in a high temperature and high humidity environment. On the other hand, in the laminated member of Comparative Example 1 in which the conductive layer did not contain the organometallic compound (A), the conductivity of the transparent electrode layer was reduced in a high temperature and high humidity environment.

1:導電パターン
2:PETフィルム
3:導電パターン
4:透明電極パターン
5:PETフィルム
6:テスター
A:比抵抗測定用サンプルの一方の短辺
B:比抵抗測定用サンプルの他方の短辺
C:透明電極パターンのC地点
D:透明電極パターンのD地点
1: Conductive pattern 2: PET film 3: Conductive pattern 4: Transparent electrode pattern 5: PET film 6: Tester A: One short side of the sample for measuring resistivity B: The other short side C of the sample for measuring resistivity: Point C of transparent electrode pattern: Point D of transparent electrode pattern

Claims (9)

基材I上に、透明電極層と、導電層とを有する積層部材であって、
前記透明電極層が、バインダー樹脂(X)および金属繊維を含有し、該金属繊維の少なくとも一部が露出しており、
前記導電層が、有機金属化合物(A)、バインダー樹脂(Y)および導電性粒子(E)を含有する組成物の硬化物からなる
積層部材。
On the substrate I, a laminated member having a transparent electrode layer and a conductive layer,
The transparent electrode layer contains a binder resin (X) and a metal fiber, and at least a part of the metal fiber is exposed,
A laminated member in which the conductive layer is a cured product of a composition containing an organometallic compound (A), a binder resin (Y), and conductive particles (E).
前記硬化物が、The cured product is
有機金属化合物(A)、カルボキシル基含有樹脂(B)、光重合開始剤(C)、不飽和二重結合を有する化合物(D)および導電性粒子(E)を含有する感光性導電ペーストPhotosensitive conductive paste containing organometallic compound (A), carboxyl group-containing resin (B), photopolymerization initiator (C), compound (D) having unsaturated double bond and conductive particles (E)
の硬化物である請求項1記載の積層部材。The laminated member according to claim 1, which is a cured product of.
前記硬化物が、The cured product is
カルボキシル基含有樹脂(B)100重量部に対して、前記有機金属化合物(A)を0.1〜10重量部含有する0.1 to 10 parts by weight of the organometallic compound (A) is contained per 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (B).
有機金属化合物(A)、カルボキシル基含有樹脂(B)、光重合開始剤(C)、不飽和二重結合を有する化合物(D)および導電性粒子(E)を含有する感光性導電ペーストPhotosensitive conductive paste containing organometallic compound (A), carboxyl group-containing resin (B), photopolymerization initiator (C), compound (D) having unsaturated double bond and conductive particles (E)
の硬化物である請求項1記載の積層部材。The laminated member according to claim 1, which is a cured product of.
前記透明電極層が、
バインダー樹脂(X)層および金属繊維を含む金属繊維層の積層部位を有し、
前記導電層が、バインダー樹脂(X)層と金属繊維層とに接する請求項1〜3いずれか記載の積層部材。
The transparent electrode layer,
It has a laminated portion of a binder resin (X) layer and a metal fiber layer containing metal fibers,
The laminated member according to claim 1, wherein the conductive layer is in contact with the binder resin (X) layer and the metal fiber layer.
前記透明電極層が、銀繊維を含有する請求項いずれか記載の積層部材。 The transparent electrode layer is laminated member according to any one of claims 1 to 4 containing silver fiber. 前記有機金属化合物(A)が、有機アルミニウム化合物、有機チタン化合物、および、有機ジルコニウム化合物からなる群から選ばれる少なくとも一つを含有する請求項いずれか記載の積層部材。 The organometallic compound (A), organic aluminum compounds, organic titanium compounds, and, laminated member of claims 1 to 5, wherein any one containing at least one selected from the group consisting of organic zirconium compound. 前記有機金属化合物(A)が、金属キレート化合物を含有する請求項いずれか記載の積層部材。 The organometallic compound (A), the laminated member according to any one of claims 1 to 6 containing the metal chelate compound. 前記基材Iが、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルムである請求項いずれか記載の積層部材。 Wherein the substrate I is a cycloolefin polymer (COP) film in which claims 1-7 laminate member according to any one. 請求項のいずれか記載の積層部材を備えるタッチパネル。
A touch panel comprising a laminate member according to any of claims 1-8.
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