JP2020176843A - レーザ計測装置の保護ハウジング - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ計測装置を保護する保護ハウジングの、浮遊、飛散する微細物からの保護性能を向上する。【解決手段】センサユニット1が出射する二つのビーム11は、センサユニット1の前方の保護ハウジング3の内部空間、先端ピース31の前端の開口を通って、被測定体に出射され、出射された二つのビーム11の被測定体による反射光は、先端ピース31の前端の開口、センサユニット1の前方の保護ハウジング3の内部空間を通って、センサユニット1に入射する(a1、a2)。エアカップリング331より保護ハウジング3の内部空間に供給された圧縮エアは、センサユニット1の後方から、センサユニット1の上方、左右側方を通って、センサユニット1の前方に進み、先端ピース31の前端の開口から前方に噴出する(b1、b2)。【選択図】図4
Description
本発明は、レーザ計測装置を保護する保護ハウジングに関するものである。
レーザ計測装置としては、レーザ光を分岐した二つの光束を、異なる方向から被測定物上の同じ領域で交差するように照射すると共に、照射した二つの光束によって被測定物上で生じる反射光を検出し、反射光のビート周波数をヘテロダイン検波して、被測定物の移動速度を算出するレーザドップラ速度計が知られている(たとえば、特許文献1)。
また、レーザ計測装置を保護する技術としては、図8に示すように、レーザ光である測定光801を被測定体に出射し測定光801の反射光802を検出して計測を行うレーザ計測装置800を、測定光801と反射光802の光路が通るように配置した光学窓811を備えたケース810内に収容してレーザ計測装置800を保護すると共に、光学窓811の周囲を囲うノズル状のカバー820をケース810に固定し、カバー820内にエアを供給してカバー820先端から噴出することにより、浮遊している異物から光学窓811や測定光801と反射光802の光路を保護する技術が知られている(たとえば、特許文献2)。
図8に示した技術によれば、浮遊、飛散する水や油などの微細物がケースの隙間から侵入し、レーザ計測装置を汚染してしまう可能性が残る。
また、レーザ計測装置がケース内に密閉されるので、発熱体であるレーザ光源を含むレーザ計測装置の放熱に支障が生じる可能性がある。
そこで、本発明は、レーザ計測装置を保護する保護ハウジングにより、浮遊、飛散する微細物からのレーザ計測装置の保護性能を向上することを課題とする。
併せて本発明は、このようなレーザ計測装置の保護ハウジングにおいて、レーザ計測装置の良好な放熱を確保することを課題とする。
また、レーザ計測装置がケース内に密閉されるので、発熱体であるレーザ光源を含むレーザ計測装置の放熱に支障が生じる可能性がある。
そこで、本発明は、レーザ計測装置を保護する保護ハウジングにより、浮遊、飛散する微細物からのレーザ計測装置の保護性能を向上することを課題とする。
併せて本発明は、このようなレーザ計測装置の保護ハウジングにおいて、レーザ計測装置の良好な放熱を確保することを課題とする。
前記課題達成のために、本発明は、レーザ光を出射しレーザ光の反射光を検出するレーザ計測装置を内部空間に収容する保護ハウジングに、当該保護ハウジングに収容した前記レーザ計測装置が出射するレーザ光と当該レーザ計測装置に入射する反射光の光路が通る、前記内部空間に通ずる開口と、無色の気体が送り込まれる、前記内部空間に通ずる気体導入口とを設け、前記レーザ計測装置を収容する内部空間を、前記開口と気体導入口を除き密閉すると共に、前記レーザ計測装置を当該保護ハウジングに収容した状態において、前記開口と前記気体導入口は前記内部空間を介して通じさせたものである。
このような保護ハウジングによれば、送り込まれる気体により保護ハウジングの内部空間の気圧が外部の気圧より大きく維持され、また、開口より気体が噴出されて浮遊、飛散する微細物の当該開口への接近が阻止されるので、保護ハウジングの内部空間に、浮遊、飛散する微細物が侵入することを抑止できる。
また、開口より、保護ハウジングから出射されるビーム光や反射光の光路と重なる領域に気体が噴出されるので、光路の通る空間を清浄化することができる。
また、気体がレーザ計測装置の周辺を通って流れることで、レーザ計測装置が空冷されるので、レーザ計測装置の良好な放熱を確保することができる。
ここで、このような保護ハウジングは、前記レーザ計測装置を前記内部空間内の前記開口と前記気体導入口との間の位置に収容すると共に、前記気体導入口に送り込まれた気体が、前記レーザ計測装置と前記内部空間の内壁との間の隙間を通って、前記開口に到達し、当該開口から噴出するようにしてもよい。
また、気体がレーザ計測装置の周辺を通って流れることで、レーザ計測装置が空冷されるので、レーザ計測装置の良好な放熱を確保することができる。
ここで、このような保護ハウジングは、前記レーザ計測装置を前記内部空間内の前記開口と前記気体導入口との間の位置に収容すると共に、前記気体導入口に送り込まれた気体が、前記レーザ計測装置と前記内部空間の内壁との間の隙間を通って、前記開口に到達し、当該開口から噴出するようにしてもよい。
また、前記内部空間の内壁には放熱用のフィンを形成してもよい。
このようにすることにより、気体によるレーザ計測装置の放熱効率を高めることができる。
また、前記内部空間の前記開口周辺の部分を、当該開口に向かって狭くなる形状としてもよい。
また、以上の保護ハウジングを、前記開口が設けられた先端ピースと、当該先端ピースが脱着可能に接続され、接続された前記先端ピースと共に前記内部空間を形成するケースと、より構成し、前記ケースに、前記開口が設けられた先端ピースに代えて、他の先端ピースを接続可能としてもよい。そして、該他の先端ピースは、前記ケースに接続した状態において保護ハウジングに収容した前記レーザ計測装置が出射するレーザ光と当該レーザ計測装置に入射する反射光の光路が通るレンズもしくは光学窓を有し、当該他の先端ピースが、前記ケースに接続されたときに、前記ケースと共に、前記気体導入口を除き密閉された内部空間を有する保護ハウジングを形成するものとしてもよい。
このようにすることにより、気体によるレーザ計測装置の放熱効率を高めることができる。
また、前記内部空間の前記開口周辺の部分を、当該開口に向かって狭くなる形状としてもよい。
また、以上の保護ハウジングを、前記開口が設けられた先端ピースと、当該先端ピースが脱着可能に接続され、接続された前記先端ピースと共に前記内部空間を形成するケースと、より構成し、前記ケースに、前記開口が設けられた先端ピースに代えて、他の先端ピースを接続可能としてもよい。そして、該他の先端ピースは、前記ケースに接続した状態において保護ハウジングに収容した前記レーザ計測装置が出射するレーザ光と当該レーザ計測装置に入射する反射光の光路が通るレンズもしくは光学窓を有し、当該他の先端ピースが、前記ケースに接続されたときに、前記ケースと共に、前記気体導入口を除き密閉された内部空間を有する保護ハウジングを形成するものとしてもよい。
以上のように、本発明によれば、レーザ計測装置を保護する保護ハウジングの、浮遊、飛散する微細物からのレーザ計測装置の保護性能を向上することができる。
また、このようなレーザ計測装置の保護ハウジングにおいて、レーザ計測装置の良好な放熱を確保することができる。
また、このようなレーザ計測装置の保護ハウジングにおいて、レーザ計測装置の良好な放熱を確保することができる。
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1aに、本実施形態に係るレーザ計測システムの構成を示す。
図示するように、レーザ計測システムは、センサユニット1と、制御装置2と、保護ハウジング3とを含んで構成される。
センサユニット1は、レーザドップラ速度計を構成するユニットであり、センサユニット1の先端から二つのビームを先端から所定距離離れた測定点で交差するように出射し、センサユニット1の先端に入射する測定点に配置された被測定体による反射光802を、光電変換した検出信号、もしくは、検出信号に所定の信号処理を施した信号としてケーブルを介して制御装置2に出力する。
図1aに、本実施形態に係るレーザ計測システムの構成を示す。
図示するように、レーザ計測システムは、センサユニット1と、制御装置2と、保護ハウジング3とを含んで構成される。
センサユニット1は、レーザドップラ速度計を構成するユニットであり、センサユニット1の先端から二つのビームを先端から所定距離離れた測定点で交差するように出射し、センサユニット1の先端に入射する測定点に配置された被測定体による反射光802を、光電変換した検出信号、もしくは、検出信号に所定の信号処理を施した信号としてケーブルを介して制御装置2に出力する。
制御装置2は、センサユニット1からケーブルを介して出力される検出信号に基づいて被測定体の速度計測などの各種計測処理を行う装置であり、ケーブルを介してセンサユニット1への電源供給も行う。
保護ハウジング3は、図1bに示すように、センサユニット1を収容して保護するハウジングであり、測定環境が水や油などの微細物が浮遊、飛散する環境等である場合に使用する。
次に、図2に、保護ハウジング3の構成を示す。
図2aは保護ハウジング3の前面を、図2bは保護ハウジング3の上面を、図2cは保護ハウジング3の左側面を、図2dは保護ハウジング3の下面を、図2eは保護ハウジング3の後面を表す。
図2aは保護ハウジング3の前面を、図2bは保護ハウジング3の上面を、図2cは保護ハウジング3の左側面を、図2dは保護ハウジング3の下面を、図2eは保護ハウジング3の後面を表す。
図示するように、保護ハウジング3は、先端ピース31、前部ケース32、後部ケース33を有し、先端ピース31は前部ケース32の前端に装着され、前部ケース32の後端に後部ケース33が接続される。
また、後部ケース33の後部には、圧縮エアのエア配管が接続されるエアカップリング331と、センサユニット1のケーブルを保護するケーブルカバー332とが設けられている。
次に、図3a1に図2cの断面線A-Aによる断面を、図3a2に図2bの断面線B-Bによる断面を示す。
図示するように、先端ピース31は前端と後端が開口した、おおよそ円筒形状の内部空間を形成しており、前部ケース32は前端と後端が開口した前方に向かって左右方向に窄まる内部空間を形成しており、後部ケース33は、前端が開口し後端が閉じた直方体形状の内部空間を形成している。
図示するように、先端ピース31は前端と後端が開口した、おおよそ円筒形状の内部空間を形成しており、前部ケース32は前端と後端が開口した前方に向かって左右方向に窄まる内部空間を形成しており、後部ケース33は、前端が開口し後端が閉じた直方体形状の内部空間を形成している。
また、後部ケース33の後端のエアカップリング331の接続部には、エアカップリング331のエア流路にのみ連通する孔が設けられており、前述した後部ケース33の後端のケーブルカバー332の接続部には、保護ハウジング3に収容したセンサユニット1のケーブルを通すための孔が設けられている。
そして、先端ピース31の後部外周に設けた雄ネジと前部ケース32の前部内周に設けた雌ネジとを用いて先端ピース31を前部ケース32の前端に接続し、前部ケース32の後端を後部ケース33の前端にネジ止めによって接続することにより、後部ケース33の後端のエアカップリング331の接続部のエア流路にのみ連通する孔と、ケーブルカバー332の接続部のケーブルを通すための孔を除き、先端ピース31の前端のみが開口した保護ハウジング3の内部空間が形成される。
次に保護ハウジング3への、センサユニット1の収容は、次のように行う。
まず、図3b1に示すように、前部ケース32と後部ケース33を分離し、センサユニット1の前端を後方より前部ケース32に挿入し、前部ケース32の内部空間の下壁に設けたネジ孔を用いて、前部ケース32の内部空間の下壁とセンサユニット1の下面とをネジ止めにより接続して、センサユニット1を前部ケース32の内部空間の下内壁上に固定する。
まず、図3b1に示すように、前部ケース32と後部ケース33を分離し、センサユニット1の前端を後方より前部ケース32に挿入し、前部ケース32の内部空間の下壁に設けたネジ孔を用いて、前部ケース32の内部空間の下壁とセンサユニット1の下面とをネジ止めにより接続して、センサユニット1を前部ケース32の内部空間の下内壁上に固定する。
そして、センサユニット1のケーブルを後部ケース33の後端のケーブルカバー332の接続部の孔に通した上で、センサユニット1のコネクタ部にケーブルを接続する。その後、センサユニット1の後端を後部ケース33の前方より挿入して前部ケース32と後部ケース33とをネジ止めによって接続し、ケーブルカバー332と所定の封止機構によって接続部の孔とケーブルの間の隙間を封止し、図3b2で断面によって示すように保護ハウジング3にセンサユニット1を収容する。この状態において、後部ケース33の後端のケーブルを通すための孔は密閉され、センサユニット1が収容された保護ハウジング3の内部空間は、後端のエアカップリング331の接続部のエア流路と、先端ピース31の前端の開口を除き密閉される。
次に、図4a1、a2に、保護ハウジング3にセンサユニット1を収容した状態における保護ハウジング3とセンサユニット1の断面を示す。
図4a1、a2に示すように、この状態においてセンサユニット1が出射する二つのビーム11は、センサユニット1の前方の保護ハウジング3の内部空間、先端ピース31の前端の開口を通って、被測定体に出射され、出射された二つのビーム11の被測定体による反射光は、先端ピース31の前端の開口、センサユニット1の前方の保護ハウジング3の内部空間を通って、センサユニット1に入射する。
図4a1、a2に示すように、この状態においてセンサユニット1が出射する二つのビーム11は、センサユニット1の前方の保護ハウジング3の内部空間、先端ピース31の前端の開口を通って、被測定体に出射され、出射された二つのビーム11の被測定体による反射光は、先端ピース31の前端の開口、センサユニット1の前方の保護ハウジング3の内部空間を通って、センサユニット1に入射する。
次に、センサユニット1の上方、左右側方、後方には、図4b1、b2に灰色で塗りつぶした領域として示す、センサユニット1と保護ハウジング3の内壁との間の隙間がある。
また、保護ハウジング3にセンサユニット1を収容した計測は、圧縮エアのエア配管をエアカップリング331に接続し、エアカップリング331より保護ハウジング3の内部空間に圧縮エアを供給しながら行う。
また、保護ハウジング3にセンサユニット1を収容した計測は、圧縮エアのエア配管をエアカップリング331に接続し、エアカップリング331より保護ハウジング3の内部空間に圧縮エアを供給しながら行う。
エアカップリング331より保護ハウジング3の内部空間に供給された圧縮エアは、センサユニット1の後方から、センサユニット1の上方、左右側方を通って、センサユニット1の前方に進み、先端ピース31の前端の開口から前方に噴出する。
したがって、本実施形態に係る保護ハウジング3によれば、圧縮エアにより保護ハウジング3の内部空間の気圧が外部空間の気圧より大きく維持され、また、先端ピース31の先端の開口より圧縮エアが噴出されて当該開口への浮遊、飛散する微細物の接近が阻止されるので、保護ハウジング3の内部空間に、浮遊、飛散する微細物が侵入することを抑止できる。
また、先端ピース31の先端の開口より、保護ハウジング3から出射される二つのビームや、反射光の保護ハウジング3への入射光路と重なる領域に圧縮エアが噴出されるので、これら光路の通る空間を清浄化することができる。
また、圧縮エアがセンサユニット1の周辺を通って流れ、センサユニット1が空冷されるので、センサユニット1の良好な放熱を確保することができる。また、外部の熱からセンサユニット1を保護することもできる。
さて、上述のように保護ハウジング3の先端ピース31は図5a1、a2に示すように前部ケース32に脱着可能となっており、図1から図4に示した先端ピース31の他に、他の種類の先端ピース31を用意し、用途により先端ピース31を交換して計測を行うことができる。
さて、上述のように保護ハウジング3の先端ピース31は図5a1、a2に示すように前部ケース32に脱着可能となっており、図1から図4に示した先端ピース31の他に、他の種類の先端ピース31を用意し、用途により先端ピース31を交換して計測を行うことができる。
たとえば、図5b1、b2に示すような、先端ピース31の前端の開口をレンズやガラス等の光透過体311で封止した先端ピース31を設けて、前部ケース32に装着することにより、図5c1、c2に示すように、センサユニット1を保護ハウジング3で密閉することができる。
なお、図5c1、c2に示す先端ピース31を用いて、センサユニット1を保護ハウジング3で密閉する場合でも、圧縮エアのエア配管をエアカップリング331に接続し、エアカップリング331より保護ハウジング3の内部空間に後方より圧縮エアを供給する。
これにより、保護ハウジング3の内部空間の気圧を外部空間の気圧より大きくして、保護ハウジング3の隙間等より保護ハウジング3の内部空間に、浮遊、飛散する微細物が侵入することを抑止できる。
このような前端を光透過体311で封止した先端ピース31を用いる場合、図6a、bに示すように、先端ピース31にエアカップリング601と、エアカップリング601を介して供給された圧縮エアを先端ピース31の前方に噴出するエア流路602を設けるようにしてもよい。または、先端ピース31内部に保護ハウジング3の内部空間と連通する流路を設け、先端ピース31の前端に設けた当該流路の開口から、保護ハウジング3の内部空間に導入されたエアを光透過体311前方に噴出させてもよい、
これにより、先端ピース31の前端を封止する光透過体311の浮遊、飛散する微細物による汚染を抑制することができると共に、保護ハウジング3外の光路の通る空間を清浄化することができる。
また、センサユニット1の放熱効率をより向上するために、以上の保護ハウジング3に放熱フィンを設けるようにしてもよい。
図7aに図2cの断面線A-Aによる断面を、図7bに図2bの断面線B-Bによる断面を、図7cに図7aのC-C断面線による断面を示す。後部ケース33の上、左、右の内壁に所定間隔で設けた複数の前後方向に延びるフィン701により放熱フィンを形成し、後部ケース33の下壁に接するセンサユニット1より後部ケース33の上、左、右の壁に熱伝導した熱を圧縮エアで効率的に放熱するようにしてもよい。なお、センサユニット1から後部ケース33への伝熱は、後部ケース33の下壁以外の面で行うようにしてもよい。
また、センサユニット1の放熱効率をより向上するために、以上の保護ハウジング3に放熱フィンを設けるようにしてもよい。
図7aに図2cの断面線A-Aによる断面を、図7bに図2bの断面線B-Bによる断面を、図7cに図7aのC-C断面線による断面を示す。後部ケース33の上、左、右の内壁に所定間隔で設けた複数の前後方向に延びるフィン701により放熱フィンを形成し、後部ケース33の下壁に接するセンサユニット1より後部ケース33の上、左、右の壁に熱伝導した熱を圧縮エアで効率的に放熱するようにしてもよい。なお、センサユニット1から後部ケース33への伝熱は、後部ケース33の下壁以外の面で行うようにしてもよい。
以上、本発明の実施形態について説明した。
ここで、以上の実施形態では、圧縮エアに代えて無色の気体を用いるようにしてもよい。
また、以上では、センサユニット1がレーザドップラ速度計を構成するユニットである場合について示したが、本実施形態はセンサユニット1が、レーザ距離計やレーザ変位計やレーザドップラ振動計などの、レーザドップラ速度計以外のレーザ測定装置を構成する場合にも同様に適用することができる。
ここで、以上の実施形態では、圧縮エアに代えて無色の気体を用いるようにしてもよい。
また、以上では、センサユニット1がレーザドップラ速度計を構成するユニットである場合について示したが、本実施形態はセンサユニット1が、レーザ距離計やレーザ変位計やレーザドップラ振動計などの、レーザドップラ速度計以外のレーザ測定装置を構成する場合にも同様に適用することができる。
1…センサユニット、2…制御装置、3…保護ハウジング、31…先端ピース、32…前部ケース、33…後部ケース、311…光透過体、331…エアカップリング、332…ケーブルカバー、601…エアカップリング、602…エア流路、800…レーザ計測装置、801…測定光、802…反射光、810…ケース、811…光学窓、820…カバー。
Claims (5)
- レーザ光を出射しレーザ光の反射光を検出するレーザ計測装置を内部空間に収容する保護ハウジングであって、
当該保護ハウジングに収容した前記レーザ計測装置が出射するレーザ光と当該レーザ計測装置に入射する反射光の光路が通る、前記内部空間に通ずる開口と、
無色の気体が送り込まれる、前記内部空間に通ずる気体導入口とを有し、
前記レーザ計測装置を収容する内部空間は、前記開口と気体導入口を除き密閉されており、
前記レーザ計測装置を当該保護ハウジングに収容した状態において、前記開口と前記気体導入口は前記内部空間を介して通じていることを特徴とする保護ハウジング。
- 請求項1記載の保護ハウジングであって、
当該保護ハウジングは、前記レーザ計測装置を前記内部空間内の前記開口と前記気体導入口との間の位置に収容し、前記気体導入口に送り込まれた気体は、前記レーザ計測装置と前記内部空間の内壁との間の隙間を通って、前記開口に到達し、当該開口から噴出することを特徴とする保護ハウジング。
- 請求項2記載の保護ハウジングであって、
前記内部空間の前記開口周辺の部分は、当該開口に向かって狭くなる形状を有していることを特徴とする保護ハウジング。
- 請求項1、2または3記載の保護ハウジングであって、
前記内部空間の内壁には放熱用のフィンが形成されていることを特徴とする保護ハウジング。
- 請求項1、2、3または4記載の保護ハウジングであって、
前記保護ハウジングは、前記開口が設けられた先端ピースと、当該先端ピースが脱着可能に接続され、接続された前記先端ピースと共に前記内部空間を形成するケースとより構成され、
前記ケースには、前記開口が設けられた先端ピースに代えて、他の先端ピースを接続可能であり、
当該他の先端ピースは、前記ケースに接続した状態において保護ハウジングに収容した前記レーザ計測装置が出射するレーザ光と当該レーザ計測装置に入射する反射光の光路が通るレンズもしくは光学窓を有し、
当該他の先端ピースは、前記ケースに接続されたときに、前記ケースと共に、前記気体導入口を除き密閉された内部空間を有する保護ハウジングを形成することを特徴とする保護ハウジング。
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221025 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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