JP2020148485A - 層流素子および層流型流量計 - Google Patents
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Abstract
【課題】流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減する。【解決手段】金属薄板1〜5を積層して層流素子100とする。金属薄板2には、通過する流体の流れを層流とする層流流路LAを構成するチャネル2−3を形成し、金属薄板4には、通過する流体の流れを層流とする層流流路LBを構成するチャネル4−3を形成する。層流流路LAおよび層流流路LBに、層流流路LAに流れる流体の方向と層流流路LBに流れる流体の方向とが互いに逆となるように、流体を導く。これにより、層流流路LAと層流流路LBとで圧力降下に伴って発生する温度分布が逆となり、層流素子100の上下流で生じる温度差の発生が抑制される。【選択図】 図1
Description
本発明は、層流素子およびこの層流素子を用いた層流型流量計に関する。
従来より、流路を流れる流体の流量を計測する流量計の1つとして、層流型流量計が用いられている。この層流型流量計は、通過する流体の流れを層流、すなわちその流体の流線が常に管軸と平行な流れとする層流素子を備えており、この層流素子の上流側と下流側の流体の圧力の差から流路を流れる流体の流量を計測する(例えば、特許文献1参照)。
層流型流量計は、流路内を流体が層流状態で流れた場合、ハーゲンポアズイユの法則により、流体の移動に伴う圧力降下が体積流量に比例する現象を利用した流量計である。この層流型流量計において、質量流量と差圧との関係は次式で表される。
Qm=ΔP・K・(ρ/(μ・L)) ・・・・(1)
但し、Qm:質量流量、ΔP:層流素子の上流側と下流側の流体の圧力の差(差圧)、K:比例定数、ρ:流体の密度、μ:流体の粘性係数(流体の粘度)、L:流路長。
Qm=ΔP・K・(ρ/(μ・L)) ・・・・(1)
但し、Qm:質量流量、ΔP:層流素子の上流側と下流側の流体の圧力の差(差圧)、K:比例定数、ρ:流体の密度、μ:流体の粘性係数(流体の粘度)、L:流路長。
この(1)式において、流体の密度ρや流体の粘度μは温度に依存する。このため、層流素子の温度を計測し、流体の密度ρや流体の粘度μの補正を行う必要がある。
しかしながら、層流素子の流路内を流体が通過すると、圧力降下に伴って流体に温度変化が生じる。例えば、ガスの場合、流体の流れ方向に沿って温度が低くなる。
このように、従来の層流素子では、流体の流れ方向に温度分布ができるため、流体の密度ρや流体の粘度μの補正を精度よく行うことができず、質量流量の計測に誤差を生じるという問題があった。
なお、層流素子の上下流で複数の温度を計測して演算することも考えられるが、余計なコストを要したり、小型化の障害となる。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減することができる層流素子および層流型流量計を提供することにある。
このような目的を達成するために、本発明に係る層流素子(100)は、積層されて流路を形成する複数の板状部材を備え、前記複数の板状部材は、外側の一方に位置して、流体の第1の流入口となる第1の貫通孔(1−1)および第2の流入口となる第2の貫通孔(1−2)を有する第1の外側板状部材(1)と、外側の他方に位置して、前記流体の第1の流出口となる第1の貫通孔(5−1)および第2の流出口となる第2の貫通孔(5−2)を有する第2の外側板状部材(5)と、前記第1の外側板状部材と前記第2の外側板状部材との間に配置され、隣接する2つの板状部材(1,3)の間に挟まれて、前記第1の流入口と前記第1の流出口との間の第1の流路(L1)の一部となるとともに、通過する流体の流れを層流とする第1の層流流路(LA)を形成するチャネル(2−3)と、前記第2の流入口と前記第2の流出口との間の第2の流路(L2)の一部を形成する貫通孔(2−2)とを有する第1の中間板状部材(2)と、前記第1の外側板状部材と前記第2の板状部材との間に配置され、隣接する2つの板状部材(3,5)の間に挟まれて、前記第2の流路(L2)の一部となるとともに、通過する流体の流れを層流とする第2の層流流路(LB)を形成するチャネル(4−3)と、前記第1の流路の一部を形成する貫通孔(4−2)とを有する第2の中間板状部材(4)と、前記第1の中間板状部材と前記第2の中間板状部材との間に配置され、前記第1の中間板状部材および前記第2の中間板状部材の少なくとも一方と隣接し、前記第1の流路の一部を形成する第1の貫通孔(3−4)と、前記第2の流路の一部を形成する第2の貫通孔(3−2)とを有する第3の中間板状部材(3)とを含み、前記第1の層流流路と前記第2の層流流路とは、前記第1の層流流路に流れる流体の方向と前記第2の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように構成されていることを特徴とする。
本発明に係る層流素子において、第1の中間板状部材は、通過する流体の流れを層流とする第1の層流流路を形成するチャネルを有し、第2の中間板状部材は、通過する流体の流れを層流とする第2の層流流路を形成するチャネルを有しており、第1の層流流路および第2の層流流路には、第1の層流流路に流れる流体の方向と第2の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように流体が導かれる。これにより、第1の層流流路と第2の層流流路とで圧力降下に伴って発生する温度分布が逆となり、層流素子の上下流で生じる温度差の発生が抑制される。
また、本発明に係る層流型流量計(200)は、通過する流体の流れを層流とする本発明に係る層流素子(100)と、前記層流素子の上流側と下流側の圧力の差を差圧として取得するように構成された差圧取得部(15、19)と、前記層流素子の温度を検出するように構成された温度検出部(13)と、前記差圧取得部によって取得された差圧と前記温度検出部によって検出された温度とに基づいて前記層流素子を流れる流体の流量を求めるように構成された流量算出部(18)とを備えることを特徴とする。
本発明に係る層流型流量計において、層流素子の第1の層流流路および第2の層流流路には、第1の層流流路に流れる流体の方向と第2の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように流体が導かれる。これにより、層流素子の上下流で生じる温度差の発生が抑制され、層流素子の流路内の流体温度を正確に計測することが可能となり、流体の密度や流体の粘度の補正を精度よく行って、流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減することができるようになる。
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の構成要素を、括弧を付した参照符号によって示している。
以上説明したように、本発明によれば、層流素子の第1の層流流路および第2の層流流路に、第1の層流流路に流れる流体の方向と第2の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように流体を導くようにしたので、第1の層流流路と第2の層流流路とで圧力降下に伴って発生する温度分布を逆とし、層流素子の上下流で生じる温度差の発生を抑制するようにして、流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減することができるようになる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
〔層流素子〕
図1は、本発明の実施の形態に係る層流素子の要部を示す分解斜視図である。この層流素子100(100A)は、板面を重ね合わせるようにして積層される金属製の薄板(以下、「金属薄板」と呼ぶ。)1〜5から構成されている。これらの金属薄板1〜5のそれぞれが本発明でいう「板状部材」に相当する。図3に、金属薄板1〜5が積層された状態を示す。
図1は、本発明の実施の形態に係る層流素子の要部を示す分解斜視図である。この層流素子100(100A)は、板面を重ね合わせるようにして積層される金属製の薄板(以下、「金属薄板」と呼ぶ。)1〜5から構成されている。これらの金属薄板1〜5のそれぞれが本発明でいう「板状部材」に相当する。図3に、金属薄板1〜5が積層された状態を示す。
この層流素子100Aにおいて、金属薄板1は外側の一方に位置し、金属薄板5は外側の他方に位置する。金属薄板2〜4は、金属薄板1と金属薄板5との間に挟まれており、金属薄板1と金属薄板3との間に金属薄板2が挟まれ、金属薄板3と金属薄板5との間に金属薄板4が挟まれている。
金属薄板1には、その板面の後方左側に第1の流入口となる貫通孔1−1が形成され、後方右側に第2の流入口となる貫通孔1−2が形成されている。この金属薄板1が本発明でいう第1の外側板状部材に相当する。
金属薄板2には、その板面の前方左側に貫通孔2−1が形成され、後方右側に貫通孔2−2が形成されている。また、金属薄板2の板面には、この金属薄板2の幅方向(X方向)の中央部に、この金属薄板2の長手方向(Y方向)に延びたチャネル2−3が形成されている。
このチャネル2−3は、金属薄板2の板面を貫いた細長い孔(スリット)とされており、金属薄板1と金属薄板3との間に挟まれて、通過する流体の流れを層流とする層流流路LAを形成する。
チャネル2−3の一方側の端部は、後方左側に設けられた貫通孔2−4とつながっており、チャネル2−3の他方側の端部は、前方右側に設けられた貫通孔2−5とつながっている。この金属薄板2が本発明でいう第1の中間板状部材に相当する。
金属薄板3には、その板面の後方左側に貫通孔3−1が形成され、後方右側に貫通孔3−2が形成されている。また、前方左側に貫通孔3−3が形成され、前方右側に貫通孔3−4が形成されている。この金属薄板2が本発明でいう第3の中間板状部材に相当する。
金属薄板4には、その板面の後方左側に貫通孔4−1が形成され、前方右側に貫通孔4−2が形成されている。また、金属薄板4の板面には、この金属薄板4の幅方向(X方向)の中央部に、金属薄板4の長手方向(Y方向)に延びたチャネル4−3が形成されている。
このチャネル4−3は、金属薄板4の板面を貫いた細長い孔(スリット)とされており、金属薄板3と金属薄板4との間に挟まれて、通過する流体の流れを層流とする層流流路LBを形成する。
チャネル4−3の一方側の端部は、前方左側に設けられた貫通孔4−5とつながっており、チャネル4−3の他方側の端部は、後方右側に設けられた貫通孔4−4とつながっている。この金属薄板4が本発明でいう第2の中間板状部材に相当する。なお、この例では、金属薄板4を金属薄板2と共通部品とし、その向きを変えて配置しているが、金属薄板4と金属薄板2とを別部品としてもよい。
金属薄板5には、その板面の前方右側に第1の流出口となる貫通孔5−1が形成され、前方左側に第2の流出口となる貫通孔5−2が形成されている。この金属薄板5が本発明でいう第2の外側板状部材に相当する。
この層流素子100Aにおいて、金属薄板1には角孔1a〜1dが形成され、金属薄板2には角孔2a〜2dが形成されている。また、金属薄板3には角孔3a〜3dが形成され、金属薄板4には角孔4a〜4dが形成されている。金属薄板1〜5は、角孔1a〜1d、2a〜2d、3a〜3d、4a〜4dを位置決め用の孔として積層される。
この金属薄板1〜5を積層した状態において、金属薄板2に形成されたチャネル2−3と、金属薄板4に形成されたチャネル4−3とは互いに平行とされ、層流流路LAと層流流路LBとは、金属薄板1または金属薄板5の方向から見たときに互いに重なり合うものされる。
また、この金属薄板1〜5を積層した状態において、金属薄板1の貫通孔1−1は金属薄板2の貫通孔2−4とつながり、金属薄板2の貫通孔2−4は金属薄板2のチャネル2−3,貫通孔2−5を通して金属薄板3の貫通孔3−4とつながり、金属薄板3の貫通孔3−4は金属薄板4の貫通孔4−2につながり、金属薄板4の貫通孔4−2は金属薄板5の貫通孔5−1につながって、第1の流入口(貫通孔1−1)から第1の流出口(貫通孔5−1)に至る第1の流路L1を形成する。
また、金属薄板1の貫通孔1−2は金属薄板2の貫通孔2−2とつながり、金属薄板2の貫通孔2−2は金属薄板3の貫通孔3−2とつながり、金属薄板3の貫通孔3−2は金属薄板4の貫通孔4−4とつながり、金属薄板4の貫通孔4−4は金属薄板4のチャネル4−3,貫通孔4−5を通して金属薄板5の貫通孔5−2とつながって、第2の流入口(貫通孔1−2)から第2の流出口(貫通孔5−2)に至る第2の流路L2を形成する。
この層流素子100Aにおいて、金属薄板1の貫通孔1−1から流入した流体は、金属薄板2に形成されている貫通孔2−4に入り、層流流路LAを通って貫通孔2−5へ至り、金属薄板3の貫通孔3−4、金属薄板4の貫通孔4−2を通って、金属薄板5の貫通孔5−1から流出する。すなわち、金属薄板1の貫通孔1−1から流入した流体は、第1の流路L1を通って流出する。
また、金属薄板1の貫通孔1−2から流入した流体は、金属薄板2の貫通孔2−2、金属薄板3の貫通孔3−2を通って金属薄板4に形成されている貫通孔4−4に入り、層流流路LBを通って貫通孔4−5へ至り、金属薄板5の貫通孔5−2から流出する。すなわち、金属薄板1の貫通孔1−2から流入した流体は、第2の流路L2を通って流出する。
この層流素子100Aにおいて、金属薄板1と金属薄板3との間に挟まれた金属薄板2の層流流路LAには、金属薄板1の貫通孔1−1、金属薄板2の貫通孔2−4、層流流路LA、金属薄板2の貫通孔2−5、金属薄板3の貫通孔3−4、金属薄板4の貫通孔4−2および金属薄板5の貫通孔5−1を流路L1として、層流流路LAの一方側から他方側へ向かって流体が流れる。
これに対し、金属薄板3と金属薄板5との間に挟まれた金属薄板4の層流流路LBには、金属薄板1の貫通孔1−2、金属薄板2の貫通孔2−2、金属薄板3の貫通孔3−2,金属薄板4の貫通孔4−4、層流流路LB、金属薄板4の貫通孔4−5および金属薄板5の貫通孔5−2を流路L2の一部として、層流流路LBの他方側から一方側へ向かって流体が流れる。
この層流素子100Aにおいて、層流流路LAは、通過する流体の流れを層流とする役割を果たし、この層流流路LAを流体が流れる際の圧力降下に伴って、流体の流れ方向に温度分布が生じる。同様に、層流流路LBも、通過する流体の流れを層流とする役割を果たし、この層流流路LBを流体が流れる際の圧力降下に伴って、流体の流れ方向に温度分布が生じる。この層流素子100Aでは、層流流路LAを流れる流体の方向と層流流路LBを流れる流体の方向とが互いに逆となるので、層流流路LAと層流流路LBとで圧力降下に伴って発生する温度分布が逆となり、層流素子100Aの上下流で生じる温度差の発生が抑制される。
図1には、金属薄板を5枚積層した例を示したが、金属薄板の枚数をさらに増やすことによって、流量レンジの調整が容易に可能となる。図2に、金属薄板を9枚積層した例を示す。
図2に示した層流素子100(100B)では、チャネル2−3が形成された金属薄板21を金属薄板1と金属薄板31との間に挟み、チャネル4−3が形成された金属薄板41を金属薄板31と金属薄板32との間に挟み、チャネル2−3が形成された金属薄板22を金属薄板32と金属薄板33との間に挟み、チャネル4−3が形成された金属薄板42を金属薄板33と金属薄板5の間に挟んでいる。
この層流素子100Bにおいて、金属薄板21および22の層流流路LAに流れる流体の方向と、金属薄板41および42の層流流路LBに流れる流体の方向とは互いに逆とされる(図4参照)。
これにより、金属薄板21および22の層流流路LAと金属薄板41および42の層流流路LBとで圧力降下によって発生する温度分布が逆となり、層流素子100Bの上下流で生じる温度差の発生が抑制される。また、流体が流れる流路が増えることから、流量レンジが拡大される。
〔層流型流量計〕
図5に、本発明に係る層流素子を用いた層流型流量計の要部の構成を示す。なお、この層流型流量計200では、流体の流れ方向を互いに逆とした層流流路LAと層流流路LBとの組を3つとした層流素子100(100C)を用いている。
図5に、本発明に係る層流素子を用いた層流型流量計の要部の構成を示す。なお、この層流型流量計200では、流体の流れ方向を互いに逆とした層流流路LAと層流流路LBとの組を3つとした層流素子100(100C)を用いている。
図5において、10は流体が流れる主流路であり、主流路10内に層流素子100Cが設けられている。層流素子100Cの上流側には、この層流素子100Cの上流側の流体の圧力を上流側圧力P1として検出する圧力センサ11が設けられ、層流素子100Cの下流側には、この層流素子100Cの下流側の流体の圧力を下流側圧力P2として検出する圧力センサ12が設けられている。
なお、圧力センサ11は、層流流路LAの上流側の流体の圧力と層流流路LBの上流側の流体の圧力とを均した圧力を上流側圧力P1として検出し、圧力センサ12は、層流流路LAの下流の流体の圧力と層流流路LBの下流側の流体の圧力とを均した圧力を下流側圧力P2として検出する。
また、層流素子100Cには、層流素子100Cの温度を検出する温度センサ13が設けられている。この例では、層流素子100Cのボディを貫いて、層流素子100Cの内部に温度センサ13を設け、層流素子100C内の金属部分の温度を層流素子100Cの温度として検出するようにしている。なお、温度センサ13が検出する温度は、層流素子100Cの真ん中あたりが望ましい。
また、この層流型流量計200には、圧力センサ11が検出する層流素子100Cの上流側圧力P1と、圧力センサ12が検出する層流素子100Cの下流側圧力P2とから、層流素子100Cを流れる流体の質量流量Qmを演算する流量演算部14が設けられている。
流量演算部14は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、差圧測定部15と密度補正部16と粘度補正部17と質量流量算出部18とを備えている。
流量演算部14において、差圧測定部15は、圧力センサ11からの層流素子100Cの上流側圧力P1と圧力センサ12からの層流素子100Cの下流側圧力P2とを入力とし、この上流側圧力P1と下流側圧力P2との差を差圧ΔPとして求める。
密度補正部16は、温度センサ13が検出する層流素子100Cの温度Tを入力とし、この層流素子100Cの温度Tに基づいて層流素子100Cを流れる流体の密度ρを補正する。粘度補正部17は、温度センサ13が検出する層流素子100Cの温度Tを入力とし、この層流素子100Cの温度Tに基づいて層流素子100Cを流れる流体の粘度μを補正する。
質量流量算出部18は、差圧測定部15からの差圧ΔPと密度補正部16からの補正された密度ρと粘度補正部17からの補正された粘度μとを入力とし、前記の(1)式より、層流素子100Cを流れる流体の質量流量Qmを算出する。
この層流型流量計200において、層流素子100Cの層流流路LAおよび層流流路LBには、層流流路LAに流れる流体の方向と層流流路LBに流れる流体の方向とが互いに逆となるように、流体が導かれる。これにより、層流素子100Cの上下流で生じる温度差の発生が抑制され、層流素子100Cの流路内の流体温度を正確に計測することが可能となり、流体の密度や流体の粘度の補正を精度よく行って、流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減することができるようになる。
なお、この層流型流量計200では、圧力センサ11が検出する上流側圧力P1と圧力センサ12が検出する下流側圧力P2との差を差圧測定部15において差圧ΔPとして求めるようにしたが、図6に示すように、層流素子100Cの上流側と下流側の流体の圧力の差を差圧ΔPとして検出する差圧センサ19を設け、この差圧センサ19が検出する差圧ΔPを質量流量算出部18に送るようにしてもよい。図6では、図5に示した層流型流量計200と区別するために、層流型流量計を200’として示し、流量演算部を14’として示している。
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
1〜5…金属薄板、1−1,1−2…貫通孔、2−3,4−3…チャネル、5−1,5−2…貫通孔、LA,LB…層流流路、11,12…圧力センサ、13…温度センサ、14,14’…流量演算部、15…差圧測定部、16…密度補正部、17…粘度補正部、18…質量流量算出部、19…差圧センサ、100(100A〜100C)…層流素子、200,200’…層流型流量計。
Claims (8)
- 積層されて流路を形成する複数の板状部材を備え、
前記複数の板状部材は、
外側の一方に位置して、流体の第1の流入口となる第1の貫通孔および第2の流入口となる第2の貫通孔を有する第1の外側板状部材と、
外側の他方に位置して、前記流体の第1の流出口となる第1の貫通孔および第2の流出口となる第2の貫通孔を有する第2の外側板状部材と、
前記第1の外側板状部材と前記第2の外側板状部材との間に配置され、隣接する2つの板状部材の間に挟まれて、前記第1の流入口と前記第1の流出口との間の第1の流路の一部となるとともに、通過する流体の流れを層流とする第1の層流流路を形成するチャネルと、前記第2の流入口と前記第2の流出口との間の第2の流路の一部を形成する貫通孔とを有する第1の中間板状部材と、
前記第1の外側板状部材と前記第2の板状部材との間に配置され、隣接する2つの板状部材の間に挟まれて、前記第2の流路の一部となるとともに、通過する流体の流れを層流とする第2の層流流路を形成するチャネルと、前記第1の流路の一部を形成する貫通孔とを有する第2の中間板状部材と、
前記第1の中間板状部材と前記第2の中間板状部材との間に配置され、前記第1の中間板状部材および前記第2の中間板状部材の少なくとも一方と隣接し、前記第1の流路の一部を形成する第1の貫通孔と、前記第2の流路の一部を形成する第2の貫通孔とを有する第3の中間板状部材とを含み、
前記第1の層流流路と前記第2の層流流路とは、
前記第1の層流流路に流れる流体の方向と前記第2の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように構成されている
ことを特徴とする層流素子。 - 請求項1に記載された層流素子において、
前記複数の板状部材は、
前記第1の中間板状部材に形成されたチャネルと、前記第2の中間板状部材に形成されたチャネルとが互いに平行になるように積層される
ことを特徴とする層流素子。 - 請求項1または2に記載された層流素子において、
前記第1の層流流路と前記第2の層流流路とは、
前記第1の外側板状部材または前記第2の外側板状部材の方向から見たときに互いに重なり合うように形成されている
ことを特徴とする層流素子。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載された層流素子において、
前記第1の中間板状部材は、さらに、
前記第1の流路の一部を形成する2つの貫通孔を備え、
前記第1の層流流路を構成するチャネルは、
その端部において前記第1の流路の一部を形成する2つの貫通孔とそれぞれつながっており、
前記第2の中間板状部材は、さらに、
前記第2の流路の一部を形成する2つの貫通孔を備え、
前記第2の層流流路を構成するチャネルは、
その端部において前記第2の流路の一部を形成する2つの貫通孔とそれぞれつながっている
ことを特徴とする層流素子。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載された層流素子において、
前記第1の中間板状部材と前記第2の中間板状部材とは、互いに表裏の関係にある
ことを特徴とする層流素子。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載された層流素子において、
前記複数の板状部材は、
前記第1の中間板状部材、前記第2の中間板状部材および第3の中間板状部材をそれぞれ複数含む
ことを特徴とする層流素子。 - 通過する流体の流れを層流とする層流素子と、
前記層流素子の上流側と下流側の圧力の差を差圧として取得するように構成された差圧取得部と、
前記層流素子の温度を検出するように構成された温度検出部と、
前記差圧取得部によって取得された差圧と前記温度検出部によって検出された温度とに基づいて前記層流素子を流れる流体の流量を求めるように構成された流量算出部とを備え、
前記層流素子は、
請求項1から6のいずれか1項に記載された層流素子である
ことを特徴とする層流型流量計。 - 請求項7に記載された層流型流量計において、
前記温度検出部によって検出された温度に基づいて前記流体の密度を補正するように構成された密度補正部と、
前記温度検出部によって検出された温度に基づいて前記流体の粘度を補正するように構成された粘度補正部とをさらに備え、
前記流量算出部は、
前記差圧取得部によって取得された差圧と前記密度補正部によって補正された密度と前記粘度補正部によって補正された粘度とから前記層流素子を流れる流体の質量流量を求めるように構成されている
ことを特徴とする層流型流量計。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019043842A JP2020148485A (ja) | 2019-03-11 | 2019-03-11 | 層流素子および層流型流量計 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20220037845A (ko) * | 2020-09-18 | 2022-03-25 | 엠케이피 주식회사 | 차압 발생 소자 및 이를 포함하는 질량 유량 제어 장치 |
-
2019
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KR20220037845A (ko) * | 2020-09-18 | 2022-03-25 | 엠케이피 주식회사 | 차압 발생 소자 및 이를 포함하는 질량 유량 제어 장치 |
KR102524468B1 (ko) * | 2020-09-18 | 2023-04-21 | 엠케이피 주식회사 | 차압 발생 소자 및 이를 포함하는 질량 유량 제어 장치 |
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