JP2020142411A - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】個別液室を隔てる隔壁に緩衝性を持たせるとともに、個別液室の剛性を確保し、隣接クロストークと液体吐出への悪影響を抑制できる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】本発明の液体吐出ヘッド１５０ａは、液滴を吐出する複数のノズル１３１が形成されたノズル板１３０と、ノズル板に接合され、ノズルに連通する個別液室１２１を形成する流路板１２０と、流路板に接合され、個別液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板１１０とを備える。流路板の個別液室を隔てる隔壁２５０には、ノズル板との接合面、又は振動板との接合面から延びる２本以上のスリット部２４０ａが設けられ、隔壁は、隔壁部２５２と、隔壁部よりも壁厚の薄い薄壁部２５４とに分割されている。したがって、隔壁に要求される剛性を確保しつつ、薄壁部により、個別液室内の圧力変動を吸収でき、隣接クロストークと液体吐出への悪影響を抑制できる。【選択図】図１０

Description

本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。

インクを滴状にして吐出し、所定の画像を得るインクジェット記録方式の画像形成装置（例えばインクジェットプリンタ）が知られている。このような液滴吐出記録方式の画像形成装置に用いられる液体吐出ヘッド（記録ヘッド）として、インク流路を形成し、振動板部材を介して駆動する構成のものがある。

例えば特開２００９−２２６７９９号公報（特許文献１）には、複数のノズル及び吐出室を備える液滴吐出ヘッドが開示されている。

しかし、液体吐出ヘッドにおいて、ヘッド内に液滴を吐出するノズルが複数存在したとき、隣接チャネルの駆動による影響が作用し、隣接クロストークが悪化するという問題があった。

上記特許文献１の液体吐出ヘッドは、隣接クロストークを抑制するために、流路板隔壁部に空間部を設けているが、液室隔壁全体が撓むような中空構造であるため、個別液室全体の剛性が低くなっている。そのため、隣接チャネルの駆動による影響を排除することは難しく、隣接クロストークの問題を解決しきれていない。

そこで本発明は、個別液室を隔てる隔壁に緩衝性を持たせるとともに、個別液室の剛性を確保し、隣接クロストークと液体吐出への悪影響を抑制できる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題は、液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の個別液室と、前記個別液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板とを備える液体吐出ヘッドにおいて、前記個別液室を隔てる隔壁には、前記液滴の吐出方向に沿って２本以上のスリット部が設けられ、前記隔壁は、隔壁部と、前記隔壁部よりも壁厚の薄い薄壁部とに分割されていることを特徴とする液体吐出ヘッドによって解決される。

本発明の液体吐出ヘッドは、個別液室を隔てる隔壁が隔壁部と薄壁部とに分割されているため、隔壁に要求される剛性を確保しつつ、薄壁部により、個別液室内の圧力変動を吸収できる。したがって、隣接クロストークと液体吐出への悪影響を抑制できる。

本発明の一実施形態に係る液体吐出装置（インクジェット記録装置）の全体構成を示す斜視図である。 図１に示す液体吐出装置の断面構成図である。 本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す斜視図である。 図３の液体吐出ヘッドのＢ−Ｂ線における断面図である。 振動板と流路板の構成を示す斜視図である。 従来の吐出ヘッドの構成例を模式的に示す平面図である。 図６の吐出ヘッドのＣ−Ｃ線における断面図である。 個別液室の圧力が上昇した様子を示す模式図である。 個別液室の圧力上昇が隣接チャネルに与える影響を説明する模式図である 第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す模式図である。 第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す模式図である。 第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す模式図である。

（実施形態）
図１は、本発明の一実施形態に係る液体吐出装置（インクジェット記録装置）の全体構成を示す斜視図である。

液体吐出装置（インクジェット記録装置）は、装置本体１と、給紙トレイ２と、排紙トレイ３とを備えている。さらに、装置本体１の前面には、インクカートリッジ１０を装填するためのカートリッジ装填部４を有し、その上面は操作ボタンや表示器などを設ける操作／表示部５としている。カートリッジ装填部４には、黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の各色インクをそれぞれ収容した複数のインクカートリッジ１０ｋ、１０ｃ、１０ｍ、１０ｙが装填されている。

図２は、図１に示す液体吐出装置の断面構成図である。図２に示すように、キャリッジ３３はガイドロッド３１、３２によりガイドされ、主走査方向（図２の図面に垂直な方向）に移動可能に保持されている。このキャリッジ３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド３４を、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向（図２の左右方向）に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド３４を構成するインクジェットヘッドとしては、圧電素子などの圧電アクチュエータ、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどを、液滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段として備えたものなどを使用できる。

また、キャリッジ３３には、記録ヘッド３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク３５を搭載している。このヘッドタンク３５には各色の供給チューブ３６を介して、前述したように、カートリッジ装填部４に装着された各色のインクカートリッジ１０から各色のインクが補充供給される。

給紙部は、給紙トレイ２、用紙積載部（圧板）４１、半月コロ（給紙コロ）４３及び分離パッド４４などで構成されている。なお、用紙積載部４１の上に用紙４２が積載されている。

また、用紙搬送部は、ガイド部材４５、カウンタローラ４６、搬送ガイド部材４７、押さえ部材４８、先端加圧コロ４９、搬送ベルト５１などで構成されている。搬送ベルト５１は、搬送ローラ５２とテンションローラ５３との間に掛け渡されている。さらに、排紙部として、分離爪６１、排紙ローラ６２、排紙コロ６３及び排紙トレイ３などを備えている。

このように構成したこの液体吐出装置は、画像形成時に給紙トレイ２から用紙４２が１枚ずつ分離給紙され、搬送ベルト５１の周回移動によって用紙４２が副走査方向に搬送される。

そして、キャリッジ３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド３４を駆動することにより、用紙４２にインク滴を吐出して画像記録を行う。記録動作が終了すると、用紙４２は排紙トレイ３に排紙される。

図３は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す斜視図であり、図４は、図３の液体吐出ヘッドのＢ−Ｂ線における断面図である。

このプリンタヘッド（液体吐出ヘッド）は、本体フレーム１００にヘッドユニットを固着した構成となっている。複数のノズル１３１が平行に配置されたノズル板１３０は、そのノズル板１３０の各ノズル１３１にインクを供給する流路板１２０と接合されている。流路板１２０のノズル板１３０と反対側には、流路板１２０に形成された圧力室の容積を変化させる振動板１１０が接合されている。

この振動板１１０に、インクを吐出するエネルギーを与える圧電素子１１１が接続され、ベース１１２により支持されている。圧電素子１１１にはＦＰＣ１１３が接続され駆動の指令が伝達される。このノズル板１３０、流路板１２０、振動板１１０、圧電素子１１１、ベース１１２、及びＦＰＣ１１３から構成されるものをヘッドユニットと呼ぶ。

上記ヘッドユニットにインクを供給する際にインクに含まれる不純物を濾し取るのがフィルタ１４０である。インクを収納したタンクユニットから本体フレーム１００内の共通液室にインクを供給する際に、フィルタユニットが設けられている形状が最も一般的であり、インクを吐出するノズル穴を異物により詰まらせてしまうことを防止している。

なお、図３では、ヘッドの長手方向の両側端部付近に１つずつノズル１３１を示してあるが、ノズル１３１は、ノズル列として副走査方向に多数個が配列されるものである。また、液体吐出ヘッドは、複数のノズル列を備えていてもよい。

図５は、振動板と流路板の構成を示す斜視図である。本体フレーム１００の共通液室から流れてきたインクは、図に矢印で示すように、振動板１１０に設けられたフィルタ１４０部を通過し、流路板１２０の液導入部１２０ｂを経由して個別液室へと送られる。

続いて、図６〜図９を参照して、従来の吐出ヘッドの構成とその問題点について説明する。

図６、図７に示すように、複数のノズル１３１が配置されたノズル板１３０に、流路板１２０が接合されている。また、ノズル板１３０と反対側で、流路板１２０に振動板１１０が接合されている。この振動板１１０には、圧電素子（ＰＺＴ）１１１が接続されている。

圧電素子（ＰＺＴ）１１１を駆動すると、図７に矢印で示すように、個別液室１２１内の圧力が上昇する。この液室内の圧力上昇によって、図８に示すように、液室隔壁が撓むことになる。この撓みに対し、特許文献１の構成では、流路板１２０の隔壁に空間部１２０ａが設けられているため、隣接チャネルへ与える影響を小さくできる。

しかし、この空間部１２０ａは、液室隔壁全体が撓むような中空構造であるため、個別液室全体の剛性が低くなっている。そのため、図９に示すように、圧力によってはノズル板１３０の変形が生じてしまい、それによって隣接ノズル板も変形することになる。これは、隣接クロストークが悪化する問題となる。

すなわち、流路板１２０の隔壁に空間部１２０ａを設ける構成は、液室隔壁から伝わる圧力の影響を抑制することができるものの、圧力上昇によるノズル板変形の影響は抑制できない。

また、個別液室全体の剛性が低いと、例えば、個別液室１２１において、液体吐出後に振動を発生し易くなり、次の液体吐出が不安定になり易い。このように液体吐出への悪影響を引き起こすおそれもある。

以下より、個別液室を隔てる隔壁に緩衝性を有するとともに、個別液室の剛性を確保できる液体吐出ヘッドについて説明する。

図１０は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す模式図である。なお、図６〜図９で説明した吐出ヘッドと同等の構成には同一の符号を付している。

第１実施形態の液体吐出ヘッド１５０ａは、液滴を吐出する複数のノズル１３１が形成されたノズル板１３０と、ノズル板１３０に接合され、ノズル１３１にそれぞれ連通する複数の個別液室１２１を形成する流路板１２０とを備える。また、液体吐出ヘッド１５０ａは、流路板１２０に接合され、個別液室１２１の少なくとも一部の壁面を形成する振動板１１０を備える。この振動板１１０には、圧電素子（ＰＺＴ）１１１が接続されている。なお、ノズル１３１からの液滴の吐出方向は、ノズル板１３０の長手方向に対し垂直であり、図中矢印Ａで示される。

流路板１２０の個別液室１２１を隔てる隔壁２５０には、振動板１１０との接合面から、液滴の吐出方向Ａに沿って延びる２本のスリット部２４０ａが設けられている。このスリット部２４０ａにより、それぞれの隔壁２５０は、中央に位置する隔壁部２５２と、両側２か所の薄壁部２５４とに分割されている。薄壁部２５４は、隔壁部２５２よりも壁厚が薄くなっている。

このように構成された液体吐出ヘッド１５０ａにおいて、圧電素子（ＰＺＴ）１１１を駆動すると、図１０に矢印で示すように、個別液室１２１内に圧力が作用する。それに対し、液体吐出ヘッド１５０ａは、個別液室１２１を構成する隔壁２５０に要求される剛性を、中央の隔壁部２５２により確保しつつ、両側２か所の薄壁部２５４により、個別液室１２１内の圧力変動を吸収する（図中破線にて変形を示す）。

そのため、隣接するノズル板１３０の変形量を低減し、隣接クロストークを抑制することができる。また、個別液室１２１に必要な剛性を確保できるので、液体吐出ヘッド１５０ａは、液体吐出後に振動を生じにくく、液体吐出を安定化できる。

なお、本実施形態では、隔壁２５０に２本のスリット部２４０を設けたが、これに限定されない。隔壁２５０に２本以上のスリット部を設け、個別液室１２１内の圧力変動をさらに吸収できるように構成してもよい。

（第２実施形態）
図１１は、第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す模式図である。第１実施形態と同等の構成には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。

本実施形態の液体吐出ヘッド１５０ｂは、ノズル板１３０との接合面から、液滴の吐出方向Ａ（の反対方向）に沿って延びる２本のスリット部２４０ｂが設けられている点で、第１実施形態と異なる。この構成においても、個別液室１２１を構成する隔壁２５０に要求される剛性を、中央の隔壁部２５２により確保しつつ、両側２か所の薄壁部２５４により、個別液室１２１内の圧力変動を吸収できる。

なお、本実施形態においても、隔壁２５０に２本以上のスリット部を設け、個別液室１２１内の圧力変動をさらに吸収できるように構成してもよい。

（第３実施形態）
図１２は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す模式図である。第１、第２実施形態と同等の構成には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。

本実施形態の液体吐出ヘッド１５０ｃは隔壁２５０に、振動板１１０との接合面から、液滴の吐出方向Ａに沿って延びる２本の第１スリット部２４２と、ノズル板１３０との接合面から、液滴の吐出方向Ａ（の反対方向）に沿って延びる２本の第２スリット部２４４とが設けられている。この構成においても、個別液室１２１を構成する隔壁２５０に要求される剛性を、中央の隔壁部２５２により確保しつつ、両側２か所の薄壁部２５４により、個別液室１２１内の圧力変動を吸収できる。

ここで、第１スリット部２４２の形状（深さｄ１、幅ｗ１）と、第２スリット部２４４の形状（深さｄ１、幅ｗ１）とは、互いに異ならせることが望ましい。隔壁２５０（薄壁部２５４）が、異なる２つの周波数帯の圧力変動に対応できるため、より効果的に隣接クロストークを抑制できる。

また、個別液室１２１において圧力変動が生じたとき、構成部品のなかで撓みやすいものは、振動板１１０の薄膜部である。振動板１１０の薄膜部と隔壁２５０が接する位置において、隔壁２５０に緩衝性を持たせれば、個別液室１２１に効果的な緩衝性を持たせることができる。すなわち、振動板１１０の薄膜部と、その薄膜部との接合面から隔壁２５０にスリット部を設けることで、形成された薄壁部２５４とを合わせこんだ緩衝性を持たせることができる。

本実施形態では、振動板１１０との接合面から延びる２本の第１スリット部２４２のスリット幅（ｗ１）を、ノズル板１３０との接合面から延びる２本の第２スリット部２４４のスリット幅（ｗ２）よりも大きくしている（ｗ１＞ｗ２）。これにより、より効果的に隣接クロストークを抑制できる。

なお、本実施形態においても、隔壁２５０に２本以上の第１、第２スリット部を設け、個別液室１２１内の圧力変動をさらに吸収できるように構成してもよい。

続いて、本願において用いられる用語について、明確な定義を示す。

「液体吐出装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出する装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体吐出装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

「液体吐出装置」としては、例えば、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置や、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体吐出装置」は、吐出された液体によって文字、図形などの有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターンなどを形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス、壁紙や床材などの建材、衣料用のテキスタイルなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体」は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、又は加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒などの溶媒、染料や顔料などの着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤などの機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウムなどの生体適合材料、天然色素などの可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどである。これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液などの用途で用いることができる。

また、「液体吐出装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体吐出装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置がある。また、原材料が溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などもある。

「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていてもよい。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体吐出ヘッド」とは、ノズルから液体を吐出・噴射する機能装置である。液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子又は薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどが用いられる。

本明細書において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。

「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。

以上、実施形態を用いて本発明を詳細に説明した。この実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して使用できる。例えば、複数の実施形態をそれぞれ組み合わせてもよい。

また、液体吐出ヘッドの構造は、本発明の範囲内で適宜な構造を採用可能である。例えば、ノズル板と個別液室を一体成形としてもよい。すなわち、液体吐出ヘッドは、複数のノズルが形成されたノズル板と、ノズルにそれぞれ連通する複数の個別液室と、個別液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板とを備える構成としてもよい。さらにまた、吐出方式も任意の方式を採用可能である。

１ 装置本体
２ 給紙トレイ
３ 排紙トレイ
４ カートリッジ装填部
５ 表示部
１０ｙ、１０ｍ、１０ｃ、１０ｋ インクカートリッジ
３１、３２ ガイドロッド
３３ キャリッジ
３４ 記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
３５ ヘッドタンク
３６ 供給チューブ
４２ 用紙
４４ 分離パッド
４５ ガイド部材
４６ カウンタローラ
４７ 搬送ガイド部材
４８ 押さえ部材
４９ 先端加圧コロ
５１ 搬送ベルト
５２ 搬送ローラ
５３ テンションローラ
６１ 分離爪
６２ 排紙ローラ
６３ 排紙コロ
１００ 本体フレーム
１１０ 振動板
１１１ 圧電素子（ＰＺＴ）
１１２ ベース
１１３ ＦＰＣ
１２０ 流路板
１２０ｂ 液導入部
１２１ 個別液室
１３０ ノズル板
１３１ ノズル
１４０ フィルタ
１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ 液体吐出ヘッド
１２０ 流路板
１２０ａ 空間部
２４０、２４０ａ、２４０ｂ スリット部
２４２ 第１スリット部
２４４ 第２スリット部
２５０ 隔壁
２５２ 隔壁部
２５４ 薄壁部
Ａ 液滴吐出方向

特開２００９−２２６７９９号公報

Claims (6)

1. 液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
   前記ノズルにそれぞれ連通する複数の個別液室と、
   前記個別液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板と
   を備える液体吐出ヘッドにおいて、
   前記個別液室を隔てる隔壁には、前記液滴の吐出方向に沿って２本以上のスリット部が設けられ、
   前記隔壁は、隔壁部と、前記隔壁部よりも壁厚の薄い薄壁部とに分割されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記隔壁は、前記薄壁部を複数備え、
   前記薄壁部は、前記隔壁部の両側にそれぞれ位置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記隔壁には、前記振動板側から延びる２本以上の第１スリット部が設けられ、かつ、前記ノズル板側から延びる２本以上の第２スリット部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１スリット部の形状と前記第２スリット部の形状は、互いに異なることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１スリット部の深さ（ｄ１）と前記第２スリット部の深さ（ｄ２）は、互いに異なり、
   前記第１スリット部の幅（ｗ１）は、前記第２スリット部の幅（ｗ２）よりも大きいことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の前記液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出装置。

Images