JP2020117709A - 低研磨材濃度及び化学添加剤の組み合わせを有するシャロートレンチアイソレーション(sti)化学機械平坦化(cmp)研磨 - Google Patents
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Abstract
Description
本件は、2019年1月25日に出願された米国仮出願第62/796,786号の利益を主張する。第62/796,786号の開示は、参照によって本開示に組み込まれる。
本発明は、シャロートレンチアイソレーション(STI)プロセスについて高い酸化物膜除去速度を有する、シャロートレンチアイソレーション(STI)化学機械平坦化(CMP)組成物及び化学機械平坦化(CMP)方法、装置に関する。
本開示は、セリアコート無機酸化物研磨材の相対的な低濃度の使用により、増加した高い酸化物膜除去速度、抑制されたSiN膜除去速度及び増加したTEOS:SiN選択性及び研磨されたパターン化ウェハ上の低減された酸化物トレンチディッシングを提供するSTI CMP研磨組成物、方法及び装置を提供する。
別の側面において、本開示は、以下の工程を含む、酸化ケイ素膜を含む少なくとも1つの表面を有する半導体基材の化学機械研磨(CMP)方法を提供する:半導体基材を与える工程;研磨パッドを与える工程;セリアコート無機酸化物粒子;負及び正電荷を有する少なくとも1種のゼラチン化合物;1つより多くのヒドロキシル官能基を有する少なくとも1種の非イオン性有機分子;溶媒;及び任意選択的に、少なくとも1種のバイオサイド;及び少なくとも1種のpH調節剤を含み、2〜12のpHを有する化学機械研磨(CMP)組成物を与える工程;半導体基材の表面を研磨パッド及び化学機械研磨組成物と接触させる工程;及び二酸化ケイ素を含む少なくとも1つの表面を研磨する工程。
パターン化STI構造の全体的な平坦化において、SiN除去速度の抑制、種々のサイズの酸化物トレンチ特徴にわたる酸化物トレンチディッシングの低減、酸化物膜除去速度の加速、及び研磨材として相対的に低濃度のセリアコート無機酸化物粒子を用いることは考慮される重要な要素である。
に示される構造を有するポリオール分子単位であり;
R1〜R5の基における残りのRは、水素、アルキル、アルコキシ、1つ又はそれより多くのヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸又は塩、置換有機カルボン酸又は塩、有機カルボン酸エステル、有機アミン、(ii):
例
以下に示される例において、CMP実験は、以下に与えられる手順及び実験条件を用いて実施された。
セリアコートシリカ:約100ナノメートル(nm)の粒子サイズを有する研磨材として用いられる;係るセリアコートシリカ粒子は、約80ナノメートル(nm)〜200ナノメートル(nm)の範囲の粒子サイズを有することができる;
一般
Å又はA:オングストローム−長さの単位
膜は、Creative Design Engineering,Inc,20565Alves Dr.,Cupertino,CA,95014よって製造されたResMap CDE、モデル168を用いて測定された。ResMapツールは四探針シート抵抗ツールである。膜について、5mmの端部除外にて49点の直径走査を行った。
用いられたCMPツールは、Applied Materials,3050Boweres Avenue,Santa Clara,California,95054によって製造された200mmのMirra、又は300mmのReflexion である。DOW,Inc,451Bellevue Rd.,Newark,DE19713によって供給されたIC1000パッドを、ブランケット及びパターンウェハ研究に関してプラテン1上で用いた。
研磨実験は、PECVD、LECVD酸化ケイ素又は窒化ケイ素ウェハ、又はHD TEOSウェハを用いて行なわれた。これらのブランケットウェハは、Silicon Valley Microelectronics,2985Kifer Rd.,Santa Clara,CA95051から購入された。
ブランケットウェハ研究において、酸化物ブランケットウェハ及びSiNブランケットウェハは、ベースライン条件で研磨された。ツールベースライン条件は次のとおりだった:テーブル速度;87rpm、ヘッド速度:93rpm、メンブレン圧力;3.0psiDF、組成物流量;200ml/分。試験に用いられた研磨パッドは、Dow Chemicalsによって供給されたIC1010パッドだった。
例1において、酸化物研磨に用いられた研磨組成物は、表1に示された。
例2において、酸化物研磨に用いられた研磨組成物は表1に示されるのと同じ物だった。
例3において、酸化物研磨に用いられた研磨組成物は表1に示されるものと同じだった。
例4において、酸化物研磨に用いられた研磨組成物は、表4に示された。
例5において、酸化物研磨に用いられた研磨組成物は、表5に示された。
例6において、酸化物研磨に用いられた研磨組成物は、表6に示された。
Claims (24)
- セリアコート無機酸化物粒子;
負及び正電荷を有する少なくとも1種のゼラチン化合物;
1つより多くのヒドロキシル官能基を有する少なくとも1種の非イオン性有機分子;
溶媒;及び
任意選択的に、少なくとも1種のバイオサイド;及び
少なくとも1種のpH調節剤を含み、
2〜12のpHを有する、化学機械研磨組成物。 - pHが3〜10である、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。
- pHが4〜9である、請求項2に記載の化学機械研磨組成物。
- pHが4.5〜7.5である、請求項3に記載の化学機械研磨組成物。
- 前記セリアコート無機酸化物粒子が、セリアコートコロイダルシリカ、セリアコート高純度コロイダルシリカ、セリアコートアルミナ、セリアコートチタニア、セリアコートジルコニア粒子及びこれらの組み合わせからなる群から選択され、前記粒子が、0.01質量%〜20質量%、0.05質量%〜10質量%、及び0.1質量%〜5質量%からなる群から選択される濃度範囲にて組成物中に存在する、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。
- 前記セリアコート無機酸化物粒子が、セリアコートコロイダルシリカ、セリアコート高純度コロイダルシリカ、セリアコートアルミナ、セリアコートチタニア、セリアコートジルコニア粒子及びこれらの組み合わせからなる群から選択され、前記粒子が、0.01質量%〜2質量%、0.02質量%〜0.5質量%、0.025質量%〜0.2質量%、及び0.05質量%〜0.1質量%からなる群から選択される濃度範囲にて組成物中に存在する、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。
- 前記水溶性溶媒が、脱イオン(DI)水、蒸留水、及びアルコール有機溶媒からなる群から選択される、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。
- 前記少なくとも1種のゼラチン化合物が、0.0001質量%〜2.0質量%、0.001質量%〜1.0質量%、0.002質量%〜0.5質量%、及び0.0025質量%〜0.25質量%からなる群から選択される濃度範囲にて組成物中に存在する、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。
- 前記少なくとも1種のゼラチン化合物が、冷水魚の皮膚、豚の皮膚、又は牛の皮膚を含む動物の皮膚から製造された、請求項8に記載の化学機械研磨組成物。
- 前記少なくとも1種のゼラチン化合物が、以下の化学構造:
- 前記1つより多くのヒドロキシル官能基を有する少なくとも1種の非イオン性有機分子が:
構造(f)において、R1〜R5の各々は、水素、アルキル、アルコキシ、1つ又はそれより多くのヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸又は塩、置換有機カルボン酸又は塩、有機カルボン酸エステル、有機アミン、及び(ii):
からなる群から選択される一般分子構造を有し、
前記1つより多くのヒドロキシル官能基を有する少なくとも1種の非イオン性有機分子が、0.001質量%〜2.0質量%、0.0025質量%〜1.0質量%、及び0.05質量%〜0.5質量%からなる群から選択される濃度において組成物中に存在する、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。 - 前記1つより多くのヒドロキシル官能基を有する少なくとも1種の非イオン性有機分子が、マルチトール、ラクチトール、マルトトリイトール、リビトール、D−ソルビトール、マンニトール、ズルシトール、イジトール、D−(−)−フルクトース、ソルビタン、スクロース、リボース、イノシトール、グルコース、D−アラビノース、L−アラビノース、D−マンノース、L−マンノース、meso−エリトリトール、β−ラクトース、アラビノース、D−(+)−マンノース、β−ラクトース、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項1に記載の組成物。
- 前記1つより多くのヒドロキシル官能基を有する少なくとも1種の非イオン性有機分子が、マルチトール、ラクチトール、マルトトリイトール、D−ソルビトール、マンニトール、ズルシトール、D−(−)−フルクトース、β−ラクトース、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項12に記載の組成物。
- 前記組成物が少なくとも1種のバイオサイドをさらに含み、前記バイオサイドが5−クロロ−2−メチル−4−イソチアゾリン−3−オン及び2−メチル−−イソチアゾリン−3−オンを含み、前記バイオサイドが、0.0001質量%〜0.05質量%、0.0005質量%〜0.025質量%、及び0.001質量%〜0.01質量%からなる群から選択される濃度にて存在する、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。
- 前記組成物が少なくとも1種のpH調節剤を含み、
前記pH調節剤が、酸性pH条件について、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、他の無機又は有機酸及びこれらの混合物からなる群から選択され;又は
アルカリ性pH条件について、水素化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、テトラアルキル水酸化アンモニウム、有機水酸化第4級アンモニウム化合物、有機アミン、及びこれらの組み合わせからなる群から選択され、
前記pH調節剤が、0質量%〜1質量%、0.01質量%〜0.5質量%、及び0.1質量%〜0.25質量%からなる群から選択される組成物にて組成物中に存在する、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。 - セリアコートコロイダルシリカを含み;前記少なくとも1種のゼラチン化合物が冷水魚の皮膚、豚の皮膚、牛の皮膚、及びこれらの組み合わせからなる群から選択され;前記1つより多くのヒドロキシル官能基を有する少なくとも1種の非イオン性有機分子がズルシトール、D−ソルビトール、マルチトール、ラクチトール、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項1に記載の化学機械研磨組成物。
- 半導体基材を与える工程;
研磨パッドを与える工程;
請求項1に記載の化学機械研磨(CMP)組成物を与える工程;
半導体基材の表面を研磨パッド及び化学機械研磨組成物と接触させる工程;及び
二酸化ケイ素を含む少なくとも1つの表面を研磨する工程を含む、酸化ケイ素膜を含む少なくとも1つの表面を有する半導体基材の化学機械研磨(CMP)方法。 - 前記酸化ケイ素膜がSiO2膜である、請求項17に記載の方法。
- 前記半導体基材が、窒化ケイ素表面をさらに含み、酸化ケイ素:窒化ケイ素の除去選択性が40を超える、請求項18に記載の方法。
- 酸化ケイ素:窒化ケイ素の除去選択性が90を超える、請求項19に記載の方法。
- 酸化ケイ素膜を含む少なくとも1つの表面を有する半導体基材の化学機械研磨(CMP)のための装置であって、:
a.半導体基材;
b.請求項1に記載の化学機械研磨(CMP)組成物;及び
c.研磨パッドを含み、
前記酸化ケイ素膜を含む少なくとも1つの表面が前記研磨パッド及び前記化学機械研磨組成物に接している、装置。 - 前記酸化ケイ素膜がSiO2膜である、請求項21に記載の装置。
- 前記半導体基材が、窒化ケイ素表面をさらに含み、酸化ケイ素:窒化ケイ素の除去選択性が40を超える、請求項22に記載の装置。
- 酸化ケイ素:窒化ケイ素の除去選択性が90を超える、請求項23に記載の装置。
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