JP2020117615A - Polyimide acid composition, method for producing polyimide acid composition and method for producing polyimide - Google Patents

Polyimide acid composition, method for producing polyimide acid composition and method for producing polyimide Download PDF

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Abstract

To provide a polyimide acid composition capable of obtaining a polyimide film layer useful as a backplane substrate of a flexible display required for forming a fine TFT.SOLUTION: There is provided a high-quality polyimide film layer obtained by a step of applying and drying a polyamic acid composition which comprises at least a polyamic acid obtained from an aromatic tetracarboxylic acid and a diamine and an organic solvent, in which the content of one or more compounds selected from a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid amide having 8 to 30 carbon atoms and a fatty acid derivative having 8 to 30 carbon atoms is 0.05 mass% or less with respect to the polyamide acid, onto a glass substrate, followed by performing heat treatment at 350°C or more and 550°C or less, wherein the number of fine defects which can be observed only with a differential interference microscope is 2 pieces/square cm or less.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は欠点が少なく、微細な薄膜素子形成に適した平滑な表面を有するポリイミドフィルムを得るためのポリアミド酸組成物に関し、さらにはフレキシブルな電子デバイス用基板を製造するために好適に用いられるポリアミド酸組成物とポリイミドの製造方法に関する。 The present invention has few defects and relates to a polyamic acid composition for obtaining a polyimide film having a smooth surface suitable for forming a fine thin film element, and further, a polyamide preferably used for producing a flexible electronic device substrate. The present invention relates to an acid composition and a method for producing a polyimide.

本発明者らは、フレキシブル電子デバイス用の基板として好適に用いる事ができるポリイミドフィルムを提供すべく鋭意研究を行い、たとえば特許文献1〜4に示す如く、ベンゾオキサゾール骨格を有する新規な化学構造を有するポリイミドフィルムを開発してきた。かかるポリイミドフィルムは極めて低い線膨張係数と高い耐熱性、低熱収縮性を示し、微細な半導体デバイス等の基板として好適に用いる事ができる。例えば特許文献5〜7に示すように半導体デバイス用のサブストレートあるいは、ディスプレイ素子のサブストレートとして応用することができる。さらに本発明者らは特許文献8に示すように、ポリイミドフィルムをガラスなどの無機基板と貼り合わせることによって仮支持し、フィルム面に微細なデバイスを形成した後に無機基板から剥離するプロセスを開発してきた。 The present inventors have earnestly studied to provide a polyimide film that can be suitably used as a substrate for a flexible electronic device, and as shown in Patent Documents 1 to 4, for example, have a novel chemical structure having a benzoxazole skeleton. We have developed a polyimide film that has Such a polyimide film exhibits an extremely low coefficient of linear expansion, high heat resistance, and low heat shrinkage, and can be suitably used as a substrate for fine semiconductor devices and the like. For example, as shown in Patent Documents 5 to 7, it can be applied as a substrate for a semiconductor device or a substrate for a display element. Furthermore, as shown in Patent Document 8, the present inventors have developed a process of temporarily supporting a polyimide film by bonding it to an inorganic substrate such as glass, forming a fine device on the film surface, and then peeling it from the inorganic substrate. It was

特許3858892号公報Japanese Patent No. 3858892 特許3937235号公報Japanese Patent No. 3937235 特許3953057号公報Japanese Patent No. 3953057 特許3956940号公報Japanese Patent No. 3956940 特許3761030号公報Japanese Patent No. 3761030 特許3783870号公報Japanese Patent No. 3738870 特許4131412号公報Japanese Patent No. 4131412 特許5796292号公報Japanese Patent No. 5796292

本発明者らは、前記開発を推進する過程で、フィルム表面にごく僅かな、かつ緩やかな曲率の凹凸欠点が発生する現象に遭遇した。この種の欠点は通常の光学顕微鏡による最表面の拡大観察では、凹凸が緩やかであるが故に発見しにくく、強いコントラストを得ることができる微分干渉顕微鏡による観察にて観察できるものである。本発明者らは、微分干渉顕微鏡で位置を特定した欠点個所のフィルム内部を詳しく観察した結果、フィルム内部に微小気泡が発生していることを見出した。本発明者らはポリイミドフィルム内部に発生した微小気泡部分、ならびにその周辺を精査に分析してみたが、微小気泡の発生源になりそうな痕跡を見つけることはできず、かかる欠点発生は非常に不可解なものであった。 In the process of promoting the above-mentioned development, the present inventors have encountered a phenomenon in which unevenness defects having a very slight and gentle curvature occur on the film surface. This kind of defect is difficult to find in the enlarged observation of the outermost surface with a normal optical microscope because the unevenness is gentle, and can be observed with a differential interference microscope capable of obtaining a strong contrast. As a result of observing the inside of the film at the defective portion whose position is specified with a differential interference microscope in detail, the present inventors have found that micro bubbles are generated inside the film. The present inventors tried to analyze the micro-bubble portion generated inside the polyimide film, and its periphery in detail, but it is not possible to find a trace that is likely to be the source of the micro-bubbles, and the occurrence of such defects is extremely high. It was incomprehensible.

本発明者らは前記課題を解決するために鋭意検討した結果、ポリイミドフィルムを作製するための前駆体であるポリアミド酸組成物、ならびにポリアミド酸組成物を製造するための原料モノマーや溶剤の中に、微小気泡の原因があることを突き止め、さらにその原因を排除する方法を見出した。 As a result of intensive investigations by the inventors to solve the above problems, a polyamic acid composition which is a precursor for producing a polyimide film, and a raw material monomer and a solvent for producing the polyamic acid composition , Found out the cause of micro bubbles and found a method to eliminate the cause.

すなわち本発明は以下の構成を有する。
[1] 芳香族テトラカルボン酸とジアミンから得られるポリアミド酸および有機溶媒を少なくとも含む組成物であって、該ポリアミド酸に対する、炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体の合計が0.05質量%以下であることを特徴とするポリアミド酸組成物。
[2] 少なくとも内壁の一部が、ガラス転移温度が40℃以下の高分子材料からなる容器に収納し、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内にて保管した後の芳香族テトラカルボン酸を重合原料として用いたことを特徴とする[1]に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
[3] 少なくとも内壁の一部が、ガラス転移温度が40℃以下の高分子材料からなる容器に収納し、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内にて保管した後のジアミンを重合原料として用いたことを特徴とする[1]に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
[4] 少なくとも内壁の一部が、ガラス転移温度が40℃以下の高分子材料からなる容器に収納し、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内にて保管した後の有機溶剤を重合溶媒として用いたことを特徴とする[1]に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
[5] 少なくとも内壁の一部が、ガラス転移温度が40℃以下の高分子材料からなる容器に収納し、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内にて保管した後の無機粒子の溶剤分散体を重合原料に配合することを特徴とする[1]に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
[6] 前記容器の内壁の一部を構成する高分子材料が、前記炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体から少なくとも選択される1種以上の化合物を0.05〜5質量%含有することを特徴とする前記[2]〜[5]のいずれか一項に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
[7] 前記[1]に記載のポリアミド酸組成物を少なくとも350℃以上550℃以下の温度にて熱処理することを特徴とするポリイミドの製造方法。
That is, the present invention has the following configurations.
[1] A composition containing at least a polyamic acid obtained from an aromatic tetracarboxylic acid and a diamine and an organic solvent, wherein the polyamic acid has a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, and carbon. A polyamic acid composition, characterized in that the sum of fatty acid amides having 8 to 30 carbon atoms and fatty acid derivatives having 8 to 30 carbon atoms is 0.05% by mass or less.
[2] At least a part of the inner wall is housed in a container made of a polymer material having a glass transition temperature of 40° C. or lower,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
The method for producing a polyamic acid composition according to [1], characterized in that an aromatic tetracarboxylic acid after storage at a storage temperature and storage time satisfying the following relational expression is used as a polymerization raw material.
[3] At least a part of the inner wall is housed in a container made of a polymer material having a glass transition temperature of 40° C. or lower,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
The method for producing a polyamic acid composition according to [1], wherein the diamine after being stored within the range of storage temperature and storage time satisfying the following relational expression is used as a polymerization raw material.
[4] At least a part of the inner wall is housed in a container made of a polymer material having a glass transition temperature of 40° C. or lower,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
The method for producing a polyamic acid composition according to [1], characterized in that an organic solvent after storage at a storage temperature and storage time satisfying the following relational expression is used as a polymerization solvent.
[5] At least a part of the inner wall is housed in a container made of a polymer material having a glass transition temperature of 40° C. or lower,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
The method for producing a polyamic acid composition according to [1], characterized in that a solvent dispersion of inorganic particles after storage at a storage temperature and storage time satisfying the relation ..
[6] The polymer material forming a part of the inner wall of the container is a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid amide having 8 to 30 carbon atoms, and 8 to 30 carbon atoms. 0.05% to 5% by mass of at least one compound selected from the fatty acid derivatives described in [2] to [5]. Method.
[7] A method for producing a polyimide, which comprises heat-treating the polyamic acid composition according to the above [1] at a temperature of at least 350°C to 550°C.

さらに本発明は以下の構成を有することが好ましい。
[8] 微分干渉顕微鏡によって観察される直径2μm以上の欠点数が2個/平方cm以下であることを特徴とする前記[7]の製造方法にて得られるポリイミドフィルム。
[9] 前記微分干渉顕微鏡によって観察される直径2μm以上の欠点部が、同じ平面座標位置のフィルム内部に存在するフィルム面方向の外径サイズが0.5μm以上5μm以下の空洞に由来する凸欠点であることを特徴とする[8]に記載のポリイミドフィルム。
[10] 前記空洞のフィルム厚さ方向のフィルム断面観察による外径サイズが0.1μm以上3μm以下であることを特徴とする[8]または[9]に記載のポリイミドフィルム。
[11] 芳香族テトラカルボン酸とジアミンから得られるポリアミド酸および有機溶媒を少なくとも含む組成物であって、該ポリアミド酸に対する、炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体から少なくとも選択される1種以上の化合物の含有量が0.05質量%以下であるポリアミド酸組成物を、
フィルム形状に成形する工程、
350℃以上550℃以下の温度で熱処理する工程
を少なくとも含むことを特徴とする[8]〜[11]のいずれか一項に記載のポリイミドフィルムの製造方法。
Furthermore, the present invention preferably has the following configurations.
[8] The polyimide film obtained by the manufacturing method of [7], wherein the number of defects having a diameter of 2 μm or more observed by a differential interference microscope is 2/cm 2 or less.
[9] The defect portion having a diameter of 2 μm or more observed by the differential interference microscope is a convex defect derived from a cavity having an outer diameter size in the film plane direction of 0.5 μm or more and 5 μm or less existing inside the film at the same plane coordinate position. The polyimide film according to [8], which is
[10] The polyimide film according to [8] or [9], which has an outer diameter size of 0.1 μm or more and 3 μm or less as observed by observing the cross section of the cavity in the film thickness direction.
[11] A composition containing at least a polyamic acid obtained from an aromatic tetracarboxylic acid and a diamine, and an organic solvent, wherein the polyamic acid has a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, and carbon. A polyamic acid composition in which the content of at least one compound selected from fatty acid amides having 8 to 30 carbon atoms and fatty acid derivatives having 8 to 30 carbon atoms is 0.05% by mass or less,
A step of forming into a film shape,
The method for producing a polyimide film according to any one of [8] to [11], which includes at least a step of performing heat treatment at a temperature of 350° C. or higher and 550° C. or lower.

本発明のポリアミド酸組成物は、ポリイミドの前駆体であり、ポリイミドフィルム製造の中間材料として用いられる。さらに、本発明のポリアミド酸組成物は、ガラス基板のような平滑な基板に塗布、乾燥の後熱処理などを経て、ポリイミド層(最終的には基板から剥離してポリイミドフィルムとなる)を得るための、いわゆる「ワニス」として用いられる。このような工程を経て得られるガラスとポリイミド層との積層体は、ポリイミド層の上に微細加工を行ったTFT等の電子デバイスを形成したのちに基板から剥離してフレキシブルデバイスを作製するために用いられる。代表的なフレキシブルデバイスはフレキシブルディスプレイのバックプレーンである。
まず、本発明が取り扱う欠点は、ポリイミドフィルムの表面を微分干渉顕微鏡にて観察した際に見出される欠点である。微分干渉顕微鏡とは位相差の異なる観察光を重ねて使用し、被観察物の屈折率の違いや、微細な凹凸によって生じる光の干渉を利用して観察を行う位相差顕微鏡の1種である。微分干渉顕微鏡を用いる事により透明な被観察物の内部組織や、極緩やかな段差や凹凸などを高コントラストで観察することができる。
先に述べたとおり、本発明者らは本願が取り扱う欠点の該当個所のフィルム内部に、極めて小さな微小気泡が存在する事を確認しており、かかるフィルム内部の微小気泡がフィルム表面に極緩やかな段差を有する凹凸を形成し、欠点の原因となっていると考えている。
The polyamic acid composition of the present invention is a polyimide precursor and is used as an intermediate material for producing a polyimide film. Furthermore, the polyamic acid composition of the present invention is applied to a smooth substrate such as a glass substrate, dried and then heat-treated to obtain a polyimide layer (finally peeling from the substrate to form a polyimide film). Used as a so-called "varnish". A laminate of glass and a polyimide layer obtained through such steps is used to form a flexible device by peeling from a substrate after forming an electronic device such as a finely processed TFT on the polyimide layer. Used. A typical flexible device is the backplane of a flexible display.
First, the drawback handled by the present invention is a drawback found when the surface of a polyimide film is observed with a differential interference microscope. A differential interference microscope is a type of phase-contrast microscope that superimposes observation lights with different phase differences and uses the interference of light caused by the difference in the refractive index of an object to be observed and fine unevenness to observe. .. By using a differential interference microscope, it is possible to observe a transparent internal structure of an object to be observed, an extremely gentle step or unevenness with high contrast.
As described above, the inventors of the present invention have confirmed that extremely small microbubbles are present inside the film at the location corresponding to the drawback handled by the present application, and the microbubbles inside the film are extremely gentle on the film surface. It is believed that the formation of unevenness having a step causes defects.

本発明者らは、ポリアミド酸組成物に、炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミド、炭素数8〜30の脂肪酸誘導体から少なくとも選択される1種以上の化合物(以下原因化合物と呼ぶ)が、検出される場合に微小気泡が発生することを突き止めた。
さらに、それら微小気泡の原因となる原因化合物の由来を調査した結果、ポリアミド酸組成物の原料であるテトラカルボン酸無水物、ジアミン、溶剤などを収容する容器の、主に内壁に使用される材料に起因することが明らかになった。すなわち、原因化合物はポリ容器の材質、あるいは金属缶の内層材、さらには収納袋の内側の材料、すなわちシーラント樹脂などに添加される固体潤滑剤や改質剤、可塑剤、安定化材等の添加剤、あるいはオリゴマー成分であった。かかる容器内壁の材質、シーラント樹脂は比較的ガラス転移温度が低い高分子材料である。このような比較的低分子量の高分子材料には、前述のような添加剤が製品を安定に供給するために用いられている。またオリゴマー成分は高分子材料であれば確率的に零にすることは困難である。
しかしながら本発明者らは鋭意検討を行った結果、容器内壁に用いられる高分子材料のガラス転移温度が40℃以下である場合に、そのような容器に収納した場合でも保安温度を適切に管理すれば、原因化合物の混入を必要最小限に留めることができることを見出した。
すなわち、ポリイミドフィルムの前駆体であるポリアミド酸組成物、あるいはその原料であるモノマー、溶剤などを、内壁がガラス転移温度が40℃以下の高分子材料で被覆された容器に収納し、40℃以下の温度となるように保管することにより、原因化合物のポリアミド酸への混入量を微小気泡が顕在化する以下の量に抑制することが可能である
The present inventors have selected, in the polyamic acid composition, at least a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid amide having 8 to 30 carbon atoms, and a fatty acid derivative having 8 to 30 carbon atoms. One or more compounds (hereinafter referred to as causative compounds) according to the present invention have been found to generate micro bubbles when detected.
Furthermore, as a result of investigating the origin of the causative compound that causes the microbubbles, tetracarboxylic acid anhydride, which is a raw material of the polyamic acid composition, a diamine, a material that is mainly used for the inner wall of the container that contains the solvent and the like. It became clear that it was caused by. That is, the causative compound is the material of the plastic container, the inner layer material of the metal can, or the material inside the storage bag, that is, the solid lubricant or modifier added to the sealant resin, the plasticizer, the stabilizer, etc. It was an additive or an oligomer component. The material of the inner wall of the container and the sealant resin are polymer materials having a relatively low glass transition temperature. For such a relatively low molecular weight polymer material, the additives as described above are used for stably supplying the product. Further, if the oligomer component is a polymer material, it is difficult to stochastically reduce it to zero.
However, as a result of intensive studies, the present inventors have found that when the polymer material used for the inner wall of the container has a glass transition temperature of 40° C. or lower, the safety temperature can be properly controlled even when the polymer material is stored in such a container. It was found that, if this is the case, the contamination of the causative compound can be kept to the minimum necessary.
That is, a polyamic acid composition that is a precursor of a polyimide film, a monomer that is a raw material thereof, a solvent, or the like is stored in a container whose inner wall is coated with a polymer material having a glass transition temperature of 40°C or less, and 40°C or less. It is possible to suppress the amount of the causative compound mixed into the polyamic acid to the amount below that the microbubbles become visible by storing at the temperature of

かかる微分干渉顕微鏡でないと発見困難なレベルの表面の凹凸は、一般的なフレキシブルプリント回路板やCOF、TAB等においては特段に問題とはなってこなかった。しかしながら、フレキシブルディスプレイのバックプレーンに代表されるような、フォトリソグラフ法による極微細なパターン加工が必要なTFT加工などにおいては、サブミクロンオーダーの段差であっても露光によるパターン形成の精度を低下させるため、かかる欠点を低減させることは非常に重要である。 The unevenness of the surface, which is difficult to find without such a differential interference microscope, has not been a particular problem in general flexible printed circuit boards, COF, TAB, and the like. However, in the case of TFT processing, which requires a very fine pattern processing by a photolithography method, as represented by a backplane of a flexible display, the accuracy of pattern formation by exposure is reduced even if there is a submicron order step. Therefore, it is very important to reduce such defects.

図1は、本発明の保管実験の結果を示すグラフである。FIG. 1 is a graph showing the results of the storage experiment of the present invention.

本発明のポリイミドとはイミド結合による多量体である。一般にポリイミドはテトラカルボン酸二無水物とジアミンとの縮合物として得られる。一般的なポリイミドの製法としては、溶媒中でテトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させて得られるポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の有機溶剤溶液(ポリアミド酸組成物とも呼ぶ)を、支持体に塗布、乾燥して前駆体フィルムとし、さらに加熱ないし触媒の作用によりイミド化反応を生じせしめてポリイミドに転化させる方法が知られている。ポリイミドをフィルム化する際には前駆体フィルムを支持体から剥離してイミド化する方法が一般的である。また、支持体を被覆する用途においては剥離せずにイミド化する手法も知られている。ガラス基板などの支持体上に前駆体溶液を塗布乾燥し、支持体上でイミド化する方法は、ポリイミドフィルムをフレキシブルデバイスの基板として用いる用途にて実用化が検討されているところである。 The polyimide of the present invention is a multimer having an imide bond. Generally, polyimide is obtained as a condensate of tetracarboxylic dianhydride and diamine. As a general method for producing a polyimide, an organic solvent solution of polyamic acid (polyimide precursor) obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamine in a solvent (also referred to as polyamic acid composition) is used as a support. There is known a method in which a precursor film is formed by coating and drying it on a substrate, and is further converted into a polyimide by causing an imidization reaction by heating or the action of a catalyst. When forming a film of a polyimide, a method of peeling the precursor film from the support and imidizing is generally used. In addition, a method of imidizing without peeling is also known for the purpose of coating the support. The method of applying a precursor solution on a support such as a glass substrate and drying it, and imidizing it on the support is being studied for practical use in applications where a polyimide film is used as a substrate of a flexible device.

本発明のテトラカルボン酸二無水物としては好ましくは芳香族テトラカルボン酸二無水物、脂環族テトラカルボン酸二無水物を用いる事ができる。耐熱性の観点からは芳香族テトラカルボン酸二無水物が好ましく、光透過性の観点からは脂環族テトラカルボン酸二無水物が好ましい。テトラカルボン酸二無水物は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。 As the tetracarboxylic dianhydride of the present invention, preferably, an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an alicyclic tetracarboxylic dianhydride can be used. Aromatic tetracarboxylic dianhydrides are preferable from the viewpoint of heat resistance, and alicyclic tetracarboxylic dianhydrides are preferable from the viewpoint of light transmittance. The tetracarboxylic dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.

本発明の芳香族テトラカルボン酸としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン酸無水物等が挙げられる。本発明ではピロメリット酸二無水物の使用が好ましい。 Examples of the aromatic tetracarboxylic acid of the present invention include pyromellitic dianhydride, 3,3′,4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic acid dianhydride, 3,3 ',4,4'-Benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 3,3',4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy) ) Phenyl]propanoic anhydride and the like. The use of pyromellitic dianhydride is preferred in the present invention.

本発明の脂環族テトラカルボン酸類としては、例えば、シクロブタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸等の脂環族テトラカルボン酸、およびこれらの酸無水物が挙げられる。これらの中でも、2個の無水物構造を有する二無水物(例えば、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物等)が好適である。なお、脂環族テトラカルボン酸類は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。
脂環式テトラカルボン酸類は、透明性を重視する場合には、例えば、全テトラカルボン酸類の80質量%以上が好ましく、より好ましくは90質量%以上、さらに好ましくは95質量%以上である。
Examples of the alicyclic tetracarboxylic acids of the present invention include cyclobutanetetracarboxylic acid, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid, 3,3′,4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic acid and the like. Included are cyclic tetracarboxylic acids and their acid anhydrides. Among these, a dianhydride having two anhydride structures (for example, cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4,4 '-Bicyclohexyl tetracarboxylic acid dianhydride and the like) are preferable. The alicyclic tetracarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.
When importance is attached to transparency, the alicyclic tetracarboxylic acids are, for example, preferably 80% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and further preferably 95% by mass or more of the total tetracarboxylic acids.

本発明のジアミン類としては、特に制限はなく、ポリイミド合成に通常用いられる芳香族ジアミン類、脂肪族ジアミン類、脂環式ジアミン類等を用いることができる。耐熱性の観点からは、芳香族ジアミン類が好ましく、芳香族ジアミン類の中では、ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類を用いる事ができる。ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類を用いると、高い耐熱性とともに、高弾性率、低熱収縮性、低線膨張係数を発現させることが可能になる。ジアミン類は、単独で用いてもよいし二種以上を併用してもよい。 The diamines of the present invention are not particularly limited, and aromatic diamines, aliphatic diamines, alicyclic diamines and the like usually used in polyimide synthesis can be used. From the viewpoint of heat resistance, aromatic diamines are preferable, and among the aromatic diamines, aromatic diamines having a benzoxazole structure can be used. The use of aromatic diamines having a benzoxazole structure makes it possible to exhibit high heat resistance, high elastic modulus, low heat shrinkability, and low linear expansion coefficient. The diamines may be used alone or in combination of two or more.

本発明のジアミン類の内、芳香族ジアミン類としては、例えば、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、1,4−ビス[2−(4−アミノフェニル)−2−プロピル]ベンゼン(ビスアニリン)、1,4−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)ベンゼン、2,2’−ジトリフルオロメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−2−[4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル]プロパン、2−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−2−[4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−トリフルオロメチルフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−フルオロフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−メチルフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−シアノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5,5’−フェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4,5’−ジフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5−フェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−5’−フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジビフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5,5’−ジビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4,5’−ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5−ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−5’−ビフェノキシベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノ−4−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−5−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−5−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノ−4−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−5−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−5−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、2,6−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾニトリル、および上記芳香族ジアミンの芳香環上の水素原子の一部もしくは全てが、ハロゲン原子、炭素数1〜3のアルキル基またはアルコキシル基、シアノ基、またはアルキル基またはアルコキシル基の水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子で置換された炭素数1〜3のハロゲン化アルキル基またはアルコキシル基で置換された芳香族ジアミン等が挙げられる。 Among the diamines of the present invention, examples of aromatic diamines include 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl and 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl. ] Benzene (bisaniline), 1,4-bis(4-amino-2-trifluoromethylphenoxy)benzene, 2,2'-ditrifluoromethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-bis(4 -Aminophenoxy)biphenyl, 4,4'-bis(3-aminophenoxy)biphenyl, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ketone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfide, bis[ 4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, 2,2-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]-1,1 , 1,3,3,3-hexafluoropropane, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3, 4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone , 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]methane, 1,1-bis[4-(4- Aminophenoxy)phenyl]ethane, 1,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ethane, 1,1-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 1,2-bis[4 -(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 1,3-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 1,1 -Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]butane, 1,3-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl Phenyl]butane, 1,4-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]butane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]butane, 2,3-bis[4-(4 -Aminophenoxy)phenyl]butane, 2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]-2-[4-(4-aminophenoxy)-3-methylphenyl]propane, 2,2-bis[4-( 4-aminophenoxy)-3-methylphenyl]propane, 2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]-2-[4-(4-aminophenoxy)-3,5-dimethylphenyl]propane, 2, 2-bis[4-(4-aminophenoxy)-3,5-dimethylphenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3 -Hexafluoropropane, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy)biphenyl, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfide, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfoxide, Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether, 1,3-bis[4- (4-Aminophenoxy)benzoyl]benzene, 1,3-bis[4-(3-aminophenoxy)benzoyl]benzene, 1,4-bis[4-(3-aminophenoxy)benzoyl]benzene, 4,4′ -Bis[(3-aminophenoxy)benzoyl]benzene, 1,1-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 1,3-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 3 ,4'-diaminodiphenyl sulfide, 2,2-bis[3-(3-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis[4-(3-aminophenoxy) )Phenyl]methane, 1,1-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ethane, 1,2-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ethane, bis[4-(3-aminophenoxy) )Phenyl]sulfoxide, 4,4'-bis[3-(4-aminophenoxy)benzoi Di]phenyl ether, 4,4′-bis[3-(3-aminophenoxy)benzoyl]diphenyl ether, 4,4′-bis[4-(4-amino-α,α-dimethylbenzyl)phenoxy]benzophenone, 4, 4′-bis[4-(4-amino-α,α-dimethylbenzyl)phenoxy]diphenyl sulfone, bis[4-{4-(4-aminophenoxy)phenoxy}phenyl] sulfone, 1,4-bis[4 -(4-Aminophenoxy)phenoxy-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4-(4-aminophenoxy)phenoxy-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4 -(4-Amino-6-trifluoromethylphenoxy)-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4-(4-amino-6-fluorophenoxy)-α,α-dimethylbenzyl]benzene 1,3-bis[4-(4-amino-6-methylphenoxy)-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4-(4-amino-6-cyanophenoxy)-α, α-Dimethylbenzyl]benzene, 3,3′-diamino-4,4′-diphenoxybenzophenone, 4,4′-diamino-5,5′-phenoxybenzophenone, 3,4′-diamino-4,5′- Diphenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'- Phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-dibiphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4,5'-dibiphenoxybenzophenone 3,3′-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 4,4′-diamino-5-biphenoxybenzophenone, 3,4′-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 3,4′-diamino-5′- Biphenoxybenzophenone, 1,3-bis(3-amino-4-phenoxybenzoyl)benzene, 1,4-bis(3-amino-4-phenoxybenzoyl)benzene, 1,3-bis(4-amino-5-) Phenoxybenzoyl)benzene, 1,4-bis(4-amino-5-phenoxybenzoyl)benzene, 1,3-bis(3-amino-4-biphenoxybenzoyl)benzene, 1,4-bi Sus(3-amino-4-biphenoxybenzoyl)benzene, 1,3-bis(4-amino-5-biphenoxybenzoyl)benzene, 1,4-bis(4-amino-5-biphenoxybenzoyl)benzene, 2,6-bis[4-(4-amino-α,α-dimethylbenzyl)phenoxy]benzonitrile, and some or all of the hydrogen atoms on the aromatic ring of the above aromatic diamine are halogen atoms or 1 carbon atoms. ~3 alkyl group or alkoxyl group, cyano group, or part or all of hydrogen atoms of the alkyl group or alkoxyl group is substituted with a halogenated alkyl group having 1 to 3 carbon atoms or alkoxyl group Examples include aromatic diamines.

本発明の脂肪族ジアミン類としては、例えば、1,2−ジアミノエタン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,8−ジアミノオクタン等が挙げられる。
本発明の脂環式ジアミン類としては、例えば、1,4−ジアミノシクロヘキサン、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルシクロヘキシルアミン)等が挙げられる。
Examples of the aliphatic diamines of the present invention include 1,2-diaminoethane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane and 1,8-diaminooctane. ..
Examples of the alicyclic diamines of the present invention include 1,4-diaminocyclohexane and 4,4′-methylenebis(2,6-dimethylcyclohexylamine).

本発明のベンゾオキサゾール構造を有するジアミン類としては、例えば、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、6−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、5−アミノ−2−(m−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、6−アミノ−2−(m−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2,2’−p−フェニレンビス(5−アミノベンゾオキサゾール)、2,2’−p−フェニレンビス(6−アミノベンゾオキサゾール)、1−(5−アミノベンゾオキサゾロ)−4−(6−アミノベンゾオキサゾロ)ベンゼン、2,6−(4,4’−ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2−d:5,4−d’]ビスオキサゾール、2,6−(4,4’−ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2−d:4,5−d’]ビスオキサゾール、2,6−(3,4’−ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2−d:5,4−d’]ビスオキサゾール、2,6−(3,4’−ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2−d:4,5−d’]ビスオキサゾール、2,6−(3,3’−ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2−d:5,4−d’]ビスオキサゾール、2,6−(3,3’−ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2−d:4,5−d’]ビスオキサゾール等が挙げられる。 Examples of the diamines having a benzoxazole structure of the present invention include 5-amino-2-(p-aminophenyl)benzoxazole, 6-amino-2-(p-aminophenyl)benzoxazole and 5-amino-2. -(M-aminophenyl)benzoxazole, 6-amino-2-(m-aminophenyl)benzoxazole, 2,2'-p-phenylene bis(5-aminobenzoxazole), 2,2'-p-phenylene Bis(6-aminobenzoxazole), 1-(5-aminobenzoxazolo)-4-(6-aminobenzoxazolo)benzene, 2,6-(4,4'-diaminodiphenyl)benzo[1,2 -D:5,4-d']bisoxazole, 2,6-(4,4'-diaminodiphenyl)benzo[1,2-d:4,5-d']bisoxazole, 2,6-(3 ,4'-Diaminodiphenyl)benzo[1,2-d:5,4-d']bisoxazole, 2,6-(3,4'-diaminodiphenyl)benzo[1,2-d:4,5- d′]bisoxazole, 2,6-(3,3′-diaminodiphenyl)benzo[1,2-d:5,4-d′]bisoxazole, 2,6-(3,3′-diaminodiphenyl) Examples thereof include benzo[1,2-d:4,5-d']bisoxazole.

本発明において、好ましく用いられるポリイミドは、芳香族テトラカルボン酸二無水物と、芳香族ジアミンとの縮合物からなるフィルムであることが好ましく、さらに、
(a)芳香族テトラカルボン酸二無水物と、少なくともベンゾオキサゾール骨格を有するジアミンを含むジアミンとの縮合物のフィルム、
(b)芳香族テトラカルボン酸二無水物と、少なくとも分子内にエーテル結合を有するジアミンを含むジアミンとの縮合物のフィルム、
(c)芳香族テトラカルボン酸二無水物と、少なくともフェニレンジアミンを含むジアミンとの縮合物のフィルム、
(d)ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、芳香族ジアミンとの縮合物のフィルム、
から選択される少なくとも一種のポリイミドフィルムからなることが好ましい。
In the present invention, the polyimide preferably used is preferably a film comprising a condensation product of an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine, and further,
(A) a film of a condensate of an aromatic tetracarboxylic dianhydride and a diamine containing at least a diamine having a benzoxazole skeleton,
(B) A film of a condensate of an aromatic tetracarboxylic dianhydride and a diamine containing at least a diamine having an ether bond in the molecule,
(C) a film of a condensate of an aromatic tetracarboxylic dianhydride and a diamine containing at least phenylenediamine,
(D) a film of a condensate of biphenyltetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine,
It is preferably made of at least one polyimide film selected from

本発明のポリイミドのフィルム膜厚は、特に限定されるものではないが、0.5μm〜200μmが好ましく、更に好ましくは、3μm〜50μmである。0.5μm以下では、膜厚の制御が困難であり、一部ポリイミドが欠損する部分ができる可能性がある。このため第2のポリイミド層を剥離することが困難となる場合が生じる。一方で200μm以上では、作製に時間がかかり、フィルムの膜厚斑を制御することが困難になる場合がある。ポリイミド層の膜厚斑は5%以下である事が必須であり、さらに4%以下である事が好ましく、なおさらに3%以下である事が好ましい。 The film thickness of the polyimide of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.5 μm to 200 μm, more preferably 3 μm to 50 μm. When the thickness is 0.5 μm or less, it is difficult to control the film thickness, and there is a possibility that a part of polyimide will be missing. Therefore, it may be difficult to peel off the second polyimide layer. On the other hand, when the thickness is 200 μm or more, it takes time to manufacture, and it may be difficult to control the unevenness of the film thickness. The thickness variation of the polyimide layer is essential to be 5% or less, preferably 4% or less, and more preferably 3% or less.

本発明のテトラカルボン酸二無水物とジアミンとの縮合物のフィルム、すなわちポリイミドフィルムは溶液成膜法で得ることができる。ポリイミドの溶液成膜法は、ステンレス鋼のロールないしはエンドレスベルト、あるいは、PETなどの高分子フィルムを、長尺ないしエンドレスの支持体として用い、支持体上にポリイミド樹脂の前駆体溶液を塗布し、乾燥後に支持体から剥離してポリイミド前駆体フィルムとし、好ましくはフィルムの両端をクリップないしピンにて把持して、搬送しつつ、さらに熱処理を加えてポリイミド前駆体をポリイミドへと化学反応させてポリイミドフィルムを得る方法である。かかる手法を用いて得られるポリイミドフィルムは、膜厚斑が5%以下、好ましくは3.6%以下、さらに好ましくは2.4%以下であり、引張破断強度が90MPa以上、好ましくは180MPa以上、さらに好ましくは350MPa以上、なお好ましくは450MPa以上のポリイミドフィルムとなる。 The film of the condensate of tetracarboxylic dianhydride and diamine of the present invention, that is, the polyimide film can be obtained by a solution film forming method. The solution forming method of polyimide is a stainless steel roll or an endless belt, or a polymer film such as PET is used as a long or endless support, and a precursor solution of a polyimide resin is applied onto the support, After drying, the polyimide precursor film is peeled off from the support, and preferably both ends of the film are gripped by clips or pins, and while being transported, further heat treatment is performed to chemically react the polyimide precursor into polyimide to form a polyimide. It is a method of obtaining a film. The polyimide film obtained using such a method has a thickness variation of 5% or less, preferably 3.6% or less, more preferably 2.4% or less, and a tensile breaking strength of 90 MPa or more, preferably 180 MPa or more, The polyimide film is more preferably 350 MPa or more, still more preferably 450 MPa or more.

本発明では、ポリイミド層の性状調整のために、ポリイミドに無機物を含有せしめることが可能であるが、必要最低限に留めるべきである。一般に高分子をフィルム化する際には滑剤と呼ばれる無機粒子を少量添加し、フィルム表面に積極的に微小な凸部を生成せしめ、フィルムとフィルムないしフィルムと平滑面が重なった際に、その間に空気層を巻き込むことによりフィルムの滑り性を発現させる。本発明において、ポリイミド層に含まれる酸化珪素成分は好ましくは6000ppm以下、好ましくは4500ppm以下、更に好ましくは1800ppm以下、なおさらに好ましくは900ppm以下に留めることが好ましい。過剰な滑剤の添加は、フィルム表面の粗度を大きくし、第2のポリイミド層の剥離性を阻害する場合がある。
かかる無機粒子は、有機溶剤などに分散させた状態にてポリアミド酸組成物に転嫁されることが多い。
In the present invention, in order to adjust the properties of the polyimide layer, it is possible to add an inorganic substance to the polyimide, but this should be kept to the necessary minimum. Generally, when a polymer is formed into a film, a small amount of inorganic particles called a lubricant is added to positively generate minute projections on the film surface, and when the film and the film or the film and the smooth surface overlap with each other, The slipperiness of the film is developed by incorporating the air layer. In the present invention, the silicon oxide component contained in the polyimide layer is preferably 6000 ppm or less, preferably 4500 ppm or less, more preferably 1800 ppm or less, still more preferably 900 ppm or less. The addition of an excessive amount of lubricant may increase the roughness of the film surface and may hinder the peelability of the second polyimide layer.
Such inorganic particles are often passed on to the polyamic acid composition while being dispersed in an organic solvent or the like.

本発明において、欠点ないし微小気泡の外径サイズは、円形ないし球形の場合は直径であり、歪んだ形状や不定形の場合には外接円の直径を外径サイズと呼ぶ。外接円の直径は、鮮明な画像があれば、画像処理などにより比較的簡便に求める事ができる。 In the present invention, the defect or the outer diameter size of the micro bubbles is the diameter in the case of a circular shape or a spherical shape, and the diameter of the circumscribed circle is called the outer diameter size in the case of a distorted shape or an irregular shape. If there is a clear image, the diameter of the circumscribed circle can be determined relatively easily by image processing or the like.

本発明のポリアミド酸組成物は、ポリアミド酸の有機溶媒溶液と、ポリアミド酸の有機溶媒を乾燥させて得られるポリアミド酸フィルム(GF:ゲルフィルムないしグリーンフィルムとも呼ばれる)を含む。なお、便宜上ポリアミド酸フィルムと呼ぶが、実際にポリアミド酸溶液を支持体に塗布して乾燥させた場合には、乾燥と同時にポリアミド酸の一部で脱水縮合反応によるイミド化が進行するため、ポリアミド酸とポリイミド、および有機溶媒が共存した状態となる。
本発明では、ポリアミド酸組成物に対する炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体から少なくとも選択される1種以上の化合物(以下脂肪酸系化合物と呼ぶ)の含有量を規定しているが、上記の通りポリアミド酸の存在量はポリイミド化の過程によって変化するため、本発明において「ポリアミド酸の質量に対して」と云う場合には、ポリアミド酸の原料であるテトラカルボン酸とジアミンの合計量を指すこととする。
The polyamic acid composition of the present invention includes a polyamic acid solution in an organic solvent and a polyamic acid film (also referred to as GF: gel film or green film) obtained by drying the polyamic acid organic solvent. It should be noted that although referred to as a polyamic acid film for convenience, when the polyamic acid solution is actually applied to a support and dried, imidization due to a dehydration condensation reaction proceeds with a part of the polyamic acid at the same time as the drying. The acid, the polyimide, and the organic solvent coexist.
In the present invention, at least one selected from fatty acids having 8 to 30 carbon atoms, fatty acid salts having 8 to 30 carbon atoms, fatty acid amides having 8 to 30 carbon atoms, and fatty acid derivatives having 8 to 30 carbon atoms with respect to the polyamic acid composition. Although the content of the above compound (hereinafter referred to as fatty acid compound) is specified, the abundance of the polyamic acid varies depending on the process of the polyimidization as described above, and therefore, in the present invention, “with respect to the mass of the polyamic acid”. The term "" means the total amount of the tetracarboxylic acid and the diamine which are the raw materials of the polyamic acid.

本発明では、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸組成物に含まれる、炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体から少なくとも選択される1種以上の化合物の含有量がポリアミド酸の質量に対して0.1質量%以下であるポリアミド酸組成物を用いてポリイミドを得るところに特徴がある。 In the present invention, a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid amide having 8 to 30 carbon atoms, and a fatty acid amide having 8 to 30 carbon atoms, which are contained in a polyamic acid composition which is a precursor of polyimide. The polyimide is obtained by using a polyamic acid composition in which the content of at least one compound selected from fatty acid derivatives is 0.1% by mass or less based on the mass of the polyamic acid.

本発明の炭素数8〜30の脂肪酸としては飽和脂肪酸、不飽和脂肪酸のいずれでもよく、例えば、オクタン酸、カプリル酸、ノナン酸、ペラルゴン酸、ドデカン酸、ラウリン酸、テトラデカン酸、ミリスチン酸、ペンタデカン酸、ペンタデシル酸、ヘキサデカン酸、パルミチン酸、9−ヘキサデセン酸、パルミトレイン酸、ヘプタデカン酸、マルガリン酸、オクタデカン酸、ステアリン酸、cis−9−オクタデセン酸、オレイン酸、11−オクタデセン酸、バクセン酸、cis,cis−9,12−オクタデカジエン酸、リノール酸、9,12,15−オクタデカントリエン酸、(9,12,15)−リノレン酸、6,9,12−オクタデカトリエン酸、(6,9,12)−リノレン酸、9,11,13−オクタデカトリエン酸、エレオステアリン酸、エイコサン酸、アラキジン酸、8,11−エイコサジエン酸、5,8,11−エイコサトリエン酸、ミード酸、5,8,11−エイコサテトラエン酸、アラキドン酸、ドコサン酸、ベヘン酸、テトラコサン酸、リグノセリン酸、cis−15−テトラコサン酸、ネルボン酸、ヘキサコサン酸、セロチン酸、オクタコサン酸、モンタン酸、トリアコンタン酸、メリシン酸、エルカ酸、ネルボン酸、アラキドン酸、エイコサテトラエン酸、ドコサペンタエン酸、ドコサヘキサエン酸等である。 The fatty acid having 8 to 30 carbon atoms of the present invention may be either saturated fatty acid or unsaturated fatty acid, for example, octanoic acid, caprylic acid, nonanoic acid, pelargonic acid, dodecanoic acid, lauric acid, tetradecanoic acid, myristic acid, pentadecane. Acid, pentadecylic acid, hexadecanoic acid, palmitic acid, 9-hexadecenoic acid, palmitoleic acid, heptadecanoic acid, margaric acid, octadecanoic acid, stearic acid, cis-9-octadecenoic acid, oleic acid, 11-octadecenoic acid, vaccenic acid, cis , Cis-9,12-octadecadienoic acid, linoleic acid, 9,12,15-octadecantrienoic acid, (9,12,15)-linolenic acid, 6,9,12-octadecatrienoic acid, (6, 9,12)-Linolenic acid, 9,11,13-octadecatrienoic acid, eleostearic acid, eicosanoic acid, arachidic acid, 8,11-eicosadienoic acid, 5,8,11-eicosatrienoic acid, mead acid , 5,8,11-eicosatetraenoic acid, arachidonic acid, docosanoic acid, behenic acid, tetracosanoic acid, lignoceric acid, cis-15-tetracosanoic acid, nervonic acid, hexacosanoic acid, cerotic acid, octacosanoic acid, montanic acid, Examples thereof include triacontanoic acid, melissic acid, erucic acid, nervonic acid, arachidonic acid, eicosatetraenoic acid, docosapentaenoic acid and docosahexaenoic acid.

本発明の炭素数8〜30の脂肪酸塩とは、前記例示した脂肪酸のアルカリ金属塩、アンモニウム塩、二価金属塩、三価金属塩、四価金属塩などである。 The fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms of the present invention includes the above-exemplified fatty acid alkali metal salts, ammonium salts, divalent metal salts, trivalent metal salts, tetravalent metal salts and the like.

本発明の炭素数8〜30の脂肪酸アミドの代表例としては、前記例示した脂肪酸とアンモニアの脱水縮合反応により得られる化合物であり、脂肪族アミドと呼ばれることもある。脂肪酸アミドとしては、例えばステアリン酸アミド、オレイン酸アミド、エルカ酸アミド、メチレンビスステアリン酸アミド、エチレンビスステアリン酸アミドなどである。 A typical example of the C8-C30 fatty acid amide of the present invention is a compound obtained by a dehydration condensation reaction of the above-exemplified fatty acid and ammonia, and is sometimes called an aliphatic amide. Examples of the fatty acid amide include stearic acid amide, oleic acid amide, erucic acid amide, methylenebisstearic acid amide, and ethylenebisstearic acid amide.

本発明の炭素数8〜30の脂肪酸誘導体とは、前記例示した脂肪酸のエステル、あるいはハロゲン置換物、不飽和結合に由来する多量体などである。
本発明ではこれら炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体から少なくとも選択される1種以上の化合物(脂肪酸系化合物)の含有量を、ポリアミド酸組成物中のポリアミド酸の質量に対して0.1質量%以下であり、好ましくは0.01質量%でありさらに好ましくは0.003質量%である。下限値は検出下限値以下であるため特に定めない。
The fatty acid derivative having 8 to 30 carbon atoms of the present invention is an ester of the above-exemplified fatty acid, a halogen-substituted product, a polymer derived from an unsaturated bond, or the like.
In the present invention, at least one compound (fatty acid) selected from at least these fatty acids having 8 to 30 carbon atoms, fatty acid salts having 8 to 30 carbon atoms, fatty acid amides having 8 to 30 carbon atoms and fatty acid derivatives having 8 to 30 carbon atoms (fatty acid The content of the (system compound) is 0.1% by mass or less, preferably 0.01% by mass, and more preferably 0.003% by mass based on the mass of the polyamic acid in the polyamic acid composition. The lower limit is below the detection lower limit, so it is not specified.

これらの脂肪酸系化合物は、極微量であればポリアミド酸組成物の溶剤に溶解した状態で存在するが、元来ポリアミド酸組成物の溶剤には相溶性が乏しいため、乾燥が進んで溶剤量が減少してくると相対的に溶解度以上の濃度に達し、析出して組成物中で微粒子ないしミセルを形成する。すなわち、この微粒子ないしミセルが、ポリアミド酸フィルム中に生成し、さらにポリアミド酸を脱水縮合してイミド化する熱処理時に熱分解ないし昇華することにより、微小気泡が生成する。これら脂肪酸系化合物量が所定の範囲内であれば、微粒子ないしミセル化が生じる濃度に達した際には十分に温度が高くなっており、微粒子ないしミセルの形で析出する前に分解ないし昇華してしまうため微小気泡は生じない。 These fatty acid compounds are present in a state of being dissolved in the solvent of the polyamic acid composition if the amount is extremely small, but since the solvent of the polyamic acid composition is originally poor in compatibility, the amount of the solvent is increased by drying. When it decreases, it reaches a concentration higher than the solubility and precipitates to form fine particles or micelles in the composition. That is, the fine particles or micelles are formed in the polyamic acid film, and are further decomposed or sublimated during the heat treatment for dehydrating and condensing the polyamic acid to generate fine bubbles. When the amount of these fatty acid compounds is within the predetermined range, the temperature is sufficiently high when the concentration at which fine particles or micelles are formed is reached, and the compounds are decomposed or sublimated before being precipitated in the form of fine particles or micelles. Therefore, micro bubbles do not occur.

本発明者らは、これら脂肪酸系化合物の由来を調査した結果、これらポリアミド酸の原料やポリアミド酸溶液を保管する際の容器に由来することを突き止めた。すなわちこれら脂肪酸系化合物は容器の内壁に使用される材料から、保管中に原料やポリアミド酸溶液に移行することにより蓄積される。これら脂肪酸系化合物は化学的な安定性が比較的高いために、ポリアミド酸の重合反応や、ポリアミド酸からポリイミドに転化する際の脱水反応を直接的に阻害することは無いため見過ごされやすい。 As a result of investigating the origin of these fatty acid compounds, the present inventors have found that they originate from the container for storing the raw material of these polyamic acids and the polyamic acid solution. That is, these fatty acid compounds are accumulated by shifting from the material used for the inner wall of the container to the raw material or the polyamic acid solution during storage. Since these fatty acid compounds have relatively high chemical stability, they do not directly hinder the polymerization reaction of polyamic acid or the dehydration reaction when converting polyamic acid to polyimide, and are therefore easily overlooked.

本発明にて用いられる、ポリアミド酸の原料、溶剤、ポリアミド酸組成物などを保管する容器の一例は、一斗缶や小型金属缶である。これら金属製の容器の内壁はポリエチレンフィルム、プロピレンフィルム、ポリオレフィンフィルム、フッ化ビニルフィルム、ポリエステルフィルムなどがラミネートされ、内容物と金属とが直接接触することを防止している。また蓋についてもシーラーとして同様の比較的柔軟な樹脂が使われていることが多い。
本発明にて用いられる、ポリアミド酸の原料、溶剤、ポリアミド酸組成物などを保管する容器の他の一例としては、いわゆるポリ容器を例示することができる。ポリ容器はポリエチレン、ポリプロピレン、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニルなど、化学的安定性が高く、比較的柔軟高分子材料で作られている。
本発明にて、ポリアミド酸の原料が固体の塊状ないし粉末状である場合には、ポリエステル、ナイロンなどの高分子材料製袋、いわゆるポリ袋や、内側に高分子フィルムを配した紙袋が用いられる場合がある。このような袋状容器の場合、容器の最内層はヒートシール用のシーラントであるため、内容物はシーラント層に直接的に接することとなる。
An example of the container for storing the polyamic acid raw material, the solvent, the polyamic acid composition, and the like used in the present invention is a canister or a small metal can. A polyethylene film, a propylene film, a polyolefin film, a vinyl fluoride film, a polyester film, or the like is laminated on the inner wall of these metal containers to prevent direct contact between the contents and the metal. Also for the lid, similar relatively flexible resin is often used as a sealer.
As another example of the container for storing the polyamic acid raw material, the solvent, the polyamic acid composition and the like used in the present invention, a so-called poly container can be exemplified. The plastic container is made of a relatively flexible polymer material having high chemical stability such as polyethylene, polypropylene, polyolefin and polyvinyl chloride.
In the present invention, when the polyamic acid raw material is a solid lump or powder, a bag made of a polymer material such as polyester or nylon, a so-called poly bag, or a paper bag having a polymer film arranged inside is used. There are cases. In the case of such a bag-shaped container, since the innermost layer of the container is a sealant for heat sealing, the contents come into direct contact with the sealant layer.

本発明の脂肪酸系化合物は、容器の内壁やシーラントに使用されるポリエチレン、ポリプロピレン、ポリオレフィンなどへの添加剤として広く用いられている。これらを全く使わない素材で内壁が覆われた容器を用いることができれば、これら脂肪酸系化合物の混入は排除できるわけであるが、現実問題としてそのような容器を手配することは困難である。 The fatty acid compound of the present invention is widely used as an additive to polyethylene, polypropylene, polyolefin and the like used for the inner wall of containers and sealants. If a container whose inner wall is covered with a material that does not use any of these can be used, the mixing of these fatty acid compounds can be eliminated, but in reality it is difficult to arrange such a container.

本発明では、前述のような脂肪酸系化合物を添加剤として含む材料で内壁が覆われた容器を用いた場合でも、特定の条件下で保管を行えば、脂肪族系化合物の混入量を微小気泡が発生する量以下に抑えることができる。
すなわち、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内であれば、脂肪酸系化合物の混入量を微小気泡発生限度以下に留めることができ、結果として微分干渉顕微鏡によって観察される直径2μm以上の欠点数が2個/平方cm以下、好ましくは1個/平方cm、さらに好ましくは1個/10平方cm、なお好ましくは1個/100平方cmであるポリイミドフィルムをえることができる。かかる関係式を満足する保管温度と保管時間は、例えば、60℃においては1か月(30日)、40℃においては3ヶ月(90日)、25℃においては8ヶ月(240日)である。
In the present invention, even when a container whose inner wall is covered with a material containing a fatty acid compound as an additive as described above is used, if the container is stored under a specific condition, the amount of the aliphatic compound mixed in the microbubbles is reduced. Can be suppressed to an amount equal to or less than that.
That is,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
If the storage temperature and storage time satisfy the following relational expression, the amount of the fatty acid compound mixed can be kept below the microbubble generation limit, and as a result, a defect of diameter 2 μm or more observed by a differential interference microscope. It is possible to obtain a polyimide film having a number of not more than 2 pieces/square cm, preferably 1 piece/square cm, more preferably 1 piece/10 cm 2, still more preferably 1 piece/100 cm 2. The storage temperature and storage time that satisfy the relational expression are, for example, 1 month (30 days) at 60° C., 3 months (90 days) at 40° C., and 8 months (240 days) at 25° C. ..

以下に実施例を示し、本発明を具体的に説明する。
<実験例1>
精製直後の5−アミノ−2−(4−アミノフェニル)ベンゾオキサゾールおよびピロメリット酸二無水物をそれぞれ1.5g秤量し、クロロホルム12mlとともにサンプル瓶に密栓し、超音波分散させながら、2時間抽出した。抽出液をろ過し、ろ液を窒素雰囲気下、室温で濃縮乾固させ、重クロロホルムに溶解後、H−NMR測定(400MHz)を行った。定量のため、内部標準としてジメチルイソフタレートを50μg添加した。その結果、両原料共に少なくとも0.001質量%以上の炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体は検出されなかった。
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples.
<Experimental Example 1>
1.5 g each of 5-amino-2-(4-aminophenyl)benzoxazole and pyromellitic dianhydride immediately after purification were weighed, sealed in a sample bottle with 12 ml of chloroform, and extracted for 2 hours while ultrasonically dispersing. did. The extract was filtered, the filtrate was concentrated to dryness at room temperature under a nitrogen atmosphere, dissolved in deuterated chloroform, and then subjected to 1 H-NMR measurement (400 MHz). For quantification, 50 μg of dimethylisophthalate was added as an internal standard. As a result, at least 0.001 mass% or more of C8-30 fatty acids, C8-30 fatty acid salts, C8-30 fatty acid amides and C8-30 fatty acid derivatives were detected in both raw materials. Was not done.

<ポリアミド酸の重合例>
この原料を用いてポリアミド酸の重合を実施した。
窒素導入管,温度計,攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(4−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール100質量部を、蒸留精製したN,N−ジメチルアセトアミド1400質量部を加えて完全に溶解させた後,ピロメリット酸二無水物96質量部を加え、さらに滑剤としてコロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなる分散体(日産化学工業製「スノーテックス(登録商標)DMAC−ST30」ただし製造日から一週間以内に納入された製品)をシリカ(滑剤)がポリアミド酸溶液中のポリマー固形分総量にて0.12質量%)になるように加え、25℃の反応温度で18時間攪拌すると、褐色で粘調なポリアミド酸溶液A(ポリアミド酸組成物A)が得られた。
このポリアミド酸溶液10gを多量のクロロホルム中に再沈殿し、上澄み液を窒素雰囲気下、室温で濃縮乾固させ、重クロロホルムに溶解後、H−NMR測定(400MHz)を行った。定量のため、内部標準としてジメチルイソフタレートを50μg添加した。その結果、少なくとも0.001質量%以上の炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、および炭素数8〜30の脂肪酸誘導体は検出されなかった。また、このポリアミド酸の還元粘度は3.6dl/gであった。
<Polymeric acid polymerization example>
Polyamic acid was polymerized using this raw material.
After nitrogen-substituting the inside of a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod, 100 parts by mass of 5-amino-2-(4-aminophenyl)benzoxazole was distilled and purified to obtain N,N-dimethylacetamide 1400. A dispersion of 96 parts by mass of pyromellitic acid dianhydride and 100 parts by mass of pyromellitic dianhydride, and colloidal silica as a lubricant dispersed in dimethylacetamide (“Snowtex (registered trademark of Nissan Chemical Industries)”) )DMAC-ST30" (product delivered within one week from the manufacturing date) so that silica (lubricant) is 0.12% by mass based on the total polymer solid content in the polyamic acid solution), When stirred at the reaction temperature for 18 hours, a brown viscous polyamic acid solution A (polyamic acid composition A) was obtained.
10 g of this polyamic acid solution was reprecipitated in a large amount of chloroform, and the supernatant was concentrated to dryness at room temperature under a nitrogen atmosphere, dissolved in deuterated chloroform, and then subjected to 1 H-NMR measurement (400 MHz). For quantification, 50 μg of dimethylisophthalate was added as an internal standard. As a result, at least 0.001% by mass or more of a C8-30 fatty acid, a C8-30 fatty acid salt, and a C8-30 fatty acid derivative were not detected. The reduced viscosity of this polyamic acid was 3.6 dl/g.

<ポリイミドフィルムの製造例>
ポリアミド酸溶液AをG3サイズ(370mm×470mmのディスプレイ基板用のガラス基板(支持体)に、四辺それぞれ5mmを余白として、精密コーターを用いてコーティングし、110℃にて5分間乾燥してガラス基板に支持されたポリアミド酸フィルム層Aを得た。TGAで測定したフィルム中の残存溶媒量は35質量%であった。
このポリアミド酸フィルム層Aの一部をガラス基板から剥離し、5g秤量し、クロロホルム50mlとともにサンプル瓶に密栓し、超音波分散させながら、2時間抽出した。抽出液をろ過し、ろ液を窒素雰囲気下で濃縮乾固させ、重クロロホルムに溶解後、H−NMR測定(400MHz)を行った。定量のため、内部標準としてジメチルイソフタレートを50μg添加した。その結果、ポリアミド酸フィルムにおいても少なくとも0.001質量%以上の炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体は検出されなかった。
同様にして得られたガラス基板に支持されたポリアミド酸フィルム層Aを真空乾燥機にて150℃×20分乾燥し、さらに、イナートオーブンにて450℃×15分間の熱処理を行い、ガラス基板に支持された厚さ25μmのポリイミドフィルム層Aを得た。
<Production example of polyimide film>
The polyamic acid solution A was coated on a G3 size (370 mm×470 mm glass substrate for a display substrate (support)) using a precision coater with 5 mm on each side as a blank, and dried at 110° C. for 5 minutes to obtain a glass substrate. To obtain a polyamic acid film layer A. The residual solvent amount in the film measured by TGA was 35% by mass.
A part of this polyamic acid film layer A was peeled off from the glass substrate, 5 g was weighed, and the sample bottle was tightly stoppered with 50 ml of chloroform and extracted for 2 hours while ultrasonically dispersing. The extract was filtered, the filtrate was concentrated to dryness under a nitrogen atmosphere, dissolved in deuterated chloroform, and then subjected to 1 H-NMR measurement (400 MHz). For quantification, 50 μg of dimethylisophthalate was added as an internal standard. As a result, even in the polyamic acid film, at least 0.001% by mass or more of a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid amide having 8 to 30 carbon atoms, and a fatty acid derivative having 8 to 30 carbon atoms Was not detected.
The polyamic acid film layer A supported on the glass substrate obtained in the same manner was dried in a vacuum dryer at 150° C. for 20 minutes, and further heat-treated at 450° C. for 15 minutes in an inert oven to give a glass substrate. A supported 25 μm thick polyimide film layer A was obtained.

<欠点数の計測>
得られたポリイミドフィルム層Aの四辺5mm(ガラスエッジから10mm)を余白と見做し、その内側のエリアから無作為に50mm×50mmの正方形を5個所抽出し、観察用エリアとした。観察用エリアの表面を微分干渉顕微鏡100倍(視野概ね1.5mmφ)で観察し、色むらが顕著な2μm以上の部分を欠点としてマッピングとともに個数をカウントした。なお欠点個数が75個を超えた時点(3.0個/平方cmに相当)で「欠点多数」と判断し係数は取りやめた。2μm以上の欠点個数は0.0個/平方cmであった。
<Measurement of the number of defects>
5 mm on the four sides (10 mm from the glass edge) of the obtained polyimide film layer A was regarded as a blank space, and 5 squares of 50 mm×50 mm were randomly extracted from the area inside thereof to make an observation area. The surface of the observation area was observed with a 100× differential interference microscope (field of view: approximately 1.5 mmφ), and the number was counted together with the mapping, with a defect of 2 μm or more where the color unevenness is remarkable as a defect. When the number of defects exceeded 75 (corresponding to 3.0 defects/square cm), it was judged as "a large number of defects" and the coefficient was canceled. The number of defects of 2 μm or more was 0.0/cm 2.

<比較実験例1>
<ポリアミド酸原料の保管>
精製直後の5−アミノ−2−(4−アミノフェニル)ベンゾオキサゾールおよびピロメリット酸無水物を、それぞれ内面がポリオレフィンシーラントであるポリ袋に収納し、40℃にて60日間保管した。いずれも粉末原料である。
蒸留精製したN,N−ジメチルアセトアミドを、内面がポリエチレンコーティングされた金属缶に収納し、確実に密閉し、40℃にて60日官保管した。
製造から一週間以内に納入されたコロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなる分散体(日産化学工業製「スノーテックス(登録商標)DMAC−ST30」)を、同様に内面がポリエチレンコーティングされた金属缶に収納し、確実に密閉し、40℃にて60日間保管した。
<Comparative Experimental Example 1>
<Storage of polyamic acid raw material>
Immediately after purification, 5-amino-2-(4-aminophenyl)benzoxazole and pyromellitic dianhydride were stored in a plastic bag having an inner surface of a polyolefin sealant and stored at 40° C. for 60 days. Both are powder raw materials.
The N,N-dimethylacetamide purified by distillation was placed in a metal can whose inner surface was coated with polyethylene, tightly sealed, and publicly stored at 40° C. for 60 days.
A metal can whose inner surface was similarly polyethylene coated with a dispersion (“Snowtex (registered trademark) DMAC-ST30” manufactured by Nissan Kagaku Kogyo Co., Ltd.) in which colloidal silica delivered within one week of production was dispersed in dimethylacetamide. It was stored in a container, securely sealed, and stored at 40° C. for 60 days.

この40℃にて60日間保管された原料を用い、実験例1と同様に重合操作を行いポリアミド酸溶液Bを得た。このポリアミド酸溶液B10gを多量のクロロホルム中に再沈殿し、上澄み液を窒素雰囲気下、室温で濃縮乾固させ、重クロロホルムに溶解後、H−NMR測定(400MHz)を行った。定量のため、内部標準としてジメチルイソフタレートを50μg添加した。その結果、ポリアミド酸に対して0.12質量%のエルカ酸アミドを検出した。 Using the raw material stored at 40° C. for 60 days, a polymerization operation was performed in the same manner as in Experimental Example 1 to obtain a polyamic acid solution B. 10 g of this polyamic acid solution B was reprecipitated in a large amount of chloroform, and the supernatant was concentrated to dryness at room temperature under a nitrogen atmosphere, dissolved in deuterated chloroform, and then subjected to 1 H-NMR measurement (400 MHz). For quantification, 50 μg of dimethylisophthalate was added as an internal standard. As a result, 0.12% by mass of erucic acid amide was detected with respect to the polyamic acid.

ポリアミド酸の粉末原料の保管に用いたポリ袋の内面のポリオレフィンシートを分析したところ、1.5質量%のエルカ酸アミドを検出した。同様に液体原料を保管した金属缶の内面の高分子皮膜を分析したところ、0.01質量%のステアリン酸を検出した。少なくともポリアミド酸溶液Bに含まれていたエルカ酸アミドは保管容器由来であると結論づけられる。 When the polyolefin sheet on the inner surface of the polybag used for storing the polyamic acid powder raw material was analyzed, 1.5% by mass of erucic acid amide was detected. Similarly, when the polymer film on the inner surface of the metal can storing the liquid raw material was analyzed, 0.01 mass% of stearic acid was detected. It can be concluded that at least the erucic acid amide contained in the polyamic acid solution B is derived from the storage container.

得られたポリアミド酸溶液Bを用いて実験例1と同様に操作し、ガラス基板に支持されたポリイミドフィルム層Bを得た。得られたポリイミドフィルム層Bの表面を微分干渉顕微鏡で観察したところ、空気面側に2μm以上の欠点が3個/平方cmあるのを検出した。またフィルムの欠点部分の断面観察を行ったところ、フィルムの空気面から1〜5μmの範囲に外径が1.0μm〜1.8μmの微小気泡が観察された。 Using the obtained polyamic acid solution B, the same operation as in Experimental Example 1 was carried out to obtain a polyimide film layer B supported on a glass substrate. When the surface of the obtained polyimide film layer B was observed with a differential interference microscope, it was detected that there were 3 defects/square cm of 2 μm or more on the air surface side. Further, when the cross section of the defect portion of the film was observed, fine bubbles having an outer diameter of 1.0 μm to 1.8 μm were observed in the range of 1 to 5 μm from the air surface of the film.

<保管実験>
比較実験例で用いた精製直後の5−アミノ−2−(4−アミノフェニル)ベンゾオキサゾールおよびピロメリット酸無水物を、それぞれ比較実験例で用いた内面がポリオレフィンシーラントであるポリ袋に収納し、表1に示す保管温度と保管時間の間保存し、その後に実験例1と同様の操作にてガラス基板に支持されたポリイミドフィルム層を作製し、微分干渉顕微鏡による欠点観察を行った。結果を表1に示す。ここに欠点数が1.0個/平方cm以下の場合を○、1.0個/平方cmを超え、2.0個/平方cm以下の場合を△、2.0個/平方cmを超える場合を×とした。
<Storage experiment>
The 5-amino-2-(4-aminophenyl)benzoxazole and pyromellitic dianhydride immediately after purification used in the comparative experiment example were stored in a poly bag whose inner surface used in the comparative experiment example was a polyolefin sealant, The film was stored for the storage temperature and storage time shown in Table 1, and then a polyimide film layer supported on a glass substrate was prepared by the same operation as in Experimental Example 1, and a defect was observed with a differential interference microscope. The results are shown in Table 1. Here, when the number of defects is 1.0 or less/square cm, it is ◯, it exceeds 1.0/square cm, and when it is 2.0 or less/square cm, it is Δ, and it exceeds 2.0/square cm. The case was marked as x.

保管実験の結果を、縦軸に保管時間の対数を、横軸に保管温度の逆数を取ってプロットした結果を図1に示す。図1に於けるグラフ中の破線で引いた斜線が、
log10(day)=2300×(1/T)−5.3
であり、この斜線より下の部分であれば、欠点数の低いポリイミドフィルム層が得られることが解る。
The result of the storage experiment is plotted in FIG. 1 by plotting the logarithm of the storage time on the vertical axis and the reciprocal of the storage temperature on the horizontal axis. The diagonal line drawn by the broken line in the graph in Fig. 1 is
log 10 (day)=2300×(1/T)−5.3
Therefore, it can be seen that the polyimide film layer having a low number of defects can be obtained in the portion below the oblique line.

以上述べてきたように、本発明の示す条件で原料を保管管理すれば、欠点発生数の少ない高品位のポリイミドフィルム層を得ることができる。本発明で得られるポリイミドフィルム層は、高品位な微細パターン形成に好適に用いることができ、特に微細なTFT形成が求められるフレキシブルディスプレイのバックプレーン製作に最適である。 As described above, if the raw material is stored and managed under the conditions shown by the present invention, a high-quality polyimide film layer with few defects can be obtained. The polyimide film layer obtained in the present invention can be suitably used for forming a high-quality fine pattern, and is most suitable for manufacturing a backplane of a flexible display, which requires particularly fine TFT formation.

Claims (7)

芳香族テトラカルボン酸とジアミンから得られるポリアミド酸および有機溶媒を少なくとも含む組成物であって、該ポリアミド酸に対する、炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体の合計が0.05質量%以下であることを特徴とするポリアミド酸組成物。 A composition containing at least a polyamic acid obtained from an aromatic tetracarboxylic acid and a diamine and an organic solvent, wherein the polyamic acid has a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, and 8 to 8 carbon atoms. A polyamic acid composition characterized in that the total amount of 30 fatty acid amides and C8-30 fatty acid derivatives is 0.05% by mass or less. 少なくとも内壁の一部が、ガラス転移温度が40℃以下の高分子材料からなる容器に収納し、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内にて保管した後の芳香族テトラカルボン酸を重合原料として用いたことを特徴とする請求項1に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
At least a part of the inner wall is stored in a container made of a polymer material having a glass transition temperature of 40° C. or lower,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
The method for producing a polyamic acid composition according to claim 1, wherein the aromatic tetracarboxylic acid after storage within a storage temperature and a storage time satisfying the following relational expression is used as a polymerization raw material.
少なくとも内壁の一部が、ガラス転移温度が40℃以下の高分子材料からなる容器に収納し、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内にて保管した後のジアミンを重合原料として用いたことを特徴とする請求項1に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
At least a part of the inner wall is stored in a container made of a polymer material having a glass transition temperature of 40° C. or lower,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
The method for producing a polyamic acid composition according to claim 1, wherein the diamine after being stored at a storage temperature and a storage time satisfying the following relational expression is used as a polymerization raw material.
少なくとも内壁の一部が、ガラス転移温度が40℃以下の高分子材料からなる容器に収納し、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内にて保管した後の有機溶剤を重合溶媒として用いたことを特徴とする請求項1に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
At least a part of the inner wall is stored in a container made of a polymer material having a glass transition temperature of 40° C. or lower,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
The method for producing a polyamic acid composition according to claim 1, wherein the organic solvent after storage within a storage temperature and a storage time satisfying the following relational expression is used as a polymerization solvent.
少なくとも内壁の一部が、ガラス転移温度が40℃以下の高分子材料からなる容器に収納し、
log10(day)≦2300×(1/T)−5.3
(ここにdayは保管時間(単位:日)、Tは保管温度(単位:K)である。)
なる関係式を満足する保管温度と保管時間の範囲内にて保管した後の無機粒子の溶剤分散体を重合原料に配合することを特徴とする請求項1に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。
At least a part of the inner wall is stored in a container made of a polymer material having a glass transition temperature of 40° C. or lower,
log 10 (day)≦2300×(1/T)−5.3
(Here, day is the storage time (unit: day) and T is the storage temperature (unit: K).)
The method for producing a polyamic acid composition according to claim 1, wherein a solvent dispersion of inorganic particles after storage within a storage temperature and storage time range satisfying the following relational expression is added to a polymerization raw material. ..
前記容器の内壁の一部を構成する高分子材料が、前記炭素数8〜30の脂肪酸、炭素数8〜30の脂肪酸塩、炭素数8〜30の脂肪酸アミドおよび炭素数8〜30の脂肪酸誘導体から少なくとも選択される1種以上の化合物を0.05〜5質量%含有することを特徴とする請求項2〜5のいずれか一項に記載のポリアミド酸組成物の製造方法。 The polymer material forming part of the inner wall of the container is a fatty acid having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid salt having 8 to 30 carbon atoms, a fatty acid amide having 8 to 30 carbon atoms, and a fatty acid derivative having 8 to 30 carbon atoms. The method for producing a polyamic acid composition according to any one of claims 2 to 5, which comprises 0.05 to 5 mass% of at least one compound selected from the above. 請求項4に記載のポリアミド酸組成物を少なくとも350℃以上550℃以下の温度にて熱処理することを特徴とするポリイミドの製造方法。 A method for producing a polyimide, comprising heat-treating the polyamic acid composition according to claim 4 at a temperature of at least 350°C and not more than 550°C.
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