JP2020113675A - 周波数応答波形生成装置、異常診断装置、周波数応答波形生成方法、異常診断方法 - Google Patents

Abstract

【課題】変圧器等の電気機器の異常を確実に診断するための周波数応答波形生成装置、異常診断装置、周波数応答波形診断方法、異常診断方法及びプログラムを提供する。【解決手段】電気機器に入力される正弦波信号の周波数を第１測定周波数から前記第１測定周波数よりも高い第２測定周波数まで変化させたときに前記電気機器から出力される出力信号に基づいて、前記第１測定周波数から前記第２測定周波数までの各測定周波数に対応する伝達関数を算出し、前記伝達関数から周波数応答波形を生成する周波数応答波形生成装置１００であって、前記周波数応答波形のうち隣り合う極大点と極小点との間の波形が単位区間となるように、前記周波数応答波形を区分する区分部１３０と、前記周波数応答波形を前記単位区間ごとに近似する近似部１４０と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、周波数応答波形生成装置、異常診断装置、周波数応答波形生成方法、異常診断方法に関する。

例えば、変圧器の巻線や鉄心の異常を診断する方法として、周波数応答解析（Frequency Response Analysis）を用いる方法が知られている。

この方法は、変圧器に入力される正弦波信号（例えば電圧）の周波数（測定周波数）を数十Ｈｚから数ＭＨｚまで掃引させたときに変圧器から出力される出力信号（例えば電流）に基づいて、各測定周波数に対応する伝達関数（例えばインピーダンス）を算出した後、変圧器が健全であることを示す予め用意されている伝達関数と比較することによって、変圧器が健全であるか否かを診断する方法である（例えば特許文献１を参照）。

特開２０１１−２５３８８５号公報

しかし、比較する側及び比較される側の双方の伝達関数を算出するために用意された測定装置の製造メーカーが異なると、双方の伝達関数を算出する際に用いられる正弦波信号の測定周波数が異なる場合がある。この場合、同一の測定周波数に対応する双方の伝達関数が存在しなくなるため、変圧器の巻線や鉄心に関して健全な状態であるか否かを診断することができなくなる虞があった。この問題は、相互相関関数（ＣＣＦ）を用いて変圧器の診断を行う場合に顕著となる。

そこで、本発明は、変圧器等の電気機器の異常を確実に診断するための周波数応答波形生成装置、異常診断装置、周波数応答波形診断方法、異常診断方法、及びプログラムを提供することを目的とする。

前述した課題を解決する主たる本発明は、電気機器に入力される正弦波信号の周波数を第１測定周波数から前記第１測定周波数よりも高い第２測定周波数まで変化させたときに前記電気機器から出力される出力信号に基づいて、前記第１測定周波数から前記第２測定周波数までの各測定周波数に対応する伝達関数を算出し、前記伝達関数から周波数応答波形を生成する周波数応答波形生成装置であって、前記周波数応答波形のうち隣り合う極大点と極小点との間の波形が単位区間となるように、前記周波数応答波形を区分する第１装置と、前記周波数応答波形を前記単位区間ごとに近似する第２装置と、を備える。

本発明の他の特徴については、添付図面及び本明細書の記載により明らかとなる。

本発明によれば、変圧器等の電気機器の異常を確実に診断することが可能となる。

本実施形態に係る周波数応答波形生成装置を示すブロック図である。 本実施形態に係る周波数応答波形生成装置に対して伝達関数を算出するために必要な情報を供給する測定装置の一例を示す図である。 本実施形態に係る周波数応答波形生成装置によって得られる周波数応答波形の一例を示す図である。 本実施形態に係る異常診断装置を示すブロック図である。 本実施形態に係る異常診断装置において比較される２つの周波数応答波形の一例を示す図である。

本明細書および添付図面の記載により、少なくとも以下の事項が明らかとなる。

尚、本実施形態において、電気機器は、電力系統に設置される常設型変圧器や、当該常設型変圧器の点検又は交換の際に代替として使用される移動用変圧器等の「変圧器」であることとする。又、周波数応答解析における伝達関数としては、巻線インピーダンス、アドミタンス、電圧レシオ等が挙げられるが、本実施形態において、伝達関数は、例えば電圧レシオであることとする。

＝＝＝周波数応答波形生成装置＝＝＝
図１は、本実施形態に係る周波数応答波形生成装置を示すブロック図である。図２は、本実施形態に係る周波数応答波形生成装置に対して伝達関数を算出するために必要な情報を供給する測定装置の一例を示す図である。図３は、本実施形態に係る周波数応答波形生成装置によって得られる周波数応答波形の一例を示す図である。尚、図３において、横軸は測定周波数［Ｈｚ］を示し、縦軸は伝達関数［ｄＢ］を示している。

周波数応答波形生成装置１００は、変圧器２００が健全な状態で稼働しているか否かを診断するに際して、変圧器２００と接続された測定装置３００によって測定される入力電圧及び出力電圧から伝達関数を算出し、伝達関数から周波数応答波形を生成する装置である。

測定装置３００は、入力電圧発生器３１０、抵抗３２０、交流回路用の電圧計３３０，３４０、スイッチ３５０を含んで構成されている。入力電圧発生器３１０は、正弦波の入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）を発生する発生器であって、入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）の周波数を第１測定周波数（例えば数十Hz）から第２測定周波数（例えば数MHｚ）まで変化させる掃引機能を有している。抵抗３２０は入力電圧発生器３１０に対して直列に接続され、その抵抗値は例えば５０Ωに設定されていることとする。入力電圧発生器３１０及び抵抗３２０からなる直列接続体は、変圧器２００の２次巻線２２０に対して並列に接続されている。電圧計３３０は、入力電圧発生器３１０に対して並列に接続され、第１測定周波数から第２測定周波数まで周波数が連続的に変化する入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）を測定する。電圧計３４０は、抵抗３２０に対して並列に接続され、入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）が２次巻線２２０に供給されたときに抵抗３２０の両端に発生する出力電圧Ｖｏｕｔ（ｊω）を測定する。尚、ｊは虚数単位、ωは角周波数を表している。スイッチ３５０は、変圧器２００の１次巻線２１０に対して並列に接続されている。変圧器２００の巻線の異常を診断する場合、スイッチ３５０を閉じて１次巻線２１０を短絡させた状態で、入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）及び出力電圧Ｖｏｕｔ（ｊω）を測定する。一方、変圧器２００の鉄心の異常を診断する場合、スイッチ３５０を開いて１次巻線２１０を開放させた状態で、入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）及び出力電圧Ｖｏｕｔ（ｊω）を測定する。

周波数応答波形生成装置１００は、周波数応答波形を生成するために、入力部１１０、伝達関数算出部１２０、区分部１３０、近似部１４０、記憶部１５０、出力部１６０を含んで構成されている。

入力部１１０は、測定装置３００から入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）及び出力電圧Ｖｏｕｔ（ｊω）を示す情報が供給される、周波数応答波形生成装置１と測定装置３００との間の信号路を接続するインターフェースである。

伝達関数算出部１２０は、入力部１１０から入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）及び出力電圧Ｖｏｕｔ（ｊω）を示す情報が供給されることによって、測定周波数ごとに、例えば以下に示す式１で定義される伝達関数Ｈ（ｊω）を算出する。伝達関数Ｈ（ｊω）は、記憶部１５０の記憶領域１５０Ａに記憶される。

図３に示されるように、第１測定周波数から第２測定周波数までの全ての測定周波数に対応する伝達関数Ｈ（ｊω）を記憶部１５０の記憶領域１５０Ａから読み出してつなぎ合わせてみると、複数の極大点及び極小点を有する周波数応答波形ＦＲＡ０（曲線近似前の波形）が形成される。そこで、区分部１３０は、周波数応答波形ＦＲＡ０の中から複数の極大点及び極小点を検出し、周波数応答波形ＦＲＡ０のうち隣り合う極大点と極小点との間の区間が単位区間となるように、周波数応答波形ＦＲＡ０を区分する。尚、周波数応答波形ＦＲＡ０の中から極大点及び極小点を検出する方法として、例えば、周波数応答波形ＦＲＡ０における接線の傾きと接線の変化率を求める周知の２階微分を採用することが可能である。そして、区分部１３０は、極大点Ｐ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７，Ｐ１１及び極小点Ｐ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８，Ｐ１０，Ｐ１２を検出し、更に、隣り合う極大点と極小点との間の各区間Ｐ１〜Ｐ２、Ｐ２〜Ｐ３、Ｐ３〜Ｐ４、Ｐ４〜Ｐ５、Ｐ５〜Ｐ６、Ｐ６〜Ｐ７、Ｐ７〜Ｐ８、Ｐ８〜Ｐ９、Ｐ９〜Ｐ１０、Ｐ１０〜Ｐ１１、Ｐ１１〜Ｐ１２を単位区間として区分する。単位区間を示す情報は、記憶部１５０の記憶領域１５０Ｂに記憶される。

近似部１４０は、区分部１３０によって区分された各単位区間Ｐ１〜Ｐ２、Ｐ２〜Ｐ３、Ｐ３〜Ｐ４、Ｐ４〜Ｐ５、Ｐ５〜Ｐ６、Ｐ６〜Ｐ７、Ｐ７〜Ｐ８、Ｐ８〜Ｐ９、Ｐ９〜Ｐ１０、Ｐ１０〜Ｐ１１、Ｐ１１〜Ｐ１２を曲線近似する装置である。尚、隣り合う極大点と極小点との間の区間を曲線近似する方法として、例えば、想定する関数が測定値に対して近似するように残差の二乗和を最小とするような係数を決定する周知の最小二乗法を採用することが可能である。このように、隣り合う極大点と極小点との間の区間を曲線近似することによって、周波数応答波形生成装置１には設定されていない測定周波数に実質的に対応する伝達関数Ｈ（Ｊω）を求めることが可能となる。各単位区間を曲線近似することによって各単位区間に１つずつ得られる伝達関数は、記憶部１５０の記憶領域１５０Ｃに記憶される。

記憶部１５０は、上記の記憶領域１５０Ａ，１５０Ｂ，１５０Ｃを有する。尚、記憶部１５０は、１つの記憶領域を３つの記憶領域１５０Ａ〜１５０Ｃに分割した１つの記憶部であってもよいし、３つの記憶領域１５０Ａ〜１５０Ｃを個別に有する３つの記憶部であってもよい。

出力部１６０は、各単位区間の伝達関数を記憶部１５０の記憶領域１５０Ｃから読み出して出力する。

尚、本実施形態において、周波数応答波形形成装置１００は、マイクロプロセッサを含んで構成されており、入力部１１０、伝達関数算出部１２０、区分部１３０、近似部１４０、記憶部１５０、出力部１６０の各機能は、マイクロプロセッサのソフトウエア処理によって実現することが可能である。

＝＝＝異常診断装置＝＝＝
図４は、本実施形態に係る異常診断装置を示すブロック図である。図５は、本実施形態に係る異常診断装置において比較される２つの周波数応答波形の一例を示す図である。尚、図５において、横軸は測定周波数［Ｈｚ］、縦軸は伝達関数［ｄＢ］を示し、説明の便宜上、２つの周波数応答波形として比較的単調に変化する波形を例示することとする。

異常診断装置４００は、変圧器２００の巻線や鉄心が健全な状態であるか否かを診断するための装置であって、周波数応答波形生成装置１００及び診断装置５００を含んで構成されている。

診断装置５００は、周波数応答波形生成装置１００によって曲線近似された周波数応答波形ＦＲＡ１（第１周波数応答波形）と、変圧器２００が健全であることを示す予め用意されている周波数応答波形ＦＲＡ２（第２周波数応答波形）と、を比較し、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の乖離の度合に応じて、変圧器２００が健全な状態であるか否かを診断する装置である。

診断装置５００は、変圧器２００が健全な状態で稼働しているか否かを診断するための手段として、記憶部５１０、比較部５２０、診断部５３０を有する。

記憶部５１０は、記憶領域５１０Ａ，５１０Ｂ，５１０Ｃを有する。尚、記憶部５１０は、１つの記憶領域を３つの記憶領域５１０Ａ〜５１０Ｃに分割した１つの記憶部であってもよいし、３つの記憶領域５１０Ａ〜５１０Ｃを個別に有する３つの記憶部であってもよい。記憶領域５１０Ａには、周波数応答波形ＦＲＡ１の各単位区間の伝達関数が記憶される。記憶領域５１０Ｂには、周波数応答波形ＦＲＡ２の伝達関数が予め記憶されている。記憶領域５１０Ｃには、診断部５３０による診断結果として、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の乖離の度合を示す情報と、当該情報に基づいて変圧器２００が健全な状態であるか否かを示す情報と、が記憶される。尚、周波数応答波形ＦＲＡ２は、変圧器２００が正常に動作している過去の何れかのタイミングにおいて、測定装置３００によって測定周波数ごとに実際に測定された入力電圧Ｖｉｎ（ｊω）及び出力電圧Ｖｏｕｔ（ｊω）に基づいて生成された波形であってもよいし、変圧器２００の仕様からシミュレーションによって生成された波形であってもよい。

比較部５２０は、記憶部５１０の記憶領域５１０Ａから読み出された各単位区間の伝達関数をつなぎ合わせて生成される周波数応答波形ＦＲＡ１と、記憶部５１０の記憶領域５１０Ｂから読み出された周波数応答波形ＦＲＡ２と、を同一の測定周波数ごとに比較し、周波数応答波形ＦＲＡ２に対する周波数応答波形ＦＲＡ１の乖離の度合を検出する。周波数応答波形ＦＲＡ１の各単位区間は曲線近似されているため、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の実際の測定周波数が異なっている場合であっても、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の一方の測定周波数を他方の測定周波数に一致させて伝達関数の比較を行うことが可能となる。

測定周波数に対応する伝達関数は、変圧器２００の漏れインダクタンス、対地容量、巻線間容量等の電気定数によって定まる共振周波数を示すが、変圧器２００の巻線や鉄心の異常に起因して何れかの電気定数が変化すると、上記の共振周波数が変化することとなる。従って、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２における同一の測定周波数に対応する伝達関数を比較することによって、変圧器２００が健全な状態であるか否かを診断するための情報を得ることが可能となる。

周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２における同一の測定周波数に対応する伝達関数を比較する方法として、例えば、相互相関関数（Cross Correlation Function）を採用することが可能である。以下、診断装置５００に相互相関関数を採用した場合の周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の比較方法について説明する。

尚、図５において、太実線は周波数応答波形ＦＲＡ１を示し、中太実線は周波数応答波形ＦＲＡ２を示し、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２上のプロットは測定周波数及び伝達関数の対応位置を示している。ここで、周波数応答波形ＦＲＡ１は隣り合う極大点と極小点との間を単位区間として最小二乗法によって曲線近似されているため、例えば周波数応答波形ＦＲＡ１の測定周波数の少なくとも一部が周波数応答波形ＦＲＡ２の測定周波数と異なっている場合であっても、周波数応答波形ＦＲＡ１において周波数応答波形ＦＲＡ２の測定周波数と同一の周波数に対応する伝達関数を特定することが可能となる。又、細線は、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２を相互相関関数に基づいて比較した結果であって、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の乖離の度合（乖離度ＣＣＦ＊）を示している。

先ず、比較部５２０は、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２に対して周波数ウインドウＷを設定する。周波数ウインドウＷは、ｎ個の連続する測定周波数を含む周波数幅を有し、全測定周波数の範囲において測定周波数を１つずつシフトすることによってｍ個の周波数ウインドウＷ１〜Ｗｍからなる。本実施形態において、各周波数ウインドウＷの周波数幅は、周波数が２倍となる幅であることとし、各周波数ウインドウＷに含まれる測定周波数の数は、測定装置３００に設定されている測定周波数が等比級数で並んでいる場合であると、例えばｎ＝６２となる。

次に、比較部５２０は、以下に示す式２に従って、周波数ウインドウＷ１〜Ｗｍのそれぞれにおいて、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の一致の度合を示す指標である一致度ＣＣＦを算出する。ここで、式２において、ｎは、各周波数ウインドウＷに含まれる測定周波数の数、即ち、当該測定周波数に対応する伝達関数の数を示し、Ｘｉ，Ｙｉは、ｎ個の測定周波数に対応するｎ個の伝達関数からなるデータ列を示し、Ｘ(―)，Ｙ(―)は、データ列Ｘｉ，Ｙｉの平均値を示している。

次に、比較部５２０は、以下に示す式３に従って、周波数ウインドウＷ１〜Ｗｍのそれぞれにおいて、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の乖離の度合を示す指標である乖離度ＣＣＦ＊１〜ＣＣＦ＊ｍを算出する。乖離度ＣＣＦ＊は、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の乖離度が大きくなるにつれて小さくなる値を示す。

比較部５２０によって算出された乖離度ＣＣＦ＊は、周波数応答波形ＦＲＡ１，ＦＲＡ２の測定周波数及び伝達関数に対応付けられて記憶部５１０の記録領域５１０Ｃに記憶される。

診断部５３０は、記憶部５１０の記憶領域５１０Ｃから全ての乖離度ＣＣＦ＊１〜ＣＣＦ＊ｍを読み出し、乖離度ＣＣＦ＊１〜ＣＣＦ＊ｍを基準となる乖離度ＣＣＦ＊ｒと比較する。そして、診断部５３０は、乖離度ＣＣＦ＊ｒよりも小さい乖離度ＣＣＦ＊が存在する場合、変圧器２００の巻線又は鉄心が健全な状態ではない（異常な状態である）ものと診断し、この診断結果を示す情報を生成する。診断部５３０によって生成された変圧器２００の異常を示す情報は、記憶部５１０の記憶領域５１０Ｃに記憶される。

図５において、例えば、周波数ウインドウＷｘにおける乖離度ＣＣＦ＊ｘは、基準となる乖離度ＣＣＦ＊ｒよりも小さくなっている。診断部５３０は、乖離度ＣＣＦ＊ｘが乖離度ＣＣＦ＊ｒよりも小さい値であることを検出した時点で、変圧器２００の異常を示す情報を生成する。作業者は、記憶部５１０の記録領域５１０Ｃに記憶されている変圧器２００の異常を示す情報を確認することによって、変圧器２００の修理や交換等の作業を効率的に行うことが可能となる。

＝＝＝まとめ＝＝＝
以上説明したように、本実施形態に係る周波数応答波形生成装置１００は、変圧器２００に入力される正弦波信号の周波数を第１測定周波数（数十Ｈｚ）から第１測定周波数よりも高い第２測定周波数（数ＭＨｚ）まで変化させたときに変圧器２００から出力される出力信号に基づいて、第１測定周波数から第２測定周波数までの各測定周波数に対応する伝達関数を算出する伝達関数算出部１２０と、周波数応答波形のうち隣り合う極大点と極小点との間の波形が単位区間となるように、周波数応答波形を区分する区分部１３０と、周波数応答波形を単位区間ごとに近似する近似部１４０と、を含んで構成されている。

本実施形態において、近似部１４０は、周波数応答波形を単位区間ごとに最小二乗法によって近似する。

本実施形態に係る異常診断装置４００は、周波数応答波形生成装置１００と、周波数応答波形を近似することによって得られる第１周波数応答波形ＦＲＡ１と、変圧器２００が健全であることを示す予め用意されている第２周波数応答波形ＦＲＡ２と、を比較することによって、変圧器２００が健全であるか否かを診断する診断装置５００と、を含んで構成されている。

本実施形態において、診断装置５００は、第１周波数応答波形ＦＲＡ１及び第２周波数応答波形ＦＲＡ２を同一の測定周波数ごとに比較し、第２周波数応答波形ＦＲＡ２に対する第１周波数応答波形ＦＲＡ１の乖離の度合に応じて、変圧器２００が健全であるか否かを診断する。

そして、本実施形態によれば、変圧器２００の巻線や鉄心の異常を早期に発見し、変圧器の修理や交換の作業を迅速に行うことが可能となる。

尚、上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれる。

１００ 周波数応答波形生成装置
１１０ 入力部
１２０ 伝達関数算出部
１３０ 区分部
１４０ 近似部
１５０ 記憶部
１５０Ａ，１５０Ｂ，１５０Ｃ 記憶領域
１６０ 出力部
２００ 変圧器
２１０ １次巻線
２２０ ２次巻線
３００ 測定装置
３１０ 入力電圧発生器
３２０ 抵抗
３３０，３４０ 電圧計
３５０ スイッチ
４００ 異常診断装置
５００ 診断装置
５１０ 記憶部
５１０Ａ，５１０Ｂ，５１０Ｃ 記憶領域
５２０ 比較部
５３０ 診断部

Claims (10)

1. 電気機器に入力される正弦波信号の周波数を第１測定周波数から前記第１測定周波数よりも高い第２測定周波数まで変化させたときに前記電気機器から出力される出力信号に基づいて、前記第１測定周波数から前記第２測定周波数までの各測定周波数に対応する伝達関数を算出し、前記伝達関数から周波数応答波形を生成する周波数応答波形生成装置であって、
   前記周波数応答波形のうち隣り合う極大点と極小点との間の波形が単位区間となるように、前記周波数応答波形を区分する第１装置と、
   前記周波数応答波形を前記単位区間ごとに近似する第２装置と、
   を備えたことを特徴とする周波数応答波形生成装置。
2. 前記第２装置は、前記周波数応答波形を前記単位区間ごとに最小二乗法によって近似する
   ことを特徴とする請求項１に記載の周波数応答波形生成装置。
3. 前記電気機器は、変圧器である
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の周波数応答波形生成装置。
4. 請求項１又は２に記載の前記第１及び第２装置と、
   前記周波数応答波形を近似することによって得られる第１周波数応答波形と、前記電気機器が健全であることを示す予め用意されている第２周波数応答波形と、を比較することによって、前記電気機器が健全であるか否かを診断する第３装置と、
   を備えたことを特徴とする異常診断装置。
5. 前記第３装置は、前記第１及び第２周波数応答波形を同一の測定周波数ごとに比較し、前記第２周波数応答波形に対する前記第１周波数応答波形の乖離の度合に応じて、前記電気機器が健全であるか否かを診断する
   ことを特徴とする請求項４に記載の異常診断装置。
6. 電気機器に入力される正弦波信号の周波数を第１測定周波数から前記第１測定周波数よりも高い第２測定周波数まで変化させたときに前記電気機器から出力される出力信号に基づいて、前記第１測定周波数から前記第２測定周波数までの各測定周波数に対応する伝達関数を算出し、前記伝達関数から周波数応答波形を生成する周波数応答波形生成方法であって、
   前記周波数応答波形のうち隣り合う極大点と極小点との間の波形が単位区間となるように、前記周波数応答波形を区分する第１工程と、
   前記周波数応答波形を前記単位区間ごとに近似する第２工程と、
   を含むことを特徴とする周波数応答波形生成方法。
7. 前記第２工程において、前記周波数応答波形を前記単位区間ごとに最小二乗法によって近似する
   ことを特徴とする請求項６に記載の周波数応答波形生成方法。
8. 前記電気機器は、変圧器である
   ことを特徴とする請求項６又は７に記載の周波数応答波形生成方法。
9. 請求項６又は７に記載の第１及び第２工程と、
   前記周波数応答波形を近似することによって得られる第１周波数応答波形と、前記電気機器が健全であることを示す予め用意されている第２周波数応答波形と、を比較することによって、前記電気機器が健全であるか否かを診断する第３工程と、
   を含むことを特徴とする異常診断方法。
10. 前記第３工程において、前記第１及び第２周波数応答波形を同一の測定周波数ごとに比較し、前記第２周波数応答波形に対する前記第１周波数応答波形の乖離の度合に応じて、前記電気機器が健全であるか否かを診断する
    ことを特徴とする請求項９に記載の異常診断方法。

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