JP2020111682A - 導電性組成物 - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
(1)焼結することで得られる導体の導電性に優れている。
(2)セラミックと導体の複合体の生産性向上に寄与する。
(3)コファイア法によってセラミックと導体の複合体を製造したときのセラミックとの密着性に優れている。
(1)
銅粉と、亜酸化銅粉及び酸化銅粉よりなる群から選択される一方又は両方の酸化フィラーと、バインダー樹脂と、分散媒とを含む導電性組成物であって、
前記導電性組成物を25μmギャップのアプリケーターを用いて5cm/秒の移動速度でスライドガラス上に塗布し、120℃で10分間乾燥させた後の塗膜の、触針式粗さ計による塗工方向の算術平均粗さRaが0.2μm以下であって、
前記塗膜のXRDにおいて、(111)面における銅粉に対応するピーク面積に対する、(111)面における前記酸化フィラーに対応するピーク面積の比率が、0.05〜0.5であって、
前記塗膜を解砕して得られる0.5gの粉から、4.7±0.2gcm-3の密度の直径5mmの円柱状の圧粉体を成形し、98mNの負荷を圧粉体の上底面に与えながら、全圧1atm、水蒸気分圧0.05atmの残部窒素雰囲気で1℃/分の昇温速度でTMA測定したときの650℃における体積収縮率が15%以下である、
導電性組成物。
(2)
前記導電性組成物を全圧1atm、水蒸気分圧0.03atmの残部窒素雰囲気、1℃/分の昇温速度で850℃まで昇温し、850℃で30分焼成して得られる焼結体をICP発光分光分析法により測定したときのSi、Ti、Al及びZrの合計濃度が1000〜10000質量ppmである(1)に記載の導電性組成物。
(3)
前記導電性組成物を全圧1atm、水蒸気分圧0.03atmの残部窒素雰囲気、850℃まで0.75℃/分の速度で昇温し、850℃で20分焼成して得られる焼結体の比抵抗が3.0μΩ・cm以下である(1)又は(2)に記載の導電性組成物。
(4)
前記銅粉及び/又は前記酸化フィラーは、カップリング剤で表面処理されている(1)〜(3)の何れか一項に記載の導電性組成物。
(5)
銅粉と、亜酸化銅粉及び酸化銅粉よりなる群から選択される一方又は両方の酸化フィラーと、バインダー樹脂と、分散媒とを混練することを含む(1)〜(4)の何れか一項に記載の導電性組成物の製造方法。
(6)
前記銅粉は、固めかさ密度が3.0g/cm3以下である(5)に記載の導電性組成物の製造方法。
(7)
前記銅粉のBET比表面積に対する前記酸化フィラーのBET比表面積の比率が、0.2〜3.0である(5)又は(6)に記載の製造方法。
(8)
前記銅粉及び前記酸化フィラーの合計質量に対する前記酸化フィラーの質量の比率が、0.05〜0.35である(5)〜(7)の何れか一項に記載の製造方法。
(9)
(1)〜(4)の何れか一項に記載の導電性組成物を使用して製造されたセラミックと導体の複合体。
(10)
(1)〜(4)の何れか一項に記載の導電性組成物を使用して製造された積層セラミックコンデンサー。
(11)
(1)〜(4)の何れか一項に記載の導電性組成物を使用して製造されたセラミック回路基板。
本開示に係る導電性組成物は一実施形態において、銅粉と、亜酸化銅粉及び酸化銅粉よりなる群から選択される一種以上の酸化フィラーと、バインダー樹脂と、分散媒とを含む。導電性組成物は、これらの各種成分を混練することで作製可能である。混練は公知の手段を使用して行うことができる。導電性組成物は一実施形態において、ペーストとして提供される。
銅粉には、銅粉には純銅粉及び銅合金粉(特にCu含有量が80質量%以上の銅合金粉)が含まれる。
Cu2O+H2SO4 → Cu↓+CuSO4+H2O
この不均化によって得られた銅粉は、所望により、洗浄、防錆、ろ過、乾燥、解砕、分級を行うことができる。カップリング剤水溶液により表面処理する場合は、所望により、洗浄、防錆、ろ過を行った後に得られる銅粉スラリーを、乾燥を行うことなく、そのままカップリング剤水溶液と混合することができる。
銅粉と共に、亜酸化銅粉(Cu2O粉)及び酸化銅粉(CuO)よりなる群から選択される一方又は両方の酸化フィラー、好ましくは焼成時にCuへと還元されて導電率向上に寄与しやすい亜酸化銅粉(Cu2O粉)を導電性組成物中に配合することで、銅粉の焼結開始温度が有意に上昇する。理論によって本発明が限定されることを意図しないが、粒子サイズが同じ場合、亜酸化銅粉及び酸化銅粉は、非還元雰囲気では銅粉よりも焼結されにくく、より高温側で収縮する。銅粉同士の焼結は、銅粉同士が接触した部分を起点として進行するため、このような亜酸化銅粉及び酸化銅が、銅粉間に入り込むことによって、銅粉同士の接触を妨げ、焼結を阻害するものと考えられる。
銅粉及び酸化フィラーの少なくとも一方、好ましくは両方は、カップリング剤で表面処理されていることが望ましい。具体的には、Si、Ti、Al及びZrよりなる群から選択される一種又は二種以上の元素を含有するカップリング剤で表面処理されていることがより好ましい。銅粉及び/又は酸化フィラーがカップリング剤により表面処理を受けている場合、導体・セラミックス複合体において、セラミックと導体間の密着性を向上することができる。
H2N−R1−Si(OR2)2(R3) (式I)
上記式Iにおいて、
R1は、直鎖状又は分枝を有する、飽和又は不飽和の、置換又は非置換の、環式又は非環式の、複素環を有する又は複素環を有しない、C1〜C12の炭化水素の二価基であり、
R2は、C1〜C5のアルキル基であり、
R3は、C1〜C5のアルキル基、又はC1〜C5のアルコキシ基である。
(H2N−R1−O)pTi(OR2)q (式II)
(ただし、上記式IIにおいて、
R1は、直鎖状又は分枝を有する、飽和又は不飽和の、置換又は非置換の、環式又は非環式の、複素環を有する又は複素環を有しない、C1〜C12の炭化水素の二価基であり、
R2は、直鎖状又は分枝を有する、C1〜C5のアルキル基であり、
p及びqは、1〜3の整数であり、p+q=4である。)
で表されるアミノ基含有チタネートを挙げることができる。
導電性組成物に使用されるバインダー樹脂としては、例えばセルロース系樹脂、アクリル樹脂、アルキッド樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルアセタール、ケトン樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル、ポリアミド、ポリウレタンを挙げることができる。バインダー樹脂は一種を単独で用いてもよいし、二種以上を組み合わせて用いてもよい。導電性組成物中のバインダー樹脂は、銅粉の質量に対して例えば0.1〜10%、好ましくは1〜8%の比率となるように含有させることができる。バインダー樹脂の配合割合を当該範囲とすることで、導電性組成物の構造安定性、均一塗布性を高めることができる。
導電性組成物に使用される分散媒としては、例えばアルコール溶剤(例えばテルピネオール、ジヒドロテルピネオール、イソプロピルアルコール、ブチルカルビトール、テルピネルオキシエタノール、ジヒドロテルピネルオキシエタノールからなる群から選択された1種以上)、グリコールエーテル溶剤(例えばブチルカルビトール)、アセテート溶剤(例えばブチルカルビトールアセテート、ジヒドロターピネオールアセテート、ジヒドロカルビトールアセテート、カルビトールアセテート、リナリールアセテート、ターピニルアセテートからなる群から選択された1種以上)、ケトン溶剤(例えばメチルエチルケトン)、炭化水素溶剤(例えばトルエン、シクロヘキサンからなる群から選択された1種以上)、セロソルブ類(例えばエチルセロソルブ、ブチルセロソルブからなる群から選択された1種以上)、ジエチルフタレート、またはプロピネオート系溶剤(例えばジヒドロターピニルプロピネオート、ジヒドロカルビルプロピネオート、イソボニルプロピネオートからなる群から選択された1種以上)を挙げることができる。分散媒は一種を単独で用いてもよいし、二種以上を組み合わせて用いてもよい。導電性組成物中には、銅粉の質量に対して例えば10〜400%の比率となるように分散媒を含有させることができる。
本開示に係る導電性組成物には、ガラスフリット、分散剤、増粘剤及び消泡剤等の公知の添加剤を適宜含有することができる。
50L容器に純水6Lを添加し、液温が70℃となるように加温した。ここに硫酸銅五水和物3.49kgを添加し、350rpmで撹拌しながら、硫酸銅の結晶がすべて溶解したことを目視で確認した。ここにD−グルコース1.39kgを添加した。ここに送液ポンプで5wt%のアンモニア水溶液を300mL/分の速度でpH5に達するまで添加した。pHが5に達したら、スポイトでアンモニア水溶液を滴下し、pH8.4に上昇させた。ここから液温70±2℃、pH8.5±0.1に3時間保持した。pHの調整はアンモニア水溶液で行った。反応終了後、デカンテーション、上澄み排出、純水での洗浄を、上澄み液のpHが8.0を下回るまで繰り返し、亜酸化銅粉スラリーを得た。固形分を一部取り出して、窒素中で70℃で乾燥し、XRDでこの固形分が亜酸化銅であることを確認した。
得られた銅粉の固めかさ密度をホソカワミクロン(株)のパウダテスタPT−Xを使って先述した方法により測定した。
得られた銅粉について、マイクロトラック・ベル社のBELSORP−miniIIを使い、真空中で200℃、5時間加熱する前処理後にBET比表面積を測定した。
50L容器に純水6L、アラビアゴム9gを添加し、液温が70℃となるように加温した。ここに硫酸銅五水和物3.49kgを添加し、350rpmで撹拌しながら、硫酸銅の結晶がすべて溶解したことを目視で確認した。ここにD−グルコース1.39kgを添加した。ここに送液ポンプで5wt%のアンモニア水溶液を300mL/分の速度でpH5に達するまで添加した。pHが5に達したら、スポイトでアンモニア水溶液を滴下し、pH8.4に上昇させた。ここから液温70±2℃、pH8.5±0.1に3時間保持した。pHの調整は水アンモニア水溶液で行った。反応終了後、デカンテーション、上澄み排出、純水での洗浄を、上澄み液のpHが8.0を下回るまで繰り返し行った。その後、吸引ろ過によって固液分離しケーキを得た。得られたケーキを、ろ過後の純水のpHが8を下回ることを目安として純水によって洗浄した。この洗浄ケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。得られた粉はXRDで亜酸化銅粉であることを確認した。手順2、手順3の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順1で作製した亜酸化銅粉スラリー(25℃)に希硫酸を瞬間的に添加した。デカンテーションで粉体を沈降させ、上澄み液を抜き、純水(25℃)を7L添加し、500rpmで10分間撹拌した。上澄み液のpHが4を上回るまでデカンテーションと水洗の操作を繰り返した。上澄み液を適量取り除き含水率20質量%の銅粉スラリーを得た。また、カップリング剤として、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM603)(以下、「ジアミノシラン」という。)を用意した。このカップリング剤と純水を調合し、更にアンモニア水でpH12.5に調整してカップリング剤水溶液を得た。カップリング剤水溶液中のジアミノシラン濃度は15wt%であった。これを、25℃で14時間撹拌することでカップリング剤の自己縮合反応を促進した。次いで、この前処理を経た水溶液と上記含水率20質量%の銅粉スラリー550gを混合し、25℃、500rpmで1時間撹拌した。その後、吸引濾過で固液分離して、銅粉を試験番号に応じて異なる含水率のケークとして回収した。Si付着量は固液分離後のケークの含水率を増減させることで調整した。ケークの含水率が高いほど、銅粉に付着するSi量が多くなる。得られたケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。手順2、手順3と同様の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順4で得られた純水で洗浄した亜酸化銅粉ケークに純水を加え、含水率20質量%の亜酸化銅粉スラリーを作製した。また、カップリング剤として、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学製、KBM603)(以下、「ジアミノシラン」という。)を用意した。このカップリング剤と純水を調合し、更にアンモニア水でpH12.5に調整してカップリング剤水溶液を得た。カップリング剤水溶液中のジアミノシラン濃度は15wt%であった。これを、25℃で14時間撹拌することでカップリング剤の自己縮合反応を促進した。次いで、この前処理を経た水溶液と上記含水率20質量%の亜酸化銅粉スラリー1250gを混合し、25℃、500rpmで1時間撹拌した。その後、吸引濾過で固液分離して、亜酸化銅粉のケークを回収した。得られたケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。手順3と同様の手順に従ってBET比表面積を求めた。
手順1で作製した亜酸化銅粉スラリー(25℃)に希硫酸を瞬間的に添加した。デカンテーションで粉体を沈降させ、上澄み液を抜き、純水(25℃)を7L添加し、500rpmで10分間撹拌した。上澄み液中のCu2+由来のCu濃度が1g/Lを下回るまでデカンテーションと水洗の操作を繰り返した。その後、pH8へ調整したアンモニア水3L中に投入して、攪拌した。攪拌は、25℃で1時間行った。その後、吸引ろ過によって固液分離して、pH処理された銅粉のケーキを得た。得られたケーキを、ろ過後の純水のpHが8を下回ることを目安として純水によって洗浄した。この洗浄ケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。手順2、手順3と同様の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順1で作製した亜酸化銅粉スラリー(25℃)に希硫酸を瞬間的に添加した。デカンテーションで粉体を沈降させ、上澄み液を抜き、純水(25℃)を7L添加し、500rpmで10分間撹拌した。上澄み液のpHが7に達するまでデカンテーションと水洗の操作を繰り返した。その後、吸引ろ過によって固液分離して、得られたケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。手順2、手順3と同様の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順1でニカワではなく、分子量5000のコラーゲンペプチドを使用し、亜酸化銅粉スラリー(25℃)に希硫酸を瞬間的に添加した。デカンテーションで粉体を沈降させ、上澄み液を抜き、純水(25℃)を7L添加し、500rpmで10分間撹拌した。上澄み液中のCu2+由来のCu濃度が1g/Lを下回るまでデカンテーションと水洗の操作を繰り返した。その後、pH13へ調整したアンモニア水3L中に投入して、攪拌した。攪拌は、25℃で1時間行った。その後、吸引ろ過によって固液分離して、pH処理された銅粉のケーキを得た。得られたケークを、ろ過後の純水のpHが8を下回ることを目安として純水によって洗浄した。この洗浄ケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。手順2、手順3と同様の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順1で、亜酸化銅粉スラリー(25℃)に希硫酸を50mL/分で添加した。上澄み液中のCu2+由来のCu濃度が1g/Lを下回るまでデカンテーションと水洗の操作を繰り返した。その後、pH13へ調整したアンモニア水3L中に投入して、攪拌した。攪拌は、25℃で1時間行った。その後、吸引ろ過によって固液分離して、pH処理された銅粉のケークを得た。得られたケークを、ろ過後の純水のpHが8を下回ることを目安として純水によって洗浄した。この洗浄ケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。手順2、手順3と同様の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順5のカップリング剤を下記のチタンアミノエチルアミノエタノレート(マツモトファインケミカル製、オルガチックスTC−510)とした以外は手順5と同様の手順で表面処理銅粉を作製し、手順2、手順3に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順5のカップリング剤を、ジアミノシランと下記のジルコニウムラクテートアンモニウム塩(マツモトファインケミカル製、オルガチックスZC−300)の70:30(質量比)の混合液に変えた用した以外は手順5と同様の手順で表面処理銅粉を作製し、手順2、手順3に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順1で作製した亜酸化銅粉スラリー(25℃)に希硫酸を瞬間的に添加した。デカンテーションで粉体を沈降させ、上澄み液を抜き、純水(25℃)を7L添加し、500rpmで10分間撹拌した。上澄み液のpHが7に達するまでデカンテーションと水洗の操作を繰り返した。その後、吸引ろ過によって固液分離して、得られたケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.1mmの孔の篩を通るまで解砕した。手順2、手順3と同様の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
50L容器に純水6L、アラビアゴム9gを添加し、液温が70℃となるように加温した。ここに硫酸銅五水和物3.49kgを添加し、350rpmで撹拌しながら、硫酸銅の結晶がすべて溶解したことを目視で確認した。ここにD−グルコース1.39kgを添加した。ここに送液ポンプで5wt%のアンモニア水溶液を300mL/分の速度でpH5に達するまで添加した。pHが5に達したら、スポイトでアンモニア水溶液を滴下し、pH8.4に上昇させた。ここから液温70±2℃、pH8.5±0.1に3時間保持した。pHの調整はアンモニア水溶液で行った。反応終了後、デカンテーション、上澄み排出、純水での洗浄を、上澄み液のpHが8.0を下回るまで繰り返し行った。その後、吸引ろ過によって固液分離しケークを得た。得られたケークを、50L容器に純水6L、アラビアゴム9gを添加した水溶液に分散させ、液温が70℃となるように加温した。ここに硫酸銅五水和物3.49kgを添加し、350rpmで撹拌しながら、硫酸銅の結晶がすべて溶解したことを目視で確認した。ここにD−グルコース1.39kgを添加した。ここに送液ポンプで5wt%のアンモニア水溶液を300mL/分の速度でpH5に達するまで添加した。pHが5に達したら、スポイトでアンモニア水溶液を滴下し、pH8.4に上昇させた。ここから液温70±2℃、pH8.5±0.1に3時間保持した。pHの調整はアンモニア水溶液で行った。反応終了後、デカンテーション、上澄み排出、純水での洗浄を繰り返し、上澄み液のpHが8.0を下回るまで行った。その後、吸引ろ過によって固液分離しケークを得た。得られたケークを、ろ過後の純水のpHが8を下回ることを目安として純水によって洗浄した。この洗浄ケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。得られた粉はXRDで亜酸化銅粉であることを確認した。手順3と同様の手順に従ってBET比表面積を求めた。
手順4においてアラビアゴムを分子量5000のコラーゲンペプチドとした以外は手順4に従って亜酸化銅粉を作製した。手順3と同様の手順に従ってBET比表面積を求めた。
手順4に従い亜酸化銅粉スラリーを作製し、pHが8を下回るまで洗浄を行った。その後、固形分20質量%となるように純水を加え40℃に加温し、2時間、300rpmで撹拌した。その後、吸引ろ過によって固液分離しケークを得た。このケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。得られた粉はXRDで酸化銅粉であることを確認した。手順2、手順3と同様の手順に従ってBET比表面積を求めた。
上記手順で得られた実施例及び比較例の各表面処理銅粉、表面処理亜酸化銅粉、及び表面処理酸化銅粉(以下、「表面処理粉」という。)を酸で溶解し、ICP発光分光分析法(日立ハイテクサイエンス社製ICP−OES)により、表面処理粉の単位質量(g)に対する、付着したSi、Ti、及びZrの質量(μg)を求めた。結果を表1に示す。なお、表中には、検出下限未満の元素濃度は記載していない。
あらかじめテルピネオールとエチルセルロースを自転公転ミキサーAR−100、および3本ロールに通して十分に混練してビヒクルを調製した。次いで、手順1〜16で作製した各種銅粉、亜酸化銅粉、酸化銅粉を表中の酸化フィラー/(銅粉+酸化フィラー)比率により混合した。この混合後の粉末を無機粉末と称する。無機粉末:エチルセルロース:オレイン酸:テルピネオール=80:2.3:1.6:16.1(重量比)となるように混合し、自転公転ミキサーで予備混練した後、3本ロールに通し(仕上げロールギャップ5μm)、自転公転ミキサーを使って脱泡し、実施例(実施例15を除く)及び比較例の各ペーストを作製した。
実施例15については、手順5で作製した表面処理銅粉と手順4で作製した亜酸化銅粉を表1に記載の酸化フィラー/(銅粉+酸化フィラー)比率で混合した無機粉末を用いて、無機粉末:エチルセルロース:ターピネオール=35:1.8:63.2(重量比)となるように上記と同様の手順に従いペーストを作製した。
上記手順で得られた実施例及び比較例の各ペーストを25μmギャップのアプリケーターを使って5cm/秒の移動速度でスライドガラス上に塗布し、120℃、10分で乾燥させた。得られた塗膜の塗工方向のRa(JIS B0633:2001準拠)を触針式粗さ計で5点計測し、平均値を測定値とした。結果を表1に示す。
手順19で作製したペーストを25μmギャップのアプリケーターを使って5cm/秒の移動速度でスライドガラス上に塗布し、120℃、10分で乾燥させ、乾燥塗膜を得た。この乾燥塗膜に対して以下の条件でXRD測定をし、亜酸化銅、酸化銅、銅の(111)のピークの面積を算出し、Cu2O(111)/Cu(111)、又は、CuO(111)/Cu(111)を求めた。なお、酸化フィラーとして亜酸化銅粉及び酸化銅粉の両方を用いる場合は、{Cu2O(111)+CuO(111)}/Cu(111)を求める。
ピーク面積を算出する際のバックグラウンド処理は、RIGAKU社製の統合粉末X線解析ソフトウェアPDXL2の自動処理モードにより行った。このモードを選択することで、該ソフトウェアが簡易ピークサーチを行い、ピーク部分を取り除いた後、残りのデータに対して多項式をフィッティングしてバックグラウンドを除去する。
装置:Rint 2200 Ultima(RIGAKU製)
X線:CuKα
X線出力:40kV、40mA
スキャンスピード:4°/分
ステップ幅:0.02°
スキャン範囲:20〜80°
発散スリット:2°
発散縦制限スリット:10mm
散乱スリット:2°
発光スリット:0.6mm
ピーク面積算出ソフト:PDXL2
手順20で得られた乾燥塗膜をスライドガラスからはがし、乳棒、乳鉢で十分に解砕し、得られた粉0.5gを内径φ5mmの金型を用いてハンドプレスで4.7±0.2gcm-3の密度の円柱状圧粉体を成形した。この圧粉体を金型から外し、中心軸が鉛直方向になるように熱機械分析装置(TMA4000(ネッチ・ジャパン))に装填し、水蒸気発生装置(HC9800(ネッチ・ジャパン))で全圧1atm、水蒸気分圧が0.05atmとなる窒素ガスを100mL/分(22℃換算)で流し、98mNの負荷を圧粉体の上底面に与えながら、1℃/分の速度で20℃から昇温し、650℃における圧粉体の高さ収縮量から体積収縮率を求めた。圧粉体の収縮はバインダー樹脂の燃焼、分解と銅粉の焼結を表す。結果を表1に示す。
上記手順で得られた実施例及び比較例の各ペースト及びスクリーン版(ステンレスメッシュ、線径18μm、紗厚38μm、オープニング33μm、開口率42%)を使って、グリーンシート(山村フォトニクス社製GCS71)に、幅5mm、長さ20mmのラインを3本印刷した。全圧1atm、水蒸気分圧0.03atmの残部窒素ガスを2L/分で供給しながら、850℃まで0.75℃/分の速度で昇温し、850℃で20分保持した。その後、水蒸気を含まない純窒素雰囲気で5℃/分の速度で室温まで冷却した。このようにして、ペーストの焼結体をセラミックス基板上に形成して、焼結体・セラミックス積層体を得た。室温まで冷却して得られた幅5mm、長さ20mmの回路の表面抵抗、及び厚みを計測し、比抵抗を3点平均で求めた。結果を表1に示す。
上記手順で得られた回路と基板にカーボン両面テープ(日新EM 社製)を貼った後、JIS Z 0237:2009に従い、テープ剥離試験を引きはがし角度90°、引きはがし速度5mm/sで行い、テープの接着面に回路が付着しないかを確認した。1回の剥離試験で少なくとも一部の回路(焼結体)が基板からはがれた場合は×、2回または3回で剥がれた場合は△、4回以上で剥がれた場合は○と判定した。
上記手順で得られた実施例及び比較例の各ペーストを、全圧1atm、水蒸気分圧0.03atmの残部窒素雰囲気、1℃/分の昇温速度で850℃まで昇温し、850℃で30分焼成し、その後、10℃/分の速度で室温まで冷却し、焼結体を得た。この焼結体を酸で溶解し、ICP発光分光分析法(日立ハイテクサイエンス社製ICP−OES)により、焼結体中のSi、Ti、及びZrの濃度を分析した。結果を表1に示す。なお、表中には、検出下限未満の元素濃度は記載していない。
銅粉と酸化フィラー(亜酸化銅及び/又は酸化銅)の配合比(ピーク面積比)、塗膜の表面粗さ(Ra)、及び焼成時の体積収縮率が適切であった実施例1〜16のペーストを用いた場合、水蒸気雰囲気下での焼成を行っても、導体の比抵抗が小さく、且つ、セラミックと導体間の密着性に優れた導体・セラミックス積層体が得られた。
一方、比較例1では、酸化フィラーの配合比が高すぎたことで、比抵抗が大きくなった。
比較例2では、酸化フィラーの配合比が低すぎたことで、焼結遅延性が不十分となり、セラミックと導体間の密着性が不足した。
比較例3では、使用した銅粉の固めかさ密度が大きすぎたため、塗膜の表面粗さが大きくなり、セラミックと導体間の密着性が不足した。
50L容器に純水6L、アラビアゴム9gを添加し、液温が70℃となるように加温した。ここに硫酸銅五水和物3.49kgを添加し、350rpmで撹拌しながら、硫酸銅の結晶がすべて溶解したことを目視で確認した。ここにD−グルコース1.39kgを添加した。ここに送液ポンプで5wt%のアンモニア水溶液を300mL/分の速度でpH5に達するまで添加した。pHが5に達したら、スポイトでアンモニア水溶液を滴下し、pH8.4に上昇させた。ここから液温70±2℃、pH8.5±0.1に3時間保持した。pHの調整は水アンモニア水溶液で行った。反応終了後、デカンテーション、上澄み排出、純水での洗浄を、上澄み液のpHが8.0を下回るまで繰り返し行った。その後、吸引ろ過によって固液分離しケーキを得た。得られたケーキを、ろ過後の純水のpHが8を下回ることを目安として純水によって洗浄した。この洗浄ケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。得られた粉はXRDで亜酸化銅粉であることを確認した。手順2、手順3の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
手順1で作製した亜酸化銅粉スラリー(25℃)に希硫酸を瞬間的に添加した。デカンテーションで粉体を沈降させ、上澄み液を抜き、純水(25℃)を7L添加し、500rpmで10分間撹拌した。上澄み液のpHが7に達するまでデカンテーションと水洗の操作を繰り返した。その後、吸引ろ過によって固液分離して、得られたケークを窒素雰囲気下で100℃で2時間乾燥した。得られた乾燥粉を乳棒乳鉢で、0.7mmの孔の篩を通るまで解砕し、ジェットミルでさらに解砕した。手順2、手順3と同様の手順に従って固めかさ密度、BET比表面積を求めた。
Claims (11)
- 銅粉と、亜酸化銅粉及び酸化銅粉よりなる群から選択される一方又は両方の酸化フィラーと、バインダー樹脂と、分散媒とを含む導電性組成物であって、
前記導電性組成物を25μmギャップのアプリケーターを用いて5cm/秒の移動速度でスライドガラス上に塗布し、120℃で10分間乾燥させた後の塗膜の、触針式粗さ計による塗工方向の算術平均粗さRaが0.2μm以下であって、
前記塗膜のXRDにおいて、(111)面における銅粉に対応するピーク面積に対する、(111)面における前記酸化フィラーに対応するピーク面積の比率が、0.05〜0.5であって、
前記塗膜を解砕して得られる0.5gの粉から、4.7±0.2gcm-3の密度の直径5mmの円柱状の圧粉体を成形し、98mNの負荷を圧粉体の上底面に与えながら、全圧1atm、水蒸気分圧0.05atmの残部窒素雰囲気で1℃/分の昇温速度でTMA測定したときの650℃における体積収縮率が15%以下である、
導電性組成物。 - 前記導電性組成物を全圧1atm、水蒸気分圧0.03atmの残部窒素雰囲気、1℃/分の昇温速度で850℃まで昇温し、850℃で30分焼成して得られる焼結体をICP発光分光分析法により測定したときのSi、Ti、Al及びZrの合計濃度が1000〜10000質量ppmである請求項1に記載の導電性組成物。
- 前記導電性組成物を全圧1atm、水蒸気分圧0.03atmの残部窒素雰囲気、850℃まで0.75℃/分の速度で昇温し、850℃で20分焼成して得られる焼結体の比抵抗が3.0μΩ・cm以下である請求項1又は2に記載の導電性組成物。
- 前記銅粉及び/又は前記酸化フィラーは、カップリング剤で表面処理されている請求項1〜3の何れか一項に記載の導電性組成物。
- 銅粉と、亜酸化銅粉及び酸化銅粉よりなる群から選択される一方又は両方の酸化フィラーと、バインダー樹脂と、分散媒とを混練することを含む請求項1〜4の何れか一項に記載の導電性組成物の製造方法。
- 前記銅粉は、固めかさ密度が3.0g/cm3以下である請求項5に記載の導電性組成物の製造方法。
- 前記銅粉のBET比表面積に対する前記酸化フィラーのBET比表面積の比率が、0.2〜3.0である請求項5又は6に記載の製造方法。
- 前記銅粉及び前記酸化フィラーの合計質量に対する前記酸化フィラーの質量の比率が、0.05〜0.35である請求項5〜7の何れか一項に記載の製造方法。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の導電性組成物を使用して製造されたセラミックと導体の複合体。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の導電性組成物を使用して製造された積層セラミックコンデンサー。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の導電性組成物を使用して製造されたセラミック回路基板。
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