JP2020107839A - SiC基板の分断方法及び分断装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】SiC基板を優れた品質にて分断する方法及び装置を提供する。【解決手段】SiC基板の分断方法(装置)が、一方主面において、あらかじめ定められた分断予定位置に沿ってレーザー光を100mm/s〜300mm/sの走査速度で走査しつつ照射することによって、深さが12μm〜30μmで幅が1μm〜10μmの断面視U字型の溝状のスクライブラインを形成するスクライブ工程(ユニット)と、所定の間隔にて離隔させた一対の受刃の上に、スクライブラインが形成されたSiC基板を、一方主面と対向する他方主面を上面とする姿勢にて水平に載置した状態で、SiC基板の上面側から分断予定位置に対してブレークプレートを当接させ、さらにブレークプレートを押し下げることによってスクライブラインからクラックを伸展させることにより、SiC基板を分断予定位置において分断するブレーク工程(ユニット)と、を備えるようにした。【選択図】図1
Description
本発明は、SiC基板の分断方法及び分断装置に関し、特にレーザー光を用いた分断に関する。
ガラス基板やセラミック基板などの硬脆な基板(脆性材料基板)を分断する方法として、当該基板の一方主面の分断予定位置にあらかじめスクライブラインを形成するスクライブ処理を行ったうえで、他方主面側から分断予定位置に対してブレークバーを当接させ、さらに該ブレークバーを押し込む(三点曲げ)ブレーク処理を行うことにより、スクライブラインからクラックを伸展させて基板を分断する、という手法がすでに公知である。
また、シングルモードのレーザーを用いて、透明材料の表面にアブレーション加工を行う手法もすでに公知である(例えば、特許文献1参照)。
脆性材料基板の一種として、SiC(炭化硅素)基板が広く知られており、種々の半導体基板における基材などに用いられている。そのような基材として使用される場合その他、係るSiC基板を分断して所定のサイズにしたい(例えばチップ化したい)という一般的なニーズがある。しかしながら、SiCは硬度、耐熱性、化学的安定性などに優れているため、高品質な分断を行うことは必ずしも容易ではない。具体的には、滑らかでかつソゲのない分断面を得ることが、必ずしも容易でない。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、SiC基板を優れた品質にて分断する方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、SiC基板の分断方法であって、前記SiC基板の一方主面において、あらかじめ定められた分断予定位置に沿ってレーザー光を100mm/s〜300mm/sの走査速度で走査しつつ照射することによって、深さが12μm〜30μmで幅が1μm〜10μmの断面視U字型の溝状のスクライブラインを形成するスクライブ工程と、所定の間隔にて離隔させた一対の受刃の上に、前記スクライブラインが形成された前記SiC基板を、前記一方主面と対向する他方主面を上面とする姿勢にて水平に載置した状態で、前記SiC基板の上面側から前記分断予定位置に対してブレークプレートを当接させ、さらに前記ブレークプレートを押し下げることによって前記スクライブラインからクラックを伸展させることにより、前記SiC基板を前記分断予定位置において分断するブレーク工程と、を備えることを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載のSiC基板の分断方法であって、前記レーザー光が、パルス幅がナノ秒オーダーで波長が355nmのナノ秒UVレーザーである、ことを特徴とする。
請求項3の発明は、SiC基板の分断装置であって、前記SiC基板の一方主面において、あらかじめ定められた分断予定位置に沿ってレーザー光を100mm/s〜300mm/sの走査速度で走査しつつ照射することによって、深さが12μm〜30μmで幅が1μm〜10μmの断面視U字型の溝状のスクライブラインを形成するためのスクライブユニットと、所定の間隔にて離隔させた一対の受刃の上に、前記スクライブラインが形成された前記SiC基板を、前記一方主面と対向する他方主面を上面とする姿勢にて水平に載置した状態で、前記SiC基板の上面側から前記分断予定位置に対してブレークプレートを当接させ、さらに前記ブレークプレートを押し下げることによって前記スクライブラインからクラックを伸展させることにより、前記SiC基板を前記分断予定位置において分断するブレークユニットと、を備えることを特徴とする。
請求項1ないし請求項3の発明によれば、SiC基板を優れた品質にて分断することが出来る。
本実施の形態において行うSiC基板の分断について、以下に説明する。本実施の形態においては概略、あらかじめ分断予定位置が定められてなるSiC基板の一方主面側から分断予定位置に沿ってレーザー光を照射することによってスクライブラインを形成する、スクライブ処理を行ったうえで、他方主面側から分断予定位置に対してブレークプレートを当接させてスクライブラインから垂直クラックを伸展させるブレーク処理を行うことにより、SiC基板を分断する。
図1は、スクライブ処理の様子を示す図である。スクライブ処理は、図1(a)に示すようなスクライブ装置100を用いて行う。スクライブ装置100は、SiC基板1が水平に載置固定されるステージ101と、レーザー光LBの出射源102とを主として備える。
スクライブ処理に際してはまず、あらかじめ分断予定位置Pが定められてなるSiC基板1が、吸引、接着、挟持その他の所定の手段にてステージ101に載置固定される。図1においては、図面に垂直な方向に沿った複数の分断予定位置Pが、水平面内において等間隔に定められてなる場合を例示している。また、SiC基板1の対向する2つの主面のうち、係る載置固定がなされた状態において表面(図1においては上面)となっている主面をスクライブ面1aと称し、ステージ101と接する他方の主面(図1においては下面)を非スクライブ面1bと称する。
好ましくは、ステージ101は、図示しない駆動機構により水平面内において並進移動および回転移動が可能とされてなる。
出射源102は、ステージ101に載置されたSiC基板1に対し鉛直上方からレーザー光LBを照射可能に設けられてなる。なお、本実施の形態においてレーザー光LBの出射源102とは、単にレーザー光LBの光源を意味するのではなく、該光源から集光用(出射用)のレンズに至るまでの光学系全体を含むものとする。
レーザー光LBとしては、パルス幅がナノ秒オーダー(例えば1nsec〜400nsec)で波長が355nmのUVレーザー光(ナノ秒UVレーザー)を用いるのが好適である。係るナノ秒UVレーザーは、SiCにおける吸収率が約78%と高い一方、透過率は0.1%と低く、表面吸収があるという特徴を有する。
本実施の形態においては、係るナノ秒UVレーザーを用いることにより、分断予定位置Pに沿ってアブレーションを生じさせるアブレーション加工を行い、溝状のスクライブラインSLを形成する。具体的には、図1(a)に示すように、レーザー光LBをSiC基板1のスクライブ面1aにおける分断予定位置Pに集光させた状態で、該レーザー光LBにより分断予定位置Pに沿ってスクライブ面1a上を走査する。係る走査は、SiC基板1が載置されたステージ101を固定された出射源102に対し移動させることで実現されてもよいし、その反対に出射源102が固定されたステージ101に対し移動することにより実現されてもよい。
係るアブレーション加工においては、100mm/s〜300mm/sの走査速度でレーザー光LBを走査することにより、分断予定位置Pに沿って、図1(b)に示すような、深さdが12μm〜30μmで幅wが1μm〜10μmの断面視U字型をなす溝状のスクライブライン(スクライブ溝)SLを形成するのが好適である。これらの要件をみたす場合に、品質のよい分断が実現される。なお、本実施の形態において、SiC基板1の分断の品質がよいとは、分断により得られる個片の表面におけるデブリが抑制され、分断面が滑らかであり、かつ、ソゲやキズが見られないことである。
走査速度が小さすぎると、分断予定位置Pに対する入熱量が大きくなりすぎ、スクライブラインSLのなす溝が広がりすぎてしまい、好ましくない。また、走査速度が大きすぎると、分断予定位置Pに対する入熱量が不十分となり所望の形状のスクライブラインSLが形成されないために好ましくない。
同様のアブレーション加工によるスクライブラインSLの形成を、全ての分断予定位置Pに対し行うことで、スクライブ処理が完了する。
スクライブ処理が完了すると、続いて、ブレーク処理を行う。図2は、ブレーク処理の様子を示す図である。スクライブ処理は、図2(a)に示すようなブレーク装置200を用いて行う。
ブレーク装置200は、ブレーク対象物を水平姿勢にて下方支持可能な一対の受刃201と、鉛直下方に断面視略三角形状の刃先202eを有する板状部材であるブレークプレート202とを、主として備える。
一対の受刃201は、水平面内の一の方向(図2(a)においては図面視左右方向)において互いに近接および離隔することが可能に設けられてなる。SiC基板1を分断するに際しては、一対の受刃201は、当該方向において所定の間隙をなすように離隔配置される。換言すれば、一対の受刃201は、水平面内において両者の移動方向と垂直な方向に所定の間隙を設ける態様にて、離隔配置される。
ブレークプレート202は、断面視略二等辺三角形状の刃先202eが刃渡り方向に延在するように設けられてなる板状の金属製(例えば超硬合金製)部材である。図2(a)においては、刃渡り方向が図面に垂直な方向となるように、ブレークプレート202を示している。ブレークプレート202は、一対の受刃201のなす間隙dのちょうど中間の位置(それぞれの受刃201からd/2ずつ離隔した位置)の鉛直上方において、図示しない昇降機構により昇降自在に設けられてなる。
より詳細には、ブレークプレート202としては、刃先202eの角度(刃先角)θが100°〜120°であり、刃先202eの先端が90μm〜110μmなる断面曲率半径を有する曲面をなしているものを用いるのが好適である。具体的なブレーク条件は、SiC基板1の厚みやスクライブ処理において形成したスクライブラインSLのサイズなどに応じて定められればよい。
SiC基板1は、ブレーク処理に際し、図示しないダイシングリングに張設されたダイシングテープDTに、スクライブ処理にてスクライブラインSLが形成されたスクライブ面1aを貼付させた状態で、換言すれば、非スクライブ面1bを上面とする姿勢にて、所定の間隙をなす一対の受刃201の上に載置固定される。
より詳細には、SiC基板1は、実際に分断対象となる一の分断予定位置Pとブレークプレート202の刃先202eとが同一の鉛直面(図面に垂直な面)内に位置するように、一対の受刃201の上に載置固定される。
そして、係る態様にて位置決めがなされると、ブレークプレート202は、図2(a)において矢印AR1にて示すように、分断予定位置Pに向けて下降させられる。
係る態様にて下降させられたブレークプレート202は、やがてSiC基板1に当接するが、係る当接の後もさらに下降させられる。換言すれば、ブレークプレート202は、SiC基板1を押し込むように下降する。
すると、SiC基板1には、ブレークプレート202がSiC基板1を押し込む力と一対の受刃201がそれぞれに下方からSiC基板1を支持する力(垂直抗力)とが剪断力として作用することとなる。係る場合において、ブレークプレート202を押し込む際の条件(例えば、距離(押し込み量)、速度など)を適宜に調整すると、図2(a)に矢印AR2にて示すように、スクライブラインSLの最奥部(図2(a)においては最上端)Eを起点として、分断予定位置Pに沿って(厚み方向に)クラックが伸展していくことになる。
上述のように、ブレーク処理に先立つスクライブ処理において、100mm/s〜300mm/sの走査速度でレーザー光LBを走査することにより、分断予定位置Pに沿って、深さdが12μm〜30μmで幅wが1μm〜10μmの断面視U字型をなす溝状のスクライブラインSLを形成するアブレーション加工を行った場合、ブレーク処理によってクラックが良好に形成される。
係るブレーク処理が繰り返されることにより、図2(b)に示すように全ての分断予定位置PにおいてクラックCRが形成されると、続いて、図2(b)において矢印AR3にて示すように、ダイシングテープDTが伸張される。これにより、図2(c)示すように、SiC基板1は所定サイズの個片2に分断される。
以上が、本実施の形態におけるSiC基板の分断の手順である。すなわち、本実施の形態によれば、レーザー光によるスクライブ処理として、100mm/s〜300mm/sの走査速度でレーザー光を走査することにより、分断予定位置に沿って、深さが12μm〜30μmで幅が1μm〜10μmの断面視U字型をなす溝状のスクライブラインを形成するアブレーション加工を行ったうえで、ブレーク処理を行うことで、SiC基板を優れた品質にて分断することが出来る。
なお、上述した手順による本実施の形態に係るSiC基板の分断を、スクライブ処理を行うスクライブ装置100とブレーク処理を行うブレーク装置200とがそれぞれにスクライブユニットおよびブレークユニットとして組み込まれた分断装置を用いて、行う態様であってもよい。
厚みが350μmのSiC基板を5枚(試料No.1〜No.5)用意し、それぞれに対しスクライブ処理によってスクライブラインSLを形成した後、ブレーク処理を行った。これにより得られた分断面を実体顕微鏡により観察し、その観察像を用いてスクライブラインSLの深さを測定した。それぞれの試料に対するスクライブ処理における走査速度は全て、125mm/sとした。
図3は、それぞれの試料についての、断面観察像と、断面の様子と、分断処理の良否の判定結果とを一覧にして示す図である。なお、断面観察像には、スクライブラインSLの深さの測定結果を併せて示している。また、分断処理の良否の判定は、断面観察像に基づき行っている。
図3に示すように、スクライブラインSLの深さが11.6μmと浅いNo.1の試料および36.6μmと深いNo.5の試料では、ソゲやスジなどが確認された。一方で、スクライブラインSLの深さが12μm〜30μmという範囲をみたすNo.2〜No.4の試料(それぞれのスクライブラインSLの深さは順に16.3μm、22.7μm、29.6μm)では、分断面は一様に滑らかであり、ソゲなどは確認されなかった。なお、図示は省略しているが、これらのNo.2〜No.4の試料におけるスクライブラインSLの幅は2μm〜6μm程度であった。
以上の結果は、レーザー光によるスクライブ処理として、100mm/s〜300mm/sの走査速度でレーザー光を走査することにより、分断予定位置に沿って、深さが12μm〜30μmで幅が1μm〜10μmの断面視U字型をなす溝状のスクライブラインを形成するアブレーション加工を行ったうえで、ブレーク処理を行うことで、SiC基板を優れた品質にて分断することが出来ることを示している。
1 SiC基板
1a (SiC基板の)スクライブ面
1b (SiC基板の)非スクライブ面
100 スクライブ装置
101 ステージ
102 出射源
200 ブレーク装置
201 受刃
202 ブレークプレート
202e 刃先
CR クラック
DT ダイシングテープ
LB レーザー光
P 分断予定位置
SL スクライブライン
1a (SiC基板の)スクライブ面
1b (SiC基板の)非スクライブ面
100 スクライブ装置
101 ステージ
102 出射源
200 ブレーク装置
201 受刃
202 ブレークプレート
202e 刃先
CR クラック
DT ダイシングテープ
LB レーザー光
P 分断予定位置
SL スクライブライン
Claims (3)
- SiC基板の分断方法であって、
前記SiC基板の一方主面において、あらかじめ定められた分断予定位置に沿ってレーザー光を100mm/s〜300mm/sの走査速度で走査しつつ照射することによって、深さが12μm〜30μmで幅が1μm〜10μmの断面視U字型の溝状のスクライブラインを形成するスクライブ工程と、
所定の間隔にて離隔させた一対の受刃の上に、前記スクライブラインが形成された前記SiC基板を、前記一方主面と対向する他方主面を上面とする姿勢にて水平に載置した状態で、前記SiC基板の上面側から前記分断予定位置に対してブレークプレートを当接させ、さらに前記ブレークプレートを押し下げることによって前記スクライブラインからクラックを伸展させることにより、前記SiC基板を前記分断予定位置において分断するブレーク工程と、
を備えることを特徴とする、SiC基板の分断方法。 - 請求項1に記載のSiC基板の分断方法であって、
前記レーザー光が、パルス幅がナノ秒オーダーで波長が355nmのナノ秒UVレーザーである、
ことを特徴とする、SiC基板の分断方法。 - SiC基板の分断装置であって、
前記SiC基板の一方主面において、あらかじめ定められた分断予定位置に沿ってレーザー光を100mm/s〜300mm/sの走査速度で走査しつつ照射することによって、深さが12μm〜30μmで幅が1μm〜10μmの断面視U字型の溝状のスクライブラインを形成するためのスクライブユニットと、
所定の間隔にて離隔させた一対の受刃の上に、前記スクライブラインが形成された前記SiC基板を、前記一方主面と対向する他方主面を上面とする姿勢にて水平に載置した状態で、前記SiC基板の上面側から前記分断予定位置に対してブレークプレートを当接させ、さらに前記ブレークプレートを押し下げることによって前記スクライブラインからクラックを伸展させることにより、前記SiC基板を前記分断予定位置において分断するブレークユニットと、
を備えることを特徴とする、SiC基板の分断装置。
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