JP2020091139A - Emission analyzer - Google Patents
Emission analyzer Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020091139A JP2020091139A JP2018227120A JP2018227120A JP2020091139A JP 2020091139 A JP2020091139 A JP 2020091139A JP 2018227120 A JP2018227120 A JP 2018227120A JP 2018227120 A JP2018227120 A JP 2018227120A JP 2020091139 A JP2020091139 A JP 2020091139A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape
- sample
- setting
- composition information
- processing unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
Description
本発明は、固体試料を放電させて発光を分析するための発光分析装置に関するものである。 The present invention relates to an optical emission analyzer for discharging a solid sample and analyzing emission.
発光分析装置には、例えば電極が設けられており、当該電極に対向するように固体試料が配置される。固体試料の分析を行う際には、固体試料と電極との間で放電が行われ、放電により発生した光が分光器において分光される。そして、分光された各波長の光が検出器で受光されることにより、各波長の検出強度に基づいて、固体試料に含まれる成分の組成情報の分析が行われる(例えば、下記特許文献1参照)。
The emission analyzer is provided with, for example, an electrode, and the solid sample is placed so as to face the electrode. When a solid sample is analyzed, a discharge is generated between the solid sample and the electrodes, and the light generated by the discharge is dispersed in a spectroscope. Then, the separated light of each wavelength is received by the detector, so that the composition information of the components contained in the solid sample is analyzed based on the detected intensity of each wavelength (see, for example,
一般的な固体試料の形状は、円柱形状である。固体試料の設置位置には、固体試料の円形の端面よりも小さい開口が形成されており、当該開口を塞ぐように固体試料が設置される。これにより、固体試料の端面と電極とが開口を挟んで対向し、それらの間で放電を行うことができる。 A general solid sample has a cylindrical shape. An opening smaller than the circular end surface of the solid sample is formed at the installation position of the solid sample, and the solid sample is installed so as to close the opening. As a result, the end surface of the solid sample and the electrode face each other across the opening, and discharge can be performed between them.
しかしながら、固体試料は、上記のような円柱形状に限らず、ピン形状や小型形状などの他の形状である場合がある。これらのピン形状や小型形状の固体試料は、その端面の面積が開口の面積よりも小さく、当該開口を塞ぐように固体試料を設置することができない。このような場合には、放電しない材料で形成された保持部材で固体試料の端部を保持し、その保持部材とともに固体試料が設置位置に設置される。 However, the solid sample is not limited to the cylindrical shape as described above, but may have other shapes such as a pin shape and a small shape. These pin-shaped and small-sized solid samples have an end surface area smaller than the opening area, and the solid sample cannot be installed so as to block the opening. In such a case, the end portion of the solid sample is held by a holding member formed of a material that does not discharge, and the solid sample is set at the setting position together with the holding member.
このように、固体試料の形状が異なる場合であっても、同じ発光分析装置を用いて分析を行うことが可能である。しかしながら、固体試料の形状に応じて分析結果に誤差が生じるという問題があった。 As described above, even when the shapes of the solid samples are different, it is possible to perform the analysis using the same emission analysis device. However, there is a problem that an error occurs in the analysis result depending on the shape of the solid sample.
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、固体試料の形状に応じて分析結果に誤差が生じるのを防止することができる発光分析装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an emission analysis device capable of preventing an error in an analysis result depending on the shape of a solid sample.
(1)本発明に係る発光分析装置は、固体試料を放電させて発光を分析するための発光分析装置であって、分光器と、検出器と、組成情報取得処理部と、規格判定処理部と、表示処理部と、形状設定受付部と、補正処理部とを備える。前記分光器は、固体試料から発生した光を分光する。前記検出器は、前記分光器により分光された各波長の光を受光する。前記組成情報取得処理部は、前記検出器における各波長の検出強度を検量線と比較することにより、固体試料中の成分の組成情報を取得する。前記規格判定処理部は、前記組成情報取得処理部により取得された組成情報に基づいて、予め設定されている複数の規格の中から該当する規格を判定する。前記表示処理部は、前記規格判定処理部による規格の判定を行う際に設定画面を表示させる。前記形状設定受付部は、前記設定画面において、固体試料の形状の設定を受け付ける。前記補正処理部は、前記形状設定受付部により設定が受け付けられた固体試料の形状に応じて、前記検量線を補正する。 (1) An emission analysis device according to the present invention is an emission analysis device for discharging a solid sample and analyzing emission, comprising a spectroscope, a detector, a composition information acquisition processing unit, and a standard determination processing unit. A display processing unit, a shape setting reception unit, and a correction processing unit. The spectroscope disperses the light generated from the solid sample. The detector receives the light of each wavelength split by the spectroscope. The composition information acquisition processing unit acquires the composition information of the components in the solid sample by comparing the detection intensity of each wavelength in the detector with a calibration curve. The standard determination processing unit determines a corresponding standard from a plurality of preset standards based on the composition information acquired by the composition information acquisition processing unit. The display processing unit displays a setting screen when the standard determination processing unit determines the standard. The shape setting reception unit receives the setting of the shape of the solid sample on the setting screen. The correction processing unit corrects the calibration curve according to the shape of the solid sample whose setting has been received by the shape setting reception unit.
このような構成によれば、形状設定受付部により設定が受け付けられた固体試料の形状に応じて検量線が補正されるため、補正後の検量線を用いて固体試料中の成分の組成情報を取得し、その組成情報に基づいて該当する規格を判定することができる。これにより、固体試料の形状に応じて分析結果に誤差が生じるのを防止することができる。 According to such a configuration, the calibration curve is corrected according to the shape of the solid sample whose setting has been accepted by the shape setting accepting unit, and therefore the composition information of the components in the solid sample is obtained using the corrected calibration curve. It is possible to obtain the standard and determine the applicable standard based on the composition information. This makes it possible to prevent an error from being generated in the analysis result depending on the shape of the solid sample.
(2)前記形状設定受付部は、円柱形状、ピン形状及び小型形状の少なくとも2つを含む形状候補の中から設定を受け付けてもよい。 (2) The shape setting reception unit may receive a setting from shape candidates including at least two of a cylindrical shape, a pin shape, and a small shape.
このような構成によれば、円柱形状、ピン形状及び小型形状の少なくとも2つを含む形状候補の中から固体試料の形状を設定し、その形状に応じて検量線を適切に補正することができる。 According to such a configuration, the shape of the solid sample can be set from the shape candidates including at least two of the cylindrical shape, the pin shape, and the small shape, and the calibration curve can be appropriately corrected according to the shape. ..
本発明によれば、形状設定受付部により設定が受け付けられた固体試料の形状に応じて検量線が補正されるため、補正後の検量線を用いて固体試料中の成分の組成情報を取得し、その組成情報に基づいて該当する規格を判定することにより、固体試料の形状に応じて分析結果に誤差が生じるのを防止することができる。 According to the present invention, since the calibration curve is corrected according to the shape of the solid sample whose setting has been received by the shape setting reception unit, the composition information of the components in the solid sample is acquired using the corrected calibration curve. By determining the applicable standard based on the composition information, it is possible to prevent an error from being generated in the analysis result depending on the shape of the solid sample.
1.発光分析装置の全体構成
図1は、本発明の一実施形態に係る発光分析装置の構成例を示した概略図である。この発光分析装置には、試料載置台1と電極2とが備えられている。試料載置台1の内部には放電室11が形成されており、当該放電室11内に電極2の先端部が臨んでいる。放電室11の壁面には、電極2の先端部に対向する位置に開口12が形成されている。分析対象となる固体の試料3は、開口12を塞ぐように試料載置台1上に載置され、その表面が電極2の先端部と間隔を隔てて対向した状態となる。
1. Overall Configuration of Emission Analysis Device FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of the configuration of an emission analysis device according to an embodiment of the present invention. This optical emission analyzer is equipped with a sample mounting table 1 and an
分析時には、電極2に電圧が印加されることにより、試料3の表面と電極2の先端部との間で放電が行われる。放電時に放電室11内で発生した光は、集光レンズ13を透過して測定部4へと導かれる。測定部4は、その内部に測定室41が形成されることにより中空状に構成されており、測定室41内には分光器42及び検出器43が設けられている。
At the time of analysis, a voltage is applied to the
試料3を放電させることにより発生した光は、測定室41内に入射し、分光器42により分光される。検出器43は複数の受光素子431を備えており、分光器42により分光された各波長の光が各受光素子431で受光されることによって、試料3に含有されている元素に特有の波長にピークを有する輝線スペクトルが得られる。
The light generated by discharging the
試料載置台1には、それぞれ放電室11の内部と外部とを連通するガス供給路14及びガス排出路15が形成されている。分析時には、ガス供給路14から放電室11内に供給される不活性ガスが、ガス排出路15からオーバーフローすることにより、放電室11内が不活性ガスで満たされた状態となる。このようにして、不活性ガスで放電室11内の空気を追い出すことにより、空気中の成分が分析結果に悪影響を及ぼすのを防止することができる。放電室11内に導入する不活性ガスとしては、例えばアルゴンガスなどが用いられるが、アルゴンガス以外のガスを用いることも可能である。
A
2.発光分析装置の電気的構成
図2は、図1の発光分析装置の電気的構成の一例を示したブロック図である。この発光分析装置には、上述の構成以外に、例えば制御部5、表示部6、操作部7及び記憶部8などが備えられている。制御部5は、例えばCPU(Central Processing Unit)を含む構成であり、当該CPUがプログラムを実行することにより、組成情報取得処理部51、規格判定処理部52、表示処理部53、形状設定受付部54及び補正処理部55などとして機能する。
2. Electrical Configuration of Emission Spectrometer FIG. 2 is a block diagram showing an example of the electrical configuration of the emission spectroscope of FIG. In addition to the configuration described above, this emission analysis device is provided with, for example, a control unit 5, a display unit 6, an operation unit 7, a
表示部6は、例えば液晶表示器により構成されており、各種情報を表示画面に表示させることができる。操作部7は、例えばキーボード及びマウスにより構成されており、ユーザが入力操作を行うことができる。記憶部8は、例えばハードディスク及びRAM(Random Access Memory)により構成されている。記憶部8の記憶領域には、検量線データ記憶部81及び規格データ記憶部82などが割り当てられている。
The display unit 6 is composed of, for example, a liquid crystal display, and can display various information on the display screen. The operation unit 7 is composed of, for example, a keyboard and a mouse, and a user can perform an input operation. The
検量線データ記憶部81には、検出器43の各受光素子431における検出強度と元素の含有率との関係を表す検量線データが記憶されている。すなわち、検量線データは、各受光素子431により検出される各波長の検出強度と、その波長にピークを有する元素の含有率との関係を表している。
The calibration curve
規格データ記憶部82には、特定の組成として予め設定されている複数の規格のデータが規格データとして記憶されている。上記規格は、例えば日本工業規格(JIS)などの標準化された規格であってもよいし、任意に設定された規格であってもよい。
The standard
組成情報取得処理部51は、検出器43における各波長の検出強度を検量線と比較することにより、試料3中の成分の組成情報を取得する処理を行う。具体的には、検出器43の各受光素子431における検出強度が、検量線データ記憶部81に記憶されている検量線データと比較されることにより、各波長に対応する元素の含有率が算出される。これにより、試料3に含まれる元素、及び、その元素の含有率が、組成情報として取得される。
The composition information
規格判定処理部52は、組成情報取得処理部51により取得された組成情報に基づいて、規格を判定する処理を行う。具体的には、取得された組成情報が、規格データ記憶部82に記憶されている規格データと比較されることにより、規格データとして予め設定されている複数の規格の中から、その組成情報に該当する規格が抽出される。
The standard
表示処理部53は、表示部6に対する表示を制御する。試料3の組成情報の規格を判定する判定分析の際には、判定分析に関する設定を行うための設定画面が、表示処理部53により表示部6に表示される。また、規格判定処理部52により試料3の組成情報の規格が判定された場合には、その判定結果が表示処理部53により表示部6に表示される。判定分析に関する設定画面及び判定結果は、表示部6に対して共通の画面で表示されてもよいし、別々の画面で表示されてもよい。
The
形状設定受付部54は、判定分析の設定画面において、ユーザが操作部7を操作することにより試料3の形状を設定した場合に、その設定を受け付ける処理を行う。試料3の形状としては、円柱形状、ピン形状及び小型形状などの複数種類の形状候補が予め定められており、これらの形状候補の中から任意の形状を選択することができる。
When the user operates the operation unit 7 to set the shape of the
円柱形状の試料3は、円形の端面を有する形状であり、当該端面の面積が放電室11の開口12よりも大きく、当該端面で開口12を塞ぐように試料載置台1上に載置される。ピン形状の試料3は、円柱形状よりも端面の面積が小さい棒状の試料3であり、当該端面の面積が放電室11の開口12よりも小さいため、当該端面で開口12を塞ぐことができない。小型形状の試料3は、ピン形状と同様に円柱形状よりも端面の面積が小さい試料3であるが、ピン形状とは異なる形状(例えばボルトなど)であり、当該端面で開口12を塞ぐことができない。そのため、ピン形状又は小型形状の試料3を分析する際には、試料保持部材で試料3を保持することにより、試料3の端面と試料保持部材の端面とで放電室11の開口12が塞がれる。
The
ユーザは、複数種類の形状の中から、操作部7を用いて選択する操作を行うことにより、試料3の形状の設定を行うことができる。形状設定受付部54により設定が受け付けられた試料3の形状は、表示処理部53により判定分析の設定画面に表示される。形状候補には、円柱形状、ピン形状及び小型形状の少なくとも2つが含まれていることが好ましいが、これらの形状に限られるものではない。
The user can set the shape of the
補正処理部55は、形状設定受付部54により設定が受け付けられた試料3の形状に応じて、検量線データ記憶部81に記憶されている検量線データを補正する処理を行う。すなわち、試料3の形状が異なれば最適な検量線も変化するため、設定された試料3の形状に応じて最適な検量線となるように、補正処理部55により検量線データに対する補正が行われる。
The
3.判定分析時の制御部による処理
図3は、判定分析時の制御部による処理の一例を示したフローチャートである。判定分析を行う際には、まず、表示処理部53により、判定分析の設定画面が表示部6に表示される(ステップS101)。この設定画面では、ユーザが操作部7を操作することにより、試料3の形状の設定を行うことができる他、判定分析に必要な各種条件の設定を行うことができる。
3. Processing by control unit at the time of determination analysis FIG. 3 is a flowchart showing an example of processing by the control unit at the time of determination analysis. When performing the judgment analysis, first, the
設定画面において、試料3の形状の設定が行われた場合には(ステップS102でYes)、補正処理部55により、設定された試料3の形状に応じて検量線が補正される(ステップS103)。このようにして各種設定が行われた後、分析開始のための操作が行われた場合には(ステップS104でYes)、設定された条件で分析が開始される。
When the shape of the
具体的には、組成情報取得処理部51により、検量線データ記憶部81から検量線データが読み出され(ステップS105)、その検量線と検出器43における検出強度とが比較されることにより、試料3中の成分の組成情報が取得される(ステップS106)。そして、規格判定処理部52により、取得された組成情報が規格データ記憶部82に記憶されている規格データと比較され、予め設定されている複数の規格の中から該当する規格が判定される(ステップS107)。判定された試料3中の成分の規格は、表示処理部53により、判定結果として表示部6に表示される(ステップS108)。
Specifically, the composition information
4.検量線の補正処理
図4は、検量線の一例を示した図である。図4では、横軸を元素の含有率C、縦軸を検出器43の検出強度Iとして、下記式(1)で表される検量線の一例が示されている。なお、a、b、c及びdは係数である。
C=aI3+bI2+cI+d ・・・(1)
4. Calibration Curve Correction Processing FIG. 4 is a diagram showing an example of the calibration curve. In FIG. 4, an example of a calibration curve represented by the following equation (1) is shown, in which the horizontal axis represents the element content C and the vertical axis represents the detection intensity I of the
C=aI 3 +bI 2 +cI+d (1)
このように、検量線は、複数の係数a,b,c,dを含む三次式により表される。補正処理部55は、上記式(1)で表される検量線の複数の係数a,b,c,dの少なくとも1つを変更することにより、試料3の形状に応じた検量線に補正する。ただし、検量線は、三次式で表されるものに限らず、一次式又は二次式で表されるものであってもよいし、四次式以上で表されるものであってもよい。
As described above, the calibration curve is represented by a cubic expression including the plurality of coefficients a, b, c, d. The
補正処理部55は、複数種類の補正処理を順次行うことにより検量線を補正する。複数種類の補正処理には、いわゆるマスターカーブ補正が含まれる。マスターカーブ補正では、試料3に含有されている代表的な成分を含むマスターカーブ補正用の標準試料が測定され、一次式又は二次式を用いて補正が行われる。本実施形態では、このマスターカーブ補正が、設定された試料3の形状に応じて異なる態様で行われるようになっている。ただし、マスターカーブ補正以外の補正処理が、設定された試料3の形状に応じて異なる態様で行われるような構成であってもよい。
The
5.試料の他の形状
図5は、試料3の他の形状の一例を示した断面図であり、その試料3が図1に示した試料載置台1に載置された状態を示している。図5において、試料載置台1の構成については図1と同様であるため、図1と同様の構成には同一符号を付して詳細な説明を省略する。
5. Other Shape of Sample FIG. 5 is a cross-sectional view showing another example of the shape of the
図5では、試料3がピン形状である場合が示されている。図5に示すように、ピン形状の試料3は、その一端部が試料保持部材31により保持され、試料3の端面と試料保持部材31の端面とで放電室11の開口12が塞がれる。なお、図示しないが、試料3が小型形状である場合にも、試料3が試料保持部材により保持された状態で試料載置台1に載置される。
In FIG. 5, the case where the
6.作用効果
(1)本実施形態では、形状設定受付部54により設定が受け付けられた試料3の形状に応じて検量線が補正されるため、補正後の検量線を用いて試料3中の成分の組成情報を取得し、その組成情報に基づいて該当する規格を判定することができる。これにより、試料3の形状に応じて分析結果に誤差が生じるのを防止することができる。
6. Function and Effect (1) In the present embodiment, the calibration curve is corrected according to the shape of the
(2)特に、本実施形態では、円柱形状、ピン形状及び小型形状の少なくとも2つを含む形状候補の中から試料3の形状を設定し、その形状に応じて検量線を適切に補正することができる。
(2) In particular, in the present embodiment, the shape of the
7.変形例
上記実施形態では、測定室41内に分光器42及び検出器43が設けられた構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、例えば検出器43が測定室41の外部に設けられた構成などであってもよい。
7. Modified Example In the above embodiment, the configuration in which the
試料3を放電させることにより光を発生させるための構成は、図1に示したような構成に限らず、他の任意の構成を採用することができる。この場合、放電の態様は、スパーク放電、アーク放電、誘導結合プラズマ(ICP)放電など、任意の態様を採用することができる。
The configuration for generating light by discharging the
1 試料載置台
2 電極
3 試料
4 測定部
5 制御部
6 表示部
7 操作部
8 記憶部
31 試料保持部材
41 測定室
42 分光器
43 検出器
51 組成情報取得処理部
52 規格判定処理部
53 表示処理部
54 形状設定受付部
55 補正処理部
81 検量線データ記憶部
82 規格データ記憶部
431 受光素子
1 sample mounting table 2
Claims (2)
固体試料から発生した光を分光する分光器と、
前記分光器により分光された各波長の光を受光する検出器と、
前記検出器における各波長の検出強度を検量線と比較することにより、固体試料中の成分の組成情報を取得する組成情報取得処理部と、
前記組成情報取得処理部により取得された組成情報に基づいて、予め設定されている複数の規格の中から該当する規格を判定する規格判定処理部と、
前記規格判定処理部による規格の判定を行う際に設定画面を表示させる表示処理部と、
前記設定画面において、固体試料の形状の設定を受け付ける形状設定受付部と、
前記形状設定受付部により設定が受け付けられた固体試料の形状に応じて、前記検量線を補正する補正処理部とを備えることを特徴とする発光分析装置。 An emission analysis device for discharging a solid sample and analyzing emission, comprising:
A spectroscope for separating the light generated from the solid sample,
A detector that receives light of each wavelength dispersed by the spectroscope,
By comparing the detection intensity of each wavelength in the detector with a calibration curve, a composition information acquisition processing unit that acquires composition information of components in a solid sample,
Based on the composition information acquired by the composition information acquisition processing unit, a standard determination processing unit that determines a corresponding standard from a plurality of preset standards,
A display processing unit that displays a setting screen when the standard is determined by the standard determination processing unit;
On the setting screen, a shape setting receiving unit that receives the setting of the shape of the solid sample,
An emission analysis device, comprising: a correction processing unit that corrects the calibration curve according to the shape of the solid sample whose setting has been received by the shape setting reception unit.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018227120A JP2020091139A (en) | 2018-12-04 | 2018-12-04 | Emission analyzer |
CN201911149898.8A CN111307781A (en) | 2018-12-04 | 2019-11-21 | Luminescence analysis apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018227120A JP2020091139A (en) | 2018-12-04 | 2018-12-04 | Emission analyzer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020091139A true JP2020091139A (en) | 2020-06-11 |
Family
ID=71012684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018227120A Pending JP2020091139A (en) | 2018-12-04 | 2018-12-04 | Emission analyzer |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020091139A (en) |
CN (1) | CN111307781A (en) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07248295A (en) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Kawasaki Steel Corp | Emission spectral analyzing method and apparatus |
CN101509894B (en) * | 2009-03-23 | 2012-06-27 | 首钢总公司 | Method for measuring scale element distribution in thickness direction |
JP6696458B2 (en) * | 2017-02-23 | 2020-05-20 | 株式会社島津製作所 | Optical emission spectrometer |
-
2018
- 2018-12-04 JP JP2018227120A patent/JP2020091139A/en active Pending
-
2019
- 2019-11-21 CN CN201911149898.8A patent/CN111307781A/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111307781A (en) | 2020-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6176334B2 (en) | Mass spectrometry method, mass spectrometer, and mass spectrometry data processing program | |
US10896813B2 (en) | Analysis data processing method and device | |
US9897579B2 (en) | Method for correcting evolved gas analyzer and evolved gas analyzer | |
JP6773236B2 (en) | Mass spectrometer and mass spectrometry method | |
JP2017156332A5 (en) | ||
JP2020091139A (en) | Emission analyzer | |
JP6696458B2 (en) | Optical emission spectrometer | |
JP5387536B2 (en) | How to create a calibration curve | |
JP2005134181A (en) | Data processing method and analyzing apparatus | |
JP7070708B2 (en) | Analytical instrument evaluation methods, analytical instrument calibration methods, analytical methods, analyzers and programs | |
WO2020152800A1 (en) | Detection method, analysis method, analysis device and program | |
Gonzalez-Fernandez et al. | Influence of the cathode material in the cathode fall characteristics of a hydrogen hollow cathode glow-discharge | |
US20190025123A1 (en) | Spectral data processing apparatus and spectral data processing method | |
JP2007024679A (en) | Analyzer and analyzing processing method | |
JP6508414B2 (en) | Chromatographic device | |
JP6631373B2 (en) | Data processing device | |
JP7413775B2 (en) | Imaging analysis data processing method and device | |
WO2014132357A1 (en) | Mass spectrometer | |
WO2018109895A1 (en) | Mass spectrometry device | |
JP2007003428A (en) | Emission spectrophotometry and emission spectrophotometer | |
JP3187346U (en) | Luminescence analyzer | |
US6265714B1 (en) | Mass spectrometer and method of monitoring degradation of its detector | |
JP7010373B2 (en) | Spectral data processing equipment and analysis equipment | |
WO2020012744A1 (en) | Light emission analysis device and maintenance method for same | |
US20240087871A1 (en) | Analysing a field of a mass spectrometer |