JP2020085763A - 測定装置、測定方法、および測定プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1 特開平04−212003号公報
100 測定装置
110 光出力部
120 光源
130 フィルタ部
132 第1フィルタ
134 第2フィルタ
136 第3フィルタ
140 回転制御部
150 検出部
160 補正値算出部
170 記憶部
180 厚さ算出部
190 厚さ出力部
210 フレーム
220 測定ヘッド
222 第1ヘッド
224 第2ヘッド
230 ヘッド移動部
232 第1ヘッド移動部
234 第2ヘッド移動部
240 対象物移動部
310 第1積分球
320 第1遮蔽板
330 第2積分球
340 第2遮蔽板
700 ギャップ制御部
710 第1制御部
730 第2制御部
2200 コンピュータ
2201 DVD−ROM
2210 ホストコントローラ
2212 CPU
2214 RAM
2216 グラフィックコントローラ
2218 ディスプレイデバイス
2220 入/出力コントローラ
2222 通信インターフェイス
2224 ハードディスクドライブ
2226 DVD−ROMドライブ
2230 ROM
2240 入/出力チップ
2242 キーボード
Claims (13)
- シート状の測定対象物の厚さを測定する測定装置であって、
第1波長を有する第1光を前記測定対象物に透過させた光の第1光強度、
前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低い第2波長を有する第2光を前記測定対象物に透過させた光の第2光強度、および、
前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低く、前記第2波長よりも流体を含んだ前記測定対象物による吸収率が低い第3波長を有する第3光を前記測定対象物に透過させた光の第3光強度、を検出する検出部と、
前記第1光強度、前記第2光強度、および、前記第3光強度を用いて、前記測定対象物の厚さを算出する厚さ算出部と、
を備える測定装置。 - 前記流体は水分である、請求項1に記載の測定装置。
- 前記検出部が検出した前記第1光強度、前記第2光強度、および、前記第3光強度に基づいて、前記測定対象物に含まれる前記流体による光の吸収の影響を低減するような補正値を算出する補正値算出部を更に備え、
前記厚さ算出部は、前記補正値算出部が算出した前記補正値を用いて、前記測定対象物の厚さを算出する請求項2に記載の測定装置。 - 前記補正値算出部は、前記測定対象物に含まれる前記流体の量が異なる複数の場合における前記第1光強度、前記第2光強度、および、前記第3光強度に基づいて、補正係数を算出し、算出した前記補正係数を用いて前記補正値を算出する請求項3に記載の測定装置。
- 前記補正値算出部は、(数3)式を用いて前記補正係数を算出し、算出された前記補正係数を(数2)式に代入して前記補正値を算出する、請求項4に記載の測定装置。
- 補正係数をあらかじめ記憶する記憶部を更に備え、
前記補正値算出部は、前記記憶部から取得した前記補正係数を用いて前記補正値を算出する請求項3に記載の測定装置。 - 前記補正値算出部は、前記第1光強度に基づいて前記第1光を前記測定対象物に透過させた光の第1透過率を算出し、前記第2光強度に基づいて前記第2光を前記測定対象物に透過させた光の第2透過率を算出し、前記第3光強度に基づいて前記第3光を前記測定対象物に透過させた光の第3透過率を算出し、算出した前記第1透過率、前記第2透過率、および、前記第3透過率を用いて、前記補正値を算出する請求項3から6のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記検出部は、前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低く、前記第2波長よりも流体を含んだ前記測定対象物による吸収率が低く、かつ、前記第3波長とは異なる第4波長を有する第4光を前記測定対象物に透過させた光の第4光強度を検出し、
前記補正値算出部は、前記検出部が検出した前記第1光強度、前記第2光強度、前記第3光強度、および、前記第4光強度に基づいて、前記測定対象物に含まれる前記流体による光の吸収の影響、および、前記測定対象物の材料による光の散乱の波長依存性の影響を低減するような前記補正値を算出する請求項3から7のいずれか一項に記載の測定装置。 - 前記第2波長における前記流体による吸光度は、前記第3波長における前記流体による吸光度の2倍以上である請求項1から8のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記第1光、前記第2光、および、前記第3光を出力する光出力部を更に備える、請求項1から9のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記測定対象物の第1面に対してギャップを有する位置に設けられ、前記第1面に対向する第1開口を有する第1積分球と、
前記測定対象物の前記第1面とは反対側の第2面に対してギャップを有する位置に設けられ、前記測定対象物を挟んで前記第1開口に対向する第2開口を有する第2積分球と、
を更に備え、
前記光出力部は、前記第1積分球の内部に光を照射し、
前記検出部は、前記第2積分球の内部の光の強度を検出する請求項10に記載の測定装置。 - シート状の測定対象物の厚さを測定する測定方法であって、
第1波長を有する第1光を前記測定対象物に透過させた光の第1光強度、前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低い第2波長を有する第2光を前記測定対象物に透過させた光の第2光強度、および、前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低く、前記第2波長よりも流体を含んだ前記測定対象物による吸収率が低い第3波長を有する第3光を前記測定対象物に透過させた光の第3光強度を検出することと、
検出した前記第1光強度、前記第2光強度、および、前記第3光強度を用いて、前記測定対象物の厚さを算出することと、
を備える測定方法。 - コンピュータにより実行されて、前記コンピュータを、
第1波長を有する第1光を測定対象物に透過させた光の第1光強度、前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低い第2波長を有する第2光を前記測定対象物に透過させた光の第2光強度、および、前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低く、前記第2波長よりも流体を含んだ前記測定対象物による吸収率が低い第3波長を有する第3光を前記測定対象物に透過させた光の第3光強度を検出する検出部と、
前記検出部が検出した前記第1光強度、前記第2光強度、および、前記第3光強度を用いて、前記測定対象物の厚さを算出する厚さ算出部と、
して機能させる測定プログラム。
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