JP2020085613A - 歪みセンサアレイおよびその製造方法 - Google Patents
歪みセンサアレイおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020085613A JP2020085613A JP2018218991A JP2018218991A JP2020085613A JP 2020085613 A JP2020085613 A JP 2020085613A JP 2018218991 A JP2018218991 A JP 2018218991A JP 2018218991 A JP2018218991 A JP 2018218991A JP 2020085613 A JP2020085613 A JP 2020085613A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- strain sensor
- wiring
- sensor array
- wirings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
【課題】複数の歪みセンサを一つのユニットとして統合する。【解決手段】基材2は、可撓性を有し、帯状に延在している。複数の歪みセンサ3は、基材2の長手方向に延在し、互いに電気的に分離されている。複数の横配線4は、基材2の長手方向に平行に延在している。複数の縦配線5は、横配線4と交差する方向に延在しており、いずれかの横配線4と、いずれかの歪みセンサ3とを個別に接続する。【選択図】図1
Description
本発明は、歪みセンサアレイおよびその製造方法に関する。
例えば、特許文献1には、歪みセンサ素子の構造が開示されている。図24に示すように、この歪みセンサ素子20は、帯状の基板21と、検出層22と、一対の電極23とを備える。基板21は、伸縮性を有する。検出層22は、複数のカーボンナノチューブ24を含む。これらのカーボンナノチューブ24は、基板21の長手方向に延在しており、幅方向に所定の間隔を空けて配置されている。これによって、検出層22として、基板21の幅方向に並列に配置された複数の検出領域が形成される。一対の電極23は、検出層22の両端に設けられている。かかる構成によれば、検出層22が、基板21の幅方向に並列に配置された複数の検出領域を有するので、基板21の幅に依存することなく、検出領域の幅、ひいては電気抵抗特性を設定でき、歪みセンサ素子としての寸法や電気的特性を所望の仕様どおり正確に設計できる。なお、特許文献1は、歪みセンサ素子、すなわち、一つの事象を検出するセンサ単体に関するものであり、互いに独立した複数の歪みセンサ(歪みセンサアレイ)に関するものではない。
ところで、歪みの計測対象が広範囲に及ぶ場合、歪みセンサを多数設置して、それぞれの測定箇所における歪みを個別的に測定する必要がある。しかしながら、個々に独立した歪みセンサを多数使用する場合、歪みセンサと測定装置との間における配線の引き回しが複雑になり、その作業をする者の負担が大きくなる。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の歪みセンサを一つのユニットとして統合することである。
かかる課題を解決すべく、第1の発明は、帯状の基材と、複数の歪みセンサと、複数の第1の配線と、複数の第2の配線とを有する歪みセンサアレイを提供する。帯状の基材は、可撓性を有する。歪みセンサのそれぞれは、基材の長手方向に配置されている。第1の配線のそれぞれは、基材の長手方向に延在している。第2の配線のそれぞれは、第1の配線と交差する方向に延在しており、第1の配線のいずれかと、歪みセンサのいずれかとを個別に接続する。
ここで、第1の発明において、コネクタをさらに設けてもよい。このコネクタは、基材の一端側に設けられ、複数の第1の配線のそれぞれの端部が集約されている。また、上記第1の配線は、金属ワイヤーによって形成されていてもよく、ディスペンサーを用いた印刷によって形成されていてもよい。また、第1の配線及び第2の配線は、予め一面に金属層印刷パターンが形成されたフレキシブル基板の当該金属層部分を配線パターンに沿ってトリミングすることで形成されていてもよい。
第1の発明において、上記基材は、複数の基材層を積層することによって構成されており、上記複数の歪みセンサおよび上記複数の第1の配線は、複数の基材層によって挟持されていることが好ましい。この場合、上記第2の配線は、第1の配線とは異なる層に設けられており、基材層のいずれかに設けられたスルーホールを介して、第1の配線に接続されていてもよいし、これに代えて、スルーホールを介することなく、第2の配線と同じ層に設けられた第1の配線に接続されていてもよい。また、上記複数の基材層は、複数の歪みセンサの配置部位には介在することなく設けられた接着層を介して、互いに接合されていることが好ましい。また、上記歪みセンサは、複数の基材層における対向面に設けられていてもよい。さらに、上記第2の配線は、複数の基材層の対向面とは反対の面に設けられており、基材層のいずれかを貫通するスルーホールを介して、第1の配線および歪みセンサに接続されていてもよい。
第1の発明において、上記複数の歪みセンサは、基材の長手方向を一成分とする延在方向に延在していることが好ましい。この場合、複数の歪みセンサの延在方向は、少なくとも、第1の延在方向と、第1の延在方向とは異なる第2の延在方向とを有していてもよい。
第1の発明において、上記複数の第1の配線は、複数の入力線と、複数の出力線とを有していてもよい。この場合、上記複数の歪みセンサは、1本の連続した歪みセンサ部材に対して、複数の入力線のいずれかと、複数の出力線のいずれかとを交互に接続し、入力線の選択と、出力線の選択とを時分割で制御することによって、規定されていてもよい。
第2の発明は、歪みセンサアレイの製造方法を提供する。この製造方法は、可撓性を有する帯状の基材に、基材の長手方向に複数の歪みセンサを設けるステップと、基材に、基材の長手方向に延在する複数の第1の配線を設けるステップと、基材に、金属ワイヤーと交差する方向に延在する複数の第2の配線を設けるステップとを有する。
ここで、第2の発明において、上記複数の歪みセンサを設けるステップは、基材の一部である第1の基材層上に、複数の歪みセンサを印刷するステップであり、上記複数の第1の配線を設けるステップは、第1の基材層上に、第1の配線としての複数の金属ワイヤーを配置するステップであり、上記複数の第2の配線を設けるステップは、基材の一部であって、第1の基材に積層された第2の基材上に、複数の第2の配線を印刷するステップであってもよい。
第2の発明において、基材の一端側に、複数の第1の配線のそれぞれの端部が集約されたコネクタを取り付けるステップをさらに設けてもよい。
本発明によれば、複数の歪みセンサと、それぞれのセンサと電気的に接続するための第1および第2の配線とを帯状の基材に設けることにより、配線類を含めて複数の歪みセンサを一つのユニットとして統合することができる。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る歪みセンサアレイの平面図である。この歪みセンサアレイ1Aは、広範囲に及ぶような計測対象に取り付けられ、個々の測定箇所における歪みを並列的に検知する。測定対象としては、例えば、トンネルにおけるコンクリートの構造体などが挙げられる。歪みセンサアレイ1Aは、基材2と、複数の歪みセンサ3(符号3は符号3a〜3dの総称である。)と、複数の横配線4と、複数の縦配線5と、コネクタ6とを主体に構成されている。
図1は、第1の実施形態に係る歪みセンサアレイの平面図である。この歪みセンサアレイ1Aは、広範囲に及ぶような計測対象に取り付けられ、個々の測定箇所における歪みを並列的に検知する。測定対象としては、例えば、トンネルにおけるコンクリートの構造体などが挙げられる。歪みセンサアレイ1Aは、基材2と、複数の歪みセンサ3(符号3は符号3a〜3dの総称である。)と、複数の横配線4と、複数の縦配線5と、コネクタ6とを主体に構成されている。
基材2は、合成樹脂などの絶縁性薄膜で形成されており、可撓性を有する。この基材2は、所定の幅を有し、長手方向に帯状に延在している。複数の歪みセンサ3は、基材2の長手方向に列状に並んで配置され、それぞれが線状に延在している。隣接した歪みセンサ(例えば3a,3b)は、所定の間隔を空けて配置されており、互いに電気的に分離されている。それぞれの歪みセンサ3は、例えば、歪みセンサ3aが最左の測定箇所、歪みセンサ3bがこれよりも右側の測定箇所といった如く、互いに異なる箇所を測定対象とし、自己に加わる外力に応じて伸縮することによって、電気的特性が変化する。具体的には、ある歪みセンサ3aが伸びると、その抵抗値が大きくなる。この抵抗値の変化(印加電圧の電圧変化)をモニタリングすることで、測定箇所における歪みの程度が検知される。歪みセンサ3を構成する部材(歪みセンサ部材)としては、例えば、電気抵抗が比較的大きいカーボン材などを用いることができる。
複数の横配線4(符号4は符号4a,4bの総称である。)は、幅方向に並んで配置されており、それぞれが基材2の長手方向に延在している。横配線4は、銀ペーストや銅インクなどの導電性材料を基材2に印刷(コーティングを含む。)することによって形成してもよい。配線の印刷には、マスクパターンを作って行う印刷手法、ディスペンサー(液体吐出装置)を用いた印刷手法、予め一面に金属層が形成されたフレキシブル基板の当該金属部分を配線パターンに沿ってトリミングする手法などが知られており、いずれを用いてもよい。ただし、ディスペンサーを用いる印刷手法は、配線の抵抗値が低く、断線を有効に防止できる点において好ましい。また、このような印刷に代えて、物理的に独立した線材である金属ワイヤーを用いて、配線を形成してもよい。金属ワイヤーは、印刷と比較して抵抗率を極めて低く、横配線4の長大化に起因した電圧変化を抑制できる点で有利である。また、横配線4について、基材2上側の配線群(上グループ)は、入力線4aとして歪みセンサ3に一定電圧を入力すると共に、その下側の配線群(下グループ)は、出力線4bとして歪みセンサ3の検知電圧が出力される。それぞれの歪みセンサ3には、上下の横配線4がそれぞれ1本ずつ割り当てられている。
なお、同図は、それぞれの歪みセンサ3に一定電圧を個別に入力する例を示しているが、複数の歪みセンサ3に対して一定電圧を共通で入力してもよい。この場合、複数の歪みセンサ3に1本の入力線4aが共通で接続される。また、横配線4は、基材2の長手方向に延在しているが、長手方向と平行である必要は必ずしもなく、部分的に幅方向に屈曲している形態や、横配線4が長手方向に対して斜めに延在している形態などを排除するものではない。
複数の縦配線5は、横配線4と交差する方向、典型的には基材2の幅方向(横配線4との直交方向)に延在している。縦配線5は、配線長が短いことから、生産性などを考慮して、導電性材料を基材に印刷することによって形成される。縦配線5は、横配線4のいずれかと、歪みセンサ3のいずれかとを個別に接続する。これにより、歪みセンサ3は、その一端が、縦配線5のいずれかを介して1本の入力線4aに接続され、その他端が、縦配線5のいずれかを介して1本の出力線4bに接続される。例えば、同図における最左の歪みセンサ3aは、最上の入力線4aと、最下の出力線4bとに接続されている。
コネクタ6は、基材2の一端側に設けられている。コネクタ6は、外部の測定装置側(これに接続された配線を含む。)と接続可能な形状を有しており、複数の横配線4のそれぞれの端部が集約されている。
なお、同図では、歪みセンサ3の延在方向が基材2の長手方向である例を示したが、これは一例であって、基材2の長手方向を一成分とする方向(例えば、幅方向の成分も含む斜め方向)を含めて延在方向は任意である。また、歪みセンサ3の延在方向はすべて同一である必要は必ずしもなく、例えば、基材2の長手方向に対して平行な方向と、斜め方向とを交互に配置するといった如く、延在方向を少なくとも2つ以上に設定してもよい。これにより、様々な方向の歪み検出に対応可能となる。
また、同図において、隣接した歪みセンサ3(例えば3a,3b)は、間隔を空けることによって電気的に分離されているが、図2に示すような構造にすれば、間隔を空けなくても電気的な分離を実現できる。この構造では、基材2の長手方向に延在する1本の連続したカーボン材が設けられている。このカーボン材の途中(左右の電気的特性を一致させる場合には中央)には、入力線4aが共通接続され、その両端には、2本の出力線4bが個別に接続されている。これによって、1本の連続した歪みセンサ部材(カーボン材)から電気的に分離された2つの歪みセンサ3a,3bが左右に規定され、それぞれの抵抗値の変化(電圧変化)をモニタリングすることで、それぞれの歪みの程度を検知することができる。
図3は、図1に示したA−A断面図である。基材2は、上下の基材層2a,2bによって構成されており、これらの対向面同士は接着層7bを介して接合されている。これにより、歪みセンサ3および複数の横配線4は、上下の基材層2a,2bによって挟持される。ここで、接着層7bは、複数の歪みセンサ3の配置部位には介在しないように、これを避けるように設けられている。その理由は、歪みセンサ3の配置部位に接着層7bが存在すると、感度不良などに起因した検出精度の低下を招くので、それを防止するためである。下基材層2aの下面(対向面とは反対の面)は、歪みセンサ3の検知面となっており、計測対象に接着層(図示せず)を介して接着される。また、縦配線5は、上基材層2bの上面(対向面とは反対の面)に設けられており、上基材層2bを貫通するスルーホール8を介して、横配線4と歪みセンサ3との間を接続する。
以下、図4から図9を参照して、本実施形態に係る歪みセンサアレイ1Aの製造方法について説明する。まず、図4に示すように、下基材層2aの上面に、基材2の長手方向に複数の歪みセンサ3が形成・配置される。歪みセンサ3の形成は、例えば印刷によって行うことができる。つぎに、図5に示すように、下基材層2aの上面に、基材2の長手方向に延在する複数の横配線4が形成・配置される。横配線4の形成は、例えば、ディスペンサーを用いて液状の導電材を所定の位置に塗布・固化することよって行われる。なお、歪みセンサ3の形成および横配線4の形成は、工程の順序が逆でもよい。
つぎに、図6に示すように、横配線4が配置された下基材層2aの上面に粘着テープなどを貼り付けることで、接着層7bが形成される。接着層7bは、歪みセンサ3の検知感度の不良を防止すべく、歪みセンサ3の配置部位を避けるように配置される。そして、図7に示すように、接着層7bの上面に、上基材層2bが位置合わせを行った上で圧着される。これにより、上下の基材層2a,2bによって、同一層に配置された歪みセンサ3および横配線4が挟持される。なお、上基材層2bの所定位置には、上下を貫通するスルーホール8が予め形成されており、このスルーホール8内には、縦配線5の接続先が臨んでいる。スルーホール8を予め形成しておく理由は、上基材層2bにスルーホール8を事後的に形成すると、歪みセンサ3の変形が懸念されるので、それを防止するためである。
つぎに、図8に示すように、上基材層2bの上面に露出したスルーホール8が導電材5aで埋設される。これにより、導電材5aは、スルーホール8の直下に位置する接続先と電気的に接続される。その後、図9に示すように、導電性材料の印刷等によって、横配線4と交差する方向に延在するように導電材5bが形成される。この導電材5bは、上基材層2bの上面に露出した導電材5aと電気的に接続される。これにより、同一層上に形成された歪みセンサ3および横配線4は、導電材5a,5bによって構成された縦配線5を介して電気的に接続される。最後に、上下の基材層2a,2bの積層体である基材2の一端側にコネクタ6を取り付けることによって、図1に示した歪みセンサアレイ1Aが完成する。
このように、第1の実施形態によれば、複数の歪みセンサ3と、それぞれのセンサと電気的に接続するための縦横の配線4,5を基材2に設けることにより、配線類を含めて複数の歪みセンサ3を一つのユニットとして統合することができる。また、個々に独立した歪みセンサを多数使用する場合と比較して、歪みセンサアレイ1Aとしてユニット化することで、外部の測定装置との間における配線の引き回しが簡略化されるため、配線の引き回し作業の負担を著しく軽減できる。
なお、上述した第1の実施形態では、図7に示したように、上基材層2bにスルーホール8を設ける構造について説明した。図1の平面図に示したように、複数の横配線4が同一の延在長で並んでいる配置では、横配線4と縦配線5との間における不要な電気的接触(ショート)を避けるために、スルーホール8の存在は欠かせない。しかしながら、歪みセンサアレイ1Aの平面上における横配線4の長さおよび配置を工夫することで、このようなショートを考慮する必要がなくなり、スルーホール8を省略することができる。以下、第1の実施形態の変形例として、スルーホール8を省略した歪みセンサアレイ1A’について説明する。
図10は、本変形例に係る歪みアレイセンサ1A’の平面図である。複数の横配線4は、幅方向に並んで配置されており、それぞれが基材2の長手方向に延在している。ただし、複数の横配線4の延在長は同一ではなく、接続先である歪みセンサ3がコネクタ6から離れるほど、その延在長が長く、かつ、幅方向の外側に配置されている。具体的には、コネクタ6から最も離れた歪みセンサ3aに接続される横配線4は、最も長い延在長L1を有しており、幅方向の最も外側に配置されている。歪みセンサ3aよりもコネクタ6に近い歪みセンサ3bに接続される横配線4は、延在長L2(L2<L1)を有しており、延在長L1の横配線4よりも内側に配置されている。歪みセンサ3bよりもコネクタ6に近い歪みセンサ3cに接続される横配線4は、延在長L3(L3<L2)を有しており、延在長L2の横配線4よりも内側に配置されている。そして、コネクタ6に最も近い歪みセンサ3dに接続される横配線4は、延在長L4(L4<L3)を有しており、幅方向の最も内側に配置されている。
本変形例に係る歪みセンサアレイ1A’の製造方法が上述した歪みセンサアレイ1Aのそれと相違する点は、第1に、縦横の配線4,5が同一層に形成されることである。図11は、横配線4および縦配線5の形成工程の説明図であり、図10のA−A断面を示す。下基材層2aの上面に、複数の横配線4および複数の縦配線5の双方が形成・配置される。これらの配線4,5の形成は、例えば、ディスペンサーを用いて液状の導電材を所定の位置に塗布・固化することよって行われる。図10の構成では、接続先となる歪みセンサ3に縦配線5を接続する際、縦配線5が不要な横配線4と交差することはないので、縦横の配線4,5を同一層上に形成することができる。
第2の相違点は、上基材層2aにおけるスルーホール8の形成が不要なことである。図11に示した配線の形成工程において、それぞれの縦配線5は、ショートを招くことなく、接続先となる横配線4および歪みセンサ3に同一層上で接続される。したがって、縦横の配線4,5が異なる層に存在することを前提に形成されるスルーホール8を設ける必要はない。その他については、上述した第1の実施形態と同様の工程を経て、図12に示す歪みセンサアレイ1A’が完成する。なお、同図において、上述した第1の実施形態と同様の部位については、同一の符号を付して、ここでの説明を省略する。
このように、本変形例によれば、第1の実施形態と同様の作用効果を奏するほか、スルーホール8を形成することなく、省工程化されたプロセスで歪みセンサアレイ1A’が製造できるので、生産性の向上を図ることができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態では、横配線4の一形態として、1本の独立した部材である金属ワイヤーを用いて、図1と同様の構成を有する歪みセンサアレイを製造する方法について説明する。まず、図13に示すように、下基材層2aの上面に、基材2の長手方向に複数の歪みセンサ3が印刷などによって形成・配置される。つぎに、図14に示すように、上基材層2bの下面に、歪みセンサ3を避けるように接着層7bが形成され、その上で、上基材層2bの上下を貫通するスルーホール8が形成される。そして、図15に示すように、下基材層2aの上面に、歪みセンサ3を避けるように接着層7cが形成され、その上で、長手方向に延在する複数の金属ワイヤー4cが所定の位置に配置される。
第2の実施形態では、横配線4の一形態として、1本の独立した部材である金属ワイヤーを用いて、図1と同様の構成を有する歪みセンサアレイを製造する方法について説明する。まず、図13に示すように、下基材層2aの上面に、基材2の長手方向に複数の歪みセンサ3が印刷などによって形成・配置される。つぎに、図14に示すように、上基材層2bの下面に、歪みセンサ3を避けるように接着層7bが形成され、その上で、上基材層2bの上下を貫通するスルーホール8が形成される。そして、図15に示すように、下基材層2aの上面に、歪みセンサ3を避けるように接着層7cが形成され、その上で、長手方向に延在する複数の金属ワイヤー4cが所定の位置に配置される。
金属ワイヤー4cの配置工程では、図16に示すようなローラー9付の搬送機構を用いることができる。上下の基材層2a,2bの間に金属ワイヤー4cが介在している状態で、これらを矢印で示した搬送方向に引っ張る。これにより、上下の基材層2a,2bおよび金属ワイヤー4cは、搬送途中に設けられた上下のローラー9によって接合され、図17に示すような積層体として一体化される。このようなローラー機構を用いることで、金属ワイヤー4cの配置工程と、積層体の一体化工程とを単一の工程で同時に実現することができる。なお、上基材層2bに設けられたスルーホール8内には、縦配線5の接続先となる金属ワイヤー4cが臨んでいる。その後、第1の実施形態と同様の工程を経て、図18に示した歪みセンサアレイ1Bが完成する。
このように、第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の作用効果を奏する他、特に、横配線4として、それぞれが別個の部材である金属ワイヤー4cを用いることで、横配線4が長大化しても、これに起因した電圧変化を有効に抑制できる。その結果、広範囲を計測するために、歪みセンサアレイ1Bの延在長が長大化しても、個々の歪みセンサ3の検知特性を平準化できる。
(第3の実施形態)
図19は、第3の実施形態に係る歪みセンサアレイの断面図である。この歪みセンサアレイ1Cが上述した各実施形態と異なる点は、歪みセンサ3の配置位置と、これに伴う縦配線5の接続関係である。具体的には、歪みセンサ3は、上下の基材層2a,2bによって挟持されるのではなく、上基材層2bの上面に設けられている。また、歪みセンサ3および横配線4(金属ワイヤー4cであってもよい。)は別の層に配置されているため、1つのコンタクトホール8(第1の実施形態では2つ)を介して両者が接続される。それ以外の点は、同一の構成なので、同一の符号を付してここでの説明を省略する。
図19は、第3の実施形態に係る歪みセンサアレイの断面図である。この歪みセンサアレイ1Cが上述した各実施形態と異なる点は、歪みセンサ3の配置位置と、これに伴う縦配線5の接続関係である。具体的には、歪みセンサ3は、上下の基材層2a,2bによって挟持されるのではなく、上基材層2bの上面に設けられている。また、歪みセンサ3および横配線4(金属ワイヤー4cであってもよい。)は別の層に配置されているため、1つのコンタクトホール8(第1の実施形態では2つ)を介して両者が接続される。それ以外の点は、同一の構成なので、同一の符号を付してここでの説明を省略する。
本実施形態に係る歪みセンサアレイ1Cの製造方法について説明する。本製造方法も、基材2に歪みセンサ3を設ける工程、基材2に横配線4を設ける工程、基材2に縦配線5を設ける工程、および、基材2の層間を貫通するスルーホール8を形成することによって、歪みセンサ3と横配線4との間を縦配線5を介して接続する工程を有する点において、第1の実施形態と同様である。
まず、図20に示すような積層体を用意する。この積層体は、図7の構成とは異なり、上下の基材層2a,2bの間に歪みセンサ3が設けられておらず、横配線4のみが挟持されている。つぎに、図21に示すように、上基材層2bの上面に、基材2の長手方向に延在する複数の歪みセンサ3が形成・配置される。それとともに、上基材層2bの所定の位置に設けられたスルーホール8が導電材5aで埋設される。最後に、上基材層2bの上面に、横配線4と交差する方向に延在する導電材5bが形成される。これによって、異なる層に形成された歪みセンサ3および横配線4は、縦配線5を介して接続される。最後に、上下の基材層2a,2bの積層体である基材2の一端側にコネクタ6を取り付けることによって、歪みセンサアレイ1Cが完成する。
このように、第3の実施形態によれば、上述した各実施形態と同様の作用効果を奏する。なお、本実施形態では、歪みセンサ3と検知面(下基材層2aの下面)との間には上下の基材層2a,2bが介在するのに対し、第1の実施形態では、下基材層2aのみが介在する。したがって、第1の実施形態の方が第2の実施形態よりも、歪みセンサ3と検知面との間を薄くできる。これは、歪みセンサ3の検知感度を高める上で有利である。
(第4の実施形態)
上述した第1から第3の実施形態は、基本的に、複数の歪みセンサ3を長手方向に間隔を空けて配置することによって、それぞれの歪みセンサ3を電気的に分離するものであるが、本実施形態では、歪みセンサ3を電気的に分離する手法として、スイッチを用いた時分割制御について説明する。
上述した第1から第3の実施形態は、基本的に、複数の歪みセンサ3を長手方向に間隔を空けて配置することによって、それぞれの歪みセンサ3を電気的に分離するものであるが、本実施形態では、歪みセンサ3を電気的に分離する手法として、スイッチを用いた時分割制御について説明する。
図22は、第4の実施形態に係る歪みセンサアレイの平面図である。この歪みセンサアレイ1Dでは、1本の連続した歪みセンサ部材に対して、複数の入力線4aのいずれかと、複数の出力線4bのいずれかとが、所定の間隔で交互に接続されている。それぞれの歪みセンサ3a〜3dは、1本の連続した歪みセンサ部材を複数に分割した範囲、より具体的には、互いに隣接した一対の入出力線4a,4bに接続された延在長として規定される。
複数の入力線4aは、入力スイッチ11を介して、外部の測定装置に接続された1本の共通入力線10に接続されている。入力スイッチ11は、個々の入力線4aに対応して設けられた複数の端子11a〜11cを有し、外部から供給された選択信号に応じて、共通入力線10の接続先として端子11a〜11cのいずれかを選択する。また、複数の出力線4bは、出力スイッチ13を介して、外部の測定装置に接続された1本の共通出力線12に接続されている。出力スイッチ13は、個々の出力線4bに対応して設けられた複数の端子13a〜13cを有し、外部から供給された選択信号に応じて、共通出力線12の接続先として端子13a〜13cのいずれかを選択する。
なお、同図では、入出力スイッチ11,13を歪みセンサアレイ1Dの外部に設けた例を示しているが、歪みセンサアレイ1D内に入出力スイッチ11,13を設けてもよい。
図23は、入出力スイッチ11,13による時分割制御のタイミングチャートである。入出力線4a,4bの選択は、入出力スイッチ11,13によって時分割で制御され、入出力スイッチ11,13の切り替えは半周期ずれて行われる。具体的には、まず、期間t0〜t1では、入力スイッチ11によって端子11aが選択され、出力スイッチ13によって端子13aが選択される。これによって、端子11aに印加された一定電圧は、歪みセンサ3aの一端のみに入力されると共に、歪みセンサ3aの他端に生じた検知電圧が端子13aを介して共通出力線12に出力される。
つぎに、期間t1〜t2では、出力スイッチ13によって端子13aが選択されたまま、入力スイッチ11が切り替わり端子11bが選択される。これによって、共通入力線10より供給された一定電圧は、歪みセンサ3bの一端だけに入力されると共に、歪みセンサ3bの他端に生じた検知電圧が端子13aを介して共通出力線12に出力される。
つぎに、期間t2〜t3では、入力スイッチ11によって端子11bが選択されたまま、出力スイッチ13が切り替わり端子13bが選択される。これによって、共通入力線10より供給された一定電圧は、歪みセンサ3cの一端だけに入力されると共に、歪みセンサ3cの他端に生じた検知電圧が端子13bを介して共通出力線12に出力される。
つぎに、期間t3〜t4では、出力スイッチ13によって端子13bが選択されたまま、入力スイッチ11が切り替わり端子11cが選択される。これによって、共通入力線10より供給された一定電圧は、歪みセンサ3cd一端だけに入力されると共に、歪みセンサ3dの他端に生じた検知電圧が端子13bを介して共通出力線12に出力される。
このように、第4の実施形態によれば、スイッチ11,13を用いた入出力線4a,4bの時分割制御によって、1本の連続した歪みセンサ部材上において、複数の歪みセンサ3〜3dを規定することができる。
1A〜1D,1A’ 歪みセンサアレイ
2 基材
2a 下基材層
2b 上基材層
3,3a〜3d 歪みセンサ
4 横配線
4a 入力線
4b 出力線
4c 金属ワイヤー
5 縦配線
6 コネクタ
7b〜7c 接着層
8 スルーホール
9 ローラー
10 共通入力線
11 入力スイッチ
12 共通出力線
13 出力スイッチ
2 基材
2a 下基材層
2b 上基材層
3,3a〜3d 歪みセンサ
4 横配線
4a 入力線
4b 出力線
4c 金属ワイヤー
5 縦配線
6 コネクタ
7b〜7c 接着層
8 スルーホール
9 ローラー
10 共通入力線
11 入力スイッチ
12 共通出力線
13 出力スイッチ
Claims (17)
- 歪みセンサアレイにおいて、
可撓性を有する帯状の基材と、
前記基材の長手方向に配置された複数の歪みセンサと、
前記基材の長手方向に延在する複数の第1の配線と、
前記第1の配線と交差する方向に延在し、前記第1の配線のいずれかと、前記歪みセンサのいずれかとを個別に接続する複数の第2の配線と
を有することを特徴とする歪みセンサアレイ。 - 前記基材の一端側に設けられ、前記複数の第1の配線のそれぞれの端部が集約されたコネクタをさらに有することを特徴とする請求項1に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記第1の配線は、金属ワイヤーによって形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記第1の配線は、ディスペンサーを用いた印刷によって形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記第1の配線及び前記第2の配線は、予め一面に金属層が形成されたフレキシブル基板の前記金属層部分を配線パターンに沿ってトリミングすることにより形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記基材は、複数の基材層を積層することによって構成されており、
前記複数の歪みセンサおよび前記複数の第1の配線は、前記複数の基材層によって挟持されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載された歪みセンサアレイ。 - 前記第2の配線は、前記第1の配線とは異なる層に設けられており、前記基材層のいずれかに設けられたスルーホールを介して、前記第1の配線に接続されていることを特徴とする請求項6に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記第2の配線は、スルーホールを介することなく、前記第2の配線と同じ層に設けられた前記第1の配線に接続されていることを特徴とする請求項6に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記複数の基材層は、前記複数の歪みセンサの配置部位には介在することなく設けられた接着層を介して、互いに接合されていることを特徴とする請求項6に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記歪みセンサは、前記複数の基材層における対向面に設けられていることを特徴とする請求項6に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記第2の配線は、前記複数の基材層の対向面とは反対の面に設けられており、前記基材層のいずれかを貫通するスルーホールを介して、前記第1の配線および前記歪みセンサに接続されていることを特徴とする請求項6に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記複数の歪みセンサは、前記基材の長手方向を一成分とする延在方向に延在していることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載された歪みセンサアレイ。
- 前記複数の歪みセンサの延在方向は、少なくとも、第1の延在方向と、前記第1の延在方向とは異なる第2の延在方向とを有することを特徴とする請求項12に記載された歪みセンサアレイ。
- 前記複数の第1の配線は、複数の入力線と、複数の出力線とを有し、
前記複数の歪みセンサは、1本の連続した歪みセンサ部材に対して、前記複数の入力線のいずれかと、前記複数の出力線のいずれかとを交互に接続し、前記入力線の選択と、前記出力線の選択とを時分割で制御することによって、規定されることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載された歪みセンサアレイ。 - 歪みセンサアレイの製造方法において、
可撓性を有する帯状の基材に、前記基材の長手方向に複数の歪みセンサを設けるステップと、
前記基材に、前記基材の長手方向に延在する複数の第1の配線を設けるステップと、
前記基材に、前記金属ワイヤーと交差する方向に延在する複数の第2の配線を設けるステップと
を有することを特徴とする歪みセンサアレイの製造方法。 - 前記複数の歪みセンサを設けるステップは、前記基材の一部である第1の基材層上に、前記複数の歪みセンサを印刷するステップであり、
前記複数の第1の配線を設けるステップは、前記第1の基材層上に、前記第1の配線としての複数の金属ワイヤーを配置するステップであり、
前記複数の第2の配線を設けるステップは、前記基材の一部であって、前記第1の基材に積層された第2の基材上に、前記複数の第2の配線を印刷するステップであることを特徴とする請求項15に記載された歪みセンサアレイの製造方法。 - 前記基材の一端側に、前記複数の第1の配線のそれぞれの端部が集約されたコネクタを取り付けるステップをさらに有することを特徴とする請求項15または16に記載された歪みセンサアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018218991A JP2020085613A (ja) | 2018-11-22 | 2018-11-22 | 歪みセンサアレイおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018218991A JP2020085613A (ja) | 2018-11-22 | 2018-11-22 | 歪みセンサアレイおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020085613A true JP2020085613A (ja) | 2020-06-04 |
Family
ID=70907616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018218991A Pending JP2020085613A (ja) | 2018-11-22 | 2018-11-22 | 歪みセンサアレイおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020085613A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023145220A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | フレキシブルセンサ及びフレキシブルセンサの製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0496101A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-27 | Rohm Co Ltd | 接続用端子付き入出力モジュール |
JP2006308551A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-11-09 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 無線式線量計 |
JP2009079976A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Natl Inst For Land & Infrastructure Management Mlit | 路面のひずみ測定装置 |
JP2011133455A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-07-07 | Tokai Rubber Ind Ltd | 曲げセンサおよび変形形状測定方法 |
JP2012007988A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Tokai Rubber Ind Ltd | 入力インターフェイス装置 |
JP2017101982A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 日本写真印刷株式会社 | 多点計測用のひずみセンサとその製造方法 |
WO2018003527A1 (ja) * | 2016-07-01 | 2018-01-04 | ソニー株式会社 | センサ、センサモジュール、ウェアラブル端末および電子機器 |
US20180267668A1 (en) * | 2018-01-12 | 2018-09-20 | Shanghai Tianma Micro-electronics Co., Ltd. | Display panel and display device |
JP2018179995A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | 戸田建設株式会社 | シート状センサ |
-
2018
- 2018-11-22 JP JP2018218991A patent/JP2020085613A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0496101A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-27 | Rohm Co Ltd | 接続用端子付き入出力モジュール |
JP2006308551A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-11-09 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 無線式線量計 |
JP2009079976A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Natl Inst For Land & Infrastructure Management Mlit | 路面のひずみ測定装置 |
JP2011133455A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-07-07 | Tokai Rubber Ind Ltd | 曲げセンサおよび変形形状測定方法 |
JP2012007988A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Tokai Rubber Ind Ltd | 入力インターフェイス装置 |
JP2017101982A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 日本写真印刷株式会社 | 多点計測用のひずみセンサとその製造方法 |
WO2018003527A1 (ja) * | 2016-07-01 | 2018-01-04 | ソニー株式会社 | センサ、センサモジュール、ウェアラブル端末および電子機器 |
JP2018179995A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | 戸田建設株式会社 | シート状センサ |
US20180267668A1 (en) * | 2018-01-12 | 2018-09-20 | Shanghai Tianma Micro-electronics Co., Ltd. | Display panel and display device |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023145220A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | フレキシブルセンサ及びフレキシブルセンサの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10190864B2 (en) | Multipoint-measurement strain sensor and method for producing the same | |
WO2017094368A1 (ja) | 多点計測用のひずみセンサとその製造方法 | |
US9739671B2 (en) | Pressing force sensor | |
CN109213369B (zh) | 一种触摸屏及oled显示面板 | |
US6522052B2 (en) | Multilayer-type piezoelectric actuator | |
US4638468A (en) | Polymer hydrophone array with multilayer printed circuit wiring | |
JP5987444B2 (ja) | 熱電変換デバイス及びその製造方法 | |
KR102534083B1 (ko) | 감압 센서 | |
WO2016063737A1 (ja) | 粒子状物質検出センサ | |
KR20160088373A (ko) | 투명 도전성 적층체, 터치 패널 및, 표시 장치 | |
US10690559B1 (en) | Pressure sensor array and the method of making | |
US11346862B2 (en) | Current sensing device | |
CN112703567A (zh) | 应变传感电阻器 | |
EP3054275B1 (en) | Sensor module and method for producing sensor module | |
JP2020085613A (ja) | 歪みセンサアレイおよびその製造方法 | |
KR102437316B1 (ko) | 정전용량 센서 소자 및 그 제조 방법 | |
JPH06123604A (ja) | 曲げセンサ | |
JPWO2020031844A1 (ja) | 抵抗器 | |
JP2020521975A (ja) | ひずみゲージならびにこうしたひずみゲージを有する金属帯 | |
KR102383052B1 (ko) | 섬유형 압력센서의 제조방법 및 이를 이용한 섬유형 압력센서 | |
CN109725762B (zh) | 触摸面板及触摸面板的生产方法 | |
TWI375045B (en) | Testing circuit and method for manufacturing and using the same | |
JP2005164469A (ja) | 電流検出用抵抗装置およびその製造方法 | |
JP6454001B2 (ja) | 撮像用部品およびこれを備える撮像モジュール | |
CN210981621U (zh) | 一种电阻式压力传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221018 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230414 |