JP2020082201A - Saw wire - Google Patents

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Abstract

To provide a saw wire that has excellent cutting efficiency and yields a cutting surface of excellent accuracy.SOLUTION: A saw wire 2 has a first semi-curing part 4, a second semi-curing part 6, a third semi-curing part 8, and a straight part 10. The first semi-curing part has a wave shape that vibrates in a plane. The second semi-curing part has a deformation including a first wave component that vibrates in a plane and a second wave component that vibrates in a plane different from the plane of the first wave component. The third semi-curing part has a wave shape that vibrates in a plane different from the plane of the first semi-curing part. The straight part has no wave shape. The vibration direction of the first wave component substantially coincides with the vibration direction of a wave in the first semi-curing part. The vibration direction of the second wave component substantially coincides with the vibration direction of the wave in the third semi-curing part.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ソーワイヤに関する。詳細には、本発明は、ソーワイヤのくせ付けの改良に関する。 The present invention relates to saw wires. In particular, the present invention relates to improving the squirting of saw wires.

半導体インゴットのスライスに、ソーワイヤが用いられている。スライスにより、ウエハが得られる。固定砥粒式のソーワイヤ及び遊離砥粒式のソーワイヤが、使用されている。固定砥粒式のソーワイヤは、切削効率に優れる。しかし、固定砥粒式のソーワイヤで得られた切削面は、寸法精度に劣る。ウエハの性能の観点から、遊離砥粒式のソーワイヤが有利である。 Saw wire is used for slicing a semiconductor ingot. A wafer is obtained by slicing. Fixed-abrasive saw wires and loose-abrasive saw wires have been used. The fixed-abrasive saw wire has excellent cutting efficiency. However, the cutting surface obtained by the fixed-abrasive saw wire has poor dimensional accuracy. From the viewpoint of wafer performance, a free-abrasive saw wire is advantageous.

遊離砥粒式のソーワイヤでは、スライスに先だってこのソーワイヤにスラリーが吹き付けられる。このスラリーは、砥粒を含んでいる。ソーワイヤの走行により、砥粒はインゴットとソーワイヤとの間に引き込まれる。この砥粒の移動によってインゴットが切削され、スライスが達成される。多くの砥粒を引き込みうるソーワイヤは、切削効率に優れる。多くの砥粒を引き込みうるソーワイヤは、切削面の寸法精度にも寄与しうる。 With free-abrasive saw wire, the slurry is sprayed onto the saw wire prior to slicing. This slurry contains abrasive grains. The traveling of the saw wire causes the abrasive grains to be drawn between the ingot and the saw wire. The movement of the abrasive grains cuts the ingot to achieve slicing. A saw wire that can draw in many abrasive grains has excellent cutting efficiency. The saw wire that can draw in many abrasive grains can also contribute to the dimensional accuracy of the cutting surface.

特開２００４−２７６２０７公報には、くせ付けされたソーワイヤが開示されている。このくせは、波形状を有する。波は、山と谷とを有する。砥粒は谷に補足され、インゴットの内部を進行する。このソーワイヤは、多くの砥粒を引き込みうる。 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-276207 discloses a stiff saw wire. This habit has a wavy shape. The wave has peaks and valleys. Abrasive grains are trapped in the valleys and travel inside the ingot. This saw wire can pull in many abrasive grains.

同様のくせ付けがなされたソーワイヤが、特表２００８−５１９６９８公報に開示されている。このソーワイヤは、２の波を有する。一方の波の振動方向は、他方の波の振動方向とは異なる。 A saw wire having a similar curl is disclosed in Japanese Patent Publication No. 2008-519698. This saw wire has two waves. The vibration direction of one wave is different from the vibration direction of the other wave.

特開２００４−２７６２０７公報JP, 2004-276207, A 特表２００８−５１９６９８公報Special table 2008-519698 gazette

ソーワイヤの切削効率の向上が、望まれている。切削面の精度のさらなる向上も、望まれている。本発明の目的は、これらの要望に応えうるソーワイヤの提供にある。 It is desired to improve the cutting efficiency of saw wires. Further improvement in the accuracy of the cutting surface is also desired. An object of the present invention is to provide a saw wire that can meet these demands.

本発明に係るソーワイヤは、第一くせ付け部と第二くせ付け部とを有する。第一くせ付け部は、平面において振動する波の形状を有する。第二くせ付け部は、平面において振動する第一波成分と、この第一波成分の平面とは異なる平面で振動する第二波成分とを含むくせを有する。 The saw wire according to the present invention has a first squeezing portion and a second squeezing portion. The first baffle portion has a wave shape that oscillates in a plane. The second peculiar portion has a peculiarity that includes a first wave component that vibrates in a plane and a second wave component that vibrates in a plane different from the plane of the first wave component.

好ましくは、第二波成分の振動方向は、第一波成分の振動方向と実質的に垂直である。 Preferably, the vibration direction of the second wave component is substantially perpendicular to the vibration direction of the first wave component.

好ましくは、ソーワイヤは、第三くせ付け部をさらに備える。好ましくは、第三くせ付け部は、第一くせ付け部の平面とは異なる平面において振動する波の形状を有する。 Preferably, the saw wire further includes a third brace. Preferably, the third squeezing portion has a wave shape that oscillates in a plane different from the plane of the first squeezing portion.

好ましくは、第三くせ付け部における波の振動方向は、第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に垂直である。 Preferably, the vibration direction of the wave in the third brace is substantially perpendicular to the vibration direction of the wave in the first brace.

好ましくは、第一波成分の振動方向は、第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致する。好ましくは、第二波成分の振動方向は、第三くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致する。 Preferably, the vibration direction of the first wave component substantially coincides with the vibration direction of the wave in the first squeezing portion. Preferably, the vibration direction of the second wave component substantially coincides with the vibration direction of the wave in the third squeezing portion.

好ましくは、ソーワイヤは、波の形状を有さない中間部をさらに備える。 Preferably, the saw wire further comprises an intermediate portion having no wave shape.

本発明に係るソーワイヤは２以上のくせ付け部を有するので、砥粒の引き込み性能に優れている。このソーワイヤにより、効率のよい切削がなされうる。このソーワイヤにより、寸法精度のよい切削面が得られる。 Since the saw wire according to the present invention has two or more squeezing portions, it has excellent abrasive grain drawing performance. With this saw wire, efficient cutting can be performed. With this saw wire, a cutting surface with good dimensional accuracy can be obtained.

図１（ａ）は本発明の一実施形態に係るソーワイヤの一部が示された正面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のソーワイヤが示された平面図である。FIG. 1A is a front view showing a part of a saw wire according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a plan view showing the saw wire of FIG. 1A. 図２は、図１のソーワイヤの第一くせ付け部が示された拡大右側面図である。FIG. 2 is an enlarged right side view showing the first gusset portion of the saw wire of FIG. 1. 図３は、図２の第一くせ付け部の一部が示された拡大正面図である。FIG. 3 is an enlarged front view showing a part of the first baffle portion of FIG. 2. 図４は、図１のソーワイヤの第二くせ付け部の一部が示された拡大右側面図である。FIG. 4 is an enlarged right side view showing a part of the second squeezing portion of the saw wire of FIG. 1. 図５は、図４の第二くせ付け部の第一波成分が示された模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing the first wave component of the second squeezing portion of FIG. 図６は、図４の第二くせ付け部の第二波成分が示された模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing the second wave component of the second squeezing portion of FIG. 図４は、図１のソーワイヤの第三くせ付け部が示された拡大右側面図である。FIG. 4 is an enlarged right side view showing the third brace portion of the saw wire of FIG. 1. 図８は、図７の第三くせ付け部の一部が示された拡大正面図である。FIG. 8 is an enlarged front view showing a part of the third baffle portion of FIG. 7. 図９は、図１のソーワイヤのためのくせ付け装置の一部が示された模式図である。FIG. 9 is a schematic view showing a part of the brace device for the saw wire of FIG. 1.

以下、適宜図面が参照されつつ、好ましい実施形態に基づいて本発明が詳細に説明される。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on preferred embodiments with reference to the drawings as appropriate.

図１（ａ）及び（ｂ）並びに図２に、ソーワイヤ２が示されている。図１（ａ）において、上下方向（Ｙ方向）は鉛直方向であり、左右方向（Ｘ方向）は水平方向である。図１（ｂ）において、上下方向（Ｚ方向）は水平方向であり、左右方向（Ｘ方向）も水平方向である。Ｘ方向は、このソーワイヤ２の長さ方向でもある。このソーワイヤ２は、ソーマシンに装着されて、図１（ａ）の左向きに走行する。 A saw wire 2 is shown in FIGS. 1(a) and 1(b) and FIG. In FIG. 1A, the vertical direction (Y direction) is the vertical direction, and the horizontal direction (X direction) is the horizontal direction. In FIG. 1B, the vertical direction (Z direction) is the horizontal direction, and the horizontal direction (X direction) is also the horizontal direction. The X direction is also the length direction of the saw wire 2. The saw wire 2 is attached to a saw machine and runs leftward in FIG.

このソーワイヤ２は、第一くせ付け部４、第二くせ付け部６、第三くせ付け部８及びストレート部１０を有している。第二くせ付け部６は、第一くせ付け部４よりも下流に位置している。第三くせ付け部８は、第二くせ付け部６よりも下流に位置している。ストレート部１０は、第三くせ付け部８よりも下流に位置している。第一くせ付け部４、第二くせ付け部６、第三くせ付け部８及びストレート部１０が、１つのサイクルを形成している。このソーワイヤ２では、長さ方向に沿って複数のサイクルが規則的に配置されている。複数の第一くせ付け部４、複数の第二くせ付け部６、複数の第三くせ付け部８及び複数のストレート部１０が、不規則に配置されてもよい。 The saw wire 2 has a first squeezing portion 4, a second squeezing portion 6, a third squeezing portion 8, and a straight portion 10. The second peculiar portion 6 is located downstream of the first peculiar portion 4. The third peculiar portion 8 is located downstream of the second peculiar portion 6. The straight portion 10 is located downstream of the third straightening portion 8. The first squeezing portion 4, the second squeezing portion 6, the third squeezing portion 8 and the straight portion 10 form one cycle. In the saw wire 2, a plurality of cycles are regularly arranged along the length direction. The plurality of first squeezing portions 4, the plurality of second squeezing portions 6, the plurality of third squeezing portions 8, and the plurality of straight portions 10 may be arranged irregularly.

図２には、第一くせ付け部４が示されている。第一くせ付け部４は、波の形状を有する。図１（ａ）及び（ｂ）並びに図２を併せて参照すれば明らかな通り、第一くせ付け部４の波は、Ｘ−Ｙ平面において振動している。この波は、他の平面では振動していない。この波は、二次元の波である。この波は、一定波長で振動している。この波の振動方向は、Ｙ方向である。 FIG. 2 shows the first baffle portion 4. The first squeezing portion 4 has a wave shape. As will be apparent with reference to FIGS. 1A and 1B and FIG. 2 together, the wave of the first peculiar portion 4 vibrates in the XY plane. This wave is not oscillating in other planes. This wave is a two-dimensional wave. This wave oscillates at a constant wavelength. The vibration direction of this wave is the Y direction.

図３は、図１（ａ）のソーワイヤ２の第一くせ付け部４の一部が示された拡大正面図である。前述の通り、第一くせ付け部４の形状は、Ｙ方向に振動する波である。第一くせ付け部４は、山１２と谷１４とを有している。多数の山１２と多数の谷１４とが、交互に並んでいる（図１（ａ）も参照）。第一くせ付け部４は、山１２又は谷１４に砥粒を補足し、切削面へと引き込む。１つの第一くせ付け部４における山１２の数は、５以上３００以下が好ましく、１０以上２００以下が好ましい。谷１４の数は、山１２の数とほぼ同じである。 FIG. 3 is an enlarged front view showing a part of the first squeezing portion 4 of the saw wire 2 of FIG. As described above, the shape of the first baffle portion 4 is a wave that vibrates in the Y direction. The first peculiar portion 4 has a mountain 12 and a valley 14. A large number of peaks 12 and a large number of valleys 14 are alternately arranged (see also FIG. 1A). The first peculiarizing portion 4 supplements the ridges 12 or the valleys 14 with abrasive grains and draws them into the cutting surface. The number of peaks 12 in one first squeezing portion 4 is preferably 5 or more and 300 or less, and more preferably 10 or more and 200 or less. The number of valleys 14 is approximately the same as the number of peaks 12.

図３において、矢印ＷＬ１で示されているのは波長であり、矢印ＷＨ１で示されているのは波高である。波長ＷＬ１は０．２ｍｍ以上５０ｍｍ以下が好ましく、０．３ｍｍ以上４０ｍｍ以下が特に好ましい。波高ＷＨ１は０．１０ｍｍ以上０．２５ｍｍ以下が好ましく、０．１１ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下が特に好ましい。 In FIG. 3, an arrow WL1 indicates a wavelength, and an arrow WH1 indicates a wave height. The wavelength WL1 is preferably 0.2 mm or more and 50 mm or less, and particularly preferably 0.3 mm or more and 40 mm or less. The wave height WH1 is preferably 0.10 mm or more and 0.25 mm or less, and particularly preferably 0.11 mm or more and 0.20 mm or less.

好ましくは、波長ＷＬ１は、下記の数式を満たす。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ１ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、波長ＷＬ１は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ１は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。 Preferably, the wavelength WL1 satisfies the following formula.
1.1 * Di ≤ WL1 ≤ 50 * Di
In this mathematical formula, Di represents the wire diameter (see FIG. 4). In other words, the wavelength WL1 is 1.1 times or more and 50 times or less the wire diameter Di. Preferably, the wavelength WL1 is 3 times or more and 40 times or less of the wire diameter Di.

好ましくは、波高ＷＨ１は、下記の数式を満たす。
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ１ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、波高ＷＨ１は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ１は、線径Ｄｉの１．１０倍以上３倍以下である。 Preferably, the wave height WH1 satisfies the following mathematical formula.
1.05 * Di ≤ WH1 ≤ 5 * Di
In this mathematical formula, Di represents the wire diameter (see FIG. 4). In other words, the wave height WH1 is 1.05 times or more and 5 times or less the wire diameter Di. Preferably, the wave height WH1 is 1.10 times or more and 3 times or less of the wire diameter Di.

図４は、図１のソーワイヤ２の第二くせ付け部６の一部が示された拡大右側面図である。第二くせ付け部６は、波状のくせを有している。このくせは、図４に模式的に示された、第一波成分１６及び第二波成分１８が複合された形状を有する。くせが、３以上の波成分が複合された形状を有してもよい。 FIG. 4 is an enlarged right side view showing a part of the second squeezing portion 6 of the saw wire 2 of FIG. The second peculiar portion 6 has a wavy peculiarity. This habit has a shape in which the first wave component 16 and the second wave component 18 are compounded, which is schematically shown in FIG. The habit may have a shape in which three or more wave components are combined.

図５には、第一波成分１６が模式的に示されている。図４及び５から明らかな通り、第一波成分１６は、Ｘ−Ｙ平面において、振動している。第一波成分１６は、他の平面では振動していない。第一波成分１６は、二次元の波である。第一波成分１６は、一定波長で振動している。第一波成分１６の波の振動方向は、Ｙ方向である。第一波成分１６の波の振動方向は、第一くせ付け部４の波振動方向と一致している。第一波成分１６の波の振動方向が、第一くせ付け部４の波振動方向と異なってもよい。 In FIG. 5, the first wave component 16 is schematically shown. As is clear from FIGS. 4 and 5, the first wave component 16 is oscillating in the XY plane. The first wave component 16 does not vibrate on other planes. The first wave component 16 is a two-dimensional wave. The first wave component 16 vibrates at a constant wavelength. The vibration direction of the wave of the first wave component 16 is the Y direction. The vibration direction of the wave of the first wave component 16 coincides with the wave vibration direction of the first squeezing portion 4. The vibration direction of the wave of the first wave component 16 may be different from the vibration direction of the wave of the first inclining portion 4.

図５に示されるように、第一波成分１６は、多数の山２０と多数の谷２２とを有している。これらの山２０及び谷２２は、Ｘ方向に沿って交互に配置されている。ソーワイヤ２は、第一波成分１６の山２０又は谷２２において砥粒を補足し、切削面へと引き込む。図５において、矢印ＷＬ２１は第一波成分１６の波長を表し、矢印ＷＨ２１は第一波成分１６の波高を表す。 As shown in FIG. 5, the first wave component 16 has many peaks 20 and many valleys 22. These peaks 20 and valleys 22 are alternately arranged along the X direction. The saw wire 2 captures the abrasive grains at the peaks 20 or the valleys 22 of the first wave component 16 and draws them into the cutting surface. In FIG. 5, arrow WL21 represents the wavelength of the first wave component 16, and arrow WH21 represents the wave height of the first wave component 16.

好ましくは、第一波成分１６の波長ＷＬ２１は、下記の数式を満たす。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ２１ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、第一波成分１６の波長ＷＬ２１は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ２１は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。 Preferably, the wavelength WL21 of the first wave component 16 satisfies the following formula.
1.1 * Di ≤ WL21 ≤ 50 * Di
In this mathematical formula, Di represents the wire diameter (see FIG. 4). In other words, the wavelength WL21 of the first wave component 16 is 1.1 times or more and 50 times or less of the wire diameter Di. Preferably, the wavelength WL21 is 3 times or more and 40 times or less of the wire diameter Di.

好ましくは、第一波成分１６の波高ＷＨ２１は、下記の数式を満たす。
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ２１ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、第一波成分１６の波高ＷＨ２１は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ２１は、線径Ｄｉの１．１０倍以上３倍以下である。 Preferably, the wave height WH21 of the first wave component 16 satisfies the following formula.
1.05*Di≦WH21≦5*Di
In this mathematical formula, Di represents the wire diameter (see FIG. 4). In other words, the wave height WH21 of the first wave component 16 is 1.05 times or more and 5 times or less the wire diameter Di. Preferably, the wave height WH21 is 1.10 times or more and 3 times or less of the wire diameter Di.

図６には、第二波成分１８が模式的に示されている。図４及び６から明らかな通り、第二波成分１８は、Ｘ−Ｚ平面において、振動している。第二波成分１８は、他の平面では振動していない。第二波成分１８は、二次元の波である。第二波成分１８は、一定波長で振動している。第二波成分１８の波の振動方向は、Ｚ方向である。第二波成分１８の振動方向は、第一波成分１６の振動方向と異なる。本実施形態では、第一波成分１６の振動方向は、第二波成分１８の振動方向と実質的に垂直である。換言すれば、第二波成分１８の振動方向の、第一波成分１６の振動方向に対する角度θ２１−２２は、９０°である（図４参照）。角度θ２１−２２が９０°以外の値であってもよい。角度θ２１−２２は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。 The second wave component 18 is schematically shown in FIG. As is clear from FIGS. 4 and 6, the second wave component 18 is oscillating in the XZ plane. The second wave component 18 does not vibrate on other planes. The second wave component 18 is a two-dimensional wave. The second wave component 18 vibrates at a constant wavelength. The vibration direction of the wave of the second wave component 18 is the Z direction. The vibration direction of the second wave component 18 is different from the vibration direction of the first wave component 16. In the present embodiment, the vibration direction of the first wave component 16 is substantially perpendicular to the vibration direction of the second wave component 18. In other words, the angle θ 21-22 of the vibration direction of the second wave component 18 with respect to the vibration direction of the first wave component 16 is 90° (see FIG. 4 ). The angle θ 21-22 may be a value other than 90°. The angle θ 21-22 is preferably 20° or more and 160° or less, and particularly preferably 30° or more and 150° or less.

図６に示されるように、第二波成分１８は、多数の山２４と多数の谷２６とを有している。これらの山２４及び谷２６は、Ｘ方向に沿って交互に配置されている。ソーワイヤ２は、第二波成分１８の山２４又は谷２６において砥粒を補足し、切削面へと引き込む。図６において、矢印ＷＬ２２は第二波成分１８の波長を表し、矢印ＷＨ２２は第二波成分１８の波高を表す。 As shown in FIG. 6, the second wave component 18 has many peaks 24 and many valleys 26. These peaks 24 and valleys 26 are alternately arranged along the X direction. The saw wire 2 captures the abrasive grains at the peaks 24 or the valleys 26 of the second wave component 18 and draws them into the cutting surface. In FIG. 6, the arrow WL22 represents the wavelength of the second wave component 18, and the arrow WH22 represents the wave height of the second wave component 18.

好ましくは、第二波成分１８の波長ＷＬ２２は、下記の数式を満たす。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ２２ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、第二波成分１８の波長ＷＬ２２は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ２２は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。 Preferably, the wavelength WL22 of the second wave component 18 satisfies the following formula.
1.1 * Di ≤ WL22 ≤ 50 * Di
In this mathematical formula, Di represents the wire diameter (see FIG. 4). In other words, the wavelength WL22 of the second wave component 18 is 1.1 times or more and 50 times or less of the wire diameter Di. Preferably, the wavelength WL22 is 3 times or more and 40 times or less of the wire diameter Di.

好ましくは、第二波成分１８の波高ＷＨ２２は、下記の数式を満たす。
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ２２ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、第二波成分１８の波高ＷＨ２２は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ２２は、線径Ｄｉの１．１０倍以上３倍以下である。 Preferably, the wave height WH22 of the second wave component 18 satisfies the following formula.
1.05 * Di ≤ WH22 ≤ 5 * Di
In this mathematical formula, Di represents the wire diameter (see FIG. 4). In other words, the wave height WH22 of the second wave component 18 is 1.05 times or more and 5 times or less the wire diameter Di. Preferably, the wave height WH22 is 1.10 times or more and 3 times or less the wire diameter Di.

第二波成分１８の波長ＷＬ２２が、第一波成分１６の波長ＷＬ２１と同じであってもよい。波長ＷＬ２２が、波長ＷＬ２１と異なってもよい。第二波成分１８の波高ＷＨ２２が、第一波成分１６の波高ＷＨ２１と同じであってもよい。波高ＷＨ２２が、波高ＷＨ２１と異なってもよい。 The wavelength WL22 of the second wave component 18 may be the same as the wavelength WL21 of the first wave component 16. The wavelength WL22 may be different from the wavelength WL21. The wave height WH22 of the second wave component 18 may be the same as the wave height WH21 of the first wave component 16. The wave height WH22 may be different from the wave height WH21.

第一波成分１６及び第二波成分１８は、前述の通り、二次元の波である。第一波成分１６及び第二波成分１８が複合することで、三次元の波が形成される。このソーワイヤ２２の第二くせ付け部６のくせは、三次元形状を有する。 The first wave component 16 and the second wave component 18 are two-dimensional waves as described above. A three-dimensional wave is formed by combining the first wave component 16 and the second wave component 18. The habit of the second compliant portion 6 of the saw wire 22 has a three-dimensional shape.

図７には、第三くせ付け部８が示されている。第三くせ付け部８は、波の形状を有する。図１（ａ）及び（ｂ）並びに図７を併せて参照すれば明らかな通り、第三くせ付け部８の波は、Ｘ−Ｚ平面において振動している。この波は、他の平面では振動していない。この波は、二次元の波である。この波は、一定波長で振動している。この波の振動方向は、Ｚ方向である。この振動方向は、第一くせ付け部４の波の振動方向と異なる。この振動方向は、第一くせ付け部４の波の振動方向と実質的に垂直である。換言すれば、第三くせ付け部８の波の振動方向が、第一くせ付け部４の波の振動方向に対してなす角度θ１−３は、９０°である。角度θ１−３が９０°以外の値であってもよい。角度θ１−３は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。 FIG. 7 shows the third baffle portion 8. The third peculiar portion 8 has a wave shape. As is clear with reference to FIGS. 1A and 1B and FIG. 7 together, the wave of the third squeezing portion 8 vibrates in the XZ plane. This wave is not oscillating in other planes. This wave is a two-dimensional wave. This wave oscillates at a constant wavelength. The vibration direction of this wave is the Z direction. This vibrating direction is different from the vibrating direction of the waves of the first baffle portion 4. This vibrating direction is substantially perpendicular to the vibrating direction of the waves of the first baffle portion 4. In other words, the angle θ 1-3 formed by the vibration direction of the wave of the third peculiar portion 8 with respect to the vibration direction of the wave of the first peculiar portion 4 is 90°. The angle θ 1-3 may be a value other than 90°. The angle θ 1-3 is preferably 20° or more and 160° or less, and particularly preferably 30° or more and 150° or less.

第三くせ付け部８の波の振動方向は、第二波成分の波の振動方向と一致している。第三くせ付け部８の波の振動方向が、第二波成分の波の振動方向と異なってもよい。 The vibration direction of the wave of the third squeezing portion 8 coincides with the vibration direction of the wave of the second wave component. The vibration direction of the wave of the third baffle portion 8 may be different from the vibration direction of the wave of the second wave component.

図８は、図７の第三くせ付け部８の一部が示された拡大正面図である。前述の通り、第三くせ付け部８の形状は、Ｚ方向に振動する波である。第三くせ付け部８は、山２８と谷３０とを有している。多数の山２８と多数の谷３０とが、交互に並んでいる（図１（ｂ）も参照）。第三くせ付け部８は、山２８又は谷３０に砥粒を補足し、切削面へと引き込む。１つの第三くせ付け部８における山２８の数は、５以上３００以下が好ましく、１０以上２００以下が好ましい。谷３０の数は、山２８の数とほぼ同じである。 FIG. 8 is an enlarged front view showing a part of the third inclining portion 8 of FIG. 7. As described above, the shape of the third baffle portion 8 is a wave vibrating in the Z direction. The third peculiar portion 8 has a mountain 28 and a valley 30. A large number of peaks 28 and a large number of valleys 30 are alternately arranged (see also FIG. 1B). The third peculiar portion 8 supplements the ridges 28 or the valleys 30 with the abrasive grains and draws them into the cutting surface. The number of peaks 28 in one third squeezing portion 8 is preferably 5 or more and 300 or less, and more preferably 10 or more and 200 or less. The number of valleys 30 is approximately the same as the number of peaks 28.

図８において、矢印ＷＬ３で示されているのは波長であり、矢印ＷＨ３で示されているのは波高である。波長ＷＬ３は０．２ｍｍ以上５０ｍｍ以下が好ましく、０．３ｍｍ以上４０ｍｍ以下が特に好ましい。波高ＷＨ３は０．１０ｍｍ以上０．２５ｍｍ以下が好ましく、０．１１ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下が特に好ましい。 In FIG. 8, an arrow WL3 indicates a wavelength, and an arrow WH3 indicates a wave height. The wavelength WL3 is preferably 0.2 mm or more and 50 mm or less, and particularly preferably 0.3 mm or more and 40 mm or less. The wave height WH3 is preferably 0.10 mm or more and 0.25 mm or less, and particularly preferably 0.11 mm or more and 0.20 mm or less.

好ましくは、波長ＷＬ３は、下記の数式を満たす。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ３ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、波長ＷＬ３は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ３は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。 Preferably, the wavelength WL3 satisfies the following formula.
1.1 * Di ≤ WL3 ≤ 50 * Di
In this mathematical formula, Di represents the wire diameter (see FIG. 4). In other words, the wavelength WL3 is 1.1 times or more and 50 times or less of the wire diameter Di. Preferably, the wavelength WL3 is 3 times or more and 40 times or less of the wire diameter Di.

好ましくは、波高ＷＨ３は、下記の数式を満たす。
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ３ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、波高ＷＨ３は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ３は、線径Ｄｉの１．１０倍以上３倍以下である。 Preferably, the wave height WH3 satisfies the following formula.
1.05 * Di ≤ WH3 ≤ 5 * Di
In this mathematical formula, Di represents the wire diameter (see FIG. 4). In other words, the wave height WH3 is 1.05 times or more and 5 times or less the wire diameter Di. Preferably, the wave height WH3 is 1.10 times or more and 3 times or less of the wire diameter Di.

第三くせ付け部８の波長ＷＬ３が、第一くせ付け部４の波長ＷＬ１と同じであってもよい。波長ＷＬ３が波長ＷＬ１と異なってもよい。第三くせ付け部８の波高ＷＨ３が、第一くせ付け部４の波高ＷＨ１と同じであってもよい。波高ＷＨ３が波高ＷＨ１と異なってもよい。ソーワイヤ２が、第三くせ付け部８を有さなくてもよい。第三くせ付け部８を有さないソーワイヤ２は、第一くせ付け部４及び第二くせ付け部６の、２種のくせ付け部を有する。ソーワイヤ２が、４種以上のくせ付け部を有してもよい。 The wavelength WL3 of the third squeezing portion 8 may be the same as the wavelength WL1 of the first squeezing portion 4. The wavelength WL3 may be different from the wavelength WL1. The wave height WH3 of the third peculiarizing portion 8 may be the same as the wave height WH1 of the first peculiarizing portion 4. The wave height WH3 may be different from the wave height WH1. The saw wire 2 may not have the third baffle portion 8. The saw wire 2 that does not have the third peculiar part 8 has two kinds of peculiar parts, that is, the first peculiar part 4 and the second peculiar part 6. The saw wire 2 may have four or more types of compliant parts.

このソーワイヤ２では、複数種類のくせ付け部が、砥粒を引き込む。これらのくせ付け部が互いに異なるくせを有するので、多くの砥粒が引き込まれる。しかも、これらの砥粒が偏りなく引き込まれうる。このソーワイヤ２により、優れた切削効率が達成されうる。このソーワイヤ２は、切削面の寸法精度にも寄与しうる。 In this saw wire 2, a plurality of types of squeezing portions draw in the abrasive grains. Since these knuckles have different habits, many abrasive grains are drawn in. Moreover, these abrasive grains can be evenly drawn. With this saw wire 2, excellent cutting efficiency can be achieved. The saw wire 2 can also contribute to the dimensional accuracy of the cut surface.

ストレート部１０は、波の形状を有さない。ストレート部１０を有するソーワイヤ２の形態は、全体として変化に富む。このストレート部１０も、砥粒の引き込みに寄与しうる。ソーワイヤ２がストレート部１０を有さなくてもよい。図１（ｂ）において矢印Ｌｍで示されているのは、ストレート部１０の長さである。長さは５ｍｍ以上５０ｍｍ以下が好ましく、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下が好ましい。 The straight portion 10 does not have a wave shape. The form of the saw wire 2 having the straight portion 10 is varied as a whole. This straight portion 10 can also contribute to the drawing of the abrasive grains. The saw wire 2 may not have the straight portion 10. What is indicated by an arrow Lm in FIG. 1B is the length of the straight portion 10. The length is preferably 5 mm or more and 50 mm or less, and preferably 10 mm or more and 40 mm or less.

本実施形態では、ストレート部１０は、第一くせ付け部４と第三くせ付け部８とに挟まれている。ストレート部１０が、第一くせ付け部４と第二くせ付け部６とに挟まれてもよい。ストレート部１０が、第二くせ付け部６と第三くせ付け部８とに挟まれてもよい。ストレート部１０が、２つの第一くせ付け部４に挟まれてもよい。ストレート部１０が、２つの第二くせ付け部６に挟まれてもよい。ストレート部１０が、２つの第三くせ付け部８に挟まれてもよい。ソーワイヤ２が、ストレート部１０を有さなくてもよい。 In the present embodiment, the straight portion 10 is sandwiched between the first squeezing portion 4 and the third squeezing portion 8. The straight portion 10 may be sandwiched between the first squeezing portion 4 and the second squeezing portion 6. The straight portion 10 may be sandwiched between the second peculiar portion 6 and the third peculiar portion 8. The straight part 10 may be sandwiched between the two first gusseted parts 4. The straight portion 10 may be sandwiched between the two second gusset portions 6. The straight portion 10 may be sandwiched between the two third straightening portions 8. The saw wire 2 may not have the straight portion 10.

ソーワイヤ２の線径Ｄｉは、０．０５ｍｍ以上１．００ｍｍ以下が好ましく、０．１０ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下が特に好ましい。このソーワイヤ２の材質は、金属である。典型的な金属は、炭素鋼である。炭素鋼からなる主部の表面に、ブラスメッキが施されたソーワイヤ２が好ましい。 The wire diameter Di of the saw wire 2 is preferably 0.05 mm or more and 1.00 mm or less, and particularly preferably 0.10 mm or more and 0.20 mm or less. The material of the saw wire 2 is metal. A typical metal is carbon steel. The saw wire 2 in which the surface of the main part made of carbon steel is plated with brass is preferable.

図９は、図１のソーワイヤ２のためのくせ付け装置３２の一部が示された模式図である。図９には、ソーワイヤ２のための母線３４も示されている。母線３４は、図９における矢印Ａの方向に進行する。このくせ付け装置は、第一歯車対３６及び第二歯車対３８を有している。第二歯車対３８は、第一歯車対３６よりも下流に位置している。第二歯車対３８の軸方向は、第一歯車対３６の軸方向とは異なっている。第二歯車対３８の軸方向の、第一歯車対３６の軸方向に対する角度は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。本実施形態では、この角度は、９０°である。 FIG. 9 is a schematic view showing a part of the lacing device 32 for the saw wire 2 of FIG. 1. The busbar 34 for the saw wire 2 is also shown in FIG. The bus bar 34 travels in the direction of arrow A in FIG. The squeezing device has a first gear pair 36 and a second gear pair 38. The second gear pair 38 is located downstream of the first gear pair 36. The axial direction of the second gear pair 38 is different from the axial direction of the first gear pair 36. The angle of the axial direction of the second gear pair 38 with respect to the axial direction of the first gear pair 36 is preferably 20° or more and 160° or less, and particularly preferably 30° or more and 150° or less. In this embodiment, this angle is 90°.

第一歯車対３６は、上歯車４０及び下歯車４２からなる。上歯車４０は、歯部４４と空虚部４６とからなる。歯部４４には、多数の歯４８が刻まれている。空虚部４６は、歯４８を有していない。下歯車４２も、歯部４４と空虚部４６とからなる。歯部４４には、多数の歯４８が刻まれている。空虚部４６は、歯４８を有していない。下歯車４２の歯部４４は、上歯車４０の歯部４４に対応する位置にある。従って、下歯車４２の歯部４４は、下歯車４２の歯部４４と噛み合う。下歯車４２の空虚部４６は、上歯車４０の空虚部４６に対応する位置にある。第一歯車対３６が回転すると、上歯車４０と下歯車４２とのニップには、歯部４４と空虚部４６とが交互に表れる。 The first gear pair 36 includes an upper gear 40 and a lower gear 42. The upper gear 40 includes a tooth portion 44 and an empty portion 46. A large number of teeth 48 are carved on the tooth portion 44. The hollow portion 46 does not have the tooth 48. The lower gear 42 also includes a tooth portion 44 and an empty portion 46. A large number of teeth 48 are carved on the tooth portion 44. The hollow portion 46 does not have the tooth 48. The tooth portion 44 of the lower gear 42 is at a position corresponding to the tooth portion 44 of the upper gear 40. Therefore, the tooth portion 44 of the lower gear 42 meshes with the tooth portion 44 of the lower gear 42. The empty part 46 of the lower gear 42 is at a position corresponding to the empty part 46 of the upper gear 40. When the first gear pair 36 rotates, tooth portions 44 and empty portions 46 alternate in the nip between the upper gear 40 and the lower gear 42.

第二歯車対３８は、左歯車５０及び右歯車からなる。図９では、右歯車は示されていない。右歯車は、左歯車５０に隠れている。左歯車５０は、歯部４４と空虚部４６とからなる。歯部４４には、多数の歯４８が刻まれている。空虚部４６は、歯４８を有していない。図示されていないが、右歯車も、左歯車５０と同様、歯部４４と空虚部４６とからなる。歯部４４には、多数の歯４８が刻まれている。空虚部４６は、歯４８を有していない。右歯車の歯部４４は、左歯車５０の歯部４４に対応する位置にある。従って、右歯車の歯部４４は、左歯車５０の歯部４４と噛み合う。右歯車の空虚部４６は、左歯車５０の空虚部４６に対応する位置にある。第二歯車対３８が回転すると、左歯車５０と右歯車とのニップには、歯部４４と空虚部４６とが交互に表れる。 The second gear pair 38 includes a left gear 50 and a right gear. In FIG. 9, the right gear is not shown. The right gear is hidden by the left gear 50. The left gear 50 includes a tooth portion 44 and an empty portion 46. A large number of teeth 48 are carved on the tooth portion 44. The hollow portion 46 does not have the tooth 48. Although not shown, the right gear also includes a tooth portion 44 and an empty portion 46, like the left gear 50. A large number of teeth 48 are carved on the tooth portion 44. The hollow portion 46 does not have the tooth 48. The tooth portion 44 of the right gear is located at a position corresponding to the tooth portion 44 of the left gear 50. Therefore, the tooth portion 44 of the right gear meshes with the tooth portion 44 of the left gear 50. The empty part 46 of the right gear is located at a position corresponding to the empty part 46 of the left gear 50. When the second gear pair 38 rotates, the tooth portions 44 and the empty portions 46 alternate in the nip between the left gear 50 and the right gear.

母線３４は、第一歯車対３６を通過する。母線３４のうち、ニップが歯部４４であるときに第一歯車対３６を通過した部分には、塑性変形が生じる。この塑性変形は、母線３４に、Ｙ方向に振動する波の成分を付与する。母線３４のうち、ニップが空虚部４６であるときに第一歯車対３６を通過した部分には、塑性変形が生じない。 The busbar 34 passes through the first gear pair 36. Plastic deformation occurs in the portion of the busbar 34 that has passed through the first gear pair 36 when the nip is the tooth portion 44. This plastic deformation gives the busbar 34 a component of a wave vibrating in the Y direction. No plastic deformation occurs in the portion of the busbar 34 that has passed through the first gear pair 36 when the nip is the vacant portion 46.

第一歯車対３６に続いて、母線３４は、第二歯車対３８を通過する。母線３４のうち、ニップが歯部４４であるときに第二歯車対３８を通過した部分には、塑性変形が生じる。この塑性変形は、母線３４に、Ｚ方向に振動する波の成分を付与する。母線３４のうち、ニップが空虚部４６であるときに第二歯車対３８を通過した部分には、塑性変形が生じない。 Following the first gear pair 36, the busbar 34 passes through a second gear pair 38. Plastic deformation occurs in a portion of the busbar 34 that passes through the second gear pair 38 when the nip is the tooth portion 44. This plastic deformation gives the busbar 34 a component of a wave vibrating in the Z direction. No plastic deformation occurs in the portion of the busbar 34 that passes through the second gear pair 38 when the nip is the vacant portion 46.

母線３４のうち、第一歯車対３６にて塑性変形させられ第二歯車対３８にて塑性変形させられない部分は、Ｙ方向に振動する波の形状を有する。この部分は、第一くせ付け部４である。 A portion of the busbar 34 that is plastically deformed by the first gear pair 36 and is not plastically deformed by the second gear pair 38 has a wave shape that vibrates in the Y direction. This portion is the first baffle portion 4.

母線３４のうち、第一歯車対３６にて塑性変形させられ第二歯車対３８にても塑性変形させられる部分は、Ｙ方向に振動する波成分とＺ方向に振動する波成分とを含むくせを有する。この部分は、第二くせ付け部６である。 The portion of the busbar 34 that is plastically deformed by the first gear pair 36 and also plastically deformed by the second gear pair 38 has a characteristic that it includes a wave component that vibrates in the Y direction and a wave component that vibrates in the Z direction. Have. This portion is the second peculiar portion 6.

母線３４のうち、第一歯車対３６にて塑性変形させられず第二歯車対３８にて塑性変形させられる部分は、Ｚ方向に振動する波の形状を有する。この部分は、第三くせ付け部８である。 A portion of the busbar 34 that is not plastically deformed by the first gear pair 36 but plastically deformed by the second gear pair 38 has a wave shape that vibrates in the Z direction. This portion is the third baffle portion 8.

母線３４のうち、第一歯車対３６にて塑性変形させられず第二歯車対３８にても塑性変形させられない部分は、波の形状を有さない。この部分は、ストレート部１０である。 A portion of the busbar 34 that is not plastically deformed by the first gear pair 36 and is not plastically deformed by the second gear pair 38 does not have a wave shape. This portion is the straight portion 10.

以下、実施例によって本発明の効果が明らかにされるが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるべきではない。 Hereinafter, the effects of the present invention will be clarified by examples, but the present invention should not be limitedly interpreted based on the description of the examples.

［実施例１］
図１−８に示されたソーワイヤを製作した。このソーワイヤの仕様が、下記の表１に示されている。このソーワイヤは、ブラスメッキが施された炭素鋼からなる。 [Example 1]
The saw wire shown in FIGS. 1-8 was manufactured. The specifications of this saw wire are shown in Table 1 below. This saw wire is made of brass plated carbon steel.

［実施例２］
ストレート部を設けなかった他は実施例１と同様にして、実施例２のソーワイヤを得た。 [Example 2]
A saw wire of Example 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the straight portion was not provided.

［実施例３］
第三くせ付け部を設けなかった他は実施例１と同様にして、実施例３のソーワイヤを得た。 [Example 3]
A saw wire of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the third brace was not provided.

［実施例４］
ストレート部及び第三くせ付け部を設けなかった他は実施例１と同様にして、実施例４のソーワイヤを得た。 [Example 4]
A saw wire of Example 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the straight portion and the third squeezing portion were not provided.

［比較例１］
第二くせ付け部のみを設けた他は実施例１と同様にして、比較例１のソーワイヤを得た。 [Comparative Example 1]
A saw wire of Comparative Example 1 was obtained in the same manner as in Example 1 except that only the second gusset portion was provided.

［比較例２］
従来のソーワイヤを準備した。このソーワイヤは、波の形状を有さない。 [Comparative example 2]
A conventional saw wire was prepared. This saw wire has no wave shape.

［試験１］
各ソーワイヤをソーマシンに装着した。このソーワイヤの表面に、砥粒を含むスラリーを塗布した。このソーワイヤを０．６ｍｍ／ｍｉｎの速度で走行させて、ガラス板をスライスした。得られた切削面の粗さとうねりとを観察し、評価した。この結果が、指数として下記の表１及び２に示されている。数値が大きいほど、評価が優れている。 [Test 1]
Each saw wire was attached to the saw machine. A slurry containing abrasive grains was applied to the surface of the saw wire. This saw wire was run at a speed of 0.6 mm/min to slice a glass plate. The roughness and waviness of the obtained cut surface were observed and evaluated. The results are shown in Tables 1 and 2 below as indexes. The larger the value, the better the evaluation.

［試験２］
このソーワイヤの走行速度を０．８ｍｍ／ｍｉｎとした他は実験１と同様にして、切削面の粗さとうねりとを評価した。この結果が、指数として下記の表１及び２に示されている。数値が大きいほど、評価が優れている。 [Test 2]
The roughness and waviness of the cut surface were evaluated in the same manner as in Experiment 1 except that the traveling speed of the saw wire was 0.8 mm/min. The results are shown in Tables 1 and 2 below as indexes. The larger the value, the better the evaluation.

Figure 2020082201
Figure 2020082201

Figure 2020082201
Figure 2020082201

表１及び２に示されるように、実施例のソーワイヤは、比較例のソーワイヤに比べて優れた評価が得られている。この評価結果から、本発明の優位性は明らかである。 As shown in Tables 1 and 2, the saw wire of the example is excellently evaluated as compared with the saw wire of the comparative example. From this evaluation result, the superiority of the present invention is clear.

本発明に係るソーワイヤは、種々の物品の切断に用いられ得る。 The saw wire according to the present invention can be used for cutting various articles.

２・・・ソーワイヤ
４・・・第一くせ付け部
６・・・第二くせ付け部
８・・・第三くせ付け部
１０・・・ストレート部
１２、２０、２４、２８・・・山
１４、２２、２６、３０・・・谷
１６・・・第一波成分
１８・・・第二波成分
３２・・・くせ付け装置
３４・・・母線
３６・・・第一歯車対
３８・・・第二歯車対
４０・・・上歯車
４２・・・下歯車
４４・・・歯部
４６・・・空虚部
４８・・・歯
５０・・・左歯車 2... Saw wire 4... 1st peculiar part 6... 2nd peculiar part 8... 3rd peculiar part 10... Straight part 12, 20, 24, 28... Mountain 14 , 22, 26, 30... Valley 16... First wave component 18... Second wave component 32... Fake device 34... Busbar 36... First gear pair 38... Second gear pair 40... Upper gear 42... Lower gear 44... Tooth portion 46... Empty portion 48... Tooth 50... Left gear

Claims (6)

第一くせ付け部と第二くせ付け部とを備えており、
上記第一くせ付け部が、平面において振動する波の形状を有しており、
上記第二くせ付け部が、平面において振動する第一波成分と、この第一波成分の平面とは異なる平面で振動する第二波成分とを含むくせを有しているソーワイヤ。 It has a first peculiar portion and a second peculiar portion,
The first baffle portion has a wave shape that oscillates in a plane,
The saw wire, wherein the second squeezing portion has a habit that includes a first wave component that oscillates in a plane and a second wave component that oscillates in a plane different from the plane of the first wave component. 上記第二波成分の振動方向が、上記第一波成分の振動方向と実質的に垂直である請求項１に記載のソーワイヤ。 The saw wire according to claim 1, wherein the vibration direction of the second wave component is substantially perpendicular to the vibration direction of the first wave component. 第三くせ付け部をさらに備えており、この第三くせ付け部が、上記第一くせ付け部の平面とは異なる平面において振動する波の形状を有する請求項１に記載のソーワイヤ。 The saw wire according to claim 1, further comprising a third squeezing portion, the third squeezing portion having a wave shape that oscillates in a plane different from a plane of the first squeezing portion. 上記第三くせ付け部における波の振動方向が、上記第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に垂直である請求項３に記載のソーワイヤ。 The saw wire according to claim 3, wherein the vibration direction of the waves in the third squeezing portion is substantially perpendicular to the vibration direction of the waves in the first squeezing portion. 上記第一波成分の振動方向が上記第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致しており、上記第二波成分の振動方向が上記第三くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致している請求項３又は４に記載のソーワイヤ。 The vibration direction of the first wave component substantially coincides with the vibration direction of the wave in the first squeezing portion, and the vibration direction of the second wave component is the vibration direction of the wave in the third squeezing portion. A saw wire according to claim 3 or 4 which is substantially coincident. ストレート部をさらに備える請求項１から５のいずれかに記載のソーワイヤ。 The saw wire according to claim 1, further comprising a straight portion.
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