JP2020081948A - Washing machine, and method for washing and drying an object - Google Patents
Washing machine, and method for washing and drying an object Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020081948A JP2020081948A JP2018218810A JP2018218810A JP2020081948A JP 2020081948 A JP2020081948 A JP 2020081948A JP 2018218810 A JP2018218810 A JP 2018218810A JP 2018218810 A JP2018218810 A JP 2018218810A JP 2020081948 A JP2020081948 A JP 2020081948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- closing plate
- nozzle
- washing machine
- container
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005406 washing Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 80
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 53
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 16
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 15
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 12
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 12
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
- B08B3/024—Cleaning by means of spray elements moving over the surface to be cleaned
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P17/00—Metal-working operations, not covered by a single other subclass or another group in this subclass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0042—Devices for removing chips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
Description
本発明は、洗浄機、及び、対象物の洗浄および乾燥方法に関する。 The present invention relates to a washing machine and a method for washing and drying an object.
複数の工具を配置したタレットを含む洗浄機が提案されている(例えば、特許第5432943号)。また、乾燥容器と、乾燥容器に対して相対的に移動でき、所定の角度で位置決めできる載置台とを含む乾燥機が提案されている(特許第6128688号)。 A washing machine including a turret in which a plurality of tools are arranged has been proposed (for example, Japanese Patent No. 5432943). Further, a dryer including a drying container and a mounting table that can move relative to the drying container and can be positioned at a predetermined angle has been proposed (Japanese Patent No. 6128688).
真空乾燥機に好適に適用できる洗浄機を提供する。 Provided is a washing machine which can be suitably applied to a vacuum dryer.
本発明の第1の側面は、洗浄機であって、
主要な洗浄対象部位を含む主要洗浄面を持つ対象物を載せる設置面、および前記設置面を囲うように配置された枠体を持つ閉塞板と、
前記主要洗浄面が前記設置面と異なる方向を向くように前記設置面と間隙を開けて前記対象物を前記閉塞板に支持する支持体と、
ノズル移動装置と、
噴口を有し、第1の回転軸を中心に回転可能に前記ノズル移動装置に配置され、前記閉塞板に沿って前記間隙に挿入できるノズルと、
開口および前記開口の周囲に配置された密着面を有し、当接位置において前記密着面が前記枠体と密着して前記対象物及び前記支持体を収納する減圧容器と、
前記減圧容器を前記当接位置と退避位置に移動させる容器移動装置と、
前記減圧容器と接続する減圧ポンプと、
を含む。
本発明の第2の側面は、洗浄および乾燥方法であって、
ノズルが液体噴流を生成し、
前記ノズルが前記対象物の主要洗浄面を洗浄し、
前記ノズルが対象物と閉塞板の間隙に、前記閉塞板に沿って挿入されて、前記対象物の閉塞板に対向する部位を洗浄し、
前記閉塞板が回転して乾燥位相に位置決めされ、
前記閉塞板に減圧容器が密着して密閉容器を構成し、
前記密閉容器を減圧して、前記対象物に付着した液体を蒸発させ、
前記減圧容器が前記閉塞板から離間する、
方法である。
A first aspect of the present invention is a washing machine,
An installation surface on which an object having a main cleaning surface including a main cleaning target portion is placed, and a closing plate having a frame body arranged so as to surround the installation surface,
A support for supporting the object on the closing plate by leaving a gap with the installation surface so that the main cleaning surface faces a direction different from the installation surface;
A nozzle moving device,
A nozzle that has a nozzle and is arranged in the nozzle moving device so as to be rotatable about a first rotation axis, and that can be inserted into the gap along the closing plate;
A decompression container having an opening and a contact surface disposed around the opening, wherein the contact surface is in close contact with the frame at the contact position and stores the object and the support,
A container moving device for moving the decompression container to the contact position and the retracted position,
A decompression pump connected to the decompression container,
including.
A second aspect of the present invention is a cleaning and drying method,
The nozzle creates a liquid jet,
The nozzle cleans the main cleaning surface of the object,
The nozzle is inserted into the gap between the object and the closing plate, is inserted along the closing plate, and cleans a portion of the object facing the closing plate,
The closure plate is rotated and positioned in the dry phase,
A pressure reducing container is closely attached to the closing plate to form a closed container,
The airtight container is depressurized to evaporate the liquid attached to the object,
The decompression container is separated from the closing plate,
Is the way.
洗浄はバリ取りを含む。
洗浄対象部位とは、対象物の部分のうち、洗浄の目標となる部分をいう。例えば洗浄対象部位とは、ヘッドシリンダのウォータージャケット、めねじ、油穴、ピン穴、合わせ面やスリーブ穴である。
主要洗浄面とは、対象物の主要な洗浄対象部位を含む面や洗浄対象部位の大部分を含む面をいう。主要洗浄面は複数面設定されてもよい。たとえば対象物がヘッドシリンダであれば、主要洗浄面はブロックシリンダ合わせ面やカムキャップ取付け面である。例えば対象物がトランスアクスルケースであれば、主要洗浄面はトランスアクスルハウジング合わせ面である。
乾燥位相は、減圧容器が閉塞板に当接するときの閉塞板やジグ回転装置の位相をいう。
Cleaning includes deburring.
The cleaning target part means a part of the part of the object which is a target of cleaning. For example, the parts to be cleaned are the water jacket of the head cylinder, the female screw, the oil hole, the pin hole, the mating surface and the sleeve hole.
The main cleaning surface refers to a surface including a main cleaning target portion of an object or a surface including most of the cleaning target portion. Multiple main cleaning surfaces may be set. For example, if the object is a head cylinder, the main cleaning surface is the block cylinder mating surface or the cam cap mounting surface. For example, if the object is a transaxle case, the primary cleaning surface is the transaxle housing mating surface.
The dry phase refers to the phase of the closing plate or jig rotating device when the decompression container contacts the closing plate.
対象物が閉塞板に設置されたときに、このとき、主要洗浄面は設置面の他方を向く。言い換えると、主要洗浄面は設置面に対向しない。対象物は複数設置されてよい。
対象物が閉塞板に複数設置される場合、枠体も複数配置されてよい。枠体は対象物と同数設置されてよい。
望ましくは、ジグ回転装置と回転可能なノズルを両方備える。ジグ回転装置の回転軸とノズルの回転軸は直交する。ジグ回転装置を備えない場合、ノズルは閉塞板と平行に伸びる。
閉塞板は貫通する開口を有さない。閉塞板は減圧容器の開口を閉塞する。閉塞板と減圧容器は一体となって密閉容器を構成する。設置面は平面や山形として良い。
ジグ回転装置は閉塞板を乾燥位相に位置決めできる。
減圧容器は当接位置と離間位置との間を移動する。当接位置において、減圧容器は、乾燥位相にある閉塞板に当接できる。減圧容器は閉塞板に当接して密閉容器を形成する。
封止体は密着面又は枠体のいずれか一方に配置される。密着面又は枠体の他方は、封止体に密着する。封止体は密着面と枠体との隙間を封止する。
枠体は設置面を囲む。枠体は減圧容器が閉塞板と接合するときに、閉塞板へ減圧容器が接近する方向から見て対象物及び支持体を囲むように配置される。
When the object is installed on the closure plate, the main cleaning surface then faces the other of the installation surfaces. In other words, the main cleaning surface does not face the installation surface. A plurality of objects may be installed.
When a plurality of objects are installed on the closing plate, a plurality of frame bodies may be arranged. The frame bodies may be installed in the same number as the objects.
Desirably, it has both a jig rotation device and a rotatable nozzle. The axis of rotation of the jig rotating device and the axis of rotation of the nozzle are orthogonal to each other. Without the jig rotation device, the nozzle extends parallel to the closure plate.
The closure plate has no opening therethrough. The closing plate closes the opening of the decompression container. The closing plate and the decompression container together form a closed container. The installation surface may be flat or mountain-shaped.
The jig rotation device can position the closure plate in the dry phase.
The decompression container moves between the contact position and the separation position. In the abutting position, the decompression container can abut the closing plate in the dry phase. The decompression container abuts the closing plate to form a closed container.
The sealing body is arranged on either the contact surface or the frame body. The other side of the contact surface or the frame is in close contact with the sealing body. The sealing body seals the gap between the contact surface and the frame body.
The frame surrounds the installation surface. The frame body is arranged so as to surround the object and the support when viewed from the direction in which the decompression container approaches the closing plate when the decompression container joins with the closing plate.
乾燥方法は、更に、閉塞板が回転して、対象物、支持体や閉塞板に付着した洗浄液を振り払っても良い。
乾燥方法は、更に、乾燥気体噴流を対象物に当てても良い。
乾燥方法は、更に、乾燥気体噴流を対象物に向けて当てながら、対象物を回転しても良い。
乾燥方法は、上記の3つの方法を自由に組み合わせて利用しても良い。
As a drying method, the blocking plate may be further rotated to shake off the cleaning liquid attached to the object, the support or the blocking plate.
In the drying method, a dry gas jet may be applied to the object.
In the drying method, the target object may be rotated while applying a dry gas jet toward the target object.
As the drying method, the above three methods may be freely combined and used.
本発明は、真空乾燥機に好適に適用できる洗浄機を提供する。 The present invention provides a washing machine that can be suitably applied to a vacuum dryer.
(第1実施形態)
図1は図2のI-I線断面図を示す。図1および図2に示すように、第1実施形態の洗浄機10は、ジグ12、ノズル25、ポンプ31、移動装置33、減圧容器43、容器移動装置45及び減圧ポンプ49を含む。洗浄機10はジグ回転装置11、封止体17及び気体供給装置51を含んでも良い。洗浄機10は、対象物21を洗浄し、乾燥する。なお、図1においてノズル25はII-II線の背面に位置しているため、図2においてノズル25を二点鎖線で表す。
(First embodiment)
FIG. 1 shows a sectional view taken along line II of FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the
ジグ12は、閉塞板13及び支持体19を含む。ジグ12は封止体17を含んで良い。
閉塞板13は平板状であり、設置面13A、枠体15を持つ。閉塞板13には開口部が設けられていない。設置面13Aは閉塞板13の中央に設けられる。設置面13Aは平面である。枠体15は設置面13Aの周囲を囲む。閉塞板13の垂直方向から見て、枠体15は対象物21及び支持体19を囲むように配置される。枠体15は平面である。枠体15は設置面13Aよりも対象物21から離れた位置に設けられてよい。
The
The closing
支持体19は設置面13Aに配置される。支持体19は支持ピン19A、位置決めピン(不図示)およびクランプ19Bを含んで良い。支持体19は対象物21を閉塞板13に間隙を開けて支持する。クランプ19Bは対象物21を保持する。
The
対象物21は主要洗浄面21A及び背面洗浄部位21Bを含む。対象物21は主要洗浄面21Aが設置面13Aと異なる方向(図では反対方向)を向くように支持体19に支持される。対象物21が支持体19に支持されたときに、背面洗浄部位21Bは閉塞板13に向く。背面洗浄部位21Bは閉塞板13と対象物21との間隙に面している。背面洗浄部位21Bと閉塞板13との間隙の長さを間隙長さ55という。背面洗浄部位21Bから閉塞板13の端面までの設置面13Aに沿った長さを挿入長さ56という。
The
ジグ回転装置11は例えばNC円テーブルである。ジグ回転装置11は回転軸3を中心として閉塞板13を回転する。ジグ回転装置11は、閉塞板13の回転方向を乾燥位相に位置決めし、保持できる。ここで、乾燥位相とは、閉塞板13が減圧容器43と接合できる位相である。洗浄機10において、乾燥位相は閉塞板13が直線ガイド45A(後述)と垂直になる位相である。
The
ノズル移動装置(以下、「移動装置33」という。)は、X移動装置33X、Z移動装置33Z、Y移動装置33Y、ノズル回転装置(以下、「回転装置33C」という。)を含む。好ましくは、移動装置33は制御装置(不図示)によって数値制御される。X移動装置33Xは洗浄機10の正面からみて、左右方向(X方向)に移動する。Z移動装置33ZはX移動装置33Xに設置され、正面から見て上下方向(Z方向)に移動する。Y移動装置33YはZ移動装置に配置され、正面から見て前後方向(Y方向)に移動する。回転装置33CはY移動装置に配置され、上下方向に配置された回転軸5を中心にノズル25を回転し、所定の回転角度に位置決めする。移動装置33は例えばコラムトラバース式の移動装置を利用できる。移動装置33は例えば特許第6147623号や特許第5432943号を利用できる。
移動装置33は垂直多関節ロボット、スカラロボット、パラレルリンクロボットを利用しても良い。
The nozzle moving device (hereinafter referred to as “moving
The moving
ノズル25は軸体25A、噴口25Bおよび流路25Cを含む。ノズル25は回転軸5を中心に回転できるように回転装置33Cに配置される。軸体25Aは回転軸5に沿って延びる。好ましくは、軸体25Aは回転軸5と同軸である。噴口25Bは軸体25Aの先端部に配置される。噴口25Bは軸体25Aから突出して配置されてよい。噴口25Bは回転軸5と異なる方向を向く。好ましくは、噴口25Bは回転軸5と垂直な方向を向く。噴口25Bは回転軸5と異なる方向に噴流9を生ずる。流路25Cは軸体25Aの内部に配置され、回転軸5に沿って延びる。流路25Cは噴口25Bを回転装置33Cに接続する。ノズル25の噴口25Bの方向に沿った長さ57は、間隙長さ55より小さい。ノズル25の基端部から噴口25Bまでの長さ58は挿入長さ56よりも大きい。
The
ポンプ31は回転装置33Cと接続する。ポンプ31は回転装置33Cを介して噴口25Bに接続する。
The
容器移動装置45は、直線ガイド45A、直線ブロック45B及びシリンダ45Cを含む。直線ガイド45Aは固定される。直線ガイド45Aは一つでも良く、一組互いに平行に配置されてもよい。直線ガイド45Aは回転軸3と垂直方向に延びる。直線ブロック45Bは直線ガイド45Aに摺動できるように配置される。直線ブロック45Bは減圧容器43に固定される。シリンダ45Cは望ましくはエアシリンダである。シリンダ45Cは電動シリンダや油圧シリンダでも良い。シリンダ45Cは直線ガイド45Aに沿って伸縮するように配置される。シリンダ45Cは、直線ガイド45Aに沿って、減圧容器43を当接位置と離間位置に移動させる。ここで、当接位置は、減圧容器43が閉塞板13と密着する位置をいう。離間位置は、減圧容器43が閉塞板13から離間する位置をいう。
The
減圧容器43は密着面41及び開口部43Aを含む。減圧容器43は箱状である。密着面41は開口部43Aの周囲に配置される。密着面41は枠体15と実質的に同一の形状をもつ。密着面41は枠体15に密着できる。減圧容器43は閉塞板13に接したときに、支持体19及び対象物21を収容できる広さを持つ。減圧容器43は閉塞板13と結合して密閉容器47(図5参照)を形成する。
The
枠体15に取り付け溝17Aが配置されてよい。取り付け溝17Aは設置面13Aの全周を囲む。Oリングである封止体17は取り付け溝17Aに装着される。密着面41は枠体15と密着するときに、密着面41が封止体17を押しつぶす。
封止体17はリング状のゴム板であっても良い。封止体17は密着面41に設けても良い。
The mounting
The sealing
減圧ポンプ49は減圧容器43と接続する。減圧ポンプ49は密閉容器47の内部を排気する。気体供給装置51は減圧容器と接続する。気体供給装置51は減圧された密閉容器47内に気体を供給し、減圧容器の内外の圧力を実質的に同一にする。気体供給装置51は真空破壊弁や気体供給弁を利用できる。
減圧ポンプ49の排気口を気体供給装置51に接続しても良い。この場合、気体供給装置51を通して減圧ポンプ49の排気を密閉容器47の内部に供給する。
The
The exhaust port of the
更に、洗浄機10は、エアブローノズル53を含んでも良い。エアブローノズル53は配管54に設置され、左右方向に並べて配置されてよい。エアブローノズル53は、対象物21に向けて乾燥空気を噴出する。エアブローノズル53は、対象物21、閉塞板13及び支持体19が回転した領域の外部に配置されてよい。
Furthermore, the
図3〜図5に従って、洗浄および乾燥方法を説明する。
対象物21は支持体19に装着される。ポンプ31が起動し、洗浄液を加圧する。ポンプ31は洗浄液をノズル25へ送る。噴口25Bは噴流9を生成する(S1)。
A cleaning and drying method will be described with reference to FIGS.
The
ノズル25は主要洗浄面21Aを洗浄する。移動装置33は、ノズル25を主要洗浄面21Aに対向させて、洗浄対象箇所に噴流9を次々に衝突させる。噴流9は洗浄対象箇所に衝突して、洗浄対象箇所に付着した異物やバリを除去する(S2)。
The
ジグ回転装置11は、閉塞板13を回転軸5と平行になるように位置決めする。図4に示すように、移動装置33は、ノズル25を対象物21と閉塞板13との間隙に挿入する(S3)。
なお、移動装置33は、ノズル25を対象物21と閉塞板13との間隙に挿入する前に、噴口25Bを閉塞板13から対象物21に向かう方向に位置決めしても良い。
The
The moving
ノズル25は、対象物21のうち、閉塞板13に対向する面を洗浄する。移動装置33は、ノズル25を背面洗浄部位21Bに対向させて、噴流9を背面洗浄部位21Bに衝突させる。噴流9は背面洗浄部位21Bに付着した異物やバリを除去する(S4)。
長さ57が間隙長さ55よりも小さく、長さ58が挿入長さ56よりも大きいため、噴口25Bを背面洗浄部位21Bに対向できる。
The
Since the
ポンプ31は洗浄液の吐出を停止する。ノズル25は噴流9の生成を停止する。移動装置33は、ノズル25を閉塞板13及び対象物21から退避させる(S5)。
The
ジグ回転装置11は閉塞板13を乾燥位相に位置決めする(S6)。ステップS6に先立って、ジグ回転装置11は閉塞板13を回転し、対象物21、閉塞板13及び支持体19に付着した洗浄液を振り払っても良い。ステップS6に先立って、又はステップS6と同時に、エアブローノズル53から対象物21に向けて乾燥空気を噴出してもよい。
The
容器移動装置45は、減圧容器43を当接位置に移動させる。図5に示すように、密着面41が枠体15に密着して、閉塞板13は開口部43Aを閉塞する。そして減圧容器43は閉塞板13と共に密閉容器47を形成する。封止体17は密着面41と枠体15との隙間を封止する。対象物21及び支持体19は密閉容器47に収容される(S7)。閉塞板13に開口が設けられていないため、閉塞板13と減圧容器43のみで密閉容器47を構成できる。
The
減圧ポンプ49を駆動する。減圧ポンプ49は、減圧容器内を減圧する。対象物21、閉塞板13及び支持体19に付着した洗浄液は周囲から蒸発潜熱を奪って蒸発する。対象物21が乾燥する(S8)。
The
気体供給装置51は気体を密閉容器47へ送る。密閉容器47の内部は外気圧と実質的に同一の圧力になる。続いて、容器移動装置45は減圧容器43を離間位置に移動させる。減圧容器43は閉塞板13から離間する。対象物21は支持体19から取り外しできる状態になる(S9)。
The
噴流を用いたロボット洗浄機においては、通常、対象物を露出するための開口がジグに配置される。開口を通った洗浄液の噴流が対象物に衝突できるため、対象物のジグに対向する面を洗浄できる。しかし、閉塞板に開口を設けると、閉塞板の開口の両側を容器や蓋で密閉する必要が生ずる。閉塞板の開口の一方に減圧容器を設け、他方に蓋を設け、減圧容器および蓋を閉塞板と密着させて密閉容器47を形成すると、装置が複雑になる。
そこで洗浄機10は、閉塞板13を開口のない平板で構成し、主要洗浄面21Aを閉塞板13と異なる方向に配置し、閉塞板13と対象物21との間に間隙を設けた。閉塞板13に沿って、閉塞板と対象物との間の間隙に、ノズル25が挿入できるようにした。これらの構成により、開口のない閉塞板13を用いた場合であっても、噴流9が対象物21の全面に衝突できる。主要洗浄面21Aは閉塞板13と異なる方向を向くため、ノズル25は主要洗浄面21Aを洗浄しやすい。
洗浄機10は、洗浄機および乾燥機の機能を併せ持つ。洗浄機10を用いれば、洗浄機、乾燥機、及び、洗浄機および乾燥機間を移送する移送装置を別途設置する必要がなく、機械の設置面積を削減できる。また、洗浄機10によれば、洗浄機から乾燥機への搬送時間や洗浄機及び乾燥機のシャッタ開閉時間を削減できる。そして生産リードタイムを短縮できる。
洗浄機10によれば、閉塞板13に大きな開口がないため、ジグ12の剛性が向上する。また、対象物21の背面側から閉塞板13の開口を塞ぐ必要がないため、構成が簡略化される。
In a robot cleaning machine using a jet, an opening for exposing an object is usually arranged in a jig. Since the jet of the cleaning liquid that has passed through the opening can collide with the target object, the surface of the target object facing the jig can be cleaned. However, if an opening is provided in the closing plate, it becomes necessary to seal both sides of the opening of the closing plate with a container or a lid. If the decompression container is provided on one side of the opening of the closing plate and the lid is provided on the other side, and the decompression container and the lid are brought into close contact with the closing plate to form the
Therefore, in the cleaning
The
According to the
(第2実施形態)
第2実施形態の洗浄機はジグ112を有する。その他の構成は第1実施形態と同様である。
図6は図7のVI-VI線断面図を示す。便宜上、図7及び図8において、対象物21は二点鎖線で示される。図6〜図8に示すように、第2実施形態のジグ112は、閉塞板113、立てプレート114、支持体19、枠体15及び封止体17を含む。
(Second embodiment)
The washing machine of the second embodiment has a
FIG. 6 shows a sectional view taken along line VI-VI of FIG. For convenience, in FIG. 7 and FIG. 8, the
設置面113Aは山形に形成されている。設置面113Aは互いに接して配置された2つの平面で構成される。
The
立てプレート114は閉塞板113に垂直に固定される。立てプレート114は平板である。立てプレート114に開口114Aが配置される。開口114Aは好ましくは対象物21のほぼ全面を立てプレート114から露出させる。開口114Aは少なくとも立てプレート114に対面する洗浄部位21Cを立てプレート114から露出させる。支持体19は立てプレート114に配置される。支持体19は対象物21を立てプレートに対して支持する。支持ピン19Aは立てプレート114に垂直に配置される。クランプ19Bは立てプレート114に配置される。クランプ19Bは対象物21を立てプレート114に固定する。
The
対象物21は主要洗浄面21Aが立てプレート114に平行になるように支持体19に支持される。対象物21が支持体19に支持されたときに、主要洗浄面21Aは閉塞板113や立てプレート114と異なる方向を向く。主要洗浄面21Aは立てプレート114の反対面を向いている。このとき、背面洗浄部位21Bは閉塞板113に向く。設置面113Aと対象物21との間に間隙が設けられる。設置面113Aと対象物21の間には、間隙長さ55の間隙が設けられている。対象物21が配置される方向の閉塞板113の端面から、対象物21の設置面までの長さを挿入長さ56とする。
ここで、間隙長さ55は長さ57よりも大きい。挿入長さ56は長さ58よりも小さい。ノズル25は閉塞板113、立てプレート114及び対象物21との間に、閉塞板113に沿って挿入される。
The
Here, the
図8に示すように、枠体15は、閉塞板113に垂直方向(VIII方向)から見て、対象物21、立てプレート114、支持体19を囲むように配置される。封止体17は枠体15に配置される。
As shown in FIG. 8, the
設置面113Aは山形であるため、設置面113Aから洗浄液が排出されやすい。閉塞板113と減圧容器43が密閉容器47を構成したときに、密閉容器47の内部に残留する洗浄液量が減少しやすい。密閉容器47の内部に残留する洗浄液量が減少すれば、洗浄液が蒸発する際に閉塞板113、減圧容器43、支持体19や対象物21から洗浄液が奪う蒸発潜熱が小さくなる。すると対象物21の温度が低下しにくくなり、対象物21が乾燥しやすい。
対象物21は立てプレート114に設置するため、背面洗浄部位21Bにノズル25が近づきやすい。立てプレート114は開口114Aを持つため、ノズル25は立てプレート114の裏面から開口114Aを通して噴流9を洗浄部位21Cに衝突させられる。
Since the
Since the
(第3実施形態)
図9に示すように、実施形態3の洗浄機200は、洗浄室261、仕切り板262、中間シャッタ263、乾燥室265、ノズル25、移動装置33、ターンテーブル269、2つのジグ回転装置11、2つのジグ112、減圧容器43及び容器移動装置45を持つ。仕切り板262は、洗浄室261と乾燥室265を仕切る。仕切り板262は下方に搬送口262Aを持つ。中間シャッタ263は搬送口262Aを開閉する。ターンテーブル269は、2つのテーブル面269Aを持つ。ジグ回転装置11及びジグ112はテーブル面269Aのそれぞれに配置される。ターンテーブル269は、洗浄室261及び乾燥室265の中間に配置される。ターンテーブル269は旋回して、2つのジグ112の一方を洗浄室261に、他方を乾燥室265に割出す。ノズル25、移動装置33は洗浄室261に配置される。減圧容器43及び容器移動装置45は乾燥室265に配置される。
(Third Embodiment)
As shown in FIG. 9, the
図10に従って、洗浄機200の動作を次に述べる。洗浄室261では、洗浄工程(ステップS1〜S5)が実行される。乾燥室265では、乾燥工程(ステップS6〜S9)が実行される。乾燥室265では、乾燥工程が完了した後、乾燥室265内のジグ112から対象物21が取り出される(S21)。乾燥室265内のジグ112に新しい対象物21を装着する(S22)。ステップS1〜S5は、ステップS6〜S9及びステップS21〜S22と並行して実行される。次に、中間シャッタ263が搬送口262Aを開く(S23)。最後に、ターンテーブル269が旋回する(S24)。すると、洗浄室261内で洗浄された対象物21が乾燥室265に移動し、新たに装着された対象物21が洗浄室261に移動する。洗浄機200によれば、洗浄工程と乾燥工程とを並行して実行できる。
The operation of the
なお、本発明は前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。前記実施形態は、好適な例を示したものであるが、当業者ならば、本明細書に開示の内容から、各種の代替例、修正例、変形例あるいは改良例を実現することができ、これらは添付の特許請求の範囲に記載された技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention, and all the technical matters included in the technical idea described in the claims are included. It is the subject of the present invention. Although the above-described embodiment shows a suitable example, those skilled in the art can implement various alternatives, modifications, variations, or improvements from the contents disclosed in this specification. These are included in the technical scope described in the appended claims.
13、113 閉塞板
13A、113A 設置面
15 枠体
17 封止体
19 支持体
21 対象物
21A 主要洗浄面
21B 背面洗浄部位
25 ノズル
33 移動装置(ノズル移動装置)
41 密着面
43 減圧容器
45 容器移動装置
49 減圧ポンプ
13, 113
41
Claims (11)
前記主要洗浄面が前記設置面と異なる方向を向くように前記設置面と間隙を開けて前記対象物を前記閉塞板に支持する支持体と、
ノズル移動装置と、
噴口を有し、第1の回転軸を中心に回転可能に前記ノズル移動装置に配置され、前記閉塞板に沿って前記間隙に挿入できるノズルと、
開口および前記開口の周囲に配置された密着面を有し、当接位置において前記密着面が前記枠体と密着して前記対象物及び前記支持体を収納する減圧容器と、
前記減圧容器を前記当接位置と退避位置に移動させる容器移動装置と、
前記減圧容器と接続する減圧ポンプと、
を備える洗浄機。 An installation surface on which an object having a main cleaning surface including a main cleaning target portion is placed, and a closing plate having a frame body arranged so as to surround the installation surface,
A support for supporting the object on the closing plate by leaving a gap with the installation surface so that the main cleaning surface faces a direction different from the installation surface;
A nozzle moving device,
A nozzle that has a nozzle and is arranged in the nozzle moving device so as to be rotatable about a first rotation axis, and that can be inserted into the gap along the closing plate;
A decompression container having an opening and a contact surface disposed around the opening, wherein the contact surface is in close contact with the frame at the contact position and stores the object and the support,
A container moving device for moving the decompression container to the contact position and the retracted position,
A decompression pump connected to the decompression container,
A washing machine equipped with.
請求項1の洗浄機。 A jig rotating device that supports the closing plate and rotates the closing plate about a second rotation axis perpendicular to the first rotation axis.
The washing machine according to claim 1.
前記噴口は前記軸体の先端部に前記軸体と垂直に配置される、
請求項1又は請求項2の洗浄機。 The nozzle has a shaft extending along the first axis of rotation;
The nozzle is disposed at the tip of the shaft body and perpendicular to the shaft body;
The washing machine according to claim 1 or 2.
前記噴口の方向の長さが前記閉塞板と前記背面洗浄部位との間隙長さよりも小さい、
請求項1〜請求項3のいずれかの洗浄機。 In a state where the target object is installed on the support, the target object has a back surface cleaning portion arranged in a direction facing the closing plate,
The length in the direction of the injection port is smaller than the gap length between the closing plate and the back surface cleaning portion,
The washing machine according to any one of claims 1 to 3.
前記支持体は前記立てプレートに配置される、
請求項1〜請求項7のいずれかの洗浄機。 Further comprising a stand plate placed upright on the installation surface,
The support is arranged on the stand plate,
The washing machine according to any one of claims 1 to 7.
請求項1〜請求項9のいずれかの洗浄機。 The installation surface is configured in a mountain shape toward the object,
The washing machine according to any one of claims 1 to 9.
前記ノズルが前記対象物の主要洗浄面を洗浄し、
前記ノズルが対象物と閉塞板の間隙に、前記閉塞板に沿って挿入されて、前記対象物の閉塞板に対向する部位を洗浄し、
前記閉塞板が回転して乾燥位相に位置決めされ、
前記閉塞板に減圧容器が密着して密閉容器を構成し、
前記密閉容器を減圧して、前記対象物に付着した液体を蒸発させ、
前記減圧容器が前記閉塞板から離間する、
対象物の洗浄および乾燥方法。 The nozzle creates a liquid jet,
The nozzle cleans the main cleaning surface of the object,
The nozzle is inserted into the gap between the object and the closing plate, is inserted along the closing plate, and cleans a portion of the object facing the closing plate,
The closure plate is rotated and positioned in the dry phase,
A pressure reducing container is closely attached to the closing plate to form a closed container,
The airtight container is depressurized to evaporate the liquid attached to the object,
The decompression container is separated from the closing plate,
A method for cleaning and drying an object.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018218810A JP6808702B2 (en) | 2018-11-22 | 2018-11-22 | Cleaning machine and method for cleaning and drying objects |
CN201921026082.1U CN210546601U (en) | 2018-11-22 | 2019-07-03 | Cleaning machine |
KR2020190003370U KR200493825Y1 (en) | 2018-11-22 | 2019-08-14 | Washing machine, and method of washing and drying object |
DE202019105406.9U DE202019105406U1 (en) | 2018-11-22 | 2019-09-30 | cleaning device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018218810A JP6808702B2 (en) | 2018-11-22 | 2018-11-22 | Cleaning machine and method for cleaning and drying objects |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020081948A true JP2020081948A (en) | 2020-06-04 |
JP6808702B2 JP6808702B2 (en) | 2021-01-06 |
Family
ID=68419528
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018218810A Active JP6808702B2 (en) | 2018-11-22 | 2018-11-22 | Cleaning machine and method for cleaning and drying objects |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6808702B2 (en) |
KR (1) | KR200493825Y1 (en) |
CN (1) | CN210546601U (en) |
DE (1) | DE202019105406U1 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11458511B2 (en) | 2019-07-05 | 2022-10-04 | Sugino Machine Limited | Cleaning apparatus and cleaning method |
CN112317435A (en) * | 2020-11-02 | 2021-02-05 | 天长市恒生医疗器械有限公司 | Mould belt cleaning device is used in production of disposable gloves |
JP6994127B1 (en) * | 2021-03-22 | 2022-01-14 | 株式会社スギノマシン | Vacuum dryer |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3082393U (en) * | 2001-06-04 | 2001-12-07 | 株式会社滋賀山下 | Machine work cleaning equipment |
JP2002086080A (en) * | 2000-09-20 | 2002-03-26 | Sugino Mach Ltd | In-liquid cleaning apparatus |
JP2004141811A (en) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Sugino Mach Ltd | Washing apparatus |
JP2005131605A (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Sugino Mach Ltd | Rotary nozzle unit of automatic revolving washing device |
US20130112229A1 (en) * | 2011-11-09 | 2013-05-09 | ZZ Ventures, LLC | Pallet Washing Apparatus |
JP2015058479A (en) * | 2013-09-17 | 2015-03-30 | 株式会社スギノマシン | Turret device |
JP2015064130A (en) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 株式会社スギノマシン | Reduced pressure dryer machine |
-
2018
- 2018-11-22 JP JP2018218810A patent/JP6808702B2/en active Active
-
2019
- 2019-07-03 CN CN201921026082.1U patent/CN210546601U/en active Active
- 2019-08-14 KR KR2020190003370U patent/KR200493825Y1/en active IP Right Grant
- 2019-09-30 DE DE202019105406.9U patent/DE202019105406U1/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002086080A (en) * | 2000-09-20 | 2002-03-26 | Sugino Mach Ltd | In-liquid cleaning apparatus |
JP3082393U (en) * | 2001-06-04 | 2001-12-07 | 株式会社滋賀山下 | Machine work cleaning equipment |
JP2004141811A (en) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Sugino Mach Ltd | Washing apparatus |
JP2005131605A (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Sugino Mach Ltd | Rotary nozzle unit of automatic revolving washing device |
US20130112229A1 (en) * | 2011-11-09 | 2013-05-09 | ZZ Ventures, LLC | Pallet Washing Apparatus |
JP2015058479A (en) * | 2013-09-17 | 2015-03-30 | 株式会社スギノマシン | Turret device |
JP2015064130A (en) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 株式会社スギノマシン | Reduced pressure dryer machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20200001116U (en) | 2020-05-29 |
CN210546601U (en) | 2020-05-19 |
JP6808702B2 (en) | 2021-01-06 |
DE202019105406U1 (en) | 2019-10-10 |
KR200493825Y1 (en) | 2021-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2020081948A (en) | Washing machine, and method for washing and drying an object | |
KR102364243B1 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and program recording medium | |
TWI415207B (en) | A substrate processing apparatus and a substrate processing method | |
US9630217B2 (en) | Cleaning apparatus | |
JP6279432B2 (en) | Tool changing method and tool changing device | |
KR101711478B1 (en) | Flux cleaning apparatus | |
US20160322241A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
US11097321B2 (en) | Cleaning machine | |
JP2023134520A (en) | Non-contact cleaning module | |
US20190255580A1 (en) | Microelectronic treatment system having treatment spray with controllable beam size | |
JP2010118519A (en) | Method for cleaning wafer, and storage medium | |
JP3224684U (en) | washing machine | |
JP2005509280A5 (en) | ||
JP2017195271A (en) | Cleaning device | |
KR101140305B1 (en) | Lift-off device and spin unit thereof | |
KR20200062625A (en) | Apparatus for semiconductor treatment and system for semiconductor treatment | |
CN112474492B (en) | Cleaning machine and cleaning method | |
KR101729754B1 (en) | Apparatus for removing fume | |
JP2015064130A (en) | Reduced pressure dryer machine | |
JP3232899U (en) | Cleaning equipment | |
US20220299264A1 (en) | Vacuum dryer | |
JP2020069422A (en) | Cleaning device | |
JP2006302974A (en) | Apparatus for cleaning semiconductor wafer sheet | |
KR101886414B1 (en) | Apparatus and system for cleaning wafer container | |
JP2009129625A (en) | Milling machine |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190717 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190717 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190717 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201001 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6808702 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |