JP2020080423A - 撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施例の1画素の平面図である。なお、図11、及び以下の各実施例における各図面を通じて同一の構成要素には同一の符号を付している。
図4〜図6は本実施例の撮像装置の製造方法を表す断面図である。
図7は、本実施例を表す撮像装置の断面図である。実施例1と同様の部分には同様の符号を付し詳細な説明は省略する。
図8は本実施例を表す断面図である。本実施例は、実施例3と比較して、電荷蓄積部105の上方のp型半導体領域205が存在せず、代わりに、第1転送トランジスタのゲート電極104が電荷蓄積部105の上方に延在している。
図9は本実施例を表す断面図である。本実施例では、光導波路103の上部の開口領域A4が、各配線層の開口領域A1、A2、A3よりも大きい点で、実施例1と異なる。本発明の実施形態では、半導体基板200内に、光電変換部102に加えて電荷蓄積部105も存在するため、光電変換部102が占める面積は相対的に小さくなる。本実施例のように、光導波路103の上部開口を大きく広げることで、相対的に面積の小さい光電変換部により多くの光を入射させることが可能になり、感度を向上させることができる。
図10は本実施例を表す断面図である。図10では、実施例1と比較して、FD111およびソースフォロワトランジスタのゲート電極107へのコンタクト215が形成されるべき場所で反射防止膜211が開口している。そして、コンタクト215が形成されるべき場所に絶縁膜110が残されていることを特徴とする。絶縁膜110は、コンタクト215をドライエッチングで開口する際のエッチングストップ膜として機能させる。
103 光導波路
105 電荷蓄積部
109 遮光部
110 絶縁膜
214 層間絶縁膜
216 配線層
Claims (1)
- 光電変換部と、
前記光電変換部から転送される信号電荷を蓄積する電荷蓄積部と、
前記電荷蓄積部の信号電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
少なくとも前記電荷蓄積部の一部を覆い、前記光電変換部上が開口された遮光部と、
前記光電変換部上に配された光導波路と、を含む画素が複数配された画素領域を有し、前記画素領域上に多層配線構造が配された撮像装置であって、
前記光導波路の下部に配された絶縁膜を備え、
前記絶縁膜は、
前記多層配線構造の層間絶縁膜のうち前記電荷保持部上に配された部分よりも大きい屈折率を有し、前記多層配線構造の配線層のうち最下層の配線層より前記光電変換部に近い位置で前記光導波路の下部から前記遮光部の上部まで延在していることを特徴とする撮像装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015180068A JP6664175B2 (ja) | 2015-09-11 | 2015-09-11 | 撮像装置及び撮像装置の製造方法 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003234496A (ja) * | 2002-02-12 | 2003-08-22 | Sony Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2007201163A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 |
JP2008251985A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置 |
JP2012182426A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-09-20 | Canon Inc | 固体撮像装置、固体撮像装置を用いた撮像システム及び固体撮像装置の製造方法 |
JP2012248681A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Canon Inc | 固体撮像装置の製造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003234496A (ja) * | 2002-02-12 | 2003-08-22 | Sony Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2007201163A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 |
JP2008251985A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置 |
JP2012182426A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-09-20 | Canon Inc | 固体撮像装置、固体撮像装置を用いた撮像システム及び固体撮像装置の製造方法 |
JP2012248681A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Canon Inc | 固体撮像装置の製造方法 |
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