JP2020076675A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020076675A5 JP2020076675A5 JP2018211011A JP2018211011A JP2020076675A5 JP 2020076675 A5 JP2020076675 A5 JP 2020076675A5 JP 2018211011 A JP2018211011 A JP 2018211011A JP 2018211011 A JP2018211011 A JP 2018211011A JP 2020076675 A5 JP2020076675 A5 JP 2020076675A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- unit
- displacement
- light
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 83
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 61
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018211011A JP7219055B2 (ja) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018211011A JP7219055B2 (ja) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 変位測定装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020076675A JP2020076675A (ja) | 2020-05-21 |
| JP2020076675A5 true JP2020076675A5 (enExample) | 2021-10-21 |
| JP7219055B2 JP7219055B2 (ja) | 2023-02-07 |
Family
ID=70723952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018211011A Active JP7219055B2 (ja) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7219055B2 (enExample) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022189080A (ja) * | 2021-06-10 | 2022-12-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 測距装置、および測距方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3203851B2 (ja) * | 1993-01-21 | 2001-08-27 | 松下電器産業株式会社 | 実装済みプリント基板の検査装置 |
| JP3799858B2 (ja) * | 1999-02-12 | 2006-07-19 | スズキ株式会社 | 形状認識装置 |
| JP2002340525A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鋼板の板幅測定方法 |
| JP4548595B2 (ja) * | 2004-03-15 | 2010-09-22 | オムロン株式会社 | センサ装置 |
| JP2010003293A (ja) * | 2008-05-22 | 2010-01-07 | Seiko Precision Inc | 画像表示装置及び画像表示方法 |
| JP5167542B2 (ja) * | 2008-09-03 | 2013-03-21 | シーシーエス株式会社 | 検査用照明装置及び検査方法 |
| JP6829992B2 (ja) * | 2016-12-28 | 2021-02-17 | 株式会社キーエンス | 光走査高さ測定装置 |
| US10620447B2 (en) * | 2017-01-19 | 2020-04-14 | Cognex Corporation | System and method for reduced-speckle laser line generation |
-
2018
- 2018-11-09 JP JP2018211011A patent/JP7219055B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW201205033A (en) | Shape measuring device and calibrating method | |
| US9217865B2 (en) | Light projection device | |
| JP6322335B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| CN110702031B (zh) | 适用于深色表面的三维扫描装置及扫描方法 | |
| EP3401638A3 (en) | Surveying system | |
| JP6085134B2 (ja) | 検査装置 | |
| TW201337212A (zh) | 形狀測定裝置、構造物製造系統、形狀測定方法、構造物製造方法、形狀測定程式 | |
| JP2012103236A (ja) | 多重測定を使用して表面特性を決定するための装置および方法 | |
| JP6516453B2 (ja) | 画像測定装置及び測定装置 | |
| TWI570399B (zh) | 可校正光源之檢測系統及其光源校正方 法 | |
| JP2014219404A (ja) | 数波長で同時に面の三次元測定を行う装置及び方法 | |
| KR101816616B1 (ko) | 외관 검사 장치 및 외관 검사 방법 | |
| JP4897573B2 (ja) | 形状測定装置,形状測定方法 | |
| WO2011027848A1 (ja) | 表面検査用照明・撮像システム及びデータ構造 | |
| CN109682814A (zh) | 一种用tof深度相机修正空间频域成像中组织体表面光照度的方法 | |
| JP2012093235A (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
| JP7516219B2 (ja) | 測定装置、制御装置、制御方法及びプログラム | |
| JP2011002416A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| US9194810B2 (en) | Method and device for the detection of surface defects of a component | |
| JP2020076675A5 (enExample) | ||
| JP2012141252A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPH09210653A (ja) | 面方向検出装置 | |
| WO2023153289A1 (ja) | キャリブレーション方法およびキャリブレーション装置 | |
| TW202022694A (zh) | 光學檢測裝置以及校正方法 | |
| JP5354838B2 (ja) | 光学的表面特性の検査装置及び検査方法 |