JP2020071219A - プローブ位置合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
測定待機物とプローブ素子との間に設けられており、三角形を呈する透光可能な二つのプリズムで構成され、第1光出射面と、第2光出射面と、光入射面と、を有し、第1光出射面と第2光出射面とは、それぞれプローブ素子と測定待機物とに面し、二つのプリズムの接合面は半分透過可能な反射面を構成し、これにより、光入射面を通過する光線は、反射面に反射されてプローブ素子に入射する分光素子と、
分光素子の光入射面に設けられている画像センシング装置と、
分光素子の光入射面の対向側に設けられており、一部が反射面を透過する光線は、光反射素子に反射されて反射面に戻して、測定待機物に投射する光反射素子と、
を備えるプローブ位置合わせ装置において、
分光素子は、第1光出射面が接収するプローブ素子の画像と第2光出射面が接収する測定待機物の画像と、を光入射面を透過して外部へ出射し、画像センシング装置は、プローブ素子の画像と測定待機物の画像とを取って位置合わせを行うためのものであることを特徴とする。
図2は、係本発明の第1実施形態に係るプローブ位置合わせ装置100を示す図である。プローブ位置合わせ装置100は、プローブ素子20(例えばプローブカード(probe card))を測定待機物30(例えばウエハー(wafer)、チップまたは電子回路)に位置合わせするためのものである。具体的には、プローブ位置合わせ装置100は、プローブ素子20のプローブの先端を測定待機物30上の接触接点に位置合わせて、その後のスポット計測プロセスを行うためのものである。
図3は、係本発明の第2実施形態に係るプローブ位置合わせ装置200を示す図である。図2の実施形態に比べると、本実施形態に係るプローブ位置合わせ装置200は、更に、光経路変更素子270を備える。光経路変更素子270は、分光素子140に設けられており、第1光出射面A1又は第2光出射面A2を選択的に遮蔽することができる。本実施形態に係る光経路変更素子270は、遮蔽板272,274を備える。遮蔽板272,274は、それぞれ分光素子140の上下側に移動可能に設けられており、第1光出射面A1又は第2光出射面A2を選択的に遮蔽することができる。
図4は本発明の第3実施形態に係るプローブ位置合わせ装置300を示す図である。図2の実施形態に比べると、本実施形態に係るプローブ位置合わせ装置300は、更に、光遮蔽素子370を備える。光遮蔽素子370は、分光素子140に移動可能に設けられており、第1光出射面A1を選択的に遮蔽する。本実施形態に係る光遮蔽素子370は遮蔽板である。
図5は、本発明の第4実施形態に係るプローブ位置合わせ装置400を示す図である。図4の実施形態に比べると、本実施形態に係るプローブ位置合わせ装置400は、更に、環状光源430を備える。環状光源430は、分光素子140とプローブ素子20との間に設けられている。本実施形態に係る環状光源430は、補助光源として光線をプローブ素子20に投射する。環状光源430の中央に設けられている貫通孔により、プローブ素子20からのプローブ素子の画像が遮蔽されることを回避できる。環状光源430を利用することにより、プローブ素子の画像の明るさとコントラストとを向上でき、プローブ位置合わせの精確度を増加できる。
12, 14 画像キャプチャモジュール
16, 30 測定待機物
18 プローブカード
20 プローブ素子
11, 110 積載プラットフォーム
120 光源
140 分光素子
160 光反射素子
180 画像センシング装置
270 光経路変更素子
272, 274 遮蔽板
370 光遮蔽素子
430 環状光源
A1 第1光出射面
A2 第2光出射面
A3 光入射面
A4 半分透過反射面
Claims (9)
- プローブ素子を測定待機物に位置合わせするためのものであり、
前記測定待機物と前記プローブ素子との間に設けられており、三角形を呈する透光可能な二つのプリズムで構成され、第1光出射面と、第2光出射面と、光入射面と、を有し、前記第1光出射面と前記第2光出射面とは、それぞれ前記プローブ素子と前記測定待機物とに面し、前記二つのプリズムの接合面は半分透過可能な反射面を構成し、これにより、前記光入射面を通過する光線は、前記反射面に反射されて前記プローブ素子に入射する分光素子と、
前記分光素子の前記光入射面に設けられている画像センシング装置と、
前記分光素子の前記光入射面の対向側に設けられており、一部が前記反射面を透過する光線は、光反射素子に反射されて前記反射面に戻して、前記測定待機物に投射する光反射素子と、
を備えるプローブ位置合わせ装置において、
前記分光素子は、前記第1光出射面が接収するプローブ素子の画像と前記第2光出射面が接収する測定待機物の画像と、を前記光入射面を透過して外部へ出射し、前記画像センシング装置は、前記プローブ素子の画像と前記測定待機物の画像とを取って位置合わせを行うためのものである、プローブ位置合わせ装置。 - 前記第1光出射面と前記第2光出射面とは、それぞれ前記分光素子の両側に位置する、請求項1に記載のプローブ位置合わせ装置。
- 前記分光素子は分光器である、請求項1または2に記載のプローブ位置合わせ装置。
- 更に、光経路変更素子を備え、前記光経路変更素子は、前記分光素子に移動可能に設けられており、これにより、前記第1光出射面または前記第2光出射面を選択的に遮蔽することができる、請求項1から3のいずれか一項に記載のプローブ位置合わせ装置。
- 更に、光遮蔽素子を備え、前記光遮蔽素子は、前記分光素子に移動可能に設けられており、これにより、前記第1光出射面を選択的に遮蔽することができる、請求項1から4のいずれか一項に記載のプローブ位置合わせ装置。
- 更に、光源を備え、前記光源は、前記分光素子の前記光入射面に位置合わせられて、前記分光素子を介して、光線を前記プローブ素子と前記測定待機物とに投射する、請求項1から5のいずれか一項に記載のプローブ位置合わせ装置。
- 前記光源は同軸光源である、請求項6に記載のプローブ位置合わせ装置。
- 更に、環状光源を備え、前記環状光源は、前記分光素子と前記プローブ素子との間に設けられており、光線を前記プローブ素子に投射し、又は前記分光素子と前記測定待機物との間に設けられており、光線を前記測定待機物に投射する、請求項6または7に記載のプローブ位置合わせ装置。
- 前記画像センシング装置は、前記分光素子を介して前記測定待機物をスキャンするためのものである、請求項1から8のいずれか一項に記載のプローブ位置合わせ装置。
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