JP2020065018A - プラズマ処理装置における基板の脱離方法 - Google Patents
プラズマ処理装置における基板の脱離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020065018A JP2020065018A JP2018197396A JP2018197396A JP2020065018A JP 2020065018 A JP2020065018 A JP 2020065018A JP 2018197396 A JP2018197396 A JP 2018197396A JP 2018197396 A JP2018197396 A JP 2018197396A JP 2020065018 A JP2020065018 A JP 2020065018A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- chamber
- plasma processing
- electrostatic chuck
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 241
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 114
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 43
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 95
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 21
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000005513 bias potential Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
プラズマ処理装置は、一般的に、内部にプラズマが生成されるチャンバと、チャンバ内に配置され、載置された基板を静電吸着する静電チャックと、基板を昇降させるリフトピンとを備え、基板の裏面に伝熱ガス(Heガス等)を供給しながら基板にプラズマ処理を施す構成である。
プラズマ処理が終了すれば、基板は静電チャックから脱離される。具体的には、基板の裏面への伝熱ガスの供給を停止すると共に、静電チャックの電極への直流電圧の印加を停止することで、静電チャックによる基板の静電吸着を停止する。そして、基板をリフトピンによって上昇させた後、搬送機構によって基板をチャンバの外部に搬送する。
そして、図4(c)に示すように、基板Sが跳ねた後に、静電チャック32上で横滑りし、プラズマ処理を施した位置(図4(a)に示す位置)からずれる場合がある。
しかしながら、特許文献1に記載の方法は、基板を脱離する際の伝熱ガスの残留圧力に起因して生じる問題を解決するための方法である。また、特許文献2に記載の方法は、基板を脱離する際の静電チャックの残留電荷に起因して生じる問題を解決するための方法である。
したがい、特許文献1、2に記載の方法では、前述のような、薄型で反りのある基板を静電チャックから脱離する際の基板の跳ねや位置ずれを抑制することができない。
(1)第1工程:前記チャンバ内に処理ガスを供給し、前記基板のプラズマ処理が終了した後の前記チャンバ内の圧力を所定値以上に高める。
(2)第2工程:前記チャンバ内の圧力を高めた状態で、前記静電チャックによる前記基板の静電吸着を停止する。
(3)第3工程:前記チャンバ内の圧力を高めた状態で、前記静電吸着が停止された後の前記基板を前記リフトピンによって上昇させる。
本発明は、単極式又は双極式のいずれの静電チャックを備えるプラズマ処理装置に対しても適用可能である。しかしながら、単極式の静電チャックの場合には、上記の理由により、第1工程において、基板のプラズマ処理が終了する前からチャンバ内に処理ガスを供給し、プラズマ処理が終了した後(終了時点も含む)のチャンバ内の圧力を所定値以上に高める必要がある。プラズマ処理が終了する前からチャンバ内に処理ガスを供給する場合、第1工程で供給する処理ガスとして基板にプラズマ処理を施すのに用いる処理ガスと同じ種類の処理ガスを用いると、基板の加工形状が変化する等のおそれがある。このため、ArガスやHeガス等の不活性ガスを用いることが好ましい。ただし、基板の加工形状等に大きな影響を与えないときには、プラズマ処理が終了する前から処理ガスを供給する場合であっても、基板にプラズマ処理を施すのに用いる処理ガスと同じ種類の処理ガスを用いてもよい。
なお、伝熱ガスの排気の終了とは、基板の押し上げが問題にならない程度に基板の裏面における伝熱ガスの残留圧力が低下した状態(例えば、10Pa以下、好ましくは2Pa以下)になったことを意味する。
図1は、本実施形態に係る基板の脱離方法を適用するプラズマ処理装置の概略構成を模式的に示す一部断面図である。図1(a)はプラズマ処理装置の全体構成図を、図1(b)は載置台近傍の拡大構成図を示す。
図1に示すように、本実施形態のプラズマ処理装置100は、チャンバ1と、コイル2と、載置台3とを備えている。
図2は、本実施形態に係る基板Sの脱離方法を含むプラズマ処理方法(プラズマ処理及びプラズマ処理後の一連の工程からなる方法)を概略的に示すフロー図である。図3は、本実施形態に係る基板Sの脱離方法を模式的に説明する断面図である。なお、図3においては、便宜上、図1に示す伝熱ガス供給管9の図示を省略している。また、昇降装置4の図示も省略している。
具体的には、直流電源によって載置台3の静電チャック32の電極に直流電圧を印加し、基板Sを載置台3の静電チャック32に静電吸着させる。次いで、プラズマを生成するための処理ガスをガス供給源7aからチャンバ1のプラズマ生成空間11に供給する。そして、高周波電源5によってコイル2に高周波電力を印加し、供給した処理ガスをプラズマ化する。また、高周波電源6によって載置台3に高周波電力を印加することで、載置台3とプラズマとの間にバイアス電位を与え、プラズマ中のイオンを加速して載置台3に載置された基板Sに引き込む。これにより、基板Sにプラズマ処理が施される。なお、上記のプラズマ処理中、基板Sの裏面には、伝熱ガス供給管9から伝熱ガスが供給され、基板Sが冷却される。
なお、上記の第1工程において、チャンバ1内の圧力をプラズマ処理時の圧力よりも大きな圧力に高めることが好ましい。より好ましくは、後述のように、チャンバ1内の圧力を基板Sの反り量に応じて決定することが考えられる。
なお、静電吸着の停止は、これに限るものではないが、例えば、静電チャック32の電極に印加している直流電圧をステップ状に一気に0Vに下げることで実行すればよい。
その後、基板Sは、搬送機構によってチャンバ1の外部に搬送(回収)される(図2のS7)。
図5は、上記の試験の概要を示す図である。図5(a)は上記の試験で用いた基板Sの概要を、図5(b)は試験の結果を示す。
ただし、チャンバ1内の圧力が100Paの場合であっても、基板S全体が跳ね上がることはなく(跳ねの評価結果が「△」)、基板Sの位置ずれが無い(位置ずれの評価結果が「〇」)ため、実用上の問題は無いと考えられる。
(1)プラズマ処理を施す同一サイズ(外径、厚み)の複数の基板Sのうち一の基板S(以下、これを「代表基板」という)を選んで、その反り量を予め測定する。
(2)代表基板が平坦な状態から上記(1)で測定した反り量だけ反るのに必要な圧力を等分布荷重の計算式等を用いて計算する。
(3)第1工程において設定するチャンバ1内の圧力を上記(2)で計算した圧力と同等以上の値に決定する。
そして、代表基板を含む同一サイズの複数の基板Sの全てに対して、第1工程を実行する際、上記(3)で決定したチャンバ1内の圧力に設定することが考えられる。
3・・・載置台
9・・・伝熱ガス供給管
10・・・リフトピン
32・・・静電チャック
100・・・プラズマ処理装置
S・・・基板
(1)第1工程:前記チャンバ内に処理ガスを供給し、前記基板のプラズマ処理が終了した後の前記チャンバ内の圧力を所定値以上に高める。
(2)第2工程:前記チャンバ内の圧力を高めた状態で、前記静電チャックによる前記基板の静電吸着を停止する。
(3)第3工程:前記チャンバ内の圧力を高めた状態で、前記静電吸着が停止された後の前記基板を前記リフトピンによって上昇させる。
そして、前記第1工程において、前記基板のプラズマ処理が終了し、前記伝熱ガスの排気が終了した後、前記チャンバ内に処理ガスを供給し、前記チャンバ内の圧力を高めることを特徴とする。
また、本発明によれば、伝熱ガスの排気が終了した後に、チャンバ内に処理ガスを供給するため、伝熱ガスの残留圧力による基板の押し上げが問題にならない状態で、チャンバ内に処理ガスを供給することになる。このため、チャンバ内の圧力を過度に高めることなく、静電チャックから脱離する際の基板の跳ねや位置ずれを抑制可能である。
なお、伝熱ガスの排気の終了とは、基板の押し上げが問題にならない程度に基板の裏面における伝熱ガスの残留圧力が低下した状態(例えば、10Pa以下、好ましくは2Pa以下)になったことを意味する。
Claims (3)
- 内部にプラズマが生成されるチャンバと、該チャンバ内に配置され、載置された基板を静電吸着する静電チャックと、前記基板を昇降させるリフトピンとを備え、前記基板の裏面に伝熱ガスを供給しながら前記基板にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記基板を前記静電チャックから脱離する方法であって、
前記チャンバ内に処理ガスを供給し、前記基板のプラズマ処理が終了した後の前記チャンバ内の圧力を所定値以上に高める第1工程と、
前記チャンバ内の圧力を高めた状態で、前記静電チャックによる前記基板の静電吸着を停止する第2工程と、
前記チャンバ内の圧力を高めた状態で、前記静電吸着が停止された後の前記基板を前記リフトピンによって上昇させる第3工程と、
を含むことを特徴とするプラズマ処理装置における基板の脱離方法。 - 前記第1工程において、前記チャンバ内の圧力を前記プラズマ処理時の圧力よりも高める、
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置における基板の脱離方法。 - 前記第1工程において、前記基板のプラズマ処理が終了し、前記伝熱ガスの排気が終了した後、前記チャンバ内に処理ガスを供給し、前記チャンバ内の圧力を高める、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置における基板の脱離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018197396A JP6537688B1 (ja) | 2018-10-19 | 2018-10-19 | プラズマ処理装置における基板の脱離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018197396A JP6537688B1 (ja) | 2018-10-19 | 2018-10-19 | プラズマ処理装置における基板の脱離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6537688B1 JP6537688B1 (ja) | 2019-07-03 |
JP2020065018A true JP2020065018A (ja) | 2020-04-23 |
Family
ID=67144688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018197396A Active JP6537688B1 (ja) | 2018-10-19 | 2018-10-19 | プラズマ処理装置における基板の脱離方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6537688B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220015943A (ko) * | 2020-07-31 | 2022-02-08 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
WO2023107376A1 (en) * | 2021-12-11 | 2023-06-15 | Lam Research Corporation | Soaking and esc clamping sequence for high bow substrates |
-
2018
- 2018-10-19 JP JP2018197396A patent/JP6537688B1/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220015943A (ko) * | 2020-07-31 | 2022-02-08 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
KR102668439B1 (ko) * | 2020-07-31 | 2024-05-22 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
WO2023107376A1 (en) * | 2021-12-11 | 2023-06-15 | Lam Research Corporation | Soaking and esc clamping sequence for high bow substrates |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6537688B1 (ja) | 2019-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7345607B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR101425268B1 (ko) | 기판 수수 방법 | |
US20080242086A1 (en) | Plasma processing method and plasma processing apparatus | |
TW200805556A (en) | Substrate placing stage and substrate processing apparatus | |
JP7454976B2 (ja) | 基板支持台、プラズマ処理システム及びエッジリングの交換方法 | |
US7335601B2 (en) | Method of processing an object and method of controlling processing apparatus to prevent contamination of the object | |
US10056235B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor device | |
JP2019176031A (ja) | プラズマ処理装置、及び被処理体の搬送方法 | |
JP2014143366A (ja) | 接合装置及び接合システム | |
JP2020065018A (ja) | プラズマ処理装置における基板の脱離方法 | |
JP4060941B2 (ja) | プラズマ処理方法 | |
JP6524536B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JP4239990B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2004165645A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2685006B2 (ja) | ドライエッチング装置 | |
US10790152B2 (en) | Method for etching multilayer film | |
JP7441711B2 (ja) | 基板支持台、プラズマ処理システム及びエッジリングの載置方法 | |
KR102451031B1 (ko) | 기판 리프트 장치 및 기판 반송 방법 | |
KR100734778B1 (ko) | 플라즈마를 이용한 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP6824003B2 (ja) | 静電チャック付きトレイ | |
JP2022068644A (ja) | リフトピンのコンタクト位置調整方法、リフトピンのコンタクト位置検知方法、および基板載置機構 | |
JP2004006300A (ja) | プラズマ処理方法及び装置、プラズマ処理用トレー | |
KR20070036270A (ko) | 플라즈마 처리장치 | |
US20230238219A1 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
JP2014150266A (ja) | 接合装置及び接合システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181019 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20181019 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190215 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20190222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190604 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6537688 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |