JP2020065015A - Article carrier - Google Patents

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Abstract

To provide an article carrier which can be reduced in weight of the whole of the article carrier while securing conventional stroke amount of forks.SOLUTION: An article carrier is a ceiling carrier 10 which travels along a travel rail 94 and conveys a conveyance container 92. The ceiling carrier includes: a travel section 11; and a body section 20. The body section 20 has a storage section 21, a holding section 31, a lifting section 32, and a lateral movement section 40. The lateral movement section 40 has a base plate 41 fixed to the storage section 21, forks 42, 43, and 44 for moving the holding section 31 and the lifting section 32 in a horizontal direction, first to third guide rails 45, 48, and 49, and first to third guide blocks 46, 47, and 50. The first guide rail 45 is fixed to the base plate 41. The tertiary fork 42 is fixed to the first guide block 46. The first guide block 46 slides with respect to the first guide rail 45, thereby moving in a horizontal direction with respect to the storage section 21.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、走行経路に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車に関するものであり、特に、設備の天井近くに設けられる走行経路に沿って走行する天井搬送車に関するものである。   BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an article transport vehicle that travels along a travel route and transports an article, and particularly to a ceiling transport vehicle that travels along a travel route provided near the ceiling of equipment.

従来、半導体デバイス等の製造設備においては、半導体基板等のワークを収容した搬送容器を、設備の天井近くに設けられた走行レールに沿って走行する天井搬送車（物品搬送車）により把持した状態で、複数の処理装置間を順次搬送する場合がある。   Conventionally, in a manufacturing facility for semiconductor devices and the like, a state in which a carrier container accommodating a work such as a semiconductor substrate is held by a ceiling carrier (article carrier) that travels along a traveling rail provided near the ceiling of the facility. In some cases, the plurality of processing devices may be sequentially transported.

例えば、特許文献１においては、複数の搬送対象場所の間で移動経路に沿って移動して物品を搬送する物品搬送車と、当該物品搬送車を制御する制御装置と、を備えた物品搬送設備において、前記物品搬送車は、前記物品を収容する収容部と、当該収容部を覆うカバー部と、前記収容部と当該収容部に対して外側に位置する前記複数の搬送対象場所の一つとの間で前記物品を移動させて当該搬送対象場所と前記物品搬送車との間の前記物品の移載を行う移載機構と、搬送中の前記物品の姿勢を変更する姿勢変更機構と、を有し、前記移載機構は、前記物品を把持する把持部と、前記把持部を鉛直方向に沿って昇降させる昇降部と、前記搬送経路に交差すると共に水平方向に沿う方向である横方向に沿って前記把持部を横移動させる横移動部と、を備えることが開示されている。   For example, in Patent Document 1, an article transporting facility including an article transporting vehicle that transports an article by moving along a moving route between a plurality of transport target locations, and a control device that controls the article transporting vehicle. In the article transport vehicle, a storage section for storing the article, a cover section for covering the storage section, the storage section and one of the plurality of transfer target locations located outside the storage section. A transfer mechanism for moving the article between the object transfer location and the article transfer vehicle and an attitude changing mechanism for changing the attitude of the article being transferred. The transfer mechanism includes a gripping part that grips the article, an elevating part that elevates and lowers the gripping part along a vertical direction, and a lateral direction that is a direction that intersects the transport path and is along the horizontal direction. And a lateral movement unit that laterally moves the gripping unit. It is disclosed that comprises a.

特許文献１に示すような従来の物品搬送車においては、把持部を横移動させる（水平方向に移動させる）横移動部のベースプレートを物品搬送車の本体部（収容部）に固定することにより、横移動部が本体部（収容部）に支持される。
また、横移動部は、ベースプレートにより支持されるフォークを備え、フォークを横移動させることにより把持部及び昇降部を横移動させる。さらに、横移動部のフォークは、物品搬送車の本体部（収容部）に対して水平方向に延設されるガイドレールと、ガイドレールに係合するガイドブロックとの間の摺動により、横移動する。 In the conventional article transportation vehicle as shown in Patent Document 1, by fixing the base plate of the lateral movement unit that laterally moves (horizontally moves) the gripping section to the main body section (accommodation section) of the article transportation vehicle, The lateral movement section is supported by the main body section (accommodation section).
The lateral movement unit includes a fork supported by the base plate, and laterally moves the fork to laterally move the gripping unit and the elevating unit. Further, the fork of the laterally moving section is moved laterally by sliding between the guide rail extending horizontally with respect to the main body (housing section) of the article transport vehicle and the guide block engaging with the guide rail. Moving.

特開２０１８−４９９４３号公報JP, 2018-49943, A

しかしながら、特許文献１に示すような従来の物品搬送車では、横移動部のベースプレートにガイドブロックを固定する構成、すなわち、フォークにガイドレールのみを固定した構成であるため、フォークの長手方向の長さを、把持部を所定の位置までスライドさせるために必要な長さまで延ばして形成する必要がある。そのため、フォーク（横移動部）自体が重くなり、結果として物品搬送車全体の重量が重くなるという問題があった。   However, in the conventional article transport vehicle as shown in Patent Document 1, since the guide block is fixed to the base plate of the lateral movement unit, that is, only the guide rail is fixed to the fork, the length of the fork in the longitudinal direction is long. It is necessary to extend and form the grip to a length necessary to slide the grip portion to a predetermined position. Therefore, there is a problem that the fork (transverse moving portion) itself becomes heavy, and as a result, the weight of the entire article transport vehicle becomes heavy.

そこで、本発明は、従来のフォークのストローク量を確保しながら物品搬送車全体の軽量化が可能な物品搬送車を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a conventional article transport vehicle that can reduce the weight of the entire article transport vehicle while ensuring the stroke amount of the fork.

本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。   The problem to be solved by the present invention has been described above. Next, means for solving the problem will be described.

即ち、本発明は、走行経路に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車であって、前記走行経路を走行する走行部と、前記走行部に支持される本体部と、を備え、前記本体部は、前記物品を収容する収容部と、前記物品を把持する把持部と、
前記把持部を昇降させる昇降部と、前記収容部に固定され、前記把持部及び前記昇降部を前記収容部に対して水平方向に移動させる横移動部と、を備え、前記横移動部は、前記収容部に固定されるベースプレートと、前記把持部及び前記昇降部を前記収容部に対して水平方向に移動させるためのフォークと、前記収容部に対して水平方向に延設されるガイドレールと、前記ガイドレールに移動可能に係合するガイドブロックと、を備え、前記ガイドレールは、前記ベースプレートに固定され、前記フォークは、前記ガイドブロックに固定されて、前記ガイドブロックが前記ガイドレールに対して摺動することにより、前記収容部に対して水平方向に移動するものである。 That is, the present invention is an article transport vehicle that travels along a travel route to transport an article, comprising: a travel section that travels along the travel path; and a main body section that is supported by the travel section. The main body portion is a storage portion that stores the article, a grip portion that grips the article,
An elevating unit that elevates and lowers the grip unit, and a lateral movement unit that is fixed to the accommodating unit and that moves the grasping unit and the elevating unit in a horizontal direction with respect to the accommodating unit, and the lateral movement unit includes: A base plate fixed to the accommodating part, a fork for moving the gripping part and the elevating part in the horizontal direction with respect to the accommodating part, and a guide rail extending in the horizontal direction with respect to the accommodating part. A guide block movably engaged with the guide rail, the guide rail fixed to the base plate, the fork fixed to the guide block, the guide block with respect to the guide rail. By sliding it, it moves in the horizontal direction with respect to the accommodation portion.

上記構成では、フォークが固定されたガイドブロックを、収容部に対して水平方向に延設されてベースプレートに固定されたガイドレールに対して摺動させることにより、フォークが収容部に対して水平方向に移動する。   In the above structure, the fork is horizontally moved with respect to the accommodating portion by sliding the guide block to which the fork is fixed with respect to the guide rail that is horizontally extended with respect to the accommodating portion and fixed to the base plate. Move to.

また、本発明は、上記記載の物品搬送車において、前記横移動部は、前記ベースプレートに固定される第１ガイドレールと、前記ガイドレールに移動可能に係合する第１ガイドブロックと、前記第１ガイドブロックに固定されて、前記第１ガイドブロックが前記第１ガイドレールに対して摺動することにより、前記収容部に対して水平方向に移動する第１フォークと、第１フォークに固定される第２ガイドブロックと、前記第２ガイドブロックに移動可能に係合する第２ガイドレールと、前記ガイドレールに固定されて、前記第２ガイドレールが前記第２ガイドブロックに対して摺動することにより、前記収容部に対して水平方向に移動する第２フォークと、前記第２フォークに固定される第３ガイドレールと、前記第３ガイドレールに移動可能に係合する第３ガイドブロックと、前記第３ガイドブロックに固定されて、前記第３ガイドブロックが前記第３ガイドレールに対して摺動することにより、前記収容部に対して水平方向に移動するとともに、前記把持部及び昇降部を支持する第３フォークと、を備えるものである。   Further, the present invention is the above-described article transport vehicle, wherein the lateral movement section includes a first guide rail fixed to the base plate, a first guide block movably engaged with the guide rail, and the first guide block. The first fork is fixed to the first guide block, and the first guide block slides with respect to the first guide rail to be fixed to the first fork and the first fork that moves in the horizontal direction with respect to the housing portion. A second guide block, a second guide rail that movably engages with the second guide block, and a second guide rail that is fixed to the guide rail and slides with respect to the second guide block. As a result, the second fork that moves horizontally with respect to the housing portion, the third guide rail that is fixed to the second fork, and the third guide rail that moves to the third fork Fixed to the third guide block and the third guide block that engages with each other, and the third guide block slides with respect to the third guide rail so that the third guide block is horizontally moved with respect to the accommodating portion. And a third fork that moves and supports the gripping part and the elevating part.

上記構成では、第１フォークが固定された第１ガイドブロックを、収容部に対して水平方向に延設されてベースプレートに固定された第１ガイドレールに対して摺動させることにより、第１から第３の全てのフォークが収容部に対して水平方向に移動する。   In the above configuration, the first guide block to which the first fork is fixed is slid with respect to the first guide rail that extends in the horizontal direction with respect to the accommodating portion and is fixed to the base plate. All the third forks move horizontally with respect to the receiving part.

本発明の物品搬送車によれば、収容部に固定されるベースプレートに対してガイドレールを固定し、そのガイドレールに対してガイドブロックを移動可能に係合することで、ガイドブロックに固定されたフォークを収容部に対して水平方向に移動させる構成、すなわち、フォークにガイドブロックのみを固定した構成であることから、従来のフォークのストローク量を確保しながらも、フォークの長手方向の長さを、把持部を所定の位置までスライドさせるために必要な長さより短くすることができる。そのため、フォーク自体を軽量化することができ、結果として物品搬送車全体を軽量化することができる。   According to the article transport vehicle of the present invention, the guide rail is fixed to the base plate fixed to the housing portion, and the guide block is movably engaged with the guide rail, thereby being fixed to the guide block. Since the fork is moved in the horizontal direction with respect to the accommodating portion, that is, the guide block is fixed to the fork, the length of the fork in the longitudinal direction can be maintained while securing the stroke amount of the conventional fork. , The length can be made shorter than the length required to slide the grip portion to a predetermined position. Therefore, the weight of the fork itself can be reduced, and as a result, the weight of the entire article transport vehicle can be reduced.

本発明に係る物品搬送車の一例である天井搬送車が搬送容器を移載する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the ceiling conveyance vehicle which is an example of the article conveyance vehicle which concerns on this invention transfers a conveyance container. 同天井搬送車の正面図である。It is a front view of the ceiling guided vehicle. 同天井搬送車の横移動部の近傍を示す拡大正面図である。It is an enlarged front view showing the vicinity of the lateral movement part of the ceiling guided vehicle. 同天井搬送車の横移動部の動作を示す拡大側面図である。It is an expanded side view which shows operation | movement of the lateral movement part of the ceiling guided vehicle.

まず、本発明に係る物品搬送車の一例である天井搬送車１０について説明する。
図１に示すように、天井搬送車１０は、半導体基板等のワーク（図示せず）に対して所定の処理を行う処理装置９１に、ワークが収納された搬送容器９２（「物品」の一例）を搬送するためのものである。天井搬送車１０は、半導体デバイス等の製造設備９０の天井９３近くに敷設される走行レール９４（「走行経路」の一例）に対して吊下げられた状態で取り付けられる。天井搬送車１０は、搬送容器９２を把持した状態で走行レール９４に沿って走行する。
天井搬送車１０が搬送する搬送容器９２は、略直方体の箱状の搬送容器であり、内部に複数のワークを収納可能な複数段の載置部を有する。 First, a ceiling transport vehicle 10, which is an example of the article transport vehicle according to the present invention, will be described.
As shown in FIG. 1, a ceiling transfer vehicle 10 includes a processing apparatus 91 that performs a predetermined process on a work (not shown) such as a semiconductor substrate, and a transfer container 92 in which the work is stored (an example of an “article”). ) Is for carrying. The ceiling guided vehicle 10 is attached in a suspended state to a traveling rail 94 (an example of a “traveling route”) laid near the ceiling 93 of a manufacturing facility 90 for manufacturing semiconductor devices and the like. The ceiling guided vehicle 10 travels along the traveling rail 94 while holding the carrying container 92.
The transport container 92 that the ceiling transport vehicle 10 transports is a substantially rectangular parallelepiped box-shaped transport container, and has a plurality of stages of mounting portions capable of storing a plurality of works therein.

図１及び図２に示すように、天井搬送車１０は、走行レール９４に沿って走行する走行部１１と、走行部１１に吊下げ支持される本体部２０と、から主に構成されている。
走行部１１は、走行レール９４に吊下げられた状態で取り付けられ、リニアモータ等の走行用モータ１２（クリーンルーム等のクリーン度が要求される空間で駆動可能な駆動手段）により駆動されることによって走行レール９４に沿って走行する。走行部１１は、走行用モータ１２によって駆動されて走行レール９４を搬送方向Ｈに沿って転動する走行輪１３と、走行レール９４に当接して走行部１１を走行レール９４に沿って案内する案内輪１４と、を有する。
本体部２０は、走行部１１によって吊り下げ支持されることによって走行部１１に連結されている。本体部２０は、走行部１１の走行によって走行部１１と一体的に走行レール９４に沿って移動する。本体部２０は、搬送容器９２を収容する収容部２１と、収容部２１を覆うカバー部２２と、を有する。収容部２１は、カバー部２２の内側に配置されている。カバー部２２は、横方向Ｙの両側及び下方が開放された門状に形成されている。そのため、収容部２１は、横方向Ｙの両側及び下方において、収容部２１の外側と連通している。 As shown in FIGS. 1 and 2, the ceiling guided vehicle 10 mainly includes a traveling unit 11 that travels along a traveling rail 94 and a main body unit 20 that is hung and supported by the traveling unit 11. .
The traveling unit 11 is attached to the traveling rail 94 in a suspended state, and is driven by a traveling motor 12 such as a linear motor (a drive unit that can be driven in a space such as a clean room where cleanness is required). The vehicle runs along the traveling rail 94. The traveling unit 11 is driven by the traveling motor 12 to roll the traveling rails 94 along the transport direction H, and the traveling wheels 13 contact the traveling rails 94 to guide the traveling units 11 along the traveling rails 94. And a guide wheel 14.
The main body portion 20 is connected to the traveling portion 11 by being suspended and supported by the traveling portion 11. The main body portion 20 moves along the traveling rail 94 integrally with the traveling portion 11 as the traveling portion 11 travels. The main body 20 has a housing 21 that houses the transport container 92, and a cover 22 that covers the housing 21. The housing portion 21 is arranged inside the cover portion 22. The cover portion 22 is formed in a gate shape in which both sides in the lateral direction Y and the lower portion are open. Therefore, the accommodation portion 21 communicates with the outside of the accommodation portion 21 on both sides and below in the lateral direction Y.

本体部２０は、収容部２１と、収容部２１に対して外側に位置する処理装置９１との間で、搬送容器９２を移動させて移載を行う移載機構３０を備える。なお、本実施の形態において、搬送容器９２の移載とは、天井搬送車１０（収容部２１）と処理装置９１（授受部９１ａ）との間で搬送容器９２を移動させることをいう。また、搬送容器９２の搬送とは、製造設備９０内の複数の処理装置９１（授受部９１ａ）のうち、搬送元となる処理装置９１（授受部９１ａ）から搬送先となる他の処理装置９１（授受部９１ａ）まで搬送容器９２を移動させることをいう。   The main body 20 includes a transfer mechanism 30 that transfers the transfer container 92 between the container 21 and the processing device 91 located outside the container 21 to transfer the carrier container 92. In the present embodiment, the transfer of the transfer container 92 means moving the transfer container 92 between the ceiling transfer vehicle 10 (accommodation unit 21) and the processing device 91 (transfer unit 91a). Further, the transportation of the transport container 92 means, among the plurality of processing devices 91 (the transfer unit 91a) in the manufacturing facility 90, another processing device 91 that is a transfer destination from the processing device 91 that is the transfer source (the transfer unit 91a). This means moving the transport container 92 to the (transfer part 91a).

移載機構３０は、搬送容器９２を把持する把持部３１と、把持部３１を鉛直方向に沿って昇降させる昇降部３２と、把持部３１を横方向Ｙ（走行レール９４に沿う搬送容器９２の搬送方向に交差する水平方向）に移動させる横移動部４０と、を備える。天井搬送車１０においては、把持部３１と、昇降部３２と、横移動部４０と、によって、天井搬送車１０（収容部２１）と処理装置９１（授受部９１ａ）との間での搬送容器９２の移載を行う。   The transfer mechanism 30 includes a grip portion 31 that grips the transport container 92, an elevating portion 32 that lifts and lowers the grip portion 31 in the vertical direction, and the grip portion 31 in the lateral direction Y (of the transport container 92 along the traveling rail 94). And a lateral movement unit 40 that moves in a horizontal direction that intersects the transport direction). In the ceiling transport vehicle 10, the transport container between the ceiling transport vehicle 10 (accommodation unit 21) and the processing device 91 (transfer unit 91a) is provided by the grip unit 31, the elevating unit 32, and the lateral movement unit 40. 92 is transferred.

把持部３１は、搬送容器９２を上方から把持する。把持部３１は、昇降部３２の昇降ベルト３３に連結されている。把持部３１は、把持用モータ（図示せず）により駆動されて把持姿勢と解除姿勢との間で切り替わり自在な一対の把持爪３４を有する。一対の把持爪３４は、互いに接近する方向に移動することで、搬送容器９２のフランジ部９２ａを把持する把持姿勢となり、互いに離間する方向に移動することで、搬送容器９２のフランジ部の把持を解除する解除姿勢となる。
昇降部３２は、本体部２０のカバー部２２が配置される高さから処理装置９１の授受部９１ａが配置される高さまでの間で搬送容器９２を昇降させる。昇降部３２は、昇降用モータ（図示せず）によって昇降用プーリ（図示せず）を駆動させることで、複数本の昇降ベルト３３を同時に巻き取り又は巻き出して、昇降ベルト３３により吊下げ支持された把持部３１を昇降させる。 The grip portion 31 grips the transport container 92 from above. The grip 31 is connected to the lifting belt 33 of the lifting unit 32. The grip portion 31 has a pair of grip claws 34 that are driven by a grip motor (not shown) and are switchable between a grip posture and a release posture. The pair of grip claws 34 move in a direction in which they approach each other to be in a gripping posture for gripping the flange portion 92a of the transport container 92, and move in a direction in which they are separated from each other, thereby gripping the flange portion of the transport container 92. It is in the release position to release.
The elevating unit 32 elevates and lowers the transport container 92 from a height at which the cover unit 22 of the main body unit 20 is arranged to a height at which the transfer unit 91a of the processing device 91 is arranged. The elevating unit 32 drives an elevating motor (not shown) to drive an elevating pulley (not shown) to wind or unwind a plurality of elevating belts 33 at the same time, and the elevating belt 33 suspends and supports the elevating belts 33. The gripped portion 31 is lifted.

横移動部４０は、縮んだ状態で本体部２０のカバー部２２の内側に収容され、伸びた状態でその一部がカバー部２２の外側に突出するように、横方向Ｙに伸縮自在に構成されている。横移動部４０は、本体部２０の収容部２１に取り付けられている。
横移動部４０は、ベースプレート４１と、ターシャリフォーク４２（「第１フォーク」の一例）と、セカンダリフォーク４３（「第２フォーク」の一例）と、プライマリフォーク４４（「第３フォーク」の一例）と、を備える。
ベースプレート４１は、平板状の部材であり、本体部２０の収容部２１に固定されている。ベースプレート４１は、ターシャリフォーク４２、セカンダリフォーク４３、プライマリフォーク４４の順で鉛直方向に平行に配置される３段のフォークを支持する。
ターシャリフォーク４２は、ベースプレート４１側に配置されるフォークある。ターシャリフォーク４２は、中央部が突出するように凸状に折曲げられた板部材により構成され、その移動方向（横方向Ｙ）の長さが、ベースプレート４１の長さより短く形成されている。ターシャリフォーク４２は、平面視においてベースプレート４１が設けられる範囲内で横方向Ｙに移動可能に構成されている。
セカンダリフォーク４３は、ターシャリフォーク４２の下方に配置されるフォークである。セカンダリフォーク４３は、平板状の部材により構成され、その移動方向（横方向Ｙ）の長さが、ターシャリフォーク４２の移動方向（横方向Ｙ）の長さより長く、且つベースプレート４１の長さと略同程度の長さに形成されている。セカンダリフォーク４３は、その移動方向（横方向Ｙ）の先端側が、平面視においてベースプレート４１が設けられる範囲を超えて突出するように横方向Ｙに移動可能に構成されている。
プライマリフォーク４４は、セカンダリフォーク４３の下方に配置されるフォークであり、把持部３１及び昇降部３２を支持するものである。プライマリフォーク４４は、平板状の部材により構成され、その移動方向（横方向Ｙ）の長さが、ベースプレート４１及びセカンダリフォーク４３の移動方向（横方向Ｙ）の長さより短く、且つターシャリフォーク４２の移動方向（横方向Ｙ）の長さと同程度の長さに形成されている。プライマリフォーク４４は、平面視においてセカンダリフォーク４３が設けられる範囲内で横方向Ｙに移動可能に構成されている。 The laterally moving portion 40 is configured to be retractable in the lateral direction Y so that the laterally moving portion 40 is housed inside the cover portion 22 of the main body portion 20 in a contracted state and a part of the laterally moving portion 40 protrudes outside the cover portion 22 in an extended state. Has been done. The lateral movement section 40 is attached to the housing section 21 of the main body section 20.
The lateral movement unit 40 includes a base plate 41, a tertiary fork 42 (an example of a “first fork”), a secondary fork 43 (an example of a “second fork”), and a primary fork 44 (an example of a “third fork”). ), And.
The base plate 41 is a flat plate-shaped member and is fixed to the housing portion 21 of the main body portion 20. The base plate 41 supports three forks arranged in the order of the tertiary fork 42, the secondary fork 43, and the primary fork 44 in parallel in the vertical direction.
The tertiary fork 42 is a fork arranged on the base plate 41 side. The tertiary fork 42 is configured by a plate member that is bent in a convex shape so that the central portion thereof protrudes, and its length in the moving direction (lateral direction Y) is formed shorter than the length of the base plate 41. The tertiary fork 42 is configured to be movable in the lateral direction Y within a range where the base plate 41 is provided in plan view.
The secondary fork 43 is a fork arranged below the tertiary fork 42. The secondary fork 43 is formed of a flat plate-shaped member, and its length in the moving direction (lateral direction Y) is longer than the length of the tertiary fork 42 in the moving direction (lateral direction Y), and is substantially the same as the length of the base plate 41. They are formed to have the same length. The secondary fork 43 is configured to be movable in the lateral direction Y such that the tip end side in the moving direction (lateral direction Y) of the secondary fork 43 projects beyond the range where the base plate 41 is provided in a plan view.
The primary fork 44 is a fork arranged below the secondary fork 43, and supports the grip portion 31 and the elevating / lowering portion 32. The primary fork 44 is formed of a flat plate-shaped member, and the length thereof in the moving direction (lateral direction Y) is shorter than the length of the base plate 41 and the secondary fork 43 in the moving direction (lateral direction Y), and the tertiary fork 42. Is formed in a length similar to the length in the moving direction (lateral direction Y). The primary fork 44 is configured to be movable in the lateral direction Y within a range where the secondary fork 43 is provided in a plan view.

図３に示すように、ベースプレート４１の下面には、２本の第１ガイドレール４５が横方向Ｙに対して直交する方向に所定の間隔を空けて平行に配置されて固定されている。第１ガイドレール４５は、ベースプレート４１から下方に突出した凸状のレール部材であり、ベースプレート４１の長さと同程度の長さで、且つ横方向Ｙ（本体部２０の収容部２１に対して水平方向）に延設される。
２本の第１ガイドレール４５のそれぞれには、第１ガイドブロック４６が第１ガイドレール４５に沿って移動可能に係合するように設けられている。第１ガイドブロック４６は、第１ガイドレール４５に嵌め合わせ可能な凹状のブロックである。第１ガイドブロック４６は、第１ガイドレール４５に嵌め合わされた状態で摺動することにより第１ガイドレール４５に沿って横方向Ｙに移動する。
２本の第１ガイドレール４５のそれぞれに係合される第１ガイドブロック４６の下部には、ターシャリフォーク４２が固定されている。すなわち、ターシャリフォーク４２は、第１ガイドレール４５に係合される２体の第１ガイドブロック４６により支持されている。ターシャリフォーク４２は、その上面中央であって、その幅方向（長手方向（横方向Ｙ）に対して直交する方向）の両端部に第１ガイドブロック４６が固定されている。ターシャリフォーク４２は、第１ガイドブロック４６が第１ガイドレール４５に沿って移動することにより横方向Ｙに移動する。
ターシャリフォーク４２の下面中央には、２体の第２ガイドブロック４７が固定されている。第２ガイドブロック４７は、第１ガイドブロック４６と同様に凹状のブロックにより構成されている。
このように、ターシャリフォーク４２には、その上面及び下面にガイドブロック（第１及び第２ガイドブロック４６、４７）のみが固定されている。このため、ターシャリフォーク４２は、ガイドブロック（第１及び第２ガイドブロック４６、４７）を固定可能な長さに形成すれば良く、把持部３１を所定の位置までスライドさせるために、横方向Ｙに延ばして長く形成する必要がない。 As shown in FIG. 3, on the lower surface of the base plate 41, two first guide rails 45 are arranged and fixed in parallel at a predetermined interval in a direction orthogonal to the lateral direction Y. The first guide rail 45 is a convex rail member that protrudes downward from the base plate 41, has a length that is approximately the same as the length of the base plate 41, and is in the lateral direction Y (horizontal with respect to the housing portion 21 of the main body portion 20). Direction).
A first guide block 46 is provided on each of the two first guide rails 45 so as to be movably engaged along the first guide rail 45. The first guide block 46 is a concave block that can be fitted to the first guide rail 45. The first guide block 46 moves in the lateral direction Y along the first guide rail 45 by sliding while being fitted to the first guide rail 45.
A tertiary fork 42 is fixed to the lower portion of the first guide block 46 engaged with each of the two first guide rails 45. That is, the tertiary fork 42 is supported by the two first guide blocks 46 that are engaged with the first guide rails 45. The tertiary fork 42 has a first guide block 46 fixed to the center of the upper surface of the tertiary fork 42 at both ends in the width direction (direction orthogonal to the longitudinal direction (lateral direction Y)). The tertiary fork 42 moves in the lateral direction Y as the first guide block 46 moves along the first guide rail 45.
Two second guide blocks 47 are fixed to the center of the lower surface of the tertiary fork 42. The second guide block 47 is composed of a concave block like the first guide block 46.
As described above, only the guide blocks (first and second guide blocks 46 and 47) are fixed to the upper and lower surfaces of the tertiary fork 42. Therefore, the tertiary fork 42 may be formed to have a length capable of fixing the guide blocks (first and second guide blocks 46, 47), and in order to slide the grip portion 31 to a predetermined position, the lateral direction There is no need to extend to Y and form long.

また、セカンダリフォーク４３の上面中央には、２本の第２ガイドレール４８が横方向Ｙに対して直交する方向に平行に配置されて固定されている。第２ガイドレール４８は、第１ガイドレール４５と同様に、セカンダリフォーク４３から上方に突出した凸状のレール部材であり、セカンダリフォーク４３の長さと同程度の長さで、且つ横方向Ｙに水平に延設されている。
セカンダリフォーク４３に固定される２本の第２ガイドレール４８のそれぞれには、ターシャリフォーク４２に固定される第２ガイドブロック４７が第２ガイドレール４８に沿って移動可能に係合する。第２ガイドレール４８は、第２ガイドブロック４７に嵌め合わされた状態で摺動することにより第２ガイドブロック４７を介して横方向Ｙに移動する。すなわち、セカンダリフォーク４３が第２ガイドブロック４７を介して横方向Ｙに移動する。 Further, at the center of the upper surface of the secondary fork 43, two second guide rails 48 are arranged and fixed in parallel in a direction orthogonal to the lateral direction Y. Like the first guide rail 45, the second guide rail 48 is a convex rail member that protrudes upward from the secondary fork 43, has a length similar to the length of the secondary fork 43, and extends in the lateral direction Y. It is extended horizontally.
A second guide block 47 fixed to the tertiary fork 42 is movably engaged with each of the two second guide rails 48 fixed to the secondary fork 43. The second guide rail 48 moves in the lateral direction Y via the second guide block 47 by sliding while being fitted in the second guide block 47. That is, the secondary fork 43 moves in the lateral direction Y via the second guide block 47.

セカンダリフォーク４３の幅方向（長手方向（横方向Ｙ）に直交する方向）の下部両端には、２本の第３ガイドレール４９がセカンダリフォーク４３の幅方向に所定の間隔を空けて平行に配置されて固定されている。第３ガイドレール４９は、第１及び第２ガイドレール４５、４８と同様に、セカンダリフォーク４３から下方に突出した凸状のレール部材であり、セカンダリフォーク４３の長さと同程度の長さで、且つ横方向Ｙに水平に延設されている。
また、プライマリフォーク４４の幅方向（長手方向（横方向Ｙ）に直交する方向）の上面両端には、２体の第３ガイドブロック５０がプライマリフォーク４４の幅方向に所定の間隔を空けて平行に配置されて固定されている。第３ガイドブロック５０は、第１及び第２ガイドブロック４６、４７と同様に凹状のブロックにより構成されている。
プライマリフォーク４４に固定される２体の第３ガイドブロック５０のそれぞれには、セカンダリフォーク４３に固定される２本の第３ガイドレール４９が移動可能に係合する。第３ガイドブロック５０は、第３ガイドレール４９に嵌め合わされた状態で摺動することにより第３ガイドレール４９に沿って横方向Ｙに移動する。すなわち、プライマリフォーク４４が第３ガイドレール４９を介して横方向Ｙに移動する。さらには、プライマリフォーク４４に連結される把持部３１及び昇降部３２が第３ガイドレール４９を介して横方向Ｙに移動する。 Two third guide rails 49 are arranged in parallel at a predetermined interval in the width direction of the secondary fork 43 at both lower ends in the width direction of the secondary fork 43 (direction orthogonal to the longitudinal direction (lateral direction Y)). Has been fixed. Like the first and second guide rails 45 and 48, the third guide rail 49 is a convex rail member protruding downward from the secondary fork 43, and has a length similar to that of the secondary fork 43. In addition, it extends horizontally in the lateral direction Y.
In addition, two third guide blocks 50 are parallel to each other in the width direction of the primary fork 44 at predetermined intervals on both ends of the upper surface in the width direction (direction orthogonal to the longitudinal direction (lateral direction Y)). It is placed and fixed on. The third guide block 50 is composed of a concave block like the first and second guide blocks 46 and 47.
Two third guide rails 49 fixed to the secondary fork 43 are movably engaged with each of the two third guide blocks 50 fixed to the primary fork 44. The third guide block 50 moves in the lateral direction Y along the third guide rail 49 by sliding while being fitted to the third guide rail 49. That is, the primary fork 44 moves in the lateral direction Y via the third guide rail 49. Furthermore, the gripping portion 31 and the elevating portion 32 connected to the primary fork 44 move in the lateral direction Y via the third guide rail 49.

次に、横移動部４０の動作について説明する。
図４に示すように、横移動部４０は、３段のフォーク（ターシャリフォーク４２、セカンダリフォーク４３、プライマリフォーク４４）を段階的に横方向Ｙに移動させることで、把持部３１及び昇降部３２を横方向Ｙに移動させる。
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、横移動部４０は、ターシャリフォーク４２が固定されている第１ガイドブロック４６を、ベースプレート４１に固定されている第１ガイドレール４５に対して摺動させることで、ターシャリフォーク４２が横方向Ｙに移動する。この時、第１ガイドブロック４６は、第１ガイドレール４５の中央部から一端部（処理装置９１が設置されている側の端部）まで移動する。ターシャリフォーク４２は、第２及び第３ガイドレール４８、４９、第２及び第３ガイドブロック４７、５０を介して、セカンダリフォーク４３、プライマリフォーク４４、把持部３１及び昇降部３２を支持しているため、ターシャリフォーク４２が横方向Ｙに移動することで、セカンダリフォーク４３、プライマリフォーク４４、把持部３１及び昇降部３２が横方向Ｙに移動する。 Next, the operation of the lateral movement unit 40 will be described.
As illustrated in FIG. 4, the lateral movement unit 40 moves the three-stage forks (the tertiary fork 42, the secondary fork 43, and the primary fork 44) stepwise in the lateral direction Y, so that the grip unit 31 and the elevating unit. 32 is moved in the lateral direction Y.
As shown in FIGS. 4A and 4B, in the lateral movement unit 40, the first guide block 46 to which the tertiary fork 42 is fixed is different from the first guide rail 45 fixed to the base plate 41. By sliding it, the tertiary fork 42 moves in the lateral direction Y. At this time, the first guide block 46 moves from the central portion of the first guide rail 45 to one end portion (the end portion on the side where the processing device 91 is installed). The tertiary fork 42 supports the secondary fork 43, the primary fork 44, the grip portion 31 and the elevating portion 32 via the second and third guide rails 48 and 49 and the second and third guide blocks 47 and 50. Therefore, when the tertiary fork 42 moves in the lateral direction Y, the secondary fork 43, the primary fork 44, the grip portion 31, and the elevating unit 32 move in the lateral direction Y.

図４（ｂ）及び（ｃ）に示すように、横移動部４０は、セカンダリフォーク４３が固定されている第２ガイドレール４８を、ターシャリフォーク４２に固定されている第２ガイドブロック４７に対して摺動させることで、セカンダリフォーク４３がさらに横方向Ｙに移動する。セカンダリフォーク４３は、第３ガイドレール４９、第３ガイドブロック５０を介して、プライマリフォーク４４、把持部３１及び昇降部３２を支持しているため、セカンダリフォーク４３が横方向Ｙに移動することで、プライマリフォーク４４、把持部３１及び昇降部３２が横方向Ｙに移動する。   As shown in FIGS. 4B and 4C, in the lateral movement unit 40, the second guide rail 48 to which the secondary fork 43 is fixed is attached to the second guide block 47 fixed to the tertiary fork 42. The secondary fork 43 further moves in the lateral direction Y by sliding it against the other side. Since the secondary fork 43 supports the primary fork 44, the grip portion 31, and the elevating / lowering portion 32 via the third guide rail 49 and the third guide block 50, the secondary fork 43 moves in the lateral direction Y. , The primary fork 44, the grip portion 31, and the elevating portion 32 move in the lateral direction Y.

図４（ｃ）及び（ｄ）に示すように、横移動部４０は、プライマリフォーク４４が固定されている第３ガイドブロック５０を、セカンダリフォーク４３に固定されている第３ガイドレール４９に対して摺動させることで、プライマリフォーク４４がさらに横方向Ｙに移動する。この時、第３ガイドブロック５０は、第３ガイドレール４９の中央部から一端部（処理装置９１が設置されている側の端部）まで移動する。プライマリフォーク４４は、把持部３１及び昇降部３２を支持しているため、プライマリフォーク４４が横方向Ｙに移動することで、把持部３１及び昇降部３２が横方向Ｙに移動する。   As shown in FIGS. 4C and 4D, in the lateral movement unit 40, the third guide block 50 to which the primary fork 44 is fixed is different from the third guide rail 49 that is fixed to the secondary fork 43. The primary fork 44 further moves in the lateral direction Y by sliding it. At this time, the third guide block 50 moves from the central part of the third guide rail 49 to one end (the end on the side where the processing device 91 is installed). Since the primary fork 44 supports the grip portion 31 and the elevating / lowering portion 32, when the primary fork 44 moves in the lateral direction Y, the grasping portion 31 and the elevating / lowering portion 32 move in the lateral direction Y.

以上のように、天井搬送車１０においては、収容部２１に固定されるベースプレート４１に対して第１ガイドレール４５を固定し、その第１ガイドレール４５に対して第１ガイドブロック４６を移動可能に係合することで、第１ガイドブロック４６に固定されたターシャリフォーク４２を収容部２１に対して水平方向に移動させる構成、すなわち、ターシャリフォーク４２に第１及び第２ガイドブロック４６、４７のみを固定した構成であることから、従来のフォークのストローク量を確保しながらも、ターシャリフォーク４２の長手方向の長さを、把持部３１を所定の位置までスライドさせるために必要な長さより短く形成することができる。そのため、ターシャリフォーク４２自体を軽量化することができ、結果として天井搬送車１０全体を軽量化することができる。   As described above, in the ceiling guided vehicle 10, the first guide rail 45 is fixed to the base plate 41 fixed to the housing portion 21, and the first guide block 46 can be moved with respect to the first guide rail 45. By engaging with, the tertiary fork 42 fixed to the first guide block 46 is moved in the horizontal direction with respect to the accommodating portion 21, that is, the tertiary fork 42 includes the first and second guide blocks 46, Since only 47 is fixed, the length of the tertiary fork 42 in the longitudinal direction is the length required to slide the grip 31 to a predetermined position while securing the stroke amount of the conventional fork. It can be formed shorter than that. Therefore, the weight of the tertiary fork 42 itself can be reduced, and as a result, the weight of the ceiling guided vehicle 10 can be reduced as a whole.

また、天井搬送車１０においては、ベースプレート４１に固定される第１ガイドレール４５に対して第１ガイドブロック４６を移動可能に係合する構成であるため、ベースプレート４１に固定されるガイドブロックに対してガイドレールを移動可能に係合する構成より、把持部３１のスライド時における第１ガイドブロック４６と、第３ガイドブロック５０と、の間の距離を短くすることができる。そのため、第１ガイドブロック４６にかかる荷重が、従来のガイドブロックに対してガイドレールを移動可能に係合する構成より小さくなり、スライド時の把持部３１を安定して支持することができる。   Further, in the ceiling guided vehicle 10, since the first guide block 46 is movably engaged with the first guide rail 45 fixed to the base plate 41, the first guide block 46 is movably engaged with the guide block fixed to the base plate 41. With the configuration in which the guide rail is movably engaged, the distance between the first guide block 46 and the third guide block 50 when the grip portion 31 slides can be shortened. Therefore, the load applied to the first guide block 46 becomes smaller than that of the conventional configuration in which the guide rail is movably engaged with the guide block, and the grip portion 31 can be stably supported when sliding.

なお、本実施の形態においては、横移動部４０のフォークをターシャリフォーク４２、セカンダリフォーク４３、プライマリフォーク４４の３段のフォークにより構成しているが、これに限定されるものではなく、ベースプレートに固定されるガイドレールに対してガイドブロックを固定したフォークを移動可能な構成であれば、１段又は２段のフォーク、或いは４段以上のフォークにより構成しても構わない。   In addition, in the present embodiment, the fork of the lateral movement unit 40 is configured by the three-stage fork of the tertiary fork 42, the secondary fork 43, and the primary fork 44, but the present invention is not limited to this, and the base plate is not limited thereto. As long as the fork having the guide block fixed thereto is movable with respect to the guide rail fixed to, the fork may have one or two stages or four or more stages of forks.

本実施の形態においては、搬送容器９２の移載先並びに搬送元、搬送先を処理装置９１としているが、これに限定されるものではなく、搬送容器９２の保管庫等を搬送容器９２の移載先並びに搬送元、搬送先としても構わない。   In the present embodiment, the transfer device, the transfer source, the transfer source, and the transfer destination of the transfer container 92 are the processing device 91, but the present invention is not limited to this, and the storage container of the transfer container 92 or the like is transferred. The placement destination, the transportation source, and the transportation destination may be used.

１０ 天井搬送車（物品搬送車）
１１ 走行部
２０ 本体部
２１ 収容部
３１ 把持部
３２ 昇降部
４０ 横移動部
４１ ベースプレート
４２ ターシャリフォーク（第１フォーク）
４３ セカンダリフォーク（第２フォーク）
４４ プライマリフォーク（第３フォーク）
４５ 第１ガイドレール
４６ 第１ガイドブロック
４７ 第２ガイドブロック
４８ 第２ガイドレール
４９ 第３ガイドレール
５０ 第３ガイドブロック
９２ 搬送容器（物品）
９４ 走行レール（走行経路）

10 Ceiling carrier (goods carrier)
11 Traveling Part 20 Body Part 21 Housing Part 31 Gripping Part 32 Elevating Part 40 Lateral Moving Part 41 Base Plate 42 Tertiary Fork (First Fork)
43 Secondary fork (second fork)
44 primary fork (third fork)
45 1st guide rail 46 1st guide block 47 2nd guide block 48 2nd guide rail 49 3rd guide rail 50 3rd guide block 92 Transport container (article)
94 Traveling rail (traveling route)

Claims (2)

走行経路に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車であって、
前記走行経路を走行する走行部と、
前記走行部に支持される本体部と、
を備え、
前記本体部は、
前記物品を収容する収容部と、
前記物品を把持する把持部と、
前記把持部を昇降させる昇降部と、
前記収容部に固定され、前記把持部及び前記昇降部を前記収容部に対して水平方向に移動させる横移動部と、
を備え、
前記横移動部は、
前記収容部に固定されるベースプレートと、
前記把持部及び前記昇降部を前記収容部に対して水平方向に移動させるためのフォークと、
前記収容部に対して水平方向に延設されるガイドレールと、
前記ガイドレールに移動可能に係合するガイドブロックと、
を備え、
前記ガイドレールは、前記ベースプレートに固定され、
前記フォークは、前記ガイドブロックに固定されて、前記ガイドブロックが前記ガイドレールに対して摺動することにより、前記収容部に対して水平方向に移動すること
を特徴とする物品搬送車。 An article transport vehicle that transports articles by traveling along a travel route,
A traveling unit traveling on the traveling route,
A main body supported by the traveling portion,
Equipped with
The main body is
A storage unit for storing the article,
A gripping part for gripping the article,
An elevating part for elevating the grip part,
A lateral movement unit that is fixed to the accommodation unit and moves the gripping unit and the elevating unit in a horizontal direction with respect to the accommodation unit;
Equipped with
The lateral movement unit,
A base plate fixed to the housing,
A fork for moving the gripping part and the elevating part in the horizontal direction with respect to the accommodating part,
A guide rail extending horizontally with respect to the housing portion,
A guide block movably engaged with the guide rail,
Equipped with
The guide rail is fixed to the base plate,
The fork is fixed to the guide block, and the guide block slides with respect to the guide rail to move in the horizontal direction with respect to the storage unit. 前記横移動部は、
前記ベースプレートに固定される第１ガイドレールと、
前記ガイドレールに移動可能に係合する第１ガイドブロックと、
前記第１ガイドブロックに固定されて、前記第１ガイドブロックが前記第１ガイドレールに対して摺動することにより、前記収容部に対して水平方向に移動する第１フォークと、
第１フォークに固定される第２ガイドブロックと、
前記第２ガイドブロックに移動可能に係合する第２ガイドレールと、
前記ガイドレールに固定されて、前記第２ガイドレールが前記第２ガイドブロックに対して摺動することにより、前記収容部に対して水平方向に移動する第２フォークと、
前記第２フォークに固定される第３ガイドレールと、
前記第３ガイドレールに移動可能に係合する第３ガイドブロックと、
前記第３ガイドブロックに固定されて、前記第３ガイドブロックが前記第３ガイドレールに対して摺動することにより、前記収容部に対して水平方向に移動するとともに、前記把持部及び昇降部を支持する第３フォークと、
を備えること
を特徴とする請求項１に記載の物品搬送車。 The lateral movement unit,
A first guide rail fixed to the base plate;
A first guide block movably engaged with the guide rail;
A first fork that is fixed to the first guide block and moves in a horizontal direction with respect to the accommodating portion by sliding the first guide block with respect to the first guide rail;
A second guide block fixed to the first fork;
A second guide rail movably engaged with the second guide block;
A second fork that is fixed to the guide rail and moves in a horizontal direction with respect to the accommodating portion by sliding the second guide rail with respect to the second guide block;
A third guide rail fixed to the second fork,
A third guide block movably engaged with the third guide rail;
The third guide block is fixed to the third guide block, and the third guide block slides with respect to the third guide rail so that the third guide block moves in the horizontal direction with respect to the accommodating portion, and the grip portion and the elevating portion are moved. A third fork to support,
The article transport vehicle according to claim 1, further comprising:
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