JP2020056397A - 真空装置、アクセサリーユニットおよびシステム - Google Patents

Abstract

【課題】真空装置のアクセサリーの接続を簡単にし、及び／又は柔軟に形成する。【解決手段】真空装置１０、特に真空ポンプであって、アクセサリーユニットの為の少なくとも一つの接続部１４を有し、およびアクセサリーユニットの為の制御ユニット１２を有し、その際、制御ユニットが、接続部に接続されるアクセサリーユニットの形式を認識するよう形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、真空装置、特に真空ポンプであって、アクセサリーユニットの為の少なくとも一つの接続部、およびアクセサリーユニットの為の制御ユニットを有するものに関する。

本発明は、また、真空装置、特に真空ポンプの為のアクセサリーユニットであって、真空装置の接続部への接続のための接続部を有するものに関する。

本発明はまた、真空装置及びアクセサリーユニットを有するシステムに関する。

先行技術における典型的な真空装置では、一、又は複数の接続部がアクセサリーユニットの為に設けられている。アクセサリーユニットは、接続部への接続の後、真空装置の制御ユニットによって駆動される。

ＥＰ３０２０９７５Ａ１

本発明の課題は、真空装置のアクセサリーの接続を簡単にし、及び／又は柔軟に形成することである。

この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空装置によって解決され、そして特に、制御ユニットが、接続部に接続されるアクササリーユニットの形式を認識するよう形成されていることによって解決される。

これによって、アクセサリーユニットの接続は、特に簡単に行われ、特に手動の構成、又は他の外部の構成を必要としない。真空装置の駆動は、これによって特に柔軟になる。アクセサリーユニットが大きな労力なく、そして必要に応じて接続され、分離され、及び／又は交換されることが可能だからである。発明に従い、パーソナルコンピュータの得なく操作の技術領域において公知であるように、特に快適な駆動が、「プラグアンドプレイ」コンセプトのもと実現される。接続されるアクセサリーユニットは、よってユーザーの観点から、接続部に接続するだけでその機能が有利に得られる。制御ユニットは、アクセサリーユニットの形式の知識において、これを適切に駆動することができる。

「形式」の概念は、よって少なくとも、アクセサリーユニットの確実な駆動の為に必要である情報を含む。例えば、制御ユニットはアクセサリーユニットを、その識別に基づいて認識し、そして更なる情報、例えば最大許容電圧等のような情報を、保存されているテーブルから呼び出すことができる。代替として、制御ユニットが、直接必要な情報を認識し、特に、アクセサリーユニットから送信される信号に基づいて認識することも意図されていることが可能である。

一つの実施形によると、接続部は、制御ユニットにアクセサリーユニットを通信接続するための通信接点を有することが可能である。これは必ずしも、金属の、及び／又は電気的な接点と解される必要はなく、一般的に有線通信の接続点と解される。よって例えば、光導配線のための光学的な接点も設けられていることが可能である。代替として、又は追加的に、例えば接続部から独立した、特に無線式の通信インターフェイスが設けられていることも可能である。制御ユニットとアクセサリーユニットの間の通信の為の可能性によって、認識は簡単となるだけでなく、駆動も著しく柔軟になる。制御ユニットとアクセサリーユニットの間でデータの交換が可能となるからである。特に通信は両方向で可能である。例えば通信接点は、他のユニットに対する通信の為にも利用可能であることができる。つまり例えば、構成ユニット、及び／又は診断ユニット、他の真空装置、及び／又はプロセスリードシステムとの通信の為である。有利には、独立したインターフェイス、例えば診断インターフェイス、又は構成インターフェイスのようなものが省略されることが可能である。基本的には、複数の通信接点が、特に各接続部ごとに設けられていることも可能である。

接続部が、アクセサリーユニットの電源供給の為の少なくとも一つの供給接点を有するということが意図されていることが可能である。アクセサリーユニットは、よって追加的な電源接続を必要とせず、このことは配置・装置を簡易化する。供給接点のため、又は接続部の為に、例えばドライバーが設けられていることが可能である。これは、有利には、古い機器世代のアクセサリーユニット（特に認識信号を送信するための手段を有さないもの）が、確実にドライブ可能であるよう構成されていることが可能である。

例えば、制御ユニットは、アクセサリーユニットが、特に供給接点を介して、ことなる電圧で電源供給されるよう形成されていることが可能である。最も簡単な場合、これは二つの異なる電圧であり、特にゼロと、全てのアクセサリーユニットに対する一般的な駆動電圧である。特に、ゼロではない、異なる少なくとも二つの電圧は有利である。これによってアクセサリーユニットの接続が更に柔軟となることが可能である。これらは必要に応じて供給されることが可能であり、アクセサリーユニットにおいて変圧器が必要でないからである。別の例においては、制御ユニットは、基本的に、特に接続部において、又は供給接点において、ゼロじゃない第一の電圧、例えば５Ｖをかけ、そして認識の後、及び／又はアクセサリーユニットとの通信の後、アクセサリーユニットに適当な電圧、例えば２４Ｖをかけるよう形成されている。

別の例においては、例えば供給接点に、所定の供給電圧が常時オンとなっている。その際有利には、アクセサリーユニットは、特に制御ユニットによって予め与えられる命令又はデータに応じて、自己制御を行う。命令、又はデータは、有利には接続部の通信接点を介して伝達される。これによって真空装置と制御ユニットは、技術的に簡単となる。

供給接点は、例えば、アクセサリーユニットのエネルギー供給の為にも、スイッチの操作の為の切替手段（例えばリレーのようなもの）としても、使用可能であることができる。駆動は、これによって更に柔軟となる。よって例えば真空装置を介して電源供給が不可能である、又は技術的に極めて高コストであるアクセサリーユニットも駆動されることが可能である。例えば、アクセサリーユニットは、ここで真空ポンプとして形成される真空装置の為のプリポンプであることが可能である。このプリポンプは、比較的大きな出力を必要とする。この出力は、真空装置を介しては、特別な技術的労力を伴ってのみ供給されることが可能である。さらにこれは、設置空間の増加に通じる。これはしばしば望まれていない。よってこの例においてアクセサリーユニットのエネルギー供給は有利に外部でまかなわれる。上で、真空装置がアクセサリーユニットと違うユニットとして説明される限り、これは、発明に係る真空装置の為のアクセサリーとして考えられおらず、副次的に駆動される真空装置に関する。ここで記載されるプリポンプは、これと反対に真空ポンプに従属し、および依存している。そのうえ、プリポンプはこの例においては、供給接点を介して駆動制御される。基本的にこれは、通信接点を介して、又は他の通信手段を介しても駆動制御されることが可能である。発明に係る接続部は多様に構成され、そして使用されることが可能であることは明らかである。駆動制御、及び／又は通信は、多数のユニットに対して、特に制御ユニットから出発して、実現されることが可能である。全てにおいて、制御ユニットによる発明に係るアクセサリーユニットの自動認識は、全く新しい柔軟性と簡易性に寄与する。

別の実践的な例においては、制御ユニットは、アクセサリーユニットを真空装置のパラメーターに応じて駆動制御するよう形成されている。例えば、ファンとして形成されたアクセサリーユニットにおいては、真空装置内、又は真空装置における温度に応じて回転数が制御される。この駆動制御は、一方では、供給接点を介して行われることが可能であり、そして他方では、通信接点を介して行われることが可能である。その際、アクセサリーユニットは、回転数自体を合わせるようになっている。下位互換性に関して有利な例においては、真空装置、及び／又はアクセサリーユニットは、両方が可能であるようにさえ構成されている。

基本的に、通信接点として、および供給接点としての共通の接点も設けられていることが可能である。通信、および電源供給は、同じ配線を介しても可能である。これは、特に互換性に関しても有利であるとわかった。存在する接続部は、変更される必要がない。更に構造は簡単であり、かつ簡単なままである。

発展形に従い、制御ユニットが、アクセサリーユニットから出力される信号から、アクセサリーユニットの形式を認識するよう形成されていることが意図されている。これによって特に簡単かつ信頼性の高い認識が実現されることが可能である。信号は、例えば識別、及び／又は情報を含むことが可能である。これらは、アクセサリーユニットのパラメーター、例えば駆動電圧のようなものに直接関わるものである。

信号は、例えば、接続部の通信接点を介して制御ユニットに直接供給されることが可能である。これは、特に簡単な駆動を可能とする。代替として、又は追加的に、信号は、接続部に依存せず、追加的な接続部を介して、及び／又は無線で供給されることも可能である。

接続部には、一つの実施例においては、アクセサリーユニットのためシリアルインターフェイスが設けられていることが可能である。これによって簡単に特別信頼性の高い通信が実現されることが可能である。

代替として、又は追加的に、接続部は、アクセサリーユニットのためのバスインターフェイスが設けられていることが可能である。これは、特に柔軟な駆動を多数のアクセサリーユニットに対して可能とする。

基本的に、複数の接続部において、複数のアクセサリーユニットがここに、及び／又はグループで駆動制御可能であることができる。特に、アクセサリーユニットの数量は拡張可能であることができる。

複数の接続部においては、制御ユニットは、各接続部に対して接続されるアクセサリーユニットの割り当てを、例えばトポロジーを介して認識し、つまり制御ユニットと各接続部の間の、直接、又は割り当てれられた個々の配線を介して認識することが可能である。しかしまた、代替として、バスシステムを介した割り当ても行われることが可能である。

一つの実施例においては、制御ユニットは、アクセサリーユニットによって提供されるペイロードを処理するよう形成されている。ペイロードは、ここでは認識データと異なるデータである。例えばペイロードは、センサーデータを含む。よってアクセサリーユニットは、例えば一つのセンサーを含み、そしてその情報はアナログ式、又はデジタル式に、特に接続部を介して提供されることが可能である。その際、センサーの為に設けられる独立したコンバーターを省略することはコストメリットを伴い可能である。コンバーターが省略されるのみでなく、一般的に入手可能なサプライヤー部部品も、大きな技術的適合を要さず制御ユニットによって駆動可能である。

別の発展形においては、制御ユニットが、アクセサリーユニットをその形式において認識しないときでも、アクセサリーユニットを駆動するよう形成されていることが意図されている。この場合、例えば、制御ユニットへのアクセサリーユニットの形式の入力の為の入力ユニットが設けられていることが可能である。入力は、基本的に、アクセサリーユニットのための追加的な接続部を介しても行われることが可能である。その際、この接続部には、アクセサリーユニットとして入力ユニット自体が、及び／又は入力ユニットからの受信の為の通信ユニットが接続されている、又は接続可能であることができる。

更に、制御ユニットは、接続部に接続される複数のアクセサリーユニットを同時に駆動するよう形成されていることが可能である。例えば少なくとも一つの、直接接続部に接続される、又は接続可能であるアクセサリーユニットが、別の少なくとも一つの追加的なアクセサリーユニットの接続の為の追加的な接続部を有することができる。これによって、アクセサリーユニットのチェーンが実現され、そして追加的なアダプター無しで駆動を行い、そして真空装置においては接続部の数量が同じままで、特に、多数のさらなるアクセサリーユニットを接続する可能性が得られる。基本的に、追加的な接続部は、アクセサリーユニットの第一の接続部と直接接続されていることが可能であるか、しかしままた、処理ユニット、例えばマイクロプロセッサーを介して接続されていることも可能である。その際、例えば、上位に接続されるアクセサリーユニットからのデータ、及び／又は電圧の伝送は、一、又は複数の後続するアクセサリーユニットに対して決定されることが可能である。しかしまた、代替として、または追加的に、少なくとも二つのアクセサリーユニットの並列な接続の為のアダプターも、一つの接続部に設けられていることが可能である。複数の同様なアクセサリーユニットが、真空装置の一つの接続部に接続されている場合、例えば、認識、及び／又は割り当ては、アドレス選択スイッチ、又は事前にプログラムされたアドレスを介して行われることができる。基本的に、アクセサリーユニットは、複数の接続部を介して接続可能であることができる。例えば、より大きな出力を、特に供給接点において、及び／又はより高い通信データレートを、特に通信接点において実現するためである。

基本的に、制御ユニットは、真空装置、特に真空ポンプの為のモーター制御部を有するか、又はそのようなものの一部である。しかしまた、制御ユニットが、モーター制御部から独立し、及び／又は他の制御要素から独立して形成されていることも可能である。一、又は複数の独立した制御ユニットが其々、一、又は複数の制御部に対して設けられていることも可能である。例えば、一つの接続部の為の制御ユニットが、そして特にこれに対して隣接して、又はこの中に統合されて設けられていることが可能である。ここで、モーター制御部、又は他の制御要素が設けられていない場合、制御ユニットが、特に接続部を介して、接触され、そして読みだされることが可能であることは有利である。これは、真空装置、又は真空システムのメンテナンスと駆動の更なる柔軟性へと通じる。

接続部は、例えばオス、またはメスとして形成されていることが可能であり、及び／又はプラグ、又はソケットを有し得る。その際、複数の接続部形式が考え得る。

本発明の課題は、これに向けられた独立性有効の特徴を有するアクセサリーユニットによっても解決され、特に、アクセサリーユニットが、特に接続部を介して、特に通信接点を介して、信号を出力し、それに基づいてアクセサリーユニットの形式が認識可能であるよう形成されていることによって解決される。

アクセサリーユニットは、例えばヒーター要素、ファン、フローバルブ、シールガスバルブ、制御リレー、例えばプリポンプに対するもの、圧力測定装置、及び／又は、特に統合された測定管を含み得る。一般的に、アクセサリーユニットは例えば少なくとも一つのアクチュエーター、及び／又はセンサーを有することが可能である。しかしまた、他の機能要素を有するアクセサリーユニットも考え得る。よって例えば、アクセサリーユニットは、データを保存するメモリ要素を含み得る。これによって例えば、ポンプデータの長期間にわたる記録が実現されることが可能である。

有利な実施例においては、アクセサリーユニットは、アクチュエーターもセンサーも有し、これは特にアクチュエーターによって影響されるパラメーターの為のものである。アクセサリーユニットは、その際、特に、データ、特にペイロードをセンサーから接続部を介して出力するよう形成されている。アクチュエーターによって影響されるパラメーターの例は、ヒーター要素における温度、ファンにおける回転数などである。センサーデータは、有利には、アクチュエーターの機能チェックの為、又はセンサーデータに応じたその駆動制御の為に使用されることができる。

アクセサリーユニットは、例えば代替として、又は追加的に、それ自体インターフェイスを、別の装置、又はユニットとの通信の為、有することが可能である。例えばアクセサリーユニットはワイヤレスインターフェイスを有する。これはその際、例えば無線モジュールを形成することが可能である。これによって特に柔軟に、真空装置におけるワイヤレス接続が後付けされることが可能である。ワイヤレスインターフェイスは、例えば、ＧＳＭ，ＵＭＴＳ，ＬＴＥ及び／又は他のモバイル無線規格、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ，ＮＦＣ，及び／又はＷＬＡＮなどの少なくとも一つの規格に従って形成されていることが可能である。特に、アクセサリーユニットは、このようにして一、又は複数の任意の他の装置（例えば、発明に係る真空装置の為のアクセサリーユニット自体を意味する）を、無線で（一般的にワイヤレスで）読みだし、制御し、認識などすることができる。

アクセサリーユニットは、これが、アクセサリーユニットの形式を認識しないとき（例えば真空装置が認識手段を有さないからなど）に、真空装置の制御ユニットによって駆動可能であるよう有利に形成されていることが可能である。これは、有利な下位互換性、つまりより古い真空装置における駆動も可能とする。この為、アクセサリーユニットは、例えば、特に接続部の通信接点を介して制御ユニットとの通信を確立するという試みの失敗に起因する、認識しないという事実自体を認識するよう形成されていることが可能である。

一つの実施形においては、アクセサリーユニットが、更なるアクセサリーユニットのアクセサリーユニットへの、及び／又は真空装置への接続の為の、少なくとも一つの第二の接続部を有することが意図されている。第二の接続部と、その接点は、第一の接続部と直接接続されていることが可能である。その際、特に、接点とアクセサリーユニットは、バスシステムへの接続のため形成されていることが可能である。代替として、アクセサリーユニットの処理ユニットが接続部の間に接続されていることも可能である。その際、アクセサリーユニットは、例えば、情報、及び／又は電圧の伝達を防止したり、及び／又はこれを変更したりすることができる。

真空装置、及び／又はアクセサリーユニットの接続部は、例えば、アクセサリーユニットの制御ユニットに対する機械的な接続の為にも、電気的、及び／又は情報技術的な接続の為にも形成されていることが可能である。これは特に柔軟な接続を可能とする。

課題は、これに向けられた独立請求項の特徴を有する認識ユニットによっても解決される。認識ユニットは、例えば有利に、より古いアクセサリーユニットを後付けするために使用されることが可能である。信号は特に、第一の接続部、特に通信接点を介して出力されることが可能である。認識ユニットは、例えばアクセサリーユニットの形式の入力の為の入力ユニット、及び／又はあらかじめプログラムされた出力のための形式を信号中に有することが可能である。

本発明の課題は、発明に係る真空装置、および発明に係るアクセサリーユニット、及び／又は発明に係る認識ユニットを有するシステムによっても解決される。

更に課題は、現時点で明示的に請求項に記載されていないが、しかしここで、発明として開示されてる、アクセサリーユニットを有する真空装置の駆動のための方法によっても解決される。ここでは、真空装置の制御ユニットが、接続部に接続されるアクセサリーユニットの形式を認識する。

ここに記載した本発明の観点、つまり真空装置、アクセサリーユニット、認識ユニット、システム、および方法は、当然、そしてそれぞれの観点に対するすべての意味の実施形に有利に発展させられることが可能である。

本発明を以下に単に例示的にのみ、簡略化した図面に基づいて説明する。

発明に係る真空装置の斜視図。 図１の真空装置の断面図。 図１の真空装置の別の断面図。真空装置には二つのアクセサリーユニットが接続されている。 真空装置と複数のアクセサリーユニットの第一の接続図。 真空装置と複数のアクセサリーユニットの第二の接続図。 第三の接続図。 第四の接続図。 真空装置の接続部に複数のアクセサリーユニットを接続する様々な可能性の図。 様々な接続部の図。

図１には、ターボ分子ポンプとして形成された真空装置１０が、制御装置１２および、アクセサリーユニット（図示せず）の為の二つの接続部１４と共に示されている。接続部１４には、其々、ことなるアクセサリーユニットが接続可能である。アクセサリーユイットは、例えば、保持要素、ファン、フローバルブ、シールガスバルブ、制御リレー、圧力計測装置、及び／又は統合された計測管のようなものである。ここでのように二つ、又はより多くの接続部１４が設けられていることが可能である。接続部１４は、この例においては、真空装置のハウジングの下部材１６に設けられている。しかしまた、一、または複数の接続部１４は他の箇所、例えばハウジングの上部材１８、及び／又は制御装置１２内、又はそのハウジング内に設けられていることも可能である。

図２に示された図１の真空装置１の断面図においては、切断面は、基本的に、下部材１６を通って延びている。その際、真空装置１０は、基本的に１８０度回転している。真空装置はつまり下から観たものである。エレクトロニクス部２０が見て取れる。これは、それ自体、制御ユニット１２に代替的に、又は制御ユニット１２に追加的に、接続部１４に接続されるアクセサリーユニットの為の制御ユニットを形成可能である。制御ユニット１２は、例えばモーター制御部を含み得る。エレクトロニクス部２０は、一、又は複数のアクセサリーユニットの為の制御ユニットとして、例えば、制御ユニットの駆動が、制御ユニット１２が接続されていないときであっても可能であるように形成されていることが可能である。

図３は、図２と同様の断面図を示す。その際、しかしここでは追加的に二つの接続部２２が示されている。これらは、其々、真空装置１０の接続部１４に接続されている。各接続部２２から出発して、各アクセサリーユニットへ配線２４が延びている。これらは表わされていない。この実施形においては、接続部１４は、ソケットとして形成されており、そして接続部２２はプラグとして形成されている。

図４に示される、第一の例示的な接続図においては、真空装置１０への接続の為の二つのアクセサリーユニット２６が設けられている。真空装置１０は、アクセサリーユニット２６の各接続部２２の為の二つの接続部１４を有する制御ユニット１２を有する。接続部２２は、それぞれ、配線２４を介してアクセサリーユニット２６と接続されている。しかしその際、例えば、接続部２２の形成が、アクセサリーユニット２６に直接行われることも考え得る。アクセサリーユニット２６は、その際、一つの差し込みモジュールを形成することが可能である。基本的に、接続部１４は制御ユニット１２と、又は真空装置１０と、配線等を介して接続されることが可能であるが、しかしまた独立して形成されていることも可能である。

第二の接続図は図５に示されている。真空装置１０は、真空装置１０のハウジングに設けられる接続部１４を含む。その際、アクセサリーユニット２６は、真空装置１０に設けられる接続部１４に接続するための接続部２２を設けられている。制御ユニット１２は三つの接続部１４を有する。接続部２２は、三つの接続部１４の一つに接続するために設けられており、そして制御ユニット１２を、アクセサリーユニット２６に接続する。アクセサリーユニットは、制御装置１０に、及び／又は制御装置１０内に取り付けられている。アクセサリーユニット２６は、例えば真空装置１０を加熱するための加熱要素、及び／又は真空装置１０に、または真空装置１０内におよぶパラメーターを検出するためのセンサーを有する。

図６に示されている、第三の接続図においては、真空装置１０は二つの接続部１４を有する制御ユニット１２を有する。更なる接続部１４は、真空装置１０のハウジング部材に制御ユニット１２とは別に設けられている。配線２７を介して、接続部１４は制御ユニット１２と接続されている。配線２７は、真空装置１０、又は制御ユニット１２の内部、及び／又はハウジング内に延びている。接続部１４は、例えば、アクセサリーユニット２６を真空装置１０と機械的に接続するためにも、及び／又はアクセサリーユニット２６を制御ユニット１２に電気的、及び／又は情報技術的に接続するためにも形成されていることが可能である。制御ユニット１２は、一般に、表されているように真空装置１０の主ハウジングに隣接する構成部材として設けられていることもでき、及び／又は統合されて形成されていることもでき、つまり真空装置１０の他の箇所に設けられていることも可能である。更なる接続部１４の数量、および配置は変更可能である。アクセサリーユニット２６は、接続部２２を有する。この接続部は、直接制御ユニット２６と接続されている。つまり柔軟な配線は設けられていない。そのようなものは、代替的に、又は追加的に設けられることが可能である。接続部２２を介して、アクセサリーユニット２６が、機械的に、電気的、及び／又は情報技術的にも真空装置１０の接続部１４に接続される。

図７には、第四の接続図が示されている。ここでは、制御ユニット１２は、真空装置１０のハウジング内に統合されて配置されている。制御ユニット１２は一つの接続部１４を有する。真空装置１０は、別の接続部１４を有し、これは、制御ユニットと配線２７を介して接続されている。接続部２２を介して、図示されていない二つのアクセサリーユニットが、各接続部１４に接続可能である。

図８には、接続部１４を有する真空装置１０が示されている。接続部１４には、例えばアクセサリーユニット２６が接続可能である。このアクセサリーユニットは、真空装置１０の接続部１４にアクセサリーユニット２６を接続するためのものである。アクセサリーユニット２６は、一又は複数の別のアクセサリーユニットを接続するための接続部１４を更に含む。接続部１４には、接続部２２を介して例えばアダプター２８が接続可能である。アダプターは、複数の接続部１４を更なるアクセサリー接続のため有している。

図９には、ここでは詳細には表わされていない真空装置１４の接続部１４が示されている。これは、供給接点３０および通信接点３２を有している。アクセサリーユニット２６は、接続部に同様に供給接触部３４および通信接点３６を有している。アクセサリーユニット２６は、つまり接続部２２または１４の通信接点３６および３２を介して制御ユニットと通信を行うことが可能である。これに対して、図９の下には、供給接点３４のみを有するアクセサリーユニット２６が示されている。アクセサリーユニット２６は、供給接点３４と３０を介して電源を供給可能である。このアクセサリーユニット２６は、上のアクセサリーユニット２６に対して古い世代のアクセサリーユニットを搭載する。接続部１４を有する真空装置は、有利には、下のアクセサリーユニット２６もまた、そのタイプの自動認識無しで駆動可能であるよう形成されていることが可能である。通信装置、及び／又は通信接点は、アクセサリーユニットにおいて例えば後付け可能であることもできる。これは例えば、下のアクセサリーユニット２６の接続部２２と、真空装置の接続部１４の間に接続される認識ユニット３８を介して行われる。認識ユニット３８は、接続部１４に、アクセサリーユニット２６の供給の為の供給接点３０を有する。接続部２２には、これは供給接点３４に追加的に通信接点３６を有する。これを介して認識ユニット３８は、例えば信号を出力することができる。信号は、接続されるアクセサリーユニット２６の形式を示す。信号、又は形式は、例えば予めプログラムされている、及び／又は入力可能であることが可能である。

特に、形式と関係なく、および各信号の内容と関係なく、これは無線で（つまり一般的にワイヤレスで）出力されることが可能である。

１０ 真空装置
１２ 制御ユニット
１４ 接続部
１６ 下部分
１８ 上部分
２０ エレクトロニクス部
２２ 接続部
２４ 配線
２６ アクセサリーユニット
２７ 配線
２８ アダプター
３０ 供給接点
３２ 通信接点
３４ 供給接点
３６ 通信接点
３８ 認識ユニット

Claims (15)

1. 真空装置（１０）、特に真空ポンプであって、アクセサリーユニット（２６）の為の少なくとも一つの接続部（１４）を有し、およびアクセサリユニット（２６）の為の制御ユニット（１２）を有し、その際、制御ユニット（１２）が、接続部（１４）に接続されるアクセサリーユニット（２６）の形式を認識するよう形成されていることを特徴とする真空装置（１０）。
2. 接続部（１４）が、制御ユニット（１２）へのアクセサリーユニット（２６）の通信接続の為の少なくとも一つの通信接点（３２）を有することを特徴とする請求項１に記載の真空装置（１０）。
3. 接続部（１４）が、アクセサリーユニット（２６）の電源供給の為の供給接続（３０）を有することを特徴とする請求項１または２に記載の真空装置（１０）。
4. 制御ユニット（１２）が、アクセサリーユニット（２６）を様々な電圧で供給するよう形成されていることを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の真空装置（１０）。
5. 制御ユニット（１２）が、アクセサリーユニット（２６）から出力される信号から、アクセサリーユニット（２６）の形式を認識するよう形成されていることを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載の真空装置（１０）。
6. 信号が接続部（１４）の通信接点（３２）を介して制御ユニット（１２）に提供されることを特徴とする請求項５に記載の真空装置（１０）。
7. 接続部（１４）に、アクセサリーユニット（２６）の為のシリアルインターフェイス、及び／又はバスインターフェイスが設けられていることを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載の真空装置（１０）。
8. 制御ユニット（１２）が、アクセサリーユニット（２６）からの提供されるペイロードを処理するように形成されていることを特徴とする請求項１から７の少なくとも一項に記載の真空装置（１０）。
9. 制御ユニット（１２）が、アクセサリーユニット（２６）をその形式において認識しないときでも、アクセサリーユニット（２６）を駆動するよう形成されていることを特徴とする請求項１から８の少なくとも一項に記載の真空装置（１０）。
10. 制御ユニット（１２）が、接続部に接続される複数のアクセサリーユニット（２６）を同時に駆動するよう形成されていることを特徴とする請求項１から９の少なくとも一項に記載の真空装置（１０）。
11. 真空装置（１０）、特に真空ポンプの為のアクセサリーユニット（２６）であって、真空装置（１０）の接続部（１４）に接続するための接続部（２２）を有し、その際、アクセサリーユニット（２６）が、信号を出力し、それに基づいてアクセサリーユニット（２６）の形式を認識可能であるよう形成されていることを特徴とするアクセサリーユニット（２６）。
12. アクセサリーユニット（２６）が、アクチュエーターも、アクチュエーターによって影響可能なパラメーターの為のセンサーも有し、そしてセンサーからのデータを接続部（２２）を介して出力するよう形成されいてることを特徴とする請求項１１に記載のアクセサリーユニット（２６）。
13. アクセサリーユニット（２６）が、更なるアクセサリーユニット（２６）のアクセサリーユニット（２６）への、及び／又は真空装置（１０）への接続の為の、少なくとも一つの第二の接続部（１４）を有することを特徴とする請求項１２または１３に記載のアクセサリーユニット（２６）。
14. 真空装置（１０）の接続部への接続のための第一の接続部（２２）と、真空装置（１０）の為のアクセサリーユニット（２６）の接続の為の第二の接続部（１４）を有する認識ユニットであって、認識ユニットが、信号を出力し、それに基づいて、第二の接続部（１４）に接続される、又は接続可能であるアクセサリーユニット（２６）の形式を認識可能であるよう形成されていることを特徴とする認識ユニット。
15. 請求項１から１０のいずれか一項に記載の真空装置（１０）、および請求項１１から１３のいずれか一項に記載のアクセサリーユニット（２６）、及び／又は請求項１４に記載の認識ユニットを有するシステム。

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