JP2020054015A - 反力キャンセル装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上壁11bと、この上壁11bから垂設される側壁片11c2、11d2で構成される。
この場合も、可動子12と上方のベース11Bとの間に可動子側のガイド部材15,15を介在させているとともに、カウンタマス13と可動子12との間に可動子側のガイド部材15,15を介在させている。また、カウンタマス13と下方のベース11Aとの間にカウンタマス側のガイド部材16,16を介在させている。そして、下方のベース11Aには、カウンタマス13の位置を検出する位置検出器21が設けられ、上方ベース11のには、可動子12の位置検出する可動子位置検出器20が設けられている。
12 可動子
13 カウンタマス
15 可動子側のガイド部材
16 カウンタマス側のガイド部材
20 可動子位置検出器
21 カウンタマス位置検出器
Claims (9)
- 可動子と、この可動子を受けるカウンタマスと、可動子及びカウンタマスを受けるベースとを備えた反力キャンセル装置であって、
カウンタマス側の最大静止摩擦力と可動子側の最大静止摩擦力とに、カウンタマスが静止した状態で可動子が動作する差を設けたことを特徴とする反力キャンセル装置。 - 可動子とカウンタマスとの間及び/又は可動子とベースとの間に可動子側のガイド部材を介在させるとともに、カウンタマスとベースとの間にカウンタマス側のガイド部材を介在させ、カウンタマス側のガイド部材は、可動子側のガイド部材よりも大きな摩擦力を発生させることを特徴とする請求項1に記載の反力キャンセル装置。
- 可動子側のガイド部材に流体軸受を用い、カウンタマス側のガイド部材に転がり案内を用いたことを特徴とする請求項2に記載の反力キャンセル装置。
- カウンタマスの質量を可動子の質量よりも大きく設定したことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の反力キャンセル装置。
- カウンタマスの質量と可動子の質量とを同等に設定したことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の反力キャンセル装置。
- 可動子の位置を検出する可動子位置検出器と、カウンタマスの位置を検出するカウンタマス位置検出器とを備え、可動子が動くとともにカウンタマスが動かない状態での推力内に設定されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の反力キャンセル装置。
- カウンタマスの位置ずれを生じさせないことを特徴とする請求項1に記載の反力キャンセル装置。
- カウンタマスの位置ずれが生じた場合に、可動子を動作させることによって発生する反力を利用してカウンタマスを所定の位置付近に動作させることを特徴とする請求項1に記載の反力キャンセル装置。
- 可動子がリニアモータの可動子であることを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の反力キャンセル装置。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JPH03183351A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-09 | Sharp Corp | リニアモータ装置 |
JP2008010643A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Canon Inc | ステージ装置 |
JP2013041981A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-28 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
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Patent Citations (3)
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JPH03183351A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-09 | Sharp Corp | リニアモータ装置 |
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JP2013041981A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-28 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
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