JP2020049564A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る切削装置を示す斜視図である。図2は、図1の切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図3は、図3の切削ユニットの要部の断面図である。図4は、図1の切削装置のチャックテーブルの部分側断面図である。図5は、図1の切削装置のチャックテーブルに保持された被加工物を1枚の切削ブレードで切削加工する動作を説明する部分側断面図である。図6は、図1の切削装置のチャックテーブルに保持された被加工物を2枚の切削ブレードで切削加工する動作を説明する部分側断面図である。なお、以下の説明に用いられるX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向は、互いに垂直であるものとする。
3 チャックテーブル
20 テーブルベース
23 載置面
24 保持テーブル吸引路
25 被加工物吸引路
25a,36a シール部材嵌込部
29 テーブル部AEセンサ
30,30−1,30−2 保持テーブル
33 保持面
34 下面
36 保持面吸引路
38 シール部材
39 制御ユニット
39−1 判定部
60,60−1,60−2 切削ユニット
64,64−1,64−2 スピンドル
66,66−1,66−2 切削ブレード
71,71−1,71−2 ブレードマウント
91,91−1,91−2 マウント部AEセンサ
97,98,98−1,98−2 弾性波
100 被加工物
Claims (3)
- 保持面で被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、スピンドルにブレードマウントで固定された切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する切削ユニットと、を備える切削装置であって、
該切削ブレードに発生する弾性波をとらえるマウント部AEセンサが該ブレードマウントに装着され、
該被加工物に発生する弾性波をとらえるテーブル部AEセンサが該チャックテーブルに装着される切削装置。 - 該切削ユニットは、第1の切削ユニットと第2の切削ユニットとを有し、各切削ユニットの該切削ブレードは該マウント部AEセンサが装着された該ブレードマウントで該切削ユニットに装着される請求項1に記載の切削装置。
- 該チャックテーブルは、上面に載置面を有するテーブルベースと、該テーブルベースの該載置面に下面が密着して着脱自在に固定され上面の該保持面で被加工物を吸引保持する保持テーブルと、を備え、該保持テーブルに発生する弾性波を検出する該テーブル部AEセンサが該テーブルベースに配設され、該保持テーブルは、該被加工物の大きさの変更に対応して交換される請求項1または2に記載の切削装置。
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