JP2020038869A - Expand method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、エキスパンド方法に関する。 The present invention relates to an expanding method.
分割予定ラインを備えるワークを複数のチップに分割する方法が、特許文献１に開示されている。この方法では、ワークの分割予定ラインに沿って、ワークに対して透過性を有する波長のレーザー光線を照射して、改質層を形成する。その後、ワークをエキスパンドシートに貼着し、エキスパンドシートを外方に拡張することによって、ワークの改質層に外力を加え、改質層を破断する。 Patent Document 1 discloses a method of dividing a work having a line to be divided into a plurality of chips. In this method, a modified layer is formed by irradiating the work with a laser beam having a transmissive wavelength along the dividing line of the work. Thereafter, the work is attached to the expanded sheet, and the expanded sheet is expanded outward, whereby an external force is applied to the modified layer of the work to break the modified layer.
これにより、分割予定ラインに沿ってワークを個々のチップに分割し、各チップ間に間隙を形成することができる。さらに、拡張されているエキスパンドシートに、開口を有する環状フレームを貼着する。環状フレームは、ワークを囲むようにエキスパンドシートを保持し、ワークの周囲におけるエキスパンドシートの収縮を抑制する。これにより、エキスパンドシートの拡張が解除されても、エキスパンドシートにおけるワークの周囲は、拡張状態に維持され、チップ間の間隙も維持される。 Thus, the work can be divided into individual chips along the dividing line, and a gap can be formed between the chips. Further, an annular frame having an opening is attached to the expanded sheet. The annular frame holds the expanded sheet so as to surround the work, and suppresses contraction of the expanded sheet around the work. Thus, even when the expansion of the expanded sheet is released, the periphery of the work in the expanded sheet is maintained in the expanded state, and the gap between the chips is also maintained.
しかし、上記のように拡張された状態のエキスパンドシートに環状フレームが貼着され、その後、エキスパンドシートの拡張が解除されると、エキスパンドシートは、環状フレームの中央方向に向かって縮もうとするため、環状フレームからエキスパンドシートが剥離してしまうことがある。特に、環状フレームの外周側では、エキスパンドシートが剥離しやすい。 However, when the annular frame is attached to the expanded sheet in the expanded state as described above, and then the expansion sheet is released from expansion, the expanded sheet attempts to shrink toward the center of the annular frame. In some cases, the expanded sheet may peel off from the annular frame. In particular, the expanded sheet is likely to peel off on the outer peripheral side of the annular frame.
エキスパンドシートの一部でも環状フレームから剥離すると、ワークの重さ等のために、ワークを含むエキスパンドシートが、環状フレームから完全に剥がれて落下し易くなる。 When even a part of the expanded sheet is peeled off from the annular frame, the expanded sheet including the work is completely peeled off from the annular frame due to the weight of the work and the like, and easily falls.
一方、拡張を解除した状態のエキスパンドシートに、環状フレームを貼着することも考えられる。しかし、この場合には、環状フレームの開口内で、エキスパンドシートが拡張されていないため、エキスパンドシートがたるみ、チップ同士が接触して、チップが損傷してしまうおそれもある。 On the other hand, it is also conceivable to attach an annular frame to the expanded seat in a state where the expansion is released. However, in this case, since the expanded sheet is not expanded in the opening of the annular frame, the expanded sheet may be sagged and the chips may come into contact with each other to damage the chips.
本発明の目的は、環状フレームの開口内においてエキスパンドシートがたるむことを抑制するとともに、環状フレームからエキスパンドシートが剥離することを抑制することにある。 An object of the present invention is to suppress the expansion sheet from sagging in the opening of the annular frame and to prevent the expanded sheet from peeling from the annular frame.
本発明のエキスパンド方法（本エキスパンド方法）は、ワークが貼着されたエキスパンドシートを拡張するエキスパンドシート拡張ステップと、該エキスパンドシートが拡張された状態で、中央に開口を有する環状フレームを該エキスパンドシートにローラで貼着して該開口内にワークを配置する貼着ステップと、該貼着ステップを実施した後、該エキスパンドシートの拡張を解除した状態で、該環状フレームの少なくとも外周側領域に該エキスパンドシートを転動するローラで押圧することによって、該環状フレームを該エキスパンドシートに固着する固着ステップと、該固着ステップを実施した後、該固着ステップで固着された領域内又はこの領域の外側に位置する切断ラインに沿って該エキスパンドシートを切断することによって、該ワークと該環状フレームと該エキスパンドシートとからなるワークユニットを形成する切断ステップと、を備える。 The expanding method (the present expanding method) of the present invention includes an expanding sheet expanding step for expanding an expanding sheet to which a work is attached, and an expanding frame having an opening at the center in the expanded state. A bonding step in which the work is disposed in the opening by bonding to the roller with the roller, and after performing the bonding step, in a state in which the expansion of the expandable sheet is released, at least an outer peripheral area of the annular frame is provided. By pressing the expanded sheet with a rolling roller, a fixing step of fixing the annular frame to the expanded sheet, and after performing the fixing step, in an area fixed in the fixing step or outside the area. By cutting the expanded sheet along a cutting line located, Comprising a cutting step of forming a work unit consisting of over click and annular frame and the expanded sheet, a.
本エキスパンド方法では、該貼着ステップと該固着ステップとが同一ローラで実施されてもよい。この場合、該貼着ステップの実施後でも該ローラの転動を維持し、該固着ステップでは、該ローラの転動を維持したまま該エキスパンドシートの拡張を解除し、転動している該ローラを用いて、該環状フレームの少なくとも該外周側領域に該エキスパンドシートを押圧してもよい。 In the expanding method, the attaching step and the fixing step may be performed by the same roller. In this case, the rolling of the roller is maintained even after performing the attaching step, and in the fixing step, the expansion of the expanded sheet is released while maintaining the rolling of the roller, and the rolling roller The expanded sheet may be pressed against at least the outer peripheral side region of the annular frame by using.
本エキスパンド方法では、エキスパンドシート拡張ステップにおいてエキスパンドシートが拡張されるため、エキスパンドシートおよびワークに引張力が作用する。その後に実施される貼着ステップでは、該エキスパンドシートが拡張された状態で、環状フレームの少なくとも内周側領域を、転動するローラを用いてエキスパンドシートに貼着する。 In this expanding method, since the expanded sheet is expanded in the expanding sheet expanding step, a tensile force acts on the expanded sheet and the work. In a sticking step performed thereafter, at least the inner peripheral region of the annular frame is stuck to the expanded sheet using a rolling roller in a state where the expanded sheet is expanded.
さらに、固着ステップでは、エキスパンドシートの拡張を解除する。エキスパンドシートの拡張が解除されると、エキスパンドシートにおける環状フレームよりも外側の範囲には外方への引張力が作用しなくなる一方、環状フレームよりも内側の範囲（環状フレームの開口内）には外方への引張力が作用したままとなる。このため、この範囲内に配されているワークへの引張力も維持される。 Further, in the fixing step, the expansion sheet is released from expansion. When the expansion seat is released from expansion, the outward tensile force is no longer applied to the area outside the annular frame in the expanded seat, while the area inside the annular frame (in the opening of the annular frame) is not applied. The outward tensile force remains applied. For this reason, the pulling force to the work arranged in this range is also maintained.
そして、固着ステップでは、該環状フレームの少なくとも外周側領域を、エキスパンドシートの拡張を解除した状態で、転動するローラを用いてエキスパンドシートに固着する。したがって、貼着ステップの後、環状フレームの外周側領域に対応するエキスパンドシートの部分が該外周側領域から離れていても、固着ステップにおいて、この部分に環状フレームを固着することができる。また、この固着は、エキスパンドシートの拡張を解除した状態で実施される。したがって、この部分にかかる引張力を小さくした状態で、この部分に環状フレームを固着することができる。このため、この部分は、環状フレームに堅固に固定され、環状フレームから離れにくくなる。 Then, in the fixing step, at least the outer peripheral area of the annular frame is fixed to the expanded sheet using a rolling roller in a state where the expansion of the expanded sheet is released. Therefore, even if the portion of the expanded sheet corresponding to the outer peripheral region of the annular frame is separated from the outer peripheral region after the attaching step, the annular frame can be fixed to this portion in the fixing step. This fixation is performed in a state where the expansion sheet is released from expansion. Therefore, the annular frame can be fixed to this portion while reducing the tensile force applied to this portion. For this reason, this portion is firmly fixed to the annular frame, and it is difficult to separate from the annular frame.
このように、本エキスパンド方法では、環状フレームの開口内でワークおよびエキスパンドシートに対する引張力を維持できるように、貼着ステップにおいて、環状フレームの少なくとも内周側領域をエキスパンドシートに貼着する。さらに、切断ステップ後に環状フレームからエキスパンドシートが剥がれることを抑制するために、固着ステップにおいて、環状フレームの少なくとも外周側領域を、エキスパンドシートに固着する。したがって、切断ステップの後に、環状フレームの開口内においてエキスパンドシートがたるむこと、および、環状フレームからエキスパンドシートが剥離することを、抑制することが可能となる。 As described above, in the expanding method, at least the inner peripheral region of the annular frame is attached to the expanded sheet in the attaching step so that the tensile force on the workpiece and the expanded sheet can be maintained in the opening of the annular frame. Further, in order to prevent the expanded sheet from peeling off from the annular frame after the cutting step, in the fixing step, at least the outer peripheral region of the annular frame is fixed to the expanded sheet. Therefore, after the cutting step, the sagging of the expanded sheet in the opening of the annular frame and the peeling of the expanded sheet from the annular frame can be suppressed.
また、本エキスパンド方法では、貼着ステップと固着ステップとが同一ローラで実施されてもよい。この場合、貼着ステップと固着ステップとを、ローラの転動を維持したまま連続的に実施することができるので、作業時間を短縮することが可能となる。 Further, in the expanding method, the attaching step and the fixing step may be performed by the same roller. In this case, the sticking step and the fixing step can be continuously performed while maintaining the rolling of the roller, so that the working time can be reduced.
本発明の一実施形態にかかるエキスパンド方法（本エキスパンド方法）を、図面を用いて詳細に説明する。まず、本実施形態の被加工物であるワークついて説明する。 An expanding method (the present expanding method) according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, a workpiece which is a workpiece according to the present embodiment will be described.
図１に示すように、本実施形態にかかるワーク１は、たとえば、円板状のシリコンデバイスウェーハである。ワーク１の表面２ａには、デバイス４を含むデバイス領域５が形成されている。デバイス領域５では、格子状の分割予定ライン３によって区画された部分のそれぞれに、デバイス４が形成されている。ワーク１の裏面２ｂは、デバイス４を有しておらず、研削砥石などによって研削される。 As shown in FIG. 1, the work 1 according to the present embodiment is, for example, a disk-shaped silicon device wafer. A device region 5 including a device 4 is formed on a surface 2 a of the work 1. In the device region 5, the device 4 is formed in each of the portions partitioned by the grid-shaped scheduled dividing lines 3. The back surface 2b of the work 1 has no device 4 and is ground by a grinding wheel or the like.
本エキスパンド方法では、ワーク１は、分割予定ライン３に沿って分割される。これにより、ワーク１が、それぞれ１個のデバイス４を含む複数のチップに分断される。 In the expanding method, the work 1 is divided along the division line 3. As a result, the work 1 is divided into a plurality of chips each including one device 4.
（１）改質層形成ステップおよびエキスパンドシート貼着ステップ
本エキスパンド方法では、まず、公知の技術を用いてワーク１に改質層を形成する、改質層形成ステップを実施する。改質層の形成では、たとえば、パルスレーザー光を照射する装置を準備する。この装置からのパルスレーザー光は、ワーク１を透過する波長（たとえば赤外光領域）を有する。このパルスレーザー光を、その集光点をワーク１の内部に位置づけた状態で、ワーク１に照射しながら、ワーク１の分割予定ライン３に沿って移動する。これにより、ワーク１の内部に、分割予定ライン３に沿った改質層が形成される。改質層は、他の部分よりも弱い強度を有する。
(1) Modified layer forming step and expanding sheet sticking step In the expanding method, first, a modified layer forming step of forming a modified layer on the work 1 using a known technique is performed. In forming the modified layer, for example, an apparatus for irradiating a pulsed laser beam is prepared. The pulse laser beam from this device has a wavelength (for example, an infrared light region) that transmits through the work 1. The pulse laser beam is moved along the scheduled division line 3 of the work 1 while irradiating the work 1 with the focus point positioned inside the work 1. Thereby, a modified layer is formed inside the work 1 along the scheduled division line 3. The modified layer has lower strength than other parts.
次に、エキスパンドシート貼着ステップを実施する。このステップでは、図２に示すように、ワーク１より広い面積を有するエキスパンドシート１１に、ワーク１の裏面２ｂを、その全面が覆われるように貼着する。エキスパンドシート１１は、粘着性および伸縮性を有し、たとえば略正方形状に形成されている。なお、エキスパンドシート貼着ステップは、改質層形成ステップの前に実施されてもよい。この場合、エキスパンドシート１１にワーク１が貼着された状態で、改質層形成ステップが実施される。 Next, an expand sheet attaching step is performed. In this step, as shown in FIG. 2, the back surface 2b of the work 1 is adhered to the expanded sheet 11 having a larger area than the work 1 so as to cover the entire surface. The expanded sheet 11 has adhesiveness and elasticity, and is formed, for example, in a substantially square shape. The expanding sheet attaching step may be performed before the modified layer forming step. In this case, the modified layer forming step is performed in a state where the work 1 is adhered to the expanded sheet 11.
（２）エキスパンドシート拡張ステップ
次に、ワーク１が貼着されたエキスパンドシートを拡張する、エキスパンドシート拡張ステップを実施する。このステップでは、図３および図４に示すように、ワーク１が貼着されたエキスパンドシート１１の周辺部の４個所を、４つの挟持手段２１によって挟持する。そして、各挟持手段２１が、エキスパンドシート１１の周辺部を、矢印Ａで示すように外方に引っ張る。
(2) Expanded Sheet Expansion Step Next, an expanded sheet expansion step of expanding the expanded sheet to which the work 1 is attached is performed. In this step, as shown in FIG. 3 and FIG. 4, four places on the periphery of the expanded sheet 11 to which the work 1 is stuck are held by four holding means 21. Then, each holding means 21 pulls the peripheral portion of the expanded sheet 11 outward as shown by the arrow A.
これにより、エキスパンドシート１１が、外方に向かって略放射状に拡張されるので、エキスパンドシート１１に貼着されているワーク１に、外方に向かう引張力が作用する。その結果、ワーク１は、強度の弱い改質層が起点となって分割予定ライン３に沿って破断され、図４に示すように、個々のチップＣに分割される。各チップＣ間には、間隙が形成される。 As a result, the expanded sheet 11 is expanded substantially radially outward, so that an outward tensile force acts on the work 1 attached to the expanded sheet 11. As a result, the work 1 is broken along the dividing line 3 starting from the modified layer having a low strength, and is divided into individual chips C as shown in FIG. A gap is formed between the chips C.
（３）貼着ステップ
次に、エキスパンドシート１１に環状フレームを貼着する貼着ステップが実施される。図５に示すように、環状フレーム１３は、リング状に形成されており、剛性を有する。環状フレーム１３は、中央に開口１４を有している。貼着ステップでは、開口１４内にワーク１が配されるように、エキスパンドシート１１に環状フレーム１３が貼着される。
なお、このステップでは、エキスパンドシート１１は、挟持手段２１によって外方に拡張されたままである。
(3) Adhering Step Next, an attaching step of attaching an annular frame to the expanded sheet 11 is performed. As shown in FIG. 5, the annular frame 13 is formed in a ring shape and has rigidity. The annular frame 13 has an opening 14 at the center. In the attaching step, the annular frame 13 is attached to the expanded sheet 11 so that the work 1 is arranged in the opening 14.
In this step, the expanded sheet 11 is kept expanded outward by the holding means 21.
このステップでは、まず、図６に示すフレーム保持ユニット２３によって、環状フレーム１３を搬送する。フレーム保持ユニット２３は、平坦な下向きの保持面２４を有している。フレーム保持ユニット２３は、この保持面２４によって環状フレーム１３の上面を吸着することによって、環状フレーム１３を保持する。この状態で、フレーム保持ユニット２３は、環状フレーム１３をエキスパンドシート１１まで搬送し、開口１４内にワーク１が配されるように、エキスパンドシート１１上に環状フレーム１３を配置する。 In this step, first, the annular frame 13 is transported by the frame holding unit 23 shown in FIG. The frame holding unit 23 has a flat downward holding surface 24. The frame holding unit 23 holds the annular frame 13 by sucking the upper surface of the annular frame 13 with the holding surface 24. In this state, the frame holding unit 23 conveys the annular frame 13 to the expanded sheet 11 and arranges the annular frame 13 on the expanded sheet 11 such that the work 1 is arranged in the opening 14.
なお、環状フレーム１３は、開口１４内にワーク１が配されたときに、環状フレーム１３の外縁が挟持手段２１に触れない程度のサイズを有するように設計されている。したがって、環状フレーム１３は、開口１４内にワーク１を配した状態で、エキスパンドシート１１を挟持している４つの挟持手段２１の内側に配置されることが可能である。 The annular frame 13 is designed to have such a size that the outer edge of the annular frame 13 does not touch the holding means 21 when the work 1 is arranged in the opening 14. Therefore, the annular frame 13 can be arranged inside the four holding means 21 holding the expanded sheet 11 with the work 1 arranged in the opening 14.
その後、図６に示す第１ローラ部材２５を用いて、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の内周側領域に押圧する。すなわち、図６に示すように、第１ローラ部材２５は、エキスパンドシート１１の下方の、環状フレーム１３の内周側領域に対応する位置に配置されている。第１ローラ部材２５は、第１ローラ２６および第１シリンダ２７を備えている。第１ローラ２６の幅は、たとえば、環状フレーム１３の径方向長さ（環状フレーム１３の幅）の半分よりも長く設定されている。第１ローラ２６は、内周側ローラあるいは貼着ローラと称されることも可能である。 Thereafter, the expanded sheet 11 is pressed against the inner peripheral region of the annular frame 13 using the first roller member 25 shown in FIG. That is, as shown in FIG. 6, the first roller member 25 is disposed at a position below the expanded seat 11 and corresponding to the inner peripheral area of the annular frame 13. The first roller member 25 includes a first roller 26 and a first cylinder 27. The width of the first roller 26 is set to be longer than half the radial length of the annular frame 13 (the width of the annular frame 13), for example. The first roller 26 can also be referred to as an inner peripheral roller or a sticking roller.
エキスパンドシート１１上に環状フレーム１３が配置されると、第１ローラ部材２５では、第１シリンダ２７が、矢印Ｕ１に示すように、第１ローラ２６を上方に突き上げる。これにより、第１ローラ２６が、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の内周側領域に押圧する。この状態で、第１ローラ２６は、環状フレーム１３の内周側領域に沿って、矢印Ｒ１に示すように転動（回転移動）する。このようにして、環状フレーム１３の内周側領域を、エキスパンドシート１１に貼着する。 When the annular frame 13 is disposed on the expanded seat 11, in the first roller member 25, the first cylinder 27 pushes up the first roller 26 as indicated by an arrow U1. Thereby, the first roller 26 presses the expanded sheet 11 against the inner peripheral area of the annular frame 13. In this state, the first roller 26 rolls (rotates) along the inner peripheral region of the annular frame 13 as shown by the arrow R1. In this manner, the inner peripheral region of the annular frame 13 is adhered to the expanded sheet 11.
この貼着ステップは、挟持手段２１によってエキスパンドシート１１が外方に拡張された状態で実施される。したがって、環状フレーム１３内に配されたワーク１には、エキスパンドシート拡張ステップ時と同様に、外方への拡張による引張力が作用したままであり、各チップＣ間の間隙は維持されている。 This sticking step is performed in a state where the expanded sheet 11 is expanded outward by the holding means 21. Therefore, the work 1 arranged in the annular frame 13 is still subjected to the tensile force due to the outward expansion as in the expanding seat expanding step, and the gap between the chips C is maintained. .
（４）固着ステップ
貼着ステップを実施した後、固着ステップを実施する。このステップでは、まず、挟持手段２１によるエキスパンドシート１１の外方への拡張を解除する。
ここで、エキスパンドシート１１には、環状フレーム１３が粘着されている。挟持手段２１による拡張が解除されると、エキスパンドシート１１における環状フレーム１３よりも外側の範囲には、引張力が作用しなくなる。このため、この範囲は弛緩する。
(4) Fixing step After performing the attaching step, the fixing step is performed. In this step, first, the outward expansion of the expanded seat 11 by the holding means 21 is released.
Here, the annular frame 13 is adhered to the expanded sheet 11. When the expansion by the holding means 21 is released, a tensile force does not act on a region of the expanded seat 11 outside the annular frame 13. Thus, this range relaxes.
一方、環状フレーム１３は剛性を有するため、エキスパンドシート１１における環状フレーム１３よりも内側の範囲（開口１４内の範囲）は、挟持手段２１による拡張の解除の影響を受けにくい。したがって、挟持手段２１による拡張が解除されても、環状フレーム１３よりも内側の範囲には、外方への引張力が作用したままとなる。このため、この範囲内に配されているワーク１への引張力も維持され、各チップＣ間の間隙も維持される。 On the other hand, since the annular frame 13 has rigidity, a range of the expanded seat 11 inside the annular frame 13 (a range within the opening 14) is hardly affected by the release of the expansion by the holding means 21. Therefore, even when the expansion by the holding means 21 is released, the outward tensile force remains applied to the area inside the annular frame 13. For this reason, the tensile force to the work 1 arranged in this range is also maintained, and the gap between the chips C is also maintained.
さらに、固着ステップでは、図７に示す第２ローラ部材２８を用いて、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の外周側領域に押圧する。すなわち、図７に示すように、第２ローラ部材２８は、エキスパンドシート１１の下方の、環状フレーム１３の外周側領域に対応する位置に配置されている。第２ローラ部材２８は、第２ローラ２９および第２シリンダ３０を備えている。第２ローラ２９の幅は、たとえば、環状フレーム１３の径方向長さの半分よりも長く設定されている。第２ローラ２９は、外周側ローラあるいは固着ローラと称されることも可能である。 Further, in the fixing step, the expanded sheet 11 is pressed against the outer peripheral area of the annular frame 13 using the second roller member 28 shown in FIG. That is, as shown in FIG. 7, the second roller member 28 is disposed at a position below the expanded seat 11 and corresponding to the outer peripheral area of the annular frame 13. The second roller member 28 includes a second roller 29 and a second cylinder 30. The width of the second roller 29 is set to be longer than, for example, half the radial length of the annular frame 13. The second roller 29 can also be referred to as an outer peripheral roller or a fixed roller.
挟持手段２１によるエキスパンドシート１１の拡張が解除されると、第２ローラ部材２８では、第２シリンダ３０が、矢印Ｕ２に示すように、第２ローラ２９を上方に突き上げる。これにより、第２ローラ２９が、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の外周側領域に押圧する。この状態で、第２ローラ２９は、環状フレーム１３の外周側領域に沿って、矢印Ｒ２に示すように転動する。このようにして、環状フレーム１３の外周側領域を、エキスパンドシート１１に固着する。 When the expansion of the expanded sheet 11 by the holding means 21 is released, in the second roller member 28, the second cylinder 30 pushes up the second roller 29 as indicated by an arrow U2. Thereby, the second roller 29 presses the expanded sheet 11 against the outer peripheral area of the annular frame 13. In this state, the second roller 29 rolls along the outer peripheral region of the annular frame 13 as shown by an arrow R2. Thus, the outer peripheral area of the annular frame 13 is fixed to the expanded seat 11.
（５）切断ステップ
固着ステップを実施した後、切断ステップを実施する。このステップでは、環状フレーム１３に沿って切断ラインを設定し、この切断ラインに沿って、エキスパンドシート１１を切断する。この切断では、図８に示すように、エキスパンドシート１１の下方に配置されたローラカッター３１を用いる。切断ラインに沿ってローラカッター３１を転動することによって、切断ラインに沿ってエキスパンドシート１１を切断することができる。これにより、ワーク１、環状フレーム１３およびエキスパンドシート１１を含むワークユニットが形成される。
(5) Cutting Step After performing the fixing step, the cutting step is performed. In this step, a cutting line is set along the annular frame 13, and the expanded sheet 11 is cut along the cutting line. In this cutting, as shown in FIG. 8, a roller cutter 31 arranged below the expanded sheet 11 is used. By rolling the roller cutter 31 along the cutting line, the expanded sheet 11 can be cut along the cutting line. Thereby, a work unit including the work 1, the annular frame 13, and the expanded seat 11 is formed.
なお、切断ラインは、エキスパンドシート１１の固着領域に基づいて設定される。固着領域は、固着ステップにおいて環状フレーム１３に固着されたエキスパンドシート１１の領域であり、環状フレーム１３の外周側領域に対応する。そして、切断ラインは、固着領域内あるいは固着領域の外側に位置するように設定される。 Note that the cutting line is set based on the fixed area of the expanded sheet 11. The fixing region is a region of the expanded sheet 11 fixed to the annular frame 13 in the fixing step, and corresponds to an outer peripheral region of the annular frame 13. Then, the cutting line is set so as to be located inside the fixing region or outside the fixing region.
切断ステップの後、フレーム保持ユニット２３が環状フレーム１３から取り外されて、本エキスパンド方法が終了する。 After the cutting step, the frame holding unit 23 is removed from the annular frame 13, and the expanding method ends.
以上のように、本エキスパンド方法では、エキスパンドシート拡張ステップにおいて、エキスパンドシート１１が拡張される。これにより、エキスパンドシート１１およびワーク１に引張力が作用する。その後に実施される貼着ステップでは、エキスパンドシート１１が拡張された状態で、環状フレーム１３の内周側領域を、転動する第１ローラ２６を用いて、エキスパンドシート１１に貼着する。 As described above, in the present expanding method, the expanding seat 11 is expanded in the expanding seat expanding step. Thereby, a tensile force acts on the expanded sheet 11 and the work 1. In a sticking step performed thereafter, the inner peripheral side region of the annular frame 13 is stuck to the expanded sheet 11 using the first roller 26 that rolls while the expanded sheet 11 is expanded.
さらに、固着ステップでは、エキスパンドシート１１の拡張を解除する。エキスパンドシート１１の拡張が解除されると、エキスパンドシート１１における環状フレーム１３よりも外側の範囲には外方への引張力が作用しなくなる一方、環状フレーム１３よりも内側の範囲（環状フレーム１３の開口１４内）には、外方への引張力が作用したままとなる。このため、この範囲内に配されているワーク１への引張力も維持される。
そして、固着ステップでは、環状フレーム１３の外周側領域を、エキスパンドシート１１の拡張を解除した状態で、転動する第２ローラ２９を用いて、エキスパンドシート１１に固着する。
Further, in the fixing step, the expansion of the expanded sheet 11 is released. When the expansion of the expandable seat 11 is released, no outward tensile force is applied to a region outside the annular frame 13 in the expandable seat 11, while a region inside the annular frame 13 (a region inside the annular frame 13). In the opening 14), the outward tensile force remains applied. For this reason, the pulling force on the work 1 arranged within this range is also maintained.
Then, in the fixing step, the outer peripheral region of the annular frame 13 is fixed to the expanded sheet 11 by using the second roller 29 that rolls while the expansion of the expanded sheet 11 is released.
したがって、貼着ステップの後、環状フレーム１３の外周側領域に対応するエキスパンドシート１１の部分が、該外周側領域から離れていても、固着ステップにおいて、この部分に、環状フレーム１３を固着することができる。また、この固着は、エキスパンドシート１１の拡張を解除した状態で実施される。したがって、この部分にかかる引張力を小さくした状態で、この部分に環状フレーム１３を固着することができる。このため、この部分は、環状フレーム１３に堅固に固定され、環状フレーム１３から離れにくくなる。 Therefore, even after the portion of the expanded sheet 11 corresponding to the outer peripheral region of the annular frame 13 is separated from the outer peripheral region after the attaching step, the annular frame 13 is fixed to this portion in the fixing step. Can be. This fixation is performed in a state where the expansion of the expanded sheet 11 is released. Therefore, the annular frame 13 can be fixed to this portion with the tensile force applied to this portion reduced. For this reason, this portion is firmly fixed to the annular frame 13 and is hard to separate from the annular frame 13.
このように、本エキスパンド方法では、環状フレーム１３の内側の範囲で、ワーク１およびエキスパンドシート１１に対する引張力を維持できるように、貼着ステップにおいて、環状フレーム１３の内周側領域を、エキスパンドシート１１に貼着する。さらに、切断ステップ後に、環状フレーム１３からエキスパンドシート１１が剥がれることを抑制するために、固着ステップにおいて、環状フレーム１３の外周側領域を、エキスパンドシート１１に固着する。したがって、切断ステップの後に、環状フレーム１３の開口１４内においてエキスパンドシート１１がたるむこと、および、環状フレーム１３からエキスパンドシート１１が剥離することを、抑制することが可能となる。 As described above, in the expanding method, in the attaching step, the inner peripheral side area of the annular frame 13 is removed from the expanded sheet so that the tensile force on the work 1 and the expanded sheet 11 can be maintained within the range inside the annular frame 13. Affix to 11. Further, in order to prevent the expanded sheet 11 from peeling off from the annular frame 13 after the cutting step, the outer peripheral area of the annular frame 13 is fixed to the expanded sheet 11 in the fixing step. Therefore, after the cutting step, it is possible to suppress the sagging of the expanded sheet 11 in the opening 14 of the annular frame 13 and the peeling of the expanded sheet 11 from the annular frame 13.
なお、第１ローラ部材２５および第２ローラ部材２８は、それぞれ、第１ローラ２６および第２ローラ２９内に、ヒーターを備えていてもよい。ヒーターによって第１ローラ２６および第２ローラ２９を暖めることによって、これらに押圧されるエキスパンドシート１１の接着剤が、暖められて軟化する。このため、エキスパンドシート１１に環状フレーム１３を貼着および固着しやすくなる。 Note that the first roller member 25 and the second roller member 28 may include a heater in the first roller 26 and the second roller 29, respectively. When the first roller 26 and the second roller 29 are heated by the heater, the adhesive of the expanded sheet 11 pressed by these is heated and softened. For this reason, it becomes easy to stick and fix the annular frame 13 to the expanded sheet 11.
また、本実施形態では、貼着ステップにおいて、第１ローラ部材２５が、エキスパンドシート１１を環状フレーム１３の内周側領域に押圧することによって、環状フレーム１３の内周側領域を、エキスパンドシート１１に貼着している。しかしながら、これに限らず、第１ローラ部材２５は、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の少なくとも内周側領域を含む領域に押圧してもよい。たとえば、第１ローラ部材２５は、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の全面に押圧してもよい。これにより、環状フレーム１３の少なくとも内周側領域が、エキスパンドシート１１に貼着される。 In the present embodiment, in the attaching step, the first roller member 25 presses the expanded sheet 11 against the inner peripheral region of the annular frame 13, thereby causing the inner peripheral region of the annular frame 13 to be expanded. It is stuck on. However, the present invention is not limited thereto, and the first roller member 25 may press the expanded sheet 11 against a region including at least the inner peripheral region of the annular frame 13. For example, the first roller member 25 may press the expanded sheet 11 over the entire surface of the annular frame 13. Thereby, at least the inner peripheral region of the annular frame 13 is adhered to the expanded sheet 11.
また、本実施形態では、固着ステップにおいて、第２ローラ２９が、エキスパンドシート１１を環状フレーム１３の外周側領域に押圧することによって、環状フレーム１３の外周側領域を、エキスパンドシート１１に固着している。しかしながら、これに限らず、第２ローラ部材２８は、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の少なくとも外周側領域を含む領域に押圧してもよい。たとえば、第２ローラ部材２８は、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の全面に押圧してもよい。これにより、環状フレーム１３の少なくとも外周側領域が、エキスパンドシート１１に固着される。 In the present embodiment, in the fixing step, the second roller 29 presses the expanded sheet 11 against the outer peripheral area of the annular frame 13, thereby fixing the outer peripheral area of the annular frame 13 to the expanded sheet 11. I have. However, the present invention is not limited thereto, and the second roller member 28 may press the expanded sheet 11 against an area including at least the outer peripheral area of the annular frame 13. For example, the second roller member 28 may press the expanded sheet 11 against the entire surface of the annular frame 13. Thereby, at least the outer peripheral area of the annular frame 13 is fixed to the expanded seat 11.
また、本実施形態では、第１ローラ部材２５によってエキスパンドシート１１を環状フレーム１３の内周側領域に押圧し、第２ローラ部材２８によってエキスパンドシート１１を環状フレーム１３の外周側領域に押圧している。すなわち、本実施形態では、２つのローラ部材２５・２８を用いて、貼着ステップおよび固着ステップを実施している。しかしながら、これに代えて、第１ローラ部材２５および第２ローラ部材２８を兼ねる１つのローラ部材を用いて、貼着ステップおよび固着ステップを実施してもよい。 In the present embodiment, the expanded sheet 11 is pressed against the inner peripheral area of the annular frame 13 by the first roller member 25, and the expanded sheet 11 is pressed against the outer peripheral area of the annular frame 13 by the second roller member 28. I have. That is, in this embodiment, the attaching step and the fixing step are performed using the two roller members 25 and 28. However, instead of this, the attaching step and the fixing step may be performed using one roller member that also serves as the first roller member 25 and the second roller member 28.
この場合、ローラ部材は、ローラ部材２５・２８と同程度の幅を有してもよい。さらに、ローラ部材は、貼着ステップでは環状フレーム１３の内周側領域の下方に配置され、固着ステップでは環状フレーム１３の外周側領域の下方に配置されるように、径方向に沿って移動可能に構成されていてもよい。 In this case, the roller members may have the same width as the roller members 25 and 28. Further, the roller member is movable in the radial direction so as to be disposed below the inner peripheral region of the annular frame 13 in the attaching step, and to be disposed below the outer peripheral region of the annular frame 13 in the fixing step. May be configured.
あるいは、ローラ部材の幅は、環状フレーム１３の径方向長さ以上に設定されていてもよい。そして、ローラ部材は、貼着ステップおよび固着ステップにおいて、エキスパンドシート１１を、環状フレーム１３の全体に押圧してもよい。 Alternatively, the width of the roller member may be set to be equal to or greater than the radial length of the annular frame 13. The roller member may press the expanded sheet 11 over the entire annular frame 13 in the attaching step and the fixing step.
また、１つのローラ部材を用いて貼着ステップおよび固着ステップを実施する場合、これらのステップが、ローラ部材のローラの回転を停止することなく、連続的に実施されてもよい。この場合、貼着ステップの実施後でも、ローラの転動を維持する。そして、固着ステップでは、ローラの転動を維持したまま、エキスパンドシート１１の拡張を解除する。さらに、転動しているローラを用いて、環状フレーム１３の少なくとも外周側領域に、エキスパンドシート１１を押圧する。
この構成では、ローラの回転を停止することなく、貼着ステップおよび固着ステップを実施することができる。これにより、作業時間を短縮することが可能となる。
Further, when performing the attaching step and the fixing step using one roller member, these steps may be performed continuously without stopping the rotation of the roller of the roller member. In this case, the rolling of the roller is maintained even after performing the attaching step. Then, in the fixing step, the expansion of the expanded sheet 11 is released while maintaining the rolling of the roller. Further, the expanded sheet 11 is pressed against at least the outer peripheral area of the annular frame 13 using the rolling rollers.
With this configuration, the attaching step and the fixing step can be performed without stopping the rotation of the roller. This makes it possible to reduce the working time.
１：ワーク、２ａ：表面、２ｂ：裏面、３：分割予定ライン、４：デバイス、
１１：エキスパンドシート、
１３：環状フレーム、１４：開口、
２１：挟持手段、２３：フレーム保持ユニット、２４：保持面、
２５：第１ローラ部材、２６：第１ローラ、２７：第１シリンダ、
２８：第２ローラ部材、２９：第２ローラ、３０：第２シリンダ、
３１：ローラカッター、
1: work, 2a: front surface, 2b: back surface, 3: scheduled dividing line, 4: device,
11: Expanded sheet,
13: annular frame, 14: opening,
21: clamping means, 23: frame holding unit, 24: holding surface,
25: first roller member, 26: first roller, 27: first cylinder,
28: second roller member, 29: second roller, 30: second cylinder,
31: Roller cutter,
Claims (2)
ワークが貼着されたエキスパンドシートを拡張するエキスパンドシート拡張ステップと、
該エキスパンドシートが拡張された状態で、中央に開口を有する環状フレームを該エキスパンドシートにローラで貼着して該開口内にワークを配置する貼着ステップと、
該貼着ステップを実施した後、該エキスパンドシートの拡張を解除した状態で、該環状フレームの少なくとも外周側領域に該エキスパンドシートを転動するローラで押圧することによって、該環状フレームを該エキスパンドシートに固着する固着ステップと、
該固着ステップを実施した後、該固着ステップで固着された領域内又はこの領域の外側に位置する切断ラインに沿って該エキスパンドシートを切断することによって、該ワークと該環状フレームと該エキスパンドシートとからなるワークユニットを形成する切断ステップと、
を備えたエキスパンド方法。 An expanding method,
An expanding sheet expanding step for expanding the expanding sheet to which the workpiece is attached,
In the state where the expanded sheet is expanded, an attaching step of attaching an annular frame having an opening at the center to the expanded sheet with a roller and placing a work in the opening,
After performing the adhering step, in a state where the expansion of the expanded sheet is released, the expanded sheet is pressed against at least an outer peripheral area of the annular frame with a roller that rolls the expanded sheet, so that the expanded sheet is expanded. A fixing step for fixing to the
After performing the fixing step, by cutting the expanded sheet along a cutting line located in or outside the area fixed in the fixing step, the workpiece, the annular frame, the expanded sheet, A cutting step for forming a work unit comprising
Expanding method with.
該貼着ステップでは、該エキスパンドシートが拡張された状態で該環状フレームに対面する該エキスパンドシート上を該ローラが転動することで該フレームを該エキスパンドシートに貼着し、
該固着ステップでは、該ローラの転動を停止することなく該エキスパンドシートの拡張を解除し、転動している該ローラを用いて、該環状フレームの少なくとも該外周側領域に該エキスパンドシートを押圧して固着する、
請求項１に記載のエキスパンド方法。 The attaching step and the fixing step are performed by the same roller,
In the attaching step, the frame is attached to the expanded sheet by rolling the roller on the expanded sheet facing the annular frame in a state where the expanded sheet is expanded,
In the fixing step, the expansion sheet is released from expansion without stopping the rolling of the roller, and the expanded sheet is pressed against at least the outer peripheral area of the annular frame using the rolling roller. And stick,
The expanding method according to claim 1.
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