JP2020035869A - マスク材、および半導体装置の製造方法 - Google Patents
マスク材、および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】被加工膜との密着性を高めることが可能なマスク材を提供する。【解決手段】一実施形態に係るマスク材は、タングステン(W)、ホウ素(B)、および炭素(C)を含む。このマスク材は、被加工膜に接触し、ホウ素および炭素の組成比がタングステンの組成比よりも高い第1部分と、タングステンの組成比が炭素およびホウ素の組成比よりも高い第2部分と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、マスク材、および半導体装置の製造方法に関する。
半導体装置の製造工程には、シリコンを含む被加工膜を加工する工程がある。この工程には、例えば、タングステン(W)、ホウ素(B)、および炭素(C)を含むマスク材を用いる場合がある。
本実施形態は、被加工膜との密着性を高めることが可能なマスク材、およびそのマスク材を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
一実施形態に係るマスク材は、タングステン(W)、ホウ素(B)、および炭素(C)を含む。このマスク材は、被加工膜に接触し、ホウ素および炭素の組成比がタングステンの組成比よりも高い第1部分と、タングステンの組成比が炭素およびホウ素の組成比よりも高い第2部分と、を備える。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
図1は、本実施形態に係るマスク材の概略的な構成を示す断面図である。図1では、本実施形態に係るマスク材10が、積層体20上に形成された状態を示す。
積層体20は、被加工膜の一例であり、半導体基板30上に設けられている。以下の説明では、半導体基板30に対して平行で、かつ相互に直交する2方向をX方向およびY方向と称する。また、半導体基板30に対して垂直な方向をZ方向と称する。
積層体20では、第1膜21と第2膜22とがZ方向に交互に積層されている。第1膜21は、例えばシリコン酸化膜(SiO2)である。第2膜22は、例えばシリコン窒化膜(SiN)である。なお、被加工膜は、積層体20に限定されず単層体であってもよい。また、被加工膜は、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜等の絶縁膜に限定されず、導電膜であってもよい。
マスク材10は、遷移領域11およびバルク領域12を備える。遷移領域11およびバルク領域12は、それぞれ第1領域および第2領域の例である。遷移領域11およびバルク領域12の各々には、タングステン、ホウ素、および炭素が含まれている。ここで、図2を参照して各領域におけるタングステン、ホウ素、および炭素の組成比について説明する。
図2は、マスク材10におけるタングステン、ホウ素、および炭素の組成比の一例を示す図である。図2において、横軸は、マスク材10と積層体20と境界からのZ方向の距離、すなわちマスク材10内における位置を示す。一方、縦軸は、マスク材10に占める含有量を示す。実線はタングステンの含有量を示し、点線はホウ素の含有量を示し、1点鎖線は炭素の含有量を示す。図2では、各含有量は、例えばEELS(Electron Energy Loss Spectroscopy)等の質量分析により得られた原子単位(a.u.)の強度(Intensity)として示されている。
図2に示すように、タングステン、ホウ素、炭素の各含有量は、遷移領域11では連続的に変化しているのに対し、バルク領域12ではほぼ一定である。換言すると、遷移領域11では、タングステン、ホウ素、炭素の組成比の変化がバルク領域12よりも大きい。バルク領域12は、例えば積層体20の加工に必要なマスクとしての機能を有し、遷移領域11は、例えば積層体20とバルク領域12との密着性を高める密着層としての機能を有する。そのため、上述のように、バルク領域12の組成比はほぼ一定であることが望ましい。
さらに、遷移領域11において、タングステンの含有量は、積層体20との境界側からバルク領域12との境界側、すなわち図2の左側から右側に向けて連続的に増加している。反対に、ホウ素および炭素の各含有量は、積層体20との境界側からバルク領域12との境界側に向けて連続的に減少している。その結果、バルク領域12では、タングステンの含有量は、ホウ素および炭素の各含有量よりも多い。すなわち、遷移領域11では、積層体20との境界であって、タングステンの含有量よりも、ホウ素および炭素の含有量を多く含む第1部分と、バルク領域12との境界であって、ホウ素および炭素の含有量よりもタングステンの含有量を多く含む第2部分とを含む。
本実施形態では、マスク材10の遷移領域11が、被加工膜である積層体20に接触する。この遷移領域11では、タングステン、ホウ素、および炭素の組成比が、例えば図2のように変化している。具体的には、積層体20との接触面では組成比に占めるタングステンの比率を低くする一方でホウ素および炭素の各比率を高くしている。これにより、マスク材10と積層体20との密着性が向上する。実験結果によれば、遷移領域11の組成比に関し、タングステンの比率が40%より大きく、かつ、ホウ素の含有量に対する炭素の含有量の比率(C/B)が0.9よりも大きくて1.4よりも小さい場合に、マスク材10が積層体20から剥離しないことを確認できた。
以下、このマスク材10を用いた半導体装置の製造方法について説明する。
図3に示すように、まず、半導体基板30上に積層体20を形成する。具体的には、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)法またはALD(Atomic Layer Deposition)法を用いて第1膜21と第2膜22とを交互に成膜する。
次に、図1に示すように、積層体20の最上面にマスク材10を形成する。マスク材10は、タングステンを含む第1ガス、ホウ素を含む第2ガス、および炭素を含む第3ガスを用いて形成される。第1ガスには、例えば、六フッ化タングステン(WF6)、六塩化タングステン(WCl6)、およびヘキサカルボニカルタングステン(W(CO)6)の少なくとも一つを含んだガスを用いることができる。
第2ガスには、ジボラン(B2H6)、三フッ化ホウ素(BF3)、三塩化ホウ素(BCl3)、および三臭化(B(Br3))の少なくとも一つを含んだガスを用いることができる。第3ガスには、メタン(CH4)、エタン(C2H6)、プロパン(C3H8)、イソブタン(C4H10)、エチレン(C2H4)、プロピレン(C3H6)、イソブチレン(C4H8)、アセチレン(C2H2)、プロピン(C3H4)、およびブタジエン(C4H6)の少なくとも一つを含んだガスを用いることができる。
マスク材10は、例えば、第1ガス〜第3ガスを用いたプラズマCVD法により形成することができる。具体的には、プラズマを発生させたチャンバ(不図示)内に、第1ガス〜第3ガスを導入する。以下、図4を参照して、マスク材10形成時の第1ガス〜第3ガスの流量について説明する。
図4は、マスク材10形成時の第1〜第3ガスの流量変化の一例を示すグラフである。図4において、横軸は時間を示す。縦軸の左側には、第2ガスであるジボラン(B2H6)ガスの流量目盛が示されている。縦軸の右側には、第1ガスである六フッ化タングステン(WF6)ガスおよび第3ガスであるプロピレン(C3H6)ガスの流量目盛が示されている。
図4に示すように、まず、第1〜第3ガスをチャンバ内に導入する前の前処理時間帯T0では、不活性ガスを導入してチャンバ内の空気を排気する。不活性ガスには、例えば窒素ガスを用いることができる。
続いて、第1処理時間帯T1では、第1ガス(WF6)、第2ガス(B2H6)、および第3ガス(C3H6)を、その流量を変化させながらチャンバ内へ導入する。これにより、遷移領域11が積層体20の最上面に形成される。このとき、例えば図2に示すタングステン、ホウ素、および炭素の組成比になるように、各ガスの単位時間当たりの流量変化量すなわち図4に示す各線の傾きを調整する。例えば、第1ガス(WF6)の流量変化量を第2ガス(B2H6)および第3ガス(C3H6)の各流量変化量よりも大きくする。その結果、積層体20との密着性が高い遷移領域11を形成することができる。
続いて、第2処理時間帯T2では、第1ガス(WF6)、第2ガス(B2H6)、および第3ガス(C3H6)を、その流量を固定させてチャンバ内へ導入する。その結果、タングステン、ホウ素、および炭素の組成比がほぼ一定であるバルク領域12が遷移領域11の上面に形成され、マスク材10が完成する。本実施形態では、上述したように、プラズマを用いているので、低温でマスク材10を形成することができる。
次に、図5に示すように、バルク領域12および遷移領域11を貫通する凹部13を形成する。その結果、マスク材10にパターンが形成される。凹部13は、例えばRIE(Reactive Ion Etching)によって、形成することができる。
次に、図6に示すように、マスク材10のパターンに基づいて積層体20に凹部23を形成する。凹部23は、凹部13に連通するとともに、積層体20を貫通する。凹部23は、例えばRIEによって、形成することができる。
次に、図7に示すように、マスク材10を除去する。マスク材10は、薬液を用いて除去することができる。例えば、過酸化水素(H2O2)溶液を薬液として用いると、積層体20に損傷を与えることなくマスク材10を除去することができる。このとき、仮に遷移領域11がホウ素および炭素のみで組成された膜であると、この膜は、過酸化水素溶液で除去できない。
しかし、本実施形態では、遷移領域11は、ホウ素および炭素だけでなく、タングステンも含んでいる。そのため、マスク材10は、積層体20の加工時には積層体20との密着性を十分に確保し、さらに積層体20に損傷を与えることなく確実に除去することができる。
マスク材10の除去後、図8に示すように、凹部23内には、例えば、メモリ膜40を形成することができる。また、第2膜22は、導電膜22aに置換される。導電膜22aは、例えばタングステン膜として形成され、ワードラインとして機能する。その結果、この半導体装置は、積層型の半導体記憶装置として機能する。
メモリ膜40は、例えば、電荷ブロック膜41と、電荷蓄積膜42と、トンネル絶縁膜43と、チャネル膜44と、コア膜45と、を有する。電荷ブロック膜41、トンネル絶縁膜43およびコア膜45は、例えばシリコン酸化物膜として形成される。電荷蓄積膜42は、例えばシリコン窒化物膜として形成される。チャネル膜44は、例えばポリシリコン膜として形成される。
以上説明した本実施形態によれば、マスク材10は、被加工膜と接触する遷移領域11を有し、この遷移領域11では、タングステン、ホウ素、および炭素の組成比が連続的に変化している。これにより、被加工膜の加工時に当該被加工膜とマスク材10との密着性を高めることが可能となる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
10 マスク材、11 遷移領域(第1領域)、12 バルク領域(第2領域)、20 積層体(被加工膜)、21 第1膜、22 第2膜、23 凹部
Claims (8)
- タングステン(W)、ホウ素(B)、および炭素(C)を含むマスク材であって、
被加工膜に接触し、前記ホウ素および前記炭素の組成比が前記タングステンの組成比よりも高い第1部分と、前記タングステンの組成比が前記炭素およびホウ素の組成比よりも高い第2部分と、を備える、マスク材。 - 前記第1部分と前記第2部分とを含む第1領域と、前記第1領域に接触する第2領域と、を備え、
前記第1領域において、前記組成比に占める前記タングステンの比率は前記被加工膜との境界側から前記第2領域との境界側に向けて連続的に増加し、前記組成比に占める前記ホウ素および前記炭素の各比率は、前記被加工膜側から前記第2領域側に向けて連続的に減少する、請求項1に記載のマスク材。 - 前記第1領域では、前記タングステンの比率が40%より大きく、かつ、前記ホウ素の含有量に対する前記炭素の含有量の比率が0.9よりも大きくて1.4よりも小さい、請求項1または2に記載のマスク材。
- 半導体基板上に被加工膜を形成し、
前記被加工膜上に、請求項1から3のいずれかに記載のマスク材を形成し、
前記マスク材をパターニングし、
前記マスク材のパターンに基づいて前記被加工膜を加工する、
半導体装置の製造方法。 - 前記タングステンを含む第1ガス、前記ホウ素を含む第2ガス、および前記炭素を含む第3ガスの各々の流量を変化させながら前記マスク材の前記第1領域を形成する、請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1領域の形成後、前記第1ガス、前記第2ガス、および前記第3ガスの各々の前記流量を固定して前記マスク材の前記第2領域を形成する、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- シリコンを含む第1膜および第2膜を交互に積層することによって、前記被加工膜を形成する、請求項4から6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記マスク材にパターンを形成し、
前記パターンに基づいて、前記被加工膜に凹部を形成する、請求項4から7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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