JP2020029875A - Actuator - Google Patents

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JP2020029875A
JP2020029875A JP2018154172A JP2018154172A JP2020029875A JP 2020029875 A JP2020029875 A JP 2020029875A JP 2018154172 A JP2018154172 A JP 2018154172A JP 2018154172 A JP2018154172 A JP 2018154172A JP 2020029875 A JP2020029875 A JP 2020029875A
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Abstract

To provide an actuator which can be made compact by eliminating a double structure of an enclosure.SOLUTION: An actuator comprises: a base where a drive part is housed; a top face cover which closes a top face opening part of the base; a front face cover which closes the front face opening part of the base; a rear face cover which closes a rear face opening part of the base; and a seal member which is interposed between the base and the top face cover, between the base and the front cover, and between the base and the rear face cover. The drive part drives a rod made to penetrate the front cover to move forward and backward, and the seal member is provided over a front face cover-side top face cover installation part arranged at the front face cover and the base, and over a rear face cover-side top face cover installation part arranged at the rear face cover and the base.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、例えば、ロッドタイプのアクチュエータに係り、特に、防塵・防水性能を高めつつ筐体の二重構造をなくして小型化を図ることができるように工夫したものに関する。   The present invention relates to, for example, a rod-type actuator, and more particularly, to a rod-type actuator that can be miniaturized by eliminating a double structure of a housing while improving dustproof / waterproof performance.

従来のアクチュエータを開示するものとして、例えば、特許文献１等がある。特許文献１に記載されたアクチュエータは概略次のような構成になっている。まず、ハウジングがあり、このハウジングは、両端にフロント開口部とリア開口部が備えられた筒状のハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、から構成されている。   Patent Document 1 and the like disclose a conventional actuator. The actuator described in Patent Document 1 has the following configuration. First, there is a housing, and the housing has a cylindrical housing body provided with a front opening and a rear opening at both ends, a front cover for closing the front opening, and a rear cover for closing the rear opening. , Is composed of.

上記ハウジング内にはアクチュエータ本体が設置されている。まず、略Ｕ字型の横断面形状をなすベースがあり、このベースの両内側面にはガイドレールが設置されていて、これらガイドレールにはそれぞれガイド用凹部が形成されている。
上記ベースにはモータが設置されていて、このモータの回転軸にはボールねじ軸が連結されている。上記ボールねじ軸にはボールナットが螺合・配置されている。このボールナットにはロッド接続部材を介してロッドが取り付けられている。上記ロッドの先端側は上記フロントカバに形成された貫通孔を介して外部に突出されている。 An actuator body is provided in the housing. First, there is a base having a substantially U-shaped cross section, and guide rails are installed on both inner side surfaces of the base, and a guide recess is formed in each of the guide rails.
A motor is installed on the base, and a ball screw shaft is connected to a rotation shaft of the motor. A ball nut is screwed and arranged on the ball screw shaft. A rod is attached to this ball nut via a rod connecting member. The tip end of the rod projects outside through a through hole formed in the front cover.

上記ロッド接続部材には被ガイド部材が取り付けられていて、この被ガイド部材には上記ガイドレールのガイド用凹部に対向するガイド用凹部が形成されている。これら両ガイド用凹部間及びリターン路及び無負荷循環路内を複数個のボールが循環する。
そして、上記モータを回転駆動することによりボールねじ軸を回転させ、それによって、ボールナット、ロッド接続部材、ロッドが、上記被ガイド部材及び上記ガイドレールにガイドされながら進退される。 A guided member is attached to the rod connecting member, and the guided member has a guide recess formed opposite to the guide recess of the guide rail. A plurality of balls circulate between these two guide recesses and in the return path and the no-load circulation path.
Then, the ball screw shaft is rotated by rotating the motor, whereby the ball nut, the rod connecting member, and the rod are advanced and retracted while being guided by the guided member and the guide rail.

ところで、上記フロントカバ及び上記リアカバと上記ハウジング本体の両端面の間にはシール部材が介挿されている。また、上記ロッドによって貫通される上記フロントカバの貫通孔の内周面にも上記ロッドの外周面に摺接されるシール部材が設置されている。   Incidentally, a seal member is interposed between the front cover and the rear cover and both end surfaces of the housing body. In addition, a seal member that is slidably contacted with the outer peripheral surface of the rod is also provided on the inner peripheral surface of the through hole of the front cover penetrated by the rod.

特許第５９６８７３２号公報Japanese Patent No. 5968732

上記従来の構成によると、アクチュエータが大型化してしまうという問題があった。これは、アクチュエータ本体にベースが備えられているにもかかわらず、そのアクチュエータ本体をそのまま筒状のハウジング内に内装して、上記ハウジングのフロント開口部、及びリア開口部をフロントカバ、及びリアカバで閉塞し、上記ハウジングと上記フロントカバ、上記リアカバの間にシール部材を介挿することで防塵・防水性能を高めているからであり、それによって、筐体が二重構造化しているからである。   According to the above conventional configuration, there is a problem that the size of the actuator is increased. This is because, despite the fact that the actuator body has a base, the actuator body is directly housed in a cylindrical housing, and the front opening and the rear opening of the housing are covered with a front cover and a rear cover. This is because the seal member is closed and the seal member is interposed between the housing, the front cover, and the rear cover to enhance the dustproof / waterproof performance, whereby the housing has a double structure. .

本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、防塵・防水性能を高めつつ筐体の二重構造をなくして小型化を図ることができるアクチュエータを提供することにある。   The present invention has been made based on such a point, and an object of the present invention is to provide an actuator which can reduce the size by eliminating a double structure of a housing while improving dustproof / waterproof performance. It is in.

上記目的を達成するべく本願発明の請求項１によるアクチュエータは、駆動部が収容されたベースと、上記ベースの上面開口部を閉塞する上面カバと、上記ベースの前面開口部を閉塞する前面カバと、上記ベースの背面開口部を閉塞する背面カバと、上記ベースと上記上面カバの間、上記ベースと上記前面カバの間、及び、上記ベースと上記背面カバの間に介挿されるシール部材と、を具備し、上記駆動部は上記前面カバを貫通するようにされたロッドを進退自在に駆動するものであり、上記シール部材は上記前面カバに配置される前面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って及び上記背面カバに配置される背面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項２によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出し、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記ベースの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出していることを特徴とするものである。
また、請求項３によるアクチュエータは、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の一部には上記前面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていて、上記背面シール部材の一部にも上記背面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項４によるアクチュエータは、請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部と上記背面シール部材から上記上面カバの間に突出した上記背面カバの一部が上記ベースと上記上面カバの間で重なるように配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項５によるアクチュエータは、請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿される上面シール部材を含み、上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されており、上記背面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記背面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項６によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿された上面シール部材と、上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、上記上面シール部材は上記ベースと上記前面カバ側上面カバ設置部と上記背面カバ側上面カバ設置部に跨るように設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項７によるアクチュエータは、請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記上面シール部材が上記前面シール部材及び上記背面シール部材と交差するように配置されていて、その交差部において上記前面シール部材及び上記背面シール部材が上記上面シール部材と接触するように構成されていることを特徴とするものである。
また、請求項８によるアクチュエータは、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記前面カバには上記前面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記前面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていて、上記背面カバには上記背面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記背面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項９によるアクチュエータは、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていて、上記背面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていることを特徴とするものである。
また、請求項１０によるアクチュエータは、請求項９記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間に突出し、上記前面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられ、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記上面カバの間に突出し、上記背面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項１１によるアクチュエータは、請求項１０記載のアクチュエータにおいて、上記張出平面部に上記上面シール部材用溝部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項１２によるアクチュエータは、請求項６〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記上面シール部材は端部を有するシール部材要素で構成されていることを特徴とするものである。
また、請求項１３によるアクチュエータは、請求項２〜請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材及び上記背面シール部材は同一の構成の部材からなることを特徴とするものである。 To achieve the above object, an actuator according to claim 1 of the present invention includes a base in which a driving unit is housed, an upper cover for closing an upper opening of the base, and a front cover for closing a front opening of the base. A back cover for closing the back opening of the base, between the base and the top cover, between the base and the front cover, and a sealing member interposed between the base and the back cover, Wherein the driving unit is configured to drive a rod extending through the front cover so as to be able to advance and retreat, and the sealing member is provided with a front cover-side upper cover setting unit disposed on the front cover and the base. And a rear cover side upper surface cover installation portion disposed on the back cover and the base.
The actuator according to claim 2 is the actuator according to claim 1, wherein the seal member is inserted between the base and the front cover, and between the base and the rear cover. A back seal member, wherein a part of the front seal member protrudes between the front cover and the top cover and between the base and the top cover, and a part of the back seal member is the back cover and the back cover member. It protrudes between the bases and between the base and the top cover.
According to a third aspect of the present invention, in the actuator according to the second aspect, a part of the front sealing member is provided with a projecting flat portion provided on the front cover side top cover setting portion, and A part of the seal member is also provided with an overhanging flat portion provided on the back cover side top cover setting portion.
The actuator according to claim 4 is the actuator according to claim 2 or 3, wherein a part of the front seal member protruding from the front seal member between the base and the top cover and the rear seal member. A part of the back cover projecting between the top covers is arranged so as to overlap between the base and the top cover.
According to a fifth aspect of the present invention, in the actuator according to the second or third aspect, the seal member includes an upper surface seal member interposed between the base and the upper surface cover, and the seal member includes a base member extending from the front seal member to the base member. And a part of the front seal member protruding between the top cover is disposed so as to overlap a part of the top seal member, and the part protruding from the back seal member between the base and the top cover. It is characterized in that a part of the back seal member is arranged so as to overlap with a part of the top seal member.
According to a sixth aspect of the present invention, in the actuator according to the first aspect, the seal member is inserted between the base and the front cover, and an upper seal member inserted between the base and the upper cover. A front seal member, and a back seal member interposed between the base and the back cover, wherein the top seal member includes the base, the front cover side top cover installation section, and the rear cover side top cover installation. It is provided so that it may straddle a part.
According to a seventh aspect of the present invention, in the actuator according to the sixth aspect, the upper surface sealing member is disposed so as to intersect with the front surface sealing member and the rear surface sealing member. The back seal member is configured to be in contact with the top seal member.
The actuator according to claim 8 is the actuator according to claim 7, wherein the front cover has a groove for accommodating the front seal member, and the groove has the front seal member at the intersection. A convex portion for pressing the upper surface seal member side is provided, a groove portion for accommodating the rear surface seal member is formed in the rear cover, and the groove portion is provided with the rear seal member at the intersection at the upper surface. It is characterized in that a convex portion is provided to press against the seal member side.
According to a ninth aspect of the present invention, in the actuator according to the seventh aspect, a groove for an upper surface seal member for accommodating the upper surface seal member is formed at the intersection of the front surface seal member, and the rear surface seal member is formed. A groove for an upper surface seal member accommodating the upper surface seal member is formed at the intersection.
According to a tenth aspect of the present invention, in the actuator according to the ninth aspect, a part of the front seal member protrudes between the front cover and the top cover, and is a projecting plane installed on the front cover side installation portion. A part of the back seal member protrudes between the back cover and the top cover, and an overhanging flat portion provided on the back cover side installation portion is provided. It is.
An actuator according to an eleventh aspect is the actuator according to the tenth aspect, wherein the overhanging flat portion is provided with the groove for the upper surface sealing member.
According to a twelfth aspect of the present invention, in the actuator according to any one of the sixth to eleventh aspects, the upper surface seal member is constituted by a seal member element having an end. .
According to a thirteenth aspect of the present invention, in the actuator according to any one of the second to twelfth aspects, the front seal member and the rear seal member are made of the same member. .

以上述べたように、本願発明の請求項１によるアクチュエータによると、駆動部が収容されたベースと、上記ベースの上面開口部を閉塞する上面カバと、上記ベースの前面開口部を閉塞する前面カバと、上記ベースの背面開口部を閉塞する背面カバと、上記ベースと上記上面カバの間、上記ベースと上記前面カバの間、及び、上記ベースと上記背面カバの間に介挿されるシール部材と、を具備し、上記駆動部は上記前面カバを貫通するようにされたロッドを進退自在に駆動するものであり、上記シール部材は上記前面カバに配置される前面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って及び上記背面カバに配置される背面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って設けられているので、上記ベースと前面カバ、背面カバ、及び、上面カバによってハウジングとしての機能が担保され、別途ハウジングを設ける必要がなく、防塵・防水性能を高めつつアクチュエータを小型化することができる。
また、請求項２によるアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出し、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記ベースの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出しているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項３によるアクチュエータによると、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の一部には上記前面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていて、上記背面シール部材の一部にも上記背面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられているので、上面カバを前面カバ、背面カバ上に設置して固定する際、上記前面シール部材や上記背面シール部材が不用意に動いてしまうことを防止できる。
また、請求項４によるアクチュエータによると、請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部と上記背面シール部材から上記上面カバの間に突出した上記背面カバの一部が上記ベースと上記上面カバの間で重なるように配置されているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項５によるアクチュエータによると、請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿される上面シール部材を含み、上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されており、上記背面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記背面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項６によるアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿された上面シール部材と、上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、上記上面シール部材は上記ベースと上記前面カバ側上面カバ設置部と上記背面カバ側上面カバ設置部に跨るように設けられているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項７によるアクチュエータによると、請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記上面シール部材が上記前面シール部材及び上記背面シール部材と交差するように配置されていて、その交差部において上記前面シール部材及び上記背面シール部材が上記上面シール部材と接触するように構成されているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項８によるアクチュエータによると、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記前面カバには上記前面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記前面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていて、上記背面カバには上記背面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記背面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項９によるアクチュエータによると、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていて、上記背面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項１０によるアクチュエータによると、請求項９記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間に突出し、上記前面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられ、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記上面カバの間に突出し、上記背面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられているので、上面カバを前面カバ、背面カバ上に設置して固定する際、上記前面シール部材や上記背面シール部材が不用意に動いてしまうことを防止できる。
また、請求項１１によるアクチュエータによると、請求項１０記載のアクチュエータにおいて、上記張出平面部に上記上面シール部材用溝部が設けられているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項１２によるアクチュエータによると、請求項６〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記上面シール部材は端部を有するシール部材要素で構成されているので、アクチュエータの長さを変更する場合等には上記上面シール部材の長さを変えればよく、設計変更を容易なものとすることができる。
また、請求項１３によるアクチュエータによると、請求項２〜請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材及び上記背面シール部材は同一の構成の部材からなるので、簡易な構成とすることができ、部品点数を減らして管理を容易なものとすることができる。 As described above, according to the actuator according to claim 1 of the present invention, the base accommodating the drive unit, the top cover closing the top opening of the base, and the front cover closing the front opening of the base. A back cover for closing the back opening of the base, a seal member inserted between the base and the top cover, between the base and the front cover, and between the base and the back cover. Wherein the driving unit is configured to drive a rod that penetrates the front cover so as to be able to move forward and backward, and the seal member is provided with a front cover-side upper cover installation unit disposed on the front cover and the above-described unit. Since it is provided straddling the base and the back cover side upper surface cover installation portion arranged on the back cover and the base, the base, the front cover, the back cover, and the top cover are provided. Functions as a housing is secured Te, it is not necessary to provide a separate housing, it is possible to reduce the size of the actuator while improving dustproof and waterproof performance.
Further, according to the actuator according to claim 2, in the actuator according to claim 1, the seal member is inserted between the base and the front cover, and the front seal member is inserted between the base and the rear cover. A part of the front seal member protrudes between the front cover and the top cover and between the base and the top cover, and a part of the back seal member and the back cover. Since it protrudes between the bases and between the base and the top cover, sealing performance can be improved.
According to the actuator of the third aspect, in the actuator of the second aspect, a part of the front seal member is provided with a projecting flat portion installed on the front cover side upper surface cover installation portion. Since a part of the rear seal member is also provided with an overhanging flat portion which is installed on the rear cover side upper surface cover installation portion, when the upper surface cover is installed on the front cover and the rear cover and fixed, the front surface Inadvertent movement of the seal member and the back seal member can be prevented.
According to the actuator according to the fourth aspect, in the actuator according to the second or third aspect, a part of the front seal member protruding from the front seal member between the base and the upper cover, and the back seal member. Since a part of the back cover projecting between the upper cover and the upper cover is disposed so as to overlap between the base and the upper cover, sealing performance can be improved.
According to the actuator according to claim 5, in the actuator according to claim 2 or 3, the seal member includes an upper surface seal member interposed between the base and the upper surface cover, and the seal member includes A part of the front seal member protruding between the base and the top cover is disposed so as to overlap a part of the top seal member, and protrudes from the back seal member between the base and the top cover. Since a part of the back seal member is arranged so as to overlap with a part of the top seal member, sealing performance can be improved.
According to the actuator according to claim 6, in the actuator according to claim 1, the seal member is provided between the base and the front cover and an upper seal member inserted between the base and the upper cover. A front seal member to be inserted, and a back seal member interposed between the base and the back cover, wherein the top seal member includes the base, the front cover side top cover installation portion, and the back cover side top cover. Since it is provided so as to straddle the installation portion, sealing performance can be improved.
Further, according to the actuator according to claim 7, in the actuator according to claim 6, the upper surface seal member is disposed so as to intersect the front seal member and the rear seal member, and at the intersection, the front seal member is provided. In addition, since the rear seal member is configured to be in contact with the upper seal member, sealing performance can be improved.
According to the actuator according to the eighth aspect, in the actuator according to the seventh aspect, the front cover has a groove for accommodating the front seal member, and the groove has the front seal member at the intersection. A convex portion for pressing the rear seal member side is provided, the back cover is formed with a groove portion for accommodating the rear seal member, and the groove portion is provided with the rear seal member at the intersection. Since the convex portion for pressing the upper surface sealing member is provided, the sealing performance can be improved.
In the actuator according to the ninth aspect, in the actuator according to the seventh aspect, a groove for an upper surface sealing member for accommodating the upper surface sealing member is formed at the intersection of the front surface sealing member, and the back surface sealing member is formed. Since the groove for the upper surface seal member for accommodating the upper surface seal member is formed at the intersection of the members, the sealing performance can be improved.
According to the actuator according to the tenth aspect, in the actuator according to the ninth aspect, a part of the front seal member projects between the front cover and the top cover, and the overhang is installed at the front cover side installation portion. A flat portion is provided, and a part of the back seal member projects between the back cover and the top cover, and a projecting flat portion provided on the back cover side installation portion is provided. When installing and fixing on the front cover and the back cover, it is possible to prevent the front seal member and the back seal member from accidentally moving.
According to the actuator according to the eleventh aspect, in the actuator according to the tenth aspect, since the groove for the upper surface seal member is provided in the overhanging flat portion, the sealing performance can be improved.
Further, according to the actuator according to the twelfth aspect, in the actuator according to any one of the sixth to eleventh aspects, the upper surface seal member is constituted by a seal member element having an end portion. In the case of change, the length of the upper surface seal member may be changed, and the design change can be easily performed.
According to the actuator according to the thirteenth aspect, in the actuator according to any one of the second to twelfth aspects, the front seal member and the rear seal member have the same configuration, and thus have a simple configuration. The number of parts can be reduced, and management can be facilitated.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの斜視図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is a perspective view of an actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＩＩ−ＩＩ断面図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 2. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの分解斜視図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is an exploded perspective view of an actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、シール部材の斜視図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is a perspective view of a seal member. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。FIG. 4 is a diagram illustrating the first embodiment of the present invention, and is a plan view illustrating a state where a seal member is installed, with a top cover removed. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、前面カバを後方側から視た斜視図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is a perspective view of the front cover as viewed from the rear side. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、背面カバを前方側から視た斜視図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is a perspective view of the back cover as viewed from the front side. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。FIG. 9 is a view showing a second embodiment of the present invention, and is an exploded perspective view of a seal member. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。FIG. 6 is a view showing a second embodiment of the present invention, and is a plan view showing a state where a seal member is installed, with a top cover removed. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。FIG. 9 is a view showing a third embodiment of the present invention, and is an exploded perspective view of a seal member. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、前面カバにシール部材の前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。It is a figure showing a 3rd embodiment of the present invention, and is the figure which looked at the state where the front seal member of the seal member was installed in the front cover from the back side. 本発明の第４の実施の形態を示す図で、シール部材の斜視図である。It is a figure showing a 4th embodiment of the present invention, and is a perspective view of a seal member. 本発明の第４の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。It is a figure showing a 4th embodiment of the present invention, and is a top view showing the state where a seal member was installed, removing a top cover. 本発明の第４の実施の形態を示す図で、前面カバにシール部材の前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。It is a figure showing a 4th embodiment of the present invention, and is the figure which looked at the state where the front seal member of the seal member was installed in the front cover from the back side. 本発明の第５の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。It is a figure showing a 5th embodiment of the present invention, and is an exploded perspective view of a seal member. 本発明の第５の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。It is a figure showing a 5th embodiment of the present invention, and is a top view showing the state where a seal member was installed, removing a top cover. 本発明の第６の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。It is a figure showing a 6th embodiment of the present invention, and is an exploded perspective view of a seal member. 本発明の第６の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す斜視図である。It is a figure showing a 6th embodiment of the present invention, and is a perspective view showing the state where a seal member was installed, without removing a top cover. 本発明の第６の実施の形態を示す図で、前面カバと前面シール部材の分解斜視図である。It is a figure showing a 6th embodiment of the present invention, and is an exploded perspective view of a front cover and a front seal member. 本発明の第６の実施の形態を示す図で、前面カバに前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。It is a figure showing a 6th embodiment of the present invention, and is the figure which looked at the state where the front seal member was installed in the front cover from the back side. 本発明の第７の実施の形態を示す図で、前面カバに前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。It is a figure showing a 7th embodiment of the present invention, and the figure which looked at the state where the front seal member was installed in the front cover from the back side. 本発明の第８の実施の形態を示す図で、前面カバにシール部材の前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。It is a figure showing an 8th embodiment of the present invention, and is the figure which looked at the state where the front seal member of the seal member was installed in the front cover from the back side. 本発明の第９の実施の形態を示す図で、図２３（ａ）は前面カバに前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図、図２３（ｂ）は図２３（ａ）のＸＸＩＩＩｂ部分の拡大図である。FIG. 23 (a) is a view showing a ninth embodiment of the present invention, in which FIG. 23 (a) is a view of a state in which a front seal member is installed on a front cover, viewed from the rear side, and FIG. It is an enlarged view of XXIIIb part. 本発明の第１０の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。It is a figure showing a 10th embodiment of the present invention, and is an exploded perspective view of a seal member. 本発明の第１１の実施の形態を示す図で、ガイドレール、ボールねじナットホルダ、ボールねじナット、ボールねじ軸、モータ、及び、モータカバを除去したアクチュエータの分解斜視図である。It is a figure showing an 11th embodiment of the present invention, and is an exploded perspective view of an actuator from which a guide rail, a ball screw nut holder, a ball screw nut, a ball screw shaft, a motor, and a motor cover were removed. 本発明の第１１の実施の形態を示す図で、前面カバにシール部材の前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。It is a figure showing the 11th embodiment of the present invention, and is the figure which looked at the state where the front seal member of the seal member was installed in the front cover from the back side. 本発明の第１１の実施の形態を示す図で、シール部材の斜視図である。It is a figure showing an 11th embodiment of the present invention, and is a perspective view of a seal member. 本発明の第１１の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。It is a figure showing the 11th embodiment of the present invention, and is a top view showing the state where the seal member was installed, removing the upper surface cover.

以下、図１乃至図７を参照して、本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は本実施の形態によるアクチュエータ１の全体の構成を示す斜視図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ断面図、図３はアクチュエータ１の分解斜視図、である。まず、略Ｕ字型の横断面形状をなすベース５があり、このベース５の上面開口部６は上面カバ１１によって閉塞されている。また、ベース５の前面側開口部８は前面カバ７により閉塞されており、また、上記ベース５の背面側開口部１０は背面カバ９により閉塞されている。   Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of an actuator 1 according to the present embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1, and FIG. First, there is a base 5 having a substantially U-shaped cross section. The upper opening 6 of the base 5 is closed by an upper cover 11. The front opening 8 of the base 5 is closed by a front cover 7, and the rear opening 10 of the base 5 is closed by a back cover 9.

例えば、図３に示すように、上記ベース５の両内側面のそれぞれの上端側（図３中上側）には、ガイドレール用溝１３、１３が形成されている。これらガイドレール用溝１３、１３内には、それぞれ、ガイドレール１５、１５が設置されている。上記ベース５内には、ボールねじナットホルダ２１が上記ガイドレール１５、１５にガイドされて移動可能に設置されている。上記ボールねじナットホルダ２１の前後両端（図２中左右両端）にはそれぞれ図示しないリターン路が形成されたガイド用エンドキャップ２３、２３が設置されている。また、上記ボールねじナットホルダ２１内には図示しないガイド用無負荷循環路が形成されて、上記ボールねじナットホルダ２１の幅方向（図２中紙面垂直方向）両側には図示しないガイド用凹部が形成されている。上記ガイドレール１５に形成された凹部と上記図示しないガイド用凹部との間の空間、上記ガイド用無負荷循環路、及び、上記エンドキャップ２３、２３の図示しないリターン路内には、図示しない複数の鋼球が転動・循環されている。   For example, as shown in FIG. 3, guide rail grooves 13 are formed on upper ends (upper sides in FIG. 3) of both inner side surfaces of the base 5. Guide rails 15, 15 are provided in the guide rail grooves 13, 13, respectively. A ball screw nut holder 21 is movably installed in the base 5 while being guided by the guide rails 15 and 15. Guide end caps 23, 23 each having a return path (not shown) are installed at both front and rear ends (left and right ends in FIG. 2) of the ball screw nut holder 21. A guide no-load circulation path (not shown) is formed in the ball screw nut holder 21, and guide recesses (not shown) are formed on both sides of the ball screw nut holder 21 in the width direction (the direction perpendicular to the paper of FIG. 2). Is formed. The space between the recess formed in the guide rail 15 and the guide recess (not shown), the unloaded circulation path for guide, and the return passage (not shown) of the end caps 23, 23 include a plurality of Are rolling and circulating.

また、図２に示すように、上記ボールねじナットホルダ２１内には、ボールねじナット２５が設置されている。上記ホールねじナット２５は、ボールねじナット本体２７と、上記ボールねじナット本体２７の前後両端に設置されたボールねじナット用エンドキャップ２９、２９とから構成されている。上記ボールねじナット本体２７は略円筒形の部材で、内周面には螺旋溝３１が形成されている。また、上記ボールねじナット本体２７内には図示しないボールねじナット用無負荷循環路が形成されている。上記ボールねじナット用エンドキャップ２９、２９には、上記螺旋溝３１と上記図示しないボールねじナット用無負荷循環路を連絡する図示しないリターン路が形成されている。
また、上記ボールねじナット本体２７の内部には、給油経路３０ａが形成されていている。また、上記給油経路３０ａの開口部３０ｂには給油ニップル３０ｃが設置されている。 Further, as shown in FIG. 2, a ball screw nut 25 is installed in the ball screw nut holder 21. The hole screw nut 25 includes a ball screw nut main body 27 and ball screw nut end caps 29, 29 installed at both front and rear ends of the ball screw nut main body 27. The ball screw nut main body 27 is a substantially cylindrical member, and a spiral groove 31 is formed on the inner peripheral surface. Further, a non-loaded circulation path for a ball screw nut (not shown) is formed in the ball screw nut main body 27. The ball screw nut end caps 29, 29 are formed with a return path (not shown) that connects the spiral groove 31 and the ball screw nut no-load circulation path (not shown).
An oil supply path 30a is formed inside the ball screw nut main body 27. A refueling nipple 30c is provided in the opening 30b of the refueling path 30a.

また、図２に示すように、上記ボールねじナットホルダ２１にはロッド３３が固着されている。上記ロッド３３は上記前面カバ７を貫通して上記アクチュエータ１の前方（図２中左側）に突出されている。上記前面カバ７の上記ロッド３３によって貫通される部分には、ロッド用シール部材３５、３５´が設置されている。   As shown in FIG. 2, a rod 33 is fixed to the ball screw nut holder 21. The rod 33 penetrates through the front cover 7 and protrudes forward (to the left in FIG. 2) of the actuator 1. Rod seal members 35 and 35 'are provided in portions of the front cover 7 penetrated by the rod 33.

また、図２に示すように、上記ベース５内には、ボールねじ軸３７が設置されている。上記背面カバ９には軸受保持部３９が設けられていて、この軸受け保持部３９には軸受４１、４１が保持されている。上記ボールねじ軸３７は、上記軸受４１、４１によって軸支されている。
また、上記ボールねじ軸３７は上記ボールねじナット２５と上記ボールねじナットホルダ２１を貫通している。上記ボールねじ軸３７には螺旋溝４３が形成されていて、上記ボールねじナット本体２７の螺旋溝３１と上記ボールねじ軸３７の螺旋溝４３との間の空間、上記ボールねじナット用エンドキャップ２９、２９の図示しないリターン路、及び、上記ボールねじナット本体２７の図示しないボールねじナット用無負荷循環路内には、複数の鋼球４５が転動・循環されている。 As shown in FIG. 2, a ball screw shaft 37 is provided in the base 5. The back cover 9 is provided with a bearing holding portion 39, and the bearing holding portion 39 holds bearings 41, 41. The ball screw shaft 37 is supported by the bearings 41, 41.
Further, the ball screw shaft 37 penetrates the ball screw nut 25 and the ball screw nut holder 21. A spiral groove 43 is formed in the ball screw shaft 37. A space between the spiral groove 31 of the ball screw nut main body 27 and the spiral groove 43 of the ball screw shaft 37, the end cap 29 for the ball screw nut is provided. , 29, and a ball screw nut no-load circulation path (not shown) of the ball screw nut main body 27, a plurality of steel balls 45 are rolled and circulated.

上記背面カバ９の後端側（図２中右側）には、モータ５１が設置されている。上記モータ５１は、モータハウジング５３内に設置されたステータ５５と、このステータ５５の内側に回転可能に設置されたロータ５７と、このロータ５７に固着され上記モータハウジング５３の外側に突出された出力軸５９と、から構成されている。上記出力軸５９の先端（図２中左端）側は、上記背面カバ９の貫通孔６１内に設置されたカップリング機構６３によって、上記ボールねじ軸３７の基端側（図２中右端）に連結されている。上記カップリング機構６３は、上記ボールねじ軸３７の基端側に固着されたボールねじ軸側ハブ６５と、上記モータ５１の出力軸５９の先端側に固着されたモータ側ハブ６７と、上記ボールねじ軸側ハブ６５と上記モータ側ハブ６７に係合される中間ディスク６９とから構成される。
また、上記モータ５１の後端側（図２中右側）にはエンコーダ７１が設置される。このエンコーダ７１によって、上記モータ５１の出力軸５９の回転角度が検出される。 A motor 51 is provided on the rear end side (the right side in FIG. 2) of the back cover 9. The motor 51 includes a stator 55 installed in a motor housing 53, a rotor 57 rotatably installed inside the stator 55, and an output fixed to the rotor 57 and protruding outside the motor housing 53. And a shaft 59. The distal end (left end in FIG. 2) of the output shaft 59 is located on the proximal end side (right end in FIG. 2) of the ball screw shaft 37 by a coupling mechanism 63 installed in a through hole 61 of the back cover 9. Are linked. The coupling mechanism 63 includes a ball screw shaft side hub 65 fixed to the base end side of the ball screw shaft 37, a motor side hub 67 fixed to the distal end side of the output shaft 59 of the motor 51, It comprises a screw shaft side hub 65 and an intermediate disk 69 engaged with the motor side hub 67.
An encoder 71 is provided on the rear end side (the right side in FIG. 2) of the motor 51. The rotation angle of the output shaft 59 of the motor 51 is detected by the encoder 71.

また、上記背面カバ９の後端側（図２中右側）には、モータカバ７３が設置されている。上記モータカバ７３は、両端が開口されたモータカバ本体７５と、このモータカバ本体７５の後端側（図２中右側）の開口部を閉塞するモータカバ端部キャップ７７とから構成されている。
上記モータカバ７３内にはアクチュエータを駆動制御する基板７９が設置されている。
上記背面カバ９の後端面（図２中右側端面）には環状凹部８１が形成されていて、この環状凹部８１内に係合された状態で上記モータカバ本体７５と上記背面カバ９の間には環状のシール部材８３が介挿されている。また、上記モータカバ端部キャップ７７の前端面（図２中左側端面）には環状凹部８５が形成されていて、この環状凹部８５内に係合された状態で上記モータカバ本体７５と上記モータカバ端部キャップ７７の間に環状のシール部材８７が介挿されている。 A motor cover 73 is provided on the rear end side (the right side in FIG. 2) of the back cover 9. The motor cover 73 includes a motor cover body 75 having both ends opened, and a motor cover end cap 77 for closing an opening on the rear end side (right side in FIG. 2) of the motor cover body 75.
A board 79 for driving and controlling the actuator is provided in the motor cover 73.
An annular recess 81 is formed in the rear end face (the right end face in FIG. 2) of the back cover 9, and between the motor cover body 75 and the back cover 9 in a state of being engaged in the annular recess 81. An annular seal member 83 is inserted. An annular recess 85 is formed in the front end surface (left end surface in FIG. 2) of the motor cover end cap 77, and the motor cover body 75 and the motor cover end portion are engaged in the annular recess 85. An annular seal member 87 is interposed between the caps 77.

上記ベース５、上面カバ１１、前面カバ７、背面カバ９の間にはシール部材９１が設置されている。このシール部材９１は、図４に示すように、上面シール部材９３、９３と、前面シール部材９５と、背面シール部材９５′と、から構成されている。
上記上面シール部材９３は、横断面形状が四角形をなす直線状の部材である。図３、図５に示すように、ベース５の上端面の幅方向（図５中上下方向）の両側には、シール部材用溝部９７、９７が形成されていて、上記シール部材用溝部９７、９７に上記上面シール部材９３、９３が収容・配置されている。上記シール部材用溝部９７の両端側には幅広部９９、９９が形成されている。 A seal member 91 is provided between the base 5, the top cover 11, the front cover 7, and the back cover 9. As shown in FIG. 4, the seal member 91 includes upper seal members 93, 93, a front seal member 95, and a back seal member 95 '.
The upper seal member 93 is a linear member having a rectangular cross section. As shown in FIGS. 3 and 5, seal member grooves 97 are formed on both sides of the upper end surface of the base 5 in the width direction (vertical direction in FIG. 5). The upper surface sealing members 93 and 93 are accommodated and arranged in 97. Wide portions 99, 99 are formed at both ends of the seal member groove 97.

上記前面シール部材９５は略環状の部材であるが、図４に示すように、上端部（図４中上側）の一方（図４中右上から左下に向かう方向）には幅方向（図４中左上から右下に向かう方向）の全体にわたって張出平面部１０１が突出・形成されていて、上端部（図４中上側）の他方（図４中左下から右上に向かう方向）には幅方向（図４中左上から右下に向かう方向）両端からそれぞれ接触部１０３、１０３が突出・形成されている。上記背面シール部材９５′も上記前面シール部材９５と同様の構成であり、図中同一部分には同一符号を付して示す。
図６に示すように、上記前面カバ７のベース５側の面（図６中手前側の面）にはシール部材用溝部１０５が形成されている。このシール部材用溝部１０５に上記前面シール部材９５が収容・配置されている。上記前面カバ７のベース５側の上側の端部（図６中手前側の上端）が切り欠かれていて、上面カバ設置部１０７が形成されている。上記シール部材用溝部１０５の上側は上記上面カバ設置部１０７に開口されていて、上記上面カバ設置部１０７には張出平面部収容凹部１０９が形成されている。この張出平面部収容凹部１０９に上記張出平面部１０１が収容配置されている。
また、図５に示すように、上記前面シール部材９５の接触部１０３、１０３は上記シール部材用溝部９７の一方側（図５中左側）の幅広部９９、９９内に収容・配置されている。このとき、上記接触部１０３、１０３は上記上面シール部材９３、９３の端部で幅方向（図５中上下方向）に重なっている。
このように、上記張出平面部１０１と上記接触部１０３、１０３によって、上記前面シール部材９５は上記前面カバ７の上面部と上記ベース５の上端面とに跨って配置されている。 Although the front sealing member 95 is a substantially annular member, as shown in FIG. 4, one of the upper ends (upper side in FIG. 4) (the direction from upper right to lower left in FIG. 4) is in the width direction (in FIG. 4). An overhanging flat portion 101 is protruded and formed over the entire area from the upper left to the lower right (in the direction from the upper left to the lower right in FIG. 4). Contact portions 103 are projected and formed from both ends (direction from upper left to lower right in FIG. 4). The rear seal member 95 'has the same configuration as the front seal member 95, and the same parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.
As shown in FIG. 6, a seal member groove 105 is formed on a surface of the front cover 7 on the base 5 side (a surface on the near side in FIG. 6). The front seal member 95 is accommodated and arranged in the seal member groove 105. The upper end of the front cover 7 on the side of the base 5 (the upper end on the near side in FIG. 6) is cut out to form a top cover installation portion 107. The upper side of the seal member groove 105 is open to the upper surface cover installation portion 107, and the upper surface cover installation portion 107 is formed with a projecting flat portion housing recess 109. The overhanging flat portion 101 is housed in the overhanging flat portion housing recess 109.
Further, as shown in FIG. 5, the contact portions 103, 103 of the front seal member 95 are accommodated and arranged in wide portions 99, 99 on one side (left side in FIG. 5) of the seal member groove 97. . At this time, the contact portions 103, 103 overlap in the width direction (vertical direction in FIG. 5) at the ends of the upper surface seal members 93, 93.
As described above, the front sealing member 95 is disposed across the upper surface of the front cover 7 and the upper end surface of the base 5 by the projecting flat portion 101 and the contact portions 103 and 103.

また、図７に示すように上記背面カバ９にも、ベース５側の面（図７中手前側の面）にシール部材用溝部１１１が形成されている。このシール部材用溝部１１１に上記背面シール部材９５′が収容・配置されている。上記背面カバ９のベース５側の上側の端部（図７中手前側の上端）が切り欠かれていて、上面カバ設置部１１３が形成されている。上記シール部材用溝部１１１の上側は上記上面カバ設置部１１３に開口されていて、上記上面カバ設置部１１３には張出平面部収容凹部１１５が形成されている。この張出平面部収容凹部１１５に上記背面シール部材９５′の張出平面部１０１が収容配置されている。
また、図５に示すように、上記背面シール部材９５′の接触部１０３、１０３は上記シール部材用溝部９７の他方側（図５中右側）の幅広部９９、９９内に収容・配置されている。このとき、上記接触部１０３、１０３は上記上面シール部材９３、９３の端部で幅方向（図５中上下方向）に重なっている。
このように、上記背面シール部材９５′は上記背面カバ９の上面部と上記ベース５の上端面とに跨って配置されている。 As shown in FIG. 7, the back cover 9 is also provided with a sealing member groove 111 on the surface on the base 5 side (the surface on the near side in FIG. 7). The back seal member 95 'is accommodated and arranged in the seal member groove 111. An upper end (upper end on the near side in FIG. 7) of the back cover 9 on the base 5 side is cut out, and a top cover installation portion 113 is formed. The upper side of the seal member groove 111 is opened to the upper surface cover installation portion 113, and the upper surface cover installation portion 113 is formed with a projecting flat portion housing recess 115. The overhanging flat portion 101 of the back seal member 95 ′ is housed and arranged in the overhanging flat portion housing recess 115.
As shown in FIG. 5, the contact portions 103, 103 of the back seal member 95 'are accommodated and arranged in the wide portions 99, 99 on the other side (the right side in FIG. 5) of the seal member groove 97. I have. At this time, the contact portions 103, 103 overlap in the width direction (vertical direction in FIG. 5) at the ends of the upper surface seal members 93, 93.
As described above, the back seal member 95 ′ is disposed so as to straddle the upper surface of the back cover 9 and the upper end surface of the base 5.

上記上面カバ１１を、上記ベース５の上端面、上記前面カバ７の上面カバ設置部１０７、上記背面カバ９の上面カバ設置部１１３に設置し、図３に示すように、ボルト１１７、１１７を上記上面カバ１１を通して上記前面カバ７に螺合させ、ボルト１１９、１１９を上記上面カバ１１を通して上記背面カバ９に螺合させ、ボルト１２０、１２０、１２０、１２０、１２０、１２０、１２０、１２０を上記上面カバ１１を通して上記ベース５に螺合させることで、上記上面カバ１１を上記ベース５、上記前面カバ７、及び、上記背面カバ９に固定させる。このとき、上記ベース５と上記前面カバ７の間に上記前面シール部材９５が介挿され、上記ベース５と上記背面カバ９の間に上記背面シール部材９５′が介挿され、上記前面カバ７と上記上面カバ１１の間に前面シール部材９５の張出平面部１０１が介挿され、上記背面カバ９と上記上面カバ１１の間に背面シール部材９５´の張出平面部１０１が介挿され、上記上面カバ１１と上記ベース５との間に上記前面シール部材９５の接触部１０３、１０３、上記背面シール部材９５´の接触部１０３、１０３、及び、上記上面シール部材９３、９３が介挿される。   The top cover 11 is placed on the upper end face of the base 5, the top cover placement section 107 of the front cover 7, and the top cover placement section 113 of the back cover 9, and bolts 117 and 117 are provided as shown in FIG. The top cover 11 is screwed into the front cover 7 through the top cover 11, and the bolts 119 and 119 are screwed into the back cover 9 through the top cover 11, and the bolts 120, 120, 120, 120, 120, 120, 120 and 120 are bolted By screwing the upper cover 11 to the base 5 through the upper cover 11, the upper cover 11 is fixed to the base 5, the front cover 7, and the rear cover 9. At this time, the front seal member 95 is interposed between the base 5 and the front cover 7, and the rear seal member 95 'is interposed between the base 5 and the rear cover 9, and the front cover 7 is inserted. The overhanging flat portion 101 of the front seal member 95 is interposed between the upper cover 11 and the upper cover 11, and the overhanging flat portion 101 of the back seal member 95 ′ is inserted between the back cover 9 and the upper cover 11. The contact portions 103, 103 of the front seal member 95, the contact portions 103, 103 of the back seal member 95 ', and the top seal members 93, 93 are interposed between the top cover 11 and the base 5. It is.

次に、この第１の実施の形態による作用を説明する。
モータ５１の出力軸５９を回転・駆動させ、ボールねじ軸３７を回転させると、ボールねじナット２５、ひいては、ロッド３３がガイドレール１５、１５にガイドされて前後に進退（図２中左右方向に移動）される。このとき、前面カバ７に設置されたロッド用シール部材３５、３５′によって、上記前面カバ７と上記ロッド３３との間からのアクチュエータ１内への異物の侵入が防止される。 Next, the operation of the first embodiment will be described.
When the output shaft 59 of the motor 51 is rotated and driven, and the ball screw shaft 37 is rotated, the ball screw nut 25 and eventually the rod 33 are guided by the guide rails 15 and advance and retreat (in the left-right direction in FIG. 2). Moved). At this time, the intrusion of foreign matter into the actuator 1 from between the front cover 7 and the rod 33 is prevented by the rod sealing members 35 and 35 ′ installed on the front cover 7.

また、上記アクチュエータ１にはシール部材９１が設置されていて、ベース５、前面カバ７、背面カバ９、及び、上面カバ１１の間からの上記アクチュエータ１内への異物の侵入が防止される。また、背面カバ９とモータカバ本体７５との間に設定されたシール部材８３とモータカバ本体７５とモータカバ端部キャップ７７との間に設置されたシール部材８７によってモータカバ７３内への異物の侵入が防止される。   In addition, a seal member 91 is provided on the actuator 1 to prevent foreign matter from entering the actuator 1 from between the base 5, the front cover 7, the rear cover 9, and the upper cover 11. In addition, a seal member 83 provided between the back cover 9 and the motor cover body 75 and a seal member 87 provided between the motor cover body 75 and the motor cover end cap 77 prevent entry of foreign matter into the motor cover 73. Is done.

次に、この第１の実施の形態による効果について説明する。
まず、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。これは、ボールねじナットホルダ２１を移動可能にガイドするレール１５、１５をベース５の内側面に加工を必要とする場合でも、ベース５、上面カバ１１、前面カバ７、背面カバ９がそのままハウジングとして機能するように構成されていて、防塵・防水性能を高める場合に別途ハウジングを設ける必要はなく、従来のような筐体の二重構造が解消されているからである。 Next, the effect of the first embodiment will be described.
First, the size of the actuator 1 can be reduced. This is because even when the rails 15 for guiding the ball screw nut holder 21 so as to be movable are required to be machined on the inner surface of the base 5, the base 5, the top cover 11, the front cover 7, and the back cover 9 remain in the housing. This is because it is configured so as to function as, and it is not necessary to separately provide a housing when enhancing dustproof and waterproof performance, and the conventional double structure of the housing is eliminated.

また、シール機能に関してはシール部材９１によって担保されており、ベース５、上面カバ１１、前面カバ７、背面カバ９の間からの上記アクチュエータ１内への異物の侵入を防止することができる。
また、上記前面シール部材９５や上記背面シール部材９５′の接触部１０３、１０３は上記上面シール部材９３、９３の端部で幅方向（図５中上下方向）に重なるように配置されているので、上面シール部材９３、９３と上記前面シール部材９５や上記背面シール部材９５′との境界部においても確実にシールすることができる。
また、設計変更によりアクチュエータ１の長さを変更する場合には、上面シール部材９３、９３の長さを変更するだけで対応することができる。
また、上記前面シール部材９５や上記背面シール部材９５′には張出平面部１０１、１０１が設けられているので、上面カバ１１を前面カバ７、背面カバ９上に設置して固定する際、上記前面シール部材９５や上記背面シール部材９５′が不用意に動いてしまうことを防止することができる。また、上面カバ１１と前面カバ７との間、及び上面カバ１１と背面カバ９の間からの異物の侵入を防止することができる。また、前面シール部材９５、背面シール部材９５′は環状の部材に接触部１０３及び張出平面部１０１を一体に備えることで、ベース５と上面カバ１１の間の面、ベース５と前面カバ７の間の面、上面カバ１１と前面カバ７の間の面の三面、及びベース５と上面カバ１１の間の面、ベース５と背面カバ９の間の面、上面カバ１１と背面カバ９の間の面の三面が交差する箇所を確実にシールすることができる。また、前面シール部材９５と背面シール部材９５′は前後の向きを変えただけで同一部品であり、部品の種類を少なくすることができる。 In addition, the sealing function is ensured by the sealing member 91, and foreign matter can be prevented from entering the actuator 1 from between the base 5, the upper cover 11, the front cover 7, and the back cover 9.
Also, the contact portions 103, 103 of the front seal member 95 and the rear seal member 95 'are arranged so as to overlap in the width direction (vertical direction in FIG. 5) at the ends of the top seal members 93, 93. Also, the sealing can be reliably performed at the boundary between the upper seal members 93, 93 and the front seal member 95 or the rear seal member 95 '.
In addition, when the length of the actuator 1 is changed by a design change, it can be dealt with only by changing the length of the upper surface seal members 93, 93.
Further, since the front seal member 95 and the rear seal member 95 'are provided with overhanging flat portions 101, 101, when the upper cover 11 is installed on the front cover 7 and the rear cover 9 and fixed, It is possible to prevent the front seal member 95 and the rear seal member 95 'from moving carelessly. Further, it is possible to prevent foreign matter from entering between the upper cover 11 and the front cover 7 and between the upper cover 11 and the rear cover 9. The front seal member 95 and the rear seal member 95 ′ are provided with a contact portion 103 and an overhanging flat portion 101 integrally with an annular member, so that a surface between the base 5 and the top cover 11, a base 5 and the front cover 7 are provided. , Three surfaces between the top cover 11 and the front cover 7, a surface between the base 5 and the top cover 11, a surface between the base 5 and the back cover 9, and a surface between the top cover 11 and the back cover 9. It is possible to reliably seal the place where the three surfaces intersect. Further, the front seal member 95 and the rear seal member 95 'are the same parts only by changing the front and rear directions, and the types of parts can be reduced.

次に、図８と図９を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
前記第１の実施の形態の場合には、片側１本ずつの上面シール部材を使用したが、この第２の実施の形態のシール部材１２１の場合には片側２本ずつの上面シール部材を使用している。すなわち、図８、図９に示すように、上面シール部材９３が幅方向（図８中左上から右下に向かう方向）の両側に２つずつ設置されている。また、図９に示すように、シール部材用溝部９７、９７の中央にも幅広部１２３、１２３が形成されていて、上記幅広部１２３、１２３において上記上面シール部材９３同士の端部が幅方向（図９中上下方向）に重なっている。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the case of the first embodiment, one top seal member is used on each side, but in the case of the seal member 121 of the second embodiment, two top seal members are used on each side. are doing. That is, as shown in FIGS. 8 and 9, two upper surface seal members 93 are provided on both sides in the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 8). As shown in FIG. 9, wide portions 123, 123 are also formed in the centers of the seal member grooves 97, 97, and the ends of the upper surface seal members 93 in the wide portions 123, 123 are arranged in the width direction. (Vertical direction in FIG. 9).

この第２の実施の形態の場合も、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるとともに、上面シール部材９３を適宜本数使用することにより、アクチュエータ1のストロークの変更に対応することができるので、長さが異なる複数種類の上面シール部材９３を用意する必要がなく部品管理の容易化を図ることができる。
なお、第１の実施の形態と第２の実施の形態で共通する構成には同一符号を付して示しその説明を省略した。 In the case of the second embodiment as well, the same effects as in the case of the first embodiment can be obtained, and the use of an appropriate number of upper surface seal members 93 makes it possible to change the stroke of the actuator 1. Since it is possible to correspond, it is not necessary to prepare a plurality of types of upper surface seal members 93 having different lengths, and it is possible to facilitate parts management.
Note that components common to the first embodiment and the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

次に、図１０及びと図１１を参照して、本発明の第３の実施の形態について説明する。前記第１の実施の形態においては、前面シール部材と背面シール部材とを環状で一体物として説明したが、この第３の実施の形態のシール部材１３１の場合には、前面シール部材と背面シール部材を上下に二分割した構成になっている。以下、説明する。
まず、前面シール部材１３３は、シール部材要素１３５とシール部材要素１３７とから構成されている。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 10 and FIG. In the first embodiment, the front seal member and the back seal member are described as being annularly integrated. In the case of the seal member 131 of the third embodiment, the front seal member and the back seal member are used. It has a configuration in which the member is divided into upper and lower parts. This will be described below.
First, the front seal member 133 includes a seal member element 135 and a seal member element 137.

また、図１１に示すように、前面カバ７のシール部材用溝部１０５には、幅広部１３９、１３９が設けられていて、上記シール部材要素１３５の下端側と上記シール部材要素１３７の上端側は上記幅広部１３９、１３９において幅方向（図１１中左右方向）に重なるように配置されている。
また、背面シール部材１３３′も前面シール部材１３３と同じ構成になっている。 As shown in FIG. 11, wide portions 139 and 139 are provided in the seal member groove 105 of the front cover 7, and the lower end side of the seal member element 135 and the upper end side of the seal member element 137 are provided. The wide portions 139 and 139 are arranged so as to overlap in the width direction (the horizontal direction in FIG. 11).
The rear seal member 133 'has the same configuration as the front seal member 133.

この第３の実施の形態の場合も、前記した第１、第２の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
尚、第１の実施の形態〜第３の実施の形態に共通する構成には同一符号を付して示しその説明を省略した。 Also in the case of the third embodiment, the same operation and effect as those of the first and second embodiments can be obtained.
The components common to the first to third embodiments are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

次に、図１２乃至図１４を参照して本発明の第４の実施の形態について説明する。前記第３の実施の形態の場合には、前面シール部材と背面シール部材を上下に二分割した例を説明したが、この第４の実施の形態のシール部材１４１の場合には前面シール部材と背面シール部材を左右に二分割した例を説明するものである。以下、説明する。
前面シール部材１４３は、幅方向（図１２中左上から右下に向かう方向）に分割されていて、シール部材要素１４５、１４７から構成されている。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the case of the third embodiment, an example in which the front seal member and the rear seal member are vertically divided into two parts has been described, but in the case of the seal member 141 of the fourth embodiment, the front seal member and 9 illustrates an example in which the back seal member is divided into two parts, left and right. This will be described below.
The front seal member 143 is divided in the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 12) and includes seal member elements 145 and 147.

上記シール部材要素１４５には張出平面部要素１４９が設けられているとともに、上記シール部材要素１４７にも張出平面部要素１５１が設けられている。上記シール部材要素１４５、１４７を組み合わせて上記前面シール部材１４３を構成すると、上記張出平面部要素１４９、１５１によって張出平面部１０１が構成される。また、図１２及び図１３に示すように、上記張出平面部要素１４９、１５１の先端側は互い違いの形状に形成されていて、前後方向（図１３中左右方向）に重なるように構成されている。
また、図１４に示すように、上記前面カバ７のシール部材用溝部１０５に幅広部１５３が設けられていて、上記シール部材要素１４５、１４７の下端側も、上記幅広部１５３において図１４中上下方向に重なるように構成されている。
また、上記背面シール部材１４３′も上記前面シール部材１４３と同様の構成である。 The sealing member element 145 is provided with an overhanging plane part element 149, and the sealing member element 147 is also provided with an overhanging plane part element 151. When the front sealing member 143 is configured by combining the sealing member elements 145 and 147, the overhanging flat portion 101 is configured by the overhanging flat portion elements 149 and 151. Further, as shown in FIGS. 12 and 13, the distal ends of the overhanging flat part elements 149 and 151 are formed in alternate shapes, and are configured to overlap in the front-rear direction (the left-right direction in FIG. 13). I have.
As shown in FIG. 14, a wide portion 153 is provided in the seal member groove 105 of the front cover 7, and the lower ends of the seal member elements 145 and 147 are also vertically aligned in the wide portion 153 in FIG. It is configured to overlap in the direction.
The rear seal member 143 'has the same configuration as the front seal member 143.

この第４の実施の形態の場合も、前記第１乃至第３の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏する。また、図１２及び図１３に示すように、上記張出平面部要素１４９、１５１の先端側は互い違いの形状に形成されていて、前後方向（図１３中左右方向）に重なるように構成されていて、図１４に示すように、上記シール部材要素１４５、１４７の下端側も、図１４中上下方向に重なるように構成されているので、シール部材要素１４５、１４７が一体のシール部材で形成されている場合と同様のシール性能を確保することができる。またシール部材を、シール部材要素１４５、１４７に分割することで金型形状を簡素化することができる。
なお、第１の実施の形態〜第４の実施の形態について、共通する構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略した。 Also in the case of the fourth embodiment, the same operation and effect as those of the first to third embodiments are obtained. Further, as shown in FIGS. 12 and 13, the distal end sides of the overhanging plane section elements 149 and 151 are formed in alternate shapes, and are configured to overlap in the front-rear direction (the left-right direction in FIG. 13). As shown in FIG. 14, the lower end sides of the seal member elements 145, 147 are also configured to overlap in the vertical direction in FIG. 14, so that the seal member elements 145, 147 are formed by an integral seal member. The same sealing performance as in the case described above can be secured. In addition, by dividing the seal member into seal member elements 145 and 147, the shape of the mold can be simplified.
In the first to fourth embodiments, the same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

次に、図１５と図１６を参照しながら、本発明の第５の実施の形態について説明する。前記第１乃至第４の実施の形態の場合には、上面シール部材、前面シール部材、背面シール部材、をそれぞれ別個に設けるようにしたが、この第５の実施の形態のシール部材１５５の場合には、上面シール部材の一部を前面シール部材に一体化させ、上面シール部材の残部を背面シール部材に一体化させた例を示すものである。以下、説明する。
まず、前面シール部材１５７の張出平面部１０１の突出方向と反対 側（図１５中右側）には幅方向（図１５中左上から右下に向かう方向）両端からそれぞれ上面シール部１５９、１５９が突出・形成されている。また、上記背面シール部材１５７´は上記前面シール部材１５７と同様の構成である。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the first to fourth embodiments, the upper seal member, the front seal member, and the rear seal member are separately provided. However, in the case of the seal member 155 of the fifth embodiment, Shows an example in which a part of the upper seal member is integrated with the front seal member, and the rest of the upper seal member is integrated with the back seal member. This will be described below.
First, on the opposite side (the right side in FIG. 15) of the front sealing member 157 from the projecting direction of the projecting flat portion 101, upper surface sealing portions 159 and 159 are respectively provided from both ends in the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 15). Projected and formed. The rear seal member 157 'has the same configuration as the front seal member 157.

図１６に示すように、シール部材用溝部９７、９７の図１６中中央に幅広部１５８、１５８が形成されていて、上記幅広部１５８、１５８において上記前面シール部材１５７の上面シール部１５９、１５９の先端側と上記背面シール部材１５７´の上面シール部１５９、１５９の先端側が幅方向（図１６中上下方向）に重なるように配置されている。   As shown in FIG. 16, wide portions 158, 158 are formed in the center of the seal member grooves 97, 97 in FIG. 16, and the upper surface seal portions 159, 159 of the front seal member 157 are formed in the wide portions 158, 158. Are arranged so that the front end of the rear seal member 157 'and the front end of the upper seal portions 159 and 159 of the rear seal member 157' overlap in the width direction (vertical direction in FIG. 16).

この第５の実施の形態の場合も、前記した第１の実施の形態〜第４の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏する。また、図１６に示すように、上記上面シール部１５９同士の端部が幅方向（図１６中上下方向）に重なり合うように構成されているので、第１、第３、第４の実施形態のように上面シール部材が一体となっている場合と同様のシール性能を確保することができる。
また、シール部材１５５は同じ構成の前面シール部材１５７と背面シール部材１５７´から構成されるので、簡易な構成とすることができるとともに、部品点数を減らし管理を容易なものとすることができる。
なお、第１の実施の形態〜第５の実施の形態について、共通する構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略した。 In the case of the fifth embodiment, the same operations and effects as those of the above-described first to fourth embodiments are achieved. Further, as shown in FIG. 16, since the end portions of the upper surface seal portions 159 overlap each other in the width direction (vertical direction in FIG. 16), the first, third, and fourth embodiments are described. Thus, the same sealing performance as when the upper surface sealing member is integrated can be ensured.
Further, since the seal member 155 is composed of the front seal member 157 and the rear seal member 157 'having the same configuration, the configuration can be simplified, and the number of parts can be reduced and management can be facilitated.
In the first to fifth embodiments, the same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

次に、図１７〜図２０を参照しながら、本発明の第６の実施の形態について説明する。
この第６の実施の形態の場合は、図１７に示すようなシール部材１６１が用いられている。このシール部材１６１は、環状の前面シール部材１６３と背面シール部材１６３´と、環状の部材の一か所を切断した形状の上面シール部材１６５とから構成されている。 Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the case of the sixth embodiment, a seal member 161 as shown in FIG. 17 is used. The seal member 161 includes an annular front seal member 163 and a rear seal member 163 ′, and an upper seal member 165 having a shape obtained by cutting one portion of the annular member.

図１８に示すように、ベース５の上端面には直線状の上面シール部材用凹部１６７、１６７が形成されていて、前面カバ７の図１８中上側の面には略Ｕ字型の上面シール部材用溝部１６９が形成されていて、背面カバ９の図１８中上側の面には略Ｕ字型の上面シール部材用溝部１７１が形成されている。上記上面シール部材１６５は上記上面シール部材用溝部１６７、１６７、１６９、１７１に収容・配置され、上面カバ１１を設置することで、上記上面カバ１１とベース５の間、上記上面カバ１１と前面カバ７との間、及び、上記上面カバ１１と背面カバ９との間に介挿されている。このように、上記上面シール部材１６５は上記前面カバ７の上面部と上記ベース５の上端面と上記背面カバ９の上面部とに跨って配置されている。上記前面カバ７の上面シール部材用溝凹部１６９の中央は幅広部１７３となっていて、上記上面シール部材１６５の両端側はこの幅広部１７３内に収容されている。また、上記上面シール部材１６５両端側は、図１８に示すように上記幅広部１７３内において前後方向（図１８中左下から右上に向かう方向）に重なり合っている。   As shown in FIG. 18, linear upper surface seal member recesses 167, 167 are formed on the upper end surface of the base 5, and a substantially U-shaped upper surface seal is formed on the upper surface of the front cover 7 in FIG. 18. A member groove 169 is formed, and a substantially U-shaped upper surface seal member groove 171 is formed on the upper surface of the back cover 9 in FIG. The upper surface sealing member 165 is accommodated and arranged in the upper surface sealing member grooves 167, 167, 169, and 171. By installing the upper surface cover 11, the space between the upper surface cover 11 and the base 5, the upper surface cover 11 and the front surface It is interposed between the cover 7 and the upper cover 11 and the back cover 9. As described above, the upper surface sealing member 165 is disposed over the upper surface of the front cover 7, the upper end surface of the base 5, and the upper surface of the rear cover 9. The center of the groove 169 for the upper surface seal member of the front cover 7 is a wide portion 173, and both ends of the upper surface seal member 165 are accommodated in the wide portion 173. As shown in FIG. 18, both ends of the upper surface seal member 165 overlap in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 18) in the wide portion 173.

また、図１９及び図２０に示すように、上記前面カバ７の端面（図２０中手前側の面）にはシール部材用溝部１７５が形成されている。上記前面シール部材１６３は上記シール部材用溝部１７５内に収容・配置される。このように、上記上面シール部材１６５は上記前面シール部材１６３と交差する位置に配置されている。
また、上記シール部材用溝部１７５の図２０中上側には、シール部材押圧用凸部１７７、１７７が形成されていて、この部分において、上記前面シール部材１６３の一部を上記上面シール部材用溝部１６９側に押し上げている。これにより、上記前面シール部材１６３と交差するように配置されている上記上面シール部材１６５を交差する部分で密着させシール性能を高めている。
上記背面カバ９側についても、同様に、上記背面シール部材１６３´が設置されている。 As shown in FIGS. 19 and 20, a seal member groove 175 is formed on an end face (the front face in FIG. 20) of the front cover 7. The front seal member 163 is accommodated and arranged in the seal member groove 175. As described above, the upper surface seal member 165 is disposed at a position intersecting with the front surface seal member 163.
Further, on the upper side in FIG. 20 of the seal member groove 175, seal member pressing projections 177 and 177 are formed, and in this portion, a part of the front seal member 163 is replaced with the upper surface seal member groove. 169 side. Thereby, the upper surface sealing member 165 arranged so as to intersect with the front surface sealing member 163 is brought into close contact with the intersecting portion to enhance the sealing performance.
Similarly, on the back cover 9 side, the back seal member 163 'is provided.

この第６の実施の形態の場合も、前記した第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。また、上記上面シール部材１６５の両端側は、図１８に示すように、前後方向（図１８中左下から右上に向かう方向）に重なり合っているので、上面シール部材が環状となっている場合と同様のシール性能を確保することができる。また、上記上面シール部材１６５が収容される凹部１６７、１６７、１６９，１７１の長さに応じた端部を有するワイヤ状のシール部材を用意すればよく、特別な金型を必要としない。そのため、アクチュエータの長さを変更する場合にも、上面シール部材１６７の長さを変更するだけで対応することができる。また、上記シール部材用溝部１７５の図２０中上側には、シール部材押圧用凸部１７７、１７７が形成されていて、この部分において、上記前面シール部材１６３や背面シール部材１６３´の一部を上記上面シール部材用溝部１６９側や上面シール部材用溝部１７１側に押し上げているので、上記前面シール部材１６３及び背面シール部材１６３´が交差するように配置されている上記上面シール部材１６５に密着され、シール性能を高めることができる。これにより、ベース５と上面カバ１１の間の面、ベース５と前面カバ７の間の面、上面カバ１１と前面カバ７の間の面の三面が交差する箇所を確実にシールすることができる
また、環状の前面シール部材１６３と背面シール部材１６３´を用いているので、簡易な構成とすることができる。
また、上記ベース５の凹部１６７、１６７は、前記した第１の実施の形態のような幅広部９９や前記した第５の実施の形態のような幅広部１５８が設けられず幅が一定となっているので、後加工は行わず押出成形のみにより上記ベース５を容易に製造することができる。 Also in the case of the sixth embodiment, the same operation and effect as those of the first embodiment are exerted. Also, as shown in FIG. 18, both end sides of the upper surface seal member 165 overlap in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 18), which is the same as when the upper surface seal member is annular. Sealing performance can be ensured. In addition, a wire-shaped sealing member having an end corresponding to the length of the concave portions 167, 167, 169, and 171 in which the upper surface sealing member 165 is accommodated may be prepared, and a special mold is not required. Therefore, even when the length of the actuator is changed, it can be handled only by changing the length of the upper surface seal member 167. Also, on the upper side in FIG. 20 of the seal member groove 175, seal member pressing protrusions 177 and 177 are formed, and in this portion, a part of the front seal member 163 and the rear seal member 163 'is formed. Since it is pushed up to the upper seal member groove 169 side and the upper seal member groove 171 side, it is in close contact with the upper seal member 165 arranged so that the front seal member 163 and the rear seal member 163 ′ intersect. , Sealing performance can be improved. Thereby, it is possible to reliably seal a portion where three surfaces of the surface between the base 5 and the top cover 11, the surface between the base 5 and the front cover 7, and the surface between the top cover 11 and the front cover 7 intersect. Further, since the annular front seal member 163 and the rear seal member 163 'are used, a simple configuration can be achieved.
Further, the recesses 167 and 167 of the base 5 have a constant width without the wide portion 99 as in the first embodiment and the wide portion 158 as in the fifth embodiment. Therefore, the base 5 can be easily manufactured only by extrusion molding without performing post-processing.

次に、図２１を参照しながら、本発明の第７の実施の形態について説明する。
この第７の実施の形態の場合は、前記した第６の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、図２１に示すような前面シール部材１８１が用いられている。上記前面シール部材１８１は、環状の部材の一か所を切断した形状をなしている。上記前面シール部材１８１は、図２１に示すように前面カバ７に設置される。上記前面カバ７のシール部材用溝部１７５の図２１中左側には幅広部１８３が設けられていて、この幅広部において、上記端部用シール部材１８３の先端側が幅方向（図２１中左右方向）に重なり合っている。
また、背面カバ９についても、上記前面シール部材１８１と同様の構成の図示しない背面シール部材が設置されている。 Next, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The seventh embodiment is almost the same as the sixth embodiment, but uses a front sealing member 181 as shown in FIG. The front seal member 181 has a shape obtained by cutting one portion of an annular member. The front seal member 181 is installed on the front cover 7 as shown in FIG. A wide portion 183 is provided on the left side of the sealing member groove 175 of the front cover 7 in FIG. 21, and in this wide portion, the distal end side of the end sealing member 183 is in the width direction (horizontal direction in FIG. 21). Overlap.
Also for the back cover 9, a back seal member (not shown) having the same configuration as the front seal member 181 is provided.

この第７の実施の形態の場合も、前記した第６の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。また、上記前面シール部材１８１の両端側は、図２１に示すように、左右方向（図２１中の左右方向）に重なり合っているので、上記前面シールが環状となっている場合と同様のシール性能を確保することができる。また、上記前面シール部材１８１は端部を有するワイヤ状のシール部材であり、特別な金型を必要としない。また、上記背面シール部材についても上記上面シール部材１８１と同様の効果を有している。   Also in the case of the seventh embodiment, the same operation and effect as those of the sixth embodiment are provided. Further, since both end sides of the front seal member 181 overlap in the left-right direction (left-right direction in FIG. 21) as shown in FIG. 21, the same sealing performance as in the case where the front seal is annular is provided. Can be secured. The front seal member 181 is a wire-shaped seal member having an end portion, and does not require a special mold. The back seal member has the same effect as the top seal member 181.

次に、図２２を参照しながら、本発明の第８の実施の形態について説明する。
この第８の実施の形態の場合は、前記した第６の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、図２２に示すような前面シール部材１９１が用いられている。この前面シール部材１９１は、２本のシール部材要素１９３、１９３から構成されていて、上記前面シール部材１９１は、図２２に示すように前面カバ７に設置される。上記前面カバ７のシール部材用溝部１７５の図２２中左右方向両側には幅広部１９５、１９５が設けられていて、この幅広部において、上記シール部材要素１９３、１９３の先端側同士が幅方向（図２２中左右方向）に重なり合っている。
また、背面カバ９についても、同様に上記前面シール部材１９１と同様の構成の図示しない背面シール部材が設置されている。 Next, an eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The eighth embodiment is almost the same as the sixth embodiment, but uses a front sealing member 191 as shown in FIG. The front seal member 191 is composed of two seal member elements 193, 193. The front seal member 191 is installed on the front cover 7 as shown in FIG. Wide portions 195 and 195 are provided on both sides in the left-right direction of the seal member groove 175 of the front cover 7 in FIG. 22. In this wide portion, the distal ends of the seal member elements 193 and 193 extend in the width direction ( 22 (in the horizontal direction in FIG. 22).
In addition, a back seal member (not shown) having the same configuration as that of the front seal member 191 is also provided for the back cover 9.

この第８の実施の形態の場合も、前記した第６、第７の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。   In the case of the eighth embodiment, the same operation and effect as those of the sixth and seventh embodiments are provided.

次に、図２３を参照しながら、本発明の第９の実施の形態について説明する。
この第９の実施の形態の場合は、前記した第６の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、図２３に示すような前面シール部材２０１が用いられている。この前面シール部材２０１は環状の部材であり、図２３（ａ）中上側であって左右両端側には、上面シール部材係合用凸部２０３、２０３、２０３、２０３が形成されている。上記上面シール部材係合用凸部２０３は、図２３（ａ）中左右両端側にそれぞれ２つずつ形成されていて、図２３（ｂ）に示すように２つの上記上面シール部材係合用凸部２０３、２０３によって上面シール部材１６５を挟みこむように構成されている。このように構成することで、上記シール部材１６５と上記前面シール部材２０１の隙間を少なくし、シール性能を高めている。
なお、この第９の実施の形態の場合には、前記した第６〜第８の実施の形態のような、シール部材押圧用凸部１７７、１７７は設けられていない。
また、背面カバ９についても、上記前面シール部材２０１と同様の構成の図示しない上記背面シール部材が設置されている。 Next, a ninth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The ninth embodiment is almost the same as the sixth embodiment, except that a front seal member 201 as shown in FIG. 23 is used. The front sealing member 201 is an annular member, and upper surface sealing member engaging projections 203, 203, 203, 203 are formed on the upper side in FIG. The upper sealing member engaging projections 203 are formed two on each of the left and right ends in FIG. 23A, and two upper sealing member engaging projections 203 are formed as shown in FIG. 23B. , 203 sandwich the upper surface sealing member 165. With this configuration, the gap between the seal member 165 and the front seal member 201 is reduced, and the sealing performance is enhanced.
In the case of the ninth embodiment, the projections 177 and 177 for pressing the seal member as in the sixth to eighth embodiments are not provided.
The back cover 9 is also provided with the back seal member (not shown) having the same configuration as the front seal member 201.

この第９の実施の形態の場合も、前記した第６の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。また、図２３（ｂ）に示すように２つの上面シール部材係合用凸部２０３、２０３によって上面シール部材１６５を挟みこむように構成されているので、上記シール部材１６５と上記前面シール部材２０１の隙間を少なくし、シール性能を高めることができる。   In the case of the ninth embodiment, the same operation and effect as those of the sixth embodiment are provided. Further, as shown in FIG. 23 (b), since the upper surface seal member 165 is sandwiched by the two upper surface seal member engaging projections 203, 203, the gap between the seal member 165 and the front seal member 201 is formed. And sealing performance can be improved.

次に、図２４を参照しながら、本発明の第１０の実施の形態について説明する。
この第１０の実施の形態のシール部材２０５は、図２４に示すように、前面シール部材２０６と背面シール部材２０６′、上面シール部材２０７、２０７とから構成されている。 Next, a tenth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 24, the seal member 205 according to the tenth embodiment includes a front seal member 206, a back seal member 206 ', and upper seal members 207, 207.

上記前面シール部材２０６は略環状の部材であるが、図２４に示すように、上端部（図２４中上側）の一方（図２４中右上から左下に向かう方向）には幅方向（図２４中左上から右下に向かう方向）の全体にわたって張出平面部２０９が突出・形成されていて、この張出平面部２０９には上端部（図２４中上側）の他方（図２４中左下から右上に向かう方向）と上面側に開口された上面シール部材用溝部２１０、２１０が形成されている。
また、上記背面シール部材２０６′も上記前面シール部材２０６と同様の構成であり、図中同一部分には同一符号を付して示す。
上記上面シール部材２０７は、横断面形状が四角形をなす直線状の部材である。上記上面シール部材２０７の両端側は上記前面シール部材２０６及び上記背面シール部材２０６′の上面シール部材用溝部２１０に係合される。 The front seal member 206 is a substantially annular member. As shown in FIG. 24, one of the upper ends (upper side in FIG. 24) (direction from upper right to lower left in FIG. 24) has a width direction (in FIG. 24). An overhanging flat portion 209 is projected and formed over the entire area from the upper left to the lower right), and the overhanging flat portion 209 has the other upper end (upper side in FIG. 24) (lower left to upper right in FIG. 24). Direction) and upper surface seal member grooves 210, 210 opened to the upper surface side.
The rear seal member 206 'has the same configuration as the front seal member 206, and the same parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.
The upper surface seal member 207 is a linear member having a rectangular cross section. Both ends of the upper seal member 207 are engaged with the upper seal groove 210 of the front seal member 206 and the rear seal member 206 '.

この第１０の実施の形態の場合も、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができる。   Also in the case of the tenth embodiment, the same effects as in the case of the first embodiment can be obtained.

次に、図２５乃至図２８を参照しながら、本発明の第１１の実施の形態について説明する。
この第１１の実施の形態によるアクチュエータの場合は、図２５に示すようなベース２１１、上面カバ２１３、前面カバ２１５、背面カバ２１７が用いられ、上記ベース２１１、上記上面カバ２１３、上記前面カバ２１５、及び、上記背面カバ２１７の間にはシール部材２１９が設置されている。 Next, an eleventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the case of the actuator according to the eleventh embodiment, a base 211, a top cover 213, a front cover 215, and a back cover 217 as shown in FIG. 25 are used, and the base 211, the top cover 213, and the front cover 215 are used. A seal member 219 is provided between the back cover 217 and the rear cover 217.

上記ベース２１１は、前記した第１の実施の形態のベース５と略同様の構成であるが、高さ（図２５中上下方向大きさ）は上記ベース５と比べて低く、浅い略Ｕ字型の横断面形状を成している。
上記上面カバ２１３は略逆Ｕ字型の横断面形状を成しており、上記ベース５の上側のみに配置されていて、前記した第１の実施の形態の上面カバ１１のように上記ベース５と上記前面カバ２１５及び上記背面カバ２１７に跨って配置された構成にはなっていない。そのため、図２５及び図２６に示すように、上記前面カバ２１５の図２６中手前側の面の上側部分が上面カバ設置部２１４となっていて、上記背面カバ２１７の図２５中の左側の面の上側部分が上面カバ設置部２１６となっている。 The base 211 has substantially the same configuration as the base 5 of the first embodiment described above, but has a lower height (vertical size in FIG. 25) than the base 5 and a shallow U-shape. Has a cross-sectional shape of.
The upper cover 213 has a substantially inverted U-shaped cross-sectional shape, and is disposed only above the base 5. The upper cover 213 is similar to the upper cover 11 of the first embodiment. And the front cover 215 and the back cover 217 are not arranged. Therefore, as shown in FIGS. 25 and 26, the upper part of the front surface of the front cover 215 on the near side in FIG. 26 is an upper surface cover installation part 214, and the left surface of the rear cover 217 in FIG. Is an upper surface cover installation portion 216.

上記前面カバ２１５には、図２６に示すようにベース２１１側の面（図２６中手前側の面）にシール部材用溝部２１８が形成されている。
上記背面カバ２１７は、図２５に示すように上記前面カバ２１５と略同様の構成であり、シール部材用溝部２２０が形成されている。 As shown in FIG. 26, the front cover 215 has a seal member groove 218 formed on the surface on the base 211 side (the surface on the near side in FIG. 26).
The back cover 217 has substantially the same configuration as the front cover 215 as shown in FIG. 25, and has a groove 220 for a seal member.

上記シール部材２１９は、図２７に示すように、上面シール部材２２１、２２１、前面シール部材２２３、及び、背面シール部材２２５とから構成されている、
上記上面シール部材２２１は、前記した第１の実施の形態の上面シール部材９３と同様に横断面形状が四角形をなす直線状の部材であり、図２８に示すように、上記シール部材用溝部９７、９７に収容・配置されている。 As shown in FIG. 27, the seal member 219 includes an upper seal member 221, 221, a front seal member 223, and a back seal member 225.
The upper surface seal member 221 is a linear member having a rectangular cross-sectional shape similar to the upper surface seal member 93 of the first embodiment, and as shown in FIG. , 97 are accommodated and arranged.

上記前面シール部材２２３は略環状の部材であるが、図２７に示すように、図２７中上下方向の略中央部の幅方向（図２７中左上から右下に向かう方向）両端からそれぞれ接触部２２７、２２７が突出・形成されている。上記背面シール部材２２５も上記前面シール部材２２３と同様の構成であり、図中同一部分には同一符号を付して示す。
図２６に示すように、上記前面シール部材２２３は上記前面カバ２１５のシール部材用溝部２１８に収容・配置されている。よって、上記前面シール部材２２３は、上記前面カバ２１５と上記ベース２１１との間、及び、上記前面カバ２１５の上面カバ設置部２１４と上記上面カバ２１３との間に介挿されている。
また、上記背面シール部材２２５も同様に上記背面カバ２１７のシール部材用溝部２２０に収容・配置されている。よって、上記背面シール部材２２５は、上記背面カバ２１７と上記ベース２１１との間、及び、上記背面カバ２１７の上面カバ設置部２１６と上記上面カバ２１３との間に介挿されている。
上記前面シール部材２２３及び上記背面シール部材２２５の接触部２２７、２２７は、図２８に示すように、シール部材用溝部９７、９７の幅広部９９、９９内に収容・配置されていて、上記接触部２２７、２２７は上記上面シール部材２２１、２２１の端部と幅方向（図２８中上下方向）に重なっている。このように、上記前面シール部材２２３は上記前面カバ２１５の上記上面カバ設置部２１４と上記ベースの上端面とに跨って配置され、上記背面シール部材２２５は上記背面カバ２１７の上記上面カバ設置部２１６と上記ベースの上端面とに跨って配置されている。 The front seal member 223 is a substantially annular member. As shown in FIG. 27, the front seal member 223 has contact portions from both ends in the width direction of the substantially central portion in the up-down direction in FIG. 27 (direction from upper left to lower right in FIG. 27). 227 and 227 are projected and formed. The back seal member 225 has the same configuration as the front seal member 223, and the same parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.
As shown in FIG. 26, the front seal member 223 is accommodated and arranged in a seal member groove 218 of the front cover 215. Therefore, the front seal member 223 is interposed between the front cover 215 and the base 211 and between the upper cover installation portion 214 of the front cover 215 and the upper cover 213.
The back seal member 225 is also accommodated and arranged in the seal member groove 220 of the back cover 217. Therefore, the back seal member 225 is interposed between the back cover 217 and the base 211 and between the top cover installation part 216 of the back cover 217 and the top cover 213.
As shown in FIG. 28, the contact portions 227 and 227 of the front seal member 223 and the rear seal member 225 are accommodated and arranged in the wide portions 99 and 99 of the seal member grooves 97 and 97, respectively. The portions 227 and 227 overlap the ends of the upper surface seal members 221 and 221 in the width direction (vertical direction in FIG. 28). As described above, the front seal member 223 is disposed across the upper cover mounting portion 214 of the front cover 215 and the upper end surface of the base, and the rear seal member 225 is disposed on the upper cover mounting portion of the rear cover 217. 216 and the upper end surface of the base.

この第１１の実施の形態の場合も、前記した第１の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏する。   Also in the case of the eleventh embodiment, the same operation and effect as in the case of the above-described first embodiment are achieved.

なお、本発明は前記第１〜第１１の実施の形態に限定されない。
例えば、第４の実施の形態、第５の実施の形態、及び、第１１の実施の形態において、第２の実施の形態のような上面シール部材を用いる場合や、上面シール部材を用いず、第３の実施の形態のように接触部を延長して前面シール部材と背面シール部材のみを用いる場合が考えられる。
また、第６の実施の形態において、上面シール部材を２つのシール部材要素から構成する場合や、切れ目のない環状の部材とすることが考えられる。
また、前面シール部材や背面シール部材の上面シール部材と接触する部分を厚くすることで、上記上面シール部材と上記前面シール部材及び上記背面シール部材を密着させシール性能を高めるようにしてもよい。
また、シール部材は、ニトリルゴム、フッ素ゴム等、アクチュエータの使用環境に応じた様々な材料の使用が考えられる。
その他、図示した構成は一例であり、様々な場合が考えられる。 The present invention is not limited to the first to eleventh embodiments.
For example, in the fourth embodiment, the fifth embodiment, and the eleventh embodiment, the case where the upper surface seal member as in the second embodiment is used, or the upper surface seal member is not used, As in the third embodiment, there may be a case where the contact portion is extended and only the front seal member and the back seal member are used.
Further, in the sixth embodiment, a case where the upper surface seal member is constituted by two seal member elements, or a continuous annular member can be considered.
Further, by increasing the thickness of the portion of the front seal member or the back seal member that contacts the top seal member, the top seal member may be in close contact with the front seal member and the back seal member to enhance the sealing performance.
Further, it is conceivable to use various materials for the seal member, such as nitrile rubber and fluorine rubber, according to the use environment of the actuator.
In addition, the illustrated configuration is an example, and various cases can be considered.

本発明は、例えば、ロッドタイプのアクチュエータに係り、特に、小型化できるように工夫したものに関し、例えば、食品や薬品の製造装置に好適である。   The present invention relates to, for example, a rod-type actuator, and more particularly to a rod-type actuator that is devised so that it can be reduced in size.

１ アクチュエータ
５ ベース
７ 前面カバ
９ 背面カバ
１１ 上面カバ
９３ 上面シール部材
９５ 前面シール部材
９５´ 背面シール部材
１０１ 張出平面部
１０７ 上面カバ設置部（前面カバ側上面カバ設置部）
１１３ 上面カバ設置部（背面カバ側上面カバ設置部）
１３３ 前面シール部材
１３３´ 背面シール部材
１４３ 前面シール部材
１４３´ 背面シール部材
１５７ 前面シール部材
１５７´ 背面シール部材
１６３ 前面シール部材
１６３´ 背面シール部材
１６５ 上面シール部材
１７７ シール部材押圧用凸部
１８１ 前面シール部材
１８１´ 背面シール部材
１９１ 前面シール部材
２０１ 前面シール部材
２０３ 上面シール部材係合用凸部
２０６ 前面シール部材
２０６′ 背面シール部材
２０７ 上面シール部材
２１０ 上面シール部材用溝部
２１３ 上面カバ
２１５ 前面カバ
２１７ 背面カバ
２２１ 上面シール部材
２２３ 前面シール部材
２２５ 背面シール部材 REFERENCE SIGNS LIST 1 actuator 5 base 7 front cover 9 back cover 11 top cover 93 top seal member 95 front seal member 95 ′ back seal member 101 overhang flat portion 107 top cover installation portion (front cover side top cover installation portion)
113 Top cover installation section (back cover side top cover installation section)
133 Front seal member 133 'Back seal member 143 Front seal member 143' Back seal member 157 Front seal member 157 'Back seal member 163 Front seal member 163' Back seal member 165 Top seal member 177 Projection for pressing seal member 181 Front seal Member 181 ′ Back seal member 191 Front seal member 201 Front seal member 203 Top seal member engaging projection 206 Front seal member 206 ′ Back seal member 207 Top seal member 210 Top seal member groove 213 Top cover 215 Front cover 217 Back cover 221 Top seal member 223 Front seal member 225 Back seal member

Claims (13)

駆動部が収容されたベースと、
上記ベースの上面開口部を閉塞する上面カバと、
上記ベースの前面開口部を閉塞する前面カバと、
上記ベースの背面開口部を閉塞する背面カバと、
上記ベースと上記上面カバの間、上記ベースと上記前面カバの間、及び、上記ベースと上記背面カバの間に介挿されるシール部材と、
を具備し、
上記駆動部は上記前面カバを貫通するようにされたロッドを進退自在に駆動するものであり、
上記シール部材は上記前面カバに配置される前面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って及び上記背面カバに配置される背面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って設けられていることを特徴とするアクチュエータ。 A base in which the drive unit is housed,
A top cover for closing the top opening of the base,
A front cover for closing the front opening of the base,
A back cover for closing the back opening of the base,
A seal member interposed between the base and the top cover, between the base and the front cover, and between the base and the back cover;
With
The drive unit is configured to drive a rod that penetrates the front cover so as to be able to move forward and backward,
The seal member is provided so as to straddle the front cover side upper surface cover installation portion disposed on the front cover and the base, and to extend over the rear cover side upper surface cover installation portion disposed on the rear cover and the base. An actuator characterized by the above-mentioned. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記シール部材は上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、
上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、
上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出し、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記ベースの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出していることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 1,
The seal member is a front seal member interposed between the base and the front cover,
Including a back seal member interposed between the base and the back cover,
A part of the front seal member projects between the front cover and the top cover and between the base and the top cover, and a part of the back seal member extends between the back cover and the base and between the base and the base. An actuator protruding between top covers. 請求項２記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材の一部には上記前面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていて、
上記背面シール部材の一部にも上記背面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 2,
A part of the front seal member is provided with an overhanging flat portion installed on the front cover side upper surface cover installation portion,
An actuator, wherein a part of the back seal member is provided with a protruding flat portion provided on the back cover side top cover installation portion. 請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部と上記背面シール部材から上記上面カバの間に突出した上記背面カバの一部が上記ベースと上記上面カバの間で重なるように配置されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 2 or 3,
A part of the front seal member protruding between the base and the top cover from the front seal member and a part of the back cover protruding between the top cover from the back seal member are connected to the base and the top cover. An actuator characterized by being disposed so as to overlap with each other. 請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、
上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿される上面シール部材を含み、
上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されており、
上記背面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記背面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 2 or 3,
The seal member includes an upper surface seal member interposed between the base and the upper surface cover,
A part of the front seal member projecting between the base and the top cover from the front seal member is disposed so as to overlap a part of the top seal member,
An actuator, wherein a part of the back seal member protruding from the back seal member between the base and the top cover is arranged so as to overlap a part of the top seal member. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿された上面シール部材と、
上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、
上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、
上記上面シール部材は上記ベースと上記前面カバ側上面カバ設置部と上記背面カバ側上面カバ設置部に跨るように設けられていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 1,
The seal member is an upper surface seal member interposed between the base and the upper surface cover,
A front seal member interposed between the base and the front cover,
Including a back seal member interposed between the base and the back cover,
The actuator, wherein the upper surface seal member is provided so as to straddle the base, the front cover side upper surface cover installation portion, and the rear cover side upper surface cover installation portion. 請求項６記載のアクチュエータにおいて、
上記上面シール部材が上記前面シール部材及び上記背面シール部材と交差するように配置されていて、
その交差部において上記前面シール部材及び上記背面シール部材が上記上面シール部材と接触するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 6,
The top seal member is disposed so as to intersect the front seal member and the back seal member,
An actuator, wherein the front seal member and the rear seal member are configured to contact the upper seal member at the intersection. 請求項７記載のアクチュエータにおいて、
上記前面カバには上記前面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記前面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていて、
上記背面カバには上記背面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記背面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 7,
A groove for accommodating the front seal member is formed in the front cover, and the groove is provided with a convex portion for pressing the front seal member toward the upper seal member at the intersection.
A groove for accommodating the back seal member is formed in the back cover, and the groove is provided with a convex portion for pressing the back seal member toward the top seal member at the intersection. Actuator. 請求項７記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていて、
上記背面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 7,
A groove for an upper surface seal member in which the upper surface seal member is accommodated is formed at the intersection of the front surface seal member,
An actuator, wherein an upper surface seal member groove for accommodating the upper surface seal member is formed at the intersection of the back surface seal member. 請求項９記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間に突出し、上記前面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられ、
上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記上面カバの間に突出し、上記背面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ The actuator according to claim 9,
A part of the front seal member protrudes between the front cover and the top cover, and an overhang flat portion provided on the front cover side installation portion is provided,
An actuator, wherein a part of the back seal member protrudes between the back cover and the top cover, and an overhanging flat portion provided on the back cover side installation portion is provided. 請求項１０記載のアクチュエータにおいて、
上記張出平面部に上記上面シール部材用溝部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 10,
The actuator, wherein the overhanging flat portion is provided with the groove for the upper surface seal member. 請求項６〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記上面シール部材は端部を有するシール部材要素で構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 6 to 11,
The actuator according to claim 1, wherein the upper surface seal member is constituted by a seal member element having an end. 請求項２〜請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材及び上記背面シール部材は同一の構成の部材からなることを特徴とするアクチュエータ。 In the actuator according to any one of claims 2 to 12,
The actuator according to claim 1, wherein the front seal member and the rear seal member have the same configuration.
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