JP2020020596A - 振動センサー - Google Patents
振動センサー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020020596A JP2020020596A JP2018142520A JP2018142520A JP2020020596A JP 2020020596 A JP2020020596 A JP 2020020596A JP 2018142520 A JP2018142520 A JP 2018142520A JP 2018142520 A JP2018142520 A JP 2018142520A JP 2020020596 A JP2020020596 A JP 2020020596A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- vibration sensor
- organic piezoelectric
- vibration
- electrode plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
【課題】振動センサーの組み立て作業を短縮し、生産性を向上する。【解決手段】振動センサーは、薄膜状の有機圧電素子20の振動の歪みによる電荷の発生を検知することで、振動を検出する。有機圧電素子20は、第1面21と、第1面21の反対側の第2面23とを有しており、第1面21に正電荷が偏在し第2面23に負電荷が偏在するように分極されている。正極プレート30と陰極プレート40とは、導電材料製である。正極プレート30は、第1面21の周縁部分28に接触し、第1面21の中心部分27とは非接触である。陰極プレート40は、第2面23の周縁部分28に接触し、第2面23の中心部分27とは非接触である。【選択図】図5
Description
本開示は、振動センサーに関する。
従来、加速度センサに関し、加速度検出素子および電子回路をセラミック基板に実装し、セラミックカバーをセラミック基板に接着する技術が提案されている(たとえば、特開平7−234244号公報(特許文献1)参照)。
上記文献に記載の構成では、加速度検出素子と電子回路とは、配線を介して電気的に接続されている。配線の端部を加速度検出素子および電子回路に人が個々に半田付けする手作業が必要であり、生産性が低い。
本開示では、組み立て作業が短縮され生産性が向上した振動センサーが提供される。
本開示に従うと、薄膜状の有機圧電素子を備え、有機圧電素子の振動の歪みによる電荷の発生を検知することで振動を検出する、振動センサーが提供される。有機圧電素子は、第1面と、第1面の反対側の第2面とを有しており、第1面に正電荷が偏在し第2面に負電荷が偏在するように分極されている。振動センサーは、正極プレートと陰極プレートとを備えている。正極プレートと陰極プレートとは、導電材料製である。正極プレートは、第1面の周縁部分に接触し、第1面の中心部分とは非接触である。陰極プレートは、第2面の周縁部分に接触し、第2面の中心部分とは非接触である。
上記の振動センサーにおいて、正極プレートに、有機圧電素子の厚み方向に延び正極プレートを貫通する通気孔が形成されている。
上記の振動センサーは、有機圧電素子、正極プレートおよび陰極プレートを収容する筐体を備えている。
上記の振動センサーは、筐体に取り付けられ、正極プレートと陰極プレートとの両方に電気的に接続する、接続部材を備えている。
上記の振動センサーにおいて、接続部材は、筐体にねじ込みにより取り付けられている。
上記の振動センサーは、筐体に取り付けられ、有機圧電素子、正極プレートおよび陰極プレートを接続部材とともに挟持する、キャップ部を備えている。
上記の振動センサーにおいて、キャップ部は、筐体にねじ込みにより取り付けられている。
上記の振動センサーにおいて、キャップ部は、陰極プレートに接触する接触面を有している。接触面には、通気溝が形成されている。
本開示に従えば、振動センサーの組み立て作業を短縮でき、生産性を向上することができる。
以下、実施形態について図面に基づいて説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。
図1は、実施形態に基づく振動センサー1の斜視図である。図2は、図1に示す振動センサー1の正面図である。図3は、図1に示す振動センサー1の底面図である。図4は、図1に示す振動センサー1の縦断面図である。図5は、図1に示す振動センサー1の分解部分断面図である。図6は、センサー部10の分解斜視図である。
図1〜6に示されるように、振動センサー1は、センサー部10を備えている。センサー部10は、有機圧電素子20と、正極プレート30と、陰極プレート40とを有している。振動センサー1はさらに、筐体50と、底キャップ60と、接続部材70とを備えている。
有機圧電素子20は、図4〜6に示されるように、円形薄膜状の形状を有している。有機圧電素子20は、図5に示されるように、第1面21と、第1面21の反対側の第2面23とを有している。有機圧電素子20は、円形の中心付近の中心部分27と、円形の外周縁付近の周縁部分28とを有している。
正極プレート30は、導電性の材料、たとえば銅に代表される金属材料で形成されている。図6に示されるように、正極プレート30は、円板形状の本体部31を有している。正極プレート30は、本体部31の中心部から突出する円筒形状の円筒突部32と、本体部31の周縁部から円筒突部32とは反対方向に突出する円環形状の円環突部33とを有している。円環突部33は、その先端に当接面38を有している。中空の凹空間34が、円環突部33によって周囲を取り囲まれて、形成されている。
円筒突部32の内部には、嵌合孔35が形成されている。嵌合孔35は、正極プレート30を厚み方向に貫通している。本体部31には、通気孔36が形成されている。通気孔36は、正極プレート30を厚み方向に貫通している。センサー部10が組み立てられた状態で、通気孔36は、有機圧電素子20の厚み方向に延びている。
図4に示されるように、正極プレート30、より具体的には当接面38は、有機圧電素子20の第1面21の周縁部分28に接触している。正極プレート30は、有機圧電素子20の第1面21の中心部分27とは非接触である。凹空間34によって、有機圧電素子20の第1面21と、正極プレート30の本体部31との間に、中空の振動空間が形成されている。
陰極プレート40は、導電性の材料、たとえば銅に代表される金属材料で形成されている。図6に示されるように、陰極プレート40は、全体として円環状の形状を有している。陰極プレート40は、搭載面41と、搭載面41の反対側の当接面48と、内周面42と、外周面43とを有している。搭載面41と当接面48とは平坦な形状である。内周面42と外周面43とは、円筒状の形状を有している。中空の中心空間45が、内周面42によって周囲を取り囲まれて、形成されている。
図4に示されるように、陰極プレート40、より具体的には当接面48は、有機圧電素子20の第2面23の周縁部分28に接触している。陰極プレート40は、有機圧電素子20の第2面23の中心部分27とは非接触である。中心空間45によって、有機圧電素子20の第2面23と陰極プレート40とによって規定される、中空の振動空間が形成されている。
センサー部10において、正極プレート30と陰極プレート40とは、有機圧電素子20を両側から挟んで支持している。有機圧電素子20の周縁部分28は、正極プレート30および陰極プレート40によって支持されている。他方、有機圧電素子20の中心部分27は、正極プレート30および陰極プレート40によって支持されておらず、正極プレート30および陰極プレート40に対する中心部分27の相対移動が可能に構成されている。有機圧電素子20は、少なくともその中心部分27が、振動可能に構成されている。
センサー部10(有機圧電素子20、正極プレート30および陰極プレート40)は、図4に示されるように、筐体50の内部に収容されている。筐体50は、図5に示されるように、全体として中空筒状の形状を有している。筐体50の内部には、センサー部10を収容する収容空間51と、収容空間51よりも小径の小径空間52と、収容空間51よりも大径の大径空間54とが、形成されている。
振動センサー1が組み立てられた状態で、正極プレート30の通気孔36は、有機圧電素子20の第1面21側の振動空間と収容空間51とを連通している。当該振動空間は、通気孔36を介して、収容空間51と連通している。
筐体50は、底面58を有している。底面58は、振動センサー1が組み立てられた状態で、振動センサー1の底面の一部をなしている。大径空間54は、収容空間51よりも底面58に近く配置されている。小径空間52は、収容空間51よりも底面58から離れて配置されている。
筐体50は、小径空間52の内周面をなす係合面53と、大径空間54の内周面をなす係合面55とを有している。係合面53,55には、雌ねじが形成されている。
底キャップ60は、底面68を有している。底面68は、筐体50の底面58と同様に、振動センサー1が組み立てられた状態で、振動センサー1の底面の一部をなしている。振動センサー1が組み立てられた状態で、筐体50の底面58と底キャップ60の底面68とは、ほぼ同一平面上に配置されている。
底面68の一部が窪んで、取付穴61と、締付穴62とが形成されている。図1,3に示されるように、取付穴61は、底面68の中心部に形成されている。締付穴62は、2つ形成されており、一対の締付穴62が取付穴61を挟む位置に形成されている。取付穴61と、2つの締付穴62とは、それらの中心点が一直線上に並ぶように、形成されている。
底キャップ60は、底キャップ60の外周面をなす係合面63を有している。係合面63には、雄ねじが形成されている。係合面63は、筐体50の係合面55に係合している。底キャップ60は、筐体50にねじ込みにより取り付けられている。底キャップ60を筐体50に対して回転させることにより、底キャップ60は筐体50に嵌合している。たとえば一対の締付穴62に治具を挿入して回転させることにより、底キャップ60を回転させて筐体50にねじ込むことができる。
底キャップ60は、接触面64を有している。図4に示されるように、振動センサー1が組み立てられた状態で、接触面64は陰極プレート40に接触している。陰極プレート40は接触面64に搭載されている。底キャップ60は、接触面64に対して突出する支持突部65を有している。振動センサー1が組み立てられた状態で、支持突部65は陰極プレート40の中心空間45内に配置されている。支持突部65が中心空間45に嵌め合わされることにより、陰極プレート40と底キャップ60との位置決めがなされるとともに、振動センサー1の中心軸への陰極プレート40の位置決めが可能とされている。
支持突部65と接触面64とに亘って、通気溝66が形成されている。通気溝66は、振動センサー1が組み立てられた状態で、有機圧電素子20の第2面23側の振動空間と収容空間51とを連通している。当該振動空間は、通気溝66を介して、収容空間51と連通している。有機圧電素子20の第1面21側の振動空間と、第2面23側の振動空間とは、収容空間51を介して、互いに連通している。
接続部材70は、図4に示されるように、芯部71と、絶縁筒部72と、外鞘部73とを有している。芯部71は、導電材料製であり、接続部材70を貫通している。振動センサー1が組み立てられた状態で、芯部71の一端は外部に露出しており、芯部71の他端は正極プレート30の嵌合孔35に嵌合している。芯部71は、正極プレート30と電気的に接続されている。絶縁筒部72は、樹脂に代表される絶縁材料で形成されている。絶縁筒部72は、芯部71と外鞘部73との間に介在しており、芯部71と外鞘部73とを電気的に絶縁している。
外鞘部73は、導電材料製である。外鞘部73は、係合面74を有している。係合面74には、雄ねじが形成されている。係合面74は、筐体50の係合面53に係合している。接続部材70は、筐体50にねじ込みにより取り付けられている。接続部材70を筐体50に対して回転させることにより、接続部材70は筐体50に嵌合している。外鞘部73は、筐体50を介して、底キャップ60と電気的に接続されている。外鞘部73は、筐体50および底キャップ60を介して、陰極プレート40と電気的に接続されている。芯部71が正極プレート30の嵌合孔35に嵌合することで、振動センサー1の中心軸への正極プレート30の位置決めが可能とされている。
底キャップ60と接続部材70とは、センサー部10、すなわち有機圧電素子20、正極プレート30および陰極プレート40を、上下から挟み持っている。底キャップ60と接続部材70とを筐体50にねじ込んで取り付けることにより、有機圧電素子20、正極プレート30および陰極プレート40が上下から加締められて、振動センサー1の組立が完了する。振動センサー1が組み立てられた状態で、接続部材70は正極プレート30に係合し、底キャップ60は陰極プレート40に係合している。有機圧電素子20は、底キャップ60および接続部材70には非接触である。有機圧電素子20の上下には、中空の振動空間が確保されている。
図7は、有機圧電素子20の分極を示す模式図である。図7に示されるように、有機圧電素子20は、第1面21に正電荷が偏在し、第2面23に負電荷が偏在するように、分極されている。
有機圧電素子20は、センサー部10を組み立てる前に、公知のコロナ処理などの任意の分極処理を施すことにより、分極されている。つまり、分極処理が予め施された有機圧電素子20が、正極プレート30および陰極プレート40とともに組み立てられて、センサー部10を構成している。
有機圧電素子20の第1面21には、表面電極101が接合されている。有機圧電素子20の第2面23には、表面電極102が接合されている。第1面21に接続した表面電極101は、プラス極である。第2面23に接続した表面電極102は、マイナス極である。表面電極101,102は、導電性材料の箔の状態が望ましい。たとえば、一般に市販されている導電性の銅箔テープを有機圧電素子20の第1面21および第2面23に貼り付けて、表面電極101,102を形成してもよい。または、銀コート銅などの導電性フィラーが含まれている導電塗料を有機圧電素子20の第1面21および第2面23に塗布することで、表面電極101,102を形成してもよい。
図8は、有機圧電素子20の正電荷パターン22の一例を示す模式図である。図8に示される有機圧電素子20は、第1面21の全面に亘って正電荷パターン22が形成されている。有機圧電素子20の中心部分27から周縁部分28の全体に亘って均一に、正電荷が分布している。
図9は、有機圧電素子20の負電荷パターン24の一例を示す模式図である。図9に示される有機圧電素子20は、第2面23の全面に亘って負電荷パターン24が形成されている。有機圧電素子20の中心部分27から周縁部分28の全体に亘って均一に、負電荷が分布している。
図8,9に示されるような、全面に電荷が存在している有機圧電素子20は、素材を強い電場中において分極処理を施すことにより、作製することができる。したがって作製が容易である。
図10は、実施形態に基づく振動センサー1の周波数特性を示すグラフである。図10に示すグラフは、横軸が周波数(単位:Hz)を表し、縦軸が振動センサー1の出力(単位:dB)を表す。実施形態に基づく振動センサー1は、有機圧電素子20が用いられており、有機圧電素子20の自重による振動の歪みによる電荷の発生を検知することで、振動を検出する。たとえば底キャップ60の取付穴61にマグネットプレートを取り付けたり、取付穴61にボルトを取り付けたりすることで、振動センサー1を振動計測対象物に取り付けることができる。
有機圧電素子20は、石英などの無機材料を用いた圧電素子と比較して、柔らかい。そのため実施形態に基づく振動センサー1は、図10に示されるように低周波寄りに特性が出る。有機圧電素子20を用いた振動センサー1は、低い周波数の振動から計測することができる。
図11は、表面電極の第一の例を示す模式図である。表面電極101は、図8に示すような有機圧電素子20の第1面21の全体に亘って分布する正電荷パターン22の一部を覆うように、形成されてもよい。表面電極102は、図9に示すような有機圧電素子20の第2面23の全体に亘って分布する負電荷パターン24の一部を覆うように、形成されてもよい。たとえば図11に示されるように、有機圧電素子20の中心部分27を覆う円形状の電極部分と、周縁部分28を覆う円環形状の電極部分と、これら2つの電極部分をつなぐ一対の直線状の電極部分とを有するような、軸対称の表面電極101としてもよい。
図12は、表面電極の第二の例を示す模式図である。またたとえば、図12に示されるように、有機圧電素子20の周縁部分28を覆う円環形状の電極部分と、中心部分27を覆う十字状の電極部分とを有するような、軸対称の表面電極101としてもよい。
図13は、表面電極の第三の例を示す模式図である。図12に示される表面電極101が第1面21に接合されている場合、有機圧電素子20を厚み方向に見てその表面電極101と重なるように表面電極102を設けてもよい。または図13に示されるように、表面電極102を、図12に示される表面電極101と同じ形状とし、表面電極101の十字と表面電極102の十字とを角度を45°ずらして配置してもよい。
上述した説明と一部重複する部分もあるが、本実施形態の特徴的な構成を列挙すると以下のようになる。実施形態の振動センサー1は、有機圧電素子20と、正極プレート30と、陰極プレート40とを備えている。有機圧電素子20は、図7に示されるように、第1面21に正電荷が偏在し第2面23に負電荷が偏在するように、分極されている。正極プレート30および陰極プレート40は、図4に示されるように、有機圧電素子20の周縁部分28に接触し、有機圧電素子20の中心部分27とは非接触である。
実施形態の振動センサー1は、圧縮型、ビーム型、シェア型などの従来の圧電型センサーとは構造が異なり、有機圧電素子20の周縁部分28を正極プレート30と陰極プレート40とで挟み込み、有機圧電素子20自身の振動の歪みにより電荷を発生する。振動センサー1が簡単な構造であり、半田付けによる接合が不要とされているので、振動センサー1の組み立て作業を短縮でき、生産性を向上することができる。従来構造の振動センサーと比較して、振動センサー1が軽量化されているので、振動センサー1の自重が振動計測対象物の振動に及ぼす影響が低減されており、したがって振動をより精度よく検出することができる。
また図4〜6に示すように、正極プレート30には、通気孔36が形成されている。有機圧電素子20と正極プレート30との間には、有機圧電素子20の振動を許容するための振動空間が形成される。この振動空間を密閉空間とせずに通気孔36を介して収容空間51と連通する構成とすることで、振動空間内で空気が圧縮されて有機圧電素子20の振動特性に影響することを抑制できる。したがって、実施形態の振動センサー1は、振動をより精度よく検出することができる。
また図4に示すように、有機圧電素子20、正極プレート30および陰極プレート40は、筐体50に収容されている。センサー部10が筐体50によって覆われる構造であるので、センサー部10への物理的な衝撃などの外乱の影響で振動センサー1の動作特性が変動することを低減できる。したがって、振動センサー1の精度をより向上することができる。
また図4に示すように、接続部材70は、筐体50に取り付けられており、正極プレート30および陰極プレート40に電気的に接続されている。接続部材70を介して、振動センサー1による振動計測対象物の振動の検出結果を外部に出力することができる。接続部材70を介して、陰極プレート40を接地接続することができる。接続部材70の芯部71をチャージコンバータに接続するように構成すれば、チャージコンバータで電荷信号を電圧信号に変換して、振動の検出結果を電圧として出力することができる。接続部材70として、10−32コネクタなどの安価に入手可能な市販品を使用することができ、この場合、振動センサー1の製造コストを低減することができる。
また接続部材70は、筐体50にねじ込みにより取り付けられている。接続部材70を回転させる動作だけで接続部材70の取り付けができ、特殊工具が必要なく半田付けの必要もないので、振動センサー1の組み立て作業を短縮することができる。
また図4に示すように、底キャップ60は、筐体50に取り付けられており、接続部材70とともにセンサー部10を挟持している。底キャップ60と接続部材70とによってセンサー部10を両側から挟む簡単な構造で、振動センサー1を実現することができる。
また底キャップ60は、筐体50にねじ込みにより取り付けられている。底キャップ60を回転させる動作だけで底キャップ60の取り付けができ、特殊工具が必要なく半田付けの必要もないので、振動センサー1の組み立て作業を短縮することができる。
また図5に示すように、底キャップ60は、陰極プレート40に接触する接触面64を有している。接触面64には通気溝66が形成されている。有機圧電素子20と陰極プレート40との間には、有機圧電素子20の振動を許容するための振動空間が形成される。この振動空間を密閉空間とせずに通気溝66を介して収容空間51と連通する構成とすることで、振動空間内で空気が圧縮されて有機圧電素子20の振動特性に影響することを抑制できる。したがって、実施形態の振動センサー1は、振動をより精度よく検出することができる。
これまでの実施形態の説明においては、有機圧電素子20が円形薄膜状である例について説明したが、有機圧電素子20の形状は円形に限られず、任意の形状が可能である。正極プレート30の当接面38、および陰極プレート40の当接面48は、円環形状に限られず、たとえば円環の一部が切り欠かれた形状であっても構わない。但し当接面38,48を円環形状に形成すれば、異方性がなく、有機圧電素子20が振動するときに軸対称で安定して電荷を発生させることができる。
以上、実施形態について説明を行なったが、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本開示に係る振動センサーは、機械または工場などの振動計測対象物に多数の振動センサーを取り付けて、振動計測対象物の振動の傾向を時系列で検証して予知保全に使う用途に、好適に適用され得る。
1 振動センサー、10 センサー部、20 有機圧電素子、21 第1面、22 正電荷パターン、23 第2面、24 負電荷パターン、27 中心部分、28 周縁部分、30 正極プレート、31 本体部、32 円筒突部、33 円環突部、34 凹空間、35 嵌合孔、36 通気孔、38,48 当接面、40 陰極プレート、41 搭載面、42 内周面、43 外周面、45 中心空間、50 筐体、51 収容空間、52 小径空間、53,55,63,74 係合面、54 大径空間、58,68 底面、60 底キャップ、61 取付穴、62 締付穴、64 接触面、65 支持突部、66 通気溝、70 接続部材、71 芯部、72 絶縁筒部、73 外鞘部。
Claims (8)
- 第1面と、前記第1面の反対側の第2面とを有し、前記第1面に正電荷が偏在し前記第2面に負電荷が偏在するように分極された、薄膜状の有機圧電素子と、
前記第1面の周縁部分に接触し、前記第1面の中心部分とは非接触である、導電材料製の正極プレートと、
前記第2面の周縁部分に接触し、前記第2面の中心部分とは非接触である、導電材料製の陰極プレートとを備え、
前記有機圧電素子の振動の歪みによる電荷の発生を検知することで振動を検出する、振動センサー。 - 前記正極プレートに、前記有機圧電素子の厚み方向に延び前記正極プレートを貫通する通気孔が形成されている、請求項1に記載の振動センサー。
- 前記有機圧電素子、前記正極プレートおよび前記陰極プレートを収容する筐体を備える、請求項1または2に記載の振動センサー。
- 前記筐体に取り付けられ、前記正極プレートと前記陰極プレートとの両方に電気的に接続する接続部材を備える、請求項3に記載の振動センサー。
- 前記接続部材は、前記筐体にねじ込みにより取り付けられている、請求項4に記載の振動センサー。
- 前記筐体に取り付けられ、前記有機圧電素子、前記正極プレートおよび前記陰極プレートを前記接続部材とともに挟持する、キャップ部を備える、請求項4または5に記載の振動センサー。
- 前記キャップ部は、前記筐体にねじ込みにより取り付けられている、請求項6に記載の振動センサー。
- 前記キャップ部は、前記陰極プレートに接触する接触面を有し、
前記接触面には、通気溝が形成されている、請求項6または7に記載の振動センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018142520A JP2020020596A (ja) | 2018-07-30 | 2018-07-30 | 振動センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018142520A JP2020020596A (ja) | 2018-07-30 | 2018-07-30 | 振動センサー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020020596A true JP2020020596A (ja) | 2020-02-06 |
Family
ID=69590084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018142520A Pending JP2020020596A (ja) | 2018-07-30 | 2018-07-30 | 振動センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020020596A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52140374U (ja) * | 1976-04-19 | 1977-10-24 | ||
JPS5358277A (en) * | 1976-11-05 | 1978-05-26 | Victor Co Of Japan Ltd | Vibration detecting element |
JPS5613715U (ja) * | 1979-07-13 | 1981-02-05 | ||
JPH0459963U (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-22 |
-
2018
- 2018-07-30 JP JP2018142520A patent/JP2020020596A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52140374U (ja) * | 1976-04-19 | 1977-10-24 | ||
JPS5358277A (en) * | 1976-11-05 | 1978-05-26 | Victor Co Of Japan Ltd | Vibration detecting element |
JPS5613715U (ja) * | 1979-07-13 | 1981-02-05 | ||
JPH0459963U (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6854143B2 (ja) | シャント抵抗器およびシャント抵抗器を用いた電流検出装置 | |
KR100369908B1 (ko) | 압전 음향 부품 | |
KR20130016647A (ko) | 초음파 센서 | |
JP2017212297A (ja) | シャント抵抗器およびシャント抵抗器の実装構造 | |
US10658777B2 (en) | Externally-attached PTC element and tubular battery | |
JPWO2008093680A1 (ja) | 加速度センサ | |
US20090274324A1 (en) | Microphone unit and method of manufacturing the same | |
US6321600B1 (en) | Acceleration detecting device | |
JP2020020596A (ja) | 振動センサー | |
US7658118B2 (en) | Distortion detector | |
US20090290740A1 (en) | Microphone unit and method of manufacturing the same | |
JP2012049798A (ja) | コンデンサマイクロホンユニットおよびコンデンサマイクロホン | |
JP2003163997A (ja) | コンデンサマイクロホン | |
JP5461074B2 (ja) | コンデンサマイクロホンユニットおよびコンデンサマイクロホン | |
KR20150112959A (ko) | 타이어 압력 센서용 버튼셀 | |
JP2012181127A (ja) | 圧力センサ | |
US20200381611A1 (en) | Piezoelectric sensor | |
JP6972713B2 (ja) | 超音波センサ | |
WO2020179731A1 (ja) | 振動センサー | |
JPH1114485A (ja) | 圧力センサ | |
JP5729363B2 (ja) | 品質評価装置、品質評価方法及び評価用基板 | |
JP2020020597A (ja) | 振動センサー | |
WO2021229932A1 (ja) | 加速度検出装置 | |
WO1982000895A1 (en) | Accelerometers | |
JP6563678B2 (ja) | マイクロホン |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220412 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220415 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20221018 |